TWI841791B - 紫外線照射裝置 - Google Patents

Abstract

本發明的課題係提供抑制了對人體造成影響之程度的小型的紫外線照射裝置。 解決手段的紫外線照射裝置，係具備於至少一面形成光取出面的燈室、收容於燈室內，發出屬於主要發光波長屬於190nm以上、225nm以下之第一波長帶的紫外線的準分子燈、以接觸準分子燈的發光管之外表面的方式配置的第一電極及第二電極、配置於光取出面，實質上透射第一波長帶的紫外線之外，實質上不透射波長240nm以上、300nm以下的紫外線的光學濾光片、及從準分子燈的發光管的管軸方向觀察，位於該發光管的外側，並且對於光取出面傾斜之面，且對於第一波長帶的紫外線顯示反射性的反射面。

Description

紫外線照射裝置

本發明係關於紫外線照射裝置。

先前，公知DNA係在波長260nm附近顯示最高的吸收特性。又，低壓水銀燈係於波長254nm附近顯示高發射光譜。因此，先前，廣泛利用照射來自低壓水銀燈的紫外線來進行殺菌的技術(例如參照專利文獻1)。

然而，波長254nm附近的光線照射至人體的話，有引起不良影響之虞。於後述專利文獻2，揭示利用醫療現場中使用波長207nm以上、220nm以下的紫外線，一邊迴避對人體的風險一邊進行殺菌處理的技術。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2011-048968號公報 [專利文獻2]日本專利第6025756號公報

[發明所欲解決之課題]

但是，前述專利文獻2係僅提到波長207nm以上、220nm以下的紫外線可利用於醫療現場的殺菌處理，並未設想關於非醫療現場中一般消費者萬用地進行殺菌處理一事。例如，一般消費者在家庭內，以對於廁所、廚房、浴室、鞋子中等，細菌比較容易繁殖的場所進行殺菌處理來說，附加可容易搬運程度的大小及重量、及對人體的影響被抑制為最小限度等條件。

但是，在現在時間點中，實際上並未提案滿足如上所述之條件的適合殺菌用途的紫外線照射裝置。

本發明係有鑑於前述的課題，目的為提供抑制了對人體造成影響之程度的小型的紫外線照射裝置。 [用以解決課題之手段]

關於本發明的紫外線照射裝置，其特徵為具備： 燈室，係於至少一面形成光取出面； 準分子燈，係於前述燈室內，收容於對於前述光取出面隔開於第一方向的位置，發出屬於主要發光波長屬於190nm以上、225nm以下之第一波長帶的紫外線； 第一電極，係以接觸前述準分子燈的發光管之外表面的方式配置； 第二電極，係以於對於前述第一電極隔開於與前述準分子燈之管軸平行的第二方向的位置中，接觸前述準分子燈的發光管之外表面的方式配置； 光學濾光片，係配置於前述光取出面，實質上透射前述第一波長帶的紫外線，實質上不透射波長240nm以上、300nm以下的紫外線；及 反射面，係從前述第二方向觀察，位於前述準分子燈的發光管的外側，並且對於前述光取出面傾斜之面，且對於前述第一波長帶的紫外線顯示反射性。

於本說明書中「主要發光波長」係指在發射光譜上規定對於某波長λ±10nm的波長區域Z(λ)之狀況中，對於發射光譜內的所有積分強度顯示40%以上的積分強度的波長區域Z(λi)之波長λi。例如像封入包含KrCl、KrBr、ArF的發光氣體的準分子燈等，半寬度非常狹窄，且僅於特定波長中顯示光強度的光源中，通常將相對強度最高的波長(主要峰值波長)，作為主要發光波長亦可。

於本說明書中，光學濾光片「實質上透射紫外線」係代表透射光學濾光片之紫外線的強度，對於射入至光學濾光片之紫外線的強度為60%以上。又，於本說明書中，「實質上不透射紫外線」係代表透射光學濾光片之紫外線的強度，對於射入至光學濾光片之紫外線的強度為未滿20%。

再者，光學濾光片作為實質上反射240nm以上300nm以下之紫外線者亦可。在此，於本說明書中，「實質上反射紫外線」係代表反射於光學濾光片之紫外線的強度，對於射入至光學濾光片之紫外線的強度為80%以上。

