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TWI886591B - 倍縮光罩盒及其製造方法 - Google Patents

倍縮光罩盒及其製造方法 Download PDF

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TWI886591B
TWI886591B TW112137291A TW112137291A TWI886591B TW I886591 B TWI886591 B TW I886591B TW 112137291 A TW112137291 A TW 112137291A TW 112137291 A TW112137291 A TW 112137291A TW I886591 B TWI886591 B TW I886591B
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羅斯 Ｖ 拉許克
泰勒 曼佛頓
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美商恩特葛瑞斯股份有限公司
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    • G—PHYSICS
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    • G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
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Abstract

本發明揭示一種裝置，其包含：一內容器，其具有一底板及一蓋；一外容器，其具有一盒圓頂及一盒門；及一第一組銷及一第二組銷，其等安置於該盒門上。該盒門具有一鎖定狀態及一解鎖狀態。該第一組銷及該第二組銷經構形以支撐該底板。當該盒門處於該解鎖狀態且該第一組銷接觸該底板時，在該第二組銷與該底板之間形成一間隙。當該盒門處於該鎖定狀態時，該第一組銷及該第二組銷接觸該底板。

Description

倍縮光罩盒及其製造方法
本發明大體上係關於基板容器，諸如用於倍縮光罩之倍縮光罩盒。更具體而言，本發明係關於倍縮光罩盒，其等具有用於該等倍縮光罩盒(諸如極紫外光(EUV)倍縮光罩盒)之內盒之分散支撐，及製作該等倍縮光罩盒之方法。
倍縮光罩盒用於貯存倍縮光罩，諸如(例如)在半導體處理期間(諸如在EUV處理期間)使用之光微影遮罩。倍縮光罩盒可用於儲存及運輸倍縮光罩。一倍縮光罩盒可包含在處理期間由一或多個工具處置及操縱之一內盒。倍縮光罩盒之內盒包含一底板及一蓋，且該底板及該蓋貯存該倍縮光罩且保護該倍縮光罩在運輸、儲存及處理期間不受污染或實體損壞。倍縮光罩盒包含(例如)與EUV光微影工具一起使用之EUV盒。倍縮光罩盒可包含具有一盒門及一盒圓頂之一外盒，其貯存該內盒。
本發明大體上係關於基板容器，諸如用於倍縮光罩之倍縮光罩盒。更具體而言，本發明係關於倍縮光罩盒，其等具有用於該等倍縮光罩盒(諸如極紫外光(EUV)倍縮光罩盒)之內盒之分散支撐，及製作該等倍縮光罩盒之方法。
在倍縮光罩盒中，內盒可在外盒內箝夾以在一加工設施內進行船運及運輸。外盒中之蓋箝夾可施加於內盒之四角周圍之位置。對內盒之底板之支撐可在底板之底側之複數個點，指稱銷，諸如運動耦合(KC)銷。自內盒之蓋至底板之支撐及/或箝夾位置之差異可在KC銷之至少一者上方產生高壓區域以及在內盒上產生局部變形。此高壓及變形可導致內盒之蓋與底板之間的加速磨損。
應瞭解與內盒底板介接之KC銷之溝槽可在SEMI(包含涉及電子設計及製造供應鏈之公司之一工業協會)及ASML(先進半導體材料微影)RPDM(倍縮光罩盒設計手冊)中指定以與一晶圓廠(即，一微晶片加工廠)中之不同工具適當介接。同樣重要的係，對內盒具有準確位置控制以允許與內盒及可能內盒底板上之倍縮光罩之準確介接。其他銷(諸如保險掣子銷)可故意與底板保持間隙使得保險掣子銷可在負載期間最小化傾斜且不干擾內盒在KC銷上之準確對準。
本文所揭示之實施例可提供順應式KC銷使得當外盒箝夾內盒時，大部分支撐可由保險掣子銷供應。例如，本文所揭示之實施例可提供盒門之一外殼，其在厚度或高度方向上具有順應性，及/或提供彈簧負載KC銷。本文所揭示之實施例可提供主動或待致動之保險掣子銷使得當盒門被閂鎖或鎖定時(即，當施加負載時)，可將保險掣子銷向內驅動(即，朝向底板之一方向)。例如，保險掣子銷可由盒門閂鎖凸輪及/或閂鎖臂驅動。
