TWI717700B

TWI717700B - 試驗用載具以及載具組裝裝置

Info

Publication number: TWI717700B
Application number: TW108107191A
Authority: TW
Inventors: 清川敏之; 大谷和也
Original assignee: 日商阿德潘鐵斯特股份有限公司
Priority date: 2018-05-11
Filing date: 2019-03-05
Publication date: 2021-02-01
Also published as: JP2021185386A; US20190346482A1; US20220011342A1; KR102146731B1; JP2021185388A; US11531043B2; TW201947241A; US20220011343A1; JP2021185387A; JP2023052972A; US11906548B2; JP7465854B2; JP7507908B2; US12372549B2; JP7281250B2; JP2019197012A; US12276676B2; JP7281518B2; US20220011340A1; JP7162711B2

Abstract

[課題] 提供使用具有機械地定位機構的處理器，而可試驗精細間距的被試驗元件的試驗用載具。 [解決手段] 試驗用載具1係包括保持被試驗元件90的載具本體10、以及覆蓋被試驗元件90的同時被固定於載具本體10的覆蓋構件60，載具本體10係具有設置以對應於被試驗元件90的接點91的複數個彈簧連接器21、電連接於此彈簧連接器21的複數個外部端子32、以及以面對於被試驗元件90的方式被設置而用以定位的第一貫通孔11，第一貫通孔11係，以從外部通過此第一貫通孔11而可看到被試驗元件90的一部份的方式，貫通載具本體10。

Description

試驗用載具以及載具組裝裝置

本發明係關於進行半導體積體電路元件等被試驗元件(以下，簡稱為「DUT」(Device Under Test))的試驗的時候，容納DUT的狀態下被搬送的試驗用載具，以及將此試驗用載具組裝的載具組裝裝置。

作為用於具有精細間距的端子的DUT的試驗元件搬送裝置(以下也簡稱為「處理器」)，使用圖像處理技術而相對於插座將DUT定位這件事為習知(例如參考專利文獻1)。 [先前技術文獻]

[專利文獻1] 國際公開第03/075023號

[發明所欲解決之問題]

在上述處理器中，為了圖像處理，將DUT以及插座等成像的複數個相機是必要的，且為了高精確度的定位，精密的移動機構也是必要的緣故，處理器本身是昂貴的。又，在上述處理器中，同時測量的數量（可以同時實行試驗的DUT的數量）被限制為幾個的程度的緣故，生產性不佳。因此，上述處理器用於精細間距的DUT的試驗的話，則有導致試驗流程的成本增加的問題。

本發明欲解決的問題係，提供使用具有機械地定位機構的處理器而可進行精細間距的DUT試驗的試驗用載具，以及將此試驗用載具組裝的載具組裝裝置。 [解決問題之技術手段]

[1]關於本發明之試驗用載具係為容納DUT的狀態下被搬送的試驗用載具，包括保持前述DUT的載具本體、以及覆蓋前述DUT的同時被固定於前述載具本體的覆蓋構件，前述載具本體係具有以對應於前述DUT的端子的方式被設置的複數個接觸腳、電連接於前述接觸腳的複數個外部端子、以及以面對於前述DUT的方式被設置用以定位的第一貫通孔，前述第一貫通孔係，以從外部通過前述第一貫通孔可看到前述DUT的一部份的方式，貫通前述載具本體。

[2]在上述的發明中，前述外部端子的間距係較前述接觸腳的間距更寬也可以。

[3]在上述的發明中，前述接觸腳係包括按壓前述DUT的端子的彈簧連接器。前述DUT係藉由前述彈簧連接器的按壓力，夾在前述彈簧連接器與前述覆蓋構件之間也可以。

[4]在上述的發明中，前述載具本體係包括保持前述接觸腳的保持板、以及重疊於前述保持板的載板，前述載板係具有前述外部端子、以面對於前述接觸腳的內部端子的方式被設置、以及將前述內部端子與前述外部端子連接的配線圖案也可以。

