TWI777005B - 聚醯亞胺樹脂、聚醯亞胺清漆以及聚醯亞胺薄膜 - Google Patents
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- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 title claims abstract description 109
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 title claims abstract description 46
- 239000002966 varnish Substances 0.000 title claims abstract description 39
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 title claims abstract description 35
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 78
- GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N ac1mqpva Chemical compound CC12C(=O)OC(=O)C1(C)C1(C)C2(C)C(=O)OC1=O GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 32
- 150000004985 diamines Chemical class 0.000 claims abstract description 26
- 125000006158 tetracarboxylic acid group Chemical group 0.000 claims abstract description 20
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims description 32
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 29
- 239000010408 film Substances 0.000 description 26
- 150000000000 tetracarboxylic acids Chemical class 0.000 description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 description 16
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 16
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 13
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- -1 sulfone skeleton diamine Chemical class 0.000 description 11
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 11
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 10
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 10
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 9
- 239000007810 chemical reaction solvent Substances 0.000 description 9
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 9
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical compound O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- NVKGJHAQGWCWDI-UHFFFAOYSA-N 4-[4-amino-2-(trifluoromethyl)phenyl]-3-(trifluoromethyl)aniline Chemical compound FC(F)(F)C1=CC(N)=CC=C1C1=CC=C(N)C=C1C(F)(F)F NVKGJHAQGWCWDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- LJMPOXUWPWEILS-UHFFFAOYSA-N 3a,4,4a,7a,8,8a-hexahydrofuro[3,4-f][2]benzofuran-1,3,5,7-tetrone Chemical compound C1C2C(=O)OC(=O)C2CC2C(=O)OC(=O)C21 LJMPOXUWPWEILS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- IMNIMPAHZVJRPE-UHFFFAOYSA-N triethylenediamine Chemical compound C1CN2CCN1CC2 IMNIMPAHZVJRPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 5
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 5
- PAYRUJLWNCNPSJ-UHFFFAOYSA-N Aniline Chemical compound NC1=CC=CC=C1 PAYRUJLWNCNPSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- OVASAEXSPYGGES-UHFFFAOYSA-N C1C2C(C(OC3=O)=O)C3C1CC2(C1=O)CCC21CC1CC2C2C(=O)OC(=O)C12 Chemical compound C1C2C(C(OC3=O)=O)C3C1CC2(C1=O)CCC21CC1CC2C2C(=O)OC(=O)C12 OVASAEXSPYGGES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 4
- 125000005907 alkyl ester group Chemical group 0.000 description 4
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 4
- WGQKYBSKWIADBV-UHFFFAOYSA-N benzylamine Chemical compound NCC1=CC=CC=C1 WGQKYBSKWIADBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N phthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1C(O)=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 229940086542 triethylamine Drugs 0.000 description 4
- OISVCGZHLKNMSJ-UHFFFAOYSA-N 2,6-dimethylpyridine Chemical compound CC1=CC=CC(C)=N1 OISVCGZHLKNMSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BSKHPKMHTQYZBB-UHFFFAOYSA-N 2-methylpyridine Chemical compound CC1=CC=CC=N1 BSKHPKMHTQYZBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 3
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 3
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- QWBBPBRQALCEIZ-UHFFFAOYSA-N 2,3-dimethylphenol Chemical compound CC1=CC=CC(O)=C1C QWBBPBRQALCEIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JYYNAJVZFGKDEQ-UHFFFAOYSA-N 2,4-Dimethylpyridine Chemical compound CC1=CC=NC(C)=C1 JYYNAJVZFGKDEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NKTOLZVEWDHZMU-UHFFFAOYSA-N 2,5-xylenol Chemical compound CC1=CC=C(C)C(O)=C1 NKTOLZVEWDHZMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 2-Aminoethan-1-ol Chemical compound NCCO HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YCOXTKKNXUZSKD-UHFFFAOYSA-N 3,4-xylenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1C YCOXTKKNXUZSKD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TUAMRELNJMMDMT-UHFFFAOYSA-N 3,5-xylenol Chemical compound CC1=CC(C)=CC(O)=C1 TUAMRELNJMMDMT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JJYPMNFTHPTTDI-UHFFFAOYSA-N 3-methylaniline Chemical compound CC1=CC=CC(N)=C1 JJYPMNFTHPTTDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N Dimethoxyethane Chemical compound COCCOC XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QUSNBJAOOMFDIB-UHFFFAOYSA-N Ethylamine Chemical compound CCN QUSNBJAOOMFDIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BAVYZALUXZFZLV-UHFFFAOYSA-N Methylamine Chemical compound NC BAVYZALUXZFZLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JLTDJTHDQAWBAV-UHFFFAOYSA-N N,N-dimethylaniline Chemical compound CN(C)C1=CC=CC=C1 JLTDJTHDQAWBAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LGRFSURHDFAFJT-UHFFFAOYSA-N Phthalic anhydride Natural products C1=CC=C2C(=O)OC(=O)C2=C1 LGRFSURHDFAFJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SMWDFEZZVXVKRB-UHFFFAOYSA-N Quinoline Chemical compound N1=CC=CC2=CC=CC=C21 SMWDFEZZVXVKRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- UIIMBOGNXHQVGW-UHFFFAOYSA-M Sodium bicarbonate Chemical compound [Na+].OC([O-])=O UIIMBOGNXHQVGW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-N Terephthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C=C1 KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003377 acid catalyst Substances 0.000 description 2