在一實施例中，一種裝置包含：一內容器，其具有一底板及一蓋；一外容器，其具有一盒圓頂及一盒門；及一第一組銷及一第二組銷，其等安置於該盒門上。該盒門具有一鎖定狀態及一解鎖狀態。該第一 組銷及該第二組銷經構形以支撐該底板。當該盒門處於該解鎖狀態且該第一組銷接觸該底板時，在該第二組銷與該底板之間形成一間隙。當該盒門處於該鎖定狀態時，該第一組銷及該第二組銷接觸該底板。
在一實施例中，該外容器包含箝夾機構。當該盒門處於該鎖定狀態時，自該箝夾機構施加於該蓋上之箝夾力在該內容器之一高度方向上不與該第一組銷對準。
在一實施例中，該間隙在自0.1毫米或約0.1毫米至0.2毫米或約0.2毫米之範圍內。
在一實施例中，該第一組銷之至少一個銷在該內容器之一高度方向上具有順應性。
在一實施例中，該至少一個銷係一彈簧負載銷。
在一實施例中，該盒門包含用於支撐該至少一個銷之一順應式底座。
在一實施例中，該第二組銷經構形以在該盒門自該解鎖狀態過渡至該鎖定狀態時啟動。當該第二組銷被啟動時，將該第二組銷之各銷朝向該底板推動且接觸該底板。
在一實施例中，該盒門包含一閂鎖臂。當該盒門自該解鎖狀態過渡至該鎖定狀態時，該閂鎖臂將該第二組銷朝向該底板推動使得該第二組銷接觸該底板。
在一實施例中，該盒門包含一門凸輪。當該盒門自該解鎖狀態過渡至該鎖定狀態時，該門凸輪將該第二組銷朝向該底板驅動使得該第二組銷接觸該底板。
在一實施例中，該裝置進一步包含安置於該盒門上之一支 撐銷。
在一實施例中，一種裝置包含：一內容器，其具有一底板及一蓋；一外容器，其具有一盒圓頂及一盒門；及一第一組銷及一第二組銷，其等安置於該盒門上。該盒門具有一鎖定狀態及一解鎖狀態。該第一組銷及該第二組銷經構形以支撐該底板。一種製作該裝置之方法包含：製備該第一組銷及該第二組銷使得當該盒門處於該解鎖狀態且該第一組銷接觸該底板時，在該第二組銷與該底板之間形成一間隙，且當該盒門處於該鎖定狀態時，該第一組銷及該第二組銷接觸該底板。
在一實施例中，該方法包含製備該外容器之箝夾機構使得當該盒門處於該鎖定狀態時，自該等箝夾機構施加於該蓋上之箝夾力在該內容器之一高度方向上不與該第一組銷對準。
在一實施例中，該間隙在0.1毫米或約0.1毫米至0.2毫米或約0.2毫米之範圍內。
在一實施例中，該方法包含製備該第一組銷之至少一個銷使得該至少一個銷在該內容器之一高度方向上具有順應性。
在一實施例中，該至少一個銷係一彈簧負載銷。
在一實施例中，該方法包含製備該盒門之一順應式底座以支撐該至少一個銷。
在一實施例中，該方法包含製備該第二組銷使得當該盒門自該解鎖狀態過渡至該鎖定狀態時被啟動。當該第二組銷被啟動時，將該第二組銷之各銷朝向該底板推動且接觸該底板。
在一實施例中，該方法包含製備該盒門之一閂鎖臂使得當該盒門自該解鎖狀態過渡至該鎖定狀態時，該閂鎖臂將該第二組銷朝向該 底板推動使得該第二組銷接觸該底板。
在一實施例中，該方法包含製備該盒門之一門凸輪使得當該盒門處於該鎖定狀態時，該門凸輪將該第二組銷朝向該底板驅動使得該第二組銷接觸該底板。
在一實施例中，該方法包含製備安置於該盒門上之一支撐銷。
100:倍縮光罩盒
110:外盒
120:外盒
121:保險掣子銷
122:過濾器入口
123:保險掣子銷
124:過濾器入口
125:後運動耦合(KC)銷
127:前運動耦合(KC)銷
129:前運動耦合(KC)銷
130:內盒
140:內盒
150:倍縮光罩
200:倍縮光罩盒
400:運動耦合(KC)銷
410:帽蓋
420:可壓縮構件/波墊圈
430:本體
432:尖端
434:肩部
436:端
500:倍縮光罩盒
510:底座
520:肋結構
600:盒門
610:閂鎖臂
620:門凸輪
C:間隙
參考附圖，其形成本發明之一部分且說明可實踐本說明書中所描述之系統及方法之實施例。
圖1係根據一實施例之一倍縮光罩盒之一透視圖。
圖2A係根據一實施例之一倍縮光罩盒之一部分之一前透視圖。
圖2B係根據一實施例之圖2A之倍縮光罩盒之一前左側透視圖。
圖3係根據一實施例之一外盒之一盒門之一俯視圖。
圖4A係根據一實施例之一運動耦合銷之一橫截面透視圖。
圖4B係根據一實施例之圖4A之運動耦合銷之一透視圖。
圖5係根據一實施例之一倍縮光罩盒之一橫截面圖。
圖6係根據一實施例之一盒門之一部分之一分解圖。
自始至終相同元件符號表示相同部分。
