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TWI714201B - 觸媒回流高效率有機廢氣處理系統及其方法 - Google Patents

觸媒回流高效率有機廢氣處理系統及其方法 Download PDF

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TWI714201B
TWI714201B TW108128017A TW108128017A TWI714201B TW I714201 B TWI714201 B TW I714201B TW 108128017 A TW108128017 A TW 108128017A TW 108128017 A TW108128017 A TW 108128017A TW I714201 B TWI714201 B TW I714201B
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Taiwan
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pipeline
gas
adsorption
cooling
heater
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鄭石治
扶亞民
Original Assignee
華懋科技股份有限公司
大陸商上海華懋環保節能設備有限公司
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Abstract

本發明為一種觸媒回流高效率有機廢氣處理系統及其方法，主要係將由該吸附轉輪之脫附區所排出的脫附濃縮氣體透過該吸附反應床將含矽的化合物反應成為二氧化矽(SiO2)並吸附，再進入該觸媒床進行處理後，再將經過該觸媒床處理之氣體進行熱回收，以及將經過該觸媒床處理之氣體導回至該吸附轉輪之廢氣進氣管路，使經過該觸媒床處理之氣體進入該吸附轉輪之吸附區循環利用，而不經過該煙囪來進行排放，讓該煙囪的排放量降低，並使有機廢氣的處理效率提升。

Description

觸媒回流高效率有機廢氣處理系統及其方法
本發明係有關於一種觸媒回流高效率有機廢氣處理系統及其方法，尤指一種用來將經過該觸媒床處理之氣體進入該吸附轉輪之吸附區循環利用，而不經過該煙囪來進行排放，讓該煙囪的排放量降低，並使有機廢氣的處理效率提升，而適用於半導體產業、光電產業或化學相關產業的有機廢氣處理系統或類似設備。
按，目前在半導體產業或光電產業的製造生產過程中都會產生具有揮發性有機氣體(VOC)，因此，在各廠區都會安裝處理揮發性有機氣體(VOC)的處理設備，以避免揮發性有機氣體(VOC)直接排入空氣中而造成空氣污染。而目前經由該處理設備所脫附的濃縮氣體大都是輸送到該焚燒爐來進行燃燒，再將燃燒後的氣體來輸送到煙囪來進行排放。
但是近年來，不管是中央政府或是各地方政府都對空氣汙染非常重視，也因此在煙囪的排放標準上訂定了有關懸浮微粒(PM10)及細懸浮微粒(PM2.5)空氣品質標準，並依據其國內健康影響研究結果，以健康影響為優先考量，將「細懸浮微粒(PM2.5)」24小時值訂為35μg/m3、年平均值訂為15μg/m3。且環保署初步訂於民國109(2020)年達成全國細懸浮微粒濃度年平均值15μg/m3的目標，同時將依國際管制趨勢發展，逐期檢討其細懸浮微粒(PM2.5)空氣品質標準，並朝達成WHO提出之空氣品質準則 值(24小時值訂為25μg/m3、年平均值訂為10μg/m3)為空氣品質改善目標。
因此，本發明人有鑑於上述缺失，期提出一種具有提升有機廢氣處理效率的觸媒回流高效率有機廢氣處理系統及其方法，令使用者可輕易操作組裝，乃潛心研思、設計組製，以提供使用者便利性，為本發明人所欲研發之發明動機者。
本發明之主要目的，在於提供一種觸媒回流高效率有機廢氣處理系統及其方法，主要係將由該吸附轉輪之脫附區所排出的脫附濃縮氣體透過該吸附反應床將含矽的化合物反應成為二氧化矽(SiO2)並吸附，再進入該觸媒床進行處理後，再將經過該觸媒床處理之氣體進行熱回收，以及將經過該觸媒床處理之氣體導回至該吸附轉輪之廢氣進氣管路，使經過該觸媒床處理之氣體進入該吸附轉輪之吸附區循環利用，而不經過該煙囪來進行排放，讓該煙囪的排放量降低，並使有機廢氣的處理效率提升，進而增加整體之實用性。
本發明之另一目的，在於提供一種觸媒回流高效率有機廢氣處理系統及其方法，且透過該觸媒床處理之氣體先經由該第一熱交換器進行熱交換後再輸送到該第二熱交換器來進行熱交換，並經過一除塵設備或是一濾網裝置來進行粉塵的過濾，讓該觸媒床處理之氣體除了導回該吸附轉輪之廢氣進氣管路外，也用來提供給該第一熱交換器及該第二熱交換器進行熱交換，以具有節省能源之效能，進而增加整體之使用性。
本發明之再一目的，在於提供一種觸媒回流高效率有機廢氣處理系統及其方法，且透過該觸媒床處理之氣體先經由該冷卻器進行高溫 熱氣的降溫後再輸送到該第二熱交換器來進行熱交換，並經過一除塵設備或是一濾網裝置來進行粉塵的過濾，讓該觸媒床處理之氣體除了導回該吸附轉輪之廢氣進氣管路外，也用來提供給該第二熱交換器進行熱交換，以具有節省能源之效能，進而增加整體之便利性。
為了能夠更進一步瞭解本發明之特徵、特點和技術內容，請參閱以下有關本發明之詳細說明與附圖，惟所附圖式僅提供參考與說明用，非用以限制本發明。
10‧‧‧觸媒床
11‧‧‧進氣口
12‧‧‧出氣口
20‧‧‧吸附反應床
21‧‧‧吸附反應床輸送管路
30‧‧‧第一加熱器
31‧‧‧第一加熱氣輸送管路
40‧‧‧吸附轉輪
401‧‧‧吸附區
402‧‧‧冷卻區
403‧‧‧脫附區
41‧‧‧廢氣進氣管路
42‧‧‧淨氣排放管路
421‧‧‧風車
43‧‧‧冷卻氣進氣管路
431‧‧‧氣體旁通管路
44‧‧‧冷卻氣輸送管路
441‧‧‧冷卻氣控制閥門
45‧‧‧熱氣輸送管路
451‧‧‧熱氣控制閥門
46‧‧‧脫附濃縮氣體管路
461‧‧‧風車
47‧‧‧連通管路
471‧‧‧連通控制閥門
50‧‧‧第二加熱器
60‧‧‧第一熱交換器
601‧‧‧第一冷側管路
602‧‧‧第一熱側管路
61‧‧‧第一熱氣回收管路
62‧‧‧第一觸媒床熱氣回收管路
63‧‧‧第一脫附濃縮氣體輸送管路
70‧‧‧第二熱交換器
701‧‧‧第二冷側管路
702‧‧‧第二熱側管路
71‧‧‧第二脫附濃縮氣體輸送管路
72‧‧‧第二熱氣回收管路
721‧‧‧除塵設備
722‧‧‧濾網裝置
80‧‧‧冷卻器
801‧‧‧冷卻水管路
81‧‧‧冷卻熱氣回收管路
82‧‧‧觸媒床熱氣回收管路
90‧‧‧煙囪
S100‧‧‧吸附區吸附
S110‧‧‧冷卻區冷卻
S120‧‧‧脫附區脫附
S130‧‧‧脫附濃縮氣體輸送
S140‧‧‧吸附反應床吸附
S150‧‧‧觸媒床處理
S160‧‧‧觸媒床氣體輸送
S170‧‧‧觸媒床氣體回收輸送
S200‧‧‧吸附區吸附
S210‧‧‧冷卻區冷卻
S220‧‧‧脫附區脫附
S230‧‧‧脫附濃縮氣體輸送
S240‧‧‧吸附反應床吸附
S250‧‧‧觸媒床處理
S260‧‧‧觸媒床氣體輸送
S270‧‧‧觸媒床氣體回收輸送
第1圖係為本發明之第一種實施方式的主要步驟流程圖。
第2圖係為本發明之第一種實施方式的主要架構示意圖。
第3圖係為本發明之第一種實施方式設有除塵設備的架構示意圖。
第4圖係為本發明之第一種實施方式設有濾網裝置的架構示意圖。
第5圖係為本發明之第二種實施方式的主要步驟流程圖。
第6圖係為本發明之第二種實施方式的主要架構示意圖。
第7圖係為本發明之第二種實施方式設有除塵設備的架構示意圖。