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 2
- 239000000010 aprotic solvent Substances 0.000 description 2
- 150000004984 aromatic diamines Chemical class 0.000 description 2
- WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N benzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1 WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002981 blocking agent Substances 0.000 description 2
- HQABUPZFAYXKJW-UHFFFAOYSA-N butan-1-amine Chemical compound CCCCN HQABUPZFAYXKJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JHIWVOJDXOSYLW-UHFFFAOYSA-N butyl 2,2-difluorocyclopropane-1-carboxylate Chemical compound CCCCOC(=O)C1CC1(F)F JHIWVOJDXOSYLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GGSUCNLOZRCGPQ-UHFFFAOYSA-N diethylaniline Chemical compound CCN(CC)C1=CC=CC=C1 GGSUCNLOZRCGPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000005442 diisocyanate group Chemical group 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- GAEKPEKOJKCEMS-UHFFFAOYSA-N gamma-valerolactone Chemical compound CC1CCC(=O)O1 GAEKPEKOJKCEMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AWJUIBRHMBBTKR-UHFFFAOYSA-N isoquinoline Chemical compound C1=NC=CC2=CC=CC=C21 AWJUIBRHMBBTKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002596 lactones Chemical class 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- RLSSMJSEOOYNOY-UHFFFAOYSA-N m-cresol Chemical compound CC1=CC=CC(O)=C1 RLSSMJSEOOYNOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- QWVGKYWNOKOFNN-UHFFFAOYSA-N o-cresol Chemical compound CC1=CC=CC=C1O QWVGKYWNOKOFNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- IWDCLRJOBJJRNH-UHFFFAOYSA-N p-cresol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1 IWDCLRJOBJJRNH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RZXMPPFPUUCRFN-UHFFFAOYSA-N p-toluidine Chemical compound CC1=CC=C(N)C=C1 RZXMPPFPUUCRFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002798 polar solvent Substances 0.000 description 2
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 2
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 2
- BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L potassium carbonate Chemical compound [K+].[K+].[O-]C([O-])=O BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- WGYKZJWCGVVSQN-UHFFFAOYSA-N propylamine Chemical compound CCCN WGYKZJWCGVVSQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- ZUHZGEOKBKGPSW-UHFFFAOYSA-N tetraglyme Chemical compound COCCOCCOCCOCCOC ZUHZGEOKBKGPSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000930 thermomechanical effect Effects 0.000 description 2
- JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N toluene-4-sulfonic acid Chemical compound CC1=CC=C(S(O)(=O)=O)C=C1 JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GETQZCLCWQTVFV-UHFFFAOYSA-N trimethylamine Chemical compound CN(C)C GETQZCLCWQTVFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BEBFJOSPYYGOKL-UHFFFAOYSA-N (3-ethylphenyl)methanamine Chemical compound CCC1=CC=CC(CN)=C1 BEBFJOSPYYGOKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RGXUCUWVGKLACF-UHFFFAOYSA-N (3-methylphenyl)methanamine Chemical compound CC1=CC=CC(CN)=C1 RGXUCUWVGKLACF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OLQWMCSSZKNOLQ-ZXZARUISSA-N (3s)-3-[(3r)-2,5-dioxooxolan-3-yl]oxolane-2,5-dione Chemical compound O=C1OC(=O)C[C@H]1[C@@H]1C(=O)OC(=O)C1 OLQWMCSSZKNOLQ-ZXZARUISSA-N 0.000 description 1
- RCNBXBQGBCGTPB-UHFFFAOYSA-N (4-dodecylphenyl)methanamine Chemical compound CCCCCCCCCCCCC1=CC=C(CN)C=C1 RCNBXBQGBCGTPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAGEFUEKIORSQ-UHFFFAOYSA-N (4-ethylphenyl)methanamine Chemical compound CCC1=CC=C(CN)C=C1 DGAGEFUEKIORSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HMTSWYPNXFHGEP-UHFFFAOYSA-N (4-methylphenyl)methanamine Chemical compound CC1=CC=C(CN)C=C1 HMTSWYPNXFHGEP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WBYWAXJHAXSJNI-VOTSOKGWSA-M .beta-Phenylacrylic acid Natural products [O-]C(=O)\C=C\C1=CC=CC=C1 WBYWAXJHAXSJNI-VOTSOKGWSA-M 0.000 description 1
- AVQQQNCBBIEMEU-UHFFFAOYSA-N 1,1,3,3-tetramethylurea Chemical compound CN(C)C(=O)N(C)C AVQQQNCBBIEMEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CYSGHNMQYZDMIA-UHFFFAOYSA-N 1,3-Dimethyl-2-imidazolidinon Chemical compound CN1CCN(C)C1=O CYSGHNMQYZDMIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000355 1,3-benzoxazolyl group Chemical group O1C(=NC2=C1C=CC=C2)* 0.000 description 1
