TWI899239B - 夾持具及夾持具單元 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種有助於提升刻劃輪相對於夾持具的位置的穩定性之夾持具及夾持具單元。夾持具包括支撐用以支撐刻劃輪的銷D10之支撐部200。支撐部200係包括以限制銷D10向下移動的方式支撐銷D10的下部D30之下部支撐部400，以及在銷D10與下部支撐部400分離的狀態中以限制銷D10向下移動的方式支撐銷D10的上部D20之上部支撐部300。

Description

夾持具及夾持具單元

本發明係有關一種夾持具及夾持具單元。

刻劃裝置係被用在脆性材料基板等之被加工物的刻劃加工上。刻劃裝置係將刻劃輪(scribing wheel)掃行(scanning)於被加工物，以在被加工物形成刻劃道(scribe line)。於發明專利文獻1中揭示了習知技術的刻劃裝置之一示例。 〔先前技術文獻〕 〔發明專利文獻〕

〔發明專利文獻1〕日本特開第2002-234748號公報。 〔發明所欲解決之課題〕

在刻劃加工時之刻劃輪相對於夾持具的位置不穩定的情況下，則有降低被刻劃加工之被加工物的品質之疑慮。

本發明的目的係在於提供提升刻劃輪相對於夾持具的位置之穩定性的夾持具及夾持具單元。 〔解決課題之技術手段〕

本發明的夾持具係包括支撐用以支撐刻劃輪的銷之支撐部。前述支撐部係包括以限制前述銷向下移動的方式支撐前述銷的下部之下部支撐部，以及在前述銷與前述下部支撐部分離的狀態中以限制前述銷向下移動的方式支撐前述銷的上部之上部支撐部。

根據上述夾持具，在刻劃輪與被加工物接觸並且於上方向刻劃輪及銷施加負載的情況下，銷係被上部支撐部支撐。在銷被上部支撐部支撐的狀態中，銷相對於夾持具的位置不易變化，提升刻劃輪相對於夾持具的姿勢之穩定性。

於前述夾持具的一示例中，前述上部支撐部係包括在前述銷與前述下部支撐部分離的狀態中包夾前述銷的上部支撐面。

根據上述夾持具，係使銷得以適當地被上部支撐部支撐。

於前述夾持具的一示例中，前述上部支撐面係包括斜面。

根據上述夾持具，係使銷得以適當地被上部支撐部支撐。

於前述夾持具的一示例中，前述上部支撐面的傾斜角度係涵蓋在20°以上且80°以下的範圍。

根據上述夾持具，係使銷得以適當地被上部支撐部支撐。

於前述夾持具的一示例中，前述銷的上部與前述上部支撐部的接觸角度係涵蓋在100°以上且未滿180°的範圍。

根據上述夾持具，係使銷得以適當地被上部支撐部支撐。

於前述夾持具的一示例中，前述接觸角度係涵蓋在120°以上且150°以下的範圍。

根據上述夾持具，係使銷得以適當地被上部支撐部支撐。

於前述夾持具的一示例中，前述支撐部係進一步包括設置在相對於前述銷之上方的撤離部。前述撤離部係在前述銷被前述上部支撐部支撐的狀態時，以與在前述銷的上部中的較與前述上部支撐部接觸的部分還上方的部分之間形成空間的方式所構成。

根據上述夾持具，在銷的上部中的較與上部支撐部接觸的部分還上方的部分係不易與夾持具接觸。

於前述夾持具的一示例中，被前述上部支撐部支撐的前述銷與前述撤離部之間的間隔係寬於被前述上部支撐部支撐的前述銷與前述下部支撐部之間的間隔。

根據上述夾持具，在銷的上部中的較與上部支撐部接觸的部分還上方的部分係不易與夾持具接觸。

本發明之夾持具單元係具備夾持具、刻劃輪以及銷。前述夾持具係包括支撐用以支撐前述刻劃輪的銷之支撐部。前述支撐部係包括以限制前述銷向下移動的方式支撐前述銷的下部之下部支撐部，以及在前述銷與前述下部支撐部分離的狀態中以限制前述銷向下移動的方式支撐前述銷的上部之上部支撐部。

根據上述夾持具單元，在刻劃輪與被加工物接觸並且於上方向刻劃輪及銷施加負載的情況下，銷係被上部支撐部支撐。在銷被上部支撐部支撐的狀態中，銷相對於夾持具的位置不易變化，提升刻劃輪相對於夾持具的姿勢之穩定性。 〔發明之功效〕

根據本發明之夾持具及夾持具單元，係提升刻劃輪相對於夾持具的姿勢之穩定性。

(第一實施態樣) 於圖1、圖2所示的刻劃頭A10係被使用在被加工物的刻劃加工。被加工物係例如基板。基板係例如脆性材料基板。脆性材料基板係可列舉例如玻璃(glass)基板、陶瓷(ceramics)基板、矽(silicon)基板、化合物半導體基板、藍寶石(sapphire)基板以及石英(quartz)基板。陶瓷基板係可列舉例如低溫燒結陶瓷(low-temperature firing ceramics)以及高溫燒結陶瓷。

刻劃頭A10係內建於用以對被加工物進行刻劃加工之刻劃加工裝置中。於一示例中，刻劃加工裝置係具備掃行裝置以及刻劃頭A10。刻劃頭A10係被安裝於掃行裝置。掃行裝置係以能夠任意地變更刻劃頭A10相對於被加工物之位置的方式所構成。於一示例中，掃行裝置係包括第一掃行部以及第二掃行部中之至少一者。第一掃行部係用以變更相對於被加工物之被加工面呈平行的方向上之刻劃頭A10的位置。第二掃行部係用以變更相對於被加工物之被加工面呈垂直的方向上之刻劃頭A10的位置。

刻劃頭A10係具備基座A11、連接構造A20、夾持具接頭保持具A12以及夾持具組合A30。基座A11係被安裝於掃行裝置。以下係例示基座A11與掃行裝置的關係。於第一示例中，基座A11係被安裝在掃行裝置的第一掃行部。於第二示例中，基座A11係被安裝在掃行裝置的第二掃行部。夾持具接頭保持具A12係經由連接構造A20而被安裝於基座A11。以下係例示連接構造A20的結構。於第一示例中，連接構造A20係以夾持具接頭保持具A12能夠相對於基座A11移動至預定方向的方式使夾持具接頭保持具A12連接於基座A11。預定方向係包括例如相對於被加工物的被加工面呈垂直的方向以及相對於被加工物的被加工面呈平行的方向中之至少一者。於第二示例中，連接構造A20係以夾持具接頭保持具A12無法相對於基座A11移動的方式使夾持具接頭保持具A12連接於基座A11。

圖1、圖2係顯示第一示例的連接構造A20。連接構造A20係包括軌道(rail)A21以及滑動件(slider)A22。軌道A21係被安裝於基座A11以及夾持具接頭保持具A12的一方。滑動件A22係被安裝於基座11以及夾持具接頭保持具A12的另一方。於圖式所示的示例中，軌道A21係被安裝於基座A11。滑動件A22係被安裝於夾持具接頭保持具A12。連接構造A20係容許例如相對於被加工物的被加工面呈垂直的方向上之基座11與夾持具接頭保持具A12的相對移動。

夾持具接頭保持具A12係以能夠選擇保持夾持具組合A30的狀態與不保持夾持具組合A30的狀態之方式所構成。夾持具組合A30係具備夾持具接頭B10以及夾持具單元10。夾持具接頭B10係支撐夾持具單元10，並且以能夠相對於夾持具接頭保持具A12裝卸的方式構成。夾持具單元10係包括夾持具100、刻劃輪C10以及銷D10。夾持具100係被結合至夾持具接頭B10。銷D10係被夾持具100支撐。刻劃輪C10係以能夠相對於夾持具100旋轉的方式被銷D10支撐。夾持具單元10係經由夾持具接頭B10而被結合至夾持具接頭保持具A12。

刻劃頭A10係進一步具備負載調節部A40。負載調節部A40係用以調節將刻劃輪C10按壓於被加工物的力。負載調節部A40係包括致動器(actuator)A41以及支架(bracket)A42。支架A42係被安裝於基座A11。致動器A41係被安裝於支架A42。致動器A41係將例如夾持具接頭保持具A12、被安裝於夾持具接頭保持具A12的軌道A21、或是被安裝於夾持具接頭保持具A12的滑動件A22朝向被加工物按壓。致動器A41係可列舉例如動力缸(power cylinder)、螺線管(solenoid)、電動機(electric motor)、伺服馬達(servomotor)以及線性致動器(linear actuator)。動力缸係可列舉例如油壓缸(oil hydraulic cylinder)、氣壓缸(pneumatic cylinder)、液壓缸(hydraulic cylinder)以及電動缸(electric cylinder)。

