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TWI771931B - 具有單一電晶體驅動器之記憶體裝置、操作該記憶體裝置之方法及包括該記憶體裝置之系統 - Google Patents

具有單一電晶體驅動器之記憶體裝置、操作該記憶體裝置之方法及包括該記憶體裝置之系統 Download PDF

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TWI771931B
TWI771931B TW110106881A TW110106881A TWI771931B TW I771931 B TWI771931 B TW I771931B TW 110106881 A TW110106881 A TW 110106881A TW 110106881 A TW110106881 A TW 110106881A TW I771931 B TWI771931 B TW I771931B
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TW110106881A
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費迪南朵 畢德斯奇
艾芙倫 波藍帝那
文森佐 溫伯特 迪
里卡多 幕札托
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美商美光科技公司
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Abstract

本發明描述一種具有單一電晶體驅動器之記憶體裝置及操作該記憶體裝置之方法。在一些實施例中,該記憶體裝置可包含:記憶體單元,其位於一記憶體陣列之存取線的交叉點處;一第一偶數單一電晶體驅動器,其經組態以:在一閒置相位期間將一第一偶數存取線驅動至一放電電壓,在一主動相位期間將該第一偶數存取線驅動至一浮動電壓,且在一脈衝相位期間將該第一偶數存取線驅動至一讀取/程式化電壓;及一第一奇數單一電晶體驅動器,其經組態以:在該閒置相位期間將一第一奇數存取線驅動至該放電電壓,該第一奇數存取線實體地鄰近於該第一偶數存取線,在該主動相位期間將該第一奇數存取線驅動至該浮動電壓,及在該脈衝相位期間將該第一奇數存取線驅動至一屏蔽電壓。

Description

具有單一電晶體驅動器之記憶體裝置、操作該記憶體裝置之方法及包括該記憶體裝置之系統
以下內容大體上係關於記憶體裝置,且更具體而言係關於具有單一電晶體驅動器之記憶體裝置及其方法。
記憶體裝置廣泛地用於在諸如電腦、無線通信裝置、攝影機、數位顯示器及類似者之各種電子裝置中儲存資訊。資訊藉由程式化記憶體裝置之不同狀態而進行儲存。舉例而言,二進位裝置具有兩個狀態,通常表示為邏輯「1」或邏輯「0」。在其他系統中,可儲存多於兩個狀態。為了存取所儲存之資訊,電子裝置之一組件可讀取或感測記憶體裝置中的所儲存之狀態。為了儲存資訊,電子裝置之一組件可寫入或程式化記憶體裝置中之狀態。
存在各種類型之記憶體裝置,包括磁性硬碟機、隨機存取記憶體(RAM)、唯讀記憶體(ROM)、動態RAM(DRAM)、同步動態RAM(SDRAM)、鐵電RAM(FeRAM)、磁性RAM(MRAM)、電阻式RAM(RRAM)、快閃記憶體、相變記憶體(PCM)及其他者。記憶體裝置可為揮發性的或非揮發性的。即使在不存在外部電源的情況下,非揮發性記憶體,例如FeRAM亦可維持其所儲存邏輯狀態歷時擴展之時間段。揮發性 記憶體單元隨時間推移可能會失去其儲存狀態,除非其藉由外部電源經週期性地再新。
成本降低及裝置效能在最先進記憶體裝置中愈發相關。然而,縮放技術,例如,採用具有較小特徵大小的製造技術,將增加相當大的處理成本。一些技術,諸如三維(3D)技術,採用晶片的豎直尺寸來形成記憶體單元以便提高記憶體容量與面積之間的比率。找到更具成本效益且更可高效設計方案為高度符合需要的,尤其對於陣列相關電路,諸如存取線驅動器而言。
100:記憶體裝置
102:三維記憶體陣列
103:二維記憶體陣列
105:記憶體單元
110:字線
110-a:字線
110-b:字線
115-a:位元線
115:位元線
120:列解碼器
125:感測組件
130:行解碼器
135:輸入/輸出
140:記憶體控制器
145:記憶體單元堆疊
200:記憶體陣列
204:基板
205:第一疊組
210:第二疊組
215-a:第一電極
215-b:第一電極
220-a:記憶體單元
220-b:記憶體單元
225-a:第二電極
225-b:第二電極
220:記憶體單元
300:記憶體架構
302:現用記憶體陣列
304:子陣列
305:記憶體單元
306:子陣列
308:子陣列
310:子陣列
312:字線驅動器
314:數位線驅動器
320:數位線
321:經定址數位線
322:插口互連區
330:字線
330adj:字線
331:經定址字線
332:插口互連區
400:單一電晶體驅動器
470:閘極節點
480:汲極節點
490:源極節點/存取線
499:主體節點
500:群組
500<0>:單一電晶體驅動器
500<n>:單一電晶體驅動器
570<0>:閘極節點
570<n>:閘極節點
571:信號線
580<0>:汲極節點
580<n>:汲極節點
590<0>:源極節點
590<n>:源極節點
591<0>:奇數存取線
591<n>:奇數存取線
599<0>:主體節點
599<n>:主體節點
600:記憶體陣列
601E:偶數驅動器
601O:奇數驅動器
602:單一電晶體驅動器
604:群組
671E:控制信號線
671O:控制信號線
690E:存取線
690O:存取線
771E:控制信號線
771O:控制信號線
790E:存取線
790O:存取線
801E:偶數驅動器
801O:奇數驅動器
804:群組
871E:閘極控制信號線
871O:閘極控制信號線
890<0>:經定址存取線
890<1>:存取線
890adj:鄰近存取線
890unrel:不相關存取線
904:群組
971E:閘極控制信號線
990<0>:經定址存取線
990<1>:存取線
990adj:鄰近存取線
990unrel:不相關存取線
1001E:偶數驅動器
1001O:奇數驅動器
1004E:群組
1004O:群組
1071O:閘極控制信號線
1090<0>:未定址存取線
1090<1>:經定址存取線
1090adj:鄰近存取線
1090unrel:不相關存取線
1101E:偶數驅動器
1101O:奇數驅動器
1104E:群組
1104O:群組
1171O:閘極控制信號線
1190<0>:未定址存取線
1190<1>:經定址存取線
1190adj:鄰近存取線
1190unrel:不相關存取線
1200:相圖
1201:閒置相位
1202:主動相位
1203:脈衝相位
1300:方法
1301:閒置相位
1302:主動相位
1303:脈衝相位
1310:步驟
1315:步驟
1325:步驟
1330:步驟
1335:步驟
1340:步驟
1345:步驟
1350:步驟
1355:步驟
1360:步驟
1365:步驟
1370:步驟
1400:方法
1401:閒置相位
1402:主動相位
1403:脈衝相位
1410:步驟
1415:步驟
1420:步驟
1425:步驟
1430:步驟
1435:步驟
1500:記憶體裝置
1509:輸入/輸出組件
1519:記憶體組件
1529:解碼組件
1539:偏壓組件
1549:感測組件
1559:相變組件
1569:計數及時序組件
1579:控制器組件
1589:匯流排
BL_1:數位線
BL_2:數位線
BL_N:數位線
L1E<0>:閘極控制信號線
L1E<1>:閘極控制信號線
L1E<2>:閘極控制信號線
L2E:汲極控制信號線
L2E<0>:控制信號線
L2E<1>:控制信號線
L1O<0>:閘極控制信號線
L1O<1>:閘極控制信號線
L1O<2>:閘極控制信號線
L2O:汲極控制信號線
L2O<0>:控制信號線
L2O<1>:控制信號線
LX1:信號線
LX2:信號線
LX2<0>:信號線
LX2<n>:信號線
WL_1:字線
WL_2:字線
WL_M:字線
XPL:存取線
XPL<0>:存取線
XPL<n>:存取線
圖1說明根據本發明之實施例的包括支援單一電晶體驅動器之記憶體單元陣列的記憶體裝置的例示性圖。
圖2說明根據本發明之實施例的支援單一電晶體驅動器之例示性3D記憶體陣列的透視圖。
圖3說明根據本發明之實施例的支援單一電晶體驅動器之3D記憶體陣列之解碼電路系統的實例區塊佈局。