[5]在上述的發明中，前述試驗用載具係包括將可拆卸於前述載具本體的前述覆蓋構件固定的閂鎖機構也可以。

[6]在上述的發明中，前述試驗用載具係包括為了識別個體的識別碼也可以。

[7]在上述的發明中，前述覆蓋構件係具有以面對於前述DUT的方式被設置，貫通前述覆蓋構件的吸附用的第二貫通孔也可以。

[8]關於本發明之載具組裝裝置係為，將前述試驗用載具組裝之載具組裝裝置，包括通過前述第一貫通孔將前述DUT成像的成像部；藉由從前述成像部成像的圖像信息，而得到相對於前述第一貫通孔的前述DUT的特徵點的相對位置的圖像處理部；相對於前述載具本體而使前述DUT相對移動的驅動部；以及控制前述驅動部的控制部；前述控制部係基於前述特徵點的相對位置而控制前述驅動部。

[9]在上述的發明中，前述載具組裝裝置係包括讀取前述識別碼的讀取器、以及記錄對應於前述識別碼的個體固有信息的記錄部；前述個體固有信息係包括，相對於前述接觸腳的前述第一貫通孔的相對位置的誤差之對應補正值；前述控制部係，基於前述特徵點的相對位置以及前述個體固有信息，而控制前述驅動部也可以。

[10]在上述的發明中，前述載具組裝裝置係包括將前述覆蓋構件吸附保持的同時，通過前述第二貫通孔而將前述DUT吸附保持的吸附保持部；前述驅動部係，使前述吸附保持部移動也可以。 [發明之效果]

根據本發明，因為通過形成於載具本體的第一貫通孔，而可以從外部看到DUT的一部份，由於使用圖像處理技術而將DUT的端子相對於試驗用載具的接觸腳高精確度地定位，通過此試驗用載具藉由試驗裝置而可以試驗DUT，因此可以達到DUT試驗流程的低成本化。

以下，基於圖示以說明本發明實施例。

第1圖係為表示本發明實施例中為試驗對象的DUT之底視圖。

本實施例中的DUT 90係為切割半導體晶圓而形成的晶粒，使用試驗用載具1而進行此DUT 90的電性的試驗。

如第1圖所示般，此DUT 90係具有沿著此DUT 90的外緣排列的接點91、以及排列於此DUT 90中央的凸塊92。接點91係為DUT 90的試驗用的端子，以較寬的間距排列。相對於此，凸塊92係為用以安裝到此DUT 90的基板等的端子，較接點91的間距以更窄的間距排列。複數個凸塊92係排列成矩形。又，DUT 90的構成不特別限定於上述。在本實施例中，接點91相當於本發明中DUT端子的一個例子。

在本實施例中，切割半導體晶圓而形成DUT 90後，首先，使用載具組裝裝置100（參考第9圖）將DUT 90容納於試驗用載具1。然後，在DUT 90容納於試驗用載具1的狀態下，將此試驗用載具1搬送到試驗裝置（未圖示)。接著，通過此試驗用載具1將DUT 90與試驗裝置電連接，而實行DUT 90的試驗。然後，此試驗結束時，將試驗用載具1拆開並取出DUT 90。又，被取出DUT 90的試驗用載具1係可再次利用於其他DUT 90的試驗。

順帶一提，在被封裝的現有元件的試驗流程中，為了同時搬送多數的這些元件而使用測試托盤。在本實施例中，經由使試驗用載具1的外型與這種現有的元件的外形匹配，而也可以使用此現有元件用的測試托盤於試驗用載具1的搬送。

接著，關於本實施例中試驗用載具1的構成，參考第2圖至第7圖以說明。

第2圖以及第3圖係為表示本實施例中試驗用載具之立體圖，第4圖係為表示本實施例中試驗用載具之爆炸立體圖，第5圖係為表示本實施例中試驗用載具之剖面圖，第6圖係為表示本實施例中試驗用載具之爆炸剖面圖，第7圖係為表示本實施例中試驗用載具的彈簧連接器之剖面圖。

如第2圖至第6圖所示般，在本實施例中試驗用載具1係包括保持DUT 90的載具本體10、以及覆蓋此DUT 90的同時被固定於載具本體10的覆蓋構件60。在此試驗用載具1中，經由將DUT 90夾在載具本體10與覆蓋構件60之間，DUT 90容納於試驗用載具1的內部。

載具本體10係包括保持板20、重疊於保持板20下面的載板30、以及安裝於保持板20上面的筒狀體40。

保持板20係保持複數個彈簧連接器21。此彈簧連接器21係面對於DUT 90的接點91以間距P₁ （參考第4圖）排列。如第7圖所示般，每一個彈簧連接器21係包括柱塞22、固定部23、以及線圈彈簧24。

