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TWI872116B - 帶電粒子束裝置 - Google Patents

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TWI872116B
TWI872116B TW109131616A TW109131616A TWI872116B TW I872116 B TWI872116 B TW I872116B TW 109131616 A TW109131616 A TW 109131616A TW 109131616 A TW109131616 A TW 109131616A TW I872116 B TWI872116 B TW I872116B
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岩堀敏行
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日商日立高新技術科學股份有限公司
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Abstract

提供試料保持器和帶電粒子束裝置，能夠抑制裝置結構變得複雜，並且能夠容易地變更試料的位置和姿態。
試料保持器(19)具備：基部(41)、試料搭載部(42)、旋轉導引部(43)、冷卻載臺(46)、連接構件(47)、第1支撐部、以及固定導引部(48)。基部(41)固定於由載臺驅動機構(13)旋轉驅動的載臺(12)。旋轉導引部(43)導引基部(41)和試料搭載部(42)的同步旋轉。冷卻載臺(46)對試料(S)進行冷卻。連接構件(47)與冷卻載臺(46)連接。第1支撐部支撐由載臺(12)旋轉驅動的基部(41)。固定導引部(48)透過第1支撐部而與基部(41)連接，並且，獨立於基部(41)而導引連接構件(47)的固定。

Description

帶電粒子束裝置
本發明有關帶電粒子束裝置。
以往，在電子束裝置、聚焦離子束裝置或聚焦離子束和電子束的複合束裝置等帶電粒子束裝置中，期望進行基於所謂原位(in-situ)的多種試料分析。例如，公知有一種帶電粒子束裝置，該帶電粒子束裝置具有用於一邊冷卻試料一邊進行加工和觀察的冷卻載臺、用於對試料的電氣特性等進行分析的多探針、以及用於對試料的機械特性進行分析的奈米壓痕儀等。
例如，公知有一種聚焦離子束裝置，具備：試料保持器，其係在試料室的內部保持試料以用於試料的冷卻；以及冷卻用的熱傳遞構件，其係與試料保持器連結，並且經由設置於試料室的冷卻埠被導引至外部(例如參閱專利文獻1)。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2005-136389號專利公 報
但是，在上述這種帶電粒子束裝置中，有時與多個不同試料分析對應地在形成於試料室的多個專用埠配置有各種管和纜線等。但是，在試料室形成有多個專用埠的情況下，各種設備的佈局可能產生制約。此外，例如在具有由多個不同旋轉軸的旋轉機構等驅動的載臺(試料台)的情況下，各種試料分析所需要的管和纜線等與載臺或試料保持器連接，由此，可能很難進行期望的驅動。
本發明的目的在於，提供一種試料保持器和帶電粒子束裝置，其係能夠抑制裝置結構變得複雜，並且能夠容易地變更試料的位置和姿態。
