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TWI842013B - 散熱裝置及其製造方法 - Google Patents

散熱裝置及其製造方法 Download PDF

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Abstract

一種散熱裝置包含一承載層、一基部毛細層及一毛細粉柱。承載層具有一熱交換面及一承載面。承載面背對熱交換面。基部毛細層具有相對的一第一面及一第二面。基部毛細層疊設於承載層，以令基部毛細層第一面接觸承載層之承載面。毛細粉柱凸出於基部毛細層之第二面。

Description

散熱裝置及其製造方法
本發明係關於一種散熱裝置及其製造方法，特別是一種具複合式毛細結構的散熱裝置及其製造方法。
均溫板的技術原理類似於熱管，但在傳導方式上有所區別。熱管為一維線性熱傳導，而真空腔均熱板中的熱量則是在一個二維的面上傳導，因此效率更高。具體來說，均溫板主要包括一腔體及一毛細結構。腔體內部具有一中空腔室，且中空腔室用以供一工作流體填注。毛細組織佈設在中空腔室內。腔體受熱部分稱為蒸發區。腔體散熱的部分稱為冷凝區。工作流體在蒸發區吸收熱量汽化並迅速擴張至整個腔體。在冷凝區放出熱量冷凝成液態。接著，液態工質通過毛細結構返回蒸發區，而形成一冷卻循環。
然而，在電子產品往輕、薄、短、小的前提下，均溫板傳統的毛細結構將難以符合所需的回水效率與熱傳導效率。
本發明在於提供一種散熱裝置及其製造方法，藉以解決在電子產品往輕、薄、短、小的前提下，均溫板傳統的毛細結構將難以符合所需的回水效率與熱傳導效率的問題。
本發明之一實施例所揭露之散熱裝置包含一承載層、一基部毛細層及一毛細粉柱。承載層具有一熱交換面及一承載面。承載面背對熱交換面。基部毛細層具有相對的一第一面及一第二面。基部毛細層疊設於承載層，以令基部毛細層第一面接觸承載層之承載面。毛細粉柱凸出於基部毛細層之第二面。
本發明之另一實施例所揭露之散熱裝置的製造方法包含下列步驟。將一基部毛細層燒結於一承載層。擠壓一金屬粉末而於基部毛細層形成至少一毛細粉柱。
本發明之另一實施例所揭露之一種散熱裝置包含一外殼及一複合式毛細結構。外殼包含一第一導熱殼及一第二導熱殼。第二導熱殼結合於第一導熱殼，以令第二導熱殼與第一導熱殼共同圍繞出一腔室。複合式毛細結構位於腔室。複合式毛細結構包含二基部毛細層及多個毛細粉柱。二基部毛細層各具有相對的一第一面及一第二面。二基部毛細層之第一面分別連接於第一導熱殼與第二導熱殼。這些毛細粉柱的相對兩端分別連接於二基部毛細層之二第二面。
根據上述實施例之散熱裝置，透過毛細粉柱與基部毛細層之複合式毛細結構，以提升散熱裝置的回水效率與散熱效果。
此外，由於毛細粉柱係透過沖壓而一體成形於基部毛細層，故可將一次性將多個毛細粉柱形成於基部毛細層，進而可省去傳統製程中個別擺放支撐柱的繁瑣程序。
以上關於本發明內容的說明及以下實施方式的說明係用以示範與解釋本發明的原理，並且提供本發明的專利申請範圍更進一步的解釋。
1、10:散熱裝置
2:外殼
21:第一導熱殼
22:第二導熱殼
23:接合劑
3:複合式毛細結構
51:下模具
52:上模具
53:沖頭
100:承載層
110:熱交換面
120:承載面
200:基部毛細層
210:第一面
220:第二面
300:毛細粉柱
300A:金屬粉末
310:下表面
320、320A:上表面
S:腔室
圖1為根據本發明第一實施例所述之散熱裝置的立體示意圖。
圖2至圖4為圖1之散熱裝置的製造流程示意圖。
圖5為根據本發明第二實施例所述之散熱裝置的剖面示意圖。
圖6為圖5之第一導熱殼、基部毛細層與毛細粉柱的立體示意圖。
請參閱圖1。圖1為根據本發明第一實施例所述之散熱裝置10的立體示意圖。
本實施例之散熱裝置10包含一承載層100、一基部毛細層200及一毛細粉柱300。承載層100例如為銀片、銅片、鋁片等金屬片。承載層100具有一熱交換面110及一承載面120。熱交換面110用以熱接觸或熱耦合於一熱源(未繪示)或一水冷排。即熱交換面110例如為熱交換面或冷凝面。承載面120背對熱交換面110。基部毛細層200例如為網狀毛細層，如銀網、銅網、鋁網等金屬網或是例如為粉狀毛細層，如金 屬粉末沖壓而成的粉狀毛細。其金屬網為編織毛細。基部毛細層200具有相對的一第一面210及一第二面220。基部毛細層200疊設於承載層100，以令基部毛細層200第一面210接觸承載層100之承載面120。毛細粉柱300例如由金屬粉末沖壓而成之銀粉柱、銅粉柱、鋁粉柱等金屬粉柱。金屬粉末例如為500目以上且直徑25微米以上的粉末顆粒。毛細粉柱300凸出於基部毛細層200之第二面220。透過毛細粉柱300與基部毛細層200毛細貫通而共同構成複合式毛細結構3，以提升散熱裝置10的回水效率與散熱效果。
