TWI844755B - 玻璃膜的製造方法、玻璃卷的製造方法、及玻璃膜的製造裝置 - Google Patents

Abstract

本發明在將帶狀的一次玻璃膜G1一面利用搬運裝置8於規定的方向搬運一面進行切斷，藉此獲得一片或多片二次玻璃膜G2a、G2b時，一次玻璃膜G1的切斷，藉由使用雷射切斷裝置9在規定的切斷區21對一次玻璃膜G1照射雷射而進行。搬運裝置8包括上游側輸送機19及下游側輸送機20，下游側輸送機20包括多個下游側帶式輸送機27，所述下游側帶式輸送機27可藉由帶28將二次玻璃膜G2a、二次玻璃膜G2b予以接觸支持。各下游側帶式輸送機27的帶28的位置構成為可於一次玻璃膜G1的寬度方向上予以調整。

Description

玻璃膜的製造方法、玻璃卷的製造方法、及玻 璃膜的製造裝置

本發明是有關於一種玻璃膜的製造方法及玻璃膜的製造裝置，特別是有關於一種用於將帶狀的玻璃膜利用雷射進行切斷並切成規定的寬度方向尺寸的技術。

如眾所周知，實際情況是，液晶顯示器、有機電致發光(electroluminescent，EL)顯示器等平板顯示器(Flat Panel Display，FPD)中使用的板玻璃、有機EL照明中使用的板玻璃、觸控面板的構成元件即強化玻璃等的製造中使用的板玻璃、以及太陽能電池的面板等中使用的板玻璃的薄壁化正在推進。

例如在專利文獻1中，已揭示一種厚度方向尺寸為數百μm以下的板玻璃(玻璃膜)。此種板玻璃如亦在所述專利文獻中所述，通常是藉由利用所謂溢流下拉法(overflow down draw method)的成形裝置而連續性地成形。

此種情況下，藉由溢流下拉法而連續性地成形的長條的玻璃膜，在將其搬運方向自鉛垂方向轉換成水平方向之後，藉由搬運裝置的橫向搬運部(水平搬運部)而繼續向下游側搬運。在 所述搬運途中，將玻璃膜的寬度方向兩端部(厚壁部)切斷去除。然後，玻璃膜藉由捲繞輥捲繞成卷狀而成為玻璃卷。

作為對玻璃膜進行切斷的技術，於專利文獻1中，揭示有利用雷射的切斷方法。所述切斷方法是被稱為所謂雷射切割的方法，在對玻璃膜一面於其長度方向進行搬運，一面藉由金剛石切削器(diamond cutter)等的裂紋形成機構於玻璃膜上形成初始裂紋之後，對所述部分照射雷射而進行加熱，然後，利用冷卻機構使經加熱的部分冷卻。藉此，在玻璃膜中產生熱應力，初始裂紋藉由所述熱應力而進展，藉此所述玻璃膜被切斷。

又，此種藉由雷射而執行的切斷方法，不僅在切斷位於帶狀的玻璃膜的寬度方向兩端的厚壁部的情況下使用，而且有時亦會對經去除所述厚壁部後的玻璃膜進行。此種情況下，例如如專利文獻2中所記載般，將藉由第一次雷射切斷而經去除厚壁部的玻璃膜捲繞成卷狀，並將捲繞成卷狀的狀態的玻璃膜(玻璃卷)搬運至後續步驟之後，將玻璃膜自所述玻璃卷抽出並再次實施雷射切斷，藉此將玻璃膜重新切斷成規定的寬度方向尺寸。於第二次雷射切斷中，由於在成形時所產生的厚壁部(耳部)已經被去除，因此與第一次雷射切斷相比能夠精度良好地將玻璃膜切斷成規定的寬度方向尺寸。

在如上述般對玻璃膜進行切斷的情況下，藉由雷射照射而執行的玻璃膜的切斷，一面藉由帶式輸送機等搬運裝置將帶狀的玻璃膜於沿著其長邊方向的方向搬運，一面藉由設置於規定的 位置的雷射照射裝置將雷射照向鉛垂下方而進行。此處，在將帶式輸送機用作搬運裝置的情況下，提議藉由一條帶對玻璃膜的下表面遍及其整個寬度方向予以接觸支持的形態(參照專利文獻1)，或出於避開雷射的照射位置的目的，而藉由在玻璃膜的寬度方向上空開規定的間隔而配設的多條帶來對玻璃膜的下表面予以接觸支持的形態(參照專利文獻2)等。

[現有技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：日本專利特開2012-240883號公報

專利文獻2：國際公開2019/049646號公報

然而，作為對經去除厚壁部後的玻璃膜實施再次切斷的形態，不僅考慮如上述般自一片玻璃膜以規定的寬度方向尺寸切成(重新切斷為)一片玻璃膜的形態，而且亦考慮自一片玻璃膜分別以規定的寬度方向尺寸切成兩片以上的玻璃膜的形態。此種情況下，例如藉由根據玻璃膜的切斷位置來調整雷射切斷裝置(雷射照射裝置)的寬度方向位置，而可藉由一條製造線來應對玻璃膜的切成片數的變更。然而，關於帶式輸送機，由於為大型，因此無法如雷射照射裝置般容易地變更寬度方向的位置。因此，在如上述般將多個帶式輸送機於玻璃膜的寬度方向上排列而配設的情 況下，因切成片數或切成後的玻璃膜的寬度方向尺寸，而切斷後的玻璃膜在偏向寬度方向一側的位置與帶接觸，而產生招致切斷後的玻璃膜斜行的事態的擔憂。如此一來，會對玻璃膜的切斷位置帶來影響，因此難以獲得穩定的切斷品質的玻璃膜。

鑒於以上情形，本發明應解決的技術課題在於：避免伴隨切斷條件的變更而出現的玻璃膜的搬運不良，而穩定地獲得良好的品質的玻璃膜。

所述課題的解決藉由本發明的玻璃膜的製造方法而達成。即，所述製造方法為玻璃膜的製造方法，將帶狀的一次玻璃膜一面利用搬運裝置於規定的方向搬運一面進行切斷，藉此獲得一片或多片二次玻璃膜，所述玻璃膜的製造方法的特徵在於：一次玻璃膜的切斷，藉由使用雷射切斷裝置在規定的切斷區對一次玻璃膜照射雷射而進行，且搬運裝置包括：上游側輸送機，相對而言位於一次玻璃膜的搬運方向上游側；以及下游側輸送機，相對而言位於一次玻璃膜的搬運方向下游側，可搬運二次玻璃膜，下游側輸送機包括可藉由帶將二次玻璃膜予以接觸支持的多個下游側帶式輸送機，且各下游側帶式輸送機的帶的位置構成為可於一次玻璃膜的寬度方向上予以調整。再者，此處所言的一次玻璃膜不僅包含成形為膜狀之後且接受第一次切斷加工之前的玻璃膜，而且包含已接受第一次切斷加工之後且接受第二次切斷加工之前的玻璃膜。又，此處所言的二次玻璃膜，不僅包含此後接受進一步的 加工的玻璃膜，而且包含本發明的切斷加工為最終加工的玻璃膜(即，實質上為最終製品的玻璃膜)。又，此處所言的一次玻璃膜的寬度方向，是指與所述膜的長度方向及厚度方向均正交的方向。

如此般，於本發明的玻璃膜的製造方法中，將搬運裝置設為包括上游側輸送機及下游側輸送機，所述上游側輸送機相對而言位於一次玻璃膜的搬運方向上游側，所述下游側輸送機位於搬運方向下游側，可搬運二次玻璃膜，且將下游側輸送機設為包括可藉由帶將二次玻璃膜予以接觸支持的多個下游側帶式輸送機，並將各下游側帶式輸送機的帶的位置設為可於一次玻璃膜的寬度方向上予以調整。藉此，無需改變用於搬運一次玻璃膜的上游側輸送機的結構，而可自由地設定二次玻璃膜在寬度方向上與帶的接觸支持位置，因此可根據藉由雷射切斷應取得的二次玻璃膜的寬度方向位置或寬度方向尺寸，將各下游側帶式輸送機配設於適當的寬度方向位置。因此，藉由最低限度的必要的設備變更，而可避免二次玻璃膜於偏向寬度方向一側的位置與帶接觸的事態，從而可防止由所述接觸位置的偏向引起的二次玻璃膜的斜行等二次玻璃膜的搬運不良。又，若可不斜行地搬運二次玻璃膜，則可盡可能地避免在寬度方向上相鄰的其中一個二次玻璃膜的切斷面(側端面)干擾另一個二次玻璃膜的切斷面(側端面)的事態，因此能夠獲得良好的切斷品質的玻璃膜。