第8圖係為本發明之第二種實施方式設有濾網裝置的架構示意圖。
請參閱第1~8圖，係為本發明實施例之示意圖，而本發明之觸媒回流高效率有機廢氣處理系統及其方法的最佳實施方式係運用於半導體產業、光電產業或化學相關產業的揮發有機廢氣處理系統或類似設備，主要是將經過該觸媒床處理之氣體進入該吸附轉輪之吸附區循環利 用，而不經過該煙囪來進行排放，讓該煙囪的排放量降低，並使有機廢氣的處理效率提升。
而本發明第一種實施方式的觸媒回流高效率有機廢氣處理系統，主要係設有一觸媒床10、一吸附反應床20、一第一加熱器30、一吸附轉輪40、一第二加熱器50、一第一熱交換器60及一第二熱交換器70(如第2圖至第4圖所示)，其中該第一熱交換器60係設有第一冷側管路601及第一熱側管路602，該第二熱交換器70係設有第二冷側管路701及第二熱側管路702。另該觸媒床10係設有一進氣口11及一出氣口12，而該觸媒床10係主要基本原理是利用觸媒降低其燃燒反應的活化，且進而降低其反應溫度，例如約在250-400℃的環境中處理有機廢氣，以達到節約能源的目的，並於熱機後無需再補充能源，其操作費用較低。
而該吸附轉輪40係為沸石濃縮轉輪或是其他材質之濃縮轉輪，且該吸附轉輪40內係設有吸附區401、冷卻區402及脫附區402，該吸附轉輪40係設有一廢氣進氣管路41、一淨氣排放管路42、一冷卻氣進氣管路43、一冷卻氣輸送管路44、一熱氣輸送管路45及一脫附濃縮氣體管路46(如第2圖至第4圖所示)，而該廢氣進氣管路41的另一端係連接至該吸附轉輪40之吸附區401的一側，以使該吸附轉輪40之吸附區401吸附該廢氣進氣管路41內的廢氣，且該淨氣排放管路42之一端係與該吸附轉輪40之吸附區401的另一側連接，讓該廢氣經該吸附轉輪40之吸附區401淨化後再由該淨氣排放管路42來輸送，而該淨氣排放管路42的另一端係連接一煙囪，使經由該淨氣 排放管路42所排出淨化後氣體輸送到煙囪90來進行排放。另該淨氣排放管路42係設有一風車421(如第3圖及第4圖所示)，以將該淨氣排放管路42內的氣體推向該煙囪90。
另該冷卻氣進氣管路43的一端係與該吸附轉輪40之冷卻區402的一側連接，而該冷卻氣進氣管路43係有兩種實施態樣，其中第一種實施態樣為該冷卻氣進氣管路43乃是供外氣進入(如第2圖及第3圖所示)，而該外氣係為新鮮空氣，以將該外氣用來輸送到該吸附轉輪40之冷卻區402內提供降溫使用，另第二種實施態樣係該冷卻氣進氣管路43係設有一氣體旁通管路431(如第4圖所示)，該氣體旁通管路431之一端係與該冷卻氣進氣管路43連接，而該氣體旁通管路431之另一端係與該廢氣進氣管路41連接，透過該氣體旁通管路431來將部份的廢氣輸送到該吸附轉輪40之冷卻區402內提供降溫使用。
另該冷卻氣輸送管路43的一端係與該吸附轉輪40之冷卻區402的另一側連接，而該冷卻氣輸送管路44的另一端係與該第二加熱器50連接，另該第二加熱器50的另一端係與該熱氣輸送管路45的另一端連接(如第2圖至第4圖所示)，其中該第二加熱器50係為電加熱器或是管道加熱器，當為電加熱器時，該電加熱器係採用電熱絲、電熱管或電熱片之其中任一種，而為管道加熱器時，該管道加熱器係採用氣體燃料或液體燃料之其中任一種。而該熱氣輸送管路45的一端係與該吸附轉輪40之脫附區403的另一側連接，且該吸附轉輪40之脫附區403的一側係與該脫附濃縮氣體管路46的一端連接，使將經由該第二加熱器50所提升之熱氣透過該熱氣輸送管路45來傳輸到該吸附轉輪40之脫 附區403來進行脫附使用，並將經過高溫所脫附下來的脫附濃縮氣體透過該脫附濃縮氣體管路46來傳輸運送。另該脫附濃縮氣體管路46係設有一風車461，以將該脫附濃縮氣體管路46內的脫附濃縮氣體進行抽送。
另本發明第一種實施方式中的該冷卻氣輸送管路44與該熱氣輸送管路45之間係設有比例風門，而該比例風門係設有兩種實施設計，其中第一種實施設計乃為該冷卻氣輸送管路44與該熱氣輸送管路45之間設有一連通管路47，且該連通管路47係設有一連通控制閥門471，而該熱氣輸送管路45係設有一熱氣控制閥門451(如第3圖所示)，並透過該連通控制閥門471及該熱氣控制閥門451來形成比例風門，另第二實施設計乃為該冷卻氣輸送管路44與該熱氣輸送管路45之間設有一連通管路47，且該連通管路47係設有一連通控制閥門471，而該冷卻氣輸送管路44係設有一冷卻氣控制閥門441(如第4圖所示)，並透過該連通控制閥門471及該冷卻氣控制閥門441來形成比例風門，藉此，不管是透過該連通控制閥門471及該熱氣控制閥門451之設計的比例風門或是透過該連通控制閥門471及該冷卻氣控制閥門441之設計的比例風門，皆能調整控制風力之大小，讓該熱氣輸送管路45內的溫度保持一定高溫來提供給該吸附轉輪40之脫附區403使用。
再者，該第一熱交換器60係連接有一第一熱氣回收管路61、一第一觸媒床熱氣回收管路62及一第一脫附濃縮氣體輸送管路63(如第2圖至第4圖所示)，該第一觸媒床熱氣回收管路62的一端係與該第一熱交換器60之第一熱側管路602的一端連接，該第一觸媒床熱氣回 收管路62的另一端係與該觸媒床10之出氣口12連接，該第一熱氣回收管路61的一端係與該第一熱交換器60之第一熱側管路602的另一端連接，該第一脫附濃縮氣體輸送管路63的一端係與該第一熱交換器60之第一冷側管路601的另一端連接。
另該第一脫附濃縮氣體輸送管路63的另一端係與該第一加熱器30之一端連接(如第2圖至第4圖所示)，其中該第一加熱器30係為電加熱器或是管道加熱器，當為電加熱器時，該電加熱器係採用電熱絲、電熱管或電熱片之其中任一種，而為管道加熱器時，該管道加熱器係採用氣體燃料或液體燃料之其中任一種。且該第一加熱器30係設有一第一加熱器輸送管路31(如第2圖至第4圖所示)，該第一加熱器輸送管路31之另一端係與該吸附反應床20之一端連接，其中該吸附反應床20係設有一吸附反應床輸送管路21(如第2圖至第4圖所示)，該吸附反應床輸送管路21之另一端係與該觸媒床10之進氣口11連接，而該吸附反應床20係為具多孔之材質，以用來將含矽的有機化合物進行反應成為二氧化矽(SiO2)等微粒並吸附。
另該第二熱交換器70係連接有一第二脫附濃縮氣體輸送管路71及一第二熱氣回收管路72(如第2圖至第4圖所示)，該第二熱交換器70之第二冷側管路701的一端係與該脫附濃縮氣體管路46的另一端連接，該第二脫附濃縮氣體輸送管路71的一端係與該第二熱交換器70之第二冷側管路701的另一端連接，該第二脫附濃縮氣體輸送管路71的另一端係與該第一熱交換器60之第一冷側管路301的一端連接，該第二熱氣回收管路72的一端係與該第二熱交換器70之第二熱側 管路702的一端連接，該第二熱氣回收管路72的另一端係與該廢氣進氣管路41連接，該第二熱交換器70之第二熱側管路702的另一端係與該第一熱氣回收管路61的另一端連接。
而本發明係於該第二熱交換器70之第二熱氣回收管路72上係設有一除塵設備721(如第3圖所示)，該除塵設備721係為袋式除塵器、電袋式複合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈衝除塵器、脈衝袋式除塵器、脈衝濾芯除塵器、脈衝噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負壓反吹濾袋除塵器、低壓長袋脈衝除塵器、臥式靜電除塵器、無動力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風除塵器、防爆除塵器之其中任一，或是於該第二熱交換器70之第二熱氣回收管路72設有一濾網裝置722(如第4圖所示)，透過該除塵設備721或是該濾網裝置722來將要進入該廢氣進氣管路41的熱氣先進行除塵或過濾。
