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TWI865640B - 切削裝置 - Google Patents

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TWI865640B
TWI865640B TW109137579A TW109137579A TWI865640B TW I865640 B TWI865640 B TW I865640B TW 109137579 A TW109137579 A TW 109137579A TW 109137579 A TW109137579 A TW 109137579A TW I865640 B TWI865640 B TW I865640B
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TW
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waveform
unit
cutting
light
cutting tool
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TW109137579A
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TW202119489A (zh
Inventor
笠井剛史
小池彩子
Original Assignee
日商迪思科股份有限公司
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Publication date
Application filed by 日商迪思科股份有限公司 filed Critical 日商迪思科股份有限公司
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Abstract

[課題]提供可以檢測切削刀之外徑形狀之異常的切削裝置。 [解決手段]切削裝置之管理單元包含：測定部，其係測定在切削刀位於發光部及受光部之間的狀態，從發光部被發射，且在受光部被接受之光的受光量；實測波形形成部，其係從以切削刀之複數旋轉角所測量到的受光量形成表示切削刀之外徑形狀的實測波形；比較波形形成部，其係形成在以任意的偏心量被安裝之情況，以測定部所測定的表示切削刀之外徑形狀的比較波形；理想波形辨識部，其係將與實測波形一致的區域最多的比較波形辨識為理想波形；差值算出部，其係算出實測波形和理想波形之差值的面積；及判定部，其係在差值超過臨界值之情況，進行切削刀之形狀為異常的判定。

Description

切削裝置
本發明係關於安裝切削刀的切削裝置。
使用利用切削刀進行切削而將被加工物分割成各個裝置的切削裝置(例如，參照專利文獻1)。專利文獻1所示的切削裝置係為了使切削刀之旋轉中心和刀刃之外緣之中心一致，定期性地實施將刀刃切入至修整板的所謂修整。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開平10-055985號公報
以往所使用的切削裝置係於切削刀磨損不均勻等的變形時，即使修整刀刃，亦無法解除變形，有可能使得切削刀所致的加工品質變差。但是，以往的切削裝置有無法檢測由於切削刀之如此地變形所導致的外徑形狀的異常之問題。
依此，本發明之目的在於提供可以檢測切削刀之外徑形狀的異常之切削裝置。
