TWI711905B

TWI711905B - 按壓裝置

Info

Publication number: TWI711905B
Application number: TW105106199A
Authority: TW
Inventors: 野村祐樹; 唐牛健男; 中山秀矢
Original assignee: 日商Ｔｈｋ股份有限公司
Priority date: 2015-03-02
Filing date: 2016-03-01
Publication date: 2020-12-01
Also published as: TW201636749A; CN107405853A; JP2016159327A; US20180036985A1; WO2016140184A1; JP6031544B2; KR101836059B1; DE112016001005B4; DE112016001005T5; US10442149B2; CN107405853B; KR20170118927A

Abstract

一種按壓裝置，其具備：致動器；按壓部，其設置於前述致動器之可動件；移動量檢測機構，其檢測前述可動件之移動量，並輸出表示前述移動量之移動量資訊；及驅動裝置，其藉由基於前述移動量資訊將驅動電流供給至前述致動器而使前述按壓部移動從而按壓於被按壓物。前述驅動裝置利用基於表示驅動電流之電流資訊及移動量資訊的位置控制處理來控制按壓部之動作。前述驅動裝置在按壓部之速度減速至特定之下限速度時，基於電流資訊將按壓部之速度控制為一定，且在達到特定之電流值時，則判斷為按壓動作已進行。

Description

按壓裝置

本發明係關於一種按壓裝置。

本發明申請案係基於2015年3月2日於日本申請之日本發明專利2015-039851號而主張其優先權者，且其內容為本申請案所引用。

下述專利文獻1揭示有減小被移動物與被抵接物碰撞時之衝擊力、且縮短為獲得按壓所需要的力而需要之時間的自動壓抵方法。

該自動壓抵方法係使用馬達使被移動物移動，從而將被移動物壓抵於被抵接物之自動壓抵方法。在該自動壓抵方法中，係如下述般控制馬達而將被移動物壓抵於被抵接物。首先，在被移動物之移動一開始，就以最大加速度加速被移動物。其後，將被移動物之速度以最大減速度減速至容許值以下直至被移動物碰觸到被抵接物為止。在被移動物之速度為容許值以下時則再次加速。其後，再次減速並以發生特定之扭矩之方式控制馬達從而將被移動物壓抵於被抵接物。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利第2828406號公報

在上述先前技術中，藉由在以最大加速度加速被移動物(按壓部) 之後減速，且在被移動物之速度變為容許值以下時再次加速後而再次減速，可縮短按壓部自移動開始至停止的時間(節拍時間)。然而，由於在即將壓抵被抵接物(被按壓物)之前再次加速後又減速，故存在有無法充分減速按壓部，從而無法抑制按壓部與被按壓物碰撞時之衝擊力的可能性。

本發明提供一種縮短節拍時間，且抑制由按壓部對被按壓物所造成之衝擊力的按壓裝置。

根據本發明之第1態樣，按壓裝置具備：致動器；按壓部，其設置於前述致動器之可動件；移動量檢測機構，其檢測前述可動件之移動量，並輸出表示前述移動量之移動量資訊；及驅動裝置，其藉由基於前述移動量資訊將驅動電流供給至前述致動器而使前述按壓部移動從而按壓於被按壓物。前述驅動裝置將前述按壓部與被按壓物所接觸之位置預先記憶為目標位置。前述驅動裝置在使前述按壓部之移動一開始，則利用基於表示前述驅動電流之電流資訊及前述移動量資訊的位置控制處理，使前述按壓部以最大加速度加速至最大速度。前述驅動裝置在前述按壓部之速度達到最大速度時維持最大速度。若前述按壓部到達在使前述按壓部以最大減速度減速之情形下在前述目標位置處前述按壓部之速度變為0之減速開始位置時，則前述驅動裝置使前述按壓部以最大減速度減速。前述驅動裝置在前述按壓部之速度減速至特定之下限速度時，則自前述位置控制處理切換至基於前述電流資訊之推力控制處理，且基於前述電流資訊將前述按壓部之速度控制為一定。前述驅動裝置在達到特定之電流值時，則判斷為按壓動作已進行。

根據本發明之第2態樣，可行的是，前述驅動裝置在使前述按壓部以一定速度朝前述被按壓物移動時，基於供給至前述致動器之驅動電流變為特定之臨限值以上之時點的移動量資訊算出前述可動件之位置，並將該位置記憶為前述目標位置。

