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TWI871511B - 靜電釋放緩解閥 - Google Patents

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TWI871511B
TWI871511B TW111116329A TW111116329A TWI871511B TW I871511 B TWI871511 B TW I871511B TW 111116329 A TW111116329 A TW 111116329A TW 111116329 A TW111116329 A TW 111116329A TW I871511 B TWI871511 B TW I871511B
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fluoropolymer
fluid
diaphragm valve
flexible
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TW111116329A
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Inventor
約翰 A 雷斯
沈載翰
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美商恩特葛瑞斯股份有限公司
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Abstract

本發明提供緩解流體迴路中之靜電電荷之操作性組件。說明性實施例包括隔膜閥，該等隔膜閥提供流體控制並允許靜電荷在此等隔膜閥接地時耗散。

Description

靜電釋放緩解閥
本發明之實施例係關於流體處理系統，且更具體言之，係關於在超純流體處理系統中使用之具備靜電釋放緩解功能之操作性組件。
提供高純度標準之流體處理系統在先進技術應用中有許多用途。此等應用包括太陽能面板、平板顯示器之加工及製造，及半導體行業中之應用，例如光微影、散裝化學品輸送、化學機械拋光(CMP)、濕式蝕刻及清潔。在此等應用中使用之某些化學品具有特別強的腐蝕性，由於流體處理組件可能被腐蝕並且化學品可能會滲入環境中，因此無法使用一些習知之流體處理技術。
為了滿足此類應用之耐腐蝕性及純度要求，流體處理系統提供由惰性聚合物製成之管道、配件、閥及其他元件。此等惰性聚合物可包括但不限於氟聚合物，例如四氟乙烯聚合物(PTFE)、全氟烷氧基烷烴聚合物(PFA)、乙烯及四氟乙烯聚合物(ETFE)、乙烯、四氟乙烯及六氟丙烯聚合物(EFEP)及氟化乙烯丙烯聚合物(FEP)。除了提供非腐蝕性且惰性之構造外，許多氟聚合物，例如PFA，係可注射、可模塑及/或可擠出的。
靜電釋放(ESD)為用於半導體行業及其他技術應用中之流 體處理系統之重要技術問題。流體與流體系統中之各種操作組件(例如管道或管路、閥、配件、過濾器等)之表面之間的摩擦接觸可能會引起靜電荷產生及積聚。電荷產生之程度取決於各種因素，包括但不限於組件及流體之性質、流體速度、流體黏度、流體之導電性、至接地之路徑、液體中之湍流及剪切、流體中之空氣之存在及表面積。2014年NFPA 77靜電推薦規程(Recommended Practice on Static Electricity)第77-1至77-67頁論述並報告了此等性質，及緩解由此等性質引起之不希望之靜電荷之方法。
此外，當流體流經系統時，電荷可以被稱為流動電荷之現象被帶至下游，其中電荷可能會積聚在電荷起源之處之外。在各種製程步驟中，足夠的電荷累積可能會在管道或管壁、組件表面或甚至基板或晶圓上引起ESD。