又，於本發明的玻璃膜的製造方法中，雷射切斷裝置可 具有多個雷射照射部，各雷射照射部的位置構成為可於一次玻璃膜的寬度方向上予以調整。

藉由如此般構成，由於可在寬度方向上自由地設定雷射對一次玻璃膜的照射位置，因此即便在例如藉由調整在寬度方向上鄰接的一對雷射照射部的寬度方向距離，而將所要求的二次玻璃膜的寬度方向尺寸予以變更的情況下，仍可精度良好地管理所述變更後的寬度方向尺寸。

另外，於本發明的玻璃膜的製造方法中，在藉由一次玻璃膜的切斷，而取得分別具有規定的寬度方向尺寸的多片二次玻璃膜的情況下，可根據各二次玻璃膜的寬度方向位置及寬度方向尺寸，來調整帶的位置。

如此般，在切成分別具有規定的寬度方向尺寸的多片二次玻璃膜的情況下，較佳的是根據各二次玻璃膜的寬度方向位置及寬度方向尺寸，來調整下游側帶式輸送機的帶的寬度方向位置。如此般，藉由設定帶的寬度方向位置，而可將帶配置於與所切成的二次玻璃膜各自的位置、大小相適合的位置，因此能夠避免所切成的全部二次玻璃膜的斜行，而於正確的方向穩定地進行搬運。

或者，在如上述般構成為可調整雷射照射部的位置的情況下，於本發明的玻璃膜的製造方法中，在藉由一次玻璃膜的切斷，而取得分別具有規定的寬度方向尺寸的多片二次玻璃膜的情況下，可根據各二次玻璃膜的寬度方向位置及寬度方向尺寸，對 帶的位置及雷射照射部的位置分別進行調整。

又，在將雷射照射部的位置設為可調整的情況下，較佳的是根據各二次玻璃膜的寬度方向位置及寬度方向尺寸，分別調整下游側帶式輸送機的帶的位置及雷射照射部的位置。如此般，藉由設定帶以及雷射照射部的寬度方向位置，而可將帶配置於與所切成的二次玻璃膜各自的位置、大小相適合的位置，且可將雷射照射部配置於適宜於雷射切斷的位置。因此能夠將各個二次玻璃膜切斷成準確的寬度方向尺寸，且能夠將該些全部二次玻璃膜於準確的方向穩定地進行搬運。

又，在如上述般獲得多片二次玻璃膜的情況下，於本發明的玻璃膜的製造方法中，可根據各二次玻璃膜的寬度方向中央位置，來調整帶的位置。或者，亦可根據各二次玻璃膜的寬度方向兩端位置，來調整帶的位置。

如上述般，根據本發明的玻璃膜的製造方法，可根據所切成的二次玻璃膜所要求的搬運形態，來適當設定帶的位置。例如，在以抑制二次玻璃膜的搬運時的抖動等變動為主要目的時，藉由根據二次玻璃膜的寬度方向兩端位置來調整帶的位置，而可將二次玻璃膜在其寬度方向兩側穩定地予以接觸支持。因此能夠抑制上文所述的變動而穩定地搬運二次玻璃膜。或者，如後文所述般，在以避免在寬度方向上鄰接的任意一對二次玻璃膜的切斷面彼此的接觸為主要目的時，藉由根據二次玻璃膜的寬度方向中央位置來調整帶，而可將二次玻璃膜於其寬度方向中央側予以接 觸支持。此種情況下，二次玻璃膜彎曲變形成使寬度方向兩端側與寬度方向中央側相比更下垂的形狀(朝上方凸出的形狀)，藉此能夠避免剛切斷後的二次玻璃膜的切斷面彼此接觸地向下游側搬運各二次玻璃膜。

又，於本發明的玻璃膜的製造方法中，多個下游側帶式輸送機的至少一部分，可構成為能夠將二次玻璃膜向帶吸附。

藉由如此般構成為能夠將二次玻璃膜向帶吸附，而可將二次玻璃膜對帶的接觸支持形態始終保持為一定的狀態。因此，能夠更加穩定地搬運二次玻璃膜。然而，如後文所述般，在考慮避免剛切斷後的二次玻璃膜的切斷面彼此的接觸的情況下，例如將於後述，亦能夠採用下述結構，即：將支持相互接近的其中一個二次玻璃膜的寬度方向一側的帶、與支持另一個二次玻璃膜的寬度方向另一側的帶中的任一者設為吸附，將另一者設為不吸附。

又，於本發明的玻璃膜的製造方法中，可行的是，上游側輸送機包括可藉由帶將一次玻璃膜予以接觸支持的多個上游側帶式輸送機，且多個上游側帶式輸送機中位於一次玻璃膜的寬度方向中央的上游側帶式輸送機，構成為可將一次玻璃膜向帶吸附。

雷射切斷前的玻璃膜(一次玻璃膜)尚容許成形後的尺寸的偏差等，且尺寸巨大，因此在產生翹起等變形的狀態下被搬運的情況並不少見。因此，若欲藉由多條帶吸附上述形態的一次玻璃膜並進行搬運，則存在下述問題，即：因長度方向尺寸的左右差(長度方向尺寸在寬度方向一端側與另一端側的差)，而容易 產生褶皺。根據上述內容，自抑制產生褶皺的觀點而言，如上文所述般，較佳的是多個上游側帶式輸送機中的位於一次玻璃膜的寬度方向中央的上游側帶式輸送機，構成為能夠將一次玻璃膜向帶吸附。藉由在僅吸附寬度方向中央的狀態下對一次玻璃膜進行搬運，而可抑制褶皺產生地將一次玻璃膜供給至藉由雷射而進行的切斷區。

又，在藉由一次玻璃膜的切斷而獲得多片二次玻璃膜的情況下，於本發明的玻璃膜的製造方法中，可於較下游側輸送機更靠一次玻璃膜的搬運方向下游側設置間隙形成部，所述間隙形成部用於在寬度方向相鄰的任意一組二次玻璃膜之間形成寬度方向間隙。

藉由如此般於較下游側輸送機更靠一次玻璃膜的搬運方向下游側設置間隙形成部，而可在不使下游側輸送機的結構複雜化的情況下，於二次玻璃膜之間形成規定的寬度方向間隙。此處，二次玻璃膜呈自其基端(位於切斷區)向下游側連續的形態，因此即便在較下游側輸送機更靠下游側設置間隙形成部的情況下，仍能夠比較容易地在剛切斷後的二次玻璃膜之間形成規定的寬度方向間隙。

又，於如上述般設置間隙形成部的情況下，於本發明的玻璃膜的製造方法中，間隙形成部可具有與二次玻璃膜相同數目的寬度方向中央成為最大徑的桶狀的支持輥，以便各二次玻璃膜向朝上方凸出的方向彎曲變形。

如此般，間隙形成部設為具有寬度方向中央成為最大徑的桶狀的支持輥的結構，藉此例如在較支持輥更靠下游側伴隨二次玻璃膜的捲繞而二次玻璃膜中的通過間隙形成部的支持輥的部分向朝上方凸出的方向彎曲變形。因此，能夠以簡單的結構避免二次玻璃膜彼此的接觸，從而安全地搬運各二次玻璃膜。

又，根據以上所說明的玻璃膜的製造方法，防止因玻璃膜的支持搬運位置伴隨切成片數的變更而偏向寬度方向一側所致的玻璃膜的搬運不良，而可穩定地獲得良好的品質的玻璃膜。因此，例如將利用上述方法獲得的二次玻璃膜，利用位於較下游側輸送機更靠搬運方向下游側的捲繞裝置捲繞成卷狀而獲得玻璃卷，藉此可無關於二次玻璃膜的切成數或其寬度方向尺寸，防止捲繞時的偏移，從而可穩定地獲得良好的品質的玻璃卷。