當根據本發明之一個觀點時，則提供一種切削裝置，具備：挾盤載置台，其係保持被加工物；切削單元，以被安裝於主軸之切削刀，切削被保持於該挾盤載置台的被加工物；及管理單元，其係管理被安裝於該主軸之該切削刀，該管理單元包含：發光部；受光部，其係面對於該發光部，接受在該發光部被發射的光；測定部，其係測定在該切削刀位於該發光部及該受光部之間的狀態，從該發光部被發射，且在該受光部被接受之光的受光量；實測波形形成部，其係從以切削刀之複數旋轉角所測量到的該受光量形成表示切削刀之外徑形狀的實測波形；比較波形形成部，其係形成在該切削刀以任意的偏心量被安裝於該主軸之情況，以該測定部所測定的表示切削刀之外徑形狀的比較波形；理想波形辨識部，其係使在該比較波形形成部中使用的該偏心量階段性地變化而形成複數比較波形，將與該實測波形一致的區域最多的該比較波形辨識為理想波形；差值算出部，其係算出重疊該實測波形和該理想波形而產生差值之區域的面積；及判定部，其係在該差值超過臨界值之情況，進行切削刀之形狀為異常的判定。
當根據本發明之另一個觀點時，則提供一種切削裝置，具備：挾盤載置台，其係保持被加工物；切削單元，以被安裝於主軸之切削刀，切削被保持於該挾盤載置台的被加工物；及管理單元，其係管理被安裝於該主軸之該切削刀，該管理單元包含：發光部，其係發射光；受光部，其係面對於該發光部，接受在該發光部被發射的該光；測定部，其係測定在該切削刀位於該發光部及該受光部之間的狀態，從該發光部被發射，且在該受光部被接受之該光的受光量；實測波形形成部，其係從以複數切削刀之旋轉角所測量到的該受光量形成表示切削刀之外徑形狀的實測波形；理想波形形成部，其係形成在該切削刀以一定的偏心量被安裝於該主軸之情況的表示切削刀之外徑形狀的理想波形；差值算出部，其係算出重疊該實測波形和該理想波形而產生差值之區域的面積；及判定部，其係在該差值超過臨界值之情況，進行切削刀之形狀為異常的判定，該理想波形形成部係算出該實測波形之最大值和最小值之中間值，形成以該中間值和該最大值及該最小值之差值作為振幅的理想波形。
本案發明可以檢測切削刀之外徑形狀的異常。
以下，針對本發明之實施型態，邊參照圖式邊予以詳細說明。並非藉由記載於以下之實施型態的內容限定本發明者。再者，以下所記載之構成要素包含所屬技術領域中具有通常知識者容易思及者及實質上相同者。而且，以下所記載之構成能夠適當組合。再者，在不脫離本發明之主旨的範圍下，可以進行構成之各種省略、置換或變更。
(第1實施型態) 根據圖式說明本發明之第1實施型態所涉及之切削裝置1。圖1為表示第1實施型態所涉及之切削裝置1之構成例的斜視圖。圖2為表示圖1之切削裝置1之切削單元20之構成例的斜視圖。圖3為表示圖1之切削裝置1之切削單元20及管理單元30之構成例的剖面圖。圖4為表示圖1之切削裝置1之管理單元30之處理之一例的曲線圖。圖5為表示在圖1之切削裝置1所使用之切削刀21之外徑形狀的俯視圖。
切削裝置1為切削被加工物100的裝置。在第1實施型態中，切削裝置1切削的被加工物100 係例如以矽、藍寶石、鎵等作為母材的圓板狀之半導體晶圓或光裝置晶圓等的晶圓。被加工物100係在藉由被形成平坦表面101之格子狀的複數分割預定線102而被區劃的區域形成裝置103。被加工物100係在表面101之背側之背面104黏貼黏著膠帶105，在黏著膠帶105之外緣部安裝環狀框106。再者，在本發明中，被加工物100即使為具有複數藉由樹脂被密封之裝置的矩形狀的封裝基板、陶瓷板或玻璃板等亦可。
切削裝置1係如圖1所示般，具備挾盤載置台10，和切削單元20，和管理單元30。挾盤載置台10係隔著黏著膠帶105以保持面11吸引保持被加工物100之背面104側。切削單元20係以繞軸心旋轉的切削刀21切削在挾盤載置台10被吸引保持的被加工物100。切削裝置1係藉由X軸移動單元41、Y軸移動單元42及Z軸移動單元43，沿著分割預定線102使挾盤載置台10上之被加工物100和切削刀21相對性移動，沿著分割預定線102而進行切削加工。切削裝置1係如圖1所示般，具備兩個切削單元20，即是2主軸的切割機，所謂的對向雙主軸式的切削裝置。
