TWI717553B

TWI717553B - 移載機

Info

Publication number: TWI717553B
Application number: TW106132752A
Authority: TW
Inventors: 茶谷秀次; 坂田博史; 末廣尚也
Original assignee: 日商大福股份有限公司
Priority date: 2016-12-07
Filing date: 2017-09-25
Publication date: 2021-02-01
Also published as: JP6607175B2; CN108172540B; KR20180065876A; TW201821348A; CN108172540A; KR102356962B1; JP2018093123A

Abstract

一種移載機10，包括：行走部20，沿著設於天花板90側的軌道91行走；以及升降部30，設於行走部20，升降自如地支持匣盒80，升降部30包括：升降部本體31；以及升降籠34，相對於升降部本體31而升降自如且支持匣盒80，匣盒80具備與升降籠34卡合的多個凸緣部81，凸緣部81的與升降籠34的卡合部分朝向匣盒80的內側而形成，升降籠34具備與凸緣部81卡合的卡合部36，卡合部36是對應於多個凸緣部81的每一個而設，並且從升降籠34的中心側朝向凸緣部81而相對於升降籠34可回轉地構成。

Description

移載機

本發明是有關於一種移載機，其具備：行走部，沿著設於天花板側的軌道（rail）行走；以及升降部，設於所述行走部，升降自如地支持被搬送物。

作為以往的移載機，已知有如下所述者，其在設於天花板側的軌道上，設置於該軌道上行走的行走台車（行走部），從行走台車經由升降裝置（升降部）來保持懸吊被搬送物。此種移載機中的升降裝置中，設有升降部本體、及相對於升降部本體升降自如且用於支持被搬送物的升降籠（cage）。在所述升降籠中，設有支持被搬送物的卡合部。升降籠藉由使卡合部動作來進行被搬送物的抓持或抓持的解除。例如，在專利文獻1所示的移載機中，支持被搬送物的一對卡盤（chuck）部（卡合部）從被搬送物的上方下降並藉由從水平方向閉合被搬送物的凸緣部而藉此抓持被搬送物。 [現有技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：日本專利特開2016-163001號公報

[發明所欲解決之課題] 然而，所述移載機中，由於是使卡合部從被搬送物的外側向內側移動來支持被搬送物，因此卡合部的可動區域較之被搬送物的設有凸緣部的位置為外側。因此，必須使卡合部較之被搬送物的設有凸緣部的位置移動至更外側，因而存在升降裝置（升降籠）大型化的問題。

因此，本發明的目的在於提供一種移載機，將卡合部的可動區域較之被搬送物的設有凸緣部的位置而設為內側，從而可實現升降裝置（升降籠）的小型化。 [解決課題之手段]

本發明所欲解決之課題如下，接下來說明用於解決該課題的手段。

即，本發明的移載機包括：行走部，沿著設於天花板側的軌道行走；以及升降部，設於所述行走部，升降自如地支持被搬送物，其中，所述升降部包括：升降部本體；以及升降籠，相對於所述升降部本體而升降自如且支持被搬送物，所述被搬送物具備與所述升降籠卡合的多個凸緣部，所述凸緣部的與所述升降籠的卡合部分是朝向所述被搬送物的內側而形成，所述升降籠具備與所述凸緣部卡合的卡合部，所述卡合部是對應於所述多個凸緣部的每一個而設，並且從所述升降籠的中心側朝向所述凸緣部，相對於所述升降籠可回轉地構成。所述結構中，卡合部從升降籠的中心側朝向凸緣部，相對於升降籠而回轉，藉此，與被搬送物的朝向內側形成的凸緣部卡合。

本發明的移載機是在所述移載機中，所述卡合部具有載置所述凸緣部的載置面，所述載置面從所述升降籠的中心側朝向所述凸緣部可回轉地構成。所述結構中，卡合部的載置面從升降籠的中心側朝向凸緣部而相對於升降籠而回轉，藉此，與被搬送物的朝向內側形成的凸緣部卡合。

