TWI790477B - 物件容器搬運防墜裝置 - Google Patents

Abstract

一種物件容器搬運防墜裝置，其設置於機械手臂的一操作端，該操作端能用以承載物件容器(如光罩盒)，使物件容器移動至預定位置。該防墜裝置包括一驅動裝置及一防墜件，驅動裝置設置於機械手臂的操作端，驅動裝置為電動缸或氣壓缸等裝置，防墜件連接於驅動裝置，驅動裝置能驅動防墜件，使防墜件移動至物件容器的上方，用以擋止物件容器。由此，機械手臂在搬運物件容器的過程中，能有效地防止物件容器跳脫墜落。

Description

物件容器搬運防墜裝置

本發明涉及一種物件容器搬運防墜裝置，特別是涉及一種用於搬運光罩盒等物件容器的防墜裝置。

光罩盒係用於儲存光罩，主要用於避免光罩遭受外部微塵粒子及化學污染，光罩盒在製程的輸送過程中，通常會以機械手臂來搬運光罩盒，該機械手臂的一端具有一操作端，該機械手臂的操作端能承托於光罩盒的底部或夾持於光罩盒的兩側，以便利用機械手臂將光罩盒搬運至適當的位置。然而機械手臂在搬運光罩盒的過程中，光罩盒會有跳脫墜落的情形發生，進而造成生產者的不便或產品易產生瑕疵等問題。另，晶圓盒等其他的物件容器，在利用機械手臂搬運的過程中，同樣也會有跳脫墜落的情形發生。

本發明所要解決的技術問題在於，針對現有技術的不足提供一種物件容器搬運防墜裝置，機械手臂在搬運物件容器的過程中，能有效地防止物件容器跳脫墜落。

為了解決上述的技術問題，本發明提供一種物件容器搬運防墜裝置，其設置於機械手臂上，該機械手臂具有一操作端，該操作端能用以承載物件容器，該物件容器搬運防墜裝置包括：一驅動裝置，該驅動裝置設置於該機械手臂的操作端，該驅動裝置具有一驅動部；以及一防墜件，該防墜件連接於該驅動裝置的驅動部，該驅動裝置能用以驅動該防墜件，使該防墜件在一第一位置及一第二位置之間移動，該防墜件靠近該物件容器的一側形成一收容空間；其中當該防墜件在該第一位置時，該防墜件至少一部分位於該物件容器的上方，且該收容空間收容該物件容器的一部分，能用以擋止該物件容器；當該防墜件在該第二位置時，該防墜件離開該物件容器。

本發明的有益效果在於，本發明所提供的物件容器搬運防墜裝置，包括驅動裝置及防墜件，防墜件連接於驅動裝置的驅動部，驅動裝置能用以驅動防墜件，使防墜件在第一位置及第二位置之間移動。當防墜件在第一位置時，防墜件至少一部分位於物件容器的上方，防墜件的收容空間收容物件容器的一部分，能用以擋止物件容器，因此機械手臂在搬運物件容器的過程中，能有效地防止物件容器跳脫墜落。

再者，本發明的收容空間收容物件容器的一部分，即能有效的擋止物件容器，防墜件的移動行程較短，且可有效的減少防墜件與物件容器的接觸，以避免物件容器刮傷。

為使能更進一步瞭解本發明的特徵及技術內容，請參閱以下有關本發明的詳細說明與圖式，然而所提供的圖式僅用於提供參考與說明，並非用來對本發明加以限制。

以下是通過特定的具體實施例來說明本發明所公開有關的實施方式，本領域技術人員可由本說明書所公開的內容瞭解本發明的優點與效果。本發明可通過其他不同的具體實施例加以施行或應用，本說明書中的各項細節也可基於不同觀點與應用，在不背離本發明的構思下進行各種修改與變更。另外，本發明的附圖僅為簡單示意說明，並非依實際尺寸的描繪，事先聲明。以下的實施方式將進一步詳細說明本發明的相關技術內容，但所公開的內容並非用以限制本發明的保護範圍。另外，本文中所使用的術語“或”，應視實際情況可能包括相關聯的列出項目中的任一個或者多個的組合。

[第一實施例]