藉此，讓該吸附轉輪40之脫附區403所脫附下來的脫附濃縮氣體透過該脫附濃縮氣體管路46來傳輸到該第二熱交換器70之第二冷側管路701來進行熱交換，並再透過該第二脫附濃縮氣體輸送管路71來傳輸到該第一熱交換器60之第一冷側管路601來進行熱交換後，再以第一脫附濃縮氣體輸送管路63來輸送到該第一加熱器30，透過該第一加熱器30來將所輸送過來脫附濃縮氣體進行加熱以提高脫附濃縮氣體之溫度，再將提高溫度之脫附濃縮氣體透過該第一加熱器輸送管路31來輸送至該吸附反應床20，使該吸附反應床20將含矽的化合物反 應成為二氧化矽(SiO2)並吸附，再由該吸附反應床輸送管路21來輸送到觸媒床10內進行處理。
當該觸媒床10進行處理後，即透過與該觸媒床10之出氣口12所連接的第一觸媒床熱氣回收管路62來將該觸媒床10處理之熱氣回收到該第一熱交換器60之第一熱側管路602內進行熱交換，再透過該第一熱氣回收管路61來輸送到該第二熱交換器70之第二熱側管路702內進行熱交換，且再經由該第二熱氣回收管路72來輸送到該廢氣進氣管路41內，使經過該觸媒床10處理之氣體進入該吸附轉輪40之吸附區401循環利用，而不經過該煙囪90來進行排放，讓該煙囪90的排放量降低，並使有機廢氣的處理效率提升。
而本發明第一種實施方式的觸媒回流高效率有機廢氣處理方法，其主要係用於有機廢氣處理系統，且包括有一觸媒床10、一吸附反應床20、一第一加熱器30、一吸附轉輪40、一第二加熱器50、一第一熱交換器60及一第二熱交換器70(如第2圖至第4圖所示)，該吸附轉輪40係設有吸附區401、冷卻區402及脫附區403，該吸附轉輪40係連接有一廢氣進氣管路41、一淨氣排放管路42、一冷卻氣進氣管路43、一冷卻氣輸送管路44、一熱氣輸送管路45及一脫附濃縮氣體管路46，該第一熱交換器60係設有第一冷側管路601及第一熱側管路602，該第一熱交換器60係連接有一第一熱氣回收管路61、一第一觸媒床熱氣回收管路62及一第一脫附濃縮氣體輸送管路63，該第二熱交換器70係設有第二冷側管路701及第二熱側管路702，該第二熱交換器70係連接有一第二脫附濃縮氣體輸送管路71及一 第二熱氣回收管路72，該第一加熱器30係設有一第一加熱器輸送管路31，該吸附反應床20係設有一吸附反應床輸送管路21。
而該處理方法的主要步驟(如第1圖所示)係包括：步驟S100吸附區吸附：將廢氣透過該廢氣進氣管路41的另一端來送入該吸附轉輪40之吸附區401的一側進行吸附，再將吸附後之氣體透過該淨氣排放管路42的另一端來進行輸送。而完成上述步驟S100後即進行下一步驟S110。
其中上述之步驟S100中該淨氣排放管路42的另一端係連接一煙囪90(如第2圖至第4圖所示)，讓經由該淨氣排放管路42所排出淨化後氣體輸送到煙囪90來進行排放。另該淨氣排放管路42係設有一風車421(如第3圖及第4圖所示)，以將該淨氣排放管路42內的氣體推向該煙囪90。
另，下一步進行的步驟S110冷卻區冷卻：透過該冷卻氣進氣管路43的另一端來輸送冷卻氣至該吸附轉輪40之冷卻區402進行冷卻，再透過該冷卻氣輸送管路44的另一端來將經過冷卻區402之冷卻氣輸送到該第二加熱器50內。而完成上述步驟S110後即進行下一步驟S120。
其中該上述之步驟S110中該第二加熱器50係為電加熱器或是管道加熱器，當為電加熱器時，該電加熱器係採用電熱絲、電熱管或電熱片之其中任一種，而為管道加熱器時，該管道加熱器係採用氣體燃料或液體燃料之其中任一種。另該冷卻氣進氣管路43的一端係與該吸附轉輪40之冷卻區402的一側連接，而該冷卻氣進氣管路43係有兩 種實施態樣，其中第一種實施態樣為該冷卻氣進氣管路43乃是供外氣進入(如第2圖及第3圖所示)，而該外氣係為新鮮空氣，以將該外氣用來輸送到該吸附轉輪40之冷卻區402內提供降溫使用，另第二種實施態樣係該冷卻氣進氣管路43係設有一氣體旁通管路431(如第4圖所示)，該氣體旁通管路431之一端係與該冷卻氣進氣管路43連接，而該氣體旁通管路431之另一端係與該廢氣進氣管路41連接，透過該氣體旁通管路431來將部份的廢氣輸送到該吸附轉輪40之冷卻區402內提供降溫使用。
另，下一步進行的步驟S120脫附區脫附：透過與該第二加熱器50的另一端所連接的熱氣輸送管路44來將熱氣體輸送到該吸附轉輪40之脫附區403進行脫附，再透過該脫附濃縮氣體管路46的另一端來將脫附濃縮氣體輸送到第二熱交換器70之第二冷側管路701的一端。而完成上述步驟S120後即進行下一步驟S130。
其中該上述之步驟S120中該脫附濃縮氣體管路46係設有一風車461，以將該脫附濃縮氣體管路46內的脫附濃縮氣體進行抽送。另該冷卻氣輸送管路44與該熱氣輸送管路45之間係設有比例風門，而該比例風門係設有兩種實施設計，其中第一種實施設計乃為該冷卻氣輸送管路44與該熱氣輸送管路45之間設有一連通管路47，且該連通管路47係設有一連通控制閥門471，而該熱氣輸送管路45係設有一熱氣控制閥門451(如第3圖所示)，並透過該連通控制閥門471及該熱氣控制閥門451來形成比例風門。另第二實施設計乃為該冷卻氣輸送管路44與該熱氣輸送管路45之間設有一連通管路47，且該連通管路 47係設有一連通控制閥門471，而該冷卻氣輸送管路44係設有一冷卻氣控制閥門441(如第4圖所示)，並透過該連通控制閥門471及該冷卻氣控制閥門441來形成比例風門。藉此，不管是透過該連通控制閥門471及該熱氣控制閥門451之設計的比例風門或是透過該連通控制閥門471及該冷卻氣控制閥門441之設計的比例風門，皆能調整控制風力之大小，讓該熱氣輸送管路45內的溫度保持一定高溫來提供給該吸附轉輪40之脫附區403使用。
另，下一步進行的步驟S130脫附濃縮氣體輸送：該脫附濃縮氣體再透過該第二熱交換器70之第二冷側管路701的另一端所連接的第二脫附濃縮氣體輸送管路71來輸送到該第一熱交換器60之第一冷側管路601的一端，並再透過該第一熱交換器60之第一冷側管路601的另一端所連接的第一脫附濃縮氣體輸送管路63來輸送到該第一加熱器30內。而完成上述步驟S130後即進行下一步驟S140。
其中該上述之步驟S130中該第一加熱器30係為電加熱器或是管道加熱器，當為電加熱器時，該電加熱器係採用電熱絲、電熱管或電熱片之其中任一種，而為管道加熱器時，該管道加熱器係採用氣體燃料或液體燃料之其中任一種。
另，下一步進行的步驟S140吸附反應床吸附：將經由該第一加熱器30進行加熱升溫的脫附濃縮氣體透過該第一加熱器輸送管路31來輸送至該吸附反應床20來進行吸附，其中該吸附反應床20係為具多孔之材質，以用來將含矽的有機化合物進行反應成為二氧化矽(SiO2)等微粒並吸附。而完成上述步驟S140後即進行下一步驟S150。
另，下一步進行的步驟S150觸媒床處理：將經過該吸附反應床20進行吸附的脫附濃縮氣體再透過該吸附反應床輸送管路21來輸送到觸媒床10內進行處理。而完成上述步驟S150後即進行下一步驟S160。
另，下一步進行的步驟S160觸媒床氣體輸送：將經過觸媒床10處理後之氣體透過該觸媒床10之出氣口12所連接的第一觸媒床熱氣回收管路62輸送到該第一熱交換器60之第一熱側管路602的一端，再由該第一熱交換器60之第一熱側管路602的另一端所連接的第一熱氣回收管路61輸送到該第二熱交換器70之第二熱側管路702的一端。而完成上述步驟S160後即進行下一步驟S170。
另，下一步進行的步驟S170觸媒床氣體回收輸送：將輸送到該第二熱交換器70之第二熱側管路702的觸媒床10之氣體，再經由與該第二熱交換器70之第二熱側管路702的另一端所連接的第二熱氣回收管路72來輸送到該廢氣進氣管路41連接。
