TWI803004B - 提供有對流的測試插座 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種具有對流的測試插座，包括：一本體部，具有：一 容置空間，配置為收容一檢測物；一檢測部，配置於該容置空間之底側，該檢測部配置有複數個探針以接觸該檢測物之底側進行檢測；一上蓋，配置於本體部之頂側，該上蓋具有：一導熱部件，配置為可接觸該檢測物之頂側；其中，該本體部的一側面和該側面的另一相對側面之間穿設有一流體通道，且該流體通道通過該複數個探針之一部分。

Description

提供有對流的測試插座

本發明係關於一種測試插座，尤指一種應用於燒機測試(Burn-in test)下，能利用流體的流動來對於測試插座中的探針部分進行散熱。

在現今，電子元件於製作完成後，常需於高溫環境下進行燒機測試(Burn-in test)作業，燒機測試是利用探針接觸檢測物(例如：晶片)而給予測試訊號以進行各種參數檢測，藉以淘汰出不良品，確保產品品質。但在探針接觸檢測物的檢測過程中會產生一定程度的積熱，此不利於某些測試的條件。目前對於在燒機測試中，對於上述散熱的解決方案，常見的有在燒機板(Burn-in board)上方的燒機插座(Socket)裝設有散熱鰭片，或是在燒機板的背面提供類似的散熱手段。在以往的燒機插座設計上並沒有辦法對於位於燒機插座內部的探針區域進行散熱，只要燒機插座通電後進行燒機測試時，探針就會造成積熱在附近的殼體中(housing)裡，導致檢測物上所焊接錫球熔解。

因此在現行的燒機測試中，對於晶片的效能越來越強大，進而高功率下產生的熱也更高，而只具有散熱鰭片的燒機插座在散熱功能上也漸漸的不敷現行的燒機測試的需求。

有鑑於此，本發明人研創出一種提供有氣流的測試插座，以有效改善先前技術之缺點，此即為本發明之設計宗旨。

鑑於前述，本發明提供了一種散熱結構，可以將探針的積熱排出，可以達到最佳的散熱效果。

為達到上述之目的，本發明提供了一種具有對流的測試插座，包括：一本體部，具有：一容置空間，配置為收容一檢測物；一檢測部，配置於該容置空間之底側，該檢測部配置有複數個探針以接觸該檢測物之底側進行檢測；一上蓋，配置於本體部之頂側，該上蓋具有：一導熱部件，配置為可接觸該檢測物之頂側；其中，該本體部的一側面和該側面的另一相對側面之間穿設有一流體通道，且該流體通道通過該複數個探針之一部分。

為達到上述之目的，本發明提供了另一種提供有對流的測試插座，包括：一本體部，具有：一容置空間，配置為收容一檢測物；一檢測部，配置於該容置空間之底側，該檢測部具有：一殼體，配置有一第一通道；複數個探針，穿設於該殼體，以接觸該檢測物之底側進行檢測，以及該探針之一部分係暴露於該第一通道內；一上蓋，配置於本體部之頂側，該上蓋具有：一導熱部件，配置為可接觸該檢測物之頂側；其中，該本體部的一側面穿設有一第二通道，且該側面的另一相對側面穿設有一第三通道，該第一通道、該第二通道與該第三通道相連形成一流體通道。