又，所述課題的解決亦可藉由本發明的玻璃膜的製造裝置而達成。即，所述製造裝置為玻璃膜的製造裝置，用於將帶狀的一次玻璃膜一面於規定的方向搬運一面進行切斷，藉此獲得一片或多片二次玻璃膜，所述玻璃膜的製造裝置的特徵在於包括：搬運裝置，可將一次玻璃膜於規定的方向進行搬運；以及雷射切斷裝置，可對由搬運裝置搬運的一次玻璃膜照射雷射，而於規定的切斷區進行切斷，搬運裝置包括：上游側輸送機，相對而言位於一次玻璃膜的搬運方向上游側；以及下游側輸送機，相對而言位於一次玻璃膜的搬運方向下游側，可搬運二次玻璃膜，下游側輸送機包括可藉由帶將二次玻璃膜予以接觸支持的多個下游側帶 式輸送機，且各下游側帶式輸送機的帶的位置，構成為可於一次玻璃膜的寬度方向上予以調整。

如此般，於本發明的玻璃膜的製造裝置中，亦將搬運裝置設為包括上游側輸送機以及下游側輸送機，所述上游側輸送機相對而言位於一次玻璃膜的搬運方向上游側，所述下游側輸送機位於搬運方向下游側，可搬運二次玻璃膜，且使下游側輸送機包括可藉由帶將二次玻璃膜予以接觸支持的多個下游側帶式輸送機，並將各下游側帶式輸送機的帶的位置，設為可於一次玻璃膜的寬度方向上予以調整。藉此，無需改變用於搬運一次玻璃膜的上游側輸送機的結構，而可自由地設定二次玻璃膜在寬度方向上與帶的接觸支持位置，因此可根據藉由雷射切斷應取得的二次玻璃膜的寬度方向位置或寬度方向尺寸，將各下游側帶式輸送機配設於適當的寬度方向位置。因此，藉由最低限度的必要的設備變更，而可避免二次玻璃膜於偏向寬度方向一側的位置與帶接觸的事態，從而可防止由所述接觸位置的偏向引起的二次玻璃膜的斜行等二次玻璃膜的搬運不良。又，若可不斜行地搬運二次玻璃膜，則可盡可能地避免在寬度方向上相鄰的其中一個二次玻璃膜的切斷面干擾另一個二次玻璃膜的切斷面的事態，因此能夠獲得良好的切斷品質的玻璃膜。

如以上所述般，根據本發明，可避免伴隨切斷條件的變更的玻璃膜的搬運不良，從而穩定地獲得良好的品質的玻璃膜。

1:製造裝置

2:成形部

3:方向轉換部

4:第一搬運部

5:第一切斷部

6:第一捲繞部

7:抽出部

8:第二搬運部(搬運裝置)

9:第二切斷部

10:第二捲繞部

11:成形體

11a:溢流槽

12:邊緣輥

13:退火爐

14:退火爐輥

15:支持輥

16:導輥

17a:雷射照射裝置

17b:冷卻裝置

18:捲芯

19:上游側輸送機(輸送機)

20:下游側輸送機(輸送機)

21:切斷區

22:上游側帶式輸送機(帶式輸送機)

23:帶(第一帶)

23a、28a:表面(支持搬運面)

23b、28b:孔

24、29:皮帶輪

24a、29a:驅動皮帶輪

25、30:支持體

26、31:驅動源

27:下游側帶式輸送機(帶式輸送機)

28:帶(第二帶)

32:軌道部

33:滑動部

34:軸

35:退避空間

36:雷射照射裝置

36a:雷射照射部

37:冷卻裝置

38:第一壓盤

39:第一支持面

40:第一抽吸部(抽吸部)

41、50:片材構件

42:第一吸氣口

42a、42a:兩端開口部

42b:貫通孔

43、53:連通空間

44、54:排氣部

45、55:連接管

46、56:支持構件

47:第二壓盤

48:第二支持面

49:第二抽吸部(抽吸部)

51:第二吸氣口(吸氣口)

52:第三吸氣口(吸氣口)

57:狹縫部

58:間隙形成部

59a、59b、59c:支持輥

60a、60b:噴嘴

61a、61b:捲芯

A-A、B-B、C-C、D-D、E-E:切斷線

G:母材玻璃膜

G1:第一玻璃膜(玻璃膜)、一次玻璃膜

G2a、G2b、G2c:第二玻璃膜(玻璃膜)、二次玻璃膜

GM:熔融玻璃

GRL1:第一玻璃卷

GRL2a、GRL2b、GRL2c:第二玻璃卷

L:雷射光

O:雷射光的照射位置

PL:路線

R:冷媒

X:搬運方向

圖1是表示本發明的第一實施形態的玻璃膜的製造裝置的整體結構的側視圖。

圖2是圖1所示的搬運裝置的平面圖。

圖3是沿著圖2中的A-A切斷線的搬運裝置的剖視圖。

圖4是圖2所示的第一壓盤的平面圖。

圖5是沿著圖4中的B-B切斷線的第一壓盤的剖視圖。

圖6是沿著圖5中的C-C切斷線的第一壓盤的剖視圖。

圖7是圖2所示的第二壓盤的平面圖。

圖8是沿著圖7中的D-D切斷線的第二壓盤的剖視圖。

圖9是沿著圖8中的E-E切斷線的第二壓盤的剖視圖。

圖10是用於說明由圖2所示的支持輥發揮的作用的概念圖。

圖11是本發明的第二實施形態的搬運裝置的平面圖。

圖12是本發明的第三實施形態的搬運裝置的平面圖。

以下，基於圖1~圖10對本發明的玻璃膜的製造方法的第一實施形態進行說明。再者，以下，以將玻璃膜捲繞成卷狀而最終獲得玻璃卷的情況為例進行說明。

如圖1所示，本發明的第一實施形態的玻璃膜(玻璃卷) 的製造裝置1包括：成形部2，使帶狀的母材玻璃膜G成形；方向轉換部3，將母材玻璃膜G的行進方向自縱向下方轉換成橫向；第一搬運部4，於方向轉換後對母材玻璃膜G進行橫向搬運；第一切斷部5，對母材玻璃膜G中的寬度方向兩端部進行切斷；以及第一捲繞部6，將經去除寬度方向兩端部的玻璃膜(以下，稱為第一玻璃膜)G1捲繞成卷狀而獲得第一玻璃卷GRL1。再者，於本實施形態中，縱向是鉛垂方向，橫向是水平方向。

又，玻璃卷的製造裝置1更包括：抽出部7，自第一玻璃卷GRL1抽出第一玻璃膜G1；第二搬運部8，將自抽出部7抽出的第一玻璃膜G1進行橫向搬運；第二切斷部9，切斷第一玻璃膜G1的一部分；以及第二捲繞部10，將由第二切斷部9切斷而成的玻璃膜(以下，稱為第二玻璃膜)G2捲繞成卷狀而獲得第二玻璃卷GRL2a、第二玻璃卷GRL2b。

再者，本實施形態中的第一玻璃膜G1相當於本發明的一次玻璃膜，第二玻璃膜相當於本發明的二次玻璃膜。因此，第一玻璃卷GRL1相當於將本發明的一次玻璃膜捲繞成卷狀而成的玻璃卷，第二玻璃卷GRL2相當於將本發明的二次玻璃膜捲繞成卷狀而成的玻璃卷。

又，本實施形態中的第二捲繞部10相當於本發明的捲繞裝置，第二切斷部9相當於本發明的雷射切斷裝置，第二搬運部8相當於本發明的搬運裝置。

成形部2包括：剖視時為大致楔形的成形體11，於上端 部形成有溢流槽11a；邊緣輥(edge roller)12，配置於成形體11的正下方，自表背兩側夾持自成形體11溢出的熔融玻璃GM；以及退火爐(annealer)13，配備在邊緣輥12的正下方。

成形部2使自成形體11的溢流槽11a溢出的熔融玻璃GM沿兩側面分別流下，並於其下端部匯流而成形為膜狀。邊緣輥12對所述熔融玻璃GM的寬度方向收縮進行限制而調整母材玻璃膜G的寬度方向尺寸。退火爐13是用於對母材玻璃膜G實施除應變處理的構件。退火爐13具有配設成上下方向多層的退火爐輥14。

於退火爐13的下方，配設有自表背兩側夾持母材玻璃膜G的支持輥15。對支持輥15與邊緣輥12之間，或對支持輥15與任一處的退火爐輥14之間，賦予用於促使母材玻璃膜G變成薄壁的張力。