本發明的移載機是在所述移載機中，包括使所述卡合部回轉的回轉機構，所述回轉機構是使多個所述卡合部中的至少一對卡合部連結而回轉。所述結構中，藉由使多個卡合部中的至少一對卡合部連結而回轉，從而使一對結合部同步地與凸緣部卡合。

本發明的移載機是在所述移載機中，所述卡合部包括定位構件，其進行所述被搬送物相對於所述升降籠的定位，且所述定位構件包括：X軸方向限制部，限制所述被搬送物的朝向相對於所述被搬送物的鉛垂軸方向正交的X軸方向的移動；以及Y軸方向限制部，限制所述被搬送物的朝向相對於所述被搬送物的鉛垂軸方向及所述X軸方向正交的Y軸方向的移動，所述X軸方向限制部及所述Y軸方向限制部從所述卡合部的回轉方向抵接於所述凸緣部，藉此，限制所述被搬送物朝向X軸方向及Y軸方向的移動。所述結構中，當卡合部與凸緣部卡合時，定位構件從卡合部的回轉方向抵接於凸緣部，藉此，限制被搬送物朝向X軸方向及Y軸方向的移動。

本發明的移載機是在所述移載機中，所述定位構件是將所述X軸方向限制部與所述Y軸方向限制部在所述載置面上配置成直角而形成為俯視L字狀。所述結構中，當卡合部與凸緣部卡合時，俯視L字狀的定位構件從卡合部的回轉方向抵接於凸緣部，藉此，限制被搬送物朝向X軸方向及Y軸方向的移動。 [發明的效果]

根據本發明的移載機，藉由使卡合部從升降籠的中心側朝向凸緣部回轉，從而卡合部與凸緣部卡合，因此，卡合部的可動區域較之被搬送物中設有凸緣部的位置為內側，從而可在被搬送物的內側進行卡合部與凸緣部的卡合。因此，可使升降裝置（升降籠）小型化。

對本發明的移載機10進行說明。另外，以下，將移載機10的車體行走方向（移載機10的長邊方向）設為前後方向，將相對於移載機10的車體行走方向而在水平方向上正交的方向（移載機10的寬度方向）設為左右方向，將相對於移載機10的車體行走方向而在鉛垂方向上正交的方向（移載機10的高度方向）設為上下方向來進行說明。

如圖1及圖2所示，移載機10例如是設在半導體基板的製造工場內，在沿著設於該製造工場內的行走軌道而行走的天花板搬送車（未圖示）、與對半導體基板進行規定處理的處理裝置（未圖示）之間，移載收納有半導體基板的匣盒（cassette）80（「被搬送部」的一例）。

移載機10是沿著設於天花板90的軌道91而行走。軌道91是以從天花板90側藉由懸吊螺栓（bolt）92等而懸吊的狀態受到支持，在移載機10從所述天花板搬送車收取匣盒80的收取位置、與移載機10使匣盒80升降而移載至所述處理裝置的升降位置之間，呈直線狀地延伸設置。在軌道91上，設有用於對移載機10供給電力的供電線（未圖示）。

移載機10主要包含沿著軌道91行走的行走部20、及升降自如地支持匣盒80的升降部30。行走部20以一體地旋轉的方式具備用於在軌道91上行走的左右兩側的行走車輪21，該左右兩側的行走車輪21是在前後設有一對。行走部20具備對前後其中一側的行走車輪21進行驅動的驅動馬達（未圖示），且以下述方式而構成，即，將前後其中一側的行走車輪21作為驅動輪，將前後另一側的行走車輪21作為從動輪，藉由所述驅動馬達的驅動來使前後其中一側的行走車輪21旋轉，從而沿著軌道91行走。

升降部30設於行走部20的下方，且主要包含升降部本體31與升降籠34。升降部本體31是升降部30的本體部分，以相對於行走部20而懸吊的狀態受到支持。升降部本體31藉由升降帶（belt）32以懸吊的狀態來支持升降籠34。升降帶32以一體地捲繞及放出的方式具備移載機10左右兩側（移載機10的寬度方向的兩側）的升降帶32，移載機10左右兩側的升降帶32在移載機10的前後（移載機10的長邊方向）設有一對。升降部本體31具備用於使升降籠34升降的升降馬達33，藉由升降馬達33的驅動來使升降帶32相對於升降部本體31而捲繞及放出，從而使升降籠34升降。