根據本發明之第3態樣，可行的是，前述驅動裝置在前述目標位置上加算特定之距離而算出臨時目標位置，並基於該臨時目標位置算出前述減速開始位置。

根據本發明之第4態樣，可行的是，前述驅動裝置在前述按壓部停止時，將此時之驅動電流記憶為參考電流，基於該參考電流算出移動質量，基於該移動質量算出前述最大減速度，基於前述最大減速度算出以前述最大減速度自前述下限速度減速至0為止所需之減速時間，進而藉由在自前述最大減速度及前述減速時間所求得之修正距離上加算前述目標位置而算出臨時目標位置，且基於該臨時目標位置而算出前述減速開始位置。

根據本發明之第5態樣，前述致動器可為線性馬達。

根據本發明之第6態樣，可行的是，前述按壓部具備固持特定之電子部件之固持機能，並使前述電子部件作為搭載物被按壓而搭載於被搭載物且為前述被按壓物之印刷基板上。

根據上述之按壓裝置，可縮短節拍時間，且抑制由按壓部對被按壓部所造成之衝擊力。

A:按壓裝置

Bs:基板

D1:電力轉換器

D2:電流感測器

D3:操作部

D4:控制部

Dv:驅動裝置

Ec:編碼器(移動量檢測機構)

Ks:固定件

Kt:吸附部(按壓部)

Ld:可動件

Lm:線性馬達(致動器)

S1:步驟

S2:步驟

S3:步驟

S4:步驟

S5:步驟

S6:步驟

S7:步驟

S8:步驟

S9:步驟

S21:步驟

S22:步驟

S23:步驟

S24:步驟

S25:步驟

S26:步驟

S27:步驟

S28:步驟

S29:步驟

S31:步驟

S32:步驟

S41:步驟

S42:步驟

S43:步驟

S44:步驟

S45:步驟

S46:步驟

S47:步驟

S48:步驟

S49:步驟

St:接著劑

Wk:工件

圖1係顯示本發明之實施形態之按壓裝置的模式圖。

圖2(a)~圖2(c)係顯示本發明之實施形態之按壓裝置之動作的模式圖。

圖3係顯示本發明之實施形態之驅動裝置之動作的流程圖。

圖4係顯示本發明之實施形態之驅動裝置之動作的流程圖。

圖5係顯示本發明之實施形態之驅動裝置之動作的流程圖。

圖6(a)~圖6(c)係顯示本發明之實施形態之按壓裝置之動作的模式圖。

圖7係顯示本發明之實施形態之驅動裝置之動作的時序圖。

圖8係顯示本發明之實施形態之驅動裝置之動作的流程圖。

圖9(a)、圖9(b)係顯示本發明之實施形態之驅動裝置之修正距離的時序圖。

以下，參照圖式說明本發明之實施形態。

如圖1所示，本實施形態之按壓裝置A具備：線性馬達Lm(致動器)、編碼器Ec(移動量檢測機構)、吸附部Kt(按壓部)及驅動裝置Dv。按壓裝置A使安裝於線性馬達Lm所具備之可動件Ld的吸附部Kt在鉛直方向上移動，而將被吸附部Kt吸附(亦即固持)之電子部件等之工件Wk朝基板Bs(被按壓物)按壓。藉此，按壓裝置A可將工件Wk經由接著劑St安裝於基板Bs之特定之部位。又，由線性馬達Lm、編碼器Ec及驅動裝置Dv構成按壓裝置。此外，基板Bs為例如印刷基板。

線性馬達Lm具備固定件Ks及可動件Ld。線性馬達Lm基於自驅動裝置Dv輸入之驅動電力而使可動件Ld在鉛直方向上直線運動。固定件Ks具有例如大致四角柱狀之形狀。固定件Ks係以在鉛直方向上延伸之姿勢而被支持於特定之構造物，且在內部沿延伸方向配列有複數個線圈。上述複數個線圈係分別包含例如U相、V相、W相的線圈。驅動電力自驅動裝置Dv經由電力線被供給至上述複數個線圈。在固定件Ks之兩端面設置有用於導引可動件Ld之直線運動的軸承。

可動件Ld由例如不銹鋼等之非磁性材料構成。可動件Ld呈具有中空之空間的管狀形狀。在可動件Ld之中空空間內，彼此同極對向而積層有複數個圓柱狀之磁體。亦即，各磁體以使相鄰接之磁體之一者以N極彼此對向、且使相鄰接之磁體之另一者以S極彼此對向之方式積層。在磁體之間夾隔有例如鐵等之磁性體。該可動件Ld插通於所配列之複數個線圈中所設之孔，且藉由設置於固定件Ks之軸承在軸線方向上被可移動地被支持。