方向轉換部3設置於支持輥15的下方位置。於方向轉換部3上，呈彎曲狀排列有對母材玻璃膜G進行導引的多個導輥16。該些導輥16對在鉛垂方向搬運的母材玻璃膜G進行橫向導引。

第一搬運部4配置於方向轉換部3的行進方向前方(下游側)。第一搬運部4藉由驅動具有支持搬運面的驅動部，而將通過方向轉換部3的母材玻璃膜G沿其長度方向朝下游側搬運。再者，第一搬運部4可採用任意的結構，例如可包括一個或多個帶式輸送機。此種情況下，具有支持搬運面的驅動部為帶，藉由對所述帶進行驅動，而可將母材玻璃膜G以上文所述的形態進行搬運。當然，第一搬運部4並不限定於上述例示的結構，亦可使用 輥式輸送機(roller conveyor)及其他各種搬運裝置。

第一切斷部5配置於第一搬運部4的上方。於本實施形態中，第一切斷部5構成為可藉由雷射切割對母材玻璃膜G進行切斷。具體而言，第一切斷部5包括：一對雷射照射裝置17a、及配置於所述雷射照射裝置17a的下游側的一對冷卻裝置17b。第一切斷部5自各雷射照射裝置17a對所搬運的母材玻璃膜G的規定部位照射雷射光L而進行加熱後，自冷卻裝置17b放出冷媒R而將所述加熱部位進行冷卻。

第一捲繞部6設置於第一搬運部4及第一切斷部5的下游側。第一捲繞部6藉由使捲芯18旋轉而將第一玻璃膜G1捲繞成卷狀。以此種方式獲得的第一玻璃卷GRL1被搬運至抽出部7的位置。抽出部7自藉由第一捲繞部6而獲得的第一玻璃卷GRL1抽出第一玻璃膜G1，並供給至第二搬運部8上。

第二搬運部8將在抽出部7中自第一玻璃卷GRL1抽出的第一玻璃膜G1沿橫向(以下，稱為搬運方向X)搬運。此處，如圖2及圖3所示，第二搬運部8包括兩個輸送機19、20。此種情況下，第二搬運部8的支持搬運面，藉由利用第二切斷部9的第一玻璃膜G1的切斷區21(圖2中的以一點鏈線包圍的區域)予以分割。藉此，第二搬運部8形成被分割成上游側輸送機19與下游側輸送機20的結構，所述上游側輸送機19位於較切斷區21更靠第一玻璃膜G1的搬運方向上游側、所述下游側輸送機20位於較切斷區21更靠搬運方向下游側。

其中，上游側輸送機19包括多個上游側帶式輸送機22。所述多個上游側帶式輸送機22均構成為可利用帶(以下，稱為第一帶23)於相同的方向對第一玻璃膜G1予以接觸支持並向下游側搬運。此處，各第一帶23例如為環形帶狀的帶，各第一帶23設定在相同高度方向位置，以使第一玻璃膜G1於在其長度方向上所接觸的整個區域保持為大致水平姿勢。藉此，在成為第一玻璃膜G1的支持搬運面的各第一帶23的表面23a，構成有沿著水平方向的第一玻璃膜G1的路線PL(參照後述的圖5等)。

此處，如圖3所示，各上游側帶式輸送機22包括：上文所述的環形帶狀的第一帶23、用於對第一帶23賦予張力且將第一帶23配設於規定的位置的多個皮帶輪(pulley)24、以及支持所述多個皮帶輪24的支持體25。支持體25固定於地面。又，於多個皮帶輪24中的規定的皮帶輪24(驅動皮帶輪24a)，連結有馬達等驅動源26(參照圖2)，藉由由所述驅動源26對驅動皮帶輪24a賦予驅動力，而可將各上游側帶式輸送機22的第一帶23於規定的方向進行驅動。

又，上述結構的多個上游側帶式輸送機22分別設置於規定的寬度方向位置。此處，設想在上游側輸送機19上搬運寬度方向尺寸互不相同的多種第一玻璃膜G1，而以於所設想的各第一玻璃膜G1的寬度方向兩端側予以接觸支持的方式，設定各第一帶23的寬度方向位置。又，於本實施形態中，構成為無關於寬度方向尺寸的大小，以可將全部的第一玻璃膜G1於其寬度方向中央位 置予以接觸支持的方式配設上游側帶式輸送機22(參照圖2)，且所述上游側帶式輸送機22可將第一玻璃膜G1吸附於成為其支持搬運面的第一帶23的表面23a。於本實施形態中，於第一帶23的表面23a形成有多個孔23b，藉由通過所述孔23b進行吸氣，而可將第一玻璃膜G1吸附於表面23a。

下游側輸送機20包括多個下游側帶式輸送機27。所述多個下游側帶式輸送機27均構成為可利用帶(以下，稱為第二帶28)於相同的方向對切斷後的第一玻璃膜G1、即第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b予以接觸支持並向下游側搬運。此處，各第二帶28例如為環形帶狀的帶，各第二帶28設定在相同高度方向位置，以使第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b於在其長度方向上所接觸的整個區域保持為大致水平姿勢。藉此，在成為第一玻璃膜G1的支持搬運面的各第一帶23的表面23a、與成為第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b的支持搬運面的各第二帶28的表面28a，構成有沿著水平方向的第一玻璃膜G1的切斷前後的路線PL、即第二搬運部8的路線PL。

此處，如圖3所示，各下游側帶式輸送機27包括：上文所述的環形帶狀的第二帶28、用於對第二帶28賦予張力且將第二帶28配設於規定的位置的多個皮帶輪(pulley)29、以及支持所述多個皮帶輪29的支持體30。又，於多個皮帶輪29中的規定的皮帶輪29(驅動皮帶輪29a)，連結有馬達等驅動源31(參照圖2)，藉由由驅動源31對驅動皮帶輪29a賦予驅動力，而可將各下游側 帶式輸送機27的第二帶28於規定的方向進行驅動。所述驅動源31不同於上游側帶式輸送機22的驅動源26而獨立地設置。因此，可不聯動地各別地控制各驅動源26、31、以及上游側帶式輸送機22及下游側帶式輸送機27的驅動。

又，構成為多個下游側帶式輸送機27可分別設置於規定的寬度方向位置，且各第二帶28的位置可於第一玻璃膜G1的寬度方向上予以調整。具體而言，於各下游側帶式輸送機27的下方，配設有在第一玻璃膜G1的寬度方向上延伸的軌道部32。而且，於構成各下游側帶式輸送機27的支持體30的下部，安裝有可於軌道部32之間相對移動的滑動部33。藉此，藉由各支持體30的滑動部33相對於軌道部32於寬度方向上滑動，而由各支持體30支持的多個皮帶輪29及由該些皮帶輪29支持的第二帶28可一體地於寬度方向上滑動。再者，各下游側帶式輸送機27的驅動皮帶輪29a相對於共用的軸34於寬度方向上可滑動地被支持。因此，可自由地變更相對於軸34的寬度方向上的位置，且可在任意的寬度方向位置接受來自驅動源31的驅動力而進行驅動。

於本實施形態中，如圖2所示，以一對第二帶28位於切斷後的第一玻璃膜G1即各第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b的寬度方向兩端附近的方式，調整各第二帶28(各下游側帶式輸送機27)的寬度方向位置。再者，在如本實施形態般將第一玻璃膜G1的寬度方向兩端部切掉，且自所述一片第一玻璃膜G1切成兩片第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b的情況下，無需下游側帶式輸送 機27的其中一個，因此例如可使位於寬度方向最外側的下游側帶式輸送機27移動至退避空間35。藉此，確實地避免不需要的下游側帶式輸送機27對第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b進行干擾的事態，且藉由各兩個下游側帶式輸送機27將兩片第二玻璃膜G2a、G2b進行支持搬運，同時藉由各一個下游側帶式輸送機27，將切掉的第一玻璃膜G1的寬度方向端部分別進行支持搬運。再者，於本實施形態中，如圖2所示，全部下游側帶式輸送機27的第二帶28構成為可將第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b吸附於成為其支持搬運面的表面28a。於本實施形態中，於第二帶28的表面28a形成有多個孔28b，藉由通過所述孔28b進行吸氣，而可將第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b吸附於表面28a。