為了解決上述課題，本發明的試料保持器，具備：基部，其係固定於驅動載臺；試料搭載部，其係搭載試料；驅動導引部，其係導引前述基部和前述試料搭載部的同步的驅動；功能部，其係對前述試料作用規定功能；連接構件，其係與前述功能部連接；第1支撐部，其係將由前述驅動載臺驅動的前述基部與前述連接構件之間支撐為能夠相對移動；以及固定導引部，其係經由前述第1支撐部而與前述基部連接，並且，獨立於前述基部而導 引前述連接構件的固定。
在上述結構中，也可以是，還具備：第2支撐部，其係將由前述驅動載臺驅動的前述試料搭載部與前述功能部之間支撐為能夠相對移動；前述功能部透過前述第2支撐部而與前述試料搭載部連接。
在上述結構中，也可以是，前述功能部藉由在形成於內部的流路和前述連接構件中流通的冷媒，對前述試料搭載部進行冷卻。
在上述結構中，也可以是，前述驅動導引部具備熱絕緣構造。
在上述結構中，也可以是，還具備：導通連接部，其係在導通狀態下將固定於由前述驅動載臺驅動的前述試料搭載部的前述功能部與前述連接構件之間連接為能夠相對移動。
本發明的帶電粒子束裝置，具備：如請求項1至5中任1項的試料保持器；試料室，其係配置有前述驅動載臺；帶電粒子束鏡筒，其係對前述試料照射帶電粒子束；交換室，其係安裝於前述試料室；開閉部，其係對前述試料室與前述交換室之間進行開閉；以及搬運構件，其係在前述試料室與前述交換室之間搬運前述試料保持器。
根據本發明，具有固定導引部，該固定導引部獨立於由驅動載臺驅動的基部而導引與功能部連接的連 接構件的固定，由此，能夠抑制裝置結構變得複雜，並且能夠容易地變更試料的位置和姿態。
O:旋轉軸線
S:試料
10:帶電粒子束裝置
11:試料室
12:載臺(驅動載臺)
13:載臺驅動機構
14:檢測器
15:氣體供給部
16:電子束鏡筒(帶電粒子束鏡筒)
17:聚焦離子束鏡筒(帶電粒子束鏡筒)
18:交換室
19,19A,19B:試料保持器
21:旋轉機構
22:線型運動機構
30:閘閥(開閉部)
31:搬運構件
32:饋通
41:基部
42:試料搭載部
42a:試料固定部
42b:連結部
43,43A,43B:旋轉導引部(驅動導引部)
44:第1支撐部(第1支撐部)
45:第2支撐部(第2支撐部)
46:冷卻載臺
46b:冷卻部(功能部)
46d:循環流路(流路)
47,47A:連接構件
48:固定導引部
49:導引支撐部
51:功能載臺
61:試料搭載部
62:功能部
63:連結部
64:連接端部
65:導通連接部
[圖1]是示出本發明的實施方式中的帶電粒子束裝置的結構的立體圖。
[圖2]是切斷本發明的實施方式中的帶電粒子束裝置的試料室和交換室的一部分並從Z軸方向觀察的圖。
[圖3]是示出本發明的實施方式中的帶電粒子束裝置的載臺和試料保持器的結構的立體圖。
[圖4]是示出本發明的實施方式中的試料保持器的結構的立體圖。
[圖5]是示出本發明的實施方式中的試料保持器的結構的剖視圖。
[圖6]是示出本發明的實施方式的第1變形例中的試料保持器的結構的剖視圖。
[圖7]是示出本發明的實施方式的第1變形例中的功能載臺的一例的圖。
[圖8]是示出本發明的實施方式的第1變形例中的功能載臺的另一例的圖。
[圖9]是示出本發明的實施方式的第2變形例中的試料保持器的結構的剖視圖。
[圖10]是圖9所示的區域X的局部放大圖。
下面，參閱附圖對本發明的實施方式的試料保持器和帶電粒子束裝置進行說明。
(帶電粒子束裝置)
圖1是示出實施方式中的帶電粒子束裝置10的結構的立體圖。圖2是切斷實施方式中的帶電粒子束裝置10的試料室11和交換室18的一部分並從Z軸方向觀察的圖。另外，以下，X軸、Y軸和Z軸構成三維正交坐標系。三維空間中彼此正交的X軸、Y軸和Z軸的各軸方向是與各軸平行的方向。X軸方向和Y軸方向跟與帶電粒子束裝置10的上下方向正交的基準面(例如水平面等)平行。Z軸方向與帶電粒子束裝置10的上下方向(例如與水平面正交的垂直方向等)平行。