本發明大體上係關於基板容器，諸如用於倍縮光罩之倍縮光罩盒。更具體而言，本發明係關於倍縮光罩盒，其等具有用於該等倍縮 光罩盒(諸如極紫外光(EUV)倍縮光罩盒)之內盒之分散支撐，及製作該等倍縮光罩盒之方法。
應瞭解EUV內盒可由複數個KC銷(例如，三個KC銷)支撐於EUV外盒內側。本文所描述及敘述之實施例不限於所描述之銷之數目。即，本文所描述及敘述之銷之數目僅為了描述性目的而提供且不意欲為限制性。此等耦合系統之物理特性具有位於三個位置之支撐，其係局部支撐，可不與倍縮光罩所需之箝夾對準且通常用於外盒位置。具體而言，位於內盒或外盒「後方」之KC銷於底板上居中而蓋箝夾位於角處。此可導致後KC銷上之高壓以及在蓋與底板之間產生滑動運動之變形。
本文所揭示之實施例可提供一種順應式後KC銷結構使得在外盒箝夾之情況下，內盒可向下移動且由額外支撐特徵(例如，保險掣子銷)在角中支撐。本文所揭示之實施例亦可使額外支撐特徵在外盒閂鎖時上升以支撐內盒，從而減輕對內盒之壓力。順應式(例如，彈簧負載或其類似者)KC銷結構可允許內盒之分散支撐。應瞭解若KC銷係一彈簧負載銷，則KC銷可需要經設計以在未藉由外盒箝夾進行壓縮時具有一固體止檔來維持位置準確度。
應瞭解，如本文所界定，術語「銷」可係指任何適合支撐機構，包含(但不限於)一銷、一墊、一柱、一肋、一壁或其類似者。
本文參考附圖描述本發明之特定實施例；然而，應理解所揭示之實施例僅係本發明之實例，其可以各種形式體現。為避免以不必要之細節致使本發明不清楚，不詳細描述熟知功能或構造。因此，本文所揭示之具體結構及功能細節不解譯為限制，而僅作為申請專利範圍之一基礎及作為教示熟習技術者在幾乎任何合適詳細結構中以各種方式採用本發明 之一代表性基礎。在本描述中，以及在圖式中，相同元件符號表示可執行相同、類似或等效功能之元件。
本發明之範疇應由隨附申請專利範圍及其法律等效物而非由本文給出之實例判定。例如，在任何方法請求項中列舉之步驟可以任何順序執行且不限於申請專利範圍中所呈現之順序。再者，除非在本文中具體描述為「關鍵」或「必要」，否則無元件係本發明之實踐所必需。
參考附圖詳細描述本申請案之一些實施例使得熟習技術者可更容易地理解本申請案之優點及特徵。本申請案中所描述之術語「近」、「遠」、「頂部」、「底部」、「左」、「右」及其類似者係根據熟習技術者之典型觀察角度且為了便於描述而界定。此等術語不限於具體方向。
圖1係根據一實施例之一倍縮光罩盒100之一透視圖。倍縮光罩盒100包含一內盒(130及140)及一外盒(110及120)。例如，倍縮光罩盒100可為(但不限於)用於光微影遮罩之EUV處理之一倍縮光罩盒或其類似者。在一實施例中，倍縮光罩盒100具有一長度方向(X方向)、一寬度方向(Y方向)及一厚度或高度方向(Z方向)。
內盒(130及140)具有含用於貯存一倍縮光罩150之一倍縮光罩貯存部分之一內部空間。內盒(130及140)包含一蓋130及一底板140。蓋130及底板140經構形以接合在一起。當接合在一起時，蓋130及底板140界定經設定大小及整形以貯存倍縮光罩150之一內部空間。倍縮光罩150可為(但不限於)將用於EUV處理之一光微影遮罩等。
外盒(110及120)包含一盒圓頂110及一盒門120。外盒(110及120)經構形以在由盒圓頂110及盒門120界定之一內部空間內容納內盒 (130及140)。例如在運輸及處置倍縮光罩盒100期間，盒圓頂110可固定至盒門120以圍封內部空間且貯存內盒(130及140)。盒圓頂110及盒門120可各包含或完全由一或多種聚合物材料或任何其他適合材料製成。
圖2A係根據一實施例之一倍縮光罩盒200之一部分之一前側透視圖。圖2B係根據一實施例之圖2A之倍縮光罩盒200之一前左側透視圖。
如圖2A及圖2B所展示，倍縮光罩盒200包含一內盒及一外盒。內盒(130及140)包含一蓋130及一底板140。內盒(130及140)之內部空間藉由將蓋130放置於底板140上而圍封(例如閉合)。蓋130直接接觸底板140。內盒(130及140)可藉由將蓋130移離底板140(例如，藉由在Z方向上移動蓋130等)而打開。例如，一外部工具(例如，自動臂等)可打開內盒(130及140)以接取倍縮光罩貯存部分且移除倍縮光罩(例如，圖1之150)。