圖4說明根據本發明之實施例的用於記憶體裝置之單一電晶體驅動器的實例。
圖5說明根據本發明之實施例的在記憶體裝置中將單一電晶體驅動器分組的實例。
圖6說明根據本發明之實施例的在支援單一電晶體驅動器之記憶體裝置的閒置相位期間之實例組態。
圖7說明根據本發明之實施例的在支援單一電晶體驅動器 之記憶體裝置的主動相位期間的實例組態。
圖8說明根據本發明之實施例的在支援單一電晶體驅動器之記憶體裝置的正讀取/程式化相位期間之實例組態。
圖9說明根據本發明之實施例的在支援單一電晶體驅動器之記憶體裝置的負讀取/程式化相位期間之實例組態。
圖10說明根據本發明之實施例的在支援單一電晶體驅動器之記憶體裝置之正讀取/程式化相位期間的另一實例組態。
圖11說明根據本發明之實施例的在支援單一電晶體驅動器之記憶體裝置的負讀取/程式化相位期間之另一實例組態。
圖12說明根據本發明之實施例的支援單一電晶體驅動器之記憶體裝置的相圖。
圖13說明根據本發明之實施例的用於支援單一電晶體驅動器之記憶體裝置之方法的流程圖。
圖14說明根據本發明之實施例的用於支援單一電晶體驅動器之記憶體裝置之方法的方塊圖。
圖15說明根據本發明之實施例的支援單一電晶體驅動器之記憶體裝置的方塊圖。
數位資訊儲存器要求愈來愈高。不同技術可用於以記憶體單元之邏輯狀態來儲存資訊之位元。獨立於允許資訊儲存之物理機制,需要愈來愈緻密的封裝。另外,效能必須不斷地增加,例如就愈來愈短的存取時間而言,且尤其對於行動或電池供應之應用,需要最小功率消耗。
此處揭示記憶體陣列架構,尤其適合於非揮發性資料儲 存,其允許記憶體單元之極密集封裝及在操作期間極低消耗。記憶體架構包含用於取決於正在執行的命令而將存取線驅動至正讀取/程式化電壓及負讀取/程式化電壓的單一電晶體驅動器。記憶體單元可位於字線及數位線之相交點處,例如,在交叉點記憶體陣列組織中,諸如在多疊層3D記憶體陣列中。可採用讀取/程式化電壓分割以限制驅動器及記憶體單元中之電壓應力並減少陣列中之洩漏。
根據所揭示之解決方案,操作可在一些相位(諸如閒置相位、主動相位及脈衝相位)中再分。本發明教示每一存取線在以上相位中之每一者期間如何經解碼及偏壓。確切地說,在閒置相位期間,所有存取線偏壓至放電電壓(例如,接地電壓),在主動相位期間,所有存取線偏壓至浮動電壓,且在脈衝相位期間,經定址存取線偏壓至所要(正或負)讀取/程式化電壓,而實體地鄰近於經定址線或與經定址線分組在一起之存取線偏壓至屏蔽電壓(例如,接地電壓),且不相關存取線(例如,既不鄰近經定址線亦不與經定址線分組在一起)保持在浮動電壓下。在執行存取操作(例如,自脈衝相位退出時)之後,記憶體裝置返回主動相位且保持在主動相位處等待直至接收到新命令為止。臨限數目個存取操作及/或逾時可用於限制主動相位中之持久性且週期性地觸發閒置相位。
單一電晶體驅動器之工作條件使得電晶體節點在閒置、主動及脈衝相位中之任一者期間偏壓至從未超出最大可靠性電晶體評級之電壓。
本發明之特徵最初在如參考圖1至圖3所描述之記憶體裝置及記憶體晶粒之上下文中加以描述。本發明之特徵在如參考圖4及圖5所描述之驅動器或驅動器群組之上下文中加以描述。本發明之特徵隨後在如參 考圖6至圖11所描述之驅動器及陣列組態之上下文中加以描述。藉由相圖及參考根據相位的與記憶體裝置之操作相關的流程圖所描述且參考圖12至圖14所描述之對應方法且相對於參考圖15所描述之設備圖進一步說明本發明之其他特徵。
圖1說明如本文中所揭示之實例記憶體裝置100。記憶體裝置100亦可稱作電子記憶體設備。圖1為記憶體裝置100之各種組件及特徵之說明性表示。因而,應瞭解,展示記憶體裝置100之組件及特徵以說明功能性相互關係,而非其在記憶體裝置100內之實際物理位置。在圖1之說明性實例中,記憶體裝置100包括三維(3D)記憶體陣列102。3D記憶體陣列102包括可程式化以儲存不同狀態之記憶體單元105。在一些實例中,每一記憶體單元105可程式化以儲存兩個狀態,其表示為邏輯0及邏輯1。在一些實例中,記憶體單元105可經組態以儲存多於兩個邏輯狀態。儘管包括於圖1中之一些元件以數字指示符標記,其他對應元件未被標記,但在努力增加所描繪特徵之可視性及清晰度之過程中,該等元件相同或將被理解為類似。
3D記憶體陣列102可包括形成於彼此頂部上之兩個或多於兩個二維(2D)記憶體陣列103。與2D陣列相比,此可增加可在單一晶粒或基板上置放或形成之記憶體單元的數目,從而又可降低生產成本或增加記憶體裝置之效能,或兼備兩者。記憶體陣列102可包括記憶體單元105的兩個層級且因此可被視為3D記憶體陣列;然而,層級的數目不限於二。各層級可對準或定位成以使得記憶體單元105可跨越各層級彼此對準(精確、重疊或大致對準),從而形成記憶體單元堆疊145。在一些情況下,記憶體單元堆疊145可包括置於另一者的頂部上同時如下文所解釋兩者共用 存取線的多個記憶體單元。在一些情況下,記憶體單元可為經組態以使用多層級儲存技術儲存多於一位數據的多層級記憶體單元。
在一些實例中,記憶體單元105之每一列連接至字線110,且記憶體單元105之每一行連接至位元線115。術語存取線可指字線110、位元線115或其組合。字線110及位元線115可彼此垂直(或幾乎垂直)且可產生記憶體單元之陣列。如圖1中所展示,記憶體單元堆疊145中之兩個記憶體單元105可共用共同導電線,諸如位元線115。亦即,位元線115可與上部記憶體單元105之底部電極及下部記憶體單元105之頂部電極耦接。其他組態可為可能的,例如,第三疊組可與下部疊組共用字線110。一般而言,一個記憶體單元105可位於諸如字線110及位元線115之兩個導電線的相交點處。此相交點可被稱作記憶體單元之位址。目標記憶體單元105可為位於經供能字線110及位元線115之相交點處的記憶體單元105;亦即,字線110及位元線115可經供能以讀取或寫入其相交點處之記憶體單元105。與相同字線110或位元線115耦接(例如,連接至相同字線110或位元線115)之其他記憶體單元105可被稱作非目標記憶體單元105。
電極可與記憶體單元105及字線110或位元線115耦接。術語電極可指代電導體,且在一些情況下,可用作至記憶體單元105之電接點。電極可包括跡線、導線、導電線、導電材料或類似者,其提供記憶體裝置100的元件或組件之間的導電路徑。在一些實例中,記憶體單元105可包括定位於第一電極與第二電極之間的硫族化物材料。第一電極之一側可耦接至字線110,且第一電極之另一側耦接至硫族化物材料。另外,第二電極之一側可耦接至位元線115,且第二電極之另一側耦接至硫族化物材料。第一電極及第二電極可為相同材料(例如碳)或不同材料。
可藉由啟動或選擇字線110及位元線115來對記憶體單元105執行諸如讀取及寫入之操作。在一些實例中,位元線115亦可為已知數位線115。對存取線、字線及位元線或其類似物之參考係可互換的,而不會損失理解或操作。啟動或選擇字線110或位元線115可包括將電壓施加至各別線。字線110及位元線115可由導電材料製成,該導電材料諸如金屬(例如銅(Cu)、鋁(Al)、金(Au)、鎢(W)、鈦(Ti))、金屬合金、碳、導電摻雜之半導體或其他導電材料、合金、化合物或類似者。
可經由列解碼器120及行解碼器130控制存取記憶體單元105。舉例而言,列解碼器120可自記憶體控制器140接收列位址,且基於所接收列位址啟動適當字線110。類似地,行解碼器130可自記憶體控制器140接收行位址,且啟動適當位元線115。舉例而言,記憶體陣列102可包括標記為WL_1至WL_M之多個字線110,及標記為BL_1至BL_N之多個數位線115,其中M及N視陣列大小而定。因此,藉由啟動字線110及位元線115,例如,WL_2及BL_3,可在其相交點處存取記憶體單元105。如下文更詳細地論述,存取記憶體單元105可經由列解碼器120及行解碼器130控制,列解碼器120及行解碼器130可包括在遠離耦接至記憶體陣列102之基板之表面的方向上延伸之一或多種摻雜材料。
在存取後,可藉由感測組件125讀取或感測記憶體單元105,以判定記憶體單元105之所儲存狀態。舉例而言,電壓可施加至記憶體單元105(使用對應的字線110及位元線115),且所得電流之存在可取決於記憶體單元105之施加電壓及臨限電壓。在一些情況下,可施加多於一個電壓。另外,若所施加電壓不產生電流,則可施加其他電壓直至電流由感測組件125偵測到為止。藉由評估產生電流之電壓,可判定記憶體單 元105之所儲存邏輯狀態。在一些情況下,電壓之量值可逐漸上升直至偵測到電流為止。在其他情況下,可依序施加預定電壓直至偵測到電流為止。同樣地,電流可施加至記憶體單元105,且用以產生電流之電壓的量值可取決於記憶體單元105之電阻或臨限電壓。在一些實例中,記憶體單元105可藉由將電脈波提供至單元來程式化,該單元可包括記憶體儲存元件。脈衝可經由字線110、位元線115或其組合提供。