編碼器Ec係例如光學式或磁式之感測器。編碼器Ec檢測線性馬達Lm之可動件Ld之移動量(亦即移動距離)，並將表示所檢測之移動量之移動量資訊經由信號線輸出至驅動裝置Dv。吸附部Kt設置於可動件Ld之一端，亦即可動件Ld之基板Bs側之端部，藉由未圖示之真空泵之真空處理而真空吸附工件Wk。

驅動裝置Dv基於自編碼器Ec輸入之移動量資訊驅動線性馬達Lm。如圖1所示，驅動裝置Dv具備電力轉換器D1、電流感測器D2、操作部D3及控制部D4。

電力轉換器D1基於自控制部D4輸入之開關信號(換流器驅動信號)將自外部供給之電力轉換為特定頻率之交流電力(驅動電力)，並供給至線性馬達Lm之U、V、W相之各線圈。換言之，該電力轉換器D1利用上述換流器驅動信號驅動複數個開關元件，藉此將自外部供給之電力以特定頻率(驅動頻率)轉換為交流電力。電流感測器D2檢測自電力轉換器D1供給至線性馬達Lm之U相及V相之線圈的驅動電流之電流值，並將檢測結果作為電流資訊輸出至控制部D4。

操作部D3接收各種操作指示，並將與操作指示相對應之操作信號輸出至控制部D4。控制部D4包含微電腦及與彼此電性連接之各部進行各種信號之收發的介面電路等。該控制部D4基於記憶於上述微電腦之各種演算控制程式進行各種演算處理且與各部進行通信，藉此來控制驅動裝置Dv之整體動作。又，針對控制部D4之動作之細節將如後述所述。

其次，針對如此般構成之驅動裝置Dv之動作參照圖2~圖9予以說明。

驅動裝置Dv基於被輸入至操作部D3之操作指示執行各種動作。例如，驅動裝置Dv在位置檢測指示被輸入至操作部D3時，即開始檢測並記憶後述之目標位置的位置檢測動作。此處，如圖2(a)所示般，工件Wk經由接著劑St而被安裝於基板Bs上。又，吸附部Kt不進行真空吸附，真空泵之真空處理亦停止。另外，可動件Ld(亦即吸附部Kt)位於原點位置(參照圖2(a))。

具體而言，驅動裝置Dv在位置檢測指示被輸入至操作部D3時，則使吸附部Kt移動而朝向按壓工件Wk之方向、亦即如圖2(a)所示般朝基板Bs開始以一定速度向下方方向移動(步驟S1)。換言之，在驅動裝置Dv中，控制部D4若被輸入與來自操作部D3之位置檢測指示相對應之操作信號時，則會基於自編碼器Ec輸入之移動量資訊於電力轉換器D1生成使可動件Ld(亦即吸附部Kt)以一定速度朝下方方向移動之驅動電流。

此時，控制部D4基於由移動量資訊所表示之可動件Ld(亦即吸附部Kt)之移動量而控制使得吸附部Kt之當前之速度為一定速度。換言之，在吸附部Kt之當前之速度較上述一定速度慢時，控制部D4將會使電力轉換器D1所生成之驅動電流增大。在吸附部Kt之當前之速度較一定速度快時，控制部D4則會使電力轉換器D1所生成之驅動電流減少。

繼而，控制部D4基於移動量資訊算出吸附部Kt之當前之位置，並判定當前之位置是否處於特定之限度值(以下稱為行程限制)以下(步驟S2)。所謂上述行程限制，係指吸附部Kt之移動界限值。上述行程限制亦可為由使用者設定之設定值。

控制部D4在當前之位置未處於行程限制以下時(NO之情形)，則認知為位置檢測動作失敗(步驟S3)。在上述步驟S3完成後，控制部D4控制電力轉換器D1，而如圖2(c)所示般，將吸附部Kt返回至原點位置 (步驟S4)。

另一方面，控制部D4在吸附部Kt之當前之位置未處於行程限制以上(亦即未達行程限制)時(YES之情形)，則基於自電流感測器D2輸入之電流資訊而算出供給至線性馬達Lm之當前之驅動電流，並判定該驅動電流是否在特定之臨限值(以下稱為按壓電流)以上(步驟S5)。換言之，控制部D4藉由吸附部Kt與工件Wk接觸(參照圖2(b))，吸附部Kt接受工件Wk之反力而增大驅動電流，並判定該驅動電流是否成為上述按壓電流以上。又，上述按壓電流係預先記憶於控制部D4之控制參數。