請參閱圖1及圖2，本發明提供一種物件容器搬運防墜裝置，其設置於機械手臂100上，該機械手臂100可為多軸式驅動的機構，惟該機械手臂100的結構並不限制。該機械手臂100具有一操作端101，該操作端101能用以承載物件容器200，使該物件容器200移動至預定位置，該物件容器200可為光罩盒或晶圓盒等容器。該機械手臂100的操作端101可對應於所搬運之物件容器200的型式而加以變化，在本實施例中，該機械手臂100的操作端101具有一承載板102，該承載板102能用以承載物件容器200，且該承載板102的邊緣設有多個凸緣103，能用以定位物件容器200，使該物件容器200不會在承載板102上水平移動。由於機械手臂100為現有技術，且本發明並不限制機械手臂100的結構，故不再予以贅述。

該物件容器搬運防墜裝置包括一驅動裝置1及一防墜件2，該驅動裝置1可為電動缸或氣壓缸等裝置，該驅動裝置1設置於機械手臂100的操作端101，亦即該驅動裝置1可固定於機械手臂100的操作端101，該驅動裝置1具有一驅動部11。

該防墜件2的結構並不限制，在本實施例中，該防墜件2具有一板狀本體21，該板狀本體21可呈長型板體，較佳的，該板狀本體21呈T型板體，該防墜件2的形狀及面積並不限制，可因應需要而加以變化。該防墜件2靠近物件容器200的一側形成一收容空間22，在本實施例中，該收容空間22位於板狀本體21靠近物件容器200的一側，亦即該收容空間22位於板狀本體21的下側，且該收容空間22的側邊(前側、左側及右側等)呈開放狀(開口狀)，具體而言，該收容空間22遠離驅動裝置1的一側，以及與該側相鄰接的兩側皆呈開放狀(開口狀)。該防墜件2連接於驅動裝置1的驅動部11，該驅動裝置1能用以驅動防墜件2，使該防墜件2在一第一位置A及一第二位置B之間移動(如圖3及圖4所示)。

在本實施例中，該驅動裝置1能驅動防墜件2水平移動，使防墜件2至少一部分能位於物件容器200的上方，且該收容空間22收容物件容器200的一部分。在本實施例中，該板狀本體21呈T型板體，該板狀本體21的後半段可連接於驅動裝置1的驅動部11，該板狀本體21的前半段則可用以擋止物件容器200。

當該防墜件2在第一位置A時(如圖4所示)，該防墜件2至少一部分位於物件容器200的上方，能用以擋止該物件容器200，以避免物件容器200跳脫墜落。當該防墜件2在第二位置B時(如圖3所示)，該防墜件2離開物件容器200，以便於物件容器200移出或移入承載板102。在本實施例中，當該防墜件2在第一位置A時(如圖4所示)，該防墜件2位於物件容器200的上方靠近一側(後側)邊緣處，如此即可用以擋止該物件容器200，以避免物件容器200跳脫墜落。

在本實施例中，該防墜件2的板狀本體21呈板體，當該防墜件2在移動時，不易碰撞到物件容器200，且當該防墜件2在第一位置A時，該防墜件2只位於物件容器200的上方，該防墜件2不會遮擋物件容器200的各側邊，使得該防墜件2在移動時，不會與物件容器200產生接觸，以避免物件容器200刮傷。

較佳的，當該防墜件2在第一位置A時，該防墜件2位於物件容器200的上方，且該防墜件2與物件容器200形成間隔的設置，例如該防墜件2(底面)與物件容器200(頂面)之間可形成一間距P，該間距P較佳為1mm至3mm，使該防墜件2不會與物件容器200接觸，以避免物件容器200刮傷。

[第二實施例]

請參閱圖5及圖6，在本實施例中，物件容器300為另一種型式，該機械手臂100的操作端101對應於所搬運之物件容器300的型式而加以變化，該機械手臂100的操作端101具有一夾持件104，該夾持件104能夾持於物件容器300的兩側(左側、右側)。在本實施例中，該物件容器搬運防墜裝置包括一驅動裝置1及一防墜件2，該驅動裝置1設置於機械手臂100的操作端101，在本實施例中，該防墜件2具有一板狀本體21，該板狀本體21可呈長型板體，且該板狀本體21遠離驅動裝置1的一端可設有一缺口23，用以避免防墜件2與物件容器300的把手301產生干涉。該防墜件2靠近物件容器300的一側形成一收容空間22，在本實施例中，該收容空間22位於板狀本體21靠近物件容器300的一側，且該收容空間22的側邊(前側、左側及右側等)呈開放狀(開口狀)。該防墜件2連接於驅動裝置1的驅動部11，該驅動裝置1能用以驅動防墜件2，使該防墜件2在第一位置A及第二位置B之間移動(如圖7及圖8所示)。