感測組件125可包括各種電晶體或放大器,以偵測及放大信號差異,其可被稱為鎖存。可接著經由行解碼器130輸出記憶體單元105之所偵測的邏輯狀態,作為輸出135。在一些情況下,感測組件125可為行解碼器130或列解碼器120之部分。或者,感測組件125可連接至行解碼器130或列解碼器120,或與其耦接。感測組件可與行解碼器或列解碼器相關聯。
可藉由啟動相關字線110及位元線115來設定或寫入記憶體單元105,且至少一個邏輯值可儲存於記憶體單元105中。行解碼器130或列解碼器120可接納待寫入至記憶體單元105之資料,例如,輸入/輸出135。在記憶體單元包括硫族化物材料的情況下,記憶體單元105可藉由基於將解碼器(例如,列解碼器120或行解碼器130)之第一導電線與存取線(例如,字線110或位元線115)耦接而將第一電壓施加至記憶體單元105作為存取操作之部分被寫入以將邏輯狀態儲存於記憶體單元105中。
記憶體裝置100可處於閒置相位;舉例而言,閒置相位可為具有低功率消耗的組態。在一些實例中,記憶體裝置100可處於主動相位;舉例而言,主動相位可為記憶體裝置立即準備好執行所接收命令之組態。在一些實例中,記憶體裝置可處於脈衝相位;舉例而言,脈衝相位可 為在其期間執行命令之組態,例如,目標記憶體單元經存取且偏壓以將邏輯狀態程式化至記憶體單元中或自記憶體單元讀取邏輯狀態。
基於記憶體裝置之相位(例如,閒置相位、主動相位或脈衝相位以及其他相位),記憶體控制器140可經由各種組件(例如,列解碼器120、行解碼器130及感測組件125)控制記憶體單元105的操作及電壓(例如,讀取、寫入、重新寫入、再新、放電、屏蔽、浮動)。在一些情況下,列解碼器120、行解碼器130及感測組件125中之一或多者可與記憶體控制器140共置。
記憶體控制器140可產生列位址信號及行位址信號,以啟動所要的字線110及位元線115。記憶體控制器140亦可產生且控制在記憶體裝置100之操作期間使用的各種其他電壓或電流。舉例而言,記憶體控制器140可偏壓至鄰近於目標存取線的屏蔽電壓(例如,接地電壓)存取線及/或與經定址存取線處於相同群組中之存取線。記憶體控制器140亦可使與經定址存取線不相關之其他存取線浮動。
記憶體控制器140可經組態以藉由將第一電壓施加至解碼器(例如,列解碼器120或行解碼器130)的第一導電線而選擇記憶體單元105。在一些情況下,記憶體控制器140可經組態以基於選擇記憶體單元105而將解碼器的第一導電線與相關聯於記憶體單元105之存取線(例如,字線110或位元線115)耦接。記憶體控制器140可經組態以至少部分地基於將解碼器之第一導電線與存取線耦接而將第一電壓施加至記憶體單元105。
在一些實例中,記憶體控制器140可經組態以將第二電壓施加至解碼器的第二導電線作為存取操作之部分。將第一電壓施加至記憶 體單元105可基於將第二電壓施加至第二導電線。舉例而言,記憶體控制器140可基於第一電壓與第二電壓之相交點而選擇記憶體單元105。在一些情況下,作為存取操作之部分施加至記憶體單元105的信號可具有正極性或負極性。
在一些實例中,記憶體控制器140可接收包含用以對記憶體單元105執行存取操作之指令的命令,且基於接收到該命令而識別記憶體單元105之位址。在一些情況下,將第二電壓施加至第二導電線可基於識別位址。若存取操作為讀取操作,則記憶體控制器140可經組態以基於將第一電壓施加至記憶體單元105而輸出儲存於記憶體單元105中之邏輯狀態。若存取操作為寫入操作,則記憶體控制器140可基於將第一電壓施加至記憶體單元105而將邏輯狀態儲存於記憶體單元105中。
在一些實例中,記憶體控制器140可基於接收到該命令而修改記憶體裝置100之狀態。舉例而言,記憶體控制器140可基於接收到存取命令而實施自閒置相位至主動相位之轉變。舉例而言,記憶體控制器140可基於接收到存取命令而實施自主動相位至脈衝相位之轉變。舉例而言,記憶體控制器140可基於脈衝相位命令之完成而實施自脈衝相位返回至主動相位之轉變。舉例而言,記憶體控制器140可基於存取計數器或時間計數器滿足各別臨限值而實施自主動相位返回至閒置相位之轉變,如下文將詳細描述。舉例而言,若存取計數器及時間計數器低於各別臨限值,則記憶體控制器140可將記憶體裝置100保持在主動相位。
圖2說明根據本發明之實施例的支援單一電晶體驅動器之例示性3D記憶體陣列的透視圖。記憶體陣列200可為參考圖1描述之記憶體陣列102之部分的實例。記憶體陣列200可包括安置於基板204上方之記 憶體單元之第一陣列或疊組205及在第一陣列或疊組205之頂部上的記憶體單元之第二陣列或疊組210。記憶體陣列200亦可包括字線110-a及字線110-b以及位元線115-a,其可為字線110及位元線115之實例,如參考圖1所描述。第一疊組205及第二疊組210之記憶體單元各自可具有一或多個記憶體單元(例如,分別為記憶體單元220-a及記憶體單元220-b)。儘管圖2中所包括的一些元件以數字指示符進行標記,其他對應元件未被標記,但在努力提高所描繪特徵之可視性及清晰度之過程中,該等元件相同或將被理解為類似。
第一疊組205之記憶體單元可包括第一電極215-a、記憶體單元220-a(例如,包括硫族化物材料)及第二電極225-a。另外,第二疊組210之記憶體單元可包括第一電極215-b、記憶體單元220-b(例如,包括硫族化物材料)及第二電極225-b。在一些實例中,第一疊組205及第二疊組210之記憶體單元可具有共同導電線,以使得每一疊組205及210之對應記憶體單元可共用如參考圖1所描述之位元線115或字線110。舉例而言,第二疊組210之第一電極215-b及第一疊組205之第二電極225-a可耦接至位元線115-a,以使得位元線115-a由豎直鄰近記憶體單元共用。根據本文中的教示,若記憶體陣列200包括多於一個疊組,則解碼器可定位於每一疊組上方或下方。舉例而言,解碼器可定位於第一疊組205上方及第二疊組210上方。在一些情況下,記憶體單元220可為相變記憶體單元或自選擇記憶體單元的實例。
記憶體陣列200之架構可稱為交叉點架構,在一些情況下,在該交叉點架構中,記憶體單元形成於如圖2中所說明之字線與位元線之間的拓樸交叉點處。此交叉點架構可提供相較於其他記憶體架構具有 較低生產成本之相對高密度資料儲存。舉例而言,交叉點架構可具有相較於其他架構具有減小的面積且因而具有增大的記憶體單元密度之記憶體單元。舉例而言,與具有6F2記憶體單元面積的其他架構(諸如具有三端選擇組件之架構)相比,該架構可具有4F2記憶體單元面積,其中F為最小特徵大小。舉例而言,DRAM可使用電晶體(其為三端裝置)作為每一記憶體單元之選擇組件,且與交叉點架構相比可具有較大記憶體單元面積。
雖然圖2之實例展示兩個記憶體疊組,但其他組態為可能的。在一些實例中,記憶體單元之單個記憶體疊組可經建構在基板204上方,其可稱為二維記憶體。在一些實例中,記憶體單元之三個或四個記憶體疊組可以類似方式經組態於三維交叉點架構中。
在一些實例中,記憶體疊組中之一或多者可包括記憶體單元220,該記憶體單元220包括硫族化物材料。舉例而言,記憶體單元220可包括硫族化物玻璃,諸如硒(Se)、碲(Te)、砷(As)、銻(Sb)、碳(C)、鍺(Ge)及矽(Si)的合金。在一些實例中,主要具有硒(Se)、砷(As)及鍺(Ge)之硫族化物材料可稱為SAG合金。在一些實例中,SAG合金可包括矽(Si)或銦(In)或其組合,且此類硫族化物材料可分別稱為SiSAG合金或InSAG合金,或其組合。在一些實例中,硫族化物玻璃可包括各自呈原子或分子形式的額外元素,諸如氫(H)、氧(O)、氮(N)、氯(Cl)或氟(F)。
在一些實例中,包括硫族化物材料之記憶體單元220可藉由施加第一電壓經程式化成邏輯狀態。藉助於實例且不受特定理論束縛,當特定記憶體單元220經程式化時,單元內的元件分離,從而引起離子遷移。取決於施加至記憶體單元之電壓的極性,離子可朝向特定電極遷移。舉例而言,在記憶體單元220中,離子可朝向負電極遷移。隨後可藉由跨 單元施加電壓來讀取記憶體單元以進行感測。在讀取操作期間所看見的臨限電壓可基於記憶體單元中之離子分佈及讀取脈衝的極性。
在一些情況下,作為記憶體單元220之存取操作之部分,可將第一電壓施加至解碼器之第一導電線。在施加第一電壓後,第一導電線可與同記憶體單元220相關聯之存取線(例如,字線110-a、字線110-b或位元線115-a)耦接。在一些實例中,屏蔽電壓可施加至解碼器之第二導電線,且第二導電線可耦接至鄰近於經定址存取線之存取線或耦接至與經定址存取線分組在一起之存取線。在一些實例中,浮動電壓可施加至既不鄰近於經定址存取線亦不與經定址存取線分組在一起之存取線(例如,與經定址存取線處於同一疊組中之其他存取線,圖2中未展示)。