其中該上述之步驟S170中該第二熱交換器70之第二熱氣回收管路72係設有一除塵設備721(如第3圖所示)，該除塵設備721係為袋式除塵器、電袋式複合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈衝除塵器、脈衝袋式除塵器、脈衝濾芯除塵器、脈衝噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負壓反吹濾袋除塵器、低壓長袋脈衝除塵器、臥式靜電除塵器、無動力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風除塵器、防爆除塵器之其中任一，或是於該第 二熱交換器70之第二熱氣回收管路72設有一濾網裝置722(如第4圖所示)，透過該除塵設備721或是該濾網裝置722來將要進入該廢氣進氣管路41的熱氣先進行除塵或過濾。
藉此，讓該吸附轉輪40之脫附區403所脫附下來的脫附濃縮氣體透過該脫附濃縮氣體管路46來傳輸到該第二熱交換器70之第二冷側管路701來進行熱交換，並再透過該第二脫附濃縮氣體輸送管路71來傳輸到該第一熱交換器60之第一冷側管路601來進行熱交換後，再以第一脫附濃縮氣體輸送管路63來輸送到該第一加熱器30，透過該第一加熱器30來將所輸送過來脫附濃縮氣體進行加熱以提高脫附濃縮氣體之溫度，再將提高溫度之脫附濃縮氣體透過該第一加熱器輸送管路31來輸送至該吸附反應床20，使該吸附反應床20將含有矽的有機化合物反應成二氧化矽(SiO2)並吸附，再由該吸附反應床輸送管路21來輸送到觸媒床10內進行處理。
當該觸媒床10進行處理後，即透過與該觸媒床10之出氣口12所連接的第一觸媒床熱氣回收管路62來將該觸媒床10處理之熱氣回收到該第一熱交換器60之第一熱側管路602內進行熱交換，再透過該第一熱氣回收管路61來輸送到該第二熱交換器70之第二熱側管路702內進行熱交換，且再經由該第二熱氣回收管路72來輸送到該廢氣進氣管路41內，使經過該觸媒床10處理之氣體進入該吸附轉輪40之吸附區401循環利用，而不經過該煙囪90來進行排放，讓該煙囪90的排放量降低，並使有機廢氣的處理效率提升。
另，本發明第二種實施方式的觸媒回流高效率有機廢氣處理 系統，主要係設有一觸媒床10、一吸附反應床20、一第一加熱器30、一吸附轉輪40、一第二加熱器50、一第二熱交換器70及一冷卻器80(如第6圖至第8圖所示)，其中該第二熱交換器70係設有第二冷側管路701及第二熱側管路702，而該冷卻器80係設有冷卻水管路801。另該觸媒床10係設有一進氣口11及一出氣口12，而該觸媒床10係主要基本原理是利用觸媒降低其燃燒反應的活化，且進而降低其反應溫度，例如約在250-400℃的環境中處理有機廢氣，以達到節約能源的目的，並於熱機後無需再補充能源，其操作費用較低。
而該吸附轉輪40係為沸石濃縮轉輪或是其他材質之濃縮轉輪，且該吸附轉輪40內係設有吸附區401、冷卻區402及脫附區403，該吸附轉輪40係設有一廢氣進氣管路41、一淨氣排放管路42、一冷卻氣進氣管路43、一冷卻氣輸送管路44、一熱氣輸送管路45及一脫附濃縮氣體管路46(如第6圖至第8圖所示)，而該廢氣進氣管路41的另一端係連接至該吸附轉輪40之吸附區401的一側，以使該吸附轉輪之吸附區吸附該廢氣進氣管路41內的廢氣，且該淨氣排放管路42之一端係與該吸附轉輪40之吸附區401的另一側連接，讓該廢氣經該吸附轉輪40之吸附區401淨化後再由該淨氣排放管路42來輸送，而該淨氣排放管路42的另一端係連接一煙囪90(如第6圖至第8圖所示)，使經由該淨氣排放管路42所排出淨化後氣體輸送到煙囪90來進行排放。另該淨氣排放管路42係設有一風車421(如第7圖及第8圖所示)，以將該淨氣排放管路42內的氣體推向該煙囪90。
另該冷卻氣進氣管路43的一端係與該吸附轉輪40之冷 卻區402的一側連接，而該冷卻氣進氣管路43係有兩種實施態樣，其中第一種實施態樣為該冷卻氣進氣管路43乃是供外氣進入(如第6圖及第7圖所示)，而該外氣係為新鮮空氣，以將該外氣用來輸送到該吸附轉輪40之冷卻區402內提供降溫使用，另第二種實施態樣係該冷卻氣進氣管路43係設有一氣體旁通管路431(如第8圖所示)，該氣體旁通管路431之一端係與該冷卻氣進氣管路43連接，而該氣體旁通管路431之另一端係與該廢氣進氣管路41連接，透過該氣體旁通管路431來將部份的廢氣輸送到該吸附轉輪40之冷卻區402內提供降溫使用。
另該冷卻氣輸送管路44的一端係與該吸附轉輪40之冷卻區402的另一側連接，而該冷卻氣輸送管路44的另一端係與該第二加熱器50連接，另該第二加熱器50的另一端係與該熱氣輸送管路45的另一端連接(如第6圖至第8圖所示)，其中該第二加熱器50係為電加熱器或是管道加熱器，當為電加熱器時，該電加熱器係採用電熱絲、電熱管或電熱片之其中任一種，而為管道加熱器時，該管道加熱器係採用氣體燃料或液體燃料之其中任一種。而該熱氣輸送管路45的一端係與該吸附轉輪40之脫附區403的另一側連接，且該吸附轉輪40之脫附區403的一側係與該脫附濃縮氣體管路46的一端連接，使將經由該第二加熱器50所提升之熱氣透過該熱氣輸送管路45來傳輸到該吸附轉輪40之脫附區403來進行脫附使用，並將經過高溫所脫附下來的脫附濃縮氣體透過該脫附濃縮氣體管路46來傳輸運送。另該脫附濃縮氣體管路46係設有一風車461，以將該脫附濃縮氣體管路46內的脫附濃縮氣體進行抽送。
另本發明第二種實施方式中的該冷卻氣輸送管路44與該熱氣輸送管路45之間係設有比例風門，而該比例風門係設有兩種實施設計，其中第一種實施設計乃為該冷卻氣輸送管路44與該熱氣輸送管路45之間設有一連通管路47，且該連通管路47係設有一連通控制閥門471，而該熱氣輸送管路45係設有一熱氣控制閥門451(如第7圖所示)，並透過該連通控制閥門471及該熱氣控制閥門451來形成比例風門，另第二實施設計乃為該冷卻氣輸送管路44與該熱氣輸送管路45之間設有一連通管路47，且該連通管路47係設有一連通控制閥門471，而該冷卻氣輸送管路44係設有一冷卻氣控制閥門441(如第8圖所示)，並透過該連通控制閥門471及該冷卻氣控制閥門441來形成比例風門，藉此，不管是透過該連通控制閥門471及該熱氣控制閥門451之設計的比例風門或是透過該連通控制閥門471及該冷卻氣控制閥門441之設計的比例風門，皆能調整控制風力之大小，讓該熱氣輸送管路45內的溫度保持一定高溫來提供給該吸附轉輪40之脫附區403使用。
另該第二熱交換器70係連接有一第二脫附濃縮氣體輸送管路71及一第二熱氣回收管路72(如第6圖至第8圖所示)，該第二熱交換器70之第二冷側管路701的一端係與該脫附濃縮氣體管路46的另一端連接，該第二脫附濃縮氣體輸送管路71的一端係與該第二熱交換器70之第二冷側管路701的另一端連接，該第二脫附濃縮氣體輸送管路71的另一端係與該第一加熱器30之一端連接，該第二熱氣回收管路72的一端係與該第二熱交換器70之第二熱側管路702的一端連接，該第二熱氣回收管路72的另一端係與該廢氣進氣管路41連接。
而上述之第二脫附濃縮氣體輸送管路71的另一端所連接的第一加熱器30係為電加熱器或是管道加熱器，當為電加熱器時，該電加熱器係採用電熱絲、電熱管或電熱片之其中任一種，而為管道加熱器時，該管道加熱器係採用氣體燃料或液體燃料之其中任一種。另該第一加熱器30係設有一第一加熱器輸送管路31(如第6圖至第8圖所示)，該第一加熱器輸送管路31之另一端係與該吸附反應床20之一端連接，其中該吸附反應床20係設有一吸附反應床輸送管路21(如第6圖至第8圖所示)，該吸附反應床輸送管路21之另一端係與該觸媒床10之進氣口11連接(如第6圖至第8圖所示)，而該吸附反應床20係為具多孔之材質，以用將含矽的有機化合物進行反應成為二氧化矽(SiO2)等微粒並吸附。