在本實施例中，該驅動裝置1能驅動防墜件2水平移動，使防墜件2至少一部分能位於物件容器300的上方，且該收容空間22收容物件容器300的一部分。當該防墜件2在第一位置A時(如圖8所示)，該防墜件2位於物件容器300的上方，能用以擋止該物件容器300，以避免物件容器300跳脫墜落。當該防墜件2在第二位置B時(如圖7所示)，該防墜件2離開物件容器300，以便於物件容器300移出或移入夾持件104。

[第三實施例]

請參閱圖9及圖10，在本實施例中，物件容器400為另一種型式，該機械手臂100的操作端101對應於所搬運之物件容器400的型式而加以變化，該機械手臂100的操作端101具有一承載板105，該承載板105能用以承載物件容器400，且該承載板105的邊緣設有多個凸緣106，能用以定位物件容器400，使該物件容器400不會在承載板105上水平移動。在本實施例中，該物件容器搬運防墜裝置包括一驅動裝置1及一防墜件2，該驅動裝置1設置於機械手臂100的操作端101。在本實施例中，該防墜件2具有一上擋部24及一下擋部25，下擋部25設置於上擋部24的下方，上擋部24的一端及下擋部25的一端連接於一連接部26，使防墜件2可形成U型板體。該防墜件2靠近物件容器400的一側形成一收容空間22，在本實施例中，該收容空間22位於上擋部24及下擋部25之間，且該收容空間22的側邊(前側、左側及右側等)呈開放狀。較佳的，上擋部24及下擋部25呈水平狀設置的板體，且上擋部24及下擋部25相互平行，連接部26與上擋部24、下擋部25相互垂直。該防墜件2的連接部26連接於驅動裝置1的驅動部11，該驅動裝置1能用以驅動防墜件2，使該防墜件2能在第一位置A及第二位置B之間移動(如圖11及圖12所示)。

在本實施例中，該驅動裝置1能驅動防墜件2水平移動，使防墜件2至少一部分能位於物件容器400的上方，且該收容空間22收容物件容器400的一部分。當該防墜件2在第一位置A時(如圖12所示)，該防墜件2至少一部位於物件容器400的上方，亦即該防墜件2的上擋部24位於物件容器400的一頂板401的上方，該防墜件2的下擋部25位於物件容器400的頂板401的下方，使該防墜件2能含住物件容器400的頂板401，亦即該收容空間22收容物件容器400的頂板401的一部分(後端)，能用以擋止該物件容器400，以避免物件容器400跳脫墜落。當該防墜件2在第二位置B時(如圖11所示)，該防墜件2離開物件容器400，以便於物件容器400移出或移入承載板105。

在本實施例中，該防墜件2形成U型板體，當該防墜件2在移動時，不易碰撞到物件容器400，且當該防墜件2在第一位置A時，該防墜件2只位於物件容器400的頂板401後端處，該防墜件2不會遮擋物件容器400的各側邊，使得該防墜件2在移動時，不會與物件容器400產生接觸，以避免物件容器400刮傷。

[實施例的有益效果]

本發明的有益效果在於，本發明所提供的物件容器搬運防墜裝置，包括驅動裝置及防墜件，防墜件連接於驅動裝置的驅動部，驅動裝置能用以驅動防墜件，使防墜件在第一位置及第二位置之間移動。當防墜件在第一位置時，防墜件至少一部分位於物件容器的上方，防墜件的收容空間收容物件容器的一部分，能用以擋止物件容器，因此機械手臂在搬運物件容器的過程中，能有效地防止物件容器跳脫墜落。

再者，本發明的收容空間收容物件容器的一部分，即能有效的擋止物件容器，防墜件的移動行程較短，且可有效的減少防墜件與物件容器的接觸，以避免物件容器刮傷。

以上所公開的內容僅為本發明的優選可行實施例，並非因此侷限本發明的申請專利範圍，所以凡是運用本發明說明書及圖式內容所做的等效技術變化，均包含於本發明的申請專利範圍內。