第二切斷部9配置於第二搬運部8中的位於上游側輸送機19與下游側輸送機20之間的區域的上方(參照圖1及圖3)。於本實施形態中，第二切斷部9構成為可藉由雷射切割對第一玻璃膜G1進行切斷，包括多個雷射照射裝置36、及配置於各雷射照射裝置36的下游側的冷卻裝置37。此種情況下，冷卻裝置37配置為與雷射照射裝置36相同數目。於本實施形態中，利用第二切斷部9的第一玻璃膜G1的切斷區21設置於寬度方向上的三處(參照圖2)，因此雷射照射裝置36與冷卻裝置37亦各配設有三個。上述結構的第二切斷部9構成為可自各雷射照射裝置36對所搬運的第一玻璃膜G1的規定部位照射雷射光L而進行加熱後，自冷卻裝置37放出冷媒R而將所述加熱部位進行冷卻。詳情將於後 述。

又，於本實施形態中，如圖2所示，於上述的第一玻璃膜G1的在寬度方向上遠離切斷區21的位置，配設有可將由第二搬運部8搬運的第一玻璃膜G1予以接觸支持的第一壓盤38。準確而言，於與切斷後的第一玻璃膜G1(第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b)的寬度方向中央側相對應的位置，配設有第一壓盤38。於本實施形態中，由於兩片第二玻璃膜G2a、G2b是自一片第一玻璃膜G1切成，因此於相對於切斷區21位於寬度方向、且與各第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b的寬度方向中央相對應的位置，分別配設有第一壓盤38。所述第一壓盤38的圖示省略，設置於地面並固定，始終處於靜止的狀態。

此處，如圖4所示，第一壓盤38包括：第一支持面39，可對第一玻璃膜G1予以接觸支持；以及第一抽吸部40，可將第一玻璃膜G1向第一支持面39抽吸。

第一壓盤38例如由金屬形成為大致長方體狀。於本實施形態中，如圖5所示，第一支持面39由設置於第一壓盤38的上側的片材構件41的表面構成。所述片材構件41例如由樹脂等與第一玻璃膜G1接觸時的阻力小的材料形成，或者由對於第一玻璃膜G1的滑動性良好的材料形成。再者，於本實施形態中，由片材構件41的表面構成第一支持面39，當然，亦可由第一壓盤38的上表面構成第一支持面39。

又，第一支持面39的高度方向位置可為與第一玻璃膜 G1的路線PL相同的位置，亦可例如如圖5及圖6所示，設定為較路線PL稍許(例如3mm以內的範圍)高。藉此，可使第一玻璃膜G1與第一支持面39更確實地密接。

於本實施形態中，第一抽吸部40包括：於第一支持面39開口的第一吸氣口42、與第一吸氣口42連通的連通空間43、進行連通空間43內部的排氣的泵等的排氣部44、以及連接連通空間43與排氣部44的連接管45(均參照圖3)。於本實施形態中，第一吸氣口42形成槽狀。又，所述形成槽狀的第一吸氣口42以沿第一玻璃膜G1的長度方向、即沿搬運方向延伸的方式形成於第一支持面39(參照圖4)。第一吸氣口42以貫通片材構件41且於第一壓盤38的上表面開口的方式形成。又，於本實施形態中，第一吸氣口42的長度方向兩端相對於第一壓盤38的側面開口。因此，第一吸氣口42的兩端開口部42a、兩端開口部42a，處於相對於外部空間(外部空氣)始終開放的狀態。

於第一吸氣口42的底面形成有多個貫通孔42b，與形成於支持第一壓盤38的支持構件46的連通空間43相連。此種情況下，貫通孔42b形成於第一壓盤38，連通空間43形成於支持構件46。連接管45安裝於支持構件46。排氣部44例如為共用，可對於一個排氣部44由與第一壓盤38相同數目的連接管45予以連接。或者，亦可為連通空間43為共用而由一個支持構件46支持有多個第一壓盤38。此種情況下，一根連接管45安裝於一個支持構件46。根據形成以上結構的第一抽吸部40，藉由排氣部44的 驅動，自在第一支持面39開口的第一吸氣口42及位於所述長度方向兩端的兩端開口部42a、兩端開口部42a進行吸氣。因此，當在第一壓盤38的第一支持面39上搬運第一玻璃膜G1的情況下，藉由上述吸氣動作，而可將第一玻璃膜G1的下表面抽吸至第一支持面39。

又，於本實施形態中，如圖2所示，於上述的第一玻璃膜G1的切斷區21，配設有可對第一玻璃膜G1予以接觸支持的第二壓盤47。於本實施形態中，由於採用將第一玻璃膜G1於寬度方向的三處進行切斷的形態，因此對三處切斷區21分別配設有三個第二壓盤47。該些第二壓盤47的圖示省略，設置於地面並固定，始終處於靜止的狀態。

此處，如圖7所示，第二壓盤47包括：第二支持面48，可對第一玻璃膜G1予以接觸支持；以及第二抽吸部49，可將第一玻璃膜G1向第二支持面48抽吸。

第二壓盤47例如由金屬形成為大致長方體狀。於本實施形態中，如圖8所示，第二支持面48由設置於第二壓盤47的上側的片材構件50的表面構成。所述片材構件50例如由樹脂等與第一玻璃膜G1接觸時的阻力小的材料形成，或者由對於第一玻璃膜G1的滑動性良好的材料形成。再者，於本實施形態中，由片材構件50的表面構成第二支持面48，當然，亦可由第二壓盤47的上表面構成第二支持面48。

又，第二支持面48的高度方向位置可為與第一玻璃膜 G1的路線PL相同的位置，亦可例如圖8及圖9所示，設定為較路線PL稍許(例如3mm以內的範圍)高。藉此，可使第一玻璃膜G1與第二支持面48更確實地密接。

於本實施形態中，如圖8及圖9所示，第二抽吸部49包括：於第二支持面48開口的第二吸氣口51、位於第二吸氣口51的寬度方向兩側的一對第三吸氣口52、52、與第二吸氣口51及第三吸氣口52、第三吸氣口52連通的連通空間53、進行連通空間53內部的排氣的泵等的排氣部54、以及連接連通空間53與排氣部54的連接管55。

於本實施形態中，第二吸氣口51及第三吸氣口52均以呈沿著第一玻璃膜G1的搬運方向X延伸的長孔形狀的方式形成於第二支持面48。此處，第二吸氣口51的寬度方向尺寸或長度方向尺寸，可兼顧第三吸氣口52的寬度方向尺寸或長度方向尺寸而設定成適當的大小。換言之，可根據所需的對第一玻璃膜G1的抽吸力(變形力)，適當地設定上述的尺寸、特別是第二吸氣口51的各種尺寸與第三吸氣口52的各種尺寸的大小關係。

上述結構的第二吸氣口51及一對第三吸氣口52、52形成於片材構件50與第二壓盤47。所述第二吸氣口51及第三吸氣口52、第三吸氣口52以將片材構件50與第二壓盤47分別於上下方向貫通的方式形成，並與形成於自下方支持第二壓盤47的支持構件56的連通空間53相連。此種情況下，連通空間53形成於支持構件56，連接管55安裝於支持構件56的下側。排氣部54例如 為共用，可對於一個排氣部54由與第二壓盤47相同數目的連接管55予以連接。或者，亦可為連通空間53為共用，而由一個支持構件56支持有多個第二壓盤47。此種情況下，一根連接管55安裝於一個支持構件56。又，於本實施形態中，於支持構件56與第二壓盤47之間，形成有狹縫部57，所述狹縫部57於支持構件56的寬度方向開口，而可抽吸外部的空氣。

根據形成以上結構的第二抽吸部49，藉由排氣部54的驅動，自在第二支持面48開口的第二吸氣口51與第三吸氣口52、第三吸氣口52及狹縫部57進行吸氣。因此，當在第二壓盤47的第二支持面48上搬運第一玻璃膜G1的情況下，藉由上述吸氣動作，而可將第一玻璃膜G1的下表面抽吸至第二支持面48。

又，如本實施形態所述般，當在第一抽吸部40與第二抽吸部49分別設置獨立的排氣部44、排氣部54的情況下，可各別地控制抽吸力。例如，可以第一抽吸部40對第一玻璃膜G1的抽吸力小於第二抽吸部49對第一玻璃膜G1的抽吸力的方式，各別地調整由各抽吸部40、抽吸部49產生的抽吸力，換言之，各別地調整由各排氣部44、排氣部54產生的排氣量。當然，亦可由第一抽吸部40與第二抽吸部49共用排氣部(省略圖示)，而將結構簡化。