再者，該冷卻器80係設有冷卻水管路801(如第6圖至第8圖所示)，以一進一出的方式來將流經該冷卻器80的高溫熱氣進行降溫，且該冷卻器80係為殼管式冷卻器、鰭管式冷卻器或板式熱交換器冷卻器之其中任一，且該冷卻器80係連接有一冷卻熱氣回收管路81及一觸媒床熱氣回收管路82(如第6圖至第8圖所示)，其中該觸媒床熱氣回收管路82的另一端係與該觸媒床10之出氣口12連接，以將由該觸媒床10之出氣口12所流出的高溫熱氣來輸送到該冷卻器80中，另該冷卻熱氣回收管路81的另一端係與該第二熱交換器70之第二熱側管路702的另一端連接，以將經過冷卻器80降溫過的高溫熱氣再輸送到該第二熱交換器70內。
而本發明係於該第二熱交換器70之第二熱氣回收管路72上係設有一除塵設備721(如第7圖所示)，該除塵設備721係為袋式 除塵器、電袋式複合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈衝除塵器、脈衝袋式除塵器、脈衝濾芯除塵器、脈衝噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負壓反吹濾袋除塵器、低壓長袋脈衝除塵器、臥式靜電除塵器、無動力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風除塵器、防爆除塵器之其中任一，或是於該第二熱交換器70之第二熱氣回收管路72設有一濾網裝置722(如第8圖所示)，透過該除塵設備721或是該濾網裝置722來將要進入該廢氣進氣管路41的熱氣先進行除塵或過濾。
藉此，讓該吸附轉輪40之脫附區403所脫附下來的脫附濃縮氣體透過該脫附濃縮氣體管路46來傳輸到該第二熱交換器70之第二冷側管路701來進行熱交換，並再透過該第二脫附濃縮氣體輸送管路71來傳輸到該第一加熱器30中，讓該第一加熱器30來將所輸送過來脫附濃縮氣體進行加熱以提高脫附濃縮氣體之溫度，再將提高溫度之脫附濃縮氣體透過該第一加熱器送管路31來輸送至該吸附反應床20，使該吸附反應床20將含矽的有機化合物進行反應成為二氧化矽(SiO2)等微粒並吸附，再由該吸附反應床輸送管路21來輸送到觸媒床10內進行處理。
當該觸媒床10進行處理後，即透過與該觸媒床10之出氣口12所連接的觸媒床熱氣回收管路82來將該觸媒床10處理之熱氣回收到該冷卻器80內，再透過該冷卻熱氣回收管路81來輸送到該第二熱交換器70之第二熱側管路702內進行熱交換，且再經由該第二熱氣回收管路72來輸送到該廢氣進氣管路41內，使經過該觸媒床10處理之 氣體進入該吸附轉輪40之吸附區401循環利用，而不經過該煙囪90來進行排放，讓該煙囪90的排放量降低，並使有機廢氣的處理效率提升。
再者，本發明第二種實施方式的觸媒回流高效率有機廢氣處理方法，其主要係用於有機廢氣處理系統，係包括有一觸媒床10、一吸附反應床20、一第一加熱器30、一吸附轉輪40、一第二加熱器50、一第二熱交換器70及一冷卻器80，該吸附轉輪40係設有吸附區401、冷卻區402及脫附區403，該吸附轉輪40係連接有一廢氣進氣管路41、一淨氣排放管路42、一冷卻氣進氣管路43、一冷卻氣輸送管路44、一熱氣輸送管路45及一脫附濃縮氣體管路46，該第二熱交換器70係設有第二冷側管路701及第二熱側管路702(如第6圖至第8圖所示)，該第二熱交換器70係連接有一第二脫附濃縮氣體輸送管路71及一第二熱氣回收管路72，該第一加熱器30係設有一第一加熱器輸送管路31，該吸附反應床20係設有一吸附反應床輸送管路21，該冷卻器80係設有冷卻水管路801，該冷卻器80係連接有一冷卻熱氣回收管路81及一觸媒床熱氣回收管路82。
而該處理方法的主要步驟(如第5圖所示)係包括：步驟S200吸附區吸附：將廢氣透過該廢氣進氣管路41的另一端來送入該吸附轉輪40之吸附區401的一側進行吸附，再將吸附後之氣體透過該淨氣排放管路42的另一端來進行輸送。而完成上述步驟S200後即進行下一步驟S210。
其中上述之步驟S200中該淨氣排放管路42的另一端係連接一煙囪90(如第6圖至第8圖所示)，讓經由該淨氣排放管路42所 排出淨化後氣體輸送到煙囪90來進行排放。另該淨氣排放管路42係設有一風車421(如第7圖及第8圖所示)，以將該淨氣排放管路42內的氣體推向該煙囪90。
另，下一步進行的步驟S210冷卻區冷卻：透過該冷卻氣進氣管路43的另一端來輸送冷卻氣至該吸附轉輪40之冷卻區402進行冷卻，再透過該冷卻氣輸送管路44的另一端來將經過冷卻區402之冷卻氣輸送到該第二加熱器50內。而完成上述步驟S210後即進行下一步驟S220。
其中該上述之步驟S210中該第二加熱器50係為電加熱器或是管道加熱器，當為電加熱器時，該電加熱器係採用電熱絲、電熱管或電熱片之其中任一種，而為管道加熱器時，該管道加熱器係採用氣體燃料或液體燃料之其中任一種。另該冷卻氣進氣管路43的一端係與該吸附轉輪40之冷卻區402的一側連接，而該冷卻氣進氣管路43係有兩種實施態樣，其中第一種實施態樣為該冷卻氣進氣管路43乃是供外氣進入(如第6圖及第7圖所示)，而該外氣係為新鮮空氣，以將該外氣用來輸送到該吸附轉輪40之冷卻區402內提供降溫使用，另第二種實施態樣係該冷卻氣進氣管路43係設有一氣體旁通管路431(如第8圖所示)，該氣體旁通管路431之一端係與該冷卻氣進氣管路43連接，而該氣體旁通管路431之另一端係與該廢氣進氣管路41連接，透過該氣體旁通管路431來將部份的廢氣輸送到該吸附轉輪40之冷卻區402內提供降溫使用。
另，下一步進行的步驟S220脫附區脫附：透過與該第二 加熱器50的另一端所連接的熱氣輸送管路45來將熱氣體輸送到該吸附轉輪40之脫附區403進行脫附，再透過該脫附濃縮氣體管路46的另一端來將脫附濃縮氣體輸送到第二熱交換器70之第二冷側管路702的一端。而完成上述步驟S220後即進行下一步驟S230。
其中該上述之步驟S220中該脫附濃縮氣體管路46係設有一風車461，以將該脫附濃縮氣體管路46內的脫附濃縮氣體進行抽送。另該冷卻氣輸送管路44與該熱氣輸送管路45之間係設有比例風門，而該比例風門係設有兩種實施設計，其中第一種實施設計乃為該冷卻氣輸送管路44與該熱氣輸送管路45之間設有一連通管路47，且該連通管路47係設有一連通控制閥門471，而該熱氣輸送管路45係設有一熱氣控制閥門451(如第7圖所示)，並透過該連通控制閥門471及該熱氣控制閥門451來形成比例風門。另第二實施設計乃為該冷卻氣輸送管路44與該熱氣輸送管路45之間設有一連通管路47，且該連通管路47係設有一連通控制閥門471，而該冷卻氣輸送管路44係設有一冷卻氣控制閥門441(如第8圖所示)，並透過該連通控制閥門471及該冷卻氣控制閥門441來形成比例風門。藉此，不管是透過該連通控制閥門471及該熱氣控制閥門451之設計的比例風門或是透過該連通控制閥門471及該冷卻氣控制閥門441之設計的比例風門，皆能調整控制風力之大小，讓該熱氣輸送管路45內的溫度保持一定高溫來提供給該吸附轉輪40之脫附區403使用。
另，下一步進行的步驟S230脫附濃縮氣體輸送：該脫附濃縮氣體再透過該第二熱交換器70之第二冷側管路701的另一端所連 接的第二脫附濃縮氣體輸送管路71來輸送到該第一加熱器30內。而完成上述步驟S230後即進行下一步驟S240。
其中該上述之步驟S230中該第一加熱器30係為電加熱器或是管道加熱器，當為電加熱器時，該電加熱器係採用電熱絲、電熱管或電熱片之其中任一種，而為管道加熱器時，該管道加熱器係採用氣體燃料或液體燃料之其中任一種。
另，下一步進行的步驟S240吸附反應床吸附：將經由該第一加熱器30進行加熱升溫的脫附濃縮氣體透過該第一加熱器輸送管路31來輸送至該吸附反應床20來進行吸附，其中該吸附反應床20係為具多孔之材質，以用來將含矽的有機化合物進行反應成為二氧化矽(SiO2)等微粒並吸附。而完成上述步驟S240後即進行下一步驟S250。