實際上，因應對於光學濾光片射入之紫外線的射入角，光學濾光片之紫外線的透射率及反射率會變化。在此，從準分子燈射出的紫外線雖然是具有一定發散角行進，但行進之所有光線中以對於光射出面為0°附近的角度行進之光線的強度最強，隨著發散角離開0°而強度降低。因此，對於射入角為20°以內射入至光學濾光片之紫外線的強度顯示60%以上之透射率的光學濾光片，係當成實質上透射前述紫外線者亦可。同樣地，對於射入角為20°以內射入至光學濾光片之紫外線的強度顯示未滿20%之透射率的光學濾光片，係當成實質上不透射前述紫外線者亦可。同樣地，對於射入角為20°以內射入至光學濾光片之紫外線的強度顯示90%以上之反射率的光學濾光片，係當成實質上反射前述紫外線者亦可。

前述紫外線照射裝置，係具備接觸準分子燈的發光管之外表面的第一電極與第二電極。該等電極係分別於隔開於準分子燈之管軸方向的位置中與準分子燈的發光管之外表面接觸。因此，準分子燈係可藉由簡單之直管型的構造來進行放電，故不需要採用作為先前的準分子燈所一般利用之同心圓狀地管體被雙重設置而在內側管與外側管之間密封發光氣體的構造，即所謂「雙重管構造」。

作為一例，前述紫外線照射裝置所具備之準分子燈的發光管的大小，係分別管軸方向(第二方向)的長度為15mm以上、200mm以下，外徑為2mm以上、16mm以下。

即使於發出主要發光波長屬於第一波長帶的紫外線的準分子燈中，雖然極小強度，但也可能射出有對人體造成影響之虞的波長帶(波長240nm以上、300nm以下)的紫外線。圖1係揭示發光氣體包含KrCl所成的準分子燈(主要峰值波長為222nm附近)的發射光譜之一例的圖式。

依據圖1，雖只有些許，但於240nm以上的波長帶中也確認到光輸出。再者，並不限定於作為發光氣體包含KrCl的準分子燈，作為發光氣體包含KrBr的準分子燈(主要峰值波長為207nm)、作為發光氣體包含ArF的準分子燈(主要峰值波長為193nm)等，於發出主要發光波長屬於第一波長帶的紫外線的其他準分子燈中，也同樣地可射出波長240nm以上、300nm以下的紫外線。

如上所述，本發明的紫外線照射裝置，係將實質上透射第一波長帶的紫外線，實質上不透射波長240nm以上、300nm以下的紫外線的光學濾光片配置於光取出面側。因此，關於包含於從準分子燈射出的紫外線之波長240nm以上、300nm以下的成分，於光學濾光片中實質上會被反射，故取出至紫外線照射裝置的外部之量會降低。亦即，利用設置該光學濾光片，(原本光輸出低之波長帶的成分)進而削減被取出至外部的光量，故可更抑制對於人體的影響。

然而，如上所述，因應對於光學濾光片射入之紫外線的射入角，光學濾光片之紫外線的透射率及反射率會變化。即使於設想從紫外線照射裝置取出一事的第一波長帶的紫外線中，對於光學濾光片的射入角變成極大的話，透射率會降低，反射率會增加。因此，關於包含於從準分子燈射出之第一波長帶的紫外線中，對於光學濾光片以比較大的射入角(例如30°以上)射入的紫外線，其一部分在光學濾光片被反射而回到準分子燈側。結果，相較於不取出至紫外線照射裝置的外部，不設置光學濾光片之狀況，光取出效率會降低一定程度。

又，反射光的一部分照射至燈室的框體(殼體)，有燈室劣化之虞。

相對於此，本發明的紫外線照射裝置係具備從前述第二方向，亦即準分子燈的發光管的管軸方向觀察，位於該發光管的外側，並且對於光取出面傾斜之顯示對於紫外線的反射性的反射面。從準分子燈射出的紫外線，係具有所定發散角朝向光學濾光片行進。在此，具有較大發散角而行進的紫外線，係射入至反射面的話，在反射面被反射而轉換行進方向。反射面係以對於光取出面傾斜之面構成，故在反射面反射之後，射入至光學濾光片時的射入角會減少。