升降籠34是相對於升降部本體31而升降自如地設置，且支持匣盒80的部分。如圖1及圖3所示，升降籠34所支持的匣盒80是可在其內部收納半導體基板的箱體。匣盒80在其上表面設有與升降籠34卡合的凸緣部81。匣盒80是藉由凸緣部81與升降籠34卡合，從而以藉由升降籠34而懸吊的狀態受到支持。凸緣部81沿著匣盒80上表面的外緣設有多個（圖3中為4個）。具體而言，凸緣部81分別設於匣盒80上表面的四角附近。即，匣盒80在其上表面的四角4點處由升降籠34予以支持。凸緣部81的與升降籠34的卡合部分是朝向匣盒80的內側（中央側）而形成。具體而言，凸緣部81是以與其相向的凸緣部81中的與升降籠34的卡合部分對置的方式，而形成與升降籠34的卡合部分。如圖3所示，凸緣部81是由側視大致Z字狀的構件所形成。凸緣部81具有與升降籠34卡合的平面狀的卡合部分84。卡合部分84是在水平方向上朝向匣盒80的內側（中央側）突出地形成，在其下表面部分與升降籠34卡合。

如圖1及圖3所示，升降籠34主要包含升降籠本體35、卡合部36及回轉機構37。升降籠本體35是升降籠34的本體部分，相對於升降部本體31可升降地受到支持。升降籠本體35是由箱體所形成，在其內部具備支持構件38。如圖3所示，支持構件38是形成為四邊形的框體，支持卡合部36及回轉機構37。支持構件38在其下表面設有卡合部36，並且在其上表面設有回轉機構37。如圖1所示，升降籠本體35在其上表面具備對位部件70，其進行升降部本體31與升降籠34的對位。對位部件70是如下所述的對位機構，即，用於在升降籠34相對於升降部本體31上升而升降部本體31與升降籠34接近時，將升降籠34相對於升降部本體31而保持於規定位置。對位部件70包含：凸狀的突出部71，設於升降籠34側，且朝向上方突出；以及凹狀的容納部72，設於升降部本體31側，容納突出部71的凸狀部分。對位部件70是構成為，當升降籠34相對於升降部本體31上升而升降部本體31與升降籠34接近時，即使突出部71的凸狀部分位於稍許偏離容納部72的凹狀部分的位置，仍可將突出部71的凸狀部分引入容納部72的凹狀部分，藉由突出部71與容納部72卡合，使升降籠34相對於升降部本體31的位置對準。

如圖3所示，卡合部36是與凸緣部81卡合的部分，且分別設於升降籠本體35的支持構件38下表面的四角附近。即，升降籠34藉由4個卡合部36與匣盒80的4個凸緣部81分別卡合，從而支持匣盒80。卡合部36相對於升降籠本體35的支持構件38而回轉，藉此在與凸緣部81卡合的卡合狀態、與解除與凸緣部81的卡合的卡合解除狀態之間，切換與凸緣部81的卡合狀態。卡合部36是由側視大致Z字狀的構件所形成。卡合部36具有與凸緣部81卡合的平面狀的載置部分41。載置部分41是在水平方向上朝向匣盒80的外側（外緣側）突出地形成，藉由將其上表面部分作為載置面來載置凸緣部81的卡合部分84，從而與凸緣部81卡合。