在一些應用中，半導體基板或晶圓對靜電荷高度敏感，且此類ESD可能會引起基板或晶圓之損壞或破壞。舉例而言，由於不受控制之ESD，基板上之電路可能會被破壞，且光敏性化合物可能會在定期曝露之前被活化。另外，積聚靜電荷可自流體處理系統內放電至外部環境，可能會損壞流體處理系統中之組件(例如，管道或管路、配件、組件、容器、過濾器等)，此可能會引起洩漏、系統中之流體溢出及組件之效能減弱。在此等情況下，當在受損之流體處理系統中使用易燃、有毒及/或腐蝕性流體時，此類放電可能會引起潛在火災或爆炸。
在一些流體處理系統中，為了減少靜電荷之積聚，流體處理系統中之某些金屬或導電組件接地以緩解系統中靜電荷之積聚，因為靜電荷不斷自金屬或導電組件分散至地面。多個接地帶之習知使用可能會使流體處理系統中出現過度之機械雜亂，並且可能產生需要大量維護之複雜 接地系統網路或可能使系統出現不希望之污染、腐蝕或故障之複雜系統。
期望改良超純流體處理系統中之ESD緩解，以改良組件效能並減少可能具損壞性之ESD事件。
本發明之一或多個實施例係關於一種用於流體迴路之包含外殼之操作性組件，其具有：i)一或多個流體進入配件；ii)一或多個流體輸出配件，及iii)一或多個流體控制組件，其流體連通該一或多個流體進入配件與該一或多個流體輸出配件，其中流體控制組件包含導電氟聚合物以將靜電荷自流體控制組件轉移至接地。例示性實施例為控制自操作性組件之進入配件(即，入口配件)至輸出配件(即，出口配件)之流體流動之閥。
在某些實施例中，操作性組件包含隔膜閥，該隔膜閥具有可撓性氟聚合物本體以控制自進入配件至輸出配件之流體流動。在選定實施例中，可撓性氟聚合物本體包含導電氟聚合物，該導電氟聚合物可為例如形成在可撓性本體之整個或全部結構中基本導電之可撓性氟聚合物本體之導電複合氟聚合物，或圍繞非導電可撓性氟聚合物本體之周邊之導電氟聚合物段，該導電氟聚合物段形成具有導電複合氟聚合物周邊段及此周邊段內之非導電氟聚合物區之可撓性氟聚合物本體。
適用於所揭示之隔膜閥之氟聚合物包括但不限於全氟烷氧基烷烴聚合物(PFA)、乙烯及四氟乙烯聚合物(ETFE)、乙烯、四氟乙烯及六氟丙烯聚合物(EFEP)、氟化乙烯丙烯聚合物(FEP)、四氟乙烯聚合物(PTFE)或其組合。在某些實施例中，適用於隔膜閥之聚合物包含負載有導電材料之四氟乙烯聚合物。在某些實施例中，此等氟聚合物負載有約0.1至10wt%、較佳約1至7wt%或更佳約3至5wt%範圍內之碳黑。
在一些實施例中，所揭示之隔膜閥包含全氟離聚物顆粒，該全氟離聚物顆粒與非導電氟聚合物摻合以形成包括非導電氟聚合物基體及分佈在非導電氟聚合物基體內之全氟離聚物區之複合物。非導電氟聚合物基體內之全氟離聚物區賦予所得複合物靜電耗散性質。合適之全氟離聚物之實例為具有聚(四氟乙烯)主鏈及由磺酸基團封端之全氟醚側鏈之全氟磺酸(PFSA)聚合物，其可作為NAFIONTM離聚物(NAFIONTM為科慕公司(The Chemours Company)之商標)市售。市售全氟離聚物之額外實例包括但不限於FLEMION®(旭硝子公司(Asahi Glass Company))、ACIPLEX®(旭化成(Asahi Kasei))或FUMION® F.(FuMA-Tech)離聚物。美國公開案第US 2020/0103056 A1號報告了用於靜電耗散系統之全氟離聚物，該美國公開案之全部內容出於所有目的以引用之方式併入本文中。
本發明之其他實施例係關於一種用於流體迴路之隔膜閥，其包含兩個或更多個外殼組件、一或多個進入配件、一或多個輸出配件及隔膜；其中隔膜包含可撓性導電氟聚合物本體以將靜電荷自隔膜轉移至接地。可撓性氟聚合物本體例如包含導電氟聚合物，該導電氟聚合物可為例如形成在可撓性本體之整個或全部結構中基本導電之可撓性氟聚合物本體之導電複合氟聚合物，或圍繞非導電可撓性氟聚合物本體之周邊之導電氟聚合物段，該導電氟聚合物段形成在周邊段之整個或全部結構中具有導電複合氟聚合物周邊段且具有此周邊段內之非導電氟聚合物區之可撓性氟聚合物本體。