如上所述之具有對流的測試插座，其中暴露於該第一通道的該複數個探針的一部分位於該流體通道的兩端開口之間。

如上所述之具有對流的測試插座，其中該本體部的周圍提供有一流體導入部件以及一流體導出部件，其中該流體導入部件流體連通該第二通道，該流體導出部件流體連通該第三通道。

如上所述之具有對流的測試插座，該流體導入部件更具備一第一開口，流體連通該第二通道；該流體導出部件更具備一第二開口，流體連通該第三通道。

如上所述之具有對流的測試插座，其中該流體導入部件、該流體導出部件、該第二通道與該第三通道都位在一載板的頂側。

如上所述之具有對流的測試插座，其中該流體導出部件與相對於該本體部之具有該第三通道的側面之間具有一間隙。

如上所述之具有對流的測試插座，其中該流體導出部件能相對於一載板平行或垂直地設置。

為達到上述之目的，本發明提供一種燒機測試板，複數個測試插座，配置於該燒機測試板上，每一個測試插座包括：一本體部，具有：一容置部，配置為收容一檢測物；一檢測部，配置有複數個探針以接觸該檢測物之底側進行檢測；一上蓋，具有：一導熱部件，配置為接觸該檢測物之頂側；其中，該本體部的一側面開設有一第一通道，且對應該側面的另一側面開設有對應該第一通道的一第二通道，該第一通道與第二通道相通形成一流體通道，該流體通道延伸通過該檢測部的一部分；一流體導入部件，流體連通該第一通道；以及一流體導出部件，流體連通該第二通道。

為達到上述之目的，本發明提供一種具有對流的測試插座的製造方法，包含：提供一測試插座，該測試插座配置有具有複數個探針的一檢測部； 從該測試插座的兩側朝向內部配置一流體通道，該流體通道以通過該檢測部的複數個探針的一部分的方式，與該測試插座之外部相通；提供一流體導入部件，配置於該流體通道的一端，該流體導入部件用以將流體導入從該端導入；提供一流體導出部件，配置於該流體通道的另一端，該流體導出部件用以將流體從該另一端導出。

為達到上述之目的，本發明提供一種提供有對流的測試插座，該測試插座配置於一載板上用於容置一檢測物，其特徵在於：該測試插座具有用於在該檢測物和該載板之間傳遞測試訊號的複數個探針，一流體通道貫穿該測試插座，使該複數個探針的至少一部份暴露於該流體通道，藉此使該複數個探針於一測試程序中產生的熱得以經由該流體通道之對流而自該測試插座排除。