彈簧連接器21係分別插入保持板20的保持孔201。然後，經由柱塞22的凸緣221卡合於保持孔201的段差202，限制柱塞22的上限位置。在此上限位置中，柱塞22的前端從保持孔201上側的開口203突出。固定部23係包括位於保持孔201相反側的開口204的後端部231、以及從此後端部231向前端（上方）延伸的軸部232。此軸部232被插入線圈彈簧24，並且線圈彈簧24介於柱塞22的凸緣221與固定部23的後端部231之間。DUT 90容納於試驗用載具1後，柱塞22接觸DUT 90的接點91，藉由線圈彈簧24的彈力，柱塞21按壓接點91，使得DUT 90被彈簧連接器21保持。

又，在此保持板20中，形成貫通此保持板20的四個開口25。每一個開口25係面對位於DUT 90的下面、以矩形排列的複數個凸塊92中角落的凸塊92的方式被配置（以下，也簡稱為「凸塊92’」）（參考第1圖以及第11(a)圖至第11(c)圖）。在本實施例中，試驗用載具1的組裝時，利用此凸塊92’作為DUT 90相對於試驗用載具1的定位的特徵點。

載板30係重疊於保持板20的下面，並藉由螺紋緊固等固定於保持板20。如第4圖至第6圖所示般，此載板30係具有內部端子31、外部端子32、以及配線圖案33。

內部端子31係設置於載板30的上面。此內部端子31係，面對於被保持板20保持的彈簧連接器21的方式以間距P₁ 排列，並且此彈簧連接器21的固定部23接觸此內部端子31。

外部端子32係設置於載板30的下面，並且暴露於試驗用載具1的外部。此外部端子32係為在DUT 90的試驗時，被試驗裝置的插座的接觸針（未圖示）電連接的端子，並且以較內側端子31的間距P₁ 寬的間距P₂ （參考第3圖）排列（P₂ > P₁ ）。內側圖案31和外側圖案32係藉由配線圖案33連接。

又，如第3圖所示般，在此載板30中，形成貫通此載板30的四個開口34。每一個開口34係配置以與上述保持板20的開口25實質上一致。因此，藉由此開口25、34形成直線貫通載具本體10的第一貫通孔11。通過此第一貫通孔11可以從外部看到DUT 90的一部分（具體而言為凸塊92'）。

第8圖係為表示本實施例中的試驗用載具的變形例之剖面圖。又，如第8圖所示般，將透明封閉構件13插入第一貫通孔11而將此第一貫通孔11封閉也可以。作為構成此透明封閉構件13的材料的具體例子，例如可以舉出聚碳酸酯（PC）等透明樹脂以及玻璃等。經由用封閉構件13將第一貫通孔11封閉，試驗用載具1的內部空間被密封，而可以降低此內部空間的清潔度的等級。因此，需要高清潔度（5至6級/等級100至1000）處理環境的靠近裸晶的裝置或是裸晶本身，可以在低清潔度環境（7級/ 等級10000）中使用處理器而試驗。

回到第2圖至第6圖，筒狀體40係設置於保持板20的上面，並藉由螺紋緊固等固定於保持板20。此筒狀體40係為具有大於DUT 90的外形的內孔41之矩形筒狀，並且可以圍繞被保持板20保持的DUT 90的周圍。此筒狀體40的側面形成凹部42以對應於覆蓋構件60的閂鎖70（稍後描述）。因為閂鎖70卡合於此凹部42，覆蓋構件60可拆卸地固定到載具本體10。

又，此筒狀體40的側面貼上了二維條碼50。此二維條碼50係表示試驗用載具1的ID（Identification，標識），並用以識別此試驗用載具1的個體。在本實施例中，此二維條碼50係，如下所述般，藉由載具組裝裝置100而將DUT 90相對於試驗用載具1定位時，加上各個試驗用載具1中固有的誤差而被使用。又，表示試驗用載具1的ID的方式，可以識別試驗用載具1的個體的標識碼即可，不特別限定於二維條碼。

又，此二維條碼50的用途係不特別限定於上述。例如，二維條碼50與數據資料庫上的試驗用載具1的電阻抗值相關聯也可以。或者，二維條碼50與數據資料庫上的DUT 90本身、或是與此DUT 90的試驗結果相關聯也可以。因此，使用者可以對照使用於DUT 90試驗的試驗用載具1，並且可以確保DUT 90的良好可追蹤性(元件追蹤)。又，在特定試驗用載具1中頻繁發生有缺陷的DUT 90的情況下，可以掌握此試驗用載具1本身的缺陷。