切削裝置1進一步具備副挾盤載置台15。副挾盤載置台15被設置在與挾盤載置台10鄰接的位置，在保持面16吸引保持修整板150。修整板150係被用於依據藉由切削刀21被切削，使切削刀21積極性地磨耗而提升加工品質的修整。
切削單元20係如圖2及圖3所示般，具備切削刀21、主軸22、主軸殼23、刀架24、刀蓋25、供水噴嘴26-1、26-2、26-3、供水源連接部27、溝狀構件28和升降部29。
切削刀21經由刀架24被固定於主軸22之前端，藉由成為旋轉軸之主軸22而旋轉，切削被加工物100。切削刀21在第1實施型態中為所謂的輪轂刀，如圖2及圖3所示般，具有環狀的刀刃21-1和圓盤狀之基台21-2。刀刃21-1被設置在基台21-2之外周緣，從基台21-2之外周突出。刀刃21-1係由例如鑽石或CBN(Cubic Boron Nitride)等之磨粒，和金屬或樹脂等之接合材(結合材)構成，被形成預定厚度。基台21-2在中央具有用以被固定於刀架24之插入孔61(參照圖5)，被形成環狀。基台21-2係從例如鋁合金等之金屬構成。另外，切削刀21在本發明中不限定於輪轂刀，即使為僅以具有插入孔61之刀刃21-1構成的所謂無輪轂刀亦可。
主軸22係如圖3所示般，以繞沿著Y軸方向之軸心旋轉自如之方式被收容在主軸殼23內。主軸22之前端係從主軸殼23之一端部朝外部突出。在轉軸22之基端部，連結用以使主軸22旋轉的無圖示之馬達。主軸22成為切削刀21之旋轉軸。刀架24係以圓板狀之凸緣部挾持切削刀21，圓筒狀之轂部被插入至插入孔61而被安裝於主軸22之前端，依此以切削刀21能繞軸心之切削刀21旋轉之方式安裝於主軸22之前端。
刀蓋25被安裝於主軸殼23之前端側，覆蓋切削刀21之上方、前方及後方。刀蓋25係在內部形成複數水路，如圖2所示般，在複數水路之下側之一端，設置供水噴嘴26-1、26-2、26-3，在複數水路之上側之另一端設置供水源連接部27。供給噴嘴26-1係對切削刀21之刀刃21-1之側方供給從供水源連接部27被供給的切削水。供給噴嘴26-2係對切削刀21之刀刃21-1之前方供給從供水源連接部27被供給的切削水。供水噴嘴26-3係藉由對切削刀21之刀刃21-1對前方之被加工物100供給從供水源連接部27被供給的切削水。切削水係例如純水。
溝狀構件28係如圖3所示般，形成寬度較切削刀21之刀刃21-1之厚度更寬的溝28-1。溝狀構件28被設置在刀蓋25，藉由溝部28-1夾入刀刃21-1之上端部。升降部29係使溝狀構件28升降移動。
管理單元30係如圖1及圖3所示般，具備發光部31和受光部32和控制單元50。控制單元50具備測定部33、實測波形形成部34、比較波形形成部35、理想波形辨識部36、差值算出部37、判定部38和比較波形記憶部39。
發光部31係如圖3所示般，被設置溝部28-1之一方的側壁，朝向溝部28-1之另一方的側壁而發射光。發光部31係光源31-1藉由光纖等被光學性連接，發射來自光源31-1的光。受光部32在溝部28-1之另一方之側壁被設置在與發光部31對面的位置，接受在發光部31被發出的光。受光部32係受光元件32-1藉由光纖等被光學性連接，檢測在受光元件32-1到達至受光部32的光。
測定部33係如圖3所示般，與受光元件32-1電性連接，在切削刀21位於發光部31及受光部32之間的狀態，測定從發光部31被發射且在受光部32被接受的光之受光量。測定部33與後述控制單元50電性連接，將測定到的受光量之資訊發送至控制單元50。