在本實施例中，毛細粉柱300透過沖壓的方式擠壓於基部毛細層200，且由於基部毛細層200有孔隙與表面粗糙，故能夠提升毛細粉柱300與基部毛細層200的咬合力度。也就是說，毛細粉柱300透過沖壓的方式擠壓於表面粗糙的基部毛細層200能夠提升毛細粉柱300與基部毛細層200的結合強度。
在本實施例中，毛細粉柱300的數量以單個為例，但並不以此為限。在其他實施例中，毛細粉柱的數量亦可以為多個，並例如陣列式排列或直線式排列。
在本實施例中，基部毛細層200的目數例如但不限於大於等於60目以及小於等於500目，以除了顧及承載層100、基部毛細層200及毛細粉柱300的結合可靠度外，亦提升散熱裝置10的散熱效果。
在本實施例中，毛細粉柱300的直徑例如但不限於大於等於0.5毫米以及小於等於30毫米，以除了顧及承載層100、基部毛細層200及毛細粉柱300的結合可靠度外，亦提升散熱裝置10的散熱效果。
在本實施例中，毛細粉柱300的孔隙率例如但不限於大於等於0%以及小於等於50%，以除了顧及承載層100、基部毛細層200及毛細粉柱300的結合可靠度外，亦提升散熱裝置10的散熱效果。
請參閱圖2至圖4。圖2至圖4為圖1之散熱裝置10的製造流程示意圖。首先，如圖2所示，將一基部毛細層200燒結於一承載層100。接著，如圖3所示，將燒結後之基部毛細層200與承載層100置於下模具51，且將金屬粉末置於上模具52之孔洞，以讓金屬粉末300A之下表面310接觸基部毛細層200。接著，如圖4所示，透過沖頭53擠壓位於上模具52孔洞的金屬粉末300A之上表面320A而於基部毛細層200形成一毛細粉柱300，且毛細粉柱300的上表面320用以連接於另一殼件或毛細結構(未繪示)。
請參閱圖5與圖6。圖5為根據本發明第二實施例所述之散熱裝置1的剖面示意圖。圖6為圖5之第一導熱殼21、基部毛細層200與毛細粉柱300的立體示意圖。在本實施例中，散熱裝置1例如為均溫板，並包含一外殼2及一複合式毛細結構3。外殼2包含一第一導熱殼21及一第二導熱殼22。外殼2還可以包含一接合劑23。第一導熱殼21透過接合劑23結合於第二導熱殼22，以令第一導熱殼21與第二導熱殼22共同圍繞出一腔室S。第一導熱殼21與第二導熱殼22的材質例如為金、銀、銅、鋁等金屬。接合劑23例如為銅膏。複合式毛細結構3位於腔室S，並包含二基部毛細層200與多個毛細粉柱300。二基部毛細層200各具有相對的一第一面210及一第二面220。二基部毛細層200之該第一面210分別連接於該第一導熱殼 21與該第二導熱殼22。毛細粉柱300的相對兩端分別連接於二基部毛細層200之二第二面220。
在本實施例中，第一導熱殼21透過接合劑23結合於第二導熱殼22，但並不以此為限。在其他實施例中，散熱裝置亦可無包含接合劑，且第一導熱殼例如改透過壓合的方式與第二導熱殼相結合。
在本實施例中，複合式毛細結構3之多個毛細粉柱300係疊設於位於第一導熱殼21的基部毛細層200。即，第一導熱殼21可視為圖1實施例之承載層100。不過毛細粉柱300係疊設於位於第一導熱殼21的基部毛細層200，並非用以限制本發明。在其他實施例中，複合式毛細結構之多個毛細粉柱亦可改為係疊設於位於第二導熱殼的基部毛細層。即，第二導熱殼可視為圖1實施例之承載層100。
毛細粉柱300透過沖壓的方式成形，並支撐於二基部毛細層200之間。除了具備傳統支撐柱(金屬柱)的支撐作用外，更能夠貫通位於第一導熱殼21與第二導熱殼22之二基部毛細層200，以提升整體的熱傳導效率與回水效率。此外，傳統的製程繁瑣，舉例來說傳統支撐柱(金屬柱)需被個別擺放至定位，再進行焊接，但本實施例之複合式毛細結構3的製程簡單，舉例來說，毛細粉柱300可一次性地透過沖壓而一體成形於基部毛細層200，進而省去個別擺放支撐柱的繁瑣程序。也就是說，毛細粉柱300通過模具常溫擠壓成形在基部毛細層200上，係利用銅粉的可塑性一次衝壓出所有的毛細粉柱300，無需像傳統需透過人工一個一個擺柱子，進而提升製造效率以及降低人力成本。
根據上述實施例之散熱裝置，透過毛細粉柱與基部毛細層之複合式毛細結構，以提升散熱裝置的回水效率與散熱效果。
此外，由於毛細粉柱係透過沖壓而一體成形於基部毛細層，故可將一次性將多個毛細粉柱形成於基部毛細層，進而可省去傳統製程中個別擺放支撐柱的繁瑣程序。
雖然本發明以前述之諸項實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習相像技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之專利保護範圍須視本說明書所附之申請專利範圍所界定者為準。
3:複合式毛細結構
10:散熱裝置
100:承載層
110:熱交換面
120:承載面
200:基部毛細層
210:第一面
220:第二面
300:毛細粉柱