帶電粒子束裝置10例如是電子束和聚焦離子束的複合束裝置。帶電粒子束裝置10具有試料室11、載臺(試料台)12、載臺驅動機構13、檢測器14、氣體供給部15、電子束鏡筒16、聚焦離子束鏡筒17、交換室18和試料保持器19。
試料室11使內部維持減壓狀態。
載臺12配置於試料室11的內部的載臺驅動機構13。載臺12固定試料保持器19。載臺驅動機構13固定於試料室11的內部。載臺驅動機構13根據來自控制裝置(圖示省略)的指令對載臺12進行驅動。
圖3是示出實施方式中的帶電粒子束裝置10的載臺12和試料保持器19的結構的立體圖。載臺驅動機構13例如具有旋轉機構21和線型運動機構22。旋轉機構21使載臺12繞規定旋轉軸旋轉。旋轉機構21的規定旋轉軸的軸線方向例如與Z軸方向平行。線型運動機構22使載臺12和旋轉機構21沿規定方向滑動移動。線型運動機構22的規定方向例如與Y軸方向平行。線型運動機構22例如具有配置有旋轉機構21的滑動台22a、沿規定方向延伸的線型運動軸部22b、以及沿著線型運動軸部22b使滑動台22a移動的驅動部22c。
如圖1所示，檢測器14固定於試料室11。檢測器14例如是檢測通過照射聚焦離子束而從試料S產生的二次帶電粒子(二次電子和二次離子)的二次帶電粒子檢測器等。
氣體供給部15固定於試料室11。氣體供給部15將蝕刻用氣體和沉積用氣體等供給到試料S。蝕刻用氣體根據試料S的材質而選擇性地促進聚焦離子束對試料S的蝕刻。沉積用氣體在試料S的表面形成基於金屬或絕緣體等堆積物的沉積膜。
電子束鏡筒16固定於試料室11。電子束鏡筒16具有產生電子束的電子源、和使從電子源產生的電子束會聚和偏轉的電子光學系統。
聚焦離子束鏡筒17固定於試料室11。聚焦離子束鏡筒17具有產生離子束的離子源和對從離子源產生的離子束進 行會聚、偏轉和修正的離子光學系統。
如圖1和圖2所示，交換室18經由閘閥30安裝於試料室11。閘閥30對使試料室11和交換室18彼此的內部空間相通的貫通孔(圖示省略)的開閉進行切換。交換室18在與試料室11相通的情況下，使內部維持減壓狀態。
交換室18具有搬運構件31和饋通32。
搬運構件31的外形例如為棒狀。搬運構件31的中心軸線例如與X軸方向平行。搬運構件31的軸向的第1端部31a向交換室18的外部突出。搬運構件31的軸向的第2端部31b與試料保持器19連結。搬運構件31沿軸向進退，由此，在交換室18與試料室11之間搬運試料保持器19。
饋通32與後述試料保持器19的連接構件47連接。饋通32在交換室18的內部與外部之間輸送電訊號或流體等。經由在交換室18設置饋通32的方式，與在試料室11設置專用埠的情況相比，各種設備的佈局的自由度增大，抑制了裝置結構的複雜化。
(試料保持器)
圖4是示出實施方式中的試料保持器19的結構的立體圖。圖5是示出實施方式中的試料保持器19的結構的剖視圖。
如圖3~圖5所示，試料保持器19具備：基部41、試料搭載部42、旋轉導引部43、第1支撐部44、第2支撐部45、冷卻載臺46、連接構件47和固定導引部48。
基部41固定於載臺12。基部41透過第1支撐部44而與冷卻載臺46連接。在基部41的周緣部中的、例如沿著X軸方向的交換室18側的部位設置有裝配部41a，該裝配部41a裝配有交換室18的搬運構件31的第2端部31b。
試料搭載部42搭載試料S。試料搭載部42經由旋轉導引部43而與基部41連結。試料搭載部42經由第2支撐部45而與冷卻載臺46熱連接。試料搭載部42例如具有試料固定部42a和固定於試料固定部42a的連結部42b。