結果，可獲得透射光學濾光片之紫外線的比例上升，從紫外線照射裝置取出之第一波長帶的紫外線的輸出增加，並且抑制燈室的劣化之程度的效果。

再者，「光學濾光片配置於光取出面」係除了光學濾光片對於光取出面完全一體化配置之狀況以外，包含光學濾光片配置在對於光取出面，於第一方向僅隔開微小的距離(例如數mm~十數mm)的位置之狀況。

具備構成前述第一電極的第一電極塊，與構成前述第二電極的第二電極塊； 前述第一電極塊及前述第二電極塊的至少一方，係於與前述第一方向及前述第二方向正交的第三方向從前述準分子燈隔開的位置中，具有構成前述反射面的錐面亦可。

亦即，構成前述反射面的前述錐面，作為前述第一電極塊或前述第二電極塊的一部分亦可。於該狀況中，前述第一電極塊及前述第二電極塊，係皆由對於第一波長帶的紫外線顯示反射性的材料(Al、Al合金、或不鏽鋼等)所成為佳。進而，前述第一電極塊及前述第二電極塊雙方具有前述錐面為佳。

依據相關構造，可利用雙方的電極塊反射從準分子燈具有較大發散角而行進之第一波長帶的紫外線，故可降低對於光學濾光片的射入角的光量會增加。藉此，可更提升光取出效率，並且提升抑制燈室的劣化之程度的效果。

前述紫外線照射裝置，係具有以隔開於前述第三方向之方式配置的複數前述準分子燈； 前述第一電極塊及前述第二電極塊，係以一邊接觸複數前述準分子燈之各別的發光管的外表面，一邊橫跨複數前述準分子燈之方式配置；前述錐面，係從前述第二方向觀察時，形成於被至少鄰接於前述第三方向的複數前述準分子燈挾持的位置亦可。

前述錐面的一部分，係在前述第一方向中，位於比前述準分子燈更靠前述光取出面側的位置亦可。依據相關構造，可使假設錐面不存在的話，應該以透射光學濾光片的比例(透射率)低的射入角，射入至光學濾光片的紫外線在錐面反射，可更提升能以透射光學濾光片的比例高的射入角射入至光學濾光片的光量。

前述錐面，係從前述第二方向觀察時，與前述第一方向所成的角度為10°以上、50°以下為佳，20°以上、40°以下更佳。 [發明的效果]

依據本發明，可實現抑制了對人體造成影響之程度的小型的紫外線照射裝置。

針對本發明的紫外線照射裝置的實施形態，適當參照圖面來進行說明。再者，以下的各圖式係模式圖示者，圖式上的尺寸比與實際的尺寸比不一定一致。又，於各圖式之間，尺寸比不一定一致。

圖2係模式揭示紫外線照射裝置之外觀的立體圖。圖3係從圖2分解紫外線照射裝置1的燈室2之本體殼體部2a與蓋子部2b的立體圖。

在以下的各圖中，參照將紫外線L1的取出方向設為X方向，將與X方向正交的平面設為YZ平面，參照X-Y-Z座標系進行說明。更詳細來說，如參照圖3之後的圖面所後述般，將準分子燈3的管軸方向設為Y方向，將與X方向及Y方向正交的方向設為Z方向。X方向對應「第一方向」，Y方向對應「第二方向」，Z方向對應「第三方向」。

又，在以下的說明中，在表現方向時區別正負的朝向時，如「+X方向」、「-X方向」般，附加正負的符號記載。又，在不區別正負的朝向來表現方向時，僅記載為「X方向」。亦即，於本說明書中，在僅記載為「X方向」時，包含「+X方向」與「-X方向」雙方。關於Y方向及Z方向也相同。

如圖2及圖3所示，紫外線照射裝置1係具備於一方之面形成光取出面10的燈室2。燈室2係具備本體殼體部2a與蓋子部2b，於本體殼體部2a內，收容準分子燈3與電極塊(11，12)。再者，在本實施形態中，舉出於燈室2內收容4根準分子燈3(3a，3b，3c，3d)之狀況為例進行說明(參照圖4)，但是，準分子燈3的數量即使1根亦可，2根、3根或5根以上亦可。電極塊(11，12)係構成用以對於各準分子燈3供電的電極。