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBCKQZAAMUWICA-UHFFFAOYSA-N 1,4-phenylenediamine Chemical compound NC1=CC=C(N)C=C1 CBCKQZAAMUWICA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CGSKOGYKWHUSLC-UHFFFAOYSA-N 1-(4-aminophenyl)-1,3,3-trimethyl-2h-inden-5-amine Chemical compound C12=CC=C(N)C=C2C(C)(C)CC1(C)C1=CC=C(N)C=C1 CGSKOGYKWHUSLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VLDPXPPHXDGHEW-UHFFFAOYSA-N 1-chloro-2-dichlorophosphoryloxybenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1OP(Cl)(Cl)=O VLDPXPPHXDGHEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RPOHXHHHVSGUMN-UHFFFAOYSA-N 1-n,4-n-bis(4-aminophenyl)benzene-1,4-dicarboxamide Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1NC(=O)C1=CC=C(C(=O)NC=2C=CC(N)=CC=2)C=C1 RPOHXHHHVSGUMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KUFFULVDNCHOFZ-UHFFFAOYSA-N 2,4-xylenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C(C)=C1 KUFFULVDNCHOFZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XWKFPIODWVPXLX-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-5-methylpyridine Natural products CC1=CC=C(C)N=C1 XWKFPIODWVPXLX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YJLVXRPNNDKMMO-UHFFFAOYSA-N 3,4,5,6-tetrafluorophthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=C(F)C(F)=C(F)C(F)=C1C(O)=O YJLVXRPNNDKMMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UENRXLSRMCSUSN-UHFFFAOYSA-N 3,5-diaminobenzoic acid Chemical compound NC1=CC(N)=CC(C(O)=O)=C1 UENRXLSRMCSUSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ITQTTZVARXURQS-UHFFFAOYSA-N 3-methylpyridine Chemical compound CC1=CC=CN=C1 ITQTTZVARXURQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YBRVSVVVWCFQMG-UHFFFAOYSA-N 4,4'-diaminodiphenylmethane Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1CC1=CC=C(N)C=C1 YBRVSVVVWCFQMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYYKXFEKMGYLZ-UHFFFAOYSA-N 4-(1,3-dioxo-2-benzofuran-5-yl)-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C=1C=C2C(=O)OC(=O)C2=CC=1C1=CC=CC2=C1C(=O)OC2=O FYYYKXFEKMGYLZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFBALUPVVFCEPA-UHFFFAOYSA-N 4-(3,4-dicarboxyphenyl)phthalic acid Chemical compound C1=C(C(O)=O)C(C(=O)O)=CC=C1C1=CC=C(C(O)=O)C(C(O)=O)=C1 LFBALUPVVFCEPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CDIBHUYMESSNFP-UHFFFAOYSA-N 4-(4,4-diaminocyclohexa-2,5-dien-1-ylidene)cyclohexa-2,5-diene-1,1-diamine Chemical compound C1=CC(N)(N)C=CC1=C1C=CC(N)(N)C=C1 CDIBHUYMESSNFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QYIMZXITLDTULQ-UHFFFAOYSA-N 4-(4-amino-2-methylphenyl)-3-methylaniline Chemical compound CC1=CC(N)=CC=C1C1=CC=C(N)C=C1C QYIMZXITLDTULQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HLBLWEWZXPIGSM-UHFFFAOYSA-N 4-Aminophenyl ether Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1OC1=CC=C(N)C=C1 HLBLWEWZXPIGSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BEKFRNOZJSYWKZ-UHFFFAOYSA-N 4-[2-(4-aminophenyl)-1,1,1,3,3,3-hexafluoropropan-2-yl]aniline Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1C(C(F)(F)F)(C(F)(F)F)C1=CC=C(N)C=C1 BEKFRNOZJSYWKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HESXPOICBNWMPI-UHFFFAOYSA-N 4-[2-[4-[2-(4-aminophenyl)propan-2-yl]phenyl]propan-2-yl]aniline Chemical compound C=1C=C(C(C)(C)C=2C=CC(N)=CC=2)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(N)C=C1 HESXPOICBNWMPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HHLMWQDRYZAENA-UHFFFAOYSA-N 4-[4-[2-[4-(4-aminophenoxy)phenyl]-1,1,1,3,3,3-hexafluoropropan-2-yl]phenoxy]aniline Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1OC1=CC=C(C(C=2C=CC(OC=3C=CC(N)=CC=3)=CC=2)(C(F)(F)F)C(F)(F)F)C=C1 HHLMWQDRYZAENA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMKWGXGSGPYISJ-UHFFFAOYSA-N 4-[4-[2-[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propan-2-yl]phenoxy]aniline Chemical compound C=1C=C(OC=2C=CC(N)=CC=2)C=CC=1C(C)(C)C(C=C1)=CC=C1OC1=CC=C(N)C=C1 KMKWGXGSGPYISJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HYDATEKARGDBKU-UHFFFAOYSA-N 4-[4-[4-(4-aminophenoxy)phenyl]phenoxy]aniline Chemical group C1=CC(N)=CC=C1OC1=CC=C(C=2C=CC(OC=3C=CC(N)=CC=3)=CC=2)C=C1 HYDATEKARGDBKU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OSFGNTLIOUHOKN-UHFFFAOYSA-N 4-[benzyl(methyl)sulfamoyl]benzoic acid Chemical compound C=1C=C(C(O)=O)C=CC=1S(=O)(=O)N(C)CC1=CC=CC=C1 OSFGNTLIOUHOKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DVIPPHSQIBKWSA-UHFFFAOYSA-N 4-chlorophthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C(Cl)C=C1C(O)=O DVIPPHSQIBKWSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FJKROLUGYXJWQN-UHFFFAOYSA-M 4-hydroxybenzoate Chemical compound OC1=CC=C(C([O-])=O)C=C1 FJKROLUGYXJWQN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- VGVHNLRUAMRIEW-UHFFFAOYSA-N 4-methylcyclohexan-1-one Chemical compound CC1CCC(=O)CC1 VGVHNLRUAMRIEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YGYCECQIOXZODZ-UHFFFAOYSA-N 4415-87-6 Chemical compound O=C1OC(=O)C2C1C1C(=O)OC(=O)C12 YGYCECQIOXZODZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QHHKLPCQTTWFSS-UHFFFAOYSA-N 5-[2-(1,3-dioxo-2-benzofuran-5-yl)-1,1,1,3,3,3-hexafluoropropan-2-yl]-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC(C(C=2C=C3C(=O)OC(=O)C3=CC=2)(C(F)(F)F)C(F)(F)F)=C1 QHHKLPCQTTWFSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JVERADGGGBYHNP-UHFFFAOYSA-N 5-phenylbenzene-1,2,3,4-tetracarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1=C(C(O)=O)C(C(=O)O)=CC(C=2C=CC=CC=2)=C1C(O)=O JVERADGGGBYHNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005711 Benzoic acid Substances 0.000 description 1