實測波形形成部34係如圖4所示般，從以切削刀21之複數旋轉角所測量到的受光量，形成表示切削刀21之外徑形狀的實測波形71。在此，切削刀21之外徑形狀係指切削刀21之刀刃21-1之外緣的平面形狀。
比較波形形成部35係如圖5所示般，切削刀21之刀刃21-1之外緣66-1、66-2、66-3之平面形狀，非具有比起其他部分磨耗較多的部分的形狀異常而係呈略圓形，並且，以任意的偏心量67-1、67-2、67-3之平面形狀被安裝於主軸22之情況，如圖4所示般，形成表示以測定部33被測定的切削刀21之刀刃21-1之外緣66-1、66-2、66-3之平面形狀的比較波形72-1、72-2、72-3。理想波形辨識部36係使在比較波形形成部35中使用的偏心量67-1、67-2、67-3階段性地變化而形成複數比較波形72-1、72-2、72-3，如圖4所示般，將與實測波形71一致的區域最多的比較波形72-2辨識為理想波形74。
在此，切削刀21之刀刃21-1之外緣之平面形狀為形狀異常，係指切削刀21之外緣之平面狀態偏離圓形之情形，更詳細而言，係指重疊切削刀21之外緣之平面形狀和最接近於其平面形狀之圓而產生差值之區域的面積超過預定值。係指在切削刀21之外緣之平面形狀非形狀異常之情況，切削刀21之外緣之平面形狀為正常。在此，預定值係根據重疊加工品質無問題的任意切削刀21之外緣之平面形狀和最接近於其平面的圓而產生差值之區域的面積，被適當決定。
再者，偏心量係安裝切削刀21之主軸22之旋轉軸和切削刀21之中心的偏移量，因切削刀21之插入孔61之直徑被形成較安裝插入孔61之主軸21之轂部之直徑大一些，故有在安裝時於兩者之間產生些許間隙，此成為原因而產生在主軸22之旋轉時之情形。
測定部33所測定的受光量係在切削刀21之刀刃21-1之外緣62從切削刀21之旋轉中心朝徑向突出的旋轉角減少，在朝徑向凹陷之旋轉角增大。因此，實測波形71表示在安裝於主軸22中的切削刀21之刀刃21-1之外緣62之平面形狀。測定部33所測定的受光量係如圖5所示般，在切削刀21之中心相對於主軸22之中心不呈偏心，其刀刃21-1之外緣65之平面形狀非形狀異常而呈略圓形之情況，不管旋轉角如何，皆成為一定。再者，測定部33所測定的受光量係如圖5所示般，在切削刀21之中心相對於主軸22之中心呈偏心，其刀刃21-1之外緣66-1、66-2、66-3之平面形狀非形狀異常而呈略圓形之情況，如圖4所示般，成為因應其偏心量67-1、67-2、67-3的振幅73-1、73-2、73-3的正弦波。
與比較波形72-1、72-2、72-3之實測波形71一致的區域係指與實測波形71之受光量之差值未滿預定值的旋轉角。在此，預定值係根據加工品質無問題的任意切削刀21之實測波形71和其理想波形74之差值被適當決定。
差值算出部37係算出重疊實測波形71和理想波形74而產生差值的圖4所示之區域75的面積。該區域75之面積係使切削刀21之外緣62之平面形狀偏離圓形之程度定量化者。判定部38在差值超過預定臨界值之情況，判定切削刀21之刀刃21-1之外緣62之平面形狀為形狀異常。在此，預定值係根據疊層加工品質無問題的任意切削刀21之實測波形71和其理想波形74產生的差值之區域75的面積，被適當決定。
比較波形記憶部39係使任意偏心量67-1、67-2、67-3和比較波形72-1、72-2、72-3對照於切削刀21和溝狀構件28之每個位置關係並予以記憶。