雷射照射裝置36藉由對沿搬運方向X移動的第一玻璃膜G1的規定部位照射雷射光L，而對所述部位進行局部加熱。如圖9所示，雷射照射裝置36具有多個雷射照射部36a。各雷射照射 部36a配置於第二壓盤47的第二吸氣口51的上方。藉此，雷射照射部36a對通過在第二支持面48開口的第二吸氣口51的第一玻璃膜G1的多個部位照射雷射光L。源自各雷射照射部36a的雷射光L的照射位置O是以位於與第一玻璃膜G1的搬運方向X大致平行的直線上的方式設定。

冷卻裝置37於第一玻璃膜G1的搬運方向X上配置於雷射照射裝置36的下游側。冷卻裝置37對第一玻璃膜G1中的藉由上述的雷射光L的照射而進行局部加熱的部位供給冷媒R而將所述部位予以冷卻。

於較第二搬運部8更靠下游側，設置有間隙形成部58，所述間隙形成部58用於在寬度方向上相鄰的一組第二玻璃膜G2a、G2b之間形成寬度方向間隙。所述間隙形成部58於本實施形態中，以各第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b向朝上方凸出的方向灣曲變形的方式，具有寬度方向中央成為最大徑的桶狀的支持輥59a、支持輥59b。於本實施形態中切成兩片第二玻璃膜G2a、G2b，因此配設有兩個支持輥59a、59b。又，如圖10所示，於本實施形態中，配設有用於自上方朝藉由支持輥59a、支持輥59b支持的各第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b的寬度方向兩端部噴附空氣等氣體的噴嘴60a、噴嘴60b。

第二捲繞部10配設於較第二搬運部8更靠下游側。具體而言，第二捲繞部10藉由利用捲芯61a、捲芯61b對由第二搬運部8搬運的第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b進行捲繞，而獲得 第二玻璃卷GRL2a、第二玻璃卷GRL2b。於本實施形態中，切成兩片第二玻璃膜G2a、G2b，因此藉由將所述兩片第二玻璃膜G2a、G2b分別進行捲繞，而可獲得兩個第二玻璃卷GRL2a、GRL2b。

作為藉由上述結構的製造裝置1而製造的第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b(第一玻璃膜G1)的材質，使用矽酸鹽玻璃、二氧化矽玻璃，較佳為使用硼矽酸玻璃、鈉鈣玻璃、鋁矽酸鹽玻璃、化學強化玻璃，最佳為使用無鹼玻璃。此處，所謂無鹼玻璃，是指實質不含鹼成分(鹼金屬氧化物)的玻璃，具體而言，是指鹼成分的重量比為3000ppm以下的玻璃。本發明中的鹼成分的重量比較佳為1000ppm以下，更佳為500ppm以下，最佳為300ppm以下。

又，第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b(第一玻璃膜G1)的厚度尺寸設為10μm以上且300μm以下，較佳為30μm以上且200μm以下，最佳為30μm以上且100μm以下。

以下，對使用上述結構的製造裝置1製造第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b(本實施形態中為第二玻璃卷GRL2a、第二玻璃卷GRL2b)的方法進行說明。本方法包括：成形步驟S1、兩端部去除步驟S2、第一捲繞步驟S3、抽出步驟S4、切斷步驟S5、以及第二捲繞步驟S6。

於成形步驟S1中，如圖1所示，使自成形部2中的成形體11的溢流槽11a溢出的熔融玻璃GM分別沿著成形體11的兩側面流下，並於其下端部匯流而成形為膜狀。此時，藉由邊緣輥 12對熔融玻璃GM的寬度方向收縮進行限制而製成規定寬度的母材玻璃膜G。其後，藉由退火爐13對母材玻璃膜G實施除應變處理(緩冷步驟)。藉由支持輥15的張力將母材玻璃膜G形成為規定的厚度。

於兩端部去除步驟S2中，同樣地如圖1所示，藉由方向轉換部3及第一搬運部4將母材玻璃膜G送往下游側，並且於第一切斷部5中，自雷射照射裝置17a對母材玻璃膜G的一部分照射雷射光L而進行加熱。之後，藉由冷卻裝置17b對已加熱的部位噴附冷媒R。藉此，母材玻璃膜G中產生熱應力。母材玻璃膜G中預先形成有初始裂紋，藉由熱應力使所述裂紋進展。藉此，去除母材玻璃膜G的寬度方向兩端部，而形成第一玻璃膜G1。

於接下來的第一捲繞步驟S3中，同樣地如圖1所示，藉由將第一玻璃膜G1捲繞於捲芯18，而獲得第一玻璃卷GRL1。其後，將第一玻璃卷GRL1移送至抽出部7。於抽出步驟S4中，自移送至抽出部7的第一玻璃卷GRL1抽出第一玻璃膜G1，並藉由第二搬運部8搬運至第二搬運部8上的切斷區21(參照圖2及圖3)。

於切斷步驟S5中，藉由利用雷射照射裝置36對第一玻璃膜G1中的通過第二搬運部8上的切斷區21的部分照射雷射光L，且對所照射的區域噴附冷媒R，而進行沿著第一玻璃膜G1的搬運方向X的方向的切斷。又，此時，第一玻璃膜G1藉由上游側輸送機19於沿著搬運方向X的方向搬運，並通過配設在相對於 切斷區21於寬度方向上遠離的位置的第一壓盤38的第一支持面39上(參照圖2)。此處，藉由使第一抽吸部40的排氣部44工作(藉由使其一直工作)，而經由在第一支持面39開口的第一吸氣口42，對第一支持面39上的第一玻璃膜G1作用有朝下的抽吸力，而將第一玻璃膜G1向第一支持面39抽吸。藉此，第一玻璃膜G1在受到朝向第一支持面39的力(約束力)的狀態下一面被接觸支持一面沿著搬運方向X被搬運。又，根據由第一抽吸部40產生的抽吸力的程度，第一玻璃膜G1的被抽吸部分變形(例如如圖5所示，向朝下方凸出的方向灣曲變形)。

又，於本實施形態中，於切斷區21配設有第二壓盤47，因此如上述般第一玻璃膜G1通過切斷區21上的同時，通過第二壓盤47的第二支持面48上(參照圖2)。此處，藉由使第二抽吸部49的排氣部54工作，而經由在第二支持面48開口的第二吸氣口51及一對第三吸氣口52、52對第二支持面48上的第一玻璃膜G1作用有向下的抽吸力，而將第一玻璃膜G1向第二支持面48抽吸。藉此，第一玻璃膜G1一面接觸支持於第二支持面48一面沿著搬運方向X被搬運。又，根據由第二抽吸部49產生的抽吸力的程度，第一玻璃膜G1的被抽吸部分變形(例如如圖8所示，各吸氣口51、吸氣口52正上方的部分分別向朝下方凸出的方向灣曲變形)。

再者，此時，由第一抽吸部40產生的抽吸力，例如藉由調整排氣部44的輸出或各開口部(第一吸氣口42、兩端開口部 42a、兩端開口部42a)的形狀、尺寸而控制成適當的大小。同樣地，由第二抽吸部49產生的抽吸力，例如藉由調整排氣部54的輸出或各開口部(第二吸氣口51、第三吸氣口52、及狹縫部57)的形狀、尺寸而控制成適當的大小。

於上文所述的抽吸力的調整上，具有下述傾向，即：若增大抽吸力，則上文所述的第一玻璃膜G1的變形量變大，另一方面，第一玻璃膜G1的上下移動的幅度變小。反之，具有下述傾向，即：若減小抽吸力，則上文所述的變形量變小，另一方面，上下移動的幅度變大。因此，較佳的是在可容許的上下移動的幅度的範圍內盡可能地減小變形量。

於切斷步驟S5中，如上述般一面將第一玻璃膜G1抽吸至第一壓盤38的第一支持面39、及第二壓盤47的第二支持面48，一面藉由第二搬運部8(上游側輸送機19)將第一玻璃膜G1於規定的搬運方向X進行搬運，且自雷射照射裝置36的雷射照射部36a對第一玻璃膜G1照射多道雷射光L(雷射照射步驟)。雷射光L照射至第一玻璃膜G1中的通過第二壓盤47的第二吸氣口51上的部分。