如圖3、圖4所示，刻劃輪C10係包括內周部C20以及刀刃部C30。刻劃輪C10之基本構造係可列舉例如第一構造以及第二構造。於第一構造中，包含有內周部C20及刀刃部C30的刻劃輪C10之整體係由單一的高硬度材料所形成。於第二構造中，刻劃輪C10係包括由高硬度材料所形成之內周部C20以及由與內周部C20不同之高硬度材料所形成之刀刃部C30。作為高硬度材料係可列舉例如超硬合金、多晶鑽石以及單晶鑽石。多晶鑽石係例如鑽石燒結體(Poly-Crystalline Diamond，簡稱PCD)、或奈米多晶鑽石(Nano-Polycrystalline Diamond，簡稱NPD)。

內周部C20係圍繞刻劃輪C10的中心軸LW而設置。以下，將沿著中心軸LW的方向稱為刻劃輪C10的軸方向。作為刻劃輪C10之中心面的中心面C11係以在刻劃輪C10的軸方向上通過刻劃輪C10的中心，並且正交於中心軸LW的方式所界定。刻劃輪C10係相對於中心面C11呈對稱或非對稱。於圖3所示的例中，刻劃輪C10係相對於中心面C11呈對稱。

在圖3所示的刻劃輪C10之側面視角下，內周部C20的形狀係環狀。刀刃部C30係相對於內周部C20設置於刻劃輪C10之直徑方向的外側。刀刃部C30係構成刻劃輪C10的刀片。在刻劃輪C10之側面視角下，刀刃部C30的形狀係環狀。刀刃部C30的厚度係隨著朝向刻劃輪C10之直徑方向的外側而變薄。在刀刃部C30的前端係形成有相當於刻劃輪C10之圓周的稜線C31。

內周部C20係包括側面C21、內周面C22、貫穿孔C23以及倒角C24。側面C21係相對於中心面C11呈平行。在側面C21的外周與刀刃部C30之間形成有邊界部C40。邊界部C40係在側面C21與刀刃部C30的外面之間所形成之邊緣或與此相當之部分。內周面C22係界定貫穿孔C23。貫穿孔C23係在沿著刻劃輪C10的軸方向上貫穿內周部C20。貫穿孔C23係圓形。倒角C24係形成於貫穿孔C23的周圍。

圖5係顯示夾持具100的一示例。在有關夾持具100的說明上，係使用例如直角(笛卡兒)座標系統。X軸係平行於夾持具100的寬度方向。Y軸係平行於夾持具100的前後方向。Z軸係平行於夾持具100的上下方向。X軸和Y軸係界定第一基準面。X軸和Z軸係界定第二基準面。Y軸和Z軸係界定第三基準面。

夾持具100係具備本體部110以及支撐部200。本體部110係經由夾持具接頭B10而連結至夾持具接頭保持具A12。支撐部200係以使刻劃輪C10相對於夾持具100旋轉的方式來支撐刻劃輪C10。

支撐部200係包括第一支撐部200A以及第二支撐部200B。第一支撐部200A係設置於在夾持具100的寬度方向上遠離夾持具100的中心軸LH之一方的位置。第二支撐部200B係設置於在夾持具100的寬度方向上遠離夾持具100的中心軸LH之另一方的位置。

在夾持具100的寬度方向上，第一支撐部200A與第二支撐部200B係彼此隔開距離而設置。在第一支撐部200A與第二支撐部200B之間形成有輪配置空間101。輪配置空間101係以能夠配置刻劃輪C10的方式來形成。

銷D10的形狀係例如圓柱形。銷D10係包括第一端部D11、第二端部D12以及中間部D13。第一端部D11及第二端部D12係被支撐部200支撐。中間部D13係在沿著銷D10的中心軸之方向上設置於第一端部D11與第二端部D12之間。中間部D13係支撐刻劃輪C10。銷D10與刻劃輪C10的配合(fit)係例如間隙配合(clearance fit)。銷D10的外周面D14係與支撐部200及刻劃輪C10接觸。

支撐部200係設置於在夾持具100的上下方向上相對於本體部110的下方。以下係例示本體部110與支撐部200之間的關係。於第一示例中，本體部110與支撐部200係形成為單一物體。於第二示例中，係結合個別形成的本體部110與支撐部200。

支撐部200的表面210係包括例如內側面211、外側面212以及底面213。內側面211係朝向夾持具100的寬度方向之中心側。內側面211係相對於第三基準面呈平行，或是相對於第三基準面傾斜。外側面212係朝向夾持具100的寬度方向之外側。底面213係朝向夾持具100的上下方向之下方。內側面211、外側面212以及底面213係設置於第一支撐部200A、第二支撐部200B。輪配置空間101係形成於第一支撐部200A的內側面211與第二支撐部200B的內側面211之間。在支撐部200的內側面211與刻劃輪C10的側面C21之間係形成有間隙(clearance)。

支撐部200係包括銷配置空間201以及配置面F10。銷配置空間201係以能夠配置有銷D10的方式來形成。銷配置空間201係與第一支撐部200A、第二支撐部200B同軸地形成。第一支撐部200A的銷配置空間201係以能夠配置有銷D10的第一端部D11的方式來形成。第二支撐部200B的銷配置空間201係以能夠配置有銷D10的第二端部D12的方式來形成。配置面F10係設置於銷配置空間201的周圍。配置面F10係界定銷配置空間201。

銷配置空間201係在支撐部200的內側面211上開口。第一支撐部200A、第二支撐部200B中之至少一者的銷配置空間201係在外側面212上開口。銷D10係經由設置於外側面212的銷配置空間201之開口而插入於銷配置空間201中。

銷配置空間201係相對於第一基準面呈平行，或是相對於第一基準面傾斜。銷配置空間201係相對於第二基準面呈平行，或是相對於第二基準面傾斜。以下係例示銷配置空間201與內側面211之間的關係。於第一示例中，銷配置空間201的中心軸係相對於內側面211呈垂直。於第二示例中，銷配置空間201的中心軸係相對於內側面211傾斜。

支撐部200係包括止脫部220。止脫部220係以配置於銷配置空間201的銷D10並不會經由銷配置空間201的開口而向支撐部200的外部移動的方式所構成。止脫部220係設置於第一支撐部200A、第二支撐部200B中的至少一者。

以下係例示止脫部220的結構。於第一示例中，止脫部220係設置於支撐部200的外部。於第二示例中，止脫部220係設置於銷配置空間201。以下係例示止脫部220與第一支撐部200A、第二支撐部200B之間的關係。於第一示例中，止脫部220係以能夠相對於支撐部200裝卸的方式構成。於第二示例中，止脫部220係透過固定手段而被固定於支撐部200。固定手段係包括例如填隙(caulking)、黏著(adhesive)以及熔接(welding)中之至少一者。

圖6、圖7係顯示出支撐部200的側面視角。在第三基準面上界定了第一基準線L1以及第二基準線L2。第一基準線L1係投影至第三基準面之夾持具100的中心軸LH。第二基準線L2係平行於夾持具100的前後方向，並且通過銷D10的中心軸LP。

銷D10係包括上部D20以及下部D30。上部D20係位於在夾持具100的上下方向上相對於第二基準線L2之上方。下部D30係位於在夾持具100的上下方向上相對於第二基準線L2之下方。

銷D10的上部D20係包括上部前部D20F以及上部後部D20R。上部前部D20F係位於在夾持具100的前後方向上相對於第一基準線L1之前方。上部後部D20R係位於在夾持具100的前後方向上相對於第一基準線L1之後方。

銷D10的下部D30係包括下部前部D30F以及下部後部D30R。下部前部D30F係位於在夾持具100的前後方向上相對於第一基準線L1之前方。下部後部D30R係位於在夾持具100的前後方向上相對於第一基準線L1之後方。

支撐部200係包括上部支撐部300以及下部支撐部400。上部支撐部300以及下部支撐部400係排列在夾持具100的上下方向上。上部支撐部300係設置於在夾持具100的上下方向上相對於下部支撐部400之上方。上部支撐部300係以支撐銷D10的上部D20的方式構成。下部支撐部400係以支撐銷D10的下部D30的方式構成。上部支撐部300以及下部支撐部400係設置於第一支撐部200A、第二支撐部200B中的至少一者。於第一示例中，上部支撐部300以及下部支撐部400係設置於第一支撐部200A、第二支撐部200B中的一者。於第二示例中，上部支撐部300以及下部支撐部400係設置於第一支撐部200A、第二支撐部200B之兩者。