1:驅動裝置 11:驅動部 2:防墜件 21:板狀本體 22:收容空間 23:缺口 24:上擋部 25:下擋部 26:連接部 A:第一位置 B:第二位置 P:間距 100:機械手臂 101:操作端 102:承載板 103:凸緣 104:夾持件 105:承載板 106:凸緣 200:物件容器 300:物件容器 301:把手 400:物件容器 401:頂板

圖1為本發明第一實施例物件容器搬運防墜裝置的立體圖。

圖2為本發明第一實施例物件容器搬運防墜裝置局部構造的立體圖。

圖3為本發明第一實施例物件容器搬運防墜裝置的動作圖(一)。

圖4為本發明第一實施例物件容器搬運防墜裝置的動作圖(二)。

圖5為本發明第二實施例物件容器搬運防墜裝置的立體圖。

圖6為本發明第二實施例物件容器搬運防墜裝置局部構造的立體圖。

圖7為本發明第二實施例物件容器搬運防墜裝置的動作圖(一)。

圖8為本發明第二實施例物件容器搬運防墜裝置的動作圖(二)。

圖9為本發明第三實施例物件容器搬運防墜裝置的立體圖。

圖10為本發明第三實施例物件容器搬運防墜裝置局部構造的立體圖。

圖11為本發明第三實施例物件容器搬運防墜裝置的動作圖(一)。

圖12為本發明第三實施例物件容器搬運防墜裝置的動作圖(二)。

1:驅動裝置

11:驅動部

2:防墜件

21:板狀本體

A:第一位置

B:第二位置

P:間距

100:機械手臂

101:操作端

103:凸緣

200:物件容器

Claims (9)

1. 一種物件容器搬運防墜裝置，其設置於機械手臂上，該機械手臂具有一操作端，該操作端能用以承載物件容器，該物件容器搬運防墜裝置包括：一驅動裝置，該驅動裝置設置於該機械手臂的操作端，該驅動裝置具有一驅動部；以及一防墜件，該防墜件連接於該驅動裝置的驅動部，該驅動裝置能用以驅動該防墜件，使該防墜件在一第一位置及一第二位置之間移動，該防墜件靠近該物件容器的一側形成一收容空間，該防墜件具有一板狀本體，該板狀本體呈板體，該收容空間位於該板狀本體的下側，且該收容空間的側邊呈開放狀；其中當該防墜件在該第一位置時，該防墜件至少一部分位於該物件容器的上方，且該收容空間收容該物件容器的一部分，能用以擋止該物件容器；當該防墜件在該第二位置時，該防墜件離開該物件容器。
2. 如請求項1所述的物件容器搬運防墜裝置，其中當該防墜件在該第一位置時，該防墜件與該物件容器形成間隔的設置，該防墜件與該物件容器之間形成一間距，該間距為1mm至3mm。
3. 如請求項1所述的物件容器搬運防墜裝置，其中該驅動裝置能驅動該防墜件水平移動，當該防墜件在該第一位置時，該防墜件位於該物件容器的上方靠近一側邊緣處。
4. 如請求項1所述的物件容器搬運防墜裝置，其中該防墜件具有一上擋部及一下擋部，該下擋部設置於該上擋部的下方，該上擋部的一端及該下擋部的一端連接於一連接部，該收容空間位於該上擋部及該下擋部之間。
5. 如請求項4所述的物件容器搬運防墜裝置，其中該上擋部及該下擋部呈水平狀設置的板體，該上擋部及該下擋部相互平行，該連接部與該上擋部、該下擋部相互垂直。
6. 如請求項4所述的物件容器搬運防墜裝置，其中當該防墜件在該第一位置時，該防墜件的上擋部位於該物件容器的一頂板的上方，該防墜件的下擋部位於該物件容器的頂板的下方，該收容空間收容該物件容器的頂板的一部分。
7. 如請求項1所述的物件容器搬運防墜裝置，其中該收容空間遠離該驅動裝置的一側，以及與該側相鄰接的兩側皆呈開放狀。
8. 如請求項1所述的物件容器搬運防墜裝置，其中該機械手臂的操作端具有一承載板，該承載板能用以承載該物件容器，且該承載板的邊緣設有多個凸緣，能用以定位該物件容器。
9. 如請求項1所述的物件容器搬運防墜裝置，其中該機械手臂的操作端具有一夾持件，該夾持件能夾持於該物件容器的兩側。

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