卡合部36具備定位構件43，其進行匣盒80相對於升降籠34的定位。定位構件43是設於卡合部36的載置部分41的上表面。定位構件43限制：匣盒80的朝向相對於匣盒80的鉛垂軸方向而正交的X軸方向60（以下設為X軸方向60）的移動；以及匣盒80的朝向相對於匣盒80的鉛垂軸方向及X軸方向60而正交的Y軸方向61（以下設為Y軸方向61）的移動。此處，所謂X軸方向60，是在相對於匣盒80的高度方向（上下方向）而垂直的平面上規定一方向，所謂Y軸方向61，是在同平面上規定與X軸方向60正交的方向。具體而言，將俯視匣盒80時，將匣盒80的中心P與匣盒80四邊中的一邊的中點相連的直線的方向設為X軸方向60，將在匣盒80的中心與該直線正交的直線的方向設為Y軸方向61。另外，X軸方向60及Y軸方向61是包含正負兩方向的方向。定位構件43包含：X軸方向限制部44，限制匣盒80的朝向X軸方向60的移動；以及Y軸方向限制部45，限制匣盒80的朝向Y軸方向61的移動。 X軸方向限制部44是從卡合部36的載置部分41的上表面朝上方突出地設置的平面狀的擋塊構件，藉由從X軸方向60抵接於凸緣部81的卡合部分84的側面，從而限制匣盒80朝向X軸方向60的移動。 Y軸方向限制部45是從卡合部36的載置部分41的上表面朝上方突出地設置的平面狀的構件，藉由從Y軸方向61抵接於凸緣部81的卡合部分84的側面，從而限制匣盒80朝向Y軸方向61的移動。 X軸方向限制部44與Y軸方向限制部45是以成直角地相接成俯視L字狀的方式，而配置於卡合部36的載置部分41的上表面（載置面）。具體而言，X軸方向限制部44是以在俯視時其長邊方向成為Y軸方向61的方式而配置，Y軸方向限制部45是以其一端部成直角地與X軸方向限制部44相接的方式，且以在俯視時其長邊方向成為X軸方向60的方式而配置。如圖5A及圖5B所示，X軸方向限制部44及Y軸方向限制部45是設於卡合部36的載置部分41的上表面、且與卡合部36的回轉中心為相反側的對角位置。即，X軸方向限制部44及Y軸方向限制部45是較卡合部36的回轉中心設於外側、且可從卡合部36的回轉方向抵接於凸緣部81的位置。

如圖3及圖4所示，回轉機構37是使卡合部36相對於升降籠本體35的支持構件38而回轉的機構，設於支持構件38的上表面。回轉機構37是設於兩個（一對）卡合部36之間，且以將該兩個（一對）卡合部36予以連結的方式而構成。即，在升降籠34中，相對於4個卡合部36而設有兩個回轉機構37。回轉機構37藉由使沿著支持構件38的一端緣側而配置的兩個（一對）卡合部36經由彎曲成俯視大致へ字狀的臂（arm）46來連結而回轉，從而使兩個（一對）卡合部36同步地與匣盒80的凸緣部81卡合。藉此，無須對應於每個卡合部36來設置使卡合部36回轉的機構（無須相對於4個卡合部36來設置4個回轉機構），可削減回轉機構的零件個數，從而可簡化升降籠34的結構。

接下來，對升降籠34的卡合部36的回轉動作進行說明。如圖5A所示，升降籠34在支持（抓持）匣盒80時，使卡合部36的前端部分在朝向升降籠34的中心P側（中央側）的狀態下接近匣盒80。如圖5B所示，當升降籠34接近匣盒80時，藉由回轉機構37的驅動，卡合部36回轉。此處，卡合部36從升降籠34的中心P側（中央側）朝向匣盒80的凸緣部81而回轉。此處，連結於回轉機構37的一對卡合部36藉由回轉機構37的驅動而同步地回轉。此時，一對卡合部36使相向的卡合部36的載置部分41彼此從升降籠34的中心P側（中央側）朝向匣盒80的凸緣部81轉動，以成為呈對開式打開的狀態。藉由卡合部36朝向凸緣部81回轉，4個卡合部36分別與4個凸緣部81卡合，升降籠34支持（抓持）匣盒80。另一方面，當升降籠34解除匣盒80的支持（抓持）時，卡合部36從匣盒80的凸緣部81朝向升降籠34的中心P側（中央側）回轉。此處，連結於回轉機構37的一對卡合部36使朝向升降籠34（匣盒80）外側的卡合部36的載置部分41彼此從匣盒80的凸緣部81朝向升降籠34的中心P側（中央側）轉動，以成為呈對開式關閉的狀態。藉由卡合部36朝向升降籠34的中心P側（中央側）回轉，從而4個卡合部36分別解除與4個凸緣部81的卡合，升降籠34解除匣盒80的支持（抓持）。如此，升降籠34構成為，卡合部36的回轉區域較之匣盒80中設有凸緣部81的位置而成為內側（匣盒80的中心側）。而且，升降籠34在支持（抓持）匣盒80時，設為使卡合部36的載置部分41朝向升降籠34（匣盒80）外側的姿勢（對開式開狀態），在解除匣盒80的支持（抓持）時，設為使卡合部36的載置部分41朝向升降籠34（匣盒80）內側的姿勢（對開式閉狀態），藉由卡合部36的回轉來切換卡合部36的姿勢。