上部支撐部300係在銷D10與下部支撐部400分離的狀態中以限制銷D10向下移動的方式支撐銷D10的上部D20。上部支撐部300係包括上部支撐面F20。上部支撐面F20係包含在配置面F10中。上部支撐面F20係設置於在配置面F10當中的上方。上部支撐面F20係與銷D10的上部D20之外周面D14接觸。將與在上部D20的外周面D14中之上部支撐面F20接觸的部分稱為上部接觸部D20T。

上部支撐面F20係以例如包夾銷D10的上部D20的方式構成。上部支撐面F20係包括上部前方支撐面F20F以及上部後方支撐面F20R。上部前方支撐面F20F係位於在夾持具100的前後方向上相對於夾持具100的中心軸LH之前方。上部前方支撐面F20F係例如斜面或曲面。上部後方支撐面F20R係位於在夾持具100的前後方向上相對於夾持具100的中心軸LH之後方。上部後方支撐面F20R係例如斜面或曲面。上部前方支撐面F20F係與銷D10的上部前部D20F之上部接觸部D20T接觸。上部後方支撐面F20R係與銷D10的上部後部D20R之上部接觸部D20T接觸。上部前方支撐面F20F以及上部後方支撐面F20R係在夾持具100的前後方向上包夾銷D10的上部D20。

下部支撐部400係在銷D10與上部支撐部300分離的狀態中以限制銷D10向下移動的方式支撐銷D10的下部D30。下部支撐部400係包括下部支撐面F30。下部支撐面F30係包含在配置面F10中。下部支撐面F30係設置於在配置面F10當中的下方。下部支撐面F30係與銷D10的下部D30之外周面D14接觸。將與在下部D30的外周面D14中之下部支撐面F30接觸的部分稱為下部接觸部D30T。

下部支撐面F30係以例如包夾銷D10的下部D30的方式構成。下部支撐面F30係包括下部前方支撐面F30F以及下部後方支撐面F30R。下部前方支撐面F30F係位於在夾持具100的前後方向上相對於夾持具100的中心軸LH之前方。下部前方支撐面F30F係例如斜面或曲面。下部後方支撐面F30R係位於在夾持具100的前後方向上相對於夾持具100的中心軸LH之後方。下部後方支撐面F30R係例如斜面或曲面。下部前方支撐面F30F係與銷D10的下部前部D30F之下部接觸部D30T接觸。下部後方支撐面F30R係與銷D10的下部後部D30R之下部接觸部D30T接觸。下部前方支撐面F30F以及下部後方支撐面F30R係在夾持具100的前後方向上包夾銷D10的下部D30。

支撐部200係包括與上部支撐部300對應之撤離部230。撤離部230係設置於在夾持具100的上下方向上相對於銷D10之上方。撤離部230係設置於在夾持具100的上下方向上的上部支撐部300之上方。撤離部230係在銷D10被上部支撐部300支撐的狀態時，以與在銷D10中的較上部接觸部D20T還上方的部分之間形成空間的方式構成。撤離部230係包括相對面F40。相對面F40係包含在配置面F10。相對面F40係例如平面或曲面。撤離部230係在銷D10被上部支撐部300支撐的狀態時，以與在銷D10中的較上部接觸部D20T還上方的部分及相對面F40之間形成空間的方式構成。

由支撐部200支撐銷D10的支撐狀態(以下稱為「銷支撐狀態」) 係包括例如第一銷支撐狀態以及第二銷支撐狀態。第一銷支撐狀態係銷D10被上部支撐部300支撐的狀態。第二銷支撐狀態係銷D10被下部支撐部400支撐的狀態。

圖6係顯示第一銷支撐狀態的一示例。在第一銷支撐狀態中，上部支撐面F20係與銷D10的上部D20接觸。上部前方支撐面F20F係與銷D10的上部前部D20F之上部接觸部D20T接觸。上部後方支撐面F20R係與銷D10的上部後部D20R之上部接觸部D20T接觸。在銷D10的上部接觸部D20T與上部支撐部300之間產生摩擦力。銷D10的上部D20係被上部支撐部300支撐。銷D10的下部D30與下部支撐部400之間形成間隙GB。

在第一銷支撐狀態下，銷D10相對於夾持具100的移動受到限制。銷D10在夾持具100的上下方向上朝向相對於夾持具100之上方或下方的移動受到限制。銷D10在夾持具100的前後方向上朝向相對於夾持具100之前方或後方的移動受到限制。在負載施加到銷D10的情況下，銷D10相對於夾持具100不易移動。

以下係例示在第一銷支撐狀態下在夾持具100的上下方向上的支撐部200與銷D10之間的間隔。於第一示例中，撤離部230與銷D10的上部D20之間的間隔係寬於下部支撐部400與銷D10的下部D30之間的間隔。於第二示例中，撤離部230與銷D10的上部D20之間的間隔係窄於下部支撐部400與銷D10的下部D30之間的間隔。於第三示例中，撤離部230與銷D10的上部D20之間的間隔係等於下部支撐部400與銷D10的下部D30之間的間隔。

在夾持具100的上下方向上的撤離部230與銷D10的上部D20之間的間隔係例如在銷D10中的較上部接觸部D20T還上方的部分與相對面F40之間的間隔。在夾持具100的上下方向上的下部支撐部400與銷D10的下部D30之間的間隔係例如在銷D10中的較下部接觸部D30T還下方的部分與下部支撐面F30之間的間隔。

在刻劃加工時，刻劃輪C10係在被按壓於被加工物的狀態下相對於被加工物進行移動，並且負載施加到刻劃輪C10。施加到在夾持具100的上下方向之上方的負載係經由刻劃輪C10而被傳遞至銷D10。在第一銷支撐狀態下傳遞至銷D10的情況下，銷D10的上部D20係被按壓於上部支撐面F20。銷D10的上部D20與上部支撐面F20之間所產生的摩擦力變大。銷D10的上部D20係被上部支撐部300強力支撐。

圖7係顯示第二銷支撐狀態的一示例。在第二銷支撐狀態下，下部支撐面F30係與銷D10的下部D30接觸。下部前方支撐面F30F係與下部前部D30F接觸。下部後方支撐面F30R係與下部後部D30R接觸。在銷D10的下部接觸部D30T與下部支撐部400之間產生摩擦力。銷D10的下部D30係被下部支撐部400支撐。銷D10的上部D20與上部支撐部300之間形成間隙GA。

在第二銷支撐狀態下，銷D10相對於夾持具100的移動受到限制。銷D10在夾持具100的上下方向上朝向相對於夾持具100之下方的移動受到限制。銷D10在夾持具100的前後方向上朝向相對於夾持具100之前方或後方的移動受到限制。

在第一銷支撐狀態以及第二銷支撐狀態下，銷D10的運動狀態係有改變的情形。運動狀態的改變係可列舉例如第一運動狀態以及第二運動狀態。

在第一運動狀態下，銷D10係相對於夾持具100在夾持具100的上下方向向下或向上移動。當在第一銷支撐狀態下發生第一運動狀態的情況下，銷D10係相對於夾持具100向下移動。銷支撐狀態係由第一銷支撐狀態遷移至第二銷支撐狀態。當在第二銷支撐狀態下發生第一運動狀態的情況下，銷D10係相對於夾持具100向上移動。銷支撐狀態係由第二銷支撐狀態遷移至第一銷支撐狀態。隨著第一銷支撐狀態與第二銷支撐狀態之間的銷支撐狀態之遷移，在銷D10中的上部接觸部D20T或下部接觸部D30T之位置係有改變的情形。

在第二運動狀態下，銷D10係在銷D10被支撐部200支撐的狀態下旋轉。當在第一銷支撐狀態下隨著第一運動狀態之發生而發生第二運動狀態的情況下，銷D10係旋轉。當在第二銷支撐狀態下發生第二運動狀態的情況下，銷D10係在銷D10的下部D30被下部支撐部400支撐的狀態下旋轉。隨著銷D10的旋轉，在銷D10中的上部接觸部D20T或下部接觸部D30T之位置係有改變的情形。