Claims (18)

  1. 一種散熱裝置，包含：一承載層，具有一熱交換面及一承載面，該承載面背對該熱交換面；一基部毛細層，該基部毛細層為金屬網，並具有相對的一第一面及一第二面，該基部毛細層疊設於該承載層，以令該基部毛細層該第一面接觸該承載層之該承載面；以及一毛細粉柱，凸出於金屬網形式之該基部毛細層之該第二面。
  2. 如請求項1所述之散熱裝置，其中該承載層為金屬片。
  3. 如請求項1所述之散熱裝置，其中該基部毛細層為銅網。
  4. 如請求項1所述之散熱裝置，其中該毛細粉柱為金屬粉柱。
  5. 如請求項1所述之散熱裝置，其中該基部毛細層的目數大於等於60目以及小於等於500目。
  6. 如請求項1所述之散熱裝置，其中該毛細粉柱的直徑大於等於0.5毫米以及小於等於30毫米。
  7. 如請求項1所述之散熱裝置，其中該毛細粉柱的孔隙率大於等於0%以及小於等於50%。
  8. 一種散熱裝置的製造方法，包含：將一基部毛細層燒結於一承載層，該基部毛細層為金屬網；以及擠壓一金屬粉末而於金屬網形式之該基部毛細層形成至少一毛細粉柱。
  9. 如請求項8所述之散熱裝置，其中該基部毛細層為銅網。
  10. 如請求項8所述之散熱裝置的製造方法，其中該基部毛細層的目數大於等於60目以及小於等於500目。
  11. 如請求項8所述之散熱裝置的製造方法，其中該毛細粉柱的直徑大於等於0.5毫米以及小於等於30毫米。
  12. 如請求項8所述之散熱裝置的製造方法，其中該毛細粉柱的孔隙率大於等於0%以及小於等於50%。
  13. 如請求項8所述之散熱裝置的製造方法，其中該金屬粉末為500目以上且直徑25微米以上的粉末顆粒。
  14. 一種散熱裝置，包含：一外殼，包含一第一導熱殼及一第二導熱殼，該第二導熱殼結合於該第一導熱殼，以令第二導熱殼與該第一導熱殼共同圍繞出一腔室；以及一複合式毛細結構，位於該腔室，該複合式毛細結構包含：二基部毛細層，該二基部毛細層為金屬網，並各具有相對的一第一面及一第二面，該二基部毛細層之該二第一面分別連接於該第一導熱殼與該第二導熱殼；以及多個毛細粉柱，該些毛細粉柱的相對兩端分別連接於金屬網形式之該二基部毛細層之該二第二面。
  15. 如請求項14所述之散熱裝置，其中該毛細粉柱為金屬粉柱。
  16. 如請求項14所述之散熱裝置，其中該基部毛細層的目數大於等於60目以及小於等於500目。
  17. 如請求項14所述之散熱裝置，其中該毛細粉柱的直徑大於等於0.5毫米以及小於等於30毫米。
  18. 如請求項14所述之散熱裝置，其中該毛細粉柱的孔隙率大於等於0%以及小於等於50%。
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN202077322U (zh) * 2011-04-18 2011-12-14 陈文进 超导元件结构
CN113532171A (zh) * 2020-04-22 2021-10-22 华为技术有限公司 一种均温板和电子设备
TWM622344U (zh) * 2021-01-20 2022-01-21 奕昌有限公司 散熱件