藉由如上文所述的雷射光L的照射，於其照射位置O(參照圖7)將第一玻璃膜G1予以加熱。其後，當第一玻璃膜G1中的經加熱的部分到達位於第二吸氣口51的下游側的冷卻裝置37的正下方時，曝露於自冷卻裝置37向下方噴射的冷媒R中而被冷卻。藉由由雷射照射裝置36的局部加熱所致的膨脹與由冷卻裝置 37的冷卻所致的收縮而於第一玻璃膜G1中產生熱應力。於第一玻璃膜G1，藉由未圖示的機構預先形成有初始裂紋，並利用上述的熱應力使初始裂紋進展，藉此將第一玻璃膜G1於其寬度方向規定位置處連續性地進行切斷(切割)。於本實施形態中，藉由在寬度方向的三處進行上述的雷射切斷，而切掉第一玻璃膜G1的寬度方向兩端部，且切成分別具有規定的寬度方向尺寸的兩片第二玻璃膜G2a、G2b(參照圖2)。所述第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b藉由位於較切斷區21更靠搬運方向X的下游側的下游側輸送機20，向位於較下游側輸送機20更靠搬運方向X的下游側的第二捲繞部10搬運。

於第二捲繞步驟S6中，藉由分別配設於規定的位置的捲芯61a、捲芯61b將第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b予以捲繞。藉由將規定長度的第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b予以捲繞，而可獲得第二玻璃卷GRL2a、第二玻璃卷GRL2b。

又，於本實施形態中，於下游側輸送機20與第二捲繞部10之間，配設有作為間隙形成部58的支持輥59a、支持輥59b，因此通過各支持輥59a、支持輥59b上的第二玻璃膜G2一面沿著支持輥59a、支持輥59b的外周面形狀變形(此處為向朝上方凸出的方向灣曲變形)一面被朝下游側搬運。藉此，於剛被切斷後的第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b之間形成有規定的寬度方向間隙(參照圖10)，因此可避免切斷面彼此的干擾而分別被朝第二捲繞部10搬運。

如以上所說明般，於本實施形態的玻璃膜(第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b)的製造方法中，將作為搬運裝置的第二搬運部8設為包括上游側輸送機19以及下游側輸送機20，所述上游側輸送機19相對而言位於第一玻璃膜G1的搬運方向X的上游側，所述下游側輸送機20位於搬運方向X的下游側，可搬運第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b，且使下游側輸送機20包括可藉由第二帶28將第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b予以接觸支持的多個下游側帶式輸送機27，並將各下游側帶式輸送機27的第二帶28的位置，設為可於第一玻璃膜G1的寬度方向上予以調整。藉此，無需改變用於搬運第一玻璃膜G1的上游側輸送機19的結構，而可自由地設定第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b在寬度方向上與第二帶28的接觸支持位置，因此可根據藉由雷射切斷應取得的第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b的寬度方向位置或寬度方向尺寸，將各下游側帶式輸送機27配設於適當的寬度方向位置。因此，藉由最低限度的必要的設備變更，而可避免第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b於偏向寬度方向一側的位置與第二帶28接觸的事態，從而可防止由所述接觸位置的偏向引起的第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b的斜行等第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b的搬運不良。又，若可不斜行地搬運第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b，則可盡可能地避免在寬度方向上相鄰的其中一個第二玻璃膜G2a的切斷面(側斷面)干擾另一個第二玻璃膜G2b的切斷面(側斷面)的事態，因此能夠獲得良好的切斷品質的第二玻璃膜G2a、 第二玻璃膜G2b。

又，於本實施形態中，在藉由第一玻璃膜G1的切斷，來取得分別具有規定的寬度方向尺寸的多片第二玻璃膜G2a、G2b的情況下，設為根據各第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b的寬度方向位置及寬度方向尺寸，來調整第二帶28的位置。藉此，可將第二帶28配置於與所切成的第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b各自的位置、大小相適合的位置，因此可避免所切成的全部第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b的斜行，而於正確的方向穩定地進行搬運。特別是，於本實施形態中，構成為可根據各第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b的寬度方向兩端位置來調整第二帶28的位置，因此可將第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b在其寬度方向兩側穩定地予以接觸支持。因此，可抑制第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b的搬運時的抖動等變動，而可穩定地對第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b進行搬運。

又，於本實施形態中，設為於較下游側輸送機20更靠第一玻璃膜G1的搬運方向下游側設置間隙形成部58(此處為支持輥59a、支持輥59b)，所述間隙形成部58用於在寬度方向相鄰的任意一組第二玻璃膜G2a、G2b之間形成寬度方向間隙。藉此，第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b中的通過間隙形成部58的支持輥59a、支持輥59b上的部分向朝上方凸出的方向彎曲變形。因此，如上述般藉由下游側帶式輸送機27接觸支持第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b的寬度方向兩端的情況下，亦可避免剛切斷後的第 二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b彼此的接觸，從而安全地搬運各第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b。

以上，對本發明的玻璃膜的製造方法及製造裝置的第一實施形態進行了說明，但所述製造方法及製造裝置當然可在本發明的範圍內採用任意的形態。

圖11表示本發明的玻璃膜的製造方法的第二實施形態。即，於所述第一實施形態中，例示了在自一片第一玻璃膜G1切成兩片第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b時應用本發明的情況的結構，但於本實施形態中，例示自一片第一玻璃膜G1切成三片第二玻璃膜G2a、G2b、G2c時應用本發明的情況的結構。即，於本實施形態中，於圖11所示的製造裝置1中，根據切成的第二玻璃膜G2a~第二玻璃膜G2c的寬度方向位置及寬度方向尺寸，來調整下游側帶式輸送機27的寬度方向位置。即，如圖11所示，多個下游側帶式輸送機27構成為可沿著軌道部32於寬度方向上滑動，例如根據第二玻璃膜G2a~第二玻璃膜G2c的寬度方向兩端位置，於寬度方向上調整所述多個下游側帶式輸送機27的第二帶28的位置。

又，於本實施形態中，根據第二玻璃膜G2a~第二玻璃膜G2c的寬度方向位置及寬度方向尺寸，來調整第一壓盤38及第二壓盤47的數目及寬度方向位置。又，根據第二玻璃膜G2a~第二玻璃膜G2c的寬度方向位置及寬度方向尺寸，來調整雷射照射裝置36及冷卻裝置37的數目及寬度方向位置。即，雖省略圖示， 但於位置調整後的各第二壓盤47上配置有雷射照射裝置36及冷卻裝置37。

再者，如圖11所示，在下游側輸送機20與第二捲繞部10之間設置間隙形成部58的情況下，根據第二玻璃膜G2a~第二玻璃膜G2c的寬度方向位置及寬度方向尺寸，將適當的寬度方向尺寸的支持輥59a~支持輥59c分別配置於適當的寬度方向位置。

如此般，藉由根據第二玻璃膜G2a~第二玻璃膜G2c的寬度方向位置及寬度方向尺寸，於寬度方向上調整下游側帶式輸送機27的位置，而可在寬度方向上均等的位置對第二玻璃膜G2a進行支持搬運。因此，即便在所切成的第二玻璃膜G2a~第二玻璃膜G2c的片數或寬度方向尺寸變更的情況下，仍可避免於偏向寬度方向一側的位置與第二帶28接觸的事態，從而可防止由所述接觸位置的偏移引起的第二玻璃膜G2a~第二玻璃膜G2c的斜行等的第二玻璃膜G2a~第二玻璃膜G2c的搬運不良。

又，於上述實施形態中，例示了以可將自第一玻璃膜切成的各第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2b於其寬度方向兩端附近予以接觸支持的方式，將多個下游側帶式輸送機27的位置在寬度方向上予以調整的情況(參照圖2及圖11)，當然亦可採用此以外的配置形態。圖12示出其一例(本發明的第三實施形態)。如圖12所示，於本實施形態中，多個下游側帶式輸送機27構成為可沿著軌道部32於寬度方向上滑動，根據第二玻璃膜G2a~第二玻璃膜G2c中的至少一部分第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2c的寬度 方向中央位置，於寬度方向上將所對應的兩對下游側帶式輸送機27的第二帶28的位置予以調整。