控制部D4在自電力轉換器D1供給至線性馬達Lm之當前之驅動電流為按壓電流以上時(「是」之情形)，則內部所具有之計數器開始計數(步驟S6)，且僅基於電流資訊而控制吸附部Kt(可動件Ld)之移動。繼而，控制部D4判定上述計數器之值是否達到特定之計數值(步驟S7)。在上述計數器之值未達到特定之計數值(亦即未及於特定之計數值)時(「否」之情形)，控制部D4將返回至上述步驟S2之處理。

另一方面，控制部D4在上述計數器之值達到特定之計數值時(「是」之情形)，則將該當前之位置記憶為目標位置，並認知為位置檢測動作成功(步驟S8)。控制部D4以特定之週期反覆執行上述步驟S2、S5、S6、S7之處理。換言之，在上述步驟S7之處理中，所謂上述計數器之值達到特定之計數值之情形，係指在上述步驟S5之處理中在當前之驅動電流變為按壓電流以上後，經過與上述計數值對應之特定之時間的狀況。因此，控制部D4在當前之驅動電流變為按壓電流以上後經過特定之時間之情形，亦即在上述步驟S7之處理結果為「是」之情形下，執行上述步驟S8之處理。

另外，上述目標位置係表示下述位置之值，即：為後述之按壓動作所使用之將工件Wk朝基板Bs按壓時吸附部Kt應該到達之到達位置，亦即，在進行按壓動作時被吸附部Kt吸附之工件Wk與基板Bs接觸時之吸附部Kt的位置。此外，控制部D4在上述步驟S5之處理中，當前之驅動電流不在按壓電流以上(亦即未達按壓電流)時(「否」之情形)，重設上述計數器(步驟S9)。

控制部D4在上述步驟S3及上述步驟S8完成後，控制電力轉換器D1，而如圖2(c)所示般，將吸附部Kt返回至原點位置(步驟S4)。驅動裝置Dv執行上述步驟S1~S9之處理而完成位置檢測動作。本實施形態因僅憑藉使用者向操作部D3輸入位置檢測指示即可自動地執行位置檢測動作而檢測並記憶目標位置，故無需使用者自身利用人手操作等來檢測目標位置，從而能夠減輕使用者之時間與勞力。

另一方面，驅動裝置Dv在按壓指示被輸入至操作部D3時，則使線性馬達Lm開始將工件Wk朝基板Bs上按壓之按壓動作。此處，可動件Ld(亦即吸附部Kt)如圖6(a)所示般位於原點位置。又，吸附部Kt處於將工件Wk真空吸附之狀態。換言之，工件Wk處於可由吸附部Kt舉起之狀態。又，在基板Bs上之特定之部位，如圖6(a)所示般，塗佈有用於接著工件Wk之接著劑St。

首先，在驅動裝置Dv中，控制部D4判定是否自操作部D3已輸入與按壓指示相對應之操作信號(步驟S21)。在未輸入與按壓指示相對應之操作信號時(「否」之情形)，則返回至上述步驟S21之處理。另一方面，在已輸入與按壓指示相對應之操作信號時(「是」之情形)，控制部D4使吸附部Kt移動從而將工件Wk朝按壓於基板Bs之方向移動，亦即如圖6(a)所示般使吸附部Kt開始朝基板Bs而向下方方向移動，從而執行位置控制處理(步驟S22)。位置控制處理係基於移動量資訊及電流資訊而一面改變吸附部Kt之速度，且將吸附部Kt朝上述之目標位置移動之處理。

具體而言，控制部D4在上述位置控制處理中，在使吸附部Kt移動開始時即以最大加速度加速至最大速度(參照圖7)。所謂上述最大加速度，係指將最大電流作為驅動電流供給至線性馬達Lm時所發生之加速度。又，上述最大速度亦根據最大電流而決定。此外，最大電流係基於線性馬達Lm或驅動裝置Dv之規格而確定。控制部D4預先記憶上述最大電流，並使電力轉換器D1生成作為驅動電流之最大電流，從而使吸附部Kt以最大加速度加速。