圖5所示的夾持具單元10係以例如下列的方式組裝。刻劃輪C10係配置於支撐部200的輪配置空間101。銷D10係插入於支撐部200的銷配置空間201以及刻劃輪C10的貫穿孔C23。止脫部220設置於支撐部200。

在夾持具單元10完成組裝後不久的狀態下，銷支撐狀態係為例如第二銷支撐狀態。在夾持具單元10使用於刻劃加工的情況下，銷支撐狀態係在刻劃輪C10相對於被加工物開始移動之前被設定為第一銷支撐狀態。

於一示例中，銷支撐狀態係以例如下列的方式被設定為第一銷支撐狀態。第二銷支撐狀態的夾持具單元10之刻劃輪C10係被按壓於預定的對象物。預定的對象物係被加工物或與被加工物不同的物體。在刻劃輪C10係被按壓於預定的對象物的情況下，施加到在夾持具100的上下方向之上方的負載係施加到刻劃輪C10以及銷D10。銷D10係相對於夾持具100在夾持具100的上下方向向上移動，銷D10的上部D20係被按壓於上部支撐面F20。銷支撐狀態係由第二銷支撐狀態遷移至第一銷支撐狀態。

在預定的對象物係與被加工物不同的物體的情況下，在銷支撐狀態被設定為第一銷支撐狀態之後，係為了刻劃加工而進行刻劃頭A10的位置之設定等。

(第二實施態樣) 第二實施態樣的夾持具100係以第一實施態樣為前提而構成。圖8係顯示夾持具100的一示例。

下部支撐部400係包括溝槽部410。溝槽部410係設置於在夾持具100的前後方向之下部支撐部400的前方之部分與下部支撐部400的後方之部分之間。溝槽部410係分別開口於支撐部200的內側面211、外側面212、底面213。溝槽部410係包括溝槽部前方面411以及溝槽部後方面412。溝槽部前方面411係位於在夾持具100的前後方向之相對於夾持具100的中心軸LH之前方。溝槽部後方面412係位於夾持具100的前後方向之相對於夾持具100的中心軸LH之後方。溝槽部前方面411以及溝槽部後方面412係界定溝槽部410的空間。於一示例中，夾持具100的前後方向之溝槽部前方面411與溝槽部後方面412之間的間隔係恆定的。

上部支撐面F20係平面。上部支撐面F20係斜面。在夾持具100之側面視角下，上部支撐面F20係相對於夾持具100的上下方向以及前後方向傾斜。上部前方支撐面F20F係以上部前方支撐面F20F的上部係位於在夾持具100的前後方向上較上部前方支撐面F20F的下部還後方的方式傾斜。上部後方支撐面F20R係以上部後方支撐面F20R的上部係位於在夾持具100的前後方向上較上部後方支撐面F20R的下部還前方的方式傾斜。於一示例中，上部前方支撐面F20F和上部後方支撐面F20R係相對於包括夾持具100的中心軸LH之第二基準面呈對稱。

下部支撐面F30係曲面。在第三基準面上，曲面係為由第三基準面界定的曲率圓之一部分。曲率圓的中心係第一基準線L1與第三基準線L3的交點。第三基準線L3係平行於夾持具100的前後方向。第三基準線L3係通過上部支撐面F20與下部支撐面F30之邊界。

下部前方支撐面F30F係設置於溝槽部410的溝槽部前方面411與上部前方支撐面F20F之間。下部後方支撐面F30R係設置於溝槽部410的溝槽部後方面412與上部後方支撐面F20R之間。以下係例示下部支撐面F30的曲率半徑與銷D10的半徑之間的關係。於第一示例中，下部支撐面F30的曲率半徑係等於銷D10的半徑。於第二示例中，下部支撐面F30的曲率半徑係長於銷D10的半徑。

撤離部230的相對面F40係平行於夾持具100的前後方向的平面。相對面F40係設置於在夾持具100的前後方向之上部前方支撐面F20F與上部後方支撐面F20R之間。相對面F40和上部支撐面F20係經由曲面而相連接。

在夾持具100的上下方向上的撤離部230與銷D10的上部D20之間的間隔係大於在夾持具100的上下方向上的下部支撐部400與銷D10的下部D30之間的間隔。撤離部230與銷D10的上部D20之間的間隔係例如在第一基準線L1上的相對面F40與銷D10的上部D20的外周面D14之間的間隔。下部支撐部400與銷D10的下部D30之間的間隔係例如下部支撐面F30的下緣與銷D10的下部D30的外周面D14之間的間隔。

以下係說明有關上部支撐面F20的傾斜角度(以下稱為「上部傾斜角度PA」)。在第三基準面上界定了第一直線M1以及第二直線M2。第一直線M1係平行於上部前方支撐面F20F。第二直線M2係平行於上部後方支撐面F20R。上部傾斜角度PA係第一直線M1與第二直線M2所成的角度。第一直線M1與第二直線M2的交點係位於在夾持具100的上下方向上較第三基準線L3還上方。上部傾斜角度PA係例如大於0°。

上部傾斜角度PA係包括上部前方支撐面F20F的傾斜角度(以下稱為「上部前方傾斜角度PAF」)以及上部後方支撐面F20R的傾斜角度(以下稱為「上部後方傾斜角度PAR」)。上部傾斜角度PA係上部前方傾斜角度PAF與上部後方傾斜角度PAR之和。上部前方傾斜角度PAF係第一基準線L1與第一直線M1所成之角度。上部後方傾斜角度PAR係第一基準線L1與第二直線M2所成之角度。第一基準線L1與第一直線M1以及第二直線M2的交點係位於在夾持具100的上下方向上較第三基準線L3還上方。

在上部前方支撐面F20F係平行於第二基準面的情況下，上部前方傾斜角度PAF係0°。上部前方傾斜角度PAF越大，上部傾斜角度PA也越大。在上部後方支撐面F20R係平行於第二基準面的情況下，上部後方傾斜角度PAR係0°。上部後方傾斜角度PAR越大，上部傾斜角度PA也越大。

以下係例示上部前方傾斜角度PAF與上部後方傾斜角度PAR之間的關係。於第一示例中，上部前方傾斜角度PAF係等於上部後方傾斜角度PAR。於第二示例中，上部前方傾斜角度PAF係大於上部後方傾斜角度PAR。於第三示例中，上部前方傾斜角度PAF係小於上部後方傾斜角度PAR。

以下係說明有關銷D10的上部D20與上部支撐部300的接觸角度(以下稱為「上部接觸角度QA」)。在第三基準面上界定了第三直線M3以及第四直線M4。第三直線M3係通過銷D10的中心軸LP以及上部前部D20F的上部接觸部D20T。第四直線M4係通過銷D10的中心軸LP以及上部後部D20R的上部接觸部D20T。上部接觸角度QA係第三直線M3與第四直線M4所成之角度。上部接觸角度QA係例如未滿180°。

上部接觸角度QA係包括與上部前方支撐面F20F對應之上部接觸角度(以下稱為「上部前方接觸角度QAF」)以及與上部後方支撐面F20R對應之上部接觸角度(以下稱為「上部後方接觸角度QAR」)。上部接觸角度QA係上部前方接觸角度QAF與上部後方接觸角度QAR之和。上部前方接觸角度QAF係第一直線M1與第三直線M3所成之角度。上部後方接觸角度QAR係第一直線M1與第四直線M4所成之角度。

在銷D10的上部D20的外周面D14中的上部前部D20F之上部接觸部D20T的位置係在第三基準線L3上的情況下，上部前方接觸角度QAF係90°。銷D10的上部D20的外周面D14中的上部前部D20F的上部接觸部D20T之位置越接近第一基準線L1，上部前方接觸角度QAF越小。

在銷D10的上部D20的外周面D14中的上部後部D20R之上部接觸部D20T的位置係在第三基準線L3上的情況下，上部後方接觸角度QAR係90°。銷D10的上部D20的外周面D14中的上部後部D20R的上部接觸部D20T之位置越接近第一基準線L1，上部後方接觸角度QAR越小。

圖9係顯示第一銷支撐狀態的一示例。在上部支撐面F20當中接近與下部支撐面F30之邊界的部分係與銷D10之上部D20接觸。在上部支撐面F20當中，相對於與下部支撐面F30之邊界遠離至在夾持具100的上下方向之上方的部分係不與銷D10接觸。