在本實施形態中，如圖3所示，於構成蓋子部2b的光取出面10的區域，設置光學濾光片21。關於光學濾光片21的特性，於後敘述。

圖4及圖5係從圖3省略本體殼體部2a的圖示，僅圖示電極塊(11，12)及準分子燈3(3a，3b，3c，3d)的立體圖。圖4與圖5僅觀察角度不同。又，圖6係從圖5進而省略準分子燈3的圖示的立體圖。

如圖4及圖5所示，本實施形態的紫外線照射裝置1係具備隔開於Z方向配置的4根準分子燈3(3a，3b，3c，3d)。又，以接觸各準分子燈3的發光管之外表面的方式，配置2個電極塊(11，12)。以下，適當將電極塊11稱為「第一電極塊11」，將電極塊12稱為「第二電極塊12」。再者，第一電極塊11對應「第一電極」，第二電極塊12對應「第二電極」。

第一電極塊11與第二電極塊12係配置於隔開於Y方向的位置。如圖6所示，第一電極塊11係具有呈沿著準分子燈3的發光管之外表面的曲面的形狀且載置準分子燈3的載置區域11a，與形成於對於準分子燈3隔離於Z方向的位置，對於YZ平面傾斜的錐面11b。同樣地，關於第二電極塊12，也具有載置區域12a與錐面12b。

再者，第一電極塊11與第二電極塊12係由導電性材料所成，更理想為由顯示對於第一波長帶的紫外線L1之反射性的材料所成。作為一例，第一電極塊11與第二電極塊12都以Al、Al合金、不鏽鋼等構成。

圖7係模式揭示準分子燈3與電極塊(11，12)的位置關係的圖式，對應從+Z方向觀察準分子燈3時的模式俯視圖。再者，在圖7中，僅圖示4根準分子燈3(3a，3b，3c，3d)中，位於最靠-Z側的準分子燈3a，省略其他準分子燈(3b，3c，3d)的圖示，如上所述，關於準分子燈(3b，3c，3d)，並排於+Z方向。

準分子燈3係具有將Y方向設為管軸方向的發光管，於隔開於Y方向的位置中，準分子燈3的發光管之外表面接觸於各電極塊(11，12)。於準分子燈3的發光管，封入發光氣體3G。對各電極塊(11，12)之間施加例如10kHz~5MHz程度之高頻的交流電壓的話，則會透過準分子燈3的發光管，對於發光氣體3G施加前述電壓。此時，在封入發光氣體3G的放電空間內產生放電電漿，而激發發光氣體3G的原子，成為準分子狀態，該原子轉移至基底狀態時，會產生準分子發光。

發光氣體3G係由在準分子發光時，射出主要發光波長屬於190nm以上、225nm以下的第一波長帶的紫外線L1的材料所成。作為一例，作為發光氣體3G包含KrCl、KrBr、ArF等。再者，除了前述的氣體種之外，混合氬(Ar)、氖(Ne)等的惰性氣體亦可。

例如，在發光氣體3G包含KrCl時，從準分子燈3射出主要峰值波長為222nm附近的紫外線L1。在發光氣體3G包含KrBr時，從準分子燈3係射出主要峰值波長為207nm附近的紫外線L1。在發光氣體3G包含ArF時，從準分子燈3係射出主要峰值波長為193nm附近的紫外線L1。關於發光氣體3G包含KrCl之從準分子燈3射出之紫外線L1的光譜，如參照圖1所述般。

如圖1所示，於發光氣體3G包含KrCl時，於紫外線L1的光譜，光輸出幾乎集中於主要峰值波長即222nm附近，但是，關於被掛念對於人體的影響之240nm以上的波長帶，雖然只有微量也確認到光輸出。因此，於構成光取出面10的區域，以遮斷相關波長帶之光成分為目的，設置光學濾光片21。

圖8係揭示光學濾光片21的透射光譜之一例的圖表，針對各波長，測定對於光學濾光片21射入之光線的強度，與從光學濾光片21射出之光線的強度的比率者。再者，在圖8中，區別紫外線L1對於光學濾光片21射入時的射入角θ，揭示透射光譜。在此，射入角θ係如圖9所示，利用對於光學濾光片21之射入面的法線21N，與射入至光學濾光片21之射入面的紫外線L1的角度來界定。