另，下一步進行的步驟S250觸媒床處理：將經過該吸附反應床20進行吸附的脫附濃縮氣體再透過該吸附反應床輸送管路21來輸送到觸媒床10內進行處理。而完成上述步驟S250後即進行下一步驟S260。
另，下一步進行的步驟S260觸媒床氣體輸送：將經過觸媒床10處理後之氣體透過該觸媒床10之出氣口12所連接的觸媒床熱氣回收管路82輸送到該冷卻器80內，再由該冷卻器80之另一端所連接的冷卻熱氣回收管路81輸送到該第二熱交換器70之第二熱側管路702的一端。而完成上述步驟S260後即進行下一步驟S270。
其中該上述之步驟S260中該冷卻器80係設有冷卻水管路801(如第6圖至第8圖所示)，以一進一出的方式來將流經該冷卻器 80的高溫熱氣進行降溫，且該冷卻器80係為殼管式冷卻器、鰭管式冷卻器或板式熱交換器冷卻器之其中任一。
另，下一步進行的步驟S270觸媒床氣體回收輸送：將輸送到該第二熱交換器70之第二熱側管路702的觸媒床10之氣體，再經由與該第二熱交換器70之第二熱側管路702的另一端所連接的第二熱氣回收管路72來輸送到該廢氣進氣管路41連接。
其中該上述之步驟S270中該第二熱交換器70之第二熱氣回收管路72上係設有一除塵設備721(如第7圖所示)，該除塵設備721係為袋式除塵器、電袋式複合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈衝除塵器、脈衝袋式除塵器、脈衝濾芯除塵器、脈衝噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負壓反吹濾袋除塵器、低壓長袋脈衝除塵器、臥式靜電除塵器、無動力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風除塵器、防爆除塵器之其中任一，或是於該第二熱交換器70之第二熱氣回收管路72設有一濾網裝置722(如第8圖所示)，透過該除塵設備721或是該濾網裝置722來將要進入該廢氣進氣管路41的熱氣先進行除塵或過濾。
藉此，讓該吸附轉輪40之脫附區403所脫附下來的脫附濃縮氣體透過該脫附濃縮氣體管路46來傳輸到該第二熱交換器70之第二冷側管路701來進行熱交換，並再透過該第二脫附濃縮氣體輸送管路71來傳輸到該第一加熱器30中，讓該第一加熱器30來將所輸送過來脫附濃縮氣體進行加熱以提高脫附濃縮氣體之溫度，再將提高溫度之脫附 濃縮氣體透過該第一加熱器送管路31來輸送至該吸附反應床20，使該吸附反應床20將含矽的有機化合物進行反應成為二氧化矽(SiO2)等微粒並吸附，再由該吸附反應床輸送管路21來輸送到觸媒床10內進行處理。
當該觸媒床10進行處理後，即透過與該觸媒床10之出氣口12所連接的觸媒床熱氣回收管路82來將該觸媒床10處理之熱氣回收到該冷卻器80內，再透過該冷卻熱氣回收管路81來輸送到該第二熱交換器70之第二熱側管路702內進行熱交換，且再經由該第二熱氣回收管路72來輸送到該廢氣進氣管路41內，使經過該觸媒床10處理之氣體進入該吸附轉輪40之吸附區401循環利用，而不經過該煙囪90來進行排放，讓該煙囪90的排放量降低，並使有機廢氣的處理效率提升。
由以上詳細說明，可使熟知本項技藝者明瞭本發明的確可達成前述目的，實已符合專利法之規定，爰提出發明專利申請。
惟以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍；故，凡依本發明申請專利範圍及發明說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆應仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。
S100‧‧‧吸附區吸附
S110‧‧‧冷卻區冷卻
S120‧‧‧脫附區脫附
S130‧‧‧脫附濃縮氣體輸送
S140‧‧‧吸附反應床吸附
S150‧‧‧觸媒床處理
S160‧‧‧觸媒床氣體輸送
S170‧‧‧觸媒床氣體回收輸送

Claims (26)

  1. 一種觸媒回流高效率有機廢氣處理系統，係包括：一觸媒床，該觸媒床係設有一進氣口及一出氣口；一吸附反應床，該吸附反應床係設有一吸附反應床輸送管路，該吸附反應床輸送管路之另一端係與該觸媒床之進氣口連接；一第一加熱器，該第一加熱器係設有一第一加熱器輸送管路，該第一加熱器輸送管路之另一端係與該吸附反應床之一端連接；一吸附轉輪，該吸附轉輪係設有吸附區、冷卻區及脫附區，該吸附轉輪係連接有一廢氣進氣管路、一淨氣排放管路、一冷卻氣進氣管路、一冷卻氣輸送管路、一熱氣輸送管路及一脫附濃縮氣體管路，該廢氣進氣管路的另一端係連接至該吸附轉輪之吸附區的一側，該淨氣排放管路的一端係與該吸附轉輪之吸附區的另一側連接，該冷卻氣進氣管路的一端係與該吸附轉輪之冷卻區的一側連接，該冷卻氣輸送管路的一端係與該吸附轉輪之冷卻區的另一側連接，該熱氣輸送管路的一端係與該吸附轉輪之脫附區的另一側連接，該脫附濃縮氣體管路的一端係與該吸附轉輪之脫附區的一側連接；一第二加熱器，該第二加熱器的一端係與該冷卻氣輸送管路的另一端連接，該第二加熱器的另一端係與該熱氣輸送管路的另一端連接；一第一熱交換器，該第一熱交換器係設有第一冷側管路及第一熱側管路，該第一熱交換器係連接有一第一熱氣回收管路、一第一觸媒床熱氣回收管路及一第一脫附濃縮氣體輸送管路，該第一觸媒床熱氣回收管路的一端係與該第一熱側管路的一端連接，該第一觸媒床熱氣回收管路的 另一端係與該觸媒床之出氣口連接，該第一熱氣回收管路的一端係與該第一熱側管路的另一端連接，該第一脫附濃縮氣體輸送管路的一端係與該第一冷側管路的另一端連接，該第一脫附濃縮氣體輸送管路的另一端係與該第一加熱器之一端連接；以及一第二熱交換器，該第二熱交換器係設有第二冷側管路及第二熱側管路，該第二熱交換器係連接有一第二脫附濃縮氣體輸送管路及一第二熱氣回收管路，該第二冷側管路的一端係與該脫附濃縮氣體管路的另一端連接，該第二脫附濃縮氣體輸送管路的一端係與該第二冷側管路的另一端連接，該第二脫附濃縮氣體輸送管路的另一端係與該第一冷側管路的一端連接，該第二熱氣回收管路的一端係與該第二熱側管路的一端連接，該第二熱氣回收管路的另一端係與該廢氣進氣管路連接，該第二熱側管路的另一端係與該第一熱氣回收管路的另一端連接。
  2. 一種觸媒回流高效率有機廢氣處理系統，係包括：一觸媒床，該觸媒床係設有一進氣口及一出氣口；一吸附反應床，該吸附反應床係設有一吸附反應床輸送管路，該吸附反應床輸送管路之另一端係與該觸媒床之進氣口連接；一第一加熱器，該第一加熱器係設有一第一加熱器輸送管路，該第一加熱器輸送管路之另一端係與該吸附反應床之一端連接；一吸附轉輪，該吸附轉輪係設有吸附區、冷卻區及脫附區，該吸附轉輪係連接有一廢氣進氣管路、一淨氣排放管路、一冷卻氣進氣管路、一冷卻氣輸送管路、一熱氣輸送管路及一脫附濃縮氣體管路，該廢氣進氣管路的另一端係連接至該吸附轉輪之吸附區的一側，該淨氣排放管路的一 端係與該吸附轉輪之吸附區的另一側連接，該冷卻氣進氣管路的一端係與該吸附轉輪之冷卻區的一側連接，該冷卻氣輸送管路的一端係與該吸附轉輪之冷卻區的另一側連接，該熱氣輸送管路的一端係與該吸附轉輪之脫附區的另一側連接，該脫附濃縮氣體管路的一端係與該吸附轉輪之脫附區的一側連接；一第二加熱器，該第二加熱器的一端係與該冷卻氣輸送管路的另一端連接，該第二加熱器的另一端係與該熱氣輸送管路的另一端連接；一第二熱交換器，該第二熱交換器係設有第二冷側管路及第二熱側管路，該第二熱交換器係連接有一第二脫附濃縮氣體輸送管路及一第二熱氣回收管路，該第二冷側管路的一端係與該脫附濃縮氣體管路的另一端連接，該第二脫附濃縮氣體輸送管路的一端係與該第二冷側管路的另一端連接，該第二脫附濃縮氣體輸送管路的另一端係與該第一加熱器之一端連接，該第二熱氣回收管路的一端係與該第二熱側管路的一端連接，該第二熱氣回收管路的另一端係與該廢氣進氣管路連接；以及一冷卻器，該冷卻器係設有冷卻水管路，該冷卻器係連接有一冷卻熱氣回收管路及一觸媒床熱氣回收管路，該觸媒床熱氣回收管路的另一端係與該觸媒床之出氣口連接，該冷卻熱氣回收管路的另一端係與該第二熱側管路的另一端連接。