控制單元50係分別控制切削裝置1之各構成要素，使切削裝置1實施與被加工物100之加工有關的各動作，及與切削刀21之形狀判定有關之各動作。控制單元50在第1實施型態中包含電腦系統。控制單元50具有CPU (central processing unit)般之微處理器之運算處理裝置，和具有ROM(read only memory)或RAM(random access memory)般之記憶體的記憶裝置，和輸入輸出介面裝置。運算處理裝置係依照被記憶於記憶裝置之電腦程式而實施運算處理，將用以控制切削裝置1之控制訊號，經由輸入輸出介面裝置而輸出至切削裝置1之各構成要素。
實測波形形成部34、比較波形形成部35、理想波形辨識部36、差值算出部37及判定部38之功能，係藉由控制單元50之運算處理裝置實施被記憶於記憶裝置之電腦程式而被實現。比較波形記憶部39係藉由控制單元50之記憶裝置而被實現。
切削裝置1進一步具備顯示單元51和顯示燈52。顯示單元51係藉由顯示加工動作之狀態或畫像等的液晶顯示裝置等而構成。顯示單元51係藉由控制單元50而被控制，切換顯示的畫像。顯示單元51係顯示判定部38之判定結果，通報至切削裝置1的操作者。顯示燈52係藉由控制單元50被控制而點燈。顯示燈52係藉由點燈，將判定部38之判定結果通報至切削裝置1的操作者。
針對第1實施型態所涉及之切削裝置1所致的動作予以說明。第1實施型態所涉及之切削裝置1係於切削刀21之更換後、切削刀21之修整實施後，或是，在藉由切削刀21的切削加工之前或途中，實行被安裝於主軸22之前端的切削刀21之刀刃21-1之外緣62之平面形狀之判定動作(以下，適當省略切削刀21之形狀的判定動作)。
圖6為表示圖1之切削裝置1之動作流程之一例的流程圖。切削裝置1係如圖6所示般，首先，實施使切削刀21之刀刃21-1切入至以副挾盤載置台15之保持面16保持的修整板150的修整(步驟ST11)。切削裝置1係當修整完成時(在步驟ST12為Yes)，實施切削刀21之形狀的判定動作(步驟ST13)。
在切削刀21之形狀之判定動作中，首先，控制單元50係以切削刀21位於發光部31及受光部32之間之方式，以升降部29調整溝狀構件28之垂直方向的位置。接著，控制單元50係在使切削刀21繞軸心旋轉之狀態，藉由發光部31使產生光，藉由受光部32接受在發光部31被發射的光，藉由測定部33測定受光部32接受的光之受光量。
而且，實測波形形成部34係解析測定部33所測定到的受光量之時間變化，如圖4所示般，形成表示受光量對切削刀21之旋轉角之變化的實測波形71。
於形成實測波形71之後，理想波形辨識部36係使在比較波形形成部35中使用的偏心量67-1、67-2、67-3階段性地變化。接著，比較波形形成部35係根據藉由理想波形辨識部36被決定的該些偏心量67-1、67-2、67-3，參照比較波形記憶部39，形成比較波形72-1、72-2、72-3。而且，理想波形辨識部36係從比較波形形成部35形成的複數比較波形72-1、72-2、72-3，如圖4所示般，將與實測波形71一致的區域最多的比較波形72-2辨識為理想波形74。
於辨識理想波形74之後，差值算出部37係算出重疊實測波形71和理想波形74而產生差值的區域75之面積。而且，判定部38係根據差值算出部37算出的區域75之面積，在區域75之面積超過預定的臨界值之情況，判定切削刀21之刀刃21-1之外緣62之平面形狀為形狀異常，在區域75之面積為預定的臨界值以下之情況，判定切削刀21之刀刃21-1之外緣62之平面形狀為正常。
控制單元50係切削刀21之形狀之判定動作中的判定結果在切削刀21之刀刃21-1之外緣62的平面形狀為正常之情況(在步驟ST14為Yes)，將其主旨的判定結果藉由顯示單元51或顯示燈52通報至切削裝置1之操作者(步驟ST15)而結束一連串動作的流程。
控制單元50係切削刀21之形狀之判定動作中的判定結果在切削刀21之刀刃21-1之外緣62的平面形狀為形狀異常之情況(在步驟ST14為No)，將其主旨的判定結果藉由顯示單元51或顯示燈52通報至切削裝置1之操作者(步驟ST16)而將一連串動作之流程前進至步驟ST17。