具有圖8所示之特性的光學濾光片21係準分子燈3的發光氣體3G包含KrCl時，亦即，設想準分子燈3發出主要峰值波長222nm的紫外線L1之狀況所設計者。亦即，該光學濾光片21係如圖8所示，一邊實質上透射波長222nm附近，更詳細來說是218nm以上、226nm以下之波長帶的紫外線L1，一邊實質上不透射波長240nm以上、300nm以下的紫外線L1。光學濾光片21作為以一邊實質上透射從準分子燈3射出的紫外線L1中主要峰值波長附近之波長成分的的紫外線L1，一邊實質上不透射波長240nm以上300nm以下的紫外線L1之方式設計者亦可。

依據圖8所示的光學濾光片21，240nm以上的300nm以下的紫外線L1係於射入角θ為0°~40°的範圍內，顯示5%以下的透射率，即使射入角θ為50°之狀況中，也顯示10%以下的透射率。

如此，根據射入之紫外線L1的波長而顯示不同之透射率的光學濾光片21係利用折射率不同之複數介電體多層膜來實現。另一方面，在利用此種折射率不同之複數介電體多層膜，構成光學濾光片21時，因應對於光學濾光片21之紫外線L1的射入角θ，透射率會無法避免地產生變化。結果，如圖8所示，關於主要峰值波長(在此範例中為222nm)附近的成分，根據紫外線L1對於光學濾光片21的射入角θ，透射率也會降低。例如依據圖8，在射入角θ為40°以上時，對於222nm附近的紫外線L1的透射率會低於20%。

再者，紫外線L1中，未透射光學濾光片21之紫外線L1的一部分係在光學濾光片21被反射。圖10係揭示光學濾光片21的反射光譜之一例的圖表，針對各波長，測定對於光學濾光片21射入之光線的強度，與在光學濾光片21反射之光線的強度的比率者。但是，因為無法將發光部與受光部配置於相同光軸上，故於圖10的圖表中並未圖示射入角θ為0°時的資料。

依據圖10所示的光學濾光片21，240nm以上的300nm以下的紫外線L1係於射入角θ為10°以上、40°以下的範圍內，顯示95%以上的反射率，即使射入角θ為50°之狀況中，也顯示90%以上的反射率。

接著，針對電極塊(11，12)具有錐面(11b，12b)的效果，參照圖面進行說明。圖11係模式揭示代替第一電極塊11，具備並未形成錐面之第一電極塊111時，從準分子燈3射出，朝向光學濾光片21之紫外線L1的行進的樣子的圖式。在圖11中，代表性地圖示從各準分子燈3射出之紫外線L1中，從準分子燈3c射出的紫外線L1。

從各準分子燈3射出的紫外線L1，係具有所定發散角朝向光學濾光片21行進。因此，關於紫外線L1中對於光學濾光片21的射入角比較小的紫外線(L1b，L1c)，主要峰值波長附近的成分會實質上透射光學濾光片21。但是，關於對於光學濾光片21的射入角比較大的紫外線L1a，即使是主要峰值波長附近的成分，也有一定程度之比例的紫外線L1a在光學濾光片21反射。因此，會發生從各準分子燈3射出的紫外線L1中，欲取出之波長帶即主要峰值波長附近之成分的一部分，無法取出至外部的現象。

相對於此，如本實施形態般，利用第一電極塊11具備錐面11b，如圖12所示，具有比較大的發散角而 行進的紫外線L1a係在錐面11b被反射，導致變更行進方向。結果，紫外線L1a射入至光學濾光片21時的射入角變得比圖11的狀況小，透射光學濾光片21的光量會增加。結果，從各準分子燈3射出之主要峰值波長附近的紫外線L1可取出至紫外線照射裝置1的外部的光量提升。相反地，在光學濾光片21反射，行進於準分子燈3側之回光的光量減少，抑制燈室2的劣化的進行。

再者，在圖12中，舉出第一電極塊11為例進行說明，但是，根據相同的理由，關於第二電極塊12也利用具有錐面12b，提升可將主要峰值波長附近的紫外線L1取出至紫外線照射裝置1的外部的光量。亦即，錐面(11b，12b)對應「反射面」。

[實施例]