外盒包含一盒圓頂(圖中未展示，參閱圖1之110)及一盒門120。外盒可經構形以在由盒圓頂及盒門120界定之一內部空間內容納內盒(130及140)。盒門120可具有一鎖定(例如，閂鎖)狀態及一解鎖(例如，未閂鎖)狀態。當盒門120處於鎖定狀態時，盒門120被鎖定(例如，閂鎖，其係當負載或箝夾壓力施加於蓋130時)，且(例如)在運輸及處置倍縮光罩盒200期間，盒圓頂可固定至盒門120以圍封內部空間且貯存內盒(130及140)。當盒門120處於解鎖狀態時，盒門120被解鎖(例如，未閂鎖)，且盒圓頂可自盒門120解除固定。
內盒(130及140)及/或底板140可由盒門120支撐。一第一組銷(125、127、129，亦參閱圖3)(諸如運動耦合(KC)銷或其類似者)可安置於盒門120上以支撐內盒(130及140)及/或底板140。即，對內盒(130及 140)之底板140之支撐可位於底板之底側上之點(例如，三個或任何適合數目)，指稱(例如)KC銷(125，127，129)。一第二組銷(121及123)(諸如保險掣子銷或其類似者)亦可安置於盒門120上。第二組銷(121及123)亦可經構形以例如當盒門120處於鎖定狀態時用於支撐內盒(130及140)及/或底板140。
如圖2A中所展示，盒門120處於解鎖狀態，KC銷(125、127、129)之各者接觸底板，且一間隙C形成於保險掣子銷(121、123)之各者與底板140之間。在一實施例中，間隙C在自0.1毫米或約0.1毫米至0.2毫米或約0.2毫米之範圍內。應瞭解內盒(130及140)之一重量通常在自1磅或約1磅至1.5磅或約1.5磅之範圍內，且當盒門120處於解鎖狀態時，由內盒(130及140)之重量引起之壓力可不引起間隙C減小。
亦應瞭解，當盒門120處於解鎖狀態時，例如藉由確保底板140與保險掣子銷(121及123)之間不存在接觸，保險掣子銷(121及123)與底板140之間的間隙C可充當關於KC銷(125、127、129)是否準確定位的一指示器。為使KC銷(125、127、129)配置適當發揮，當盒門120處於解鎖狀態時，底板140需要直接及完全接觸KC銷(125、127、129)之各者。當盒門120處於解鎖狀態時，若底板140直接接觸保險掣子銷(121及123)，此可為底板140未正確居中之一指示。即，當盒門120處於解鎖狀態時，保險掣子銷(121及123)必須相對於底板140保持間隙，使KC銷(125、127、129)能夠適當發揮其位置特徵及/或準確性。換言之，保險掣子銷(121、123)故意處於間隙中使得保險掣子銷(121、123)不干擾內盒(130、140)對KC銷(125、127、129)之準確對準。
當盒門120處於鎖定狀態時，可將內盒(130及140)箝夾於 外盒(110、120)中進行船運及廠內運輸。如圖2B中之區塊箭頭所展示，藉由外盒(110、120)之蓋箝夾可位於內盒(130、140)之四個角周圍。倍縮光罩箝夾展示為靠近蓋箝夾之垂直箭頭。過濾器入口(或沖洗入口)(122、124)可安置於盒門120上或中，或透過盒門120安置。當外盒(110、120)箝夾內盒(130、140)時，例如，當盒門120自解鎖狀態過渡至鎖定狀態時，在外盒(110、120)之箝夾下，內盒(130、140)可向下移動(例如，在Z方向上)且由額外支撐特徵(例如，保險掣子銷(121、123))支撐。即，當盒門120處於鎖定狀態時，KC銷(125、127、129)及保險掣子銷(121、123)兩者直接及完全接觸底板140。在一實施例中，箝夾位置(即，圖2B中之區塊箭頭之各者)可在內盒(130、140)之各角產生等於或大約7磅之力。應瞭解KC銷(125、127、129)可經設計以在未藉由外盒箝夾進行壓縮時具有一固體止檔來維持位置準確度。
圖3係根據一實施例之一外盒之一盒門120之一俯視圖。KC銷(125、127、129)、保險掣子銷(121、123)及過濾器入口(122、124)安置於盒門120上。應瞭解本文所描述及敘述之實施例不限於所描述之銷及/或入口之數目及位置。即，本文所描述及敘述之銷及/或入口之數目及位置僅為了描述性目的而提供且不意欲為限制性。
如圖3中所展示，在一平面圖中，後KC銷125在盒門120之一中線L附近或上安置於靠近盒門120之一底部之一位置處。在平面圖中，前KC銷(127、129)沿中線L對稱地安置於靠近盒門120之一頂部之位置處。在平面圖中，保險掣子銷(121、123)沿中線L對稱地安置於靠近盒門120之底部之位置處。在平面圖中，過濾器入口(122、124)沿中線L對稱地安置於靠近盒門120之底部及靠近其側之位置處。後KC銷125及保險 掣子銷(121、123)可在X方向上實質上彼此對準。