圖10係顯示第二銷支撐狀態的一示例。大約整個下部支撐面F30係與銷D10的下部D30接觸。

(第三實施態樣) 第三實施態樣的夾持具100係以第二實施態樣為前提而構成。圖8係顯示夾持具100的一示例。

以下係例示上部傾斜角度PA。上部傾斜角度PA係選自於第一上部傾斜角度以上的範圍。第一上部傾斜角度係選自於例如20°、30°、40°。上部傾斜角度PA係選自於第二上部傾斜角度以下的範圍。第二上部傾斜角度係選自於例如50°、60°、70°、80°。第二上部傾斜角度係大於第一上部傾斜角度。於一示例中，上部傾斜角度PA係選自於第一上部傾斜角度及第二上部傾斜角度以下的範圍。上部傾斜角度PA係選自於例如20°以上且80°以下的範圍。上部傾斜角度PA係例如30°。

以下係例示上部前方傾斜角度PAF。上部前方傾斜角度PAF係選自於第一上部前方傾斜角度以上的範圍。第一上部前方傾斜角度係選自於例如10°、15°、20°。上部前方傾斜角度PAF係選自於第二上部前方傾斜角度以下的範圍。第二上部前方傾斜角度係選自於例如25°、30°、35°、40°。第二上部前方傾斜角度係大於第一上部前方傾斜角度。於一示例中，上部前方傾斜角度PAF係選自於第一上部前方傾斜角度及第二上部前方傾斜角度以下的範圍。上部前方傾斜角度PAF係選自於例如10°以上且40°以下的範圍。上部前方傾斜角度PAF係例如15°。

以下係例示上部後方傾斜角度PAR。上部後方傾斜角度PAR係選自於第一上部後方傾斜角度以上的範圍。第一上部後方傾斜角度係選自於例如10°、15°、20°。上部後方傾斜角度PAR係選自於第二上部後方傾斜角度以下的範圍。第二上部後方傾斜角度係選自於例如25°、30°、35°、40°。第二上部後方傾斜角度係大於第一上部後方傾斜角度。於一示例中，上部後方傾斜角度PAR係選自於第一上部後方傾斜角度及第二上部後方傾斜角度以下的範圍。上部後方傾斜角度PAR係選自於例如10°以上且40°以下的範圍。上部後方傾斜角度PAR係例如15°。

(第四實施態樣) 第四實施態樣的夾持具100係以第二實施態樣或第三實施態樣為前提而構成。圖8係顯示夾持具100的一示例。

以下係例示上部接觸角度QA。上部接觸角度QA係選自於第一上部接觸角度以上的範圍。第一上部接觸角度係選自於例如100°、110°、120°。上部接觸角度QA係選自於第二上部接觸角度以下的範圍。第二上部接觸角度係選自於例如140°、150°、160°、170°。第二上部接觸角度係大於第一上部接觸角度。於一示例中，上部接觸角度QA係選自於第一上部接觸角度及第二上部接觸角度以下的範圍。上部接觸角度QA係選自於例如100°以上且未滿180°的範圍。上部接觸角度QA係例如150°。

以下係例示上部前方接觸角度QAF。上部前方接觸角度QAF係選自於第一上部前方接觸角度以上的範圍。第一上部前方接觸角度係選自例如50°、55°、60°。上部前方接觸角度QAF係選自於第二上部前方接觸角度以下的範圍。第二上部前方接觸角度係選自於例如70°、75°、80°。第二上部前方接觸角度係大於第一上部前方接觸角度。於一示例中，上部前方接觸角度QAF係選自於第一上部前方接觸角度及第二上部前方接觸角度以下的範圍。上部前方接觸角度QAF係選自於例如50°以上且80°以下的範圍。上部前方接觸角度QAF係例如75°。

以下係例示上部後方接觸角度QAR。上部後方接觸角度QAR係選自於第一上部後方接觸角度以上的範圍。第一上部後方接觸角度係選自於例如50°、55°、60°。上部後方接觸角度QAR係選自於第二上部後方接觸角度以下的範圍。第二上部後方接觸角度係選自於例如70°、75°、80°。第二上部後方接觸角度係大於第一上部後方接觸角度。於一示例中，上部後方接觸角度QAR係選自於第一上部後方接觸角度及第二上部後方接觸角度以下的範圍。上部後方接觸角度QAR係選自於例如50°以上且80°以下的範圍。上部後方接觸角度QAR係例如75°。

(第五實施態樣) 第五實施態樣的夾持具100係以第二實施態樣至第四實施態樣中之至少一者為前提而構成。圖11、圖12係顯示夾持具100的一示例。

圖11係顯示第一支撐部200A的側面。第一支撐部200A的上部前方支撐面F20F以及上部後方支撐面F20R的一方係斜面或曲面。於圖式所示的示例中，上部前方支撐面F20F以及上部後方支撐面F20R的一方係斜面。第一支撐部200A的上部前方支撐面F20F以及上部後方支撐面F20R的另一方係平行於第二基準面的平面。

圖12係顯示第二支撐部200B的側面。第二支撐部200B的上部前方支撐面F20F以及上部後方支撐面F20R的一方係斜面或曲面。於圖式所示的示例中，上部前方支撐面F20F以及上部後方支撐面F20R的一方係斜面。第二支撐部200B的上部前方支撐面F20F以及上部後方支撐面F20R的另一方係平行於第二基準面的平面。

第一支撐部200A的斜面和第二支撐部200B的斜面係設置於在夾持具100的前後方向上彼此相對的位置處。於第一示例中，第一支撐部200A的上部前方支撐面F20F係為斜面。第二支撐部200B的上部後方支撐面F20R係為平面。於第二示例中，第一支撐部200A的上部前方支撐面F20F係為平面。第二支撐部200B的上部後方支撐面F20R係為斜面。

(第六實施態樣) 第六實施態樣的夾持具100係以第二實施態樣至第五實施態樣中之至少一者為前提而構成。圖13係顯示夾持具100的一示例。

下部支撐部400係不包括溝槽部410。下部支撐部400係包括中間部420，以取代溝槽部410。中間部420係在夾持具100的前後方向上將下部支撐部400的前方部分與後方部分相連接。

(第七實施態樣) 第七實施態樣的夾持具100係以第六實施態樣為前提而構成。圖14係顯示夾持具100的一示例。

下部支撐面F30係以例如包夾銷D10的下部D30的方式構成。下部前方支撐面F30F係為平面。下部後方支撐面F30R係為平面。下部前方支撐面F30F係與銷D10的下部前部D30F之下部接觸部D30T接觸。下部後方支撐面F30R係與銷D10的下部後部D30R之下部接觸部D30T接觸。下部前方支撐面F30F以及下部後方支撐面F30R係在夾持具100的前後方向上包夾銷D10的下部D30。

上部支撐面F20和下部支撐面F30係例如經由曲面而相連接。於一示例中，上部支撐面F20和下部支撐面F30係相對於包括第三基準線L3的第一基準面呈對稱。

支撐部200係包括與下部支撐部400對應之撤離部230。撤離部230係設置於在夾持具100的上下方向上相對於銷D10之下方。撤離部230係設置於在夾持具100的上下方向上的下部支撐部400之下方。撤離部230係在銷D10被下部支撐部400支撐的狀態時，以與銷D10中的較下部接觸部D30T還下方的部分之間形成空間的方式構成。撤離部230係包括相對面F40。相對面F40係包含在配置面F10。相對面F40係例如平面或曲面。撤離部230係在銷D10被下部支撐部400支撐的狀態時，以在銷D10中的較下部接觸部D30T還下方的部分與相對面F40之間形成空間的方式構成。

以下係說明有關下部支撐面F30的傾斜角度(以下稱為「下部傾斜角度PB」)。在第三基準面上界定了第五直線M5以及第六直線M6。第五直線M5係平行於下部前方支撐面F30F。第六直線M6係平行於下部後方支撐面F30R。下部傾斜角度PB係第五直線M5與第六直線M6所成之角度。第五直線M5與第六直線M6的交點係位於在夾持具100的上下方向上較第三基準線L3還下方。下部傾斜角度PB係例如大於0°。

下部傾斜角度PB係包括下部前方支撐面F30F的傾斜角度(以下稱為「下部前方傾斜角度PBF」)以及下部後方支撐面F30R的傾斜角度(以下稱為「下部後方傾斜角度PBR」)。下部傾斜角度PB係下部前方傾斜角度PBF與下部後方傾斜角度PBR之和。下部前方傾斜角度PBF係第一基準線L1與第五直線M5所成之角度。下部後方傾斜角度PBR係第一基準線L1與第六直線M6所成之角度。第一基準線L1與第五直線M5以及第六直線M6的交點係位於在夾持具100的上下方向上較第三基準線L3還下方。