檢驗電極塊(11，12)之錐面(11b，12b)的錐角對於從紫外線照射裝置1取出之紫外線L1的照度之影響。

(共通條件)

準備4根於管軸方向(Y方向)的長度70mm、外徑

6mm的管體，作為發光氣體3G，封入Kr、Cl₂、Ar、及Ne的混合氣體的準分子燈3。然後，使該等4根準分子燈3，接觸於Y方向隔開7mm配置之Al製的電極塊(11，12)。再者，各準分子燈3彼此之Z方向的間隔距離設為14mm。

在前述條件下，將峰值約4kV、頻率70kHz 的交流電壓施加於電極塊(11，12)之間，使各準分子燈3產生介電體屏障放電，利用照度計測定從光取出面10於+X方向離開20mm之4根準分子燈3之中央的位置之照度。再者，於光取出面10，設置具有圖8所示之透射光譜的光學濾光片21。

電極塊(11，12)係準備使圖13所示之錐角

不同的複數種類者，使用各個電極塊(11，12)同樣地測定照度。再者，使錐角

不同時，利用調整錐面(11b，12b)對於準分子燈3之X方向的突出距離，將各準分子燈3之間的間隔距離設為一定的7mm。

再者，為了比較，也利用同樣的方法，測定代替電極塊(11，12)，配置錐角

為0°，亦即與圖11所示的第一電極塊111相同，未具備錐面(11b，12b)的電極塊時的照度。

並於表1及圖14揭示該結果。再者，在表1及圖14中，對應各錐角

，揭示對於使用未具備錐面(11b，12b)的電極塊時的照度的相對照度之值。又，錐角

係對於XY平面的錐面(11b，12b)的傾斜角度，在表1及圖14中，將逆時針傾斜時(正的錐角)與順時針傾斜時(負的錐角)設為相同值。

依據表1及圖14，可知於錐角

為70°以下之狀況中，無關於錐角

，使用具備錐面(11b，12b)的電極塊(11，12)相較於使用不具備錐面(11b，12b)的電極塊之狀況，更可實現高照度。

尤其，在錐角

為10°以上、50°以下時，相較於使用未具備錐面(11b，12b)的電極塊之狀況，實現3%以上的照度。進而，在錐角

為20°以上、40°以下時，相較於使用未具備錐面(11b，12b)的電極塊之狀況，實現10%以上的照度。

圖15係用以說明錐面11b的錐角

的大小所致之對紫外線L1的影響的模式圖式，將錐角

為20°以上、40°以下的錐面11b1、錐角

為50°以上的錐面11b2、錐角

為10°以下的錐面11b3，全部併記於相同圖式。

在錐面11b的錐角

為50°以上時(錐面11b2)，從準分子燈3射出的紫外線L1中，在錐面(11b，12b)反射，行進方向產生變化的紫外線L1限定於發散角度非常大者。亦即，不射入至錐面(11b，12b)而直線行進，直接射入至光學濾光片21的紫外線L1中，依然存在射入角θ比較大的成分的結果(紫外線L1a)，因為該紫外線L1a不透射光學濾光片21而無法取出，在錐面11b的錐角φ為50°以上時，相較於錐角φ未滿50°之狀況，照度無法充分提升。

依據圖15，第一電極塊11具有錐面11b1的話，紫外線L1a係在該錐面11b1被反射，行進方向產生變化，對於光學濾光片21以比較小的射入角θ射入。藉此，紫外線L1a係透射光學濾光片21被取出至外部。相對於此，第一電極塊11具有錐面11b2的話，紫外線L1a係不會射入至該錐面11b2，故直接直線行進的結果，對於光學濾光片21以比較大的射入角θ射入，如上所述，於光學濾光片21中被反射。

另一方面，錐面11b的錐角φ未滿10°時(錐面11b3)，假設即使不存在錐面11b3而直線行進，以透射光學濾光片21之程度的較小射入角，對於光學濾光片21射入的紫外線L1b也有射入至錐面11b3的可能性。依據圖15，第一電極塊11具有錐面11b1的話，紫外線L1b係不會射入至該錐面11b1而直線行進，直接對於光學濾光片21以比較小的射入角θ射入。相對於此，第一電極塊11具有錐面11b3的話，紫外線L1b係在該錐面11b3反射，行進方向產生變化。該紫外線L1b係對於光學濾光片21以比較小的射入角θ射入，故直接被取出至外部，但如上所述般，反射了原本不需要在錐面11b1反射的紫外線L1的結果，在錐面11b3一部分的紫外線L1被吸收，結果，相較於具備錐面11b1之狀況，光取出效率會降低。