圖3說明根據本發明之實施例的支援單一電晶體驅動器之3D記憶體陣列之解碼電路系統的實例區塊佈局。在圖3中所描繪之實例中,本發明之記憶體架構300包含分割成多個子陣列之主動記憶體陣列302。在此實例中,存在四個子陣列304、306、308及310。因此,由朝向y軸之兩個相對側中之一者延伸的數位線320橫跨的Y1之長度等於兩個子陣列在y方向上之長度。類似地,由朝向x軸之兩個相對側中之一者延伸的字線330橫跨的X1之長度等於兩個子陣列在x方向上之長度。
字線驅動器312可實質上位於主動陣列之佔據面積內且靠近子陣列之周邊。數位線驅動器314亦可實質上位於主動陣列之佔據面積內且靠近子陣列之周邊。應理解,每一陰影區域包含可包括多個驅動器電路之一區。在所說明之實施例中,平面圖中之個別子陣列佈局包含鄰近子陣列之佈局的「鏡像」複本。亦即,在子陣列304中,字線驅動器312處於子陣列之左上方及右下方拐角中,且大體沿y方向沿邊緣延伸以與在x方 向上延伸之字線330連接。應注意,字線驅動器312耦接至字線之中心位置,該字線跨越鄰近子陣列之間的邊界。數位線驅動器314處於子陣列304之右上方及左下方拐角中,且大體沿在x方向上延伸之邊緣延伸以與在y方向上延伸之數位線320連接。
數位線驅動器314處於子陣列之右下方及左上方拐角中,且大體沿在x方向上延伸之邊緣延伸以與在y方向上延伸之數位線330連接。應注意,數位線驅動器314耦接至數位線330之中心位置,該數位線330跨越鄰近子陣列之間的邊界。在子陣列306中,字線驅動器312處於子陣列之左下方及右上方拐角中,且大體沿豎直邊緣延伸以與水平延伸之字線連接。因此,在平面圖中,驅動器之佈局為鄰近子陣列304及306之間的鏡像。類似鏡像處理在子陣列304及310之間、子陣列306及308之間以及子陣列310及308之間可見,如圖3中所描繪。
在圖3的陣列架構中,記憶體陣列302的用於數位線320之插口互連區322及用於字線330之插口互連區332分別存在於數位驅動器314及字線驅動器312上方。應注意,插口區位於子陣列之邊界處。藉由將字線驅動器及數位線及插口區斷裂成小段且使交替列中之線或線的群組交錯,如圖3中所說明,字線及數位線可延伸穿過主動陣列302且穿過插口區。
目標或經定址記憶體單元305可位於經定址數位線321與經定址字線331之相交點處;經定址數位線321及字線331藉由用於數位線之各別驅動器314及用於字線之各別驅動器312解碼及偏壓。在記憶體陣列302中,經定址存取線(例如,經定址字線331)具有鄰近存取線(例如,字線330adj)。在以經定址字線為目標之存取操作期間(例如,在脈衝相位期 間),鄰近存取線未經定址且可經由各別驅動器偏壓至屏蔽電壓,該等驅動器在一些實施例中可為單電晶體驅動器。類似考慮因素可適用於數位線320,因此在脈衝相位期間,鄰近於經定址數位線的未定址數位線(未展示)可偏壓至屏蔽電壓(例如,接地電壓)。
應注意,在圖3中所描繪之實例中,鄰近於經定址字線331之未定址字線331adj藉由該圖之左下方部分中的各別驅動器312解碼及偏壓,而經定址字線藉由該圖之右下方部分中的驅動器312解碼及偏壓。在其他實施例中,經定址字線及鄰近未經定址字線(及/或數位線)之驅動器312可實體地彼此接近地定位,例如,在同一字線驅動器部分中(分別在同一數位線驅動器部分中)。同一驅動器部分亦可包含其他未定址字線(分別為數位線)之驅動器,其他未定址字線與經定址字線分組在一起或完全與其不相關。
其他未定址存取線(數位線或字線,或兩者)在存取操作期間可藉由各別驅動器浮動,如下文將描述。存取線中的一些可分組,例如可共用解碼信號,且在脈衝相位期間經定址存取線之同一群組中的未定址存取線可偏壓至屏蔽電壓,例如接地電壓。
存取線驅動器,例如字線驅動器312及/或數位線驅動器314,可包含單一電晶體驅動器。每一單一電晶體驅動器可經組態以:在閒置相位期間將各別存取線驅動至放電電壓,在主動相位期間將存取線驅動至浮動電壓,且在脈衝相位期間將存取線驅動至讀取/程式化電壓或屏蔽電壓或浮動電壓,如下文將詳細描述。
圖4說明根據本發明之實施例的用於記憶體裝置之單一電晶體驅動器的實例。單一電晶體驅動器400可為一N通道型電晶體,且其 可包含耦接至信號線LX1之閘極節點470、耦接至信號線LX2之汲極節點480、在電壓主體處經偏壓之主體節點499,及耦接至存取線XPL之源極節點490。存取線XPL之電壓可基於單一電晶體驅動器400之其他節點的解碼及偏壓而判定。在一些實施例中,單一電晶體驅動器可為N型CMOS電晶體;在一些實施例中,單一電晶體驅動器可為N型FinFET電晶體;在一些實施例中,單一電晶體驅動器可為N型豎直薄膜電晶體(TFT);在又其他實施例中,單一電晶體驅動器可為藉由先前技術中之任一者獲得的P型(例如,P通道)電晶體。其他類型之電晶體亦為可能的。
單一電晶體驅動器400適合於在記憶體裝置100之操作相位中之任一者期間將存取線(例如,圖1及圖2中之字線110及/或數位線115或圖3中之字線330及/或數位線320)驅動至所要電壓。舉例而言,驅動器400可併入圖1之列解碼器120中及/或行解碼器130中,或圖3之字線驅動器312及/或數位線驅動器314中。記憶體裝置,例如圖1中之記憶體裝置100,可在不同狀態或相位中操作;可能的操作相位為:閒置相位、主動相位及脈衝相位。
單一電晶體驅動器400可經組態以:在閒置相位期間將存取線490(XPL)驅動至放電電壓,在主動相位期間將存取線490(XPL)驅動至浮動電壓,且在脈衝相位期間將經定址存取線490(XPL)驅動至存取電壓(例如,讀取/程式化電壓)。單一電晶體400經組態以在脈衝相位期間將實體地鄰近於位址存取線(由不同單一電晶體驅動器驅動)之未定址存取線490驅動至屏蔽電壓。單一電晶體400經組態以在脈衝相位期間將與經定址存取線(由與存取線490共用例如共同閘極信號線之不同單一電晶體驅動器驅動)分組在一起之未定址存取線490驅動至屏蔽電壓。單一電晶體400 經組態以在脈衝相位期間將與經定址存取線(由與存取線490共用例如共同閘極信號線之不同單一電晶體驅動器驅動)分組在一起之未定址存取線490驅動至屏蔽電壓。
在一些實例中,放電電壓可為接地電壓(例如,0V)。浮動電壓可為未偏壓之電壓;浮動電壓可相對於上一偏壓電壓保持實質上不變。在一些情況下,浮動電壓可藉由可電容耦合至浮動節點之周圍線及節點的電壓而略微修改。存取電壓可為正程式化電壓(例如,+3.1V)或負程式化電壓(例如,-3.1V)。在一些實例中,屏蔽電壓可為接地電壓(例如,0V)。
以上電壓值可為例如在使用分離電壓方法時記憶體單元105、205、305之存取電壓的實例。在分離電壓方法中,施加至記憶體單元之總電壓(例如,耦接至記憶體單元之數位線及字線之間的電壓降)可藉由數位線及字線上之各別電壓的任何方便組合而獲得。在一些情況下,總電壓可分成振幅實質上相同但極性相反之兩個部分;因此,例如,可在一個節點處施加+3.1V且同時在另一節點處施加-3.1V而獲得6.2V的程式化/讀取電壓。記憶體架構可以此處揭示之單一電晶體驅動器驅動數位線且驅動字線為特徵。在以下描述中,僅參考一個存取線驅動器(例如,字元線驅動器或數位線驅動器),應理解,相同或類似解決方案可實施至另一存取線驅動器(例如,數位線驅動器或字元線驅動器)。以上電壓值僅為指示性的,且即使以不同值為目標,但單一電晶體驅動器400之操作基本上不變。
一般而言,單一電晶體驅動器400經組態以至少部分地基於由電晶體之閘極節點470處的信號線LX1提供之電壓而將在其汲極節點480處由信號線LX2提供的電壓傳送至耦接至其源極節點490的存取線 XPL。在一些實例中,主體節點499電壓可經由信號線主體保持在適當恆定電壓(例如,適合於避免電晶體400中之任何接面的正向偏壓的電壓)處;例如,保持在值-3.1V處。
基於分別經由控制信號線LX1及LX2施加之閘極470及汲極480節點電壓,在下文表I中報告不同相位期間耦接至單一電晶體驅動器400之源極節點490之存取線XPL的實例偏壓條件。在表I中報告之實例中,假定主體節點電壓在所有相位期間處於恆定值-3.1V。在不脫離本發明之範疇的情況下,不同電壓可經由控制信號線LX1及LX2施加至單一電晶體驅動器400。
Figure 110106881-A0305-02-0021-18
Figure 110106881-A0305-02-0022-2