試料固定部42a固定試料S。連結部42b與旋轉導引部43連結和固定。連結部42b由第2支撐部45支撐。由第2支撐部45支撐的連結部42b通過從旋轉導引部43輸入的旋轉驅動力，與試料固定部42a一起繞旋轉軸線O旋轉。旋轉軸線O例如與試料搭載部42的中心軸線相同。旋轉軸線O的軸線方向例如與Z軸方向平行。
旋轉導引部43與基部41及試料搭載部42連結並固定。旋轉導引部43導引基部41和試料搭載部42的同步旋轉。例如在載臺12藉由載臺驅動機構13的旋轉機構21而繞旋轉軸線O旋轉驅動的情況下，旋轉導引部43使基部41和試料搭載部42一體地與載臺12一起旋轉。旋轉導引部43例如具有基部連結部43a、熱絕緣部43b和熱絕緣性連結部43c。
基部連結部43a的外形例如為與X-Z平面平行的板狀或後述圖9和圖10所示的棒狀。基部連結部43a的Z軸方向的兩端中的第1端部固定於基部41。基部連結部43a例如在X- Y平面內從旋轉軸線O偏移配置。
熱絕緣部43b設置於基部連結部43a的Z軸方向的兩端中的第2端部。熱絕緣部43b例如由熱傳導率低的樹脂等絕熱性材料形成。熱絕緣部43b支撐熱絕緣性連結部43c。
熱絕緣性連結部43c例如是薄壁管等熱傳導率低的構造的絕熱性構件。熱絕緣性連結部43c藉由緊固等固定於試料搭載部42的連結部42b。
第1支撐部44例如是軸承等。第1支撐部44配置於冷卻載臺46。第1支撐部44支撐相對於冷卻載臺46繞旋轉軸線O相對旋轉移動的基部41。
第2支撐部45例如是軸承等。第2支撐部45配置於冷卻載臺46。第2支撐部45支撐相對於冷卻載臺46繞旋轉軸線O相對旋轉移動的試料搭載部42。第2支撐部45藉由接觸等使試料搭載部42和冷卻載臺46熱連接，以使得在試料搭載部42與冷卻載臺46之間產生熱傳導。
冷卻載臺46例如具有沿著Z軸方向依次配置而成為一體的第1端部46a、冷卻部46b和第2端部46c。
第1端部46a與第2支撐部45連接。
冷卻部46b經由第1端部46a和第2支撐部45對試料搭載部42的試料S進行冷卻。冷卻部46b與旋轉軸線O交叉配置。冷卻部46b的中心軸線與旋轉軸線O相同。冷卻部46b與連接構件47連接。冷卻部46b例如具有經由連接構件47供給和排出的冷媒的循環流路46d、經由連接構件47輸出電訊號的溫度感測器和經由連接構件47通電的熱電元件 等。連接構件47例如具備具有電訊號和電源用的連接器的纜線47a、以及冷媒的供給和排出用的一對管47b。冷媒例如是用於對熱電元件的散熱側進行冷卻的水或氟系液體或用於間接地對試料S進行冷卻的氮等。
第2端部46c與第1支撐部44連接，並且固定於固定導引部48。
固定導引部48固定於冷卻載臺46。固定導引部48透過第1支撐部44而與基部41連接。固定導引部48獨立於基部41而導引冷卻載臺46和與冷卻載臺46連接的連接構件47的固定。固定導引部48例如具有固定部48a、一對連結部48b和位置限制部48c。
固定部48a的外形例如為沿著X軸方向朝向交換室18延伸的板狀。固定部48a沿X軸方向比基部41更向交換室18側突出。固定部48a的X軸方向的兩端中的第1端部固定於冷卻載臺46的第2端部46c。固定部48a的X軸方向的兩端中的第2端部通過一對連結部48b而與位置限制部48c連結。
一對連結部48b的外形例如為沿Z軸方向延伸的棒狀。從X軸方向觀察，一對連結部48b沿Y軸方向配置於基部41的裝配部41a的兩側。一對連結部48b沿Y軸方向隔開規定間隔進行配置，以使得不與裝配於裝配部41a的搬運構件31發生干涉。