如上所述之測試插座，更提供有一或多個流體輸送部件，該一或多個流體輸送部件配置於該測試插座的周圍用強化該流體通道之對流。

如上所述之測試插座，其中該一或多個流體輸送部件包含一流體導入部件及一流體導出部件，分別配置於該流體通道的兩端以建立一單向對流。

1000:測試插座

1100:本體部

1110:檢測部

1111:殼體

1112:探針

1113:第一通道

1114:凹口

1115:浮動板

1116:彈性部

1130:流體通道

1130A:第二通道

1130B:第三通道

1200:容置部

1300:上蓋

1310:導熱部件

1500:頂部散熱鰭片組

1600:底部散熱鰭片組

1700:固定手柄

1900:流體輸送部件

1900A:流體導入部件

1900B:流體導出部件

1910:開口

1910A:第一開口

1910B:第二開口

1920:扇葉

1920A:流體導入部件的扇葉

1920B:流體導出部件的扇葉

2000:燒機測試板

3000:載板

G:間隙

W:檢測物

圖1係顯示提供有對流的測試插座的立體圖。

圖2係顯示提供有對流的測試插座的側視圖。

圖3係顯示具有對流的測試插座的剖視圖。

圖4係顯示測試插座中檢測部之第一實施例的立體圖。

圖5係顯示流體輸送部件的立體圖。

圖6係顯示提供有流體輸送部件的測試插座的立體圖。

圖7係顯示提供有流體輸送部件的測試插座的另一立體圖。

圖8係顯示提供有流體輸送部件的測試插座的剖視圖，其中標示有流體流動的方向。

圖9係顯示測試插座中檢測部之第二實施例的立體圖。

圖10係顯示測試插座中檢測部之第二實施例的側視圖。

圖11係顯示提供有流體輸送部件的測試插座之第二實施例的立體圖。

圖12係顯示具有對流的測試插座之第二實施例的剖視圖。

圖13係顯示提供有流體輸送部件的測試插座之第二實施例的剖視圖，其中標示有流體流動的方向。

圖14係顯示裝設有複數個測試插座燒機測試板的示意圖。

以下說明本發明測試插座1000之第一實施例，請參閱圖1之提供有對流的測試插座1000的立體圖、圖2之提供有對流的測試插座1000的側視圖以及圖3之提供有對流的測試插座的剖視圖。如圖所示，該提供有對流的測試插座1000屬於掀蓋式的測試插座，具有一本體部(基座)1100，其可固接於燒機載板上或者印刷電路板(Printed Circuit Board，PCB)上(後述說明統稱載板3000)。請參閱圖3，該本體部1100中具有一容置空間1200，配置為收容一檢測物W，該檢測物W可為一積體電路或其他客製化的晶片等。請參閱圖1或2，該本體部1100具有一檢測部1110，配置於該容置空間1200之底側，使檢測部1110位於本體部1100和載板3000之間。

請參閱圖4之測試插座中檢測部1110之第一實施例的立體圖，如圖所示，該檢測部1110配置有複數個探針1112。每一個探針1112其具有一頂端、一底端及頂端和底端之間延伸的本體，其中探針1112的頂端用於電性接觸連接檢測物W的一底端，探針1112的底端用於電性連接至載板3000的電路。在一實施例中，該探針1112較佳的選擇為彈簧針(pogo pin)，使檢測物W和探針1112可彈性接觸。該檢測部1110配置有一殼體1111，基本上由一頂側、一底面及四個側面定義而成。殼體1111為一板體，其中複數個探針1112以垂直的方式穿設地配置於該殼體1111的頂側和底面之間，且探針1112的頂端暴露於殼體1111的頂側，形成一探針接觸陣列。該殼體1111配置有一第一通道1113，其於殼體1111的相對兩側面之間延伸，使流體(如空氣)可以流動於該第一通道1113之中。在此實施方式中，該檢測部1110可如圖4所示之實施方式，以一矩形狀可拆卸地配置於該容置空間1200之底側。該殼體1111也可如圖3所示之第二實施態樣，即該殼體1111的頂側形成有一斜面，使該檢測物W可隨著該導引面置放於該複數個探針1112之上進行檢測。或者，該檢測部1110是與該本體部1100一體成形，上述之各種實施方式，該複數個探針1112為設置於該容置空間1200之底側，以接觸該檢測物W之底側進行檢測。

請回到圖1至圖3所示，該測試插座1000具有一上蓋1300，配置於本體部1100之頂側並與本體部1100可拆卸地連接。上蓋1300固持有一導熱部件1310，其配置為當上蓋1300覆蓋本體部1100時可接觸該檢測物W之頂側。在一實施方式中，該上蓋1300為獨立構件，可直接地加裝在該本體部1100上面，使該導熱部件1310直接接觸於該檢測物W之頂側以傳導該檢測物W於測試程序中的排熱。在另一實施方式中，該上蓋1300的一側端可利用一軸桿對應地耦接於該本體部1100的一側端，使該上蓋1300能以該軸桿為軸心與本體部1100可樞轉地連接，而相對於該本體部1100樞轉，使該導熱部件1310接觸於該檢測物W之頂側以傳導 該檢測物W於測試程序中的排熱。該測試插座1000更配置有一頂部散熱鰭片組1500，其連接於該導熱部件1310之頂側，以接收該導熱部件1310的熱量進行散熱。該測試插座1000更配置有一底部散熱鰭片組1600，其連接於該載板3000之底部(背面)，用以接收由該複數個探針1112的底端產生而累績於載板3000底部的排熱。該測試插座1000更具備有一固定手柄1700，其用於將該上蓋1300之導熱部件1310在接觸該檢測物W時，將上蓋1300能夠鎖固於該本體部1100上，以確保該檢測物W能夠完全接觸到該探針1112之底面，以及該導熱部件1310能夠完全貼合於該檢測物W之頂面。

請參閱圖1至圖3所示，為了使該檢測部1110之探針1112能夠進行排熱，本發明採用熱對流的方式進行該複數個探針1112的排熱，也就是在該測試插座1000之本體部1100的兩側以朝向內部配置一流體通道1130。該流體通道1130是以延伸通過該檢測部1110之該複數個探針1112的一部分的方式，與該測試插座1000之外部相通。以另一角度來說明，該流體通道1130的配置位置是相對於該複數個探針1112的一部份的位置所界定，從而以該複數個探針1112的一部份的位置朝向該本體部1100的外部開設通道以形成一流體通道1130。