  3. 如申請專利範圍第1或2項所述之觸媒回流高效率有機廢氣處理系統，其中該第二熱交換器之第二熱氣回收管路係進一步設有一除塵設備，該除塵設備係為袋式除塵器、電袋式複合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈衝除塵器、脈衝袋式除塵器、脈衝 濾芯除塵器、脈衝噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負壓反吹濾袋除塵器、低壓長袋脈衝除塵器、臥式靜電除塵器、無動力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風除塵器、防爆除塵器之其中任一。
  4. 如申請專利範圍第1或2項所述之觸媒回流高效率有機廢氣處理系統，其中該第二熱交換器之第二熱氣回收管路係進一步設有一濾網裝置，該濾網裝置係用於進行除塵使用。
  5. 如申請專利範圍第1或2項所述之觸媒回流高效率有機廢氣處理系統，其中該第一加熱器及該第二加熱器係進一步分別為電加熱器，該電加熱器係採用電熱絲、電熱管或電熱片之其中任一種。
  6. 如申請專利範圍第1或2項所述之觸媒回流高效率有機廢氣處理系統，其中該第一加熱器及該第二加熱器係進一步分別為管道加熱器，該管道加熱器係採用氣體燃料或液體燃料之其中任一種。
  7. 如申請專利範圍第2項所述之觸媒回流高效率有機廢氣處理系統，其中該冷卻器係進一步為殼管式冷卻器、鰭管式冷卻器或板式熱交換器冷卻器之其中任一。
  8. 如申請專利範圍第1或2項所述之觸媒回流高效率有機廢氣處理系統，其中該淨氣排放管路的另一端係進一步連接一煙囪。
  9. 如申請專利範圍第1或2項所述之觸媒回流高效率有機廢氣處理系統，其中該冷卻氣輸送管路與該熱氣輸送管路之間係進一步設有一連通管路，該連通管路係設有一連通控制閥門，該熱氣輸送管路係設有一熱 氣控制閥門，並透過該連通控制閥門及該熱氣控制閥門來形成比例風門。
  10. 如申請專利範圍第1或2項所述之觸媒回流高效率有機廢氣處理系統，其中該冷卻氣輸送管路與該熱氣輸送管路之間係進一步設有一聯通管路，該連通管路係設有一連通控制閥門，該冷卻氣輸送管路係設有一冷卻氣控制閥門，並透過該連通控制閥門及該冷卻氣控制閥門來形成比例風門。
  11. 如申請專利範圍第1或2項所述之觸媒回流高效率有機廢氣處理系統，其中該冷卻氣進氣管路係進一步輸送外氣至該吸附轉輪之冷卻區，且該外氣係為新鮮空氣。
  12. 如申請專利範圍第1或2項所述之觸媒回流高效率有機廢氣處理系統，其中該冷卻氣進氣管路係進一步設有一氣體旁通管路，該氣體旁通管路之一端係與該冷卻氣進氣管路連接，該氣體旁通管路之另一端係與該廢氣進氣管路連接。
  13. 如申請專利範圍第1或2項所述之觸媒回流高效率有機廢氣處理系統，其中該淨氣排放管路係進一步設有一風車。
  14. 一種觸媒回流高效率有機廢氣處理方法，主要係用於該有機廢氣處理系統，係包括有一觸媒床、一吸附反應床、一第一加熱器、一吸附轉輪、一第二加熱器、一第一熱交換器及一第二熱交換器，該吸附轉輪係設有吸附區、冷卻區及脫附區，該吸附轉輪係連接有一廢氣進氣管路、一淨氣排放管路、一冷卻氣進氣管路、一冷卻氣輸送管路、一熱氣輸送管路及一脫附濃縮氣體管路，該第一熱交換器係設有第一冷側管路及第 一熱側管路，該第一熱交換器係連接有一第一熱氣回收管路、一第一觸媒床熱氣回收管路及一第一脫附濃縮氣體輸送管路，該第二熱交換器係設有第二冷側管路及第二熱側管路，該第二熱交換器係連接有一第二脫附濃縮氣體輸送管路及一第二熱氣回收管路，該第一加熱器係設有一第一加熱器輸送管路，該吸附反應床係設有一吸附反應床輸送管路，而該處理方法的主要步驟係包括：吸附區吸附：將廢氣透過該廢氣進氣管路的另一端來送入該吸附轉輪之吸附區的一側進行吸附，再將吸附後之氣體透過該淨氣排放管路的另一端來進行輸送；冷卻區冷卻：透過該冷卻氣進氣管路的另一端來輸送冷卻氣至該吸附轉輪之冷卻區進行冷卻，再透過該冷卻氣輸送管路的另一端來將經過冷卻區之冷卻氣輸送到該第二加熱器內；脫附區脫附：透過與該第二加熱器的另一端所連接的熱氣輸送管路來將熱氣體輸送到該吸附轉輪之脫附區進行脫附，再透過該脫附濃縮氣體管路的另一端來將脫附濃縮氣體輸送到第二熱交換器之第二冷側管路的一端；脫附濃縮氣體輸送：該脫附濃縮氣體再透過該第二熱交換器之第二冷側管路的另一端所連接的第二脫附濃縮氣體輸送管路來輸送到該第一熱交換器之第一冷側管路的一端，並再透過該第一熱交換器之第一冷側管路的另一端所連接的第一脫附濃縮氣體輸送管路來輸送到該第一加熱器內；吸附反應床吸附：將經由該第一加熱器進行加熱升溫的脫附濃縮氣體透 過該第一加熱器輸送管路來輸送至該吸附反應床來進行吸附；觸媒床處理：將經過該吸附反應床進行吸附的脫附濃縮氣體再透過該吸附反應床輸送管路來輸送到觸媒床內進行處理；觸媒床氣體輸送：將經過觸媒床處理後之氣體透過該觸媒床之出氣口所連接的第一觸媒床熱氣回收管路輸送到該第一熱交換器之第一熱側管路的一端，再由該第一熱交換器之第一熱側管路的另一端所連接的第一熱氣回收管路輸送到該第二熱交換器之第二熱側管路的一端；以及觸媒床氣體回收輸送：將輸送到該第二熱交換器之第二熱側管路的觸媒床之氣體，再經由與該第二熱交換器之第二熱側管路的另一端所連接的第二熱氣回收管路來輸送到該廢氣進氣管路連接。
  15. 一種觸媒回流高效率有機廢氣處理方法，主要係用於該有機廢氣處理系統，係包括有一觸媒床、一吸附反應床、一第一加熱器、一吸附轉輪、一第二加熱器、一第二熱交換器及一冷卻器，該吸附轉輪係設有吸附區、冷卻區及脫附區，該吸附轉輪係連接有一廢氣進氣管路、一淨氣排放管路、一冷卻氣進氣管路、一冷卻氣輸送管路、一熱氣輸送管路及一脫附濃縮氣體管路，該第二熱交換器係設有第二冷側管路及第二熱側管路，該第二熱交換器係連接有一第二脫附濃縮氣體輸送管路及一第二熱氣回收管路，該第一加熱器係設有一第一加熱器輸送管路，該吸附反應床係設有一吸附反應床輸送管路，該冷卻器係設有冷卻水管路，該冷卻器係連接有一冷卻熱氣回收管路及一觸媒床熱氣回收管路，而該處理方法的主要步驟係包括：吸附區吸附：將廢氣透過該廢氣進氣管路的另一端來送入該吸附轉輪之 吸附區的一側進行吸附，再將吸附後之氣體透過該淨氣排放管路的另一端來進行輸送；冷卻區冷卻：透過該冷卻氣進氣管路的另一端來輸送冷卻氣至該吸附轉輪之冷卻區進行冷卻，再透過該冷卻氣輸送管路的另一端來將經過冷卻區之冷卻氣輸送到該第二加熱器內；脫附區脫附：透過與該第二加熱器的另一端所連接的熱氣輸送管路來將熱氣體輸送到該吸附轉輪之脫附區進行脫附，再透過該脫附濃縮氣體管路的另一端來將脫附濃縮氣體輸送到第二熱交換器之第二冷側管路的一端；脫附濃縮氣體輸送：該脫附濃縮氣體再透過該第二熱交換器之第二冷側管路的另一端所連接的第二脫附濃縮氣體輸送管路來輸送到該第一加熱器內；吸附反應床吸附：將經由該第一加熱器進行加熱升溫的脫附濃縮氣體透過該第一加熱器輸送管路來輸送至該吸附反應床來進行吸附；觸媒床處理：將經過該吸附反應床進行吸附的脫附濃縮氣體再透過該吸附反應床輸送管路來輸送到觸媒床內進行處理；觸媒床氣體輸送：將經過觸媒床處理後之氣體透過該觸媒床之出氣口所連接的觸媒床熱氣回收管路輸送到該冷卻器內，再由該冷卻器之另一端所連接的冷卻熱氣回收管路輸送到該第二熱交換器之第二熱側管路的一端；以及觸媒床氣體回收輸送：將輸送到該第二熱交換器之第二熱側管路的觸媒床之氣體，再經由與該第二熱交換器之第二熱側管路的另一端所連接的 第二熱氣回收管路來輸送到該廢氣進氣管路連接。