在一實施例中(例如，參閱圖2B及圖3)，當盒門120處於鎖定狀態時，自箝夾機構(例如，外盒(110、120)之蓋箝夾或其類似者)施加於蓋130上之箝夾力(例如，參閱圖2B中在Z方向上之區塊箭頭)在Z方向上不與KC銷(125、127、129)對準。支撐(來自KC銷)與自蓋130至底板140之箝夾位置(例如，參閱圖2B中之區塊箭頭)之差異可至少在後KC銷125上方產生高壓區域及局部變形。此高壓及變形可導致蓋130與底板140之間的加速磨損。本文所揭示之實施例可有助於分散此壓力以減少或擴散自一特定位置(後KC銷125或其他KC銷或其類似者)至其他位置之磨損以減少一使用者可意識到或關心之特定位置中之磨損之一攻擊性或嚴重性。
圖4A係根據一實施例之一KC銷400之一橫截面透視圖。圖4B係根據一實施例之圖4A之KC銷400之一透視圖。KC銷400可為圖2A至圖3之KC銷(125、127、129)之任一者。
應瞭解，本文所描述及敘述之實施例不限於所描述之KC銷之結構及實施方案。即，本文所描述及敘述之KC銷之結構及實施方案僅為了描述性目的而提供，且不意欲為限制性。
在一實施例中，KC銷400可為一彈簧負載銷。如圖4A及圖4B中所展示，KC銷400可包含一帽蓋410、一可壓縮構件(例如，一波墊圈、一彈簧或其類似者)420及一本體430。本體430包含一尖端432、一肩部434及一端436。尖端432可容納於帽蓋410之一凹槽中。波墊圈420可包圍尖端432安置且安置在肩部434上以支撐尖端432。
在一實施例中，帽蓋410可由聚合物(例如，聚乙烯或其類似者)或(若干)任何適合材料製成。波墊圈420可由不銹鋼或任何適合材料 製成。帽蓋410可在尖端432上滑動。應瞭解尖端432(連同波墊圈420)可經構形以在Z方向上具有順應性同時維持橫向剛性。KC銷400在Z方向上可具有順應性。當外盒(110、120)在內盒(130、140)之蓋130上向下箝夾時(例如，當盒門120自解鎖狀態過渡至鎖定狀態時)，KC銷400可在一特定量之力或負載(例如，在自4磅或約4磅至5磅或約5磅之範圍內)下向下擠壓(例如，藉由帽蓋410上之底板)一特定距離(例如，在自0.1毫米或約0.1毫米至0.2毫米或約0.2毫米之範圍內)。應瞭解此距離可等於圖2A之間隙C，使得當盒門120處於鎖定狀態時，KC銷(125、127、129)及保險掣子銷(121、123)兩者直接及完全接觸底板140使得箝夾力或壓力(在各箝夾位置處等於或約7磅)可自底板140分散至KC銷(125、127、129)及保險掣子銷(121、123)。即，在盒門120之後端，保險掣子銷(121、123)及後KC銷125可供應支撐以對抗箝夾壓力(例如，在盒門120之後端處14磅或約14磅)。
當盒門120自鎖定狀態過渡至解鎖狀態時，KC銷400之肩部434上之波墊圈420可將銷410向上推回一特定距離(例如，在自0.1毫米或約0.1毫米至0.2毫米或約0.2毫米之範圍內)至KC銷400之先前位置(在被擠壓之前)。
圖5係根據一實施例之一倍縮光罩盒500之一橫截面圖。倍縮光罩盒500可為上述倍縮光罩盒(100及/或200)。倍縮光罩盒500包含一內盒(蓋130及底板140)及一外盒(盒圓頂110及一盒門120)。盒門120之外殼包含用於支撐KC銷(125、127、129)之一底座510且包含底座510下面之複數個肋結構520。在一實施例中，底座510之一最小厚度可在等於或約2毫米至等於或約2.5毫米之範圍內。
在一實施例中，盒門120之外殼(諸如底座510及肋結構520)(其在(若干)KC銷下面)可經構形以在Z方向上具有順應性。可移除一些肋結構及/或可添加額外肋結構以實現所要順應性。
當外盒(110、120)在內盒(130、140)之蓋130上向下箝夾時(例如，當盒門120自解鎖狀態過渡至鎖定狀態時)，在一特定量之力或負載(例如，在自4磅或約4磅至5磅或約5磅之範圍內)下，可將盒門120之外殼(例如，藉由(若干)KC銷(125、127、129))向下擠壓一特定距離(例如，在自0.1毫米或約0.1毫米至0.2毫米或約0.2毫米之範圍內)。應瞭解，此距離可等於圖2A之間隙C，使得當盒門120處於鎖定狀態時，KC銷(125、127、129)及保險掣子銷(121、123)兩者直接及完全接觸底板140使得箝夾力或壓力(在各箝夾位置處等於或約7磅)可自底板140分散至KC銷(125、127、129)及保險掣子銷(121、123)。即，在盒門120之後端，保險掣子銷(121，123)及後KC銷125可供應支撐以對抗箝夾壓力(在盒門120之後端處等於或約14磅)。