覆蓋構件60係包括板狀的本體部61、從本體部61向下方凸狀突出的押出板62、以及從本體部61的兩端向下方突出的一對閂鎖70。

押出板62係接觸被保持板20保持的DUT 90的上面，而按壓此DUT 90。又，藉由押出板62按壓DUT 90的量係，因為載具本體10的筒狀體40抵接覆蓋構件60的本體部61而被限制，在這種狀態下，將彈簧連接器21對於DUT 90的接點91的按壓力以最適合的值的方式設定。

貫通本體部61以及押出板62的第二貫通孔63形成於本體部61的大約中央處。此第二貫通孔63係被使用於藉由載具組裝裝置100(稍後描述)的DUT 90的吸附保持。

閂鎖70係，在本體部61的兩端藉由軸71而可旋轉地被支持，並各自向下方延伸。每一個閂鎖70係，藉由未特別圖示出的彈簧而向內側靠。向內側突出的爪部72設置於每一個閂鎖70的前端。經由此爪部72與載具本體10的凹部42卡合，使覆蓋構件60固定於載具本體10。

接著，關於將上述說明的試驗用載具1組裝的載具組裝裝置100的構成，參考第9圖並說明。第9圖係為表示本實施例中的載具組裝裝置的構成之方塊圖。

如第9圖所示般，在本實施例中的載具組裝裝置100係包括第一吸附保持部110、第二吸附保持部120、減壓部130、驅動部140、相機150、圖像處理部160、讀取器170、控制部180、以及記錄部190。

第一吸附保持部110係連接於減壓部130，並可吸附保持載具本體10。第二吸附保持部120也連接於減壓部130，並可吸附保持覆蓋構件60。雖然沒有特別限定，作為第一吸附保持部110以及第二吸附保持部120的具體例，例如可以舉出吸附墊。又，作為減壓部130，例如可以舉出真空泵。

在本實施例中，在反轉狀態下載具本體10被保持於第一吸附保持部110的同時，覆蓋構件60也在反轉狀態下被保持於第二吸附保持部120。又，在本實施例中，DUT 90放置於覆蓋構件60上，並且此DUT 90係，通過覆蓋構件60的第二貫通孔63，藉由第二吸附保持部120而與覆蓋構件60一同被吸附保持。

在本實施例中，驅動部140連接於第二吸附保持部120。此第二吸附保持部120係，藉由驅動部140具有的致動器，可移動於XYZ方向上的同時可以Z軸作為中心的θ方向旋轉，並且對於第一吸附保持部110相對地可移動以及旋轉。又，第一吸附保持部110相對於第二吸附保持部120可移動也可以，或者第一吸附保持部110以及第二吸附保持部120兩者都可移動也可以。

相機150係，通過藉由第一吸附保持部110保持的載具本體10的第一貫通孔11，將DUT 90的一部分成像。具體而言，相機150係包括將載具本體11的第一貫通孔11、以及DUT 90具有的凸塊92中位於角落的凸塊92'的圖像成像（參考第11(a)圖至第11(c)圖）。藉由相機150得到的圖像信息被發送到圖像處理部160。

圖像處理部160係，經由對此圖像信息進行圖像處理，檢測第一貫通孔11的中心12的位置的同時，經由檢測凸塊92'的位置，而得到凸塊92’相對於第一貫通孔11的中心12的相對位置（參考第11(a)圖至第11(c)圖）。又，凸塊92'的相對位置的基準係為與第一貫通孔11相關的部位即可，不特別限定於此第一貫通孔11的中心12。

又，藉由用以定位DUT 90相對於試驗用載具1的圖像處理部160，而得到的DUT 90的特徵點係為DUT 90中的特徵的部分即可，不特別限定於上述凸塊92'。雖然沒有特別圖示，但是例如，將定位用的對準標記形成於DUT 90，將此對準標記作為DUT 90的特徵點而利用也可以。

讀取器170係為條碼讀取器，讀取藉由第一吸附保持部110保持的載具本體10的二維條碼50。藉由此讀取器170讀取的ID信息被發送到控制部180。控制部180係，從記錄部190將與此試驗用載具1的ID信息對應的補正值讀取出來。