控制單元50係在實行修整和切削刀21之形狀之判定動作之次數未達至預定次數之情況(在步驟ST17為No)，使一連串的動作流程返回至步驟ST11，到達至預定次數，重複實行修整和切削刀21之形狀的判定動作。
控制單元50係在實行修整和切削刀21之形狀的判定動作之次數到達至預定次數之情況(步驟ST17)，將藉由預定次數的修整未解決切削刀21之刀刃21-1之外緣62之平面形狀之形狀異常的主旨，藉由顯示單元51或顯示燈52通報至切削裝置1之操作者(步驟ST18)，促使切削刀21之更換等，結束一連串之動作流程。
因具有上述構成之第1實施型態所涉及之切削裝置1係藉由將切削刀21之刀刃21-1之外緣62之平面形狀從圓形偏離之程度予以定量化，判定切削刀21之刀刃21-1之外緣62之平面形狀為正常或異常，故具有可以檢測在檢測切削刀21之刀刃21-1之外緣的專利文獻1之技術中無法檢測的切削刀21之刀刃21-1之外緣62的平面形狀為異常形狀的作用效果。
(第2實施型態) 根據圖式說明本發明之第2實施型態所涉及之切削裝置1-2。圖7為表示第2實施型態所涉及之切削裝置1-2之切削單元20及管理單元30-2之構成例的剖面圖。圖8為表示圖7之切削裝置1-2之管理單元30-2之處理之一例的曲線圖。圖7及圖8係對與第1實施型態相同部分賦予相同符號省略說明。
第2實施型態所涉及之切削裝置1-2係在第1實施型態中，如圖7所示般，將管理單元30變更成管理單元30-2。管理單元30-2係如圖7所示般，在管理單元30中，將控制單元50內之比較波形形成部35、理想波形辨識部36及比較波形記憶部39變更成理想波形形成部36-2。理想波形形成部36-2係切削刀21之刀刃21-1之外緣的平面形狀非形狀異常而呈圓形，另外，形成表示以一定的偏心量被安裝於主軸22之情況的切削刀21之刀刃21-1之外緣之平面形狀的理想波形86。理想波形形成部36-2之功能係藉由控制單元50之運算處理裝置實施被記憶於記憶裝置之電腦程式而被實現。
針對第2實施型態所涉及之切削裝置1-2所致的動作予以說明。第2實施型態涉及的切削裝置1-2所致的動作除了切削刀21之形狀之判定動作外，其他與第1實施型態涉及之切削裝置1所致的動作相同。第2實施型態涉及的切削裝置1-2所致的切削刀21之形狀之判定動作直至實測波形形成部34形成實測波形81為止，與第1實施型態涉及之切削刀21之形狀之判定動作相同。
在第2實施型態涉及之切削刀21之形狀的判定動作中，如圖8所示般，理想波形形成部36-2算出實測波形81之最大值82和最小值83和中間值84，將中間值84、最大值82及最小值83之差值85當作因應切削刀21之偏心量的振幅而形成正弦波，將該正弦波設為理想波形86。
決定理想波形86之後，差值算出部37與第1實施型態相同，算出重疊實測波形81和理想波形86而產生差值的區域87之面積。而且，判定部38與第1實施型態相同，在產生差值的區域87之面積的合計超過預定的臨界值之情況，判定切削刀21之刀刃21-1之外緣62之平面形狀為形狀異常，在區域87之面積的合計為預定的臨界值以下之情況，判定切削刀21之刀刃21-1之外緣之平面形狀為正常。
因具有上述般之構成的第2實施型態所涉及的切削裝置1-2與第1實施型態所涉及之切削裝置1相同，藉由將切削刀21之刀刃21-1之外緣之平面形狀偏離圓形之程度予以定量化，判定切削刀21之刀刃21-1之外緣之平面形狀為正常或異常，故具有可以檢測切削刀21之刀刃21-1之外緣之平面形狀為異常形狀的作用效果。
另外，本發明並不限定於上述實施型態。即是，可以在不脫離本發明之主旨的範圍下可以進行各種變形並予以實施。