繼而，控制部D4在位置控制處理中，若吸附部Kt之速度達到最大速度時，則使吸附部Kt維持為最大速度(參照圖7)。亦即，控制部D4預先記憶上述最大速度，且基於移動量資訊算出吸附部Kt之當前之速度。若當前之速度達到最大速度時，則控制部D4會使吸附部Kt維持為最大速度。

進而，控制部D4在位置控制處理中，使吸附部Kt維持為最大速度後，若吸附部Kt到達在以最大減速度減速之情形下在上述之目標位置處吸附部Kt之速度成為0之減速開始位置時，則使吸附部Kt以最大減速度開始減速(參照圖7)。上述最大減速度係基於線性馬達Lm或驅動裝置Dv之規格而決定。又，上述減速開始位置係基於上述目標位置及最大減速度而決定。控制部D4基於目標位置及最大減速度預先算出減速開始位置，並記憶減速開始位置。

此外，控制部D4在執行位置控制處理之同時，執行減速完成判定處理(步驟S23)。所謂減速完成判定處理，係指判定吸附部Kt之以最大減速度之減速是否完成的處理。

具體而言，控制部D4在上述減速完成判定處理中，基於移動量資訊算出吸附部Kt之當前之位置，並判定當前之位置是否位於「目標位置/2」以上(步驟S31)。控制部D4在吸附部Kt之當前之位置不在「目標位置/2」以上(亦即未達「目標位置/2」)時(「否」之情形)，會返回至步驟S31之處理。另一方面，控制部D4在吸附部Kt之當前之位置位於「目標位置/2」以上時(「是」之情形)，會基於移動量資訊算出吸附部Kt之當前之速度，並判定當前之速度是否在特定之下限速度(以下稱為按壓速度)以下(步驟S32)。亦即，控制部D4判定吸附部Kt之速度是否減速至按壓速度。

控制部D4在執行位置控制處理之同時，藉由反覆執行上述減速完成判定處理、亦即上述步驟S31、S32之處理，而判斷減速完成。又，之所以設置上述步驟S31之處理，係緣於若減速完成判定處理僅憑藉上述步驟S32處理時，會存在誤判定減速完成之可能性。換言之，減速完成判定處理在僅憑藉上述步驟S32之處理之情形下，在執行位置控制處理中將吸附部Kt以最大加速度加速之際，若吸附部Kt之當前之速度在按壓速度以下時，亦會判斷為減速完成。為防止該誤判定，藉由設置上述步驟S31之處理，在步驟S32之處理中，不是在加速時，而是在減速時，判定當前之速度成為特定之下限速度以下。

控制部D4在吸附部Kt之當前之速度不在按壓速度以下(亦即超過按壓速度)時(「否」之情形)，將返回至步驟S32之處理。另一方面，控制部D4在當前之速度為按壓速度以下時(「是」之情形)，會替代位置控制處理而執行推力控制處理。推力控制處理係指基於電流資訊使吸附部Kt之移動速度保持穩定，且將吸附部Kt朝目標位置移動之處理。此時，控制部D4為使吸附部Kt之當前之速度保持穩定，而使電力轉換器D1基於電流資訊所生成之驅動電流保持穩定。

控制部D4對按壓速度設定速度指令值(步驟S24)，且基於速度指令值對按壓電流設定電流指令(步驟S25)。控制部D4基於電流資訊將吸附部Kt之速度控制為一定。控制部D4基於移動量資訊算出吸附部Kt之當前之位置，並判定當前之位置是否位於特定之按壓界限位置以下(步驟S26)。所謂上述按壓界限位置，係指機械性行程末端(例如工件Wk之下之基板Bs之位置)，或亦可為由使用者設定之設定值。

控制部D4在當前之位置不在按壓界限位置以下時(「否」之情形)，亦即當前之位置超過按壓界限位置時，以當前之位置超過按壓界限位置而認知為按壓動作失敗(步驟S27)。另一方面，控制部D4在當前之位置位於按壓界限位置以下時(「是」之情形)，在使吸附部Kt以一定速度移動時，基於電流資訊判定當前之驅動電流是否為上述之按壓電流以上(步驟S28)。換言之，控制部D4藉由被吸附部Kt吸附之工件Wk經由接著劑St與基板Bs接觸(參照圖6(b))，且吸附部Kt接受工件Wk之反力而增大驅動電流，並判定該驅動電流是否為上述按壓電流以上。