具體而言，流體通道1130延伸於本體部1100的相對兩側之間且與本體部1100的容置空間1200連通。當檢測部1110容置於本體部1100的容置空間1200，檢測部1110的第一通道1113的兩端開口和本體部1100的流體通道1130的兩端開口相對應，使得檢測部1110的第一通道1113與本體部1100的流體通道1130相互連通。在可能的實施例中，檢測部1110的第一通道1113的兩端開口和本體部1100的流體通道1130的兩端開口可為不相對應的配置，但仍可維持兩者流體連通。

請參考圖3所示，該檢測部1110之第一通道1113至該本體部1100的一側面之流體通道1130開口處定義為一第二通道1130A，相同地，該檢測部1110 之第一通道1113至該本體部1100的另一相對側面之流體通道1130開口處定義為一第三通道1130B。第二通道1130A、第三通道1130B與第一通道1113在同一個平面上相通形成如板形狀的橫向通道。在其他實施例中，所述橫向通道可以是於該本體部1100之相鄰接的兩個側面之間延伸。或者，於該本體部1100的一側面與本體部1100的底面之間可延伸有與橫向通道連通的一縱向通道，使氣流有縱向流動的可能。據此可知，上述各種實施例為舉例說明流體通道1130的可能配置，但本發明不以此為限制。本發明較佳的實施方式為以如板形狀的橫向通道進行配置，從而配合後續說明的流體輸送部件1900設置在載板3000上，以達到整體排熱的配置。除此之外，處於具有第一通道1113之檢測部1110的實施方式下，橫向通道是由第二通道1130A、第三通道1130B與第一通道1113所界定。

另外，當使用者沿著該流體通道1130的兩開口之間延伸方向觀看時，該複數個探針1112的一部分是位於且暴露於該流體通道1130內。具體來說，所述的複數個探針1112的一部分為非用以接觸檢測物W之探針1112的部位，例如每個探針1112之中段。在其他實施例中，所述的複數個探針1112的一部分也可為全部複數個探針1112中的一部份探針，也就是除了位於該流體通道1130中的複數個探針1112外，其餘的複數個探針1112仍為埋沒於前述檢測部1110中，從而將本發明之特徵適實現於各種可拆卸的檢測部1110的實施方式中。

為了加強熱對流進行該複數個探針1112的排熱，請參閱圖5之流體輸送部件1900的立體圖。本發明更配置有流體輸送部件1900，其基本上是由一頂側、一底側及四個側面所定義而成，該流體輸送部件1900具有位於其中一側面的一開口1910，該開口1910的大小以及形狀是對應前述之流體通道1130的兩端開口所設計；該流體輸送部件1900位於頂側具有一扇葉1920，可根據該流體輸送部件1900的運作條件，將流體自頂側導入或導出，以及複數個固接孔1930，用以將流體輸送部件1900固接於該載板3000上。

請參閱圖6之提供有一對流體輸送部件1900的測試插座的立體圖。圖7之具有流體輸送部件的測試插座的另一立體圖。如圖6至7所示，該測試插座1000的兩側設置，也是流體通道1130的兩側，提供有相同於前述圖5之該對流體輸送部件1900。該對流體輸送部件1900具有一流體導入部件1900A用於導入流體，以及一流體導出部件1900B用於導出流體。該流體導入部件1900A平行地且對應於該流體通道1130的位置設置於該測試插座1000的一側面，使流體導入部件1900A的開口對應第二通道1130A。同樣地，該流體導出部件1900B平行地且對應於該流體通道1130的位置設置於該測試插座1000的另一相對側面，使流體導出部件1900B的開口對應第三通道1130B。