在記錄部190中，預先記錄具有分別對應於試驗用載具1的ID的複數個補正值的補正值表。此補正值係，為相對於藉由加工而產生的彈簧連結器21的第一貫通孔11的相對位置的誤差對應的補正值，並且為各個試驗用載具1固有的值。具體而言，此補正值如以下的方式得到。即，首先，經由實際測量試驗用載具1，得到第一貫通孔11的中心12相對於彈簧連接器21的中心的實際相對位置（x₁ ，y₁ ）。接著，得到第一貫通孔11的中心12相對於彈簧連接器21的中心的設計相對位置（x₀ ，y₀ ）與實際相對位置（x₁ ，y₁ ）之間的差值（Δx，Δy）= （x₀ -x₁ ，y₀ -y₁ ），並將此差值（Δx，Δy）設定為上述補正值。補正值表係，經由此試驗用載具1的補正值相對於各個試驗用載具1的ID個別對應而構成。又，第一貫通孔11的中心12相對於彈簧連接器21的中心的設計相對位置（x₀ ，y₀ ）係，對應於凸塊92'的中心相對於DUT 90中的接點91的中心的相對位置（參考第1圖）。

此外，控制部180係，基於藉由圖像處理部160得到的凸塊92'的相對位置以及上述補正值，相對於載具本體10而定位DUT 90的方式控制驅動部140。圖像處理部160、控制部180以及記錄部190可藉由例如電腦而實現。

以下，使用此載具組裝粗裝置100而將DUT 90容納於試驗用載具1的過程，參考第10圖以及第11(a)圖至第11(c)圖以說明。

第10圖係為本實施例中試驗用載具的組裝的方法的流程圖，第11(a)圖係為表示對準前藉由相機通過第一貫通孔而將DUT的下面成像的圖，第11(b)圖係為表示對準中藉由相機通過第一貫通孔而將DUT的下面成像的圖，第11(c)圖係為表示對準後藉由相機通過第一貫通孔而將DUT的下面成像的圖。

首先，在第10圖的步驟S10中，將試驗用載具1的載具本體10反轉的狀態下吸附保持於第一吸附保持部110。同樣地，在第10圖的步驟S20中，將覆蓋構件60以及DUT 90反轉的狀態下吸附保持於第二吸附保持部120。

接著，在第10圖的步驟S30中，藉由驅動部140而將第二吸附保持部120沿著Z軸方向升高，以使DUT 90的接點91靠近載具本體10的彈簧連接器21。雖然沒有特別限定，但是例如在這種狀態下，接點91和彈簧連接器21之間的間隔約為0.05mm。

接著，在第10圖的步驟S40中，如第11(a)圖所示般，藉由相機150通過第一貫通孔11而將DUT 90的一部分成像，此圖像信息被發送到圖像處理部160。圖像處理部160係從此圖像信息得到凸塊92'的中心相對於第一貫通孔11的中心12的相對位置。圖像處理部160係將此凸塊92'的相對位置發送到控制部180。

接著，在第10圖中的步驟S50中，藉由讀取器170讀取附於載具本體10的二維條碼50，控制部180從記錄部190讀取與此ID信息對應的補正值。

接著，在第10圖的步驟S60中，控制部180係基於藉由圖像處理部160得到的凸塊92'的相對位置，而控制驅動部140。在本實施例中，控制部180係，使凸塊92'的中心與第一貫通孔11的中心12一致的方式，控制驅動部140。驅動部140係遵從來自控制部180的指令而使第二吸附保持部120在XY平面上移動，由此，DUT 90的凸塊92'的中心位於第一貫通孔11的中心12（參考第11(b)圖）。

又，在此步驟S60中，控制部180係基於從記錄部190讀取的補正值而控制驅動部140。驅動部140係遵從來自控制部180的指令而使第二吸附保持部120在XY平面上進一步移動，由此，第一貫通孔11的中心12與DUT 90的凸塊92'的中心只相距補正量（Δx，Δy）（參考第11(c)圖）。由此，因為加上了各個試驗用載具1具有的誤差，故接點91對於彈簧連接器21被高精確度地定位。