位置限制部48c的外形例如為沿Y軸方向延伸的板狀。位置限制部48c固定於一對連結部48b。位置限制部48c藉 由導引支撐部49被限制位置，該導引支撐部配置於圖3所示的載臺驅動機構13的線型運動機構22的線型運動軸部22b。位置限制部48c例如裝配於凹槽49a，該凹槽形成於導引支撐部49且沿X軸方向延伸，由此，試料室11的內部的繞旋轉軸線O的位置被固定。特別是在藉由線型運動機構22使載臺12和旋轉機構21沿Y軸方向滑動的情況下，位置限制部48c也維持繞旋轉軸線O的位置被固定的狀態。
如上所述，實施方式的試料保持器19具有固定導引部48，該固定導引部獨立於基部41而導引連接構件47的固定，由此，能夠容易地變更試料S的位置和姿態。在基部41和試料搭載部42同步旋轉的情況下，固定導引部48也能夠相對於試料室11對與冷卻載臺46連接的連接構件47進行位置限制。由此，能夠抑制產生連接構件47的扭轉或捲繞等不良情況，並且，能夠藉由載臺驅動機構13任意地設定試料S的位置和姿態，能夠提高試料S的製作和加工等的精度。
藉由具備第2支撐部45，該第2支撐部支撐與基部41同步地旋轉驅動的試料搭載部42，並且與冷卻載臺46連接，由此，能夠相對於試料室11對冷卻載臺46進行位置限制，並且能夠確保試料搭載部42與冷卻載臺46之間的期望的熱傳導。
連結基部41和試料搭載部42的旋轉導引部43具有熱絕緣部43b和熱絕緣性連結部43c，由此，能夠防止冷卻載臺46對試料搭載部42的冷卻被抑制。
(變形例)
以下，對實施方式的變形例進行說明。
在上述實施方式中，試料保持器19具有冷卻載臺46，但是不限於此，也可以代替冷卻載臺46而具有對試料S作用規定功能的功能載臺。
圖6是示出實施方式的第1變形例中的試料保持器19A的結構的剖視圖。圖7是示出實施方式的第1變形例中的功能載臺51的一例的圖。圖8是示出實施方式的第1變形例中的功能載臺51的另一例的圖。另外，以下，對與上述實施方式相同的部分標注相同元件符號並省略或簡化說明。
第1變形例的試料保持器19A具備：基部41、功能載臺51、旋轉導引部43A、第1支撐部44、連接構件47A和固定導引部48。
功能載臺51例如具備：試料搭載部61、功能部(分析部、試驗部、控制部)62、連結部63、連接端部64和導通連接部65。
試料搭載部61搭載並固定試料S。試料搭載部61固定於功能部62。試料搭載部61具有與功能部62的作用對應的結構。
例如如圖7所示，在對試料S的電氣特性或不良部位等進行分析的功能部62的情況下，試料搭載部61具有致動器61a和探針61b。致動器61a使探針61b與試料S接觸，並且經由探針61b對試料S進行電壓的施加等。功能部 62經由致動器61a和探針61b進行電流和電壓等的施加和計測。
例如如圖8所示，在對試料S的機械特性進行分析的功能部62的情況下，試料搭載部61具有致動器61c和可動機構部61d。致動器61c通過可動機構部61d的驅動來進行試料S的拉伸、壓縮、扭轉和剪切等。功能部62經由致動器61c和可動機構部61d進行電源供給以及載荷和變位元等的狀態量的計測。
連結部63固定於功能部62。連結部63與旋轉導引部43A連結。
旋轉導引部43A與基部41和連結部63連結和固定。旋轉導引部43A導引基部41與試料搭載部61及功能部62的同步旋轉。例如在載臺12藉由載臺驅動機構13的旋轉機構21而繞旋轉軸線O旋轉驅動的情況下，旋轉導引部43A使基部41以及試料搭載部61和功能部62一體地與載臺12一起旋轉。旋轉導引部43A例如具有基部連結部43a和絕緣連結部43d。絕緣連結部43d例如由樹脂或陶瓷等電絕緣性高的材料形成。絕緣連結部43d藉由緊固等固定於功能載臺51的連結部63。