在下部前方支撐面F30F係平行於第二基準面的情況下，下部前方傾斜角度PBF係為0°。下部前方傾斜角度PBF越大，下部傾斜角度PB也越大。在下部後方支撐面F30R係平行於第二基準面的情況下，下部後方傾斜角度PBR係為0°。下部後方傾斜角度PBR越大，下部傾斜角度PB也越大。

以下係例示下部前方傾斜角度PBF與下部後方傾斜角度PBR之間的關係。於第一示例中，下部前方傾斜角度PBF係等於下部後方傾斜角度PBR。於第二示例中，下部前方傾斜角度PBF係大於下部後方傾斜角度PBR。於第三示例中，下部前方傾斜角度PBF係小於下部後方傾斜角度PBR。

下部支撐部400對於銷D10的支撐狀態係根據下部傾斜角度PB而不同。銷D10的下部D30係被下部支撐面F30或相對面F40支撐。

(第八實施態樣) 第八實施態樣的夾持具100係以第六實施態樣為前提而構成。圖15係顯示夾持具100的一示例。

下部前方支撐面F30F以及下部後方支撐面F30R係為平行於第二基準面的平面。下部前方傾斜角度PBF係為0°。下部後方傾斜角度PBR係為0°。在第二銷支撐狀態下，相對面F40係與銷D10的下部D30接觸。

(第九實施態樣) 第九實施態樣的夾持具100係以第六實施態樣為前提而構成。圖16係顯示夾持具100的一示例。

上部前方支撐面F20F以及下部前方支撐面F30F係構成一個斜面。上部後方支撐面F20R以及下部後方支撐面F30R係構成一個斜面。在第二銷支撐狀態下，相對面F40係與銷D10的下部D30接觸。

(第十實施態樣) 第十實施態樣的夾持具100係以第七實施態樣為前提而構成。圖17係顯示夾持具100的一示例。

上部傾斜角度PA係與下部傾斜角度PB不同。上部傾斜角度PA係小於下部傾斜角度PB。

(第十一實施態樣) 第十一實施態樣的夾持具100係以第二實施態樣為前提而構成。圖18係顯示夾持具100的一示例。

在第三基準面上界定了橢圓N。橢圓N的長軸係為第一基準線L1。橢圓N的短軸係為第三基準線L3。橢圓N的中心係為第一基準線L1與第三基準線L3的交點。在第三基準面上，配置面F10係由橢圓N來界定。配置面F10係為橢圓N的一部分。

(第十二實施態樣) 第十二實施態樣的夾持具100係以第十一實施態樣為前提而構成。圖19係顯示夾持具100的一示例。

下部支撐部400係不包括溝槽部410。下部支撐部400係包括中間部420，以取代溝槽部410。中間部420係在夾持具100的前後方向上將下部支撐部400的前方部分與後方部分相連接。

(第十三實施態樣) 第十三實施態樣的夾持具100係以第二實施態樣為前提而構成。圖20係顯示夾持具100的一示例。

上部支撐面F20係為曲面。在第三基準面上，曲面係為由第三基準面界定的曲率圓之一部分。與上部前方支撐面F20F對應的曲率圓之中心係位於在夾持具100的前後方向上相對於上部前方支撐面F20F之前方。與上部後方支撐面F20R對應的曲率圓之中心係位於在夾持具100的前後方向上相對於上部後方支撐面F20R之前方。

(第十四實施態樣) 第十四實施態樣的夾持具單元10係以第一實施態樣至第十三實施態樣中之至少一者為前提而構成。圖21至圖23係顯示夾持具單元10的一示例。

夾持具100與夾持具接頭B10的結構之相關的態樣係可列舉例如第一態樣以及第二態樣。在第一態樣中，夾持具100與夾持具接頭B10係以無法分離的方式而一體成形。圖21係顯示第一態樣的一示例。在第二態樣中，夾持具100與夾持具接頭B10係以能夠裝卸的方式而個別形成。圖22係顯示第二態樣的第一示例。圖23係顯示第二態樣的第二示例。

於圖21所示的第一態樣中，夾持具接頭B10係包括基部B11。基部B11係被安裝於夾持具接頭保持具A12。基部B11係包括軸承部B20以及軸B12。軸承部B20係支撐軸B12。軸B12的中心軸LJ係界定了夾持具接頭B10的中心軸LJ。軸B12係設置於夾持具100的本體部110。以下係例示軸B12與本體部110之間的關係。於第一示例中，軸B12與本體部110係形成為單一物體。於第二示例中，係結合個別形成的軸B12與本體部110。

以下係例示軸承部B20的結構。於第一示例中，軸承部B20係包括一個或複數個徑向軸承B30。於第二示例中，軸承部B20係除了第一示例的構成外，進一步包括殼體B21、止動件B40以及間隔件(spacer)中之至少一者。圖21係顯示包括兩個徑向軸承B30、殼體B21以及止動件B40的第二示例之軸承部B20。徑向軸承B30的內環B31係被固定於軸B12。殼體B21係收容徑向軸承B30。徑向軸承B30的外環B32係被固定於殼體B21。軸B12、內環B31以及夾持具100係相對於外環B32以及殼體B21而繞著軸B12的中心軸LJ旋轉。於軸承部B20包含有間隔件的示例中，於一側的徑向軸承B30與另一側的徑向軸承B30之間係設置有間隔件。間隔件係被固定於軸B12。

止動件B40係包括例如第一止動件B41以及第二止動件B42。第一止動件B41係設置於軸B12的前端。第一止動件B41係包括用以限制徑向軸承B30的移動之第一限制面B41A。第二止動件B42係設置於軸B12的底部。第二止動件B42係包括用以限制徑向軸承B30的移動之第二限制面B42A。

以下係例示第一止動件B41的結構。第一止動件B41係包括咬合軸B12的內螺紋部(female thread)之附螺紋緊固件(fastener)。附螺紋緊固件係包括例如螺絲(screw)或螺栓(bolt)。附螺紋緊固件的頭部係構成第一限制面B41A。一側的徑向軸承B30的內環B31之端面係與第一限制面B41A接觸。以下係例示第二止動件B42的結構。第二止動件B42係包括設置於軸B12的周圍之凸緣(flange)。凸緣的端面係構成第二限制面B42A。另一側的徑向軸承B30的內環B31之端面係與第二限制面B42A接觸。

於圖22所示的第二態樣的第一示例中，夾持具接頭B10係包括基部B11以及夾持具安裝部B50。夾持具安裝部B50係包括底座B60。底座B60係包括例如第一板件B61以及第二板件B62。第一板件B61係用以決定在沿著軸B12的中心軸LJ的方向上之夾持具100的位置。第二板件B62係用以決定在正交於軸B12的中心軸LJ的方向上之夾持具100的位置。軸B12係設置於底座B60。以下係例示軸B12與底座B60之間的關係。於第一示例中，軸B12與底座B60係形成為單一物體。於第二示例中，係結合個別形成的軸B12與底座B60。軸B12以及底座B60係可為無法分離的態樣或是可分離的態樣。軸B12係設置於例如第一板件B61。

於圖23所示的第二態樣的第二示例中，夾持具接頭B10係包括基部B11以及夾持具安裝部B50。夾持具安裝部B50係包括套筒B70。套筒B70係包括例如配置空間B71。配置空間B71係以能夠配置有夾持具100的本體部110的方式來形成。軸B12係設置於套筒B70。以下係例示軸B12與套筒B70之間的關係。於第一示例中，軸B12與套筒B70係形成為單一物體。於第二示例中，係結合個別形成的軸B12與套筒B70。軸B12以及套筒B70係可為無法分離的態樣或是可分離的態樣。

圖22、圖23的第二態樣的夾持具100以及夾持具接頭B10所包括之軸承部B20係以與例如第一態樣的夾持具100以及夾持具接頭B10所包括之軸承部B20相同的方式構成。軸B12、內環B31、夾持具安裝部B50以及夾持具100係相對於外環B32以及殼體B21而繞著軸B12的中心軸LJ旋轉。

於一示例中，在夾持具組合A30的側面視角下，刻劃輪C10的中心軸LW以及刻劃輪C10與被加工面的接觸點係位於夾持具100的中心軸LH上。以下係例示軸B12的中心軸LJ與刻劃輪C10的中心軸LW之間的關係。於第一示例中，軸B12的中心軸LJ與刻劃輪C10的中心軸LW之間係設定有尾跡(trail)。於第二示例中，軸B12的中心軸LJ與刻劃輪C10的中心軸LW之間係未設定有尾跡。