[其他實施形態] 以下，針對其他實施形態進行說明。

＜1＞在前述實施形態中，已針對第一電極塊11係具有對於XY平面，逆時針傾斜的錐面11b，與順時針傾斜的錐面11b雙方之狀況進行說明(參照圖13)。但是，本發明並未排除第一電極塊11具有對於XY平面，僅逆時針或順時針的任一方傾斜的錐面11b之狀況。關於第二電極塊12也相同。

＜2＞於紫外線照射裝置1具備複數根準分子燈3的狀況中，2根以上的準分子燈3的X方向相關之配置位置變位亦可。

＜3＞在上述之實施形態中，已說明第一電極塊11與第二電極塊12係隔開於Y方向配置者。但是，第一電極塊11與第二電極塊12中間存在絕緣性構件地連結亦可。

＜4＞在前述實施形態中，已說明錐面(11b，12b)分別是電極塊(11，12)的一部分。但是，錐面(11b，12b)利用不同於電極塊(11，12)的構成材料之顯示對於屬於第一波長帶的紫外線L1之反射性的反射構件構成亦可。

<5>在前述實施形態中，已針對錐面(11b，12b)的一部分比準分子燈3更突出於+X方向之狀況進行說明。但是，錐面(11b，12b)的+X方向的端部位於比準分子燈3的+X側的端部更靠-X側的位置之狀況中，與不具有錐面(11b，12b)的電極塊進行比較的話，可提升光取出效率。

<6>在前述實施形態中，已針對構成反射面的錐面(11b，12b)是電極塊(11，12)的一部分之狀況進行說明。但是，如參照圖12所述般，反射面係只要可發揮使從各準分子燈3射出且具有比較大的發散角行進之紫外線L1a反射，縮小射入至光學濾光片21時的射入角的功能，不一定需要是電極塊(11，12)的一部分。

例如圖16A所示，具備不同於電極塊11之形體的反射構件30，該反射構件30的一部分之面構成反射面31亦可。圖16B係模式揭示反射構件30之一例的立體圖。反射構件30係於一部分具有開口32，於該開口32的-X側的位置，形成反射面31。利用在對於開口32對向於-X方向的位置配置準分子燈3，來自準分子燈3的紫外線L1可透過開口32被取出至外部。此時，關於發散角比較大的紫外線L1a，利用在反射構件30的反射面31反射，變更行進方向，與參照圖12所述相同地，射入至光學濾光片21時的射入角變小。

進而，於此狀況中，各電極不是區塊形狀亦 可。亦即，如圖17所示，於準分子燈3的發光管的外側面，藉由利用網版印刷等所形成之金屬膜，形成電極(11，12)亦可。再者，在圖17中，為了便利圖示，僅圖示電極11。再者，為了分別電性連接設置於各準分子燈(3a，3b，3c，3d)的發光管之外側面的電極11彼此、及電極12彼此，各電極11彼此、及各電極12彼此藉由導電構件61連結亦可。

1:紫外線照射裝置

2:燈室

2a:本體殼體部

2b:蓋子部

3:準分子燈

3a,3b,3c,3d:準分子燈

3G:發光氣體

10:光取出面

11:第一電極塊

11a:載置區域

11b:錐面

11b1:錐面

11b2:錐面

11b3:錐面

12:第二電極塊

12a:載置區域

12b:錐面

21:光學濾光片

30:反射構件

31:反射面

32:開口

61:導電構件

111:第一電極塊(無錐面的電極塊)