控制部D4在當前之驅動電流不在按壓電流以上(亦即未達按壓電流)時(「否」之情形)，返回至上述步驟S26之處理。另一方面，控制部D4在供給至線性馬達Lm之當前之驅動電流為按壓電流以上時(「是」之情形)，判斷為吸附部Kt已進行按壓(判斷為按壓動作已進行)(步驟S29)。所謂供給至線性馬達Lm之當前之驅動電流為按壓電流以上之情形，係指吸附部Kt已到達目標位置之狀況。此外，在上述推力控制處理中，控制部D4係使吸附部Kt朝目標位置移動，但是若供給至線性馬達Lm之當前之驅動電流為按壓電流以上，則會如上述般使吸附部Kt之移動停止。

此處，吸附部Kt係停止未圖示之真空泵之真空處理，而解除真空吸附。而且，控制部D4在步驟S26之處理之後，控制電力轉換器D1，如圖6(c)所示般將吸附部Kt返回至原點位置。驅動裝置Dv執行上述步驟S21~S29之處理，而完成按壓動作。

本實施形態係在吸附部Kt之速度減速至按壓速度時，則利用推力控制處理將吸附部Kt之速度控制為一定，若達到至特定之電流值，則判斷為按壓動作已經進行者。因此，在本實施形態中，不存在如上述之先前技術般不能充分地將吸附部Kt減速之可能性，而可抑制由吸附部Kt對工件Wk或基板Bs所造成之衝擊力。

進而，作為上述按壓動作之變形例，驅動裝置Dv執行算出修正距離之修正距離算出動作，該修正距離係用於縮短從吸附部Kt變為按壓速度後直至到達目標位置為止之時間、亦即推力控制處理之時間者。上述修正距離算出動作只要是在自線性馬達Lm之電源接通後直至開始按壓動作為止的期間，在任一時間皆可進行。例如可於正在執行上述位置檢測動作之期間而進行。具體而言，可在即將進行步驟S4之處理之前，亦即，在吸附部Kt就要返回至原點位置之前而進行。

首先，在驅動裝置Dv中，控制部D4判定吸附部Kt是否處於停止中且不在按壓中(步驟S41)。控制部D4在「否」之情形下，亦即吸附部Kt不在停止中或處於按壓中時，不執行修正距離之算出而終了(步驟S42)。

控制部D4在「是」之情形下，亦即在吸附部Kt處於停止中且不在按壓中時，基於電流資訊算出供給至線性馬達Lm之當前之驅動電流，並將該驅動電流記憶為參考電流(步驟S43)。此時，控制部D4將自電流資訊獲得之驅動電流經時間平均後記憶為參考電流。

繼而，控制部D4將所記憶之參考電流代入下述式(1)，算出包含可動件Ld及吸附部Kt之質量的移動質量(步驟S44)。上述移動質量在工件Wk被吸附部Kt吸附之情形下包含工件Wk；在工件Wk未被吸附部Kt吸附之情形下不包含工件Wk。換言之，移動質量在工件Wk被吸附部Kt吸附之情形下，為可動件Ld、吸附部Kt及工件Wk之質量，在工件Wk被吸附部Kt吸附之情形下，為可動件Ld及吸附部Kt之質量。

質量[kg]=參考電流[Arms]×馬達常數[N/Arms]/重力加速度[m/sec^2] (1)

繼而，控制部D4將上述質量代入下述式(2)，算出最大減速度(步驟S45)。

最大減速度[m/sec^2]=最大推力[N]/質量[kg]-重力加速度[m/sec^2] (2)

繼而，控制部D4將最大減速度代入下述式(3)，算出吸附部Kt自按壓速度起以最大減速度減速至0為止所需要之減速時間。

減速時間[sec]=按壓速度[m/sec]/最大減速度[m/sec^2] (3)

繼而，控制部D4根據下述式(4)演算，亦即算出將以最大減速度乘以減速時間之2次方之值再乘以特定之調整值所得的修正距離(步驟S46)。又，上述調整值例如為「0.5」。

修正距離[mm]=調整值×最大減速度[m/sec^2]×減速時間[sec]^2×1000 (4)

而後，控制部D4判定所算出之修正距離是否在特定之範圍內(步驟S47)。換言之，控制部D4判定修正距離是否為特定之範圍外之異常值。控制部D4在修正距離處於特定之範圍內時(「是」之情形)，以新算出之修正距離更新以前算出且記憶之修正距離(步驟S48)。另一方面，控制部D4在修正距離不在特定之範圍內時(「否」之情形)，不進行修正距離之更新(步驟S49)。上述修正距離在吸附部Kt未吸附工件Wk之情形、與吸附之情形下，如圖9所示般大不相同。亦即，修正距離在移動質量為輕之情形下變小，在移動質量為重之情形下變大。