單一電晶體驅動器400經組態以使得電晶體之節點在閒置、主動及脈衝相位中的任一者期間分別偏壓至具有不超出可靠性電晶體評級的差異的電壓的方式操作。換言之,例如閘極節點470與汲極節點480之間的電壓差在操作相位中之任一者期間從未超出電晶體之最大可靠性評級。類似地,閘極至主體(470至499)、閘極至源極(470至490)、汲極至主體(480至499)、汲極至源極(480至490)及源極至主體(490至499)電壓差在每一及所有操作相位(例如,閒置、主動及/或脈衝相位期間在各別最大可靠性評級內。
如上文所描述,例如,參考表I中所報告之偏壓條件,單一電晶體驅動器400可在記憶體裝置100之任何操作相位期間將耦接至其之存取線XPL驅動至任何所要電壓。單一電晶體驅動器400可分組成群組以共用一或多個控制信號線,如以下圖式中所描繪。
圖5說明根據本發明之實施例的在記憶體裝置中將單一電晶體驅動器分組的實例。複數個單一電晶體驅動器500<0>...500<n>可分組成共用一或多個控制信號線之群組500。在所描繪之實例中,第一單一電晶體驅動器500<0>經組態以至少部分地基於電晶體500<0>之閘極節點570<0>處的電壓而將在其汲極節點580<0>處由信號線LX2<0>提供的電壓傳送至耦接至其源極節點590<0>的存取線XPL<0>。第二單一電晶體驅動器500<n>經組態以至少部分地基於電晶體500<n>之閘極節點570<n>處的電壓而將在其汲極節點580<n>處由信號線LX2<n>提供的電壓傳送至耦接至其源極節點590<n>的存取線XPL<n>。第一電晶體500<0>之閘極節 點570<0>及第二電晶體500<n>之閘極節點570<n>可彼此耦接且由共同控制信號線571LX<i>驅動。在一些實例中,各別電晶體之主體節點599<0>及599<n>可為共同節點主體。其他單一電晶體驅動器(未展示)可耦接至共同控制信號線571LX1<i>,其可為偶數信號線(例如,耦接至電晶體驅動器500<0>...500<n>)之偶數群組500)。
記憶體裝置100可包含按偶數群組500組織之複數個偶數驅動器,每一驅動器500<0>...500<n>耦接至各別偶數存取線590<0>...590<n>(XPL<0>...XPL<n>),及按奇數群組組織之複數個奇數驅動器(未展示),每一驅動器耦接至各別奇數存取線591<0>...591<n>。在一些實例中,偶數590<0>...590<n>及奇數591<0>...591<n>存取線可在記憶體裝置100之陣列102中交替。參考圖5及圖1,偶數存取線590<0>...590<n>(XPL<0>...XPL<n>)可為字線WL_2(或替代地,數位線BL_2)的實例,且奇數存取線591<0>...591<n>可為實體地鄰近於偶數存取線之字線WL_1(或替代地,數位線BL_1)的實例。偶數及奇數存取線可為記憶體裝置100或200之同一疊組(例如,圖2中之下部疊組205或上部疊組210)中的存取線。單一電晶體驅動器可為記憶體陣列302之字線驅動器312及/或數位線驅動器314的實例,如參考圖3所描述。
圖6至圖11說明單一電晶體驅動器在記憶體裝置之操作的不同相位期間的實例組態。在一些實例中,單一電晶體驅動器可對應於如參考圖4所描述之單一電晶體驅動器,且其可如參考圖5所說明而分組。
圖6說明根據本發明之實施例的在支援單一電晶體驅動器之記憶體裝置的閒置相位期間之實例組態。記憶體陣列600之一部分(其可為記憶體陣列102、200及/或302之n實例)包含複數個偶數驅動器601E及 複數個奇數驅動器601O。在一些實例中,驅動器601E及601O可位於記憶體陣列下。儘管偶數601E及奇數601O驅動器以與圖3中所描繪的不同部分312及314中之驅動器類似的方式描繪為彼此遠離,但在一些實施例中,偶數601E及奇數601O驅動器可在同一驅動器區中實現。
每一複數個偶數/奇數驅動器可按單一電晶體驅動器602之群組604來組織,該群組604可為上文參考圖4及圖5所描述的單一電晶體驅動器500<0>...500<n>及/或400之群組500的實例。
單一電晶體驅動器之閘極節點耦接至各別(偶數/奇數)控制信號線671O及671E。多個單一電晶體驅動器可經分組,且各別閘極節點可耦接至同一閘極控制信號線;舉例而言,此針對包括一對單一電晶體驅動器之群組604而描繪,單一電晶體驅動器之閘極節點由命名為L1E<1>之信號671E驅動,該信號671E可對應於用於圖5中之群組500之共同信號571 LX1<i>,可如上文所描述分組不同數目個電晶體驅動器。
單一電晶體驅動器之汲極節點以與如參考圖4及圖5中之控制信號線LX2所描述類似之方式耦接至各別(偶數/奇數)控制信號線L2E<0>...L2E<1>及L2O<0>...L2O<1>。
每一單一電晶體驅動器耦接至各別(偶數/奇數)存取線690E及690O,該等存取線可圖1至圖5中之存取線XPL及/或110、115及/或320、330的實例。偶數690E及奇數690O存取線可交替,使得偶數存取線始終實體地鄰近於記憶體陣列疊組中之奇數存取線,或反之亦然。其他安置係可能的。
在閒置相位期間,閘極及汲極控制信號線可如圖6中所描繪及上文表I之對應列中所概述而偏壓。放電電壓,例如接地電壓,可施 加至每一及所有存取線690。記憶體陣列中之記憶體單元因此經受空干擾且陣列中不存在消耗。此所要結果可藉由將通過閘電壓(例如,+1.5V)施加至閘極控制信號線671E及671O且藉由將放電電壓(例如,0V)施加至汲極控制信號線L2E及L2O來達成。主體節點電壓可保持在例如-3.1V之恆定電壓下。
圖7說明根據本發明之實施例的在支援單一電晶體驅動器之記憶體裝置的主動相位期間的實例組態。圖7中之元件對應於圖6中之等效元件,且描述將不重複;應注意,對應元件具有與對準至對應圖號之編號中的第一數位相同之標記(例如,圖6中之存取線690E及690O在圖7中分別標記為790E及790O)。
在主動相位期間,閘極及汲極控制信號線可如圖7中所描繪及上文表I之對應列中所概述而偏壓。浮動電壓,例如未偏壓電壓,可施加至每一及所有存取線790。記憶體陣列中之記憶體單元因此經受空干擾且陣列中不存在消耗。此所要結果可藉由將禁止閘電壓(例如,-3.1V)施加至閘極控制信號線771E及771O且藉由將接地電壓(例如,0V)施加至汲極控制信號線L2E及L2O來達成。主體節點電壓可保持在例如-3.1V之恆定電壓下。
圖8說明根據本發明之實施例的在脈衝相位期間且更特定而言在支援單一電晶體驅動器之記憶體裝置的正讀取/程式化操作期間的實例組態。圖8中之元件對應於圖6及圖7中之等效元件且描述將不重複;採用相同標記慣例(例如,相對於對應元件)。
在脈衝相位期間,閘極及汲極控制信號線可如圖8中所描繪及上文表I之對應列中所概述而偏壓。經定址存取線及未定址存取線需 要不同偏壓條件,該等偏壓條件又並不全部偏壓至相同電壓;因此,表I中之對應列必須視為基於單一電晶體驅動器相對於經定址線(例如,讀取/程式化脈衝所施加至之存取線)所耦接至之存取線,如表I之第二行中所指示。
正讀取/程式化電壓(例如,+3.IV)可藉由將通過閘電壓(例如,+4.5V)施加至命名為L1E<1>之閘極控制信號線871E且藉由將所要正讀取/程式化電壓(+3.1V)施加至汲極控制信號線L2E<0>而施加至經定址存取線890<0>(表I中之線路脈衝-讀取/程式化正-經定址)。耦接至經定址存取線890<0>之單一電晶體驅動器可在群組804中且其可與其他單一電晶體驅動器共用一些控制信號;例如,閘極控制信號線L1E<1>對於群組804中之至少另一單一電晶體驅動器為共同的,且汲極控制信號線L2E<0>亦耦接至複數個偶數驅動器801E之不同群組中的其他單一電晶體驅動器之汲極節點。將在下文詳細描述此等共同信號之管理及處置。
屏蔽電壓,例如接地電壓,可藉由將通過閘電壓(例如,+1.5V)施加至命名為L1O<1>之閘極控制信號線871O且藉由將所要屏蔽電壓(例如,0V)施加至汲極控制信號線L2O<0>及/或L2O<1>而施加至實體地鄰近於經定址存取線890<0>之一或多個存取線890adj(表I中之線路脈衝-讀取/程式化正-鄰近於)。當經定址存取線890<0>在兩側上具有耦接至單一電晶體驅動器的分組在一起之鄰近存取線890adj(例如,兩者皆由同一閘極控制信號線L1O<1>驅動)時,如在所描繪實例中,足以驅動共同共用閘極控制信號線(例如,L1O<1>)閘極導通電壓(例如,1.5V)以屏蔽或接地鄰近存取線890adjO兩者。下文將參考圖10論述不同組態。
屏蔽電壓,例如接地電壓,可藉由將共用通過閘電壓(例 如,+4.5V)施加至命名為L1E<1>之閘極控制信號線871E且藉由將所要屏蔽電壓(例如,0V)施加至汲極控制信號線L2E<1>而施加至與經定址存取線890<0>分組在同一群組804中之一或多個存取線890<1>(表I中之線路脈衝-讀取/程式化正-分組在一起)。