- RBWNKQSOENGGOI-UHFFFAOYSA-N C1(C(C=CC=C1)C)(C)O.CC1=C(C(=CC=C1)C)O Chemical compound C1(C(C=CC=C1)C)(C)O.CC1=C(C(=CC=C1)C)O RBWNKQSOENGGOI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- WBYWAXJHAXSJNI-SREVYHEPSA-N Cinnamic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C1=CC=CC=C1 WBYWAXJHAXSJNI-SREVYHEPSA-N 0.000 description 1
- PMPVIKIVABFJJI-UHFFFAOYSA-N Cyclobutane Chemical compound C1CCC1 PMPVIKIVABFJJI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004805 Cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid Substances 0.000 description 1
- OIFBSDVPJOWBCH-UHFFFAOYSA-N Diethyl carbonate Chemical compound CCOC(=O)OCC OIFBSDVPJOWBCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N Ethylene carbonate Chemical compound O=C1OCCO1 KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N Ethylenediamine Chemical compound NCCN PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Malonic acid Chemical compound OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKUCCMZIIQGPIE-UHFFFAOYSA-N NC1=CC=C(C=C1)[Bi]C1=CC=C(C=C1)N Chemical compound NC1=CC=C(C=C1)[Bi]C1=CC=C(C=C1)N DKUCCMZIIQGPIE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012963 UV stabilizer Substances 0.000 description 1
- QLBRROYTTDFLDX-UHFFFAOYSA-N [3-(aminomethyl)cyclohexyl]methanamine Chemical compound NCC1CCCC(CN)C1 QLBRROYTTDFLDX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OXIKYYJDTWKERT-UHFFFAOYSA-N [4-(aminomethyl)cyclohexyl]methanamine Chemical compound NCC1CCC(CN)CC1 OXIKYYJDTWKERT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ISKQADXMHQSTHK-UHFFFAOYSA-N [4-(aminomethyl)phenyl]methanamine Chemical compound NCC1=CC=C(CN)C=C1 ISKQADXMHQSTHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000002318 adhesion promoter Substances 0.000 description 1
- 238000005576 amination reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 150000001413 amino acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000002518 antifoaming agent Substances 0.000 description 1
- 239000002585 base Substances 0.000 description 1
- SRSXLGNVWSONIS-UHFFFAOYSA-N benzenesulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C1=CC=CC=C1 SRSXLGNVWSONIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940092714 benzenesulfonic acid Drugs 0.000 description 1
- 235000010233 benzoic acid Nutrition 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- WKDNYTOXBCRNPV-UHFFFAOYSA-N bpda Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC(C=2C=C3C(=O)OC(C3=CC=2)=O)=C1 WKDNYTOXBCRNPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003660 carbonate based solvent Substances 0.000 description 1
- 229930016911 cinnamic acid Natural products 0.000 description 1
- 235000013985 cinnamic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N crotonic acid Chemical compound C\C=C\C(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N 0.000 description 1
- ILUAAIDVFMVTAU-UHFFFAOYSA-N cyclohex-4-ene-1,2-dicarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1CC=CCC1C(O)=O ILUAAIDVFMVTAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QSAWQNUELGIYBC-UHFFFAOYSA-N cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1CCCCC1C(O)=O QSAWQNUELGIYBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ASJCSAKCMTWGAH-UHFFFAOYSA-N cyclopentane-1,2-dicarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1CCCC1C(O)=O ASJCSAKCMTWGAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000006159 dianhydride group Chemical group 0.000 description 1
- 125000001142 dicarboxylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001991 dicarboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N diglyme Chemical compound COCCOCCOC SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- 238000004821 distillation Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 1
- 239000003759 ester based solvent Substances 0.000 description 1
- 239000004210 ether based solvent Substances 0.000 description 1
- JBTWLSYIZRCDFO-UHFFFAOYSA-N ethyl methyl carbonate Chemical compound CCOC(=O)OC JBTWLSYIZRCDFO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000004299 exfoliation Methods 0.000 description 1
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 1
- ANSXAPJVJOKRDJ-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-f][2]benzofuran-1,3,5,7-tetrone Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC2=C1C(=O)OC2=O ANSXAPJVJOKRDJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001641 gel filtration chromatography Methods 0.000 description 1
- 238000001879 gelation Methods 0.000 description 1