尾跡係軸B12的中心軸LJ與被加工面的交點，以及刻劃輪C10與被加工物的接觸點之間的距離。在圖21至圖23所示的夾持具組合A30之側面視角下，軸B12的中心軸LJ與夾持具100的中心軸LH為平行。軸B12的中心軸LJ與夾持具100的中心軸LH之間的距離係相當於尾跡。在欲設定尾跡的態樣中，當在刻劃輪C10的掃行方向上之中心軸LW係位於較軸B12的中心軸LJ還後方的情況下，刻劃輪C10的直進性會變高。

在夾持具組合A30包括第二態樣的夾持具100以及夾持具接頭B10的情況下，夾持具組合A30係進一步具備連接構造A31。連接構造A31係用以連接夾持具接頭B10與夾持具100。連接構造A31係包括例如透過機械性的結合方法來連接夾持具接頭B10與夾持具100之機械結合部A31A，以及透過磁性的結合方法來連接夾持具接頭B10與夾持具100之磁性結合部A31B中之至少一者。

於圖22所示的示例中，連接構造A31係包括機械結合部A31A。以下係例示機械結合部A31A的結構。於第一示例中，機械結合部A31A係透過附螺紋緊固件來連接夾持具安裝部B50與夾持具100的本體部110。附螺紋緊固件係包括螺絲或螺栓。於第二示例中，機械結合部A31A係透過嵌合部來連接夾持具安裝部B50與夾持具100的本體部110。嵌合部係包括設置於夾持具安裝部B50及夾持具100的本體部110的一方之第一嵌合部，以及設置於夾持具安裝部B50及夾持具100的本體部110的另一方之第二嵌合部。圖21係顯示第一示例的機械結合部A31A。機械結合部A31A係包括設置於夾持具安裝部B50的內螺紋部、設置於夾持具100的本體部110的貫穿孔，以及附螺紋緊固件。附螺紋緊固件係插入於夾持具100的本體部110的貫穿孔，且與夾持具安裝部B50的內螺紋部咬合。夾持具100的本體部110係透過附螺紋緊固件而固定於夾持具安裝部B50。

於圖23所示的示例中，連接構造A31係包括磁性結合部A31B。以下係例示磁性結合部A31B的結構。於第一示例中，磁性結合部A31B係包括設置於套筒B70之永久磁鐵(permanent magnet)，以及設置於夾持具100的本體部110之磁性體(magnetic body)。於第二示例中，磁性結合部A31B係包括設置於套筒B70之磁性體，以及設置於夾持具100的本體部110之永久磁鐵。於第三示例中，磁性結合部A31B係包括設置於套筒B70之永久磁鐵，以及設置於夾持具100的本體部110之永久磁鐵。藉由永久磁鐵與磁性體之間作用的磁力，或是永久磁鐵與永久磁鐵之間作用的磁力，係使夾持具100得以保持於套筒B70。

在連接構造A31包含有磁性結合部A31B的情況下，於一示例中，夾持具安裝部B50係進一步具備夾持具限制部B80。夾持具限制部B80係以使夾持具100相對於套筒B70的位置得以穩定的方式來與夾持具100接觸。夾持具限制部B80係包括例如銷B81。銷B81係設置於配置空間B71。銷B81係由套筒B70所支撐。夾持具100係進一步包括傾斜部120以及平坦部130。在夾持具100之側面視角下，傾斜部120係包括相對於夾持具100的中心軸LH傾斜之斜面。傾斜部120的斜面係包括於沿著夾持具100的中心軸LH的方向上之第一端部121以及第二端部122。第一端部121係較第二端部122還遠離刻劃輪C10。傾斜部120的斜面係以第一端部121較第二端部122還接近夾持具100的中心軸LH之方式而傾斜。平坦部130係設置於相對於傾斜部120之上方。平坦部130係包括相對於夾持具100的中心軸LH呈平行的面。

在透過磁性結合部A31B而使夾持具100保持於套筒B70的狀態中，傾斜部120係與銷B81接觸。藉由傾斜部120與銷B81的接觸，係得以決定沿著夾持具100的中心軸LH的方向之相對於套筒B70的夾持具100之位置。在夾持具組合A30之側面視角下，與軸B12的中心軸LJ正交的方向之力會作用於夾持具100。藉由此力，係使本體部110的外周面之一部分被按壓於套筒B70的內周面。

(功效一) 於夾持具100的一示例中，夾持具100係包括支撐用以支撐刻劃輪C10的銷D10之支撐部200。支撐部200係包括上部支撐部300以及下部支撐部400。上部支撐部300係在銷D10與下部支撐部400分離的狀態中以限制銷D10向下移動的方式支撐銷D10的上部D20。下部支撐部400係以限制銷D10向下移動的方式支撐銷D10的下部D30。

在刻劃輪C10與被加工物接觸並且於上方向刻劃輪C10及銷D10施加負載的情況下，銷D10係被上部支撐部300支撐。在銷D10被上部支撐部300支撐的狀態中，銷D10相對於夾持具100的位置不易變化，而提升刻劃輪C10相對於夾持具100的姿勢之穩定性。

於夾持具100的一示例中，上部支撐部300係包括在銷D10與下部支撐部400分離的狀態中包夾銷D10的上部支撐面F20。

銷D10得以適當地被上部支撐部300支撐。

於夾持具100的一示例中，上部支撐面F20係包括斜面。

銷D10得以適當地被上部支撐部300支撐。

於夾持具100的一示例中，上部支撐面F20的傾斜角度係涵蓋在20°以上且80°以下的範圍。

銷D10得以適當地被上部支撐部300支撐。

於夾持具100的一示例中，銷D10的上部D20與上部支撐部300的接觸角度之上部接觸角度QA係涵蓋在100°以上且未滿180°的範圍。

銷D10得以適當地被上部支撐部300支撐。

於夾持具100的一示例中，上部接觸角度QA係涵蓋在120°以上且150°以下的範圍。

銷D10得以適當地被上部支撐部300支撐。

於夾持具100的一示例中，支撐部200係進一步包括設置在相對於銷D10之上方的撤離部230。撤離部230係在銷D10被上部支撐部300支撐的狀態時，以與銷D10的上部D20中的較與上部支撐部300接觸的部分之上部接觸部D20T還上方的部分之間形成空間的方式構成。

在銷D10的較上部接觸部D20T還上方的部分係不易與夾持具100接觸。

於夾持具100的一示例中，被上部支撐部300支撐的銷D10與撤離部230之間的間隔係寬於被上部支撐部300支撐的銷D10與下部支撐部400之間的間隔。

在銷D10的較上部接觸部D20T還上方的部分係不易與夾持具100接觸。

於夾持具單元10的一示例中，夾持具單元10係具備夾持具100、刻劃輪C10以及銷D10。

在銷D10被上部支撐部300支撐的狀態中，銷D10相對於夾持具100的位置不易變化，而提升刻劃輪C10相對於夾持具100的姿勢之穩定性。

(功效二) 於夾持具100的一示例中，上部支撐部300係以在第一銷支撐狀態下在夾持具100的前後方向上限制銷D10相對於夾持具100朝前方或後方之移動的方式構成。

在夾持具100的前後方向上，銷D10相對於夾持具100的位置係不易變化，而提升刻劃輪C10的位置之穩定性。

於夾持具100的一示例中，下部支撐部400係以在第二銷支撐狀態下在夾持具100的前後方向上限制銷D10相對於夾持具100朝前方或後方之移動的方式構成。

在夾持具100的前後方向上，銷D10相對於夾持具100的位置不易變化，而提升刻劃輪C10的位置之穩定性。

於夾持具100的一示例中，銷支撐狀態係在刻劃輪C10相對於被加工物開始移動之前被設定為第一銷支撐狀態。

在刻劃輪C10相對於被加工物開始移動之後，即刻提升刻劃輪C10的位置之穩定性。

於夾持具100的一示例中，刻劃輪C10被按壓於與被加工物不同的物體上，銷支撐狀態係被設定為第一銷支撐狀態。

在刻劃輪C10為了刻劃加工而被按壓於被加工物的情況下，不易產生伴隨著按壓所造成的銷D10相對於夾持具100的位置之變化，而提升有關刻劃輪C10相對於被加工物的初始位置之設定的精準度。