適用於隔膜閥之所揭示之可撓性氟聚合物本體之氟聚合物包括但不限於全氟烷氧基烷烴聚合物(PFA)、乙烯及四氟乙烯聚合物 (ETFE)、乙烯、四氟乙烯及六氟丙烯聚合物(EFEP)、氟化乙烯丙烯聚合物(FEP)、四氟乙烯聚合物(PTFE)或其組合。在某些實施例中，適用於隔膜閥之可撓性氟聚合物本體之聚合物包含負載有導電材料之四氟乙烯聚合物。在此等實施例中之一些中，隔膜閥之可撓性導電本體緩解隔膜閥之凸緣段中之靜電釋放。
本發明之某些實施例係關於一種用於流體迴路之隔膜閥，其包含各自具有凸緣段之兩個或更多個外殼組件、一或多個進入配件、一或多個輸出配件、隔膜及墊片；其中墊片包含導電氟聚合物以將靜電荷自隔膜閥轉移至接地。在選定實施例中，隔膜包含與墊片進行導電接觸之可撓性氟聚合物本體。
適用於所揭示之墊片之氟聚合物包括但不限於全氟烷氧基烷烴聚合物(PFA)、乙烯及四氟乙烯聚合物(ETFE)、乙烯、四氟乙烯及六氟丙烯聚合物(EFEP)、氟化乙烯丙烯聚合物(FEP)、四氟乙烯聚合物(PTFE)或其組合。在某些實施例中，墊片包含負載有導電材料之四氟乙烯聚合物。在此等實施例中之一些中，墊片緩解隔膜閥之凸緣段中之靜電釋放。
在一些實施例中，所揭示之墊片包含全氟離聚物顆粒，該全氟離聚物顆粒與非導電氟聚合物摻合以形成包括非導電氟聚合物基體及分佈在非導電氟聚合物基體內之全氟離聚物區之複合物。非導電氟聚合物基體內之全氟離聚物區賦予所得複合物靜電耗散性質。合適之全氟離聚物之實例為具有聚(四氟乙烯)主鏈及由磺酸基團封端之全氟醚側鏈之全氟磺酸(PFSA)聚合物，其可作為NAFIONTM離聚物(NAFIONTM為科慕公司(The Chemours Company)之商標)市售。市售全氟離聚物之額外實例包括 但不限於FLEMION®(旭硝子公司(Asahi Glass Company))、ACIPLEX®(旭化成(Asahi Kasei))或FUMION® F.(FuMA-Tech)離聚物。美國公開案第US 2020/0103056 A1號報告了用於靜電耗散系統之全氟離聚物。
本發明之一或多個實施例亦係關於一種具備整合靜電釋放緩解功能之流體迴路，其包含上文所描述之實施例中之任一個之接地操作性組件、隔膜閥或墊片。
此外，本發明之一或多個實施例係關於一種用整合靜電釋放緩解系統製造流體迴路之方法，其包含將上文所描述之實施例中之任一個之操作性組件、隔膜閥或墊片安裝在流體迴路中，及將操作性組件或隔膜閥或墊片接地。
以上概述並不意圖描述本發明之每個所說明之實施例或每一種實施。
10:隔膜閥
12:入口閥/入口配件
14:出口閥/出口配件
16:第一外殼組件
18:第一凸緣
20:第二外殼組件
22:第二凸緣
24:接地突片
26:致動器
28:可撓性氟聚合物本體
30:隔膜閥
32:入口配件
34:出口配件
36:第一外殼組件
38a:可撓性氟聚合物本體
38b:可撓性氟聚合物本體
40:第二外殼組件
42:致動器/凸緣段
44:可撓性氟聚合物本體
46:致動器
50:可撓性氟聚合物本體
52:突片
60:可撓性氟聚合物本體
62:導電氟聚合物
64:非導電氟聚合物
66:突片
70:可撓性氟聚合物本體
72:導電氟聚合物墊片
74:突片
150:流體處理系統
152:流體供應源
156:過程階段
160:流體迴路
164:管道段
168:操作性組件
170:彎管形配件
172:T形配件
174:閥
176:過濾器
178:流量感測器
179:直式配件
186:管道連接器配件
本發明中所包括之圖式說明本發明之實施例，且與描述一起用於解釋本發明之原理。圖式僅說明某些實施例，且不限制本發明。
圖1描繪根據本發明之一或多個實施例的隔膜閥之等距視圖。
圖2描繪根據本發明之一或多個實施例的隔膜閥之橫截面圖。
圖3描繪根據本發明之一或多個實施例的隔膜閥之分解圖。
圖4描繪根據本發明之一或多個實施例的隔膜閥致動器之等距視圖。
圖5描繪根據本發明之一或多個實施例之隔膜閥的可撓性氟聚合物本體之實施例之數位影像。