藉由如此般於寬度方向上對下游側帶式輸送機27的位置予以調整，而可將所對應的第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2c在其寬度方向中央位置予以接觸支持。此種情況下，由於第二玻璃膜G2a、第二玻璃膜G2c彎曲變形成使寬度方向兩端側與寬度方向中央相比更下垂的形狀(朝上方凸出的形狀)，因此可在避免剛切斷後的第二玻璃膜G2a(G2c)、第二玻璃膜G2b的切斷面彼此的接觸的情況下，朝下游側搬運各第二玻璃膜G2a~第二玻璃膜G2c。

又，於所述實施形態中，例示了於第一玻璃膜G1的切斷區21配置第二壓盤47，且於在寬度方向上遠離切斷區21的位置配置第一壓盤38的情況，當然並不限定於此。若對雷射切斷不會帶來較大影響，則以支持搬運面通過切斷區21的方式配設第三輸送機(省略圖示)，而可省略第一壓盤38與第二壓盤47的至少一者。

又，搬運裝置(第二搬運部)的支持搬運面，未必一定在搬運方向X上與切斷區21對應的位置處被分割。例如亦可在自切斷區朝搬運方向X的下游側錯開的位置，將第二搬運部8的支持搬運面予以分割。

再者，於以上的說明中，對在切斷區21中作為搬運裝置的第二搬運部8經分割而成的上游側輸送機19與下游側輸送機 20均包括帶式輸送機的情況進行了例示，當然，亦可採用此以外的形態，例如可使上游側輸送機19包括輥式輸送機及其他各種搬運裝置。

又，於以上的說明中，對自一片第一玻璃膜G1切成兩片(或三片)第二玻璃膜G2a、G2b(G2a~G2c)的情況進行了例示，當然，在切成寬度方向尺寸不同的一片第二玻璃膜G2a的情況下亦可應用本發明，且在切成四片以上的第二玻璃膜G2a...的情況下亦可應用本發明。

又，於以上的說明中，對將本發明應用於藉由第一切斷部5切斷母材玻璃膜G的寬度方向兩端部而獲得的第一玻璃膜G1的情況進行了說明，但亦可將本發明應用於母材玻璃膜G的由第一切斷部5執行的切斷。此種情況下，藉由第一搬運部4採用與圖2等所示的第二搬運部8同樣的結構而可實施本發明。

又，於以上的說明中，對將本發明應用於形成帶狀的第一玻璃膜G1的情況進行了說明，當然亦可將本發明應用於形成除此以外的形態的第一玻璃膜G1。即，雖省略圖示，但可將本發明應用於矩形形狀等單片狀的板玻璃(玻璃膜)。且，未必一定將切斷而獲得的第二玻璃膜G2a…捲繞成卷狀。換言之，亦可將本發明應用於不捲繞成卷狀的第二玻璃膜G2a…的製造步驟中。

8:第二搬運部(搬運裝置)

10:第二捲繞部

19:上游側輸送機(輸送機)

20:下游側輸送機(輸送機)

21:切斷區

22:上游側帶式輸送機(帶式輸送機)

23:帶(第一帶)

23a、28a:表面(支持搬運面)

23b、28b:孔

26、31:驅動源

27:下游側帶式輸送機(帶式輸送機)

28:帶(第二帶)

32:軌道部

33:滑動部

34:軸

35:退避空間

38:第一壓盤

39:第一支持面

40:第一抽吸部(抽吸部)

47:第二壓盤

48:第二支持面

49:第二抽吸部(抽吸部)

58:間隙形成部

59a、59b:支持輥

61a、61b:捲芯

A-A:切斷線

G1:第一玻璃膜(玻璃膜)、一次玻璃膜

G2a、G2b:第二玻璃膜(玻璃膜)、二次玻璃膜

GRL2a、GRL2b:第二玻璃卷

X:搬運方向

Claims (12)

1. 一種玻璃膜的製造方法，將帶狀的一次玻璃膜一面利用搬運裝置於規定的方向搬運一面進行切斷，藉此獲得一片或多片二次玻璃膜，所述玻璃膜的製造方法的特徵在於：所述一次玻璃膜的切斷，藉由使用雷射切斷裝置在規定的切斷區對所述一次玻璃膜照射雷射而進行，且所述搬運裝置包括：上游側輸送機，相對而言位於所述一次玻璃膜的搬運方向上游側；以及下游側輸送機，相對而言位於所述一次玻璃膜的搬運方向下游側，能夠搬運所述二次玻璃膜，所述下游側輸送機包括能夠藉由帶將所述二次玻璃膜予以接觸支持的多個下游側帶式輸送機，且各所述下游側帶式輸送機的所述帶的位置，構成為能夠於所述一次玻璃膜的寬度方向上予以調整。
2. 如請求項1所述的玻璃膜的製造方法，其中所述雷射切斷裝置具有多個雷射照射部，各所述雷射照射部的位置構成為能夠於所述一次玻璃膜的寬度方向上予以調整。
3. 如請求項1所述的玻璃膜的製造方法，其中藉由所述一次玻璃膜的切斷，而取得分別具有規定的寬度方向尺寸的多片所述二次玻璃膜，根據各所述二次玻璃膜的寬度方向位置及寬度方向尺寸，來調整所述帶的位置。
4. 如請求項2所述的玻璃膜的製造方法，其中藉由所述一次玻璃膜的切斷，而取得分別具有規定的寬度方向尺寸的多片所述二次玻璃膜，根據各所述二次玻璃膜的寬度方向位置及寬度方向尺寸，分別調整所述帶的位置及所述雷射照射部的位置。
5. 如請求項3或請求項4所述的玻璃膜的製造方法，其中根據各所述二次玻璃膜的寬度方向中央位置，來調整所述帶的位置。
6. 如請求項3或請求項4所述的玻璃膜的製造方法，其中根據各所述二次玻璃膜的寬度方向兩端位置，來調整所述帶的位置。
7. 如請求項3或請求項4所述的玻璃膜的製造方法，其中用於在寬度方向上相鄰的任意一組所述二次玻璃膜之間形成寬度方向間隙的間隙形成部，設置於較所述下游側輸送機更靠所述一次玻璃膜的搬運方向下游側。
8. 如請求項7所述的玻璃膜的製造方法，其中所述間隙形成部以各所述二次玻璃膜向朝上方凸出的方向彎曲變形的方式，具有與所述二次玻璃膜相同數目的寬度方向中央成為最大徑的桶狀的支持輥。
9. 如請求項1至請求項4中任一項所述的玻璃膜的製造方法，其中所述多個下游側帶式輸送機的至少一部分，構成為能夠將所述二次玻璃膜向所述帶吸附。
10. 如請求項1至請求項4中任一項所述的玻璃膜的製造方法，其中所述上游側輸送機包括能夠藉由帶將所述一次玻璃膜予以接觸支持的多個上游側帶式輸送機，且所述多個上游側帶式輸送機中的位於所述一次玻璃膜的寬度方向中央的上游側帶式輸送機，構成為能夠將所述一次玻璃膜向所述帶吸附。
11. 一種玻璃卷的製造方法，利用位於較所述下游側輸送機更靠所述搬運方向下游側的捲繞裝置，將利用如請求項1至請求項4中任一項所述的玻璃膜的製造方法而獲得的二次玻璃膜捲繞成卷狀，而獲得玻璃卷。
12. 一種玻璃膜的製造裝置，用於將帶狀的一次玻璃膜一面於規定的方向搬運一面進行切斷，藉此獲得一片或多片二次玻璃膜，所述玻璃膜的製造裝置的特徵在於包括：搬運裝置，能夠將所述一次玻璃膜於規定的方向進行搬運；以及雷射切斷裝置，能夠對由所述搬運裝置搬運的所述一次玻璃膜照射雷射，而於規定的切斷區進行切斷，所述搬運裝置包括：上游側輸送機，相對而言位於所述一次玻璃膜的搬運方向上游側；以及下游側輸送機，相對而言位於所述一次玻璃膜的搬運方向下游側，能夠搬運所述二次玻璃膜，所述下游側輸送機包括能夠藉由帶將所述二次玻璃膜予以接觸支持的多個下游側帶式輸送機，且 各所述下游側帶式輸送機的所述帶的位置，構成為能夠於所述一次玻璃膜的寬度方向上予以調整。