又，實際上，在此步驟S60中，同時執行基於凸塊92'的相對位置的驅動部140的控制、以及基於補正值的驅動部140的控制。又，在步驟S60中，控制部180基於多個凸塊92'的位置，而將第二吸附保持部120在θ方向上旋轉的方式控制驅動部140也可以。

接著，在第10圖的步驟S70中，藉由驅動部140而將第二吸附保持部120沿著Z軸方向進一步升高，而使載具本體10的筒狀體40抵接於覆蓋構件60的本體部61。由此，藉由彈簧連接器21以最適合的按壓力按壓DUT 90的接點91的同時，藉由彈簧連接器21和覆蓋構件60夾住DUT 90。又，藉由驅動部140使第二吸附保持部120被升高時，閂鎖70的爪部72卡合於筒狀體40的凹部42，而覆蓋構件60固定到載具本體10。

接著，在第10圖中的步驟S80中，藉由搬送手段（未圖示）將試驗用載具1保持的狀態下，解除第一吸附保持部110以及第二吸附保持部120的吸附，而完成DUT 90往試驗用載具1的容納作業。

如上所述，在本實施例中，因為可以通過載具本體10的第一貫通孔11從外部看到DUT 90的凸塊92'，藉由載具組裝裝置100而將DUT 90的接點91相對於試驗用載具1的彈簧連接器21高精確度地定位之後，通過此試驗用載具1藉由試驗裝置而可以試驗DUT 90。因此，在此DUT 90的試驗過程中，因為可以使用具有機械地定位機構的現有平價處理器的同時，也可以顯著增加同時測量數，而可以達到降低精細間距的DUT 90的試驗流程的成本。

又，在本實施例中，因為基於DUT 90的凸塊92'相對於載具本體10的第一貫通孔11的相對位置，將DUT 90的接點91相對於載具本體10的彈簧連接器21定位，所以不需要成像彈簧連接器21的相機，也可以達到載具組裝裝置100的低成本化。

此外，在本實施例中，試驗用載具具有表示ID的二維條碼50，並且載具組裝裝置100基於此ID信息，加上各個試驗用載具1固有的誤差，將DUT 90的接點91相對於載具本體10的彈簧連接器21定位。因此，可以將DUT 90相對於試驗用載具1高精確度地定位。

又，以上說明的實施例係為了便於理解本發明而記載，並非用於限定本發明而記載。因此，在上述的實施例中公開的各要素係，旨在包括屬於本發明的技術範圍內的所有設計變化以及均等物。

例如，在上述實施例中，雖然舉出晶粒作為DUT 90的具體例，但是本發明不特別限定於此。例如，為試驗對象的DUT 90是封裝元件也可以。

1:試驗用載具

10:載具本體

11:第一貫通孔

12:中心

13:封閉構件

20:保持板

201:保持孔

202:段差

203、204:開口

21:彈簧連接器

22:柱塞

221:凸緣

23:固定部

231:後端部

232:軸部

24:線圈彈簧

25:開口

30:載板

31:內部端子

32:外部端子

33:配線圖案

34:開口

40:筒狀體

41:內孔

42:凹部

50:二維條碼

60:覆蓋構件

61:本體部

62:押出板

63:第二貫通孔

70:閂鎖

71:軸

72:爪部

90:DUT/被試驗元件

91:接點

92、92':凸塊

100‧‧‧載具組裝裝置 110‧‧‧第一吸附保持部 120‧‧‧第二吸附保持部 130‧‧‧減壓部 140‧‧‧驅動部 150‧‧‧相機 160‧‧‧圖像處理部 170‧‧‧讀取器 180‧‧‧控制部 190‧‧‧記錄部 P₁、P₂‧‧‧間距 S10、S20、S30、S40、S50、S60、S70、S80‧‧‧步驟 x₀、y₀‧‧‧位置 Δx、Δy‧‧‧補正量

第1圖係為表示本發明實施例中為試驗對象的DUT之底視圖。第2圖係為表示本發明實施例中將試驗用載具從上方看之立體圖。第3圖係為表示本發明實施例中將試驗用載具從下方看之立體圖。第4圖係為表示本發明實施例中試驗用載具之爆炸立體圖。第5圖係為表示本發明實施例中試驗用載具沿著第2圖中V-V線之剖面圖。第6圖係為表示本發明實施例中試驗用載具之爆炸剖面圖。第7圖係為表示本發明實施例中試驗用載具的彈簧連接器之剖面圖，為第6圖的VII部的放大圖。第8圖係為表示本發明實施例中試驗用載具的變形例之剖面圖。第9圖係為表示本發明實施例中載具組裝裝置的構成之方塊圖。第10圖係為表示本發明實施例中試驗用載具的組裝方法之流程圖第11(a)圖係為表示將對準前的DUT成像的圖像之圖。第11(b)圖係為表示將對準中的DUT成像的圖像之圖。第11(c)圖係為表示將對準後的DUT成像的圖像之圖。