圖6描繪根據本發明之一或多個實施例之隔膜閥之可撓性氟聚合物本體的另一實施例之數位影像。
圖7描繪根據本發明之一或多個實施例之隔膜閥的可撓性氟聚合物本體之實施例之又一數位影像。
圖8描繪根據本發明之一或多個實施例之包含操作性組件的流體控制迴路之示意圖。
本發明之實施例容許各種修改及替代形式，且某些細節已例如在圖式中展示且將進行詳細描述。應理解，並不意圖將本發明限於所描述之特定實施例；而是意圖涵蓋屬於本發明之精神及範圍內之所有修改、等效物及替代方案。
本發明報告了用於應用於流體處理系統之具備ESD緩解功能之操作性組件或隔膜閥之實施例，該操作性組件或隔膜閥具有自流體供應源至一或多個下游過程階段之流體流動通道。例如，在國際專利申請案WO 2017/210293中報告了習知及一些ESD緩解流體迴路，該國際專利申請以引用之方式併入本文中，但其中所含之明確定義或專利請求項除外。例如，在應特格(Entegris)手冊之FLUOROLINE靜電(ESD)管道(2015年至2017年)中報告了其他ESD緩解流體迴路。
圖1為說明隔膜閥10之實施例的等距視圖。隔膜閥10包括入口配件12及出口配件14。入口閥12及出口閥14連接至具有第一凸緣段18之第一外殼組件16。隔膜閥進一步包括具有第二凸緣22之第二外殼組 件20。第一凸緣18及第二凸緣22經組態以在隔膜閥用於流體迴路中以控制入口配件12與出口配件14之間的流體流動時提供防洩漏連接。圖1亦說明與隔膜進行導電接觸之接地突片24，該隔膜包含位於第一外殼組件16及第二外殼組件20之內部部分內之可撓性氟聚合物本體(未展示)。接地突片24允許在連接至接地時轉移靜電荷。圖1亦說明致動器26之外部部分，該致動器提供內部結構及外部結構兩者，以調整或控制可撓性氟聚合物本體(未展示)在隔膜閥之內部部分中之位置。可撓性氟聚合物本體之位置控制自入口配件至出口配件之流體流動。
圖2為說明隔膜閥10之內部部分的剖視圖。圖2說明隔膜閥之所有外部部分，包括入口配件10、出口配件12、第一外殼組件16、第一凸緣段18、第二外殼組件20、第二凸緣段22及致動器26之外部部分。圖2進一步說明可撓性氟聚合物本體之剖視部分。可撓性氟聚合物本體28被組態為第一凸緣段18與第二凸緣段22之間的附接隔膜閥10。當隔膜閥10用於流體迴路中時，可撓性氟聚合物本體提供允許在隔膜閥10之內部結構與外部結構之間形成導電路徑之外部結構。可撓性氟聚合物本體之外部結構可連接至接地以提供可藉由流體迴路之內部區中之流體流動產生之電荷之靜電緩解。
圖3為說明隔膜閥30之實施例的原理結構之分解圖。該結構包括入口配件32、出口配件34及第一外殼組件36。圖3進一步說明經組態以附接在第一外殼組件36與第二外殼組件40之間的可撓性氟聚合物本體38a及38b。第二外殼組件40亦包括致動器42之外部部分。
圖4為包括凸緣段42、可撓性氟聚合物本體44及致動器46之外部部分的外殼組件40之等距視圖。可撓性氟聚合物本體及致動器46 之外部部分之組合允許藉由調整或控制可撓性氟聚合物本體之位置來控制組裝後之隔膜閥中之流體。
圖5說明隔膜或可撓性氟聚合物本體50之實施例。在此實施例中，可撓性氟聚合物本體包含導電氟聚合物，該導電氟聚合物使用選定之導電氟聚合物模製成預定形狀，以在模製之可撓性氟聚合物本體中提供基本均勻之聚合結構。導電氟聚合物包括延伸至組裝隔膜閥之外部部分之突片52。當突片52接地時，導電氟聚合物提供導電路徑以緩解可藉由隔膜閥之內部部分中之流體流動及穿過流體迴路之流體流動產生之靜電荷。
圖6說明隔膜或可撓性氟聚合物本體60之實施例。在此實施例中，可撓性氟聚合物本體包含可撓性氟聚合物本體60之周邊上之導電氟聚合物62及可撓性氟聚合物本體之內部區內之非導電氟聚合物64。使用選定之導電氟聚合物及選定之非導電氟聚合物將可撓性氟聚合物本體60模製成預定形狀，以提供具有導電周邊部分及非導電內部區之模製可撓性氟聚合物本體60。導電氟聚合物周邊部分包括延伸至組裝隔膜閥之外部部分之突片66。當突片66接地時，導電氟聚合物周邊部分提供導電路徑以緩解可藉由隔膜閥之內部部分中之流體流動及穿過流體迴路之流體流動產生之靜電荷。