  16. 如申請專利範圍第14或15項所述之觸媒回流高效率有機廢氣處理方法，其中該第二熱交換器之第二熱氣回收管路係進一步設有一除塵設備，該除塵設備係為袋式除塵器、電袋式複合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈衝除塵器、脈衝袋式除塵器、脈衝濾芯除塵器、脈衝噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負壓反吹濾袋除塵器、低壓長袋脈衝除塵器、臥式靜電除塵器、無動力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風除塵器、防爆除塵器之其中任一。
  17. 如申請專利範圍第14或15項所述之觸媒回流高效率有機廢氣處理方法，其中該第二熱交換器之第二熱氣回收管路係進一步設有一濾網裝置，該濾網裝置係用於進行除塵使用。
  18. 如申請專利範圍第14或15項所述之觸媒回流高效率有機廢氣處理方法，其中該第一加熱器及該第二加熱器係進一步分別為電加熱器，該電加熱器係採用電熱絲、電熱管或電熱片之其中任一種。
  19. 如申請專利範圍第14或15項所述之觸媒回流高效率有機廢氣處理方法，其中該第一加熱器及該第二加熱器係進一步分別為管道加熱器，該管道加熱器係採用氣體燃料或液體燃料之其中任一種。
  20. 如申請專利範圍15項所述之觸媒回流高效率有機廢氣處理方法，其中該冷卻器係進一步為殼管式冷卻器、鰭管式冷卻器或板式熱交換器冷卻器之其中任一。
  21. 如申請專利範圍第14或15項所述之觸媒回流高效率有機廢氣處理方法，其中該淨氣排放管路的另一端係進一步連接一煙囪。
  22. 如申請專利範圍第14或15項所述之觸媒回流高效率有機廢氣處理方法，其中該冷卻氣輸送管路與該熱氣輸送管路之間係進一步設有一連通管路，該連通管路係設有一連通控制閥門，該熱氣輸送管路係設有一熱氣控制閥門，並透過該連通控制閥門及該熱氣控制閥門來形成比例風門。
  23. 如申請專利範圍第14或15項所述之觸媒回流高效率有機廢氣處理方法，其中該冷卻氣輸送管路與該熱氣輸送管路之間係進一步設有一聯通管路，該連通管路係設有一連通控制閥門，該冷卻氣輸送管路係設有一冷卻氣控制閥門，並透過該連通控制閥門及該冷卻氣控制閥門來形成比例風門。
  24. 如申請專利範圍第14或15項所述之觸媒回流高效率有機廢氣處理方法，其中該冷卻氣進氣管路係進一步輸送外氣至該吸附轉輪之冷卻區，且該外氣係為新鮮空氣。
  25. 如申請專利範圍第14或15項所述之觸媒回流高效率有機廢氣處理方法，其中該冷卻氣進氣管路係進一步設有一氣體旁通管路，該氣體旁通管路之一端係與該冷卻氣進氣管路連接，該氣體旁通管路之另一端係與該廢氣進氣管路連接。
  26. 如申請專利範圍第14或15項所述之觸媒回流高效率有機廢氣處理方法，其中該淨氣排放管路係進一步設有一風車。
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI255324B (en) * 2004-01-06 2006-05-21 Desiccant Technology Corp Processing system and method of organic exhaust
TWI255897B (en) * 2003-12-09 2006-06-01 Deisccant Technology Corp Processing system and processing method for hydrogen exhausts
TWI360911B (en) * 2005-09-16 2012-03-21 Idatech L L C Thermally primed hydrogen-producing fuel cell syst
TWI531404B (zh) * 2013-04-10 2016-05-01 氣體產品及化學品股份公司 從氣體流移除氫及一氧化碳雜質的方法
TWM591443U (zh) * 2019-08-07 2020-03-01 華懋科技股份有限公司 觸媒回流高效率有機廢氣處理系統

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3109082U (ja) * 2004-11-29 2005-05-12 華懋科技股▲分▼ 有限公司 揮発性有機廃ガス処理装置
CN105597490B (zh) * 2014-11-20 2020-12-01 杰智环境科技股份有限公司 有机废气吸脱附浓缩净化系统及其方法
CN106582263A (zh) * 2015-10-19 2017-04-26 江苏中科睿赛污染控制工程有限公司 一种转轮吸附浓缩-催化氧化装置及工艺
CN106731483A (zh) * 2017-03-21 2017-05-31 上海兰宝环保科技有限公司 适合于高湿度有机废气的废气处理系统
JP6898138B2 (ja) * 2017-03-31 2021-07-07 株式会社竹中工務店 デシカント式調湿装置及びその制御方法
CN108079740A (zh) * 2017-12-26 2018-05-29 嘉园环保有限公司 一种大风量低浓度有机废气处理装置及方法
CN207254044U (zh) * 2018-01-11 2018-04-20 济南颐华环保有限公司 废气用浓缩转轮和催化燃烧一体化系统
CN108854446B (zh) * 2018-08-08 2024-05-28 浙江省环境工程有限公司 沸石转轮吸附-催化燃烧处理有机废气的系统
CN208927872U (zh) * 2018-08-22 2019-06-04 江苏三中奇铭环保科技有限公司 新型有机废气吸附催化一体装置
CN109701358B (zh) * 2019-02-25 2024-02-13 广州键洋环保科技有限公司 一种有机废气吸附与催化燃烧联用系统及其工艺

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI255897B (en) * 2003-12-09 2006-06-01 Deisccant Technology Corp Processing system and processing method for hydrogen exhausts
TWI255324B (en) * 2004-01-06 2006-05-21 Desiccant Technology Corp Processing system and method of organic exhaust
TWI360911B (en) * 2005-09-16 2012-03-21 Idatech L L C Thermally primed hydrogen-producing fuel cell syst
TWI531404B (zh) * 2013-04-10 2016-05-01 氣體產品及化學品股份公司 從氣體流移除氫及一氧化碳雜質的方法
TWM591443U (zh) * 2019-08-07 2020-03-01 華懋科技股份有限公司 觸媒回流高效率有機廢氣處理系統

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