連接端部64與第1支撐部44連接，並且固定於固定導引部48。連接端部64與連接構件47A連接。連接構件47A例如具備纜線47a，該纜線具有電訊號和電源用的連接器。第1支撐部44支撐相對於連接端部64繞旋轉軸線O相對旋轉移動的基部41。固定導引部48獨立於基部41而導 引連接端部64和與連接端部64連接的連接構件47A的固定。
如圖6所示，連結部63和連接端部64連接於導通連接部65。導通連接部65例如是旋轉連接用的連接器等。導通連接部65在導通狀態下將由載臺12驅動的試料搭載部61、功能部62和連結部63以及連接端部64、和與連接端部64連接的連接構件47A連接為能夠相對移動。導通連接部65例如具有固定於連結部63的第1連接部65a、以及固定於連接端部64的第2連接部65b。第1連接部65a和第2連接部65b維持相互的導通狀態，並且繞旋轉軸線O相對旋轉移動。
在上述第1變形例中，具備固定導引部48，該固定導引部獨立於基部41而導引連接構件47A的固定，在此基礎上具有導通連接部65，該導通連接部以能夠相對移動的方式在導通狀態下連接由載臺12驅動的試料搭載部61與相對於試料室11被進行位置限制的連接構件47A之間，由此，能夠容易地變更試料S的位置和姿態。導通連接部65具有維持相互的導通狀態、並且相對地進行旋轉的第1連接部65a和第2連接部65b，因此，能夠抑制產生連接構件47A的扭轉或捲繞等不良情況。由此，能夠確保針對試料S的電流和電壓等的施加和計測，並且能夠通過載臺驅動機構13任意地設定試料S的位置和姿態，能夠容易地進行各種試料分析。
在上述實施方式中，旋轉導引部43的基部連 結部43a從旋轉軸線O偏移配置，但是不限於此，基部連結部43a的中心軸線也可以與旋轉軸線O相同。
圖9是示出實施方式的第2變形例中的試料保持器19B的結構的剖視圖。圖10是圖9所示的區域X的局部放大圖。另外，以下，對與上述實施方式相同的部分標注相同元件符號並省略或簡化說明。
如圖10所示，在第2變形例的試料保持器19B中，旋轉導引部43B具有沿著旋轉軸線O依次配置而成為一體的基部連結部43a、熱絕緣部43b、熱絕緣性連結部43c和絕緣連結部43d。
基部連結部43a的外形例如為沿著旋轉軸線O延伸的棒狀。基部連結部43a的Z軸方向的兩端中的第1端部固定於基部41。
熱絕緣部43b設置於基部連結部43a的Z軸方向的兩端中的第2端部。熱絕緣部43b例如由熱傳導率低的樹脂等絕熱性材料形成。熱絕緣部43b支撐熱絕緣性連結部43c。
熱絕緣性連結部43c例如是薄壁管等熱傳導率低的構造的絕熱性構件。熱絕緣性連結部43c固定於絕緣連結部43d。
絕緣連結部43d固定於試料搭載部42的連結部42b。絕緣連結部43d例如由熱傳導率低的樹脂等絕熱性材料形成。
如圖9所示，試料保持器19B的第1支撐部44不是配置於冷卻載臺46，而是配置於與固定導引部48的固 定部48a連接的軸部48e。第1支撐部44支撐相對於固定導引部48繞旋轉軸線O相對旋轉移動的基部41。
試料保持器19B的冷卻載臺46被配置成，從Y軸方向觀察，在從旋轉軸線O偏移的位置處，從Z軸方向的兩側被第2支撐部45和固定導引部48的固定部48a夾著。冷卻載臺46的第2端部46c不與第1支撐部44連接，固定於固定導引部48。
第2變形例的固定導引部48具有配置於固定部48a的第3支撐部48d。第3支撐部48d例如是軸承等。第3支撐部48d支撐相對於固定部48a繞旋轉軸線O相對旋轉移動的基部連結部43a。