當盒門120自鎖定狀態過渡至解鎖狀態時，盒門120之外殼(諸如底座510及肋結構520)可將(若干)KC銷(125、127、129)向上推回一特定距離(例如，在自0.1毫米或約0.1毫米至0.2毫米或約0.2毫米之範圍內)至KC銷(125、127、129)之先前位置(在被擠壓之前)。
應瞭解，本文所描述及敘述之實施例不限於所描述之盒門120之外殼結構(諸如底座510及肋結構520)及實施方案。即，本文所描述及敘述之盒門120之外殼結構及實施方案僅為了描述性目的而提供且不意欲為限制性。
圖6係根據一實施例之一盒門600之一部分(相對於圖5之盒 門120處於一顛倒位置)之一分解圖。盒門600可為上述盒門120。
盒門600包含一門凸輪620及(若干)閂鎖臂610(在圖5中亦標記為610)。可提供(若干)閂鎖臂610之底側上之(若干)斜坡(圖中未展示)使得當門凸輪620向外驅動閂鎖臂時(例如，當盒門600自解鎖狀態過渡至鎖定狀態時)，閂鎖臂610可沿(若干)斜坡向上移動以將保險掣子銷(121、123)朝向底板140向上推動。應瞭解，在另一實施例中，(若干)斜坡可為選用，且當門凸輪620向外驅動閂鎖臂時(例如，當盒門600自解鎖狀態過渡至鎖定狀態時)，閂鎖臂610可將保險掣子銷(121、123)朝向底板140向上推動。在又一實施例中，當盒門600自解鎖狀態過渡至鎖定狀態時，門凸輪620可將保險掣子銷(121、123)朝向底板140向上驅動。
在一實施例中，當外盒在內盒之蓋130上向下箝夾時(例如，當盒門600自解鎖狀態過渡至鎖定狀態時)，門凸輪620可向外驅動(若干)閂鎖臂610，且(若干)閂鎖臂610可沿(若干)斜坡向上移動以在一特定量之力或負載(例如，在自4磅或約4磅至5磅或約5磅之範圍內)下將保險掣子銷(121、123)(例如，經由保險掣子銷下面之底座510)朝向底板140向上推動一特定距離(例如，在自0.1毫米或約0.1毫米至0.2毫米或約0.2毫米之範圍內)。
應瞭解此距離可等於圖2A之間隙C，使得當盒門600處於鎖定狀態時，KC銷(125、127、129)及保險掣子銷(121、123)兩者直接及完全接觸底板140，使得箝夾力或壓力(在各箝夾位置處等於或約7磅)可自底板140分散至KC銷(125、127、129)及保險掣子銷(121、123)。即，在盒門600之後端，保險掣子銷(121、123)及後KC銷125可供應支撐以對抗箝夾壓力(例如，在盒門600之後端等於或約14磅)。當盒門600處於鎖定狀 態時，保險掣子銷(121、123)被啟動(例如，(如由(若干)閂鎖臂610或由門凸輪610)朝向底板140推動且接觸底板140)。
在一實施例中，當盒門600自鎖定狀態過渡至解鎖狀態時，門凸輪620可向內驅動(若干)閂鎖臂610，且(若干)閂鎖臂610可沿(若干)斜坡向下移動以使保險掣子銷(121、123)向下(例如，經由保險掣子銷下面之底座510)後退特定距離(例如，在自0.1毫米或約0.1毫米至0.2毫米或約0.2毫米之範圍內)至保險掣子銷(121、123)之先前位置(在被向上推動之前)。應瞭解，在另一實施例中，(若干)斜坡可為選用，且當門凸輪620向內驅動閂鎖臂時，閂鎖臂610可使保險掣子銷(121、123)向下(例如，經由保險掣子銷下面之底座510)後退特定距離至保險掣子銷(121、123)之先前位置(在被向上推動之前)。在又一實施例中，當盒門600自鎖定狀態過渡至解鎖狀態時，門凸輪620可使保險掣子銷(121、123)向下後退特定距離至保險掣子銷(121、123)之先前位置。
在一實施例中，可將支撐銷(圖中未展示)之一或多者安置於盒門600上。例如，一支撐銷可安置於前KC銷127與129之間。支撐銷亦可安置於KC銷125與127之間、KC銷125與129之間，或在任何適合位置。支撐銷(例如，支撐銷之一高度或一順應性)可經構形以便當盒門600處於鎖定狀態時減少及/或平衡前KC銷127及129上之壓力。
應瞭解，本文所描述及敘述之實施例不限於所描述之盒門600之結構及實施方案。即，本文所描述及敘述之盒門600之結構及實施方案僅為了描述性目的而提供，且不意欲為限制性。
本文所揭示之實施例可提供製備如上文所描述之倍縮光罩盒之一或多個組件之(若干)方法。所製備之倍縮光罩盒可有助於分散力 (例如，由箝夾力引起)以(例如)在循環內防止產生磨損。