- GNOIPBMMFNIUFM-UHFFFAOYSA-N hexamethylphosphoric triamide Chemical compound CN(C)P(=O)(N(C)C)N(C)C GNOIPBMMFNIUFM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002466 imines Chemical class 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 230000005764 inhibitory process Effects 0.000 description 1
- 150000007529 inorganic bases Chemical class 0.000 description 1
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 1
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005453 ketone based solvent Substances 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 150000002632 lipids Chemical class 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- WBYWAXJHAXSJNI-UHFFFAOYSA-N methyl p-hydroxycinnamate Natural products OC(=O)C=CC1=CC=CC=C1 WBYWAXJHAXSJNI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 1
- PSZYNBSKGUBXEH-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1-sulfonic acid Chemical compound C1=CC=C2C(S(=O)(=O)O)=CC=CC2=C1 PSZYNBSKGUBXEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZWLPBLYKEWSWPD-UHFFFAOYSA-N o-toluic acid Chemical compound CC1=CC=CC=C1C(O)=O ZWLPBLYKEWSWPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000007530 organic bases Chemical class 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 1
- 239000011736 potassium bicarbonate Substances 0.000 description 1
- 229910000028 potassium bicarbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000015497 potassium bicarbonate Nutrition 0.000 description 1
- 229910000027 potassium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011181 potassium carbonates Nutrition 0.000 description 1
- TYJJADVDDVDEDZ-UHFFFAOYSA-M potassium hydrogencarbonate Chemical compound [K+].OC([O-])=O TYJJADVDDVDEDZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 235000011118 potassium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N propylene carbonate Chemical compound CC1COC(=O)O1 RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910000030 sodium bicarbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000017557 sodium bicarbonate Nutrition 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000017550 sodium carbonate Nutrition 0.000 description 1
- 235000011121 sodium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 1
- 238000009864 tensile test Methods 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N trans-crotonic acid Natural products CC=CC(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IMFACGCPASFAPR-UHFFFAOYSA-N tributylamine Chemical compound CCCCN(CCCC)CCCC IMFACGCPASFAPR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YFNKIDBQEZZDLK-UHFFFAOYSA-N triglyme Chemical compound COCCOCCOCCOC YFNKIDBQEZZDLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YFTHZRPMJXBUME-UHFFFAOYSA-N tripropylamine Chemical compound CCCN(CCC)CCC YFTHZRPMJXBUME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G73/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing nitrogen with or without oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule, not provided for in groups C08G12/00 - C08G71/00
- C08G73/06—Polycondensates having nitrogen-containing heterocyclic rings in the main chain of the macromolecule
- C08G73/10—Polyimides; Polyester-imides; Polyamide-imides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
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- C08G73/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing nitrogen with or without oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule, not provided for in groups C08G12/00 - C08G71/00
- C08G73/06—Polycondensates having nitrogen-containing heterocyclic rings in the main chain of the macromolecule
- C08G73/10—Polyimides; Polyester-imides; Polyamide-imides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
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- C08G73/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing nitrogen with or without oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule, not provided for in groups C08G12/00 - C08G71/00
- C08G73/06—Polycondensates having nitrogen-containing heterocyclic rings in the main chain of the macromolecule
- C08G73/10—Polyimides; Polyester-imides; Polyamide-imides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
- C08G73/1075—Partially aromatic polyimides
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- C08J5/00—Manufacture of articles or shaped materials containing macromolecular substances
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C09D179/04—Polycondensates having nitrogen-containing heterocyclic rings in the main chain; Polyhydrazides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
- C09D179/08—Polyimides; Polyester-imides; Polyamide-imides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
-
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Abstract
本發明提供一種聚醯亞胺樹脂,具有來自四羧酸二酐之構成單元A及來自二胺之構成單元B,構成單元A含有來自下式(a-1)表示之化合物之構成單元(A-1)、來自下式(a-2)表示之化合物之構成單元(A-2)、及來自下式(a-3)表示之化合物之構成單元(A-3),構成單元B含有來自下式(b-1)表示之化合物之構成單元(B-1);並提供含有聚醯亞胺樹脂的聚醯亞胺清漆及聚醯亞胺薄膜。
Description
本發明關於聚醯亞胺樹脂、聚醯亞胺清漆及聚醯亞胺薄膜。
聚醯亞胺樹脂具有優異的機械特性及耐熱性,故已有人探討其在電氣-電子零件等領域中的各種利用。例如,基於器件之輕量化、可撓性化之目的,期望將液晶顯示器、OLED顯示器等圖像顯示裝置中使用的玻璃基板替換成塑膠基板,適合作為該塑膠材料的聚醯亞胺樹脂之研究亦有進展。對於如此用途之聚醯亞胺樹脂也要求無色透明性,而且為了能因應圖像顯示裝置之製造步驟之高溫處理,也要求對熱的高尺寸穩定性(亦即,低的線熱膨脹係數)。