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3001115A1 (de) * 1980-01-14 1981-07-16 Gerätewerk Lahr GmbH, 7630 Lahr Selbstschmierendes gleitlager fuer eine welle, insbesondere eine plattentellerwelle eines plattenspielers
US20060243426A1 (en) * 2004-04-21 2006-11-02 Hul-Chun Hsu Wick Structure of Heat Pipe
US20090260785A1 (en) * 2008-04-17 2009-10-22 Wang Cheng-Tu Heat plate with capillary supporting structure and manufacturing method thereof
CN202329324U (zh) * 2011-10-26 2012-07-11 讯凯国际股份有限公司 薄型热管
TWI443294B (zh) * 2011-12-28 2014-07-01 Ind Tech Res Inst 取熱裝置
US20140345832A1 (en) * 2013-05-23 2014-11-27 Cooler Master Co., Ltd. Plate-type heat pipe
CN106996710B (zh) * 2016-01-25 2018-11-23 昆山巨仲电子有限公司 薄形均温板结构
US10820454B2 (en) * 2018-01-31 2020-10-27 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Vapor chamber heat spreaders with engineered vapor and liquid flow paths
CN110849188A (zh) * 2018-08-20 2020-02-28 讯凯国际股份有限公司 连通型传热装置及其制造方法
US20200064078A1 (en) * 2018-08-21 2020-02-27 The Regents Of The University Of Michigan Canopy Wick For Extreme Heat Transfer And Small Resistance
CN111863746B (zh) * 2019-04-25 2023-10-13 华为技术有限公司 一种散热装置、电路板及电子设备
CN110849190A (zh) * 2019-11-19 2020-02-28 浙江天毅半导体科技有限公司 铜铝复合散热器及其加工方法
WO2022059517A1 (ja) * 2020-09-18 2022-03-24 株式会社村田製作所 ベーパーチャンバー
CN214582689U (zh) * 2021-01-04 2021-11-02 亚浩电子五金塑胶（惠州）有限公司 均温板
CN113437034B (zh) * 2021-08-25 2022-02-22 中兴通讯股份有限公司 均温板及电子设备
CN217686786U (zh) * 2022-05-26 2022-10-28 讯强电子(惠州)有限公司 散热装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN202077322U (zh) * 2011-04-18 2011-12-14 陈文进 超导元件结构
CN113532171A (zh) * 2020-04-22 2021-10-22 华为技术有限公司 一种均温板和电子设备
TWM622344U (zh) * 2021-01-20 2022-01-21 奕昌有限公司 散熱件

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