應瞭解在既有倍縮光罩盒上，已執行FEA(有限元件分析)以指示高壓區域。磨損研究指示KC銷之後KC銷上方及/或其他位置之一致接觸及磨損痕跡。已測試用於消除空間或間隙之填隙保險掣子銷或墊且測試已展示消除先前在後KC銷上方位置及/或其他位置中磨損之內盒之一組底板之磨損。
亦將瞭解FEA及試驗已展示與自內盒之蓋至底板之箝夾位置中之差異有關之高壓可導致銷之後KC銷上方之磨損。本文所揭示之實施例可降低此高壓且仍準確地約束內盒。本文所揭示之實施例可在一外盒中更均勻地提供內盒下方之一支撐結構以減少歸因於彎曲之局部壓力及移動。
態樣：
態樣之任一者可彼此組合。
態樣1。一種裝置，其包括：一內容器，其具有一底板及一蓋；一外容器，其具有一盒圓頂及一盒門，該盒門具有一鎖定狀態及一解鎖狀態；及一第一組銷及一第二組銷，其等安置於該盒門上，該第一組銷及該第二組銷經構形以支撐該底板，其中當該盒門處於該解鎖狀態且該第一組銷接觸該底板時，在該第二組銷與該底板之間形成一間隙，當該盒門處於該鎖定狀態時，該第一組銷及該第二組銷接觸該底板。
態樣2。根據態樣1之裝置，其中該外容器包含箝夾機構。當該盒門處於該鎖定狀態時，自該箝夾機構施加於該蓋上之箝夾力在該內容器之一高度方向上不與該第一組銷對準。
態樣3。根據態樣1或態樣2之裝置，其中該間隙在自0.1毫 米或約0.1毫米至0.2毫米或約0.2毫米之範圍內。
態樣4。根據態樣1至3中之任一項之裝置，其中該第一組銷之至少一個銷在該內容器之一高度方向上具有順應性。
態樣5。根據態樣4之裝置，其中該至少一個銷係一彈簧負載銷。
態樣6。根據態樣4之裝置，其中該盒門包含用於支撐該至少一個銷之一順應式底座。
態樣7。根據態樣1至6中之任一項之裝置，其中該第二組銷經構形以在該盒門自該解鎖狀態過渡至該鎖定狀態時啟動，當該第二組銷被啟動時，將該第二組銷之各銷朝向該底板推動且接觸該底板。
態樣8。根據態樣7之裝置，其中該盒門包含一閂鎖臂，當該盒門自該解鎖狀態過渡至該鎖定狀態時，該閂鎖臂將該第二組銷朝向該底板推動使得該第二組銷接觸該底板。
態樣9。根據態樣7之裝置，其中該盒門包含一門凸輪。當該盒門自該解鎖狀態過渡至該鎖定狀態時，該門凸輪將該第二組銷朝向該底板驅動使得該第二組銷接觸該底板。
態樣10。根據態樣1至9中之任一項之裝置，其進一步包括：安置於該盒門上之一支撐銷。
態樣11。一種製作一裝置之方法，該裝置包含：一內容器，其具有一底板及一蓋；一外容器，其具有一盒圓頂及一盒門，該盒門具有一鎖定狀態及一解鎖狀態；及一第一組銷及一第二組銷，其等安置於該盒門上，該第一組銷及該第二組銷經構形以支撐該底板，該方法包括：製備該第一組銷及該第二組銷使得當該盒門處於該解鎖狀態且該第一組銷 接觸該底板時，在該第二組銷與該底板之間形成一間隙，且當該盒門處於該鎖定狀態時，該第一組銷及該第二組銷接觸該底板。
態樣12。根據態樣11之方法，其進一步包括：製備該外容器之箝夾機構使得當該盒門處於該鎖定狀態時，自該等箝夾機構施加於該蓋上之箝夾力在該內容器之一高度方向上不與該第一組銷對準。
態樣13。根據態樣11或態樣12之方法，其中該間隙在0.1毫米或約0.1毫米至0.2毫米或約0.2毫米之範圍內。
態樣14。根據態樣11至13中之任一項之方法，其進一步包括：製備該第一組銷之至少一個銷使得該至少一個銷在該內容器之一高度方向上具有順應性。
態樣15。根據態樣14之方法，其中該至少一個銷係一彈簧負載銷。
態樣16。根據態樣14之方法，其進一步包括：製備該盒門之一順應式底座以支撐該至少一個銷。
態樣17。根據態樣11至16中之任一項之方法，其進一步包括：製備該第二組銷使得當該盒門自該解鎖狀態過渡至該鎖定狀態時被啟動，其中當該第二組銷被啟動時，將該第二組銷之各銷朝向該底板推動且接觸該底板。
態樣18。根據態樣17之方法，其進一步包括：製備該盒門之一閂鎖臂使得當該盒門自該解鎖狀態過渡至該鎖定狀態時，該閂鎖臂將該第二組銷朝向該底板推動使得該第二組銷接觸該底板。
態樣19。根據態樣17之方法，其進一步包括：製備該盒門之一門凸輪使得當該盒門處於該鎖定狀態時，該門凸輪將該第二組銷朝向 該底板驅動使得該第二組銷接觸該底板。
態樣20。根據態樣11至19中之任一項之方法，其進一步包括：製備安置於該盒門上之一支撐銷。
本申請案中所揭示之實施例在所有方面均被視為繪示性而非限制性。本發明之範疇由隨附申請專利範圍而非由前述描述指示；且在申請專利範圍之意義及等效範圍內之所有變化均意欲涵蓋於其中。