1‧‧‧試驗用載具

10‧‧‧載具本體

11‧‧‧第一貫通孔

20‧‧‧保持板

21‧‧‧彈簧連接器

25‧‧‧開口

30‧‧‧載板

31‧‧‧內部端子

32‧‧‧外部端子

33‧‧‧配線圖案

34‧‧‧開口

40‧‧‧筒狀體

41‧‧‧內孔

42‧‧‧凹部

60‧‧‧覆蓋構件

61‧‧‧本體部

62‧‧‧押出板

63‧‧‧第二貫通孔

70‧‧‧閂鎖

71‧‧‧軸

72‧‧‧爪部

90‧‧‧DUT/被試驗元件

91‧‧‧接點

92‧‧‧凸塊

Claims

一種試驗用載具，係為容納被試驗元件的狀態下被搬送的試驗用載具，包括：載具本體，保持前述被試驗元件；以及覆蓋構件，覆蓋前述被試驗元件的同時被固定於前述載具本體；前述載具本體係具有：複數個接觸腳，以對應於前述被試驗元件的端子的方式被設置；複數個外部端子，電連接於前述接觸腳；以及第一貫通孔，以面對於前述被試驗元件的方式被設置而用以定位；其中前述第一貫通孔係，以從外部通過前述第一貫通孔可看到前述被試驗元件一部份的方式，貫通前述載具本體。
如申請專利範圍第1項所述之試驗用載具，其中前述外部端子的間距係較前述接觸腳的間距更寬。
如申請專利範圍第1項所述之試驗用載具，其中前述接觸腳係包括按壓前述被試驗元件的端子的彈簧連接器，前述被試驗元件係藉由前述彈簧連接器的按壓力，夾在前述彈簧連接器與前述覆蓋構件之間。
如申請專利範圍第1項所述之試驗用載具，其中前述載具本體係包括：保持板，保持前述接觸腳；以及載板，重疊於前述保持板；前述載板係具有：前述外部端子；內部端子，以面對於前述接觸腳的方式被設置；以及配線圖案，將前述內部端子與前述外部端子連接。
如申請專利範圍第1項所述之試驗用載具，其中前述試驗用載具係包括將可拆卸於前述載具本體的前述覆蓋構件固定的閂鎖機構。
如申請專利範圍第1項所述之試驗用載具，其中前述試驗用載具係包括用以識別個體的識別碼。
如申請專利範圍第6項所述之試驗用載具，其中前述覆蓋構件係具有以面對於前述被試驗元件的方式被設置、貫通前述覆蓋構件的吸附用的第二貫通孔。
一種載具組裝裝置，係為將如申請專利範圍第1-7項之任一項所述的試驗用載具組裝之載具組裝裝置，包括：成像部，通過前述第一貫通孔將前述被試驗的元件成像；圖像處理部，藉由從前述成像部成像的圖像信息，而得到相對於前述第一貫通孔的前述被試驗的元件的特徵點的相對位置；驅動部，相對於前述載具本體而使前述被試驗元件相對移動；以及控制部，控制前述驅動部；其中前述控制部係基於前述特徵點的相對位置而控制前述驅動部。
如申請專利範圍第8項所述之載具組裝裝置，其中前述載具組裝裝置係包括：讀取器，讀取前述識別碼；以及記錄部，記錄對應於前述識別碼的個體固有信息；前述個體固有信息係包括，相對於前述接觸腳的前述第一貫通孔的相對位置的誤差之對應補正值；前述控制部係，基於前述特徵點的相對位置以及前述個體固有信息而控制前述驅動部。
如申請專利範圍第8項所述之載具組裝裝置，其中前述載具組裝裝置係包括將前述覆蓋構件吸附保持的同時，通過前述第二貫通孔而將前述被試驗元件吸附保持的吸附保持部；前述驅動部係，使前述吸附保持部移動。