接上述，請回到圖3所示，該流體導入部件1900A之第一開口1910A是以對應第二通道1130A且緊貼著該本體部1100的一側面的方式設置在載板3000上，而該流體導出部件1900B之第二開口1910B是以對應第三通道1130B，但隔有一間隙G的距離至該本體部1100的另一相對側面的方式設置在載板3000上。如此設置間隙G可以預防高溫流體經過該流體導出部件1900B之第二開口1910B或第三通道1130B時，會因第二開口1910B與第三通道1130B之連接處的體積膨脹進而導致結構上的破損，也可使一部份高溫流體從該間隙G排出以減少高溫流體在該流體導出部件1900B所產生的積熱。同樣的原理，該流體導入部件1900A之第一開口1910A緊貼著第一通道1130A設置是可以防止低溫流體洩漏，使低溫流體能夠完全的進入橫向通道(即第一通道1113、第二通道1130A、第三通道1130B及)內將探針1112的積熱排出。

請參考圖8之顯示具有流體輸送部件的測試插座的剖視圖，其中箭頭標示為流體流動的方向，當測試插座1000開始針對複數個探針1112進行排熱時，首先，低溫流體會藉由流體導入部件1900A導入，該低溫流體經由流體導入部件1900A之第一開口1910A進入本體部1100的第二通道1130A，再由第二通道 1130A通向第一通道1113，並在複數個探針1112區域吸收熱量而形成高溫流體，該高溫流體經由第一通道1113流向第三通道1130B，高溫流體之一小部分會在第三通道1130B與第二開口1910B之間的間隙G溢出，而高溫流體之主要部分會進入流體導出部件1900B之第二開口1910B，最終由流體導出部件1900B導出。

以下說明本發明測試插座1000之第二實施例，圖9係顯示測試插座中檢測部之第二實施例的立體圖；圖10係顯示測試插座中檢測部之第二實施例的側視圖。應了解，第二實施例之檢測部可以類似的手段容置在前述本體部中1100。如圖所示，該檢測部1110配置有複數個探針1112。其中探針1112的頂端用於電性接觸連接檢測物W的一底端，探針1112的底端用於電性連接至前述載板3000的電路。該檢測部1110配置有一殼體1111，該殼體1111基本上由一用於放置檢測物W的一下半部，以及由該下半部向上凸起所形成定位該檢測物W的一上半部所定義，且該殼體1111的上半部以及下半部以一體成型的方式所配置。其中該殼體1111的一對側邊具有對應彼此位置的一對凹口1114，該對凹口1114之間形成如前述第一實施例功能相同的一第一通道1113(燒機測試時，由於檢測物W設置於該殼體1111中，使相對於殼體1111的頂側形成封閉狀態)，讓空氣可以流動於該第一通道1113之中。在此實施方式中，該檢測部1110更配置有一用於輔助定位該檢測物W的浮動板(floating plate)1115以可動的方式收容於該殼體1111的上半部之中，使浮動板115可相對於殼體1111微幅擺動，以緩衝檢測物W的一下壓力。所述第一通道1113界定於浮動板1115的下表面和殼體1111的下半部的上表面之間。具體而言，浮動板1115與殼體1111之間可提供有支撐和間隔元件，使浮動板1115下表面不與殼體1111貼合。如請參考圖10，該浮動板1115之底部配置有彈性部1116，使該浮動板1115能以一間隔而彈性接觸該殼體1111上，如此配置該浮動板1115於該殼體1111時，該第一通道1113是由該浮動板1115的底部與該對凹口 1114的底部所定義。此不同於前述圖4第一實施例的一體成形檢測部。在第二實施例中，以側面方向觀看時，該探針1112之頂部部分係暴露於該第一通道1113內。

圖11係顯示提供有流體輸送部件的測試插座之第二實施例的立體圖、圖12係顯示具有對流的測試插座之第二實施例的剖視圖。如圖所示，該測試插座1000的兩側設置，也是流體通道1130的兩側，提供有相同於前述圖5之該對流體輸送部件1900。該對流體輸送部件1900具有一流體導入部件1900A用於導入流體，以及一流體導出部件1900B用於導出流體。該流體導入部件1900A平行地且對應於該流體通道1130的位置設置於該測試插座1000的一側面，使流體導入部件1900A的開口對應第二通道1130A。與第一實施例不同的差異在於，第二實施例的該流體導出部件1900B是對應於該測試插座1000的另一相對側面垂直設置於載板3000上，如此設置方式，可以更方便的安裝於載板3000上，且不用刻意地將第一實施例的該流體導出部件1900B之第二開口1910B對應第三通道1130B來進行設置。