就具有低的線熱膨脹係數的聚醯亞胺樹脂而言,例如專利文獻1記載由均苯四甲酸酐等第一四羧酸成分、3,3’,4,4’-二苯碸四羧酸二酐等第二四羧酸成分、及聯甲苯胺碸(tolidine sulfone)骨架二胺成分合成的聚醯亞胺樹脂,專利文獻2記載由含有苯并㗁唑基之二胺化合物及芳香族四羧酸二酐合成的聚醯亞胺樹脂。
又,近年來在微電子的領域中,就將疊層有樹脂薄膜的支持體中的該支持體與該樹脂薄膜剝離的方法而言,稱為雷射剝離(LASER LIFT-OFF;LLO)之雷射剝離加工受到關注。是以,為使聚醯亞胺薄膜能因應雷射剝離加工,對於聚醯亞胺薄膜亦要求雷射剝離性。為使其能因應利用波長308nm之XeCl準分子雷射所為之剝離加工,會要求聚醯亞胺薄膜有優異的吸收波長308nm之光之特性(亦即,於波長308nm之光線透射率小)。
再者,對於聚醯亞胺薄膜也要求對極性溶劑等有機溶劑之耐性(耐有機溶劑性)。耐有機溶劑性差的薄膜,當曝露於極性溶劑等有機溶劑時,有時會因其表面之溶出或膨潤而導致薄膜的形態改變。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2010-053336號公報
[專利文獻2]日本特開2015-093915號公報
[發明所欲解決之課題]
本發明係鑑於上述狀況而成,本發明之課題為:提供能形成機械特性及耐熱性良好,而且無色透明性、對熱的尺寸穩定性、雷射剝離性及耐有機溶劑性優異的薄膜的聚醯亞胺樹脂,並提供含有該聚醯亞胺樹脂之聚醯亞胺清漆及聚醯亞胺薄膜。
[解決課題之手段]
本案發明人等發現含有特定之構成單元之組合的聚醯亞胺樹脂可解決上述課題,乃完成本發明。
亦即,本發明關於下列[1]~[5]。
[1]
一種聚醯亞胺樹脂,具有來自四羧酸二酐之構成單元A及來自二胺之構成單元B,
該構成單元A含有來自下式(a-1)表示之化合物之構成單元(A-1)、來自下式(a-2)表示之化合物之構成單元(A-2)、及來自下式(a-3)表示之化合物之構成單元(A-3),
該構成單元B含有來自下式(b-1)表示之化合物之構成單元(B-1)。
[2]
如[1]之聚醯亞胺樹脂,其中,
該構成單元(A-1)在該構成單元A中的比率為10~80莫耳%,
該構成單元(A-2)在該構成單元A中的比率為10~80莫耳%,
該構成單元(A-3)在該構成單元A中的比率為10~80莫耳%。
[3]
如[1]或[2]之聚醯亞胺樹脂,其中,該構成單元(B-1)在該構成單元B中的比率為50莫耳%以上。
[4]
一種聚醯亞胺清漆,係將如[1]至[3]中任一項之聚醯亞胺樹脂溶解於有機溶劑而成。
[5]
一種聚醯亞胺薄膜,含有如[1]至[3]中任一項之聚醯亞胺樹脂。
[發明之效果]
根據本發明,可形成機械特性及耐熱性良好,而且無色透明性、對熱之尺寸穩定性、雷射剝離性及耐有機溶劑性優異之薄膜。另外,本發明中,無色透明性優異意指全光線透射率高且黃色指數小,對熱之尺寸穩定性優異意指線熱膨脹係數低。
[聚醯亞胺樹脂]
本發明之聚醯亞胺樹脂係具有來自四羧酸二酐之構成單元A及來自二胺之構成單元B之聚醯亞胺樹脂,構成單元A含有來自下式(a-1)表示之化合物之構成單元(A-1)、來自下式(a-2)表示之化合物之構成單元(A-2)、及來自下式(a-3)表示之化合物之構成單元(A-3),構成單元B含有來自下式(b-1)表示之化合物之構成單元(B-1)。
<構成單元A>
構成單元A係聚醯亞胺樹脂中所佔的來自四羧酸二酐之構成單元,含有來自式(a-1)表示之化合物之構成單元(A-1)、來自式(a-2)表示之化合物之構成單元(A-2)、及來自式(a-3)表示之化合物之構成單元(A-3)。藉由構成單元(A-1),會改善無色透明性及尺寸穩定性,藉由構成單元(A-2),會改善雷射剝離性及耐有機溶劑性,藉由構成單元(A-3),會改善無色透明性。
式(a-1)表示之化合物為降莰烷-2-螺-α-環戊酮-α’-螺-2’’-降莰烷-5,5’’,6,6’’-四羧酸二酐。
式(a-3)表示之化合物為1,2,4,5-環己烷四羧酸二酐。
式(a-2)表示之化合物為聯苯四羧酸二酐(BPDA),其具體例可列舉下式(a-2s)表示之3,3’,4,4’-聯苯四羧酸二酐(s-BPDA)、下式(a-2a)表示之2,3,3’,4’-聯苯四羧酸二酐(a-BPDA)、下式(a-2i)表示之2,2’,3,3’-聯苯四羧酸二酐(i-BPDA)。
構成單元(A-1)在構成單元A中的比率宜為10~80莫耳%,更佳為15~55莫耳%,又更佳為20~45莫耳%,特佳為22.5~40莫耳%。
構成單元(A-2)在構成單元A中的比率宜為10~80莫耳%,更佳為20~60莫耳%,又更佳為25~50莫耳%,特佳為27.5~45莫耳%。
構成單元(A-3)在構成單元A中的比率宜為10~80莫耳%,更佳為25~65莫耳%,又更佳為30~55莫耳%,特佳為32.5~50莫耳%。
構成單元(A-1)~(A-3)在構成單元A中的合計比率宜為50莫耳%以上,更佳為70莫耳%以上,又更佳為90莫耳%以上,特佳為99莫耳%以上。構成單元(A-1)~(A-3)之合計比率之上限值不特別限定,亦即為100莫耳%。構成單元A也可僅由構成單元(A-1)、構成單元(A-2)、及構成單元(A-3)構成。
構成單元A也可含有構成單元(A-1)~(A-3)以外的構成單元。提供如此之構成單元的四羧酸二酐不特別限定,可列舉:均苯四甲酸二酐及4,4’-(六氟異亞丙基)二鄰苯二甲酸酐等芳香族四羧酸二酐(但不包括式(a-2)表示之化合物);1,2,3,4-環丁烷四羧酸二酐等脂環族四羧酸二酐(但不包括式(a-1)表示之化合物及式(a-3)表示之化合物);及1,2,3,4-丁烷四羧酸二酐等脂肪族四羧酸二酐。
另外,本說明書中,芳香族四羧酸二酐意指含有1個以上之芳香環的四羧酸二酐,脂環族四羧酸二酐意指含有1個以上之脂環且不含芳香環的四羧酸二酐,脂肪族四羧酸二酐意指既不含芳香環也不含脂環的四羧酸二酐。
構成單元A中任意含有的構成單元(亦即,構成單元(A-1)~(A-3)以外的構成單元)可為1種,也可為2種以上。
<構成單元B>
構成單元B係聚醯亞胺樹脂中所佔的來自二胺之構成單元,含有來自式(b-1)表示之化合物之構成單元(B-1)。藉由構成單元(B-1),會改善機械特性及尺寸穩定性。
式(b-1)表示之化合物為2,2’-雙(三氟甲基)聯苯胺。
構成單元(B-1)在構成單元B中的比率宜為50莫耳%以上,更佳為70莫耳%以上,又更佳為90莫耳%以上,特佳為99莫耳%以上。構成單元(B-1)之比率之上限值不特別限定,亦即為100莫耳%。構成單元B也可僅由構成單元(B-1)構成。
構成單元B也可含有構成單元(B-1)以外的構成單元。提供如此之構成單元的二胺不特別限定,可列舉:1,4-苯二胺、對亞二甲苯二胺、3,5-二胺基苯甲酸、2,2’-二甲基聯苯-4,4’-二胺、4,4’-二胺基二苯醚、4,4’-二胺基二苯基甲烷、2,2-雙(4-胺基苯基)六氟丙烷、雙(4-胺基苯基)碸、4,4’-二胺基苯醯替苯胺、1-(4-胺基苯基)-2,3-二氫-1,3,3-三甲基-1H-茚-5-胺、α,α’-雙(4-胺基苯基)-1,4-二異丙基苯、N,N’-雙(4-胺基苯基)對苯二甲醯胺、4,4’-雙(4-胺基苯氧基)聯苯、2,2-雙[4-(4-胺基苯氧基)苯基]丙烷、2,2-雙(4-(4-胺基苯氧基)苯基)六氟丙烷、及9,9-雙(4-胺基苯基)茀等芳香族二胺(但不包括式(b-1)表示之化合物);1,3-雙(胺基甲基)環己烷及1,4-雙(胺基甲基)環己烷等脂環族二胺;以及乙二胺及六亞甲基二胺等脂肪族二胺。
另外,本說明書中,芳香族二胺意指含有1個以上之芳香環的二胺,脂環族二胺意指含有1個以上之脂環且不含芳香環的二胺,脂肪族二胺意指既不含芳香環也不含脂環的二胺。
構成單元B中任意含有的構成單元(亦即,構成單元(B-1)以外的構成單元)可為1種,也可為2種以上。
就本發明之聚醯亞胺樹脂之數目平均分子量而言,考量獲得之聚醯亞胺薄膜之機械強度的觀點,宜為5,000~100,000。另外,聚醯亞胺樹脂之數目平均分子量,例如可由利用凝膠過濾層析測定而得之標準聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)換算值求出。
本發明之聚醯亞胺樹脂可形成機械特性及耐熱性良好,而且無色透明性、對熱之尺寸穩定性、雷射剝離性及耐有機溶劑性優異之薄膜。使用本發明之聚醯亞胺樹脂所能形成之薄膜之理想的物性值如下。
拉伸強度宜為80MPa以上,更佳為100MPa以上,又更佳為110MPa以上。
拉伸彈性模量宜為2.5GPa以上,更佳為3.0GPa以上,又更佳為3.2GPa以上。
玻璃轉移溫度(Tg)宜為320℃以上,更佳為340℃以上,又更佳為350℃以上。
就全光線透射率而言,於製成厚度10μm之薄膜時,宜為88%以上,更佳為89%以上,又更佳為90%以上。
就黃色指數(YI)而言,於製成厚度10μm之薄膜時,宜為2.9以下,更佳為2.7以下,又更佳為2.5以下。
就線熱膨脹係數(CTE)而言,針對100~250℃之CTE,宜為25ppm/℃以下,更佳為20ppm/℃以下,又更佳為12ppm/℃以下。
就於波長308nm之光線透射率而言,於製成厚度10μm之薄膜時,宜為1.0%以下,更佳為0.6%以下,又更佳為0.4%以下。於波長308nm之光線透射率越小,則利用波長308nm之XeCl準分子雷射進行剝離時的雷射剝離性越優良。
另外,本發明中的拉伸彈性模量、拉伸強度、玻璃轉移溫度(Tg)、全光線透射率、黃色指數(YI)、線熱膨脹係數(CTE)、於波長308nm之光線透射率,具體可利用實施例記載的方法進行測定。
[聚醯亞胺樹脂之製造方法]
本發明之聚醯亞胺樹脂,可藉由使含有提供上述構成單元(A-1)之化合物、提供上述構成單元(A-2)之化合物、及提供上述構成單元(A-3)之化合物的四羧酸成分、與含有提供上述構成單元(B-1)之化合物的二胺成分進行反應以製造。
就提供構成單元(A-1)之化合物而言可列舉式(a-1)表示之化合物,但不限於此,在提供相同的構成單元的範圍內也可為其衍生物。該衍生物可列舉:和式(a-1)表示之四羧酸二酐對應的四羧酸(亦即,降莰烷-2-螺-α-環戊酮-α’-螺-2’’-降莰烷-5,5’’,6,6’’-四羧酸)、及該四羧酸之烷酯。提供構成單元(A-1)之化合物宜為式(a-1)表示之化合物(亦即,二酐)。
同樣地,就提供構成單元(A-2)之化合物而言可列舉式(a-2)表示之化合物,但不限於此,在提供相同的構成單元的範圍內也可為其衍生物。該衍生物可列舉和式(a-2)表示之四羧酸二酐對應的四羧酸及該四羧酸之烷酯。提供構成單元(A-2)之化合物宜為式(a-2)表示之化合物(亦即,二酐)。
同樣地,就提供構成單元(A-3)之化合物而言可列舉式(a-3)表示之化合物,但不限於此,在提供相同的構成單元的範圍內也可為其衍生物。該衍生物可列舉和式(a-3)表示之四羧酸二酐對應的四羧酸及該四羧酸之烷酯。提供構成單元(A-3)之化合物宜為式(a-3)表示之化合物(亦即,二酐)。
就提供構成單元(B-1)之化合物而言可列舉式(b-1)表示之化合物,但不限於此,在提供相同的構成單元的範圍內也可為其衍生物。該衍生物可列舉和式(b-1)表示之二胺對應的二異氰酸酯。提供構成單元(B-1)之化合物宜為式(b-1)表示之化合物(亦即,二胺)。
提供構成單元(A-1)之化合物在四羧酸成分中的含量宜為10~80莫耳%,更佳為15~55莫耳%,又更佳為20~45莫耳%,特佳為22.5~40莫耳%。
提供構成單元(A-2)之化合物在四羧酸成分中的含量宜為10~80莫耳%,更佳為20~60莫耳%,又更佳為25~50莫耳%,特佳為27.5~45莫耳%。
提供構成單元(A-3)之化合物在四羧酸成分中的含量宜為10~80莫耳%,更佳為25~65莫耳%,又更佳為30~55莫耳%,特佳為32.5~50莫耳%。