L1:紫外線

L1a:紫外線

L1b:紫外線

L1c:紫外線

[圖1]發光氣體包含KrCl的準分子燈的發射光譜之一例。 [圖2]模式揭示紫外線照射裝置之外觀的立體圖。 [圖3]從圖2分解紫外線照射裝置的燈室之本體殼體部與蓋子部的立體圖。 [圖4]模式揭示紫外線照射裝置所具備之電極塊與準分子燈的構造的立體圖。 [圖5]從圖4變更視點的立體圖。 [圖6]從圖5省略準分子燈的圖示，模式揭示電極塊的構造的立體圖。 [圖7]Z方向觀察準分子燈時的模式俯視圖。 [圖8]揭示光學濾光片的透射光譜之一例的圖表。 [圖9]用以說明對於光學濾光片之紫外線的射入角的模式圖式。 [圖10]揭示光學濾光片的反射光譜之一例的圖表。 [圖11]模式揭示紫外線照射裝置具備未形成錐面之第一電極塊時之紫外線的行進的樣子的圖式。 [圖12]模式揭示紫外線照射裝置具備形成錐面之第一電極塊時之紫外線的行進的樣子的圖式。 [圖13]用以說明錐角的模式圖式。 [圖14]揭示設置於電極塊之錐面的錐角φ，與從紫外線照射裝置取出之紫外線的照度之關係的圖表。 [圖15]用以說明錐面的錐角φ的大小所致之對紫外線的影響的模式圖式。 [圖16A]仿效圖12表示其他實施形態的紫外線照射裝置之模式構造的圖式。 [圖16B]模式揭示圖16A所示之紫外線照射裝置所具備之反射構件的構造的立體圖。 [圖17]仿效圖12表示其他實施形態的紫外線照射裝置之模式構造的圖式。

3a,3b,3c,3d:準分子燈

11:第一電極塊

11b:錐面

21:光學濾光片

L1a:紫外線

L1b:紫外線

L1c:紫外線

Claims (8)

1. 一種紫外線照射裝置，其特徵為具備：燈室，係於至少一面形成光取出面；準分子燈，係於前述燈室內，收容於對於前述光取出面隔開於第一方向的位置，發出屬於主要發光波長屬於190nm以上、225nm以下之第一波長帶的紫外線；第一電極，係以接觸前述準分子燈的發光管之外表面的方式配置；第二電極，係以於對於前述第一電極隔開於與前述準分子燈之管軸平行的第二方向的位置中，接觸前述準分子燈的發光管之外表面的方式配置；及反射面，係從前述第二方向觀察，位於前述準分子燈的發光管的外側，並且對於前述光取出面傾斜之面，且對於前述第一波長帶的紫外線顯示反射性；於前述光取出面配置光學濾光片；前述光學濾光片，係對於射入角為20°以內射入至前述光學濾光片之前述第一波長帶的紫外線的強度顯示60%以上之透射率，且對於射入角為20°以內射入至前述光學濾光片之波長240nm以上300nm以下的紫外線的強度顯示未滿20%之透射率。
2. 如請求項1所記載之紫外線照射裝置，其中，具備：第一電極塊，係構成前述第一電極；及第二電極塊，係構成前述第二電極； 前述第一電極塊及前述第二電極塊的至少一方，係於與前述第一方向及前述第二方向正交的第三方向從前述準分子燈隔開的位置中，具有構成前述反射面的錐面。
3. 如請求項2所記載之紫外線照射裝置，其中，具有以隔開於前述第三方向之方式配置的複數前述準分子燈；前述第一電極塊及前述第二電極塊，係以一邊接觸複數前述準分子燈之各別的發光管的外表面，一邊橫跨複數前述準分子燈之方式配置；前述錐面，係從前述第二方向觀察時，形成於被至少鄰接於前述第三方向的複數前述準分子燈挾持的位置。
4. 如請求項2或3所記載之紫外線照射裝置，其中，前述錐面的一部分，係在前述第一方向中，位於比前述準分子燈更靠前述光取出面側的位置。
5. 如請求項2或3所記載之紫外線照射裝置，其中，前述錐面，係從前述第二方向觀察時，與前述第一方向所成的角度為10°以上、50°以下。
6. 如請求項2或3所記載之紫外線照射裝置，其中，前述第一電極塊及前述第二電極塊雙方具有前述錐面。
7. 如請求項2或3所記載之紫外線照射裝置，其中，前述第一電極塊及前述第二電極塊，係由Al、Al合金、或不鏽鋼所成。
8. 如請求項1至3中任一項所記載之紫外線照射裝置，其中，前述準分子燈，係封入包含KrCl或KrBr的發光氣體。

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