浮動電壓,例如未加偏壓電壓,可施加至與經定址存取線890<0>不相關之一或多個存取線890unrel;不相關存取線890unrel包含耦接至在與經定址驅動器不同之群組中的複數個801E中之單一電晶體驅動器的存取線及/或耦接至在與用於將鄰近存取線偏壓至屏蔽電壓之驅動器不同之群組中的複數個801O中之單一電晶體驅動器的存取線。不相關存取線890unrel可藉由將禁止閘電壓(例如,-3.1V)施加至命名為L1E<0>、L1E<2>、L1O<0>及L1O<2>之閘極控制信號線871E而偏壓至浮動電壓;此將防止將耦接至對應驅動器之存取線偏壓至任何電壓,例如,使其浮動,而無關於驅動器之汲極節點處的電壓(對於偶數驅動器為+3.1V或對於奇數驅動器為接地)(表I中之線路脈衝-讀取/程式化正-不相關)。
在所有相位中,主體節點電壓可保持在例如-3.1V之恆定電壓下。在不脫離本發明之範疇的情況下,可使用用於控制信號、主體及存取線之不同電壓值。
圖9說明根據本發明之實施例的在脈衝相位期間且更特定而言在支援單一電晶體驅動器之記憶體裝置的負讀取/程式化相位期間的實例組態。圖9中之元件對應於圖6至圖8中之等效元件且描述將不重複;採用相同標記慣例(例如,相對於對應元件)。
圖9與圖8不同之處僅在於經定址存取線990<0>上之所要讀取/程式化電壓為負(例如,-3.1V)而非為正(例如,+3.1V)。因此,汲極控 制信號線L2E<0>可經偏壓至負讀取/程式化電壓(例如-3.1V),且其可藉由將通過閘電壓(例如,+1.5V)施加至命名為L1E<1>之閘極控制信號線971E(表I中之線路脈衝-讀取/程式化負-經定址)而傳送。
屏蔽電壓,例如接地電壓,可藉由施加上文相對於正電壓讀取/程式化脈衝相位描述之相同電壓而施加至實體地鄰近於經定址存取線990<0>之一或多個存取線990adj,該電壓在此為簡潔起見將不重複(表I中之線路脈衝-讀取/程式化負-鄰近於)。
屏蔽電壓,例如接地電壓,可藉由將共用通過閘電壓(例如,+1.5V)施加至命名為L1E<1>之閘極控制信號線971E且藉由將所要屏蔽電壓(例如,0V)施加至汲極控制信號線L2E<1>而施加至與經定址存取線990<0>分組在同一群組904中之一或多個存取線990<1>(表I中之線脈衝-讀取/程式化正-分組在一起)。
浮動電壓,例如未加偏壓電壓,可施加至與經定址存取線990<0>不相關之一或多個存取線990unrel。使不相關存取線990unrel浮動之偏壓條件與上文針對參考圖8描述之對應不相關存取線890unrel所描述之彼等條件相同或至少類似,且為簡潔起見將不在此處重複(表I中之線路脈衝-讀取/程式化負-不相關)。
在所有相位中,主體節點電壓可保持在例如-3.1V之恆定電壓下。在不脫離本發明之範疇的情況下,可使用用於控制信號、主體及存取線之不同電壓值。
圖10說明根據本發明之實施例的在支援單一電晶體驅動器之記憶體裝置之正讀取/程式化相位期間的另一實例組態。圖10中之元件對應於圖6至圖9中之等效元件且描述將不重複;採用相同標記慣例(例 如,相對於對應元件)。
圖10中所描繪之組態類似於圖8中所描繪之組態;然而,圖10中之經定址存取線1090<1>耦接至群組1004E中之單一電晶體驅動器,耦接至同一群組之另一單一電晶體驅動器亦耦接至未定址存取線1090<0>。由於目標存取線或經定址存取線與先前實例(圖8,cfr.)不同,所以閘極L1E<1>及汲極L2E<1>控制信號之解碼及偏壓電壓在脈衝相位期間可不同。藉由特定參考正讀取/程式化操作,讀取/程式化電壓(例如,+3.1V)可藉由將通過閘電壓(例如,+4.5V)施加至閘極控制信號線L1E<1>且將正讀取/程式化電壓(例如,+3.1V)施加至汲極控制信號線L2E<1>而施加至經定址存取線1090<1>(表I中之線路脈衝-讀取/程式化正-經定址)。
目標或經定址存取線1090<1>實體地鄰近耦接至屬於驅動器1001O之兩個不同群組1004O的單一電晶體驅動器的存取線1090adj。換言之,與經定址存取線890<0>相反,經定址存取線1090<1>未進入同一群組之鄰近存取線890adj之間,而係位於兩個群組1004O之鄰近存取線1090adj之間的邊界處。因此,屏蔽電壓,例如接地電壓,可藉由將通過閘電壓(例如,+1.5V)施加至命名為L1O<1>之閘極控制信號線1071O及命名為L1O<2>之閘極控制信號線(例如,施加至耦接至經定址存取線1090<1>毗鄰之兩個群組的閘極控制信號線)且藉由將所要屏蔽電壓(例如,0V)施加至汲極控制信號線L2O<0>及/或L2O<1>而施加至實體地鄰近於經定址存取線890<0>之一或多個存取線890adj(表I中之線路脈衝-讀取/程式化正-鄰近於)。
其他偏壓條件,例如對於耦接至同一經定址群組1004E中 之單一電晶體驅動器的兩個未定址存取線1090<0>及不相關存取線1090unrel(由偶數1001E或奇數1001O驅動器驅動),相對於參考圖8所描述之偏壓條件不變,且為簡潔起見將不在此處重複。在任何情況下,其描繪於圖10中且概述於表I之對應線路脈衝-讀取/程式化正-分組在一起(直至未定址存取線1090<0>)及脈衝-讀取/程式化正-不相關(直至不相關存取線1090unrel)中。對於所有單一驅動器電晶體,在脈衝相位期間,主體節點電壓可保持在例如-3.1V之恆定電壓下。在不脫離本發明之範疇的情況下,可使用用於控制信號、主體及存取線之不同電壓值。
圖11說明根據本發明之實施例的在支援單一電晶體驅動器之記憶體裝置的負讀取/程式化相位期間之另一實例組態。圖11中之元件對應於圖6至圖10中之等效元件且描述將不重複;採用相同標記慣例(例如,相對於對應元件)。
圖11中所描繪之組態類似於圖9中所描繪之組態;然而,圖11中之經定址存取線1190<1>耦接至群組1104E中之單一電晶體驅動器,耦接至同一群組之另一單一電晶體驅動器亦耦接至未定址存取線1190<0>。由於目標存取線或經定址存取線與先前實例(圖9,cfr.)不同,所以閘極L1E<1>及汲極L2E<1>控制信號之解碼及偏壓電壓在脈衝相位期間可不同。藉由特定參考負讀取/程式化操作,讀取/程式化電壓(例如,-3.1V)可藉由將通過閘電壓(例如,+1.5V)施加至閘極控制信號線L1E<1>且將負讀取/程式化電壓(例如,-3.1V)施加至汲極控制信號線L2E<1>而施加至經定址存取線1190<1>(表I中之線路脈衝-讀取/程式化負-經定址)。
目標或經定址存取線1190<1>實體地鄰近耦接至屬於驅動器1101O之兩個不同群組1104O的單一電晶體驅動器的存取線1190adj。換 言之,與經定址存取線990<0>相反,經定址存取線1190<1>未進入同一群組之鄰近存取線990adj之間,而係位於兩個群組1104O之鄰近存取線1190adj之間的邊界處。因此,屏蔽電壓,例如接地電壓,可藉由將通過閘電壓(例如,+1.5V)施加至命名為L1O<1>之閘極控制信號線1171O及命名為L1O<2>之閘極控制信號線(例如,施加至耦接至經定址存取線1190<1>毗鄰之兩個群組的閘極控制信號線)且藉由將所要屏蔽電壓(例如,0V)施加至汲極控制信號線L2O<0>及/或L2O<1>而施加至實體地鄰近於經定址存取線1190<0>之一或多個存取線1190adj(表I中之線路脈衝-讀取/程式化負-鄰近於)。
其他偏壓條件,例如對於耦接至同一經定址群組1104E中之單一電晶體驅動器的兩個未定址存取線1190<0>及不相關存取線1190unrel(由偶數1101E或奇數1101O驅動器驅動),相對於參考圖9所描述之偏壓條件不變,且為簡潔起見將不在此處重複。在任何情況下,其描繪於圖11中且概述於表I之對應線路脈衝-讀取/程式化負-分組在一起(直至未定址存取線1190<0>)及脈衝-讀取/程式化負-不相關(直至不相關存取線1190unrel)中。對於所有單一驅動器電晶體,在脈衝相位期間,主體節點電壓可保持在例如-3.1V之恆定電壓下。在不脫離本發明之範疇的情況下,可使用用於控制信號、主體及存取線之不同電壓值。
以上描述說明所揭示之解決方案之若干態樣。在一些實例中,記憶體裝置可包含:記憶體單元,其位於記憶體陣列之存取線的交叉點處;第一偶數單一電晶體驅動器,其經組態以:在閒置相位期間將第一偶數存取線驅動至放電電壓(例如,接地電壓),在主動相位期間將第一偶數存取線驅動至浮動電壓(例如,未加偏壓電壓),且在脈衝相位期間將第 一偶數存取線驅動至讀取/程式化電壓(例如,+3.1V或-3.1V);記憶體裝置亦可包含第一奇數單一電晶體驅動器,該第一奇數單一電晶體驅動器經組態以在閒置相位期間將第一奇數存取線驅動至放電電壓,該第一奇數存取線實體地鄰近於第一偶數存取線,在主動相位期間將第一奇數存取線驅動至浮動電壓,且在脈衝相位期間將第一奇數存取線驅動至屏蔽電壓(例如,接地電壓)。