提供構成單元(A-1)之化合物、提供構成單元(A-2)之化合物、及提供構成單元(A-3)之化合物在四羧酸成分中的合計含量宜為50莫耳%以上,更佳為70莫耳%以上,又更佳為90莫耳%以上,特佳為99莫耳%以上。提供構成單元(A-1)之化合物、提供構成單元(A-2)之化合物、及提供構成單元(A-3)之化合物的合計含量之上限值不特別限定,亦即為100莫耳%。四羧酸成分也可僅由提供構成單元(A-1)之化合物、提供構成單元(A-2)之化合物、及提供構成單元(A-3)之化合物構成。
四羧酸成分也可含有提供構成單元(A-1)~(A-3)中之任一者的化合物以外的化合物,就該化合物而言,可列舉上述芳香族四羧酸二酐、脂環族四羧酸二酐、及脂肪族四羧酸二酐、以及它們的衍生物(四羧酸、四羧酸之烷酯等)。
四羧酸成分中任意含有之化合物(亦即,提供構成單元(A-1)~(A-3)中之任一者的化合物以外的化合物)可為1種,也可為2種以上。
提供構成單元(B-1)之化合物在二胺成分中的含量宜為50莫耳%以上,更佳為70莫耳%以上,又更佳為90莫耳%以上,特佳為99莫耳%以上。提供構成單元(B-1)之化合物的含量之上限值不特別限定,亦即為100莫耳%。二胺成分也可僅由提供構成單元(B-1)之化合物構成。
二胺成分也可含有提供構成單元(B-1)之化合物以外的化合物,就該化合物而言,可列舉上述芳香族二胺、脂環族二胺、及脂肪族二胺、以及它們的衍生物(二異氰酸酯等)。
二胺成分中任意含有之化合物(亦即,提供構成單元(B-1)之化合物以外的化合物)可為1種,也可為2種以上。
就製造本發明之聚醯亞胺樹脂時所使用的四羧酸成分與二胺成分的加入量比而言,相對於四羧酸成分1莫耳,二胺成分宜為0.9~1.1莫耳。
又,在製造本發明之聚醯亞胺樹脂時,除了使用前述四羧酸成分及二胺成分外,還可使用封端劑。封端劑宜為單胺類或二羧酸類。就所導入的封端劑的加入量而言,相對於四羧酸成分1莫耳宜為0.0001~0.1莫耳,為0.001~0.06莫耳尤佳。就單胺類封端劑而言,例如推薦:甲胺、乙胺、丙胺、丁胺、苄胺、4-甲基苄胺、4-乙基苄胺、4-十二烷基苄胺、3-甲基苄胺、3-乙基苄胺、苯胺、3-甲基苯胺、4-甲基苯胺等。該等之中,可理想地使用苄胺、苯胺。就二羧酸類封端劑而言,宜為二羧酸類,也可使其一部分形成閉環。例如推薦:酞酸、酞酸酐、4-氯酞酸、四氟酞酸、2,3-二苯甲酮二羧酸、3,4-二苯甲酮二羧酸、環己烷-1,2-二羧酸、環戊烷-1,2-二羧酸、4-環己烯-1,2-二羧酸等。該等之中,可理想地使用酞酸、酞酸酐。
使前述四羧酸成分與二胺成分反應的方法並無特別限制,可使用公知的方法。
就具體的反應方法而言可列舉:(1)將四羧酸成分、二胺成分、及反應溶劑加入至反應器中,於室溫~80℃攪拌0.5~30小時,之後升溫並進行醯亞胺化反應之方法;(2)將二胺成分及反應溶劑加入至反應器中並使其溶解後,加入四羧酸成分,視需要於室溫~80℃攪拌0.5~30小時,之後升溫並進行醯亞胺化反應之方法、(3)將四羧酸成分、二胺成分、及反應溶劑加入至反應器中,立即升溫並進行醯亞胺化反應之方法等。
製造聚醯亞胺樹脂時使用的反應溶劑,只要是不妨礙醯亞胺化反應且可溶解生成的聚醯亞胺者即可。例如可列舉非質子性溶劑、酚系溶劑、醚系溶劑、碳酸酯系溶劑等。
非質子性溶劑之具體例可列舉:N,N-二甲基甲醯胺、N,N-二甲基乙醯胺、N-甲基-2-吡咯烷酮、N-甲基己內醯胺、1,3-二甲基咪唑啶酮、四甲基脲等醯胺系溶劑;γ-丁內酯、γ-戊內酯等內酯系溶劑;六甲基磷醯胺、六甲基膦三醯胺等含磷系醯胺系溶劑;二甲基碸、二甲基亞碸、環丁碸等含硫系溶劑;丙酮、環己酮、甲基環己酮等酮系溶劑;甲基吡啶、吡啶等胺系溶劑;乙酸(2-甲氧基-1-甲基乙酯)等酯系溶劑等。
酚系溶劑之具體例可列舉:苯酚、鄰甲酚、間甲酚、對甲酚、2,3-二甲酚、2,4-二甲酚、2,5-二甲酚、2,6-二甲酚、3,4-二甲酚、3,5-二甲酚等。
醚系溶劑之具體例可列舉:1,2-二甲氧基乙烷、雙(2-甲氧基乙基)醚、1,2-雙(2-甲氧基乙氧基)乙烷、雙[2-(2-甲氧基乙氧基)乙基]醚、四氫呋喃、1,4-二㗁烷等。
又,碳酸酯系溶劑之具體例可列舉:碳酸二乙酯、碳酸甲基乙酯、碳酸伸乙酯、碳酸伸丙酯等。
上述反應溶劑之中,又以醯胺系溶劑或內酯系溶劑較佳。又,上述反應溶劑也可單獨使用或混用2種以上。
就醯亞胺化反應而言,宜使用Dean-Stark裝置等邊將製造時生成的水除去邊進行反應。藉由進行如此的操作,可更加提升聚合度及醯亞胺化率。
上述之醯亞胺化反應中,可使用公知的醯亞胺化觸媒。就醯亞胺化觸媒而言可列舉鹼觸媒或酸觸媒。
鹼觸媒可列舉:吡啶、喹啉、異喹啉、α-甲基吡啶、β-甲基吡啶、2,4-二甲基吡啶、2,6-二甲基吡啶、三甲胺、三乙胺、三丙胺、三丁胺、三伸乙二胺、咪唑、N,N-二甲基苯胺、N,N-二乙基苯胺等有機鹼觸媒;氫氧化鉀、氫氧化鈉、碳酸鉀、碳酸鈉、碳酸氫鉀、碳酸氫鈉等無機鹼觸媒。
又,酸觸媒可列舉:巴豆酸、丙烯酸、反式-3-己烯酸、桂皮酸、苯甲酸、甲基苯甲酸、羥基苯甲酸、對苯二甲酸、苯磺酸、對甲苯磺酸、萘磺酸等。上述之醯亞胺化觸媒可單獨使用或將2種以上組合使用。
上述之中,考量操作性的觀點,宜使用鹼觸媒,更佳係使用有機鹼觸媒,又更佳係使用三乙胺,特佳係將三乙胺與三伸乙二胺組合使用。
就醯亞胺化反應之溫度而言,考量反應率及抑制凝膠化等的觀點,宜為120~250℃,更佳為160~200℃。又,就反應時間而言,從開始餾出生成水算起宜為0.5~10小時。
[聚醯亞胺清漆]
本發明之聚醯亞胺清漆為將本發明之聚醯亞胺樹脂溶解於有機溶劑而成者。亦即,本發明之聚醯亞胺清漆含有本發明之聚醯亞胺樹脂及有機溶劑,且該聚醯亞胺樹脂係溶於該有機溶劑。
有機溶劑只要是會使聚醯亞胺樹脂溶解者即可,不特別限定,宜將作為製作聚醯亞胺樹脂時所使用的反應溶劑的上述化合物予以單獨使用或混用2種以上。
本發明之聚醯亞胺清漆可為利用聚合法得到的聚醯亞胺樹脂溶於反應溶劑而成的聚醯亞胺溶液本身,或也可為對該聚醯亞胺溶液進一步追加稀釋溶劑而成者。
本發明之聚醯亞胺樹脂具有溶劑溶解性,故可於室溫製成穩定的高濃度之清漆。本發明之聚醯亞胺樹脂在本發明之聚醯亞胺清漆中的含量宜為5~40質量%,更佳為10~30質量%。聚醯亞胺清漆之黏度宜為1~200Pa・s,為5~150Pa・s更佳。聚醯亞胺清漆之黏度係使用E型黏度計於25℃進行測定而得之值。
又,本發明之聚醯亞胺清漆,在不損及聚醯亞胺薄膜之要求特性之範圍內,也可含有無機填料、黏接促進劑、剝離劑、阻燃劑、紫外線穩定劑、界面活性劑、調平劑、消泡劑、螢光增白劑、交聯劑、聚合起始劑、感光劑等各種添加劑。
本發明之聚醯亞胺清漆之製造方法不特別限定,可使用公知的方法。
[聚醯亞胺薄膜]
本發明之聚醯亞胺薄膜含有本發明之聚醯亞胺樹脂。是以,本發明之聚醯亞胺薄膜係機械特性及耐熱性良好,而且無色透明性、對熱之尺寸穩定性、雷射剝離性及耐有機溶劑性優異。本發明之聚醯亞胺薄膜所具有的理想的物性值如上述。
本發明之聚醯亞胺薄膜之製造方法並無特別限制,可使用公知的方法。例如可列舉:將本發明之聚醯亞胺清漆塗佈在玻璃板、金屬板、塑膠等平滑的支持體上、或予以成形為薄膜狀後,利用加熱除去該清漆中含有的反應溶劑、稀釋溶劑等有機溶劑之方法等。於前述支持體之表面,視需要也可預先塗佈脫膜劑。
利用加熱除去清漆中含有的有機溶劑之方法,宜為下列方法。亦即,宜在120℃以下之溫度使有機溶劑蒸發並製成自支持性薄膜後,將該自支持性薄膜從支持體剝離,將該自支持性薄膜之端部固定,在所使用之有機溶劑的沸點以上之溫度進行乾燥而製造聚醯亞胺薄膜。又,宜在氮氣環境下進行乾燥。乾燥環境之壓力可為減壓、常壓、加壓中之任一者。就將自支持性薄膜乾燥而製造聚醯亞胺薄膜時之加熱溫度而言,考量賦予聚醯亞胺薄膜耐有機溶劑性的觀點,宜設為320℃以上,設為340℃以上更佳。針對加熱溫度之上限不特別限定,宜設為400℃以下。
本發明之聚醯亞胺薄膜之厚度可因應用途等適當地選擇,宜為1~250μm,更佳為5~100μm,又更佳為10~80μm之範圍。藉由厚度為1~250μm,可實際用作為自立膜。
針對聚醯亞胺薄膜之厚度,可藉由調整聚醯亞胺清漆之固體成分濃度、黏度而輕易地予以控制。
本發明之聚醯亞胺薄膜可理想地用作彩色濾光片、可撓性顯示器、半導體零件、光學構件等各種構件用的薄膜。本發明之聚醯亞胺薄膜尤其可理想地用作液晶顯示器、OLED顯示器等圖像顯示裝置之基板。
[實施例]
以下,藉由實施例具體地說明本發明。惟,本發明不限於該等實施例。
實施例及比較例中得到的聚醯亞胺清漆之固體成分濃度及聚醯亞胺薄膜之各物性係利用如下所示之方法測定。
(1)固體成分濃度
聚醯亞胺清漆之固體成分濃度之測定,係利用AS ONE(股)公司製的小型電爐「MMF-1」將試樣以320℃×120min之條件加熱,並由加熱前後之試樣之質量差算出。
(2)薄膜厚度
薄膜厚度係使用Mitutoyo(股)公司製的測微計測定。
(3)拉伸強度、拉伸彈性模量
依據JIS K7127,使用東洋精機(股)公司製的拉伸試驗機「Strograph VG-1E」進行測定。
(4)玻璃轉移溫度(Tg)
使用Hitachi High-Tech Science(股)公司製的熱機械分析裝置「TMA/ SS6100」,於拉伸模式下以試樣尺寸2mm×20mm、荷重0.1N、升溫速度10℃/min之條件升溫至Tg以上而除去殘留應力,之後以相同條件從50℃至400℃進行 TMA測定,求出Tg。
(5)全光線透射率、黃色指數(YI)
依據JIS K7361-1,使用日本電色工業(股)公司製的色彩-濁度同時測定器「COH400」進行測定。
(6)線熱膨脹係數(CTE)
使用Hitachi High-Tech Science(股)公司製的熱機械分析裝置「TMA/ SS6100」,於拉伸模式下以試樣尺寸2mm×20mm、荷重0.1N、升溫速度10℃/min之條件進行TMA測定,求出100~250℃之CTE。
(7)於波長308nm之光線透射率
使用島津製作所(股)公司製的紫外可見近紅外分光光度計「UV-3100PC」進行測定。
(8)耐有機溶劑性
將得到的薄膜浸漬於有機溶劑中預定的時間,評價耐有機溶劑性。另外,有機溶劑係使用用以除去光阻層的剝離液即N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)與2-胺基乙醇之混合溶劑(按質量比1:1混合)。
耐有機溶劑性之評價基準設定如下。
E:浸漬於有機溶劑中未達10分鐘時薄膜表面溶解。
D:浸漬於有機溶劑中10分鐘以上且未達20分鐘時薄膜表面溶解。
C:浸漬於有機溶劑中20分鐘以上且未達30分鐘時薄膜表面溶解。
B:浸漬於有機溶劑中30分鐘以上且未達40分鐘時薄膜表面溶解。
A:浸漬於有機溶劑中40分鐘後,薄膜表面仍未有溶解未有變化。
考量實用上的觀點,薄膜表面未有溶解未有變化達10分鐘以上的話較為理想,上述評價E係不合格的水準。
實施例及比較例中使用的酸二酐及二胺、以及其縮寫如下。
<酸二酐>
CpODA:降莰烷-2-螺-α-環戊酮-α’-螺-2’’-降莰烷-5,5’’,6,6’’-四羧酸二酐(JX Energy(股)公司製;式(a-1)表示之化合物)
BPDA:3,3’,4,4’-聯苯四羧酸二酐(三菱化學(股)公司製;式(a-2)表示之化合物)
HPMDA:1,2,4,5-環己烷四羧酸二酐(三菱瓦斯化學(股)公司製;式(a-3)表示之化合物)
<二胺>
TFMB:2,2’-雙(三氟甲基)聯苯胺(和歌山精化工業(股)公司製;式(b-1)表示之化合物)
<實施例1>
在配備有不銹鋼製半月型攪拌葉片、氮氣導入管、安裝有冷卻管之Dean-Stark裝置、溫度計、玻璃製端蓋的1L之5口圓底燒瓶中,投入TFMB 32.024g(0.100莫耳)、及γ-丁內酯(三菱化學(股)公司製)73.799g,於系內溫度70℃、氮氣環境下,以轉速200rpm進行攪拌,得到溶液。
於此溶液中一次添加CpODA11.531g(0.030莫耳)、BPDA8.826g(0.030莫耳)、HPMDA8.967g(0.040莫耳)、及γ-丁內酯(三菱化學(股)公司製)18.450g後,投入作為醯亞胺化觸媒的三乙胺(關東化學(股)公司製)5.06g及三伸乙二胺(東京化成工業(股)公司製)0.056g,以加熱套進行加熱,歷時約20分鐘使反應系內溫度上升至190℃。邊收集餾去的成分並配合黏度上升調整轉速,邊將反應系內溫度保持在190℃並回流5小時。