圖7說明隔膜或可撓性氟聚合物本體70及導電氟聚合物墊片72之實施例。在此實施例中，可撓性氟聚合物本體包含非導電氟聚合物本體70。類似地，使用選定之導電氟聚合物將導電氟聚合物墊片72模製成預定形狀。墊片72之形狀經組態以對應於可撓性氟聚合物本體70之周邊及隔膜閥之凸緣段之形狀，該隔膜閥具有第一外殼組件及第二外殼組 件，如例如圖3中所說明。導電氟聚合物墊片包括延伸至組裝隔膜閥之外部部分之突片74。當突片74接地時，導電氟聚合物提供導電路徑以緩解可藉由隔膜閥之內部部分中之流體流動及穿過流體迴路之流體流動產生之靜電荷。
本發明中之操作性組件及隔膜閥指代具有流體輸入及流體輸出並且與管道連接以引導或實現流體流動之任何組件或裝置。例如，以下案號之美國專利中說明了流體控制系統之相關及額外組件：5,672,832；5,678,435；5,869,766；6,412,832；6,601,879；6,595,240；6,612,175；6,652,008；6,758,104；6,789,781；7,063,304；7,308,932；7,383,967；8,561,855；8,689,817；及8,726,935，此等美國專利中之每一者以引用之方式併入本文中，但所列檔案中所含之明確定義或專利請求項除外。
本發明中之流體控制組件，例如包含氟聚合物之隔膜，可由導電及/或非導電氟聚合物構成，該導電及/或非導電氟聚合物包括例如全氟烷氧基烷烴聚合物(PFA)、乙烯及四氟乙烯聚合物(ETFE)、乙烯、四氟乙烯及六氟丙烯聚合物(EFEP)、氟化乙烯丙烯聚合物(FEP)、四氟乙烯p[聚合物PTFE)或其他合適之聚合材料。舉例而言，在一些實施例中，導電氟聚合物可負載有導電材料(例如，負載氟聚合物)。此種負載氟聚合物包括但不限於負載有碳纖維、鍍鎳石墨、碳纖維、碳粉末、碳奈米管、金屬顆粒及鋼纖維之氟聚合物。
替代地，本發明中之流體控制組件，例如隔膜，可由全氟離聚物顆粒構成，該全氟離聚物顆粒與非導電氟聚合物摻合以形成包括非導電氟聚合物基體及分佈在非導電氟聚合物基體內之全氟離聚物區內之複 合物，如本發明在上文所描述。
在各種實施例中，導電材料之電阻率水平小於約1×1010歐姆-m，而非導電材料之電阻率水平大於約1×1010歐姆-m。在某些實施例中，導電材料之電阻率水平小於約1×109歐姆-m，而非導電材料之電阻率水平大於約1×109歐姆-m。當所揭示之流體處理系統經組態以用於超純流體處理應用時，流體控制組件可由聚合材料構成以滿足純度及耐腐蝕性標準。
除了上文所描述之可撓性氟聚合物本體之外，本發明之操作性組件及隔膜閥之各種額外元件可由包括金屬、聚合材料或負載聚合材料之材料構成。操作性組件及隔膜閥之選定結構元件之一般負載聚合材料可包括負載有鋼絲、鋁片、鍍鎳石墨、碳纖維、碳粉、碳奈米管或其他導電材料之聚合物。在一些情況下，此等元件之主要部分可由非導電或低導電材料構成，例如由各種烴聚合物及非烴聚合物構成，該烴聚合物及非烴聚合物例如但不限於聚酯、聚碳酸酯、聚醯胺、聚醯亞胺、聚氨酯、聚烯烴、聚苯乙烯、聚酯、聚碳酸酯、聚酮、聚脲、聚乙烯樹脂、聚丙烯酸酯、聚甲基丙烯酸酯及氟聚合物。例示性氟聚合物包括但不限於全氟烷氧基烷烴聚合物(PFA)、乙烯四氟乙烯聚合物(ETFE)、乙烯、四氟乙烯及六氟丙烯聚合物(EFEP)、氟化乙烯丙烯聚合物(FEP)及四氟乙烯聚合物(PTFE)，或其他合適之聚合材料，並且具有例如二次共擠導電部分。