另外，控制部D4在上述之目標位置上加算修正距離而算出臨時目標位置。其後，控制部D4基於臨時目標位置替代目標位置而算出減速開始位置。按壓指示被輸入後，在上述之位置控制處理(上述步驟S22之處理)中，若吸附部Kt到達上述減速開始位置時，則控制部D4使吸附部Kt以最大減速度開始減速(參照圖9)。在本實施形態中，由於藉由使用修正距離，能夠縮短推力控制處理之時間，故可進一步縮短節拍時間。在按壓裝置A中，移動質量越重則減速度會越小。因此，若設置與工件Wk之重量無關的相同之修正距離，則在工件Wk重時，到達目標位置之時間會變長，而發生時間浪費。因此，若採用較目標位置為後大幅度採取修正距離，則在目標位置之附近變為特定之減速度，在切換為推力控制處理時可不易發生時間浪費。

又，在工件Wk輕之情形下，與工件Wk重之情形相比，因減速度不會變小，故無需大幅度採取修正距離，即便修正距離短亦不易發生時間浪費。

根據如此之本實施形態，若吸附部Kt之速度減速至按壓速度時，則將吸附部Kt維持為按壓速度，且吸附部Kt在到達目標位置時停止。因此，不存在如上述之先前技術所述般無法將吸附部Kt充分減速之可能性，且可抑制由安裝於可動件Ld之吸附部Kt對工件Wk或基板Bs所造成之衝擊力。

又，本實施形態在吸附部Kt開始移動時就以最大加速度使其加速至最大速度，在吸附部Kt之速度達到最大速度時則維持最大速度直至其位於上述減速開始位置為止，藉此可縮短節拍時間。又，本實施形態僅由使用者將按壓指示輸入至操作部D3，即可自動地執行按壓動作。因此，可減輕各種參數之輸入等之使用者的時間與勞力。

又，本實施形態因僅憑使用者向操作部D3輸入位置檢測指示即可自動地執行位置檢測動作而檢測目標位置，故無需使用者自身利用人手操作等來檢測並記憶目標位置，從而能夠減輕使用者之時間與勞力。又，在本實施形態中，因藉由使用修正距離能夠縮短推力控制處理之時間，故可縮短節拍時間。

又，本實施形態之致動器具備線性馬達Lm，該線性馬達Lm使吸附部Kt做直線運動，藉此可將被吸附部Kt吸附之工件Wk按壓於基板B。又，在本實施形態中，吸附部Kt吸附亦即固持特定之電子部件即工件Wk，且將工件W作為搭載物按壓於被搭載物且為被按壓物之基板Bs上搭載，藉此減輕在將工件Wk搭載於基板Bs上時之人的時間與勞力。

另外，本發明並不限定於上述各個實施形態，亦可考量例如以下之變形例。

(1)在上述各實施形態中，係自動地算出減速開始位置，但先前係由使用者將減速開始位置以人手輸入。亦可將如此之先前之按壓動作、與上述之新的按壓動作(上述步驟S21~27之處理)，由使用者選擇而使用。

(2)在上述各實施形態中，係針對將本發明應用於具備線性馬達Lm之裝置之情形予以說明，但本發明並不限定於此。本發明亦可應用於具備線性馬達Lm以外之旋轉馬達之裝置。

(3)在上述實施形態中，係在按壓動作中將被吸附部Kt吸附之工件Wk按壓於基板Bs，但本發明並不限定於此。本發明亦可應用於下述裝置，即：藉由不具有吸附機能之按壓部對經由接著劑St配置於基板Bs上之工件Wk予以按壓，而將工件Wk按壓於基板Bs。

(4)在上述實施形態中，係利用上述之修正距離算出動作而算出修正距離，並藉由將該修正距離加算在目標位置上而算出臨時目標位置，但本發明並非限定於此。例如，本發明既可藉由將使用者所輸入之修正距離加算在目標位置上而算出臨時目標位置，或，亦可利用非上述之式(1)~(4)的其他之式而算出修正距離，並將該修正距離加算在目標位置上而算出臨時目標位置。