1,1-2:切削裝置 10:挾盤載置台 20:切削單元 21:切削刀 30,30-2:管理單元 31:發光部 32:受光部 33:測定部 34:實測波形形成部 35:比較波形形成部 36:理想波形辨識部 36-2:理想波形形成部 37:差值算出部 38:判定部 100:被加工物
[圖1]為表示第1實施型態所涉及之切削裝置之構成例的斜視圖。
[圖2]為表示圖1之切削裝置之切削單元之構成例的斜視圖。
[圖3]為表示圖1之切削裝置之切削單元及管理單元之構成例的側視圖。
[圖4]為表示圖1之切削裝置之管理單元之處理的曲線圖。
[圖5]為表示在圖1之切削裝置所使用之切削刀之外徑形狀的俯視圖。
[圖6]為表示圖1之切削裝置之動作流程之一例的流程圖。
[圖7]為表示第2實施型態所涉及之切削裝置之切削單元及管理單元之構成例的側視圖。
[圖8]為表示圖7之切削裝置之管理單元之處理之一例的曲線圖。
1:切削裝置
10:挾盤載置台
11:保持面
15:副挾盤載置台
16:保持面
20:切削單元
21:切削刀
22:主軸
30:管理單元
31:發光部
32:受光部
33:測定部
34:實測波形形成部
35:比較波形形成部
36:理想波形辨識部
37:差值算出部
38:判定部
39:比較波形記憶部
41:X軸移動單元
42:Y軸移動單元
43:Z軸移動單元
50:控制單元
51:顯示單元
52:顯示燈
100:被加工物
101:表面
102:分割預定線
103:裝置
104:背面
105:黏著膠帶
106:環狀框
150:修整板

Claims (2)

  1. 一種切削裝置，具備：挾盤載置台，其係保持被加工物；切削單元，以被安裝於主軸之切削刀，切削被保持於該挾盤載置台的被加工物；及管理單元，其係管理被安裝於該主軸之該切削刀，該管理單元包含：發光部；受光部，其係面對於該發光部，接受在該發光部被發射的光；測定部，其係測定在該切削刀位於該發光部及該受光部之間的狀態，從該發光部被發射，且在該受光部被接受之光的受光量；實測波形形成部，其係從以切削刀之複數旋轉角所測量到的該受光量形成表示切削刀之外徑形狀的實測波形；比較波形形成部，其係形成在該切削刀以任意的偏心量被安裝於該主軸之情況，以該測定部所測定的表示切削刀之外徑形狀的比較波形；理想波形辨識部，其係使在該比較波形形成部中使用的該偏心量階段性地變化而形成複數比較波形，將與該實測波形一致的區域最多的該比較波形辨識為理想波形；差值算出部，其係算出重疊該實測波形和該理想波形而產生差值之區域的面積；及判定部，其係在該差值超過臨界值之情況，進行切削 刀之形狀為異常的判定。
  2. 一種切削裝置，具備：挾盤載置台，其係保持被加工物；切削單元，以被安裝於主軸之切削刀，切削被保持於該挾盤載置台的被加工物；及管理單元，其係管理被安裝於該主軸之該切削刀，該管理單元包含：發光部，其係發射光；受光部，其係面對於該發光部，接受在該發光部被發射的該光；測定部，其係測定在該切削刀位於該發光部及該受光部之間的狀態，從該發光部被發射，且在該受光部被接受之該光的受光量；實測波形形成部，其係從以複數切削刀之旋轉角所測量到的該受光量形成表示切削刀之外徑形狀的實測波形；理想波形形成部，其係形成在該切削刀以一定的偏心量被安裝於該主軸之情況的表示切削刀之外徑形狀的理想波形；差值算出部，其係算出重疊該實測波形和該理想波形而產生差值之區域的面積；及判定部，其係在該差值超過臨界值之情況，進行切削刀之形狀為異常的判定，該理想波形形成部係算出該實測波形之最大值和最小值之中間值，形成以 該中間值和該最大值及該最小值之差值作為振幅的理想波形。
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