接下來說明藉由卡合部36的定位構件43所進行的、匣盒80相對於升降籠34的定位動作。如圖5A及圖5B所示，當卡合部36與凸緣部81卡合時，卡合部36從升降籠34的中心P側（中央側）朝向匣盒80的凸緣部81回轉。同樣，定位構件43從升降籠34的中心P側（中央側）朝向匣盒80的凸緣部81移動。然後，定位構件43從升降籠34的中心P側（中央側）抵接於凸緣部81的卡合部分84的側面。具體而言，定位構件43的X軸方向限制部44抵接於凸緣部81的卡合部分84的側面中的朝向X軸方向60的側面，定位構件43的Y軸方向限制部45抵接於凸緣部81的卡合部分84的側面中的朝向Y軸方向61的側面。即，定位構件43抵接於凸緣部81的卡合部分84中的、匣盒80的中心側（中央側）的角部側面。進而，定位構件43藉由卡合部36的回轉而在抵接於凸緣部81的狀態下移動，從而限制凸緣部81相對於升降籠34的在X軸方向60及Y軸方向61上的移動。此時，定位構件43同時限制凸緣部81在X軸方向60及Y軸方向61上的移動。如此，定位構件43藉由卡合部36的回轉，在抵接於凸緣部81的卡合部分84中的匣盒80中心側（中央側）的角部側面的狀態下移動，從而進行匣盒80相對於升降籠34的定位。

如上所述，移載機10中，藉由使卡合部36從升降籠34的中心側朝向凸緣部81回轉，從而卡合部36與凸緣部81卡合，因此，卡合部36的可動區域較之匣盒80中設有凸緣部81的位置而成為內側，從而可在匣盒80的內側進行卡合部36與凸緣部81的卡合。因此，可使升降部30（升降籠34）小型化。移載機10中，定位構件43可限制匣盒80的從匣盒80的內側朝向X軸方向60及Y軸方向61的移動，因此可藉由小型化的升降籠34來切實地將匣盒80保持於規定位置。

另外，本實施形態中，成為相對於4個卡合部36而具備兩個回轉機構37的結構，但並不限定於此，只要是4個卡合部36分別從升降籠34的中心P側（中央側）朝向匣盒80的凸緣部81而回轉的結構，則例如亦可為相對於4個卡合部36而具備1個回轉機構的結構，而且，還可為相對於4個卡合部36而分別具備回轉機構的結構。本實施形態中，使定位構件43由平面狀的擋塊構件所構成，但並不限定於此，只要是可限制匣盒80在X軸方向及Y軸方向上的移動的結構，則例如亦可使定位構件由圓型的擋塊構件所構成。而且，本實施形態中，將定位構件43對應於4個卡合部36的每一個而設，但並不限定於此，只要是可限制匣盒80在X軸方向及Y軸方向上的移動的結構，例如亦可將定位構件43僅設於位於匣盒80的對角處的一對卡合部36。