(5)在上述實施形態中，係在減速完成判定處理之步驟S31中以「目標位置/2」為基準判定吸附部Kt是否減速，但本發明並不限定於此。可行的是，使用例如編碼器Ec算出吸附部Kt之速度，並觀察所算出之吸附部Kt之平均速度之變化量，若該平均速度減少則判定吸附部Kt減速。又，亦可使用例如加速度感測器來判定吸附部Kt之減速，另外，亦可利用驅動電流流動之方向來判定吸附部Kt之減速。

[產業上之可利用性]

A‧‧‧按壓裝置

Bs‧‧‧基板

D1‧‧‧電力轉換器

D2‧‧‧電流感測器

D3‧‧‧操作部

D4‧‧‧控制部

Dv‧‧‧驅動裝置

Ec‧‧‧編碼器(移動量檢測機構)

Ks‧‧‧固定件

Kt‧‧‧吸附部(按壓部)

Ld‧‧‧可動件

Lm‧‧‧線性馬達(致動器)

St‧‧‧接著劑

Wk‧‧‧工件

Claims

一種按壓裝置，其包含：致動器；按壓部，其設置於前述致動器之可動件；移動量檢測機構，其檢測前述可動件之移動量，並輸出表示前述移動量之移動量資訊；及驅動裝置，其藉由基於自上述移動量檢測機構所輸入之前述移動量資訊將驅動電流供給至前述致動器而使前述按壓部移動，從而將吸附於上述按壓部之特定之電子部件按壓於被按壓物，且前述按壓部具備用以進行前述特定之電子部件之真空固持之真空固持機能，並使前述特定之電子部件作為搭載物被按壓而搭載於前述被按壓物之被搭載物即印刷基板上，前述驅動裝置具有電力轉換器、電流感測器、操作部、控制部，前述電流感測器檢測自前述電力轉換器供給至前述致動器之前述驅動電流之電流值，並將檢測結果輸出至前述控制部，前述操作部接收各種操作指示，並將與前述操作指示相對應之操作信號輸出至前述控制部，前述控制部將前述按壓部與被按壓物接觸之位置預先記憶為目標位置，在使前述按壓部之移動一開始，則利用基於表示前述驅動電流之電流資訊及前述移動量資訊的位置控制處理，使前述按壓部以最大加速度加速至最大速度，在前述按壓部之速度達到最大速度時，維持最大速度，若前述按壓部到達在使前述按壓部以最大減速度減速之情形下在前述目標位置處前述按壓部之速度變為0之減速開始位置時，則使前述按壓部以最大減速度減速，在前述按壓部之速度減速至特定之下限速度時，則自前述位置控制處理切換至基於前述電流資訊之推力控制處理，且基於前述電流資訊將前述按壓部之速度控制為一定，並且在達到特定之電流值時，則判斷為按壓動作已進行，前述控制部在使前述按壓部以一定速度朝前述被按壓物移動時，基於自電流感測器所輸入之前述電流資訊，並基於供給至前述致動器之驅動電流變為特定之臨限值以上之時點的移動量資訊而算出前述可動件之位置，並將該位置記憶為前述目標位置，前述控制部在執行前述位置控制處理之同時，執行減速完成判定處理，該減速完成判定處理判定前述按壓部之以最大減速度之減速是否完成，前述控制部在前述減速完成判定處理中，實行第一處理，該第一處理基於前述移動量資訊算出前述按壓部之當前之位置，並判定前述當前之位置是否位於「目標位置/2」以上，前述控制部在前述按壓部之當前之位置不在「前述目標位置/2」以上時，重複實行前述第一處理，前述控制部在前述按壓部之前述當前之位置位於「目標位置/2」以上時，實行第二處理，該第二處理基於前述移動量資訊算出前述按壓部之當前之速度，並判定前述當前之速度是否在特定之下限速度以下。
如請求項1之按壓裝置，其中前述控制部在前述目標位置上加算特定之距離而算出臨時目標位置，並基於該臨時目標位置算出前述減速開始位置。
如請求項1之按壓裝置，其中前述控制部在前述按壓部停止時，將此時之驅動電流記憶為參考電流，基於該參考電流算出移動質量，基於該移動質量算出前述最大減速度，基於前述最大減速度算出以前述最大減速度自前述下限速度減速至0為止所需之減速時間，進而藉由在自前述最大減速度及前述減速時間所求得之修正距離上加算前述目標位置而算出臨時目標位置，並基於該臨時目標位置而算出前述減速開始位置。
如請求項1之按壓裝置，其中前述致動器為線性馬達。
如請求項2之按壓裝置，其中前述致動器為線性馬達。
如請求項3之按壓裝置，其中前述致動器為線性馬達。