以下進行夾持具100與包含有與夾持具100不同的結構之夾持具(以下稱為「另一夾持具」)的比對。另一夾持具係不包括夾持具100的上部支撐部300。

在使用包含有另一夾持具的夾持具單元進行刻劃加工的情況下，在刻劃輪相對於被加工物的移動距離達到預定移動距離為止之期間，銷在夾持具的上下方向上相對於夾持具產生移動的次數係比預定次數還多。預定次數係大於0。刻劃輪在夾持具的上下方向上的相對於夾持具之位置係不易穩定。

在使用包含有夾持具100的夾持具單元10進行刻劃加工的情況下，在刻劃輪C10相對於被加工物的移動距離達到預定移動距離為止之期間，銷D10在夾持具100的上下方向上相對於夾持具100產生移動的次數係為預定次數以下。預定次數以下的次數係包含0。相較於另一夾持具，刻劃輪C10在夾持具100的上下方向上相對於夾持具100的位置之穩定性較高。

此外，上述實施態樣的說明並未意圖用以限制可獲得有關本發明之夾持具及夾持具單元等之態樣。有關本發明之夾持具及夾持具單元等係可獲取與各實施態樣所例示之態樣為不同的態樣。其一示例為，置換、變更、或省略各實施態樣的結構之一部分的態樣，亦或是在各實施態樣附加新的結構之態樣。

10:夾持具單元 100:夾持具 101:輪配置空間 110:本體部 120:傾斜部 121:第一端部 122:第二端部 130:平坦部 200:支撐部 200A:第一支撐部 200B:第二支撐部 201:銷配置空間 210:表面 211:內側面 212:外側面 213:底面 220:止脫部 230:撤離部 300:上部支撐部 400:下部支撐部 410:溝槽部 411:溝槽部前方面 412:溝槽部後方面 420:中間部 A10:刻劃頭 A11:基座 A12:夾持具接頭保持具 A20:連接構造 A21:軌道 A22:滑動件 A30:夾持具組合 A31:連接構造 A31A:機械結合部 A31B:磁性結合部 A40:負載調節部 A41:致動器 A42:支架 B10:夾持具接頭 B11:基部 B12:軸 B20:軸承部 B21:殼體 B30:徑向軸承 B31:內環 B32:外環 B40:止動件 B41:第一止動件 B41A:第一限制面 B42:第二止動件 B42A:第二限制面 B50:夾持具安裝部 B60:底座 B61:第一板件 B62:第二板件 B70:套筒 B71:配置空間 B80:夾持具限制部 B81:銷 C10:刻劃輪 C11:中心面 C20:內周部 C21:側面 C22:內周面 C23:貫穿孔 C24:倒角 C30:刀刃部 C31:稜線 C40:邊界部 D10:銷 D11:第一端部 D12:第二端部 D13:中間部 D14:外周面 D20:上部 D20F:上部前部 D20R:上部後部 D20T:上部接觸部 D30:下部 D30F:下部前部 D30R:下部後部 D30T:下部接觸部 F10:配置面 F20:上部支撐面 F20F:上部前方支撐面 F20R:上部後方支撐面 F30:下部支撐面 F30F:下部前方支撐面 F30R:下部後方支撐面 F40:相對面 GA:間隙 GB:間隙 L1:第一基準線 L2:第二基準線 L3:第三基準線 LH:中心軸 LJ:中心軸 LP:中心軸 LW:中心軸 M1:第一直線 M2:第二直線 M3:第三直線 M4:第四直線 M5:第五直線 M6:第六直線 N:橢圓 PA:上部傾斜角度 PAF:上部前方傾斜角度 PAR:上部後方傾斜角度 PB:下部傾斜角度 PBF:下部前方傾斜角度 PBR:下部後方傾斜角度 QA:上部接觸角度 QAF:上部前方接觸角度 QAR:上部後方接觸角度

〔圖1〕係刻劃頭的側視圖。 〔圖2〕係刻劃頭的前視圖。 〔圖3〕係刻劃輪的側視圖。 〔圖4〕係刻劃輪的剖面圖。 〔圖5〕係顯示從正面觀看的夾持具的圖式。 〔圖6〕係顯示支撐部與銷之關係的圖式(1)。 〔圖7〕係顯示支撐部與銷之關係的圖式(2)。 〔圖8〕係顯示支撐部的側視圖(1)。 〔圖9〕係顯示支撐部與銷之關係的圖式(3)。 〔圖10〕係顯示支撐部與銷之關係的圖式(4)。 〔圖11〕係顯示支撐部的側視圖(2)。 〔圖12〕係顯示支撐部的側視圖(3)。 〔圖13〕係顯示支撐部的側視圖(4)。 〔圖14〕係顯示支撐部的側視圖(5)。 〔圖15〕係顯示支撐部的側視圖(6)。 〔圖16〕係顯示支撐部的側視圖(7)。 〔圖17〕係顯示支撐部的側視圖(8)。 〔圖18〕係顯示支撐部的側視圖(9)。 〔圖19〕係顯示支撐部的側視圖(10)。 〔圖20〕係顯示支撐部的側視圖(11)。 〔圖21〕係顯示夾持具組合的側視圖(1)。 〔圖22〕係顯示夾持具組合的側視圖(2)。 〔圖23〕係顯示夾持具組合的側視圖(3)。

200:支撐部 201:銷配置空間 230:撤離部 300:上部支撐部 400:下部支撐部 410:溝槽部 411:溝槽部前方面 412:溝槽部後方面 D10:銷 D20:上部 D20F:上部前部 D20R:上部後部 D20T:上部接觸部 D30:下部 D30F:下部前部 D30R:下部後部 F10:配置面 F20:上部支撐面 F20F:上部前方支撐面 F20R:上部後方支撐面 F30:下部支撐面 F30F:下部前方支撐面 F30R:下部後方支撐面 F40:相對面 L1:第一基準線 L2:第二基準線 L3:第三基準線 LP:中心軸 M1:第一直線 M2:第二直線 M3:第三直線 M4:第四直線 PA:上部傾斜角度 PAF:上部前方傾斜角度 PAR:上部後方傾斜角度 QA:上部接觸角度 QAF:上部前方接觸角度 QAR:上部後方接觸角度

Claims (7)

1. 一種夾持具，其包括： 支撐部，係支撐用以支撐刻劃輪的銷； 其中，前述支撐部係包括： 下部支撐部，係以限制前述銷向下移動的方式支撐前述銷的下部； 上部支撐部，係在前述銷與前述下部支撐部分離的狀態中以限制前述銷向下移動的方式支撐前述銷的上部；以及 撤離部，係設置在相對於前述銷的上方； 前述撤離部係在前述銷被前述上部支撐部支撐的狀態時，以與在前述銷的上部中的較與前述上部支撐部接觸的部分還上方的部分之間形成空間的方式所構成； 被前述上部支撐部支撐的前述銷與前述撤離部之間的間隔係寬於被前述上部支撐部支撐的前述銷與前述下部支撐部之間的間隔。
2. 如請求項1所記載之夾持具，其中前述上部支撐部係包括上部支撐面，前述上部支撐面係在前述銷與前述下部支撐部分離的狀態中包夾前述銷。
3. 如請求項2所記載之夾持具，其中前述上部支撐面係包括斜面。
4. 如請求項3所記載之夾持具，其中前述上部支撐面的傾斜角度係涵蓋在20°以上且80°以下的範圍。
5. 如請求項1至請求項4中之任一項所記載之夾持具，其中前述銷的上部與前述上部支撐部之接觸角度係涵蓋在100°以上且未滿180°的範圍。
6. 如請求項5所記載之夾持具，其中前述銷的上部與前述上部支撐部之接觸角度係涵蓋在120°以上且150°以下的範圍。
7. 一種夾持具單元，其具備： 夾持具； 刻劃輪；以及 銷； 前述夾持具係包括支撐用以支撐前述刻劃輪的前述銷之支撐部； 前述支撐部係包括： 下部支撐部，係以限制前述銷向下移動的方式支撐前述銷的下部； 上部支撐部，係在前述銷與前述下部支撐部分離的狀態中以限制前述銷向下移動的方式支撐前述銷的上部；以及 撤離部，係設置在相對於前述銷的上方； 前述撤離部係在前述銷被前述上部支撐部支撐的狀態時，以與在前述銷的上部中的較與前述上部支撐部接觸的部分還上方的部分之間形成空間的方式所構成； 被前述上部支撐部支撐的前述銷與前述撤離部之間的間隔係寬於被前述上部支撐部支撐的前述銷與前述下部支撐部之間的間隔。