10‧‧‧移載機20‧‧‧行走部21‧‧‧行走車輪30‧‧‧升降部31‧‧‧升降部本體32‧‧‧升降帶33‧‧‧升降馬達34‧‧‧升降籠35‧‧‧升降籠本體36‧‧‧卡合部37‧‧‧回轉機構38‧‧‧支持構件41‧‧‧載置部分43‧‧‧定位構件44‧‧‧X軸方向限制部45‧‧‧Y軸方向限制部46‧‧‧臂60‧‧‧X軸方向61‧‧‧Y軸方向70‧‧‧對位部件71‧‧‧突出部72‧‧‧容納部80‧‧‧匣盒（被搬送物）81‧‧‧凸緣部84‧‧‧卡合部分90‧‧‧天花板91‧‧‧軌道92‧‧‧懸吊螺栓P‧‧‧匣盒80的中心/升降籠34的中心

圖1是本發明的移載機的側面圖。圖2是本發明的移載機的正面圖。圖3是本發明的移載機的升降籠的立體圖。圖4是本發明的移載機的升降籠的平面圖。圖5A是表示本發明的移載機的升降籠的卡合部的回轉狀態的平面概略圖，是表示卡合部解除與匣盒的凸緣部的卡合的狀態的圖。圖5B是表示本發明的移載機的升降籠的卡合部的回轉狀態的平面概略圖，是表示卡合部與匣盒的凸緣部卡合的狀態的圖。

34‧‧‧升降籠

35‧‧‧升降籠本體

36‧‧‧卡合部

37‧‧‧回轉機構

38‧‧‧支持構件

41‧‧‧載置部分

43‧‧‧定位構件

44‧‧‧X軸方向限制部

45‧‧‧Y軸方向限制部

46‧‧‧臂

80‧‧‧匣盒(被搬送物)

81‧‧‧凸緣部

84‧‧‧卡合部分

Claims

一種移載機，包括：行走部，沿著設於天花板側的軌道行走；以及升降部，設於所述行走部，升降自如地支持被搬送物，所述移載機的特徵在於，所述升降部包括：升降部本體；以及升降籠，相對於所述升降部本體而升降自如且支持被搬送物，所述被搬送物具備與所述升降籠卡合的多個凸緣部，所述凸緣部的與所述升降籠的卡合部分是朝向所述被搬送物的內側而形成，所述升降籠具備與所述凸緣部卡合的卡合部，所述卡合部是對應於所述多個凸緣部的每一個而設，並且從所述升降籠的中心側朝向所述凸緣部，相對於所述升降籠可回轉地構成。
如申請專利範圍第1項所述的移載機，其中所述卡合部具有載置所述凸緣部的載置面，所述載置面從所述升降籠的中心側朝向所述凸緣部可回轉地構成。
如申請專利範圍第1項或第2項所述的移載機，其包括使所述卡合部回轉的回轉機構，所述回轉機構是使多個所述卡合部中的至少一對卡合部連結而回轉。
如申請專利範圍第1項或第2項所述的移載機，其中所述卡合部包括定位構件，其進行所述被搬送物相對於所述升降籠的定位，所述定位構件包括：X軸方向限制部，限制所述被搬送物的朝向相對於所述被搬送物的鉛垂軸方向正交的X軸方向的移動；以及Y軸方向限制部，限制所述被搬送物的朝向相對於所述被搬送物的鉛垂軸方向及所述X軸方向而正交的Y軸方向的移動，所述X軸方向限制部及所述Y軸方向限制部從所述卡合部的回轉方向抵接於所述凸緣部，藉此，限制所述被搬送物朝向X軸方向及Y軸方向的移動。
如申請專利範圍第2項所述的移載機，其中所述卡合部包括定位構件，其進行所述被搬送物相對於所述升降籠的定位，所述定位構件包括：X軸方向限制部，限制所述被搬送物的朝向相對於所述被搬送物的鉛垂軸方向正交的X軸方向的移動；以及Y軸方向限制部，限制所述被搬送物的朝向相對於所述被搬送物的鉛垂軸方向及所述X軸方向而正交的Y軸方向的移動，將所述X軸方向限制部與所述Y軸方向限制部在所述載置面上配置成直角而形成為俯視L字狀，所述X軸方向限制部及所述Y軸方向限制部從所述卡合部的回轉方向抵接於所述凸緣部，藉此，限制所述被搬送物朝向X軸方向及Y軸方向的移動。