圖13係顯示提供有流體輸送部件的測試插座之第二實施例的剖視圖，其中標示有流體流動的方向。如圖所示，流體導入部件1900A為了將低溫流體能完全導入該測試插座1000內部，較佳的配置方式為相同於第一實施例，使流體導入部件1900A的第一開口1910A緊貼於該測試插座1000的第二通道1130A，該低溫流體經由第二通道1130A導入該第一通道1113，並在暴露於通道1113中的複數個探針1112的頂部區域吸收熱量而形成高溫流體。該高溫流體經由第一通道1113流向第三通道1130B，並由第三通道1130離開該測試插座1000。在該流體導出部件1900B垂直設置於載板3000的配置下，該流體導出部件1900B除了可以將該高溫流體導出進行散熱，更可以同時將頂部散熱鰭片組1500的積熱進行散熱。最終如圖所示，該流體導出部件1900B將頂部散熱鰭片組1500的積熱及由第三通道1130離開的高溫流體向上排出。除此之外，由於該流體導出部件1900B與該測試 插座1000之間可具有適當間隙G，該流體導出部件1900B可以改變設置的方向，進而調整高溫流體的導出方向，以方便在如圖14上的燒機測試板中調整各測試插座之間的對流，以致使燒機測試下的散熱效率最佳化。請參閱圖14之裝設有複數個測試插座之燒機測試板的示意圖，如圖所示，該複數個測試插座1000(連同流體輸送部件1900)以陣列方式並排設置於該燒機測試板2000(母板)上，其中於載板3000(子板)上配置測試插座1000為一種實施方式，但也可以省略載板3000，直接地將測試插座1000連同流體輸送部件1900安裝該燒機測試板2000。在前述測試插座1000的流體輸送部件1900可以根據設計需求而以其他不同的形式安裝在測試插座1000的側邊，從而使燒機測試板中各測試插座之間的對流最佳化。同樣地，如圖13以上述第二實施例之複數個具有流體輸送部件的測試插座設置在該燒機測試板上，該測試插座在之流體導出部件1900B將高溫流體向上排出的方式，較不會影響其所緊鄰的測試插座的流體導入部件1900A所導入的低溫流體，從而使燒機測試板中各測試插座之間的對流較佳化。

以上本發明實施例之流體是以對流的方式來排熱進行說明，但熟知此技術領域的人也可以利用液體冷卻來替代氣體冷卻，例如本發明之流體輸送部件1900可以是風扇，也可以是液冷散熱器，藉由輸入及輸出冷卻液至測試插座1000之流體通道1130進行排熱，更可以以浸沒式冷卻的方式，將具有流體通道1130之測試插座1000浸沒於冷卻液中進行排熱。

需注意的是，本發明所提之前述實施例係僅用於例示說明本發明，而非用於限制本發明之範圍。熟習本發明所屬技術領域中具通常技藝之人對於本發明所進行之諸般修飾和變化皆不脫離本發明之精神與範疇。不同實施例中相同或相似的構件、或不同實施例中以相同元件符號表示的構件係具有相同的物理或化學特性。此外，在適當的情況下，本發明之上述實施例係可互相組合或替換，而非僅限於上文所描述的特定實施例。在一實施例中所描述的特定構件 與其他構件的連接關係亦可應用於其他實施例中，其皆落於本發明如附申請專利範圍之範疇。

1000:測試插座

1100:本體部

1111:殼體

1112:探針

1113:第一通道

1130:流體通道

1130A:第二通道

1130B:第三通道

1200:容置部

1300:上蓋

1310:導熱部件

1500:頂部散熱鰭片組

1600:底部散熱鰭片組

1700:固定手柄

1900A:流體導入部件

1900B:流體導出部件

1910A:第一開口

1910B:第二開口

3000:載板

G:間隙

W:檢測物

Claims (12)