然後,添加γ-丁內酯(三菱化學(股)公司製)164.99g,將反應系內溫度冷卻至120℃後,進一步攪拌約3小時使其均勻,得到固體成分濃度10質量%之聚醯亞胺清漆。然後將得到之聚醯亞胺清漆塗佈在玻璃板上,利用熱板於80℃保持20分鐘,之後,在氮氣環境下、熱風乾燥機中於350℃加熱30分鐘而使溶劑蒸發,得到厚度10μm之薄膜。將結果示於表1。
<實施例2>
將CpODA之量從0.030莫耳變更為0.025莫耳,將BPDA之量從0.030莫耳變更為0.035莫耳,除此以外,以與實施例1同樣的方法製作聚醯亞胺清漆,得到固體成分濃度10質量%之聚醯亞胺清漆。使用得到之聚醯亞胺清漆,以與實施例1同樣的方法製作薄膜,得到厚度20μm之薄膜。將結果示於表1。
<實施例3>
將BPDA之量從0.030莫耳變更為0.035莫耳,將HPMDA之量從0.040莫耳變更為0.035莫耳,除此以外,以與實施例1同樣的方法製作聚醯亞胺清漆,得到固體成分濃度10質量%之聚醯亞胺清漆。使用得到之聚醯亞胺清漆,以與實施例1同樣的方法製作薄膜,得到厚度14μm之薄膜。將結果示於表1。
<比較例1>
針對酸二酐僅使用CpODA0.100莫耳,除此以外,以與實施例1同樣的方法製作聚醯亞胺清漆,得到固體成分濃度10質量%之聚醯亞胺清漆。使用得到之聚醯亞胺清漆,以與實施例1同樣的方法製作薄膜,得到厚度14μm之薄膜。將結果示於表1。
<比較例2>
在配備有不銹鋼製半月型攪拌葉片、氮氣導入管、安裝有冷卻管之Dean-Stark裝置、溫度計、玻璃製端蓋的500mL之5口圓底燒瓶中,投入TFMB32.024g(0.100莫耳)、及N,N-二甲基甲醯胺(三菱瓦斯化學(股)公司製) 73.993g,於系內溫度50℃、氮氣環境下,以轉速200rpm進行攪拌,得到溶液。
於此溶液中一次添加BPDA29.420g(0.100莫耳)、及N,N-二甲基甲醯胺(三菱瓦斯化學(股)公司製)18.498g後,歷時約20分鐘使其溶解,邊配合黏度上升調整轉速,邊於室溫攪拌5小時。
之後,添加N,N-二甲基甲醯胺(三菱瓦斯化學(股)公司製)165.442g,攪拌約1小時使其均勻,得到固體成分濃度20質量%之聚醯胺酸清漆。然後,將得到之聚醯胺酸清漆塗佈在玻璃板上,利用熱板於80℃保持20分鐘,之後,藉由在氮氣環境下、熱風乾燥機中於350℃加熱30分鐘,使聚醯胺酸醯亞胺化,並使清漆中的溶劑蒸發,得到厚度7μm之薄膜。將結果示於表1。
<比較例3>
針對酸二酐僅使用HPMDA0.100莫耳,除此以外,以與實施例1同樣的方法製作聚醯亞胺清漆,得到固體成分濃度10質量%之聚醯亞胺清漆。使用得到之聚醯亞胺清漆,以與實施例1同樣的方法製作薄膜,得到厚度10μm之薄膜。將結果示於表1。
如表1所示,實施例1~3之聚醯亞胺薄膜係機械特性及耐熱性良好,而且無色透明性、對熱之尺寸穩定性、雷射剝離性及耐有機溶劑性優異。
反觀比較例1之聚醯亞胺薄膜,雷射剝離性非常差,耐有機溶劑性亦為實用上不合格的水準。比較例2之聚醯亞胺薄膜則是無色透明性稍差,而且對熱之尺寸穩定性非常差。比較例3之聚醯亞胺薄膜則是對熱之尺寸穩定性及雷射剝離性非常差。
Claims (4)
- 如申請專利範圍第1項之聚醯亞胺樹脂,其中,該構成單元(A-1)在該構成單元A中的比率為10~55莫耳%, 該構成單元(A-2)在該構成單元A中的比率為10~50莫耳%。
- 一種聚醯亞胺清漆,係將如申請專利範圍第1或2項之聚醯亞胺樹脂溶解於有機溶劑而成。
- 一種聚醯亞胺薄膜,含有如申請專利範圍第1或2項之聚醯亞胺樹脂。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017240825 | 2017-12-15 | ||
| JP2017-240825 | 2017-12-15 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TW201927859A TW201927859A (zh) | 2019-07-16 |
| TWI777005B true TWI777005B (zh) | 2022-09-11 |
Family
ID=66819168
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW107143554A TWI777005B (zh) | 2017-12-15 | 2018-12-05 | 聚醯亞胺樹脂、聚醯亞胺清漆以及聚醯亞胺薄膜 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7205491B2 (zh) |
| KR (1) | KR102692863B1 (zh) |
| CN (1) | CN111465634B (zh) |
| TW (1) | TWI777005B (zh) |
| WO (1) | WO2019116940A1 (zh) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7757955B2 (ja) * | 2020-03-27 | 2025-10-22 | 三菱瓦斯化学株式会社 | ポリイミドフィルム及び積層体 |
| JP7476698B2 (ja) * | 2020-07-15 | 2024-05-01 | 東洋紡株式会社 | ポリイミドフィルム、ポリイミドフィルムと無機基板の積層体、フレキシブル電子デバイス |
| TWI740758B (zh) * | 2020-12-25 | 2021-09-21 | 律勝科技股份有限公司 | 聚醯胺醯亞胺共聚物及含其之薄膜 |
| TWI758034B (zh) * | 2020-12-25 | 2022-03-11 | 律勝科技股份有限公司 | 聚醯亞胺及其所形成之膜 |
| CN119403859A (zh) * | 2022-06-24 | 2025-02-07 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 聚酰亚胺清漆的制造方法 |
| CN119546672A (zh) * | 2022-06-24 | 2025-02-28 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 聚酰亚胺的制造方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| TW201827485A (zh) * | 2016-10-07 | 2018-08-01 | 日商Jxtg能源股份有限公司 | 聚醯亞胺、聚醯亞胺前驅物樹脂、該等之溶液、聚醯亞胺之製造方法及使用聚醯亞胺之薄膜 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5412933B2 (ja) | 2008-08-01 | 2014-02-12 | 新日本理化株式会社 | ポリイミド樹脂 |
| US20130079490A1 (en) | 2010-02-09 | 2013-03-28 | Tokyo Polytechnic University | NORBORNANE-2-SPIRO-alpha-CYCLOALKANONE-alpha'-SPIRO-2''-NORBORNANE-5,5'',6,6''-TETRACARBOXYLIC DIANHYDRIDE, NORBORNANE-2-SPIRO-alpha-CYCLOALKANONE-alpha'-SPIRO-2''-NORBORNANE-5,5'',6,6''-TETRACARBOXYLIC ACID AND ESTER THEREOF, METHOD FOR PRODUCING NORBORNANE-2-SPIRO-alpha-CYCLOALKANONE-alpha'-SPIRO-2''-NORBORNANE-5,5'',6,6''-TETRACARBOXYLIC DIANHYDRIDE, POLYIMIDE OBTAINED BY USING THE SAME, AND METHOD FOR PRODUCING POLYIMIDE |
| JP6431369B2 (ja) * | 2012-05-28 | 2018-11-28 | 宇部興産株式会社 | ポリイミド前駆体及びポリイミド |
| JP6477469B2 (ja) * | 2013-07-05 | 2019-03-06 | 三菱瓦斯化学株式会社 | ポリイミド樹脂 |
| JP6293457B2 (ja) | 2013-11-12 | 2018-03-14 | 学校法人東邦大学 | ポリイミドおよび耐熱性フィルム |
| CN105764991B (zh) * | 2013-11-27 | 2018-10-26 | 宇部兴产株式会社 | 聚酰亚胺前体组合物、聚酰亚胺的制造方法、聚酰亚胺、聚酰亚胺膜和基板 |
| JP6254197B2 (ja) * | 2014-02-14 | 2017-12-27 | 旭化成株式会社 | ポリイミド前駆体及びそれを含有する樹脂組成物 |
| JP6492934B2 (ja) * | 2015-04-27 | 2019-04-03 | 宇部興産株式会社 | ポリアミック酸溶液組成物およびポリイミドフィルム |
| JP2018172669A (ja) * | 2017-03-30 | 2018-11-08 | Jxtgエネルギー株式会社 | ポリアミドイミド、樹脂溶液、及び、フィルム |
-
2018
- 2018-12-03 CN CN201880080402.3A patent/CN111465634B/zh active Active
- 2018-12-03 KR KR1020207016818A patent/KR102692863B1/ko active Active
- 2018-12-03 JP JP2019559556A patent/JP7205491B2/ja active Active
- 2018-12-03 WO PCT/JP2018/044368 patent/WO2019116940A1/ja not_active Ceased
- 2018-12-05 TW TW107143554A patent/TWI777005B/zh active
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW201739793A (zh) * | 2016-05-06 | 2017-11-16 | 三菱瓦斯化學股份有限公司 | 聚醯亞胺樹脂 |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPWO2019116940A1 (ja) | 2020-12-03 |
| JP7205491B2 (ja) | 2023-01-17 |
| KR20200089287A (ko) | 2020-07-24 |
| TW201927859A (zh) | 2019-07-16 |
| WO2019116940A1 (ja) | 2019-06-20 |
| CN111465634B (zh) | 2023-03-10 |
| CN111465634A (zh) | 2020-07-28 |
| KR102692863B1 (ko) | 2024-08-08 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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