在一些實施例中,第一偶數/奇數單一電晶體驅動器具有耦接至偶數/奇數群組閘極驅動線之各別閘極及耦接至第一偶數/奇數汲極驅動線之汲極;記憶體裝置可進一步包含具有耦接至偶數/奇數群組閘極驅動線之閘極以及耦接至第二偶數/奇數汲極驅動線之汲極的各別第二偶數/奇數單一電晶體驅動器,該等驅動器經組態以:在閒置相位期間將第二偶數/奇數存取線驅動至放電電壓(例如,0V),在主動相位期間將第二偶數/奇數存取線驅動至浮動電壓,且在脈衝相位期間將第二偶數/奇數存取線驅動至屏蔽電壓(例如,0V),該第二奇數存取線實體地鄰近於該第一偶數存取線。
在一些實施例中,記憶體裝置可包含按偶數/奇數群組組織的各別複數個偶數/奇數驅動器,每一驅動器耦接至各別偶數/奇數存取線,第一偶數/奇數單一電晶體驅動器在複數個偶數/奇數驅動器之第一群組中,其中各別偶數存取線及各別奇數存取線在記憶體裝置的疊組中交替。第一偶數存取線可實體地鄰近於耦接至複數個奇數驅動器之第一群組或第二群組中之第二奇數單一電晶體驅動器的各別奇數存取線。記憶體裝置可進一步包含複數個偶數驅動器之第二群組及複數個奇數驅動器之第二群組,偶數及奇數驅動器之第二群組經組態以在主動相位期間及第一偶數 存取線之脈衝相位期間將各別偶數及奇數存取線驅動至浮動電壓。
在一些實施例中,第一偶數單一電晶體驅動器及第一奇數單一電晶體驅動器處於記憶體陣列下。第一偶數單一電晶體驅動器及第一奇數單一電晶體驅動器可各自包含CMOS電晶體、FinFET電晶體或豎直TFT電晶體中之一者。第一偶數單一電晶體驅動器包含電晶體節點,且記憶體裝置可進一步包含控制器,該控制器經組態以在閒置、主動及脈衝相位中之任一者期間將電晶體節點驅動至不超出可靠性電晶體評級之電壓差。
現參考圖12至圖14就用以操作記憶體裝置之相圖及方法來描述記憶體裝置之操作。
圖12說明根據本發明之實施例的支援單一電晶體驅動器之記憶體裝置的相圖。相圖1200包含閒置相位1201、主動相位1202及脈衝相位1203;可存在其他相位(未展示)。
閒置相位1201可為在此期間記憶體裝置處於低消耗狀態(例如備用狀態)之相位。可在閒置相位1201期間接收命令(例如,諸如讀取或程式化命令之存取命令)以供記憶體裝置執行;可在閒置相位期間接收其他命令。舉例而言,在閒置相位1201期間,需要將記憶體陣列中之所有存取線(例如,參考圖1、圖3及圖6至圖11之存取線110及115、320及330、690至1190)保持在放電電壓,諸如接地電壓下。舉例而言,此所要結果可藉由控制如上文參考圖6所描述之單一電晶體驅動器而獲得。
主動相位1202可為在此期間記憶體裝置準備好接收及/或執行命令之相位;舉例而言,諸如讀取或程式指令之存取命令可在主動相位1202期間接收以供記憶體裝置執行。其他命令可在主動相位期間經接 收。舉例而言,在主動相位1202期間,需要將記憶體陣列中之所有存取線(例如,參考圖1、圖3及圖6至圖11之存取線110及115、320及330、690至1190)保持在浮動電壓下;所有存取線可絕緣且未加偏壓。舉例而言,此所要結果可藉由控制如上文參考圖7所描述之單一電晶體驅動器而獲得。
脈衝相位1203可為在此期間記憶體裝置執行命令之相位;例如,存取命令,諸如讀取或程式指令。在脈衝相位1203期間,所要讀取/程式化電壓(例如,+3.1V或-3.1V)可施加至目標或經定址存取線,且實體地鄰近於經定址存取線之存取線(例如,圖8至圖11中之存取線890adj至1190adj)可經偏壓至屏蔽電壓(例如,接地電壓);此外,亦需要不相關存取線(例如,圖8至圖11中之存取線890unrel至1190unrel)保持為浮動。舉例而言,此所要結果可藉由控制如上文參考圖8至圖11所描述之單一電晶體驅動器而獲得。應注意,可使用任何特定讀取/程式化脈衝形狀;例如,可在脈衝相位期間施加斜坡脈衝或階梯脈衝,或具有不同極性及/或不同電壓值之脈衝。
如圖12中所描述,可發生自不同相位之轉變。
舉例而言,當記憶體裝置處於閒置相位時,自閒置相位1201至主動相位1202之轉變可基於接收到命令(諸如第一R/W命令)而發生,該命令可為存取(例如,讀取/程式化)命令。自閒置至主動相位之此轉變在圖12中指示為1。作為閒置至主動轉變1之結果,最初接地之所有存取線浮動。另外,基於閒置至主動相位轉變1,存取計數器經重設且計時器啟動。存取計數器為經組態以將多個存取操作儲存於記憶體裝置中或記憶體裝置之一部分中的計數器,舉例而言,記憶體裝置之一部分為諸如 庫、分割區、影像塊、頁等。在一些實施例中,可存在多個計數器,每一計數器與記憶體裝置之各別部分(庫、分割區、影像塊、頁等)相關聯。所有計數器可在閒置至主動轉變1上經重設。在一些實施例中,計時器可追蹤自上一閒置至主動轉變時間至當前時間之流逝時間。
在閒置至主動轉變1之後,記憶體裝置處於主動相位。為了完成所接收命令之執行,在閒置至主動轉變1之後,可發生主動至脈衝轉變(在圖12中亦指示為1)。作為主動至脈衝轉變1之結果,目標或經定址線耦接至讀取/程式化脈衝產生電路系統,實體地鄰近於經定址存取線或分組至其之存取線耦接至屏蔽電壓產生電路系統,且不相關存取線保持浮動。如下文所解釋,主動至脈衝轉變1被允許高達計數臨限值(例如,高達K個讀取/程式化操作)或直至經過如藉由計時器判定之時間段。
在主動至脈衝轉變1之後,可施加處於脈衝相位之記憶體裝置及讀取/程式化脈衝以執行命令。基於施加讀取/程式化脈衝之完成,經定址存取線可接地,且脈衝至主動轉變2可發生。作為脈衝至主動轉變2之結果,陣列中之所有存取線浮動。基於主動至脈衝轉變1,相關存取計數器(例如,唯一計數器及/或與經定址的庫、分割區、影像塊、頁等相關聯之計數器)增加。
當處於主動相位1202,例如等待新讀取/程式化命令時,更新計時器(例如,增加時間-驅動計數器)。此主動至主動轉變在圖12中指示為3。當處於主動相位1202時,可檢查存取計數器是否具有或尚未超出存取臨限值(例如,對相關記憶體部分的K存取操作)。若檢查導致存取計數器滿足或超出臨限值,則進行主動至閒置轉變,由圖12中之4指示。當處於主動相位1202時,可檢查計時器是否已超出時間臨限值(例如,自 上一閒置至主動轉變1起已經過預定義時段)。若檢查導致存取計數器滿足或超出臨限值,則進行主動至閒置轉變4。對存取計數器之檢查及對計時器之檢查中的一者或兩者可發生;其個別地或組合地意欲避免記憶體裝置在過多數目個存取操作之後或在過長時間段內保持在主動相位中,其可各自或組合地在其他使浮動存取線上誘發可能的電壓漂移。作為主動至閒置轉變4之結果,記憶體陣列中之所有存取線經偏壓至放電電壓(例如,接地電壓),因此週期性地再新陣列之安全偏壓條件。
當處於主動相位1202時,可接收到新命令,例如諸如讀取/程式化命令之存取命令。基於接收到命令,主動至脈衝轉變1可直接發生,且讀取/程式化脈衝可如上文所描述而施加。
在所有情況下,自由所有存取線浮動表徵之主動相位1202進入脈衝相位1203(及對應讀取/程式化脈衝)。因此,獲得相當大的能源節省,此係因為除了鄰近於經定址存取線之存取線,並不需要對經偏壓至屏蔽電壓(例如,接地或0V)之未定址存取線充電或放電,以避免在浮動線上誘發干擾。當命令未經接收或未在預定義時間段內經接收時,記憶體裝置通常可處於閒置相位1201,且其可處於主動相位1202,直至在上一閒置至主動轉變1發生之後過去該時間段及/或滿足或超過存取計數之臨限值為止。
圖13說明根據本發明之實施例的用於支援單一電晶體驅動器之記憶體裝置之方法的流程圖。方法1300包含在圖13之圖示中已按閒置相位1301、主動相位1302及脈衝相位1303分組之多個步驟,以及可在自以上相位中之一者至另一者的轉變期間進行之其他步驟。方法1300可包含其他相位及/或(未展示)。步驟在一些實例中,方法1300可由記憶體 裝置100使用如上文參考圖1、圖4及圖6至圖11所描述之單一電晶體驅動器400、601E/601O至1101E/1101O實施,且有可能經組態以根據圖12中所描述之相圖之描述而操作。
當記憶體裝置處於所有存取線接地之閒置相位1301且等待存取命令(例如,讀取/程式化R/W命令)時,方法1300可在步驟1310處開始。記憶體裝置保持在步驟1310處(分支N),直至在步驟1315處命令經接收及鎖存。此外,在步驟1320處基於閒置至主動相位轉變將存取計數器(例如,重設計數器)重設至零並啟動一計時器(例如,自動SBY計時器)。該自動SBY計時器可追蹤在上一閒置至主動轉變時間至當前時間之流逝時間。