本發明之操作性組件及隔膜閥適合用於具有靜電緩解系統之流體迴路。圖8為例示性流體處理系統150之示意圖。流體處理系統150提供流動路徑以供流體自流體供應源152流動至定位在流體供應源下游之一或多個過程階段156。流體處理系統150包括流體迴路160，該流體迴路 包括流體處理系統150之流動路徑之一部分。流體迴路160包括管道段164及經由管道段164互連之多個操作性組件168。在圖8中，操作性組件168包括彎管形配件170、T形配件172、閥174、過濾器176、流量感測器178及直式配件179。然而，在各種實施例中，流體迴路160可包括數目及類型方面額外或更少之操作性組件。舉例而言，流體迴路160可代替或另外包括泵、混合器、分配頭、噴射器噴嘴、壓力調節器、流量控制器或其他類型之操作組件。在裝配時，操作性組件168藉由多個管道段164連接在一起，該等管道段在其相應管道連接器配件186處連接至組件168。連接在一起之多個管道段164及操作性組件168提供自流體供應源152穿過流體迴路160並且朝向過程階段156之流體通道。
已出於說明之目的呈現本發明之各種實施例之描述，但該描述並不意圖為窮盡性的或限於所揭示之實施例。在不脫離所描述實施例之範疇及精神之情況下，對一般熟習此項技術者而言，許多修改及變化將係顯而易見的。本文中所使用之術語經選擇以解釋實施例之原理、實際應用或優於市場中發現之技術之技術改良，或使一般熟習此項技術者能夠理解本文中所揭示之實施例。
10:隔膜閥
12:入口閥/入口配件
14:出口閥/出口配件
16:第一外殼組件
18:第一凸緣
20:第二外殼組件
22:第二凸緣
24:接地突片
26:致動器

Claims (12)

  1. 一種用於一流體迴路之包含一外殼之操作性組件，其具有：i)一或多個流體進入配件；ii)一或多個流體輸出配件，及iii)一或多個流體控制組件，該一或多個流體控制組件流體連通該一或多個流體進入配件與該一或多個流體輸出配件，其中該流體控制組件包含一導電氟聚合物以將靜電荷自該流體控制組件轉移至接地，其中該流體控制組件包含控制自該流體進入配件至該流體輸出配件的流體流動之一隔膜閥；以及一墊片，定位在該隔膜閥上且經組態以對應於該隔膜閥之周邊之形狀，其中該墊片包含一導電氟聚合物以將靜電荷自該隔膜閥轉移至接地。
  2. 如請求項1之操作性組件，其中該隔膜閥包含一可撓性氟聚合物本體以控制自該進入配件至該輸出配件之流體流動。
  3. 如請求項2之操作性組件，其中該可撓性氟聚合物本體包含一導電氟聚合物。
  4. 如請求項2之操作性組件，其中該可撓性氟聚合物本體包含圍繞一非導電可撓性氟聚合物本體之一周邊之一導電氟聚合物段。
  5. 如請求項4之操作性組件，其中該導電氟聚合物段與該非導電可撓性氟聚合物本體進行導電接觸。
  6. 如請求項1之操作性組件，其中該導電氟聚合物包含負載有導電材料之四氟乙烯聚合物。
  7. 一種用於一流體迴路之隔膜閥，其包含：兩個或更多個外殼組件，一或多個進入配件，一或多個輸出配件，一隔膜，其控制流體流動自該進入配件至該輸出配件，其中該隔膜包含一可撓性導電氟聚合物本體以將靜電荷自該隔膜轉移至接地，及一墊片，定位在該隔膜上且經組態以對應於該可撓性導電氟聚合物本體之周邊之形狀，其中該墊片包含一導電氟聚合物以將靜電荷自該可撓性導電氟聚合物本體轉移至接地。
  8. 如請求項7之隔膜閥，其中導電氟聚合物段與一非導電可撓性氟聚合物本體進行導電接觸。
  9. 如請求項7之隔膜閥，其中該導電氟聚合物段包含全氟烷氧基烷烴聚合物(PFA)、乙烯及四氟乙烯聚合物(ETFE)、乙烯、四氟乙烯及六氟丙烯聚合物(EFEP)、氟化乙烯丙烯聚合物(FEP)、四氟乙烯聚合物(PTFE)或其組合。
  10. 如請求項7之隔膜閥，其中該導電氟聚合物段緩解該隔膜閥之一凸緣段中之靜電釋放。
  11. 如請求項7之隔膜閥，其中該墊片包含負載有導電材料之四氟乙烯聚合物。
  12. 一種製造具有一整合靜電釋放緩解系統之一流體迴路之方法，其包含將如請求項1之一操作性組件安裝在該流體迴路中及使該操作性組件接地。
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