1. 一種提供有對流的測試插座，包括：一本體部，具有：一容置空間，配置為收容一檢測物；一檢測部，配置於該容置空間，該檢測部具有：一殼體，配置有貫穿該殼體的一第一通道；複數個探針，穿設於該殼體，以接觸該檢測物之底側進行檢測，以及該探針之一部分係暴露於該第一通道內；一上蓋，配置於本體部之頂側，該上蓋具有：一導熱部件，配置為可接觸該檢測物之頂側；其中，該本體部的一側面穿設有一第二通道，且該側面的另一相對側面穿設有一第三通道，該第一通道、該第二通道與該第三通道相連形成一流體通道。
2. 如請求項1之測試插座，其中暴露於該第一通道的該複數個探針的一部分位於該流體通道的兩端開口之間。
3. 如請求項1之測試插座，其中該本體部的周圍提供有一流體導入部件以及一流體導出部件，其中該流體導入部件流體連通該第二通道，該流體導出部件流體連通該第三通道。
4. 如請求項3之測試插座，其中：該流體導入部件更具備一第一開口，流體連通該第二通道；該流體導出部件更具備一第二開口，流體連通該第三通道。
5. 如請求項3之測試插座，其中該流體導入部件、該流體導出部件、該第二通道與該第三通道都位在一載板的頂側。
6. 如請求項3之測試插座，其中該流體導出部件與相對於該本體部之具有該第三通道的側面之間具有一間隙。
7. 一種提供有對流的測試插座，包括：一本體部，具有：一容置空間，配置為收容一檢測物；一檢測部，配置於該容置空間，該檢測部配置有複數個探針以接觸該檢測物之底側進行檢測；一上蓋，配置於該本體部之頂側，該上蓋具有：一導熱部件，配置為可接觸該檢測物之頂側；其中，該本體部的一側面和該側面的另一相對側面之間穿設有一流體通道，且該流體通道通過該檢測部及複數個探針之一部分。
8. 一種燒機測試板，包括：複數個測試插座，每一個測試插座包括：一本體部，具有：一容置部，配置為收容一檢測物；一檢測部，配置有複數個探針以接觸該檢測物之底側進行檢測；一上蓋，具有：一導熱部件，配置為接觸該檢測物之頂側；其中，該本體部的一側面開設有一第一通道，且對應該側面的另一側面開設有對應該第一通道的一第二通道，該第一通道與第二通道相通形成一流體通道，該流體通道延伸通過該檢測部的該等探針之一部分；一流體導入部件，流體連通該第一通道；以及一流體導出部件，流體連通該第二通道。
9. 一種具有對流的測試插座的製造方法，包含： 提供一測試插座，該測試插座配置有具有複數個探針的一檢測部；從該測試插座的兩側朝向內部配置一流體通道，該流體通道以通過該檢測部的複數個探針的一部分的方式，與該測試插座之外部相通；提供一流體導入部件，配置於該流體通道的一端，該流體導入部件用以將流體導入從該端導入；提供一流體導出部件，配置於該流體通道的另一端，該流體導出部件用以將流體從該另一端導出。
10. 一種提供有對流的測試插座，該測試插座配置於一載板上用於容置一檢測物，其特徵在於：該測試插座具有用於在該檢測物和該載板之間傳遞測試訊號的複數個探針，一流體通道貫穿該測試插座，使該複數個探針的至少一部份暴露於該流體通道，藉此使該複數個探針於一測試程序中產生的熱得以經由該流體通道之對流而自該測試插座排除。
11. 如請求項10之測試插座，更提供有一或多個流體輸送部件，該一或多個流體輸送部件配置於該測試插座的周圍用於促進該流體通道之對流。
12. 如請求項11之測試插座，其中該一或多個流體輸送部件包含一流體導入部件及一流體導出部件，分別配置於該流體通道的兩端以建立一單向對流。

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