本說明書中所使用之術語意欲描述特定實施例且不意欲為限制性。除非另有明確指示，術語「一」及「該」亦包含複數形式。術語「包括」在本說明書中使用時指定存在所述特徵、整體、步驟、操作、元件及/或組件，但不排除存在或添加一或多個其他特徵、整體、步驟、操作、元件及/或組件。
相對於先前描述，應理解可在不背離本發明之範疇之情況下，詳細進行改變，尤其在所採用之構造材料及部分之形狀、大小及配置方面。本說明書及所描述之實施例僅係例示性，其中本發明之真正範圍及精神由以下申請專利範圍指示。
100:倍縮光罩盒 110:外盒 120:外盒 130:內盒 140:內盒 150:倍縮光罩

Claims (20)

  1. 一種倍縮光罩盒，其包括： 一內容器，其具有一底板及一蓋； 一外容器，其具有一盒圓頂及一盒門，該盒門具有一鎖定狀態及一解鎖狀態；及 一第一組銷及一第二組銷，其等安置於該盒門上，該第一組銷及該第二組銷經構形以支撐該底板， 其中當該盒門處於該解鎖狀態且該第一組銷接觸該底板時，在該第二組銷與該底板之間形成一間隙， 當該盒門處於該鎖定狀態時，該第一組銷及該第二組銷接觸該底板。
  2. 如請求項1之倍縮光罩盒，其中該外容器包含箝夾機構， 當該盒門處於該鎖定狀態時，自該等箝夾機構施加於該蓋上之箝夾力在該內容器之一高度方向上不與該第一組銷對準。
  3. 如請求項1之倍縮光罩盒，其中該間隙在自0.1毫米或約0.1毫米至0.2毫米或約0.2毫米之範圍內。
  4. 如請求項1之倍縮光罩盒，其中該第一組銷之至少一個銷在該內容器之一高度方向上具有順應性。
  5. 如請求項4之倍縮光罩盒，其中該至少一個銷係一彈簧負載銷。
  6. 如請求項4之倍縮光罩盒，其中該盒門包含用於支撐該至少一個銷之一順應式底座。
  7. 如請求項1之倍縮光罩盒，其中該第二組銷經構形以在該盒門自該解鎖狀態過渡至該鎖定狀態時啟動， 當該第二組銷被啟動時，將該第二組銷之各銷朝向該底板推動且接觸該底板。
  8. 如請求項7之倍縮光罩盒，其中該盒門包含一閂鎖臂， 當該盒門自該解鎖狀態過渡至該鎖定狀態時，該閂鎖臂將該第二組銷朝向該底板推動使得該第二組銷接觸該底板。
  9. 如請求項7之倍縮光罩盒，其中該盒門包括一門凸輪， 當該盒門自該解鎖狀態過渡至該鎖定狀態時，該門凸輪將該第二組銷朝向該底板驅動，使得該第二組銷接觸該底板。
  10. 如請求項1之倍縮光罩盒，其進一步包括： 安置於該盒門上之一支撐銷。
  11. 一種製作一倍縮光罩盒之方法，該倍縮光罩盒包含：一內容器，其具有一底板及一蓋；一外容器，其具有一盒圓頂及一盒門，該盒門具有一鎖定狀態及一解鎖狀態；及一第一組銷及一第二組銷，其等安置於該盒門上，該第一組銷及該第二組銷經構形以支撐該底板，該方法包括： 製備該第一組銷及該第二組銷使得當該盒門處於該解鎖狀態且該第一組銷接觸該底板時，在該第二組銷與該底板之間形成一間隙，且當該盒門處於該鎖定狀態時，該第一組銷及該第二組銷接觸該底板。
  12. 如請求項11之方法，其進一步包括： 製備該外容器之箝夾機構使得當該盒門處於該鎖定狀態時，自該等箝夾機構施加於該蓋上之箝夾力在該內容器之一高度方向上不與該第一組銷對準。
  13. 如請求項11之方法，其中該間隙在0.1毫米或約0.1毫米至0.2毫米或約0.2毫米之範圍內。
  14. 如請求項11之方法，其進一步包括： 製備該第一組銷之至少一個銷使得該至少一個銷在該內容器之一高度方向上具有順應性。
  15. 如請求項14之方法，其中該至少一個銷係一彈簧負載銷。
  16. 如請求項14之方法，其進一步包括： 製備該盒門之一順應式底座以支撐該至少一個銷。
  17. 如請求項11之方法，其進一步包括： 製備該第二組銷使得當該盒門自該解鎖狀態過渡至該鎖定狀態時被啟動， 其中當該第二組銷被啟動時，將該第二組銷之各銷朝向該底板推動且接觸該底板。
  18. 如請求項17之方法，其進一步包括： 製備該盒門之一閂鎖臂使得當該盒門自該解鎖狀態過渡至該鎖定狀態時，該閂鎖臂將該第二組銷朝向該底板推動使得該第二組銷接觸該底板。
  19. 如請求項17之方法，其進一步包括： 製備該盒門之一門凸輪使得當該盒門處於該鎖定狀態時，該門凸輪將該第二組銷朝向該底板驅動使得該第二組銷接觸該底板。
  20. 如請求項11之方法，其進一步包括： 製備安置於該盒門上之一支撐銷。
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