在上述第2變形例中，旋轉導引部43B的中心軸線與旋轉軸線O相同，由此，在基部41和試料搭載部42繞旋轉軸線O旋轉360°的情況下，也能夠防止旋轉導引部43B和與冷卻載臺46連接的連接構件47發生干涉。由此，能夠抑制產生連接構件47的扭轉或捲繞等不良情況，並且，能夠藉由載臺驅動機構13任意地設定試料S的位置和姿態，能夠提高試料S的製作和加工等的精度。
實施方式和變形例的帶電粒子束裝置10具有搬運構件31，該搬運構件在試料室11與交換室18之間搬運試料保持器19、19A、19B，由此，能夠抑制裝置結構變得複雜，並且能夠實現針對試料S的各種功能。例如不需要對試料室11內的載臺12等進行改造，且不需要針對試料室11形成各種埠，藉由更換試料保持器19、19A、19B， 就能夠容易地變更針對試料S的各種功能。
在上述實施方式中，帶電粒子束裝置10設為電子束和聚焦離子束的複合束裝置，但是不限於此。例如，帶電粒子束裝置10也可以是聚焦離子束裝置或電子束裝置。
本發明的實施方式是作為例子而提示的，並不意圖限定發明的範圍。這些實施方式，係可以以其他各式各樣的形態來實施，在不逸脫發明的要旨的範圍內，可以進行種種的省略、置換、變更。這些實施方式或其變形，是與被包含在發明的範圍或要旨同樣，為被包含在申請專利範圍所記載的發明以及其均等的範圍者。
10:帶電粒子束裝置
12:載臺(驅動載臺)
13:載臺驅動機構
19:試料保持器
21:旋轉機構
22:線型運動機構
22a:滑動台
22b:線型運動軸部
22c:驅動部
41:基部
41a:裝配部
42:試料搭載部
42a:試料固定部
42b:連結部
43:旋轉導引部(驅動導引部)
43a:基部連結部
43b:熱絕緣部
43c:熱絕緣性連結部
45:第2支撐部(第2支撐部)
46:冷卻載臺
47:連接構件
47a:纜線
47b:排出用的一對管
48:固定導引部
49:導引支撐部
49a:凹槽
S:試料

Claims (5)

  1. 一種帶電粒子束裝置，具備：試料保持器、試料室、帶電粒子束鏡筒、交換室、開閉部以及搬運構件；前述試料保持器具備：基部，其係固定於驅動載臺；試料搭載部，其係搭載試料；驅動導引部，其係導引前述基部和前述試料搭載部的同步的驅動；功能部，其係對前述試料作用規定功能；連接構件，其係與前述功能部連接；第1支撐部，其係將由前述驅動載臺驅動的前述基部與前述連接構件之間支撐為能夠相對移動；以及固定導引部，其係經由前述第1支撐部而與前述基部連接，並且，獨立於前述基部而導引前述連接構件的固定；前述試料室配置有前述驅動載臺；前述帶電粒子束鏡筒對前述試料照射帶電粒子束；前述交換室安裝於前述試料室；前述開閉部對前述試料室與前述交換室之間進行開閉；前述搬運構件在前述試料室與前述交換室之間搬運前述試料保持器。
  2. 如請求項1的帶電粒子束裝置，其中，還 具備：第2支撐部，其係將由前述驅動載臺驅動的前述試料搭載部與前述功能部之間支撐為能夠相對移動；前述功能部透過前述第2支撐部而與前述試料搭載部連接。
  3. 如請求項1或2的帶電粒子束裝置，其中，前述功能部藉由在形成於內部的流路和前述連接構件中流通的冷媒，對前述試料搭載部進行冷卻。
  4. 如請求項3的帶電粒子束裝置，其中，前述驅動導引部具備熱絕緣構造。
  5. 如請求項1的帶電粒子束裝置，其中，還具備：導通連接部，其係在導通狀態下將固定於由前述驅動載臺驅動的前述試料搭載部的前述功能部與前述連接構件之間連接為能夠相對移動。
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