在步驟1325處,記憶體裝置處於其中所有存取線浮動之主動相位1302,且基於所接收之R/W命令,當在脈衝相位1303期間選擇存取線(例如,字線及數位線)時,方法1300繼續至步驟1330。在步驟1335處,執行讀取或程式化(例如,將讀取或程式化脈衝施加至經定址存取線),且在步驟1340處,取消選擇字線WL及數位線DL(例如,經定址存取線接地且接著使所有存取線(包括鄰近於經定址存取線或與經定址存取線分組在一起之存取線)浮動)。
當存取計數器增加時,方法1300可在步驟1345處繼續。當對照臨限值檢查存取計數器時,記憶體裝置可在步驟1350處返回至主動相位1302。若計數器滿足或超過臨限值(分支Y),則方法1300可在步驟1365處繼續;若相反,並不滿足或超過臨限值(分支N),則在步驟1355處進行逾時檢查(例如,藉由使用計時器量測自上一閒置至主動轉變起經過之時間)。在逾時(分支Y)的情況下,方法1300在步驟1365處繼續;在無 逾時(分支N)的情況下,記憶體裝置等待將在步驟1360處接收之新命令,經由1355處之逾時檢查及1360處之命令接收迭代(分支),直至滿足退出條件為止。當接收到可為諸如讀取/程式化命令之存取命令時(1360之分支Y),方法1300在上文已描述之步驟1325及1330處繼續(導致讀取/程式化脈衝在脈衝相位1303期間的施加且返回至主動相位1302)。
當方法1300到達步驟1365時(例如,由於存取計數器在步驟1350處滿足或超過臨限值,分支Y,或在步驟1355處逾時的情況下,分支Y),字線WL及數位線DL解碼器經組態以按閒置相位1301期間之情況將所有存取線偏壓至放電電壓(例如,接地電壓)。步驟1370僅將圖13中之圖重新連接至起始步驟1310。
圖14說明根據本發明之實施例的用於支援單一電晶體驅動器之記憶體裝置之方法的方塊圖。方法1400包含可與閒置相位1401相關聯之一些步驟,例如步驟1410及1415,可與主動相位1402相關聯之一些步驟,例如步驟1420及1425,可與脈衝相位1403相關聯之一些步驟,例如步驟1430及1435。閒置1401、主動1402及脈衝1403相位可為參考圖12及圖13描述之閒置1201、1301、主動1202、1302及脈衝1203、1303相位及/或圖6、圖7及圖8至圖11中分別描述之閒置、主動及脈衝相位之實例。在一些實施例中,方法1400可實施於記憶體裝置,諸如圖1之記憶體裝置100中。在一些實例中,方法1400可依賴於單一電晶體驅動器,諸如圖4之單一電晶體驅動器400;在一些實施例中,單一電晶體驅動器可分組成群組500、604及804至1104,如上文參考圖5至圖11所描述。
方法1400可包含在步驟1410處,經由偶數單一電晶體驅動器將耦接至記憶體單元之偶數存取線驅動至放電電壓。在一些實施例中, 放電電壓可為接地電壓,例如其可為0V。
方法1400可包含在步驟1415處,經由奇數單一電晶體驅動器將鄰近於偶數存取線之奇數存取線驅動至放電電壓。在一些實施例中,可經由各別單一電晶體驅動器將額外存取線(例如,除偶數存取線及鄰近於偶數存取線之奇數存取線以外之更多存取線)驅動至放電電壓。在一些情況下,記憶體陣列之所有存取線可在例如閒置相位1401期間放電或接地。
方法1400可包含在步驟1420處,經由偶數單一電晶體驅動器將偶數存取線驅動至浮動電壓。在一些實施例中,浮動電壓可為未加偏壓電壓,例如浮動電壓可實質上保持不變,直至施加偏壓電壓為止。
方法1400可包含在步驟1425處,經由奇數單一電晶體驅動器將鄰近於偶數存取線之奇數存取線驅動至浮動電壓。在一些實施例中,可經由各別單一電晶體驅動器將額外存取線(例如,除偶數存取線及鄰近於偶數存取線之奇數存取線以外之更多存取線)驅動至浮動電壓。在一些情況下,記憶體陣列之所有存取線可在例如主動相位1402期間浮動。
方法1400可包含在步驟1430處,經由偶數單一電晶體驅動器將偶數存取線驅動至讀取/程式化電壓。在一些實施例中,讀取/程式化電壓可為正讀取/程式化電壓(例如,+3.1V)。在一些實施例中,讀取/程式化電壓可為負讀取/程式化電壓(例如,-3.1V)。
方法1400可包含在步驟1435處,經由奇數單一電晶體驅動器將鄰近於偶數存取線之奇數存取線驅動至屏蔽電壓。在一些實施例中,屏蔽電壓可為接地電壓,例如其可為0V。在一些實施例中,與偶數存取線分組在一起之其他存取線可經由各別單一電晶體驅動器驅動至屏蔽電 壓,及/或與(經定址的)偶數存取線不相關之其他存取線可經由各別單一電晶體驅動器驅動至浮動電壓,例如在脈衝相位1403期間。
在一些實施例中,方法1400可進一步包含(圖14之流程圖中未說明)經由耦接至驅動器中之各別單一電晶體的各別汲極節點的汲極驅動線選擇性地將放電電壓、讀取/寫入電壓及/或屏蔽電壓提供至偶數及奇數單一電晶體驅動器。另外,方法1400可進一步包含經由耦接至驅動器中之各別單一電晶體之各別閘極節點的閘極驅動線選擇性地將閘極控制信號提供至偶數及奇數單一電晶體驅動器。在一些情況下,選擇性地提供閘極控制信號包含將閘極控制信號並行地提供至偶數或奇數單一電晶體驅動器的群組且選擇性地提供放電電壓,讀取/寫入電壓及/或屏蔽電壓包含將放電電壓、讀取/寫入電壓及/或屏蔽電壓中之每一者並行地提供至不同群組中之複數個偶數或奇數單一電晶體驅動器。
提供放電電壓、讀取/寫入電壓及/或屏蔽電壓及提供閘極控制信號可包含在閒置、主動及脈衝相位中之任一者期間將電晶體節點偏壓至未超出可靠性電晶體評級之電壓差。
在一些實施例中,方法1400可包含接收存取命令,該存取命令可為至陣列之記憶體部分(例如,庫、分割區、影像塊、頁等或作為整體之記憶體陣列)之讀取或寫入命令中的一者,且若處於閒置相位,則基於接收到讀取或寫入命令而將記憶體部分自閒置相位轉變為主動相位,且接著將記憶體部分自主動相位轉變為脈衝相位;若處於主動相位,則基於接收到讀取或寫入命令而將記憶體部分自主動相位轉變為脈衝相位,從而在記憶體部分中執行脈衝相位,基於該執行而增加讀取/程式化計數器且將記憶體部分返回至主動相位,並且基於讀取/程式化計數器及/或時間 計數器不滿足各別臨限值而將記憶體部分維持在主動相位中,或基於讀取/程式化計數器或時間計數器滿足各別臨限值而將記憶體部分返回至閒置相位。
在方法1400中,基於該執行而將記憶體部分返回至主動相位可包含在將偶數存取線驅動至讀取/程式化電壓之後將偶數存取線驅動至放電電壓。另外或替代地,將記憶體部分自閒置相位轉變為主動相位可進一步包含重設讀取/程式化計數器及/或時間計數器。
圖15說明根據本發明之實施例的支援單一電晶體驅動器之記憶體裝置1500的方塊圖。在一些實施例中,記憶體裝置1500可為如參考圖1所描述之記憶體裝置100之實例。記憶體裝置1500可經組態以實施上文所描述之方法1300及1400。在一些實施例中,裝置1500可經組態以在諸如閒置相位、主動相位及脈衝相位以及其他相位之一些相位中操作,如參考圖12所描述。
記憶體裝置1500可包含輸入/輸出(I/O)組件1509、記憶體組件1519、解碼組件1529、偏壓組件1539、感測組件1549、相變組件1559、計數及時序組件1569及控制器組件1579,以及其他組件(未展示)。各種組件1509至1579可經由匯流排1589彼此耦接。
I/O組件1509可自外媒體管理器(未展示)接收命令、位址及/或資料及/或將命令、位址及/或資料發送至外媒體管理器。舉例而言,I/O組件可接收存取命令(諸如讀取或程式化指令),以存取記憶體陣列中之一或多個記憶體單元(例如,記憶體組件1519中的記憶體單元)。I/O組件亦可接收待存取之記憶體單元的記憶體單元位址,例如在程式化命令的情況下,接收待寫入至記憶體單元之資料。在另一實例中,I/O組件可將 由於先前接收到之讀取命令而自記憶體陣列中之記憶體單元擷取之資料傳輸至外媒體管理器。
記憶體組件1519可包含記憶體陣列,例如上文參考圖1至圖3及圖6至圖11所描述的記憶體陣列之一個實施例。記憶體組件1519亦可包含具有存取線驅動器之解碼器(例如,列及行解碼器),例如如上文參考圖4所描述之單一電晶體驅動器400。單一電晶體驅動器可如上文參考圖5、圖6、圖11及圖12至圖14所描述而組織及操作。
記憶體裝置1500可包含解碼組件1529,其在一些情況下可包括於記憶體組件1519中。基於記憶體單元位址,解碼組件1529可選擇存取線,例如耦接至經定址記憶體單元之字線及數位線,以用於藉由偏壓組件1539進行偏壓。回應於由記憶體裝置1500接收到之命令及/或回應於記憶體裝置1500之相位或狀態,偏壓組件1539可產生電壓以放電、屏蔽及/或讀取/程式化記憶體組件1519中之記憶體單元。感測組件1549可感測記憶體組件1519中之記憶體單元,且作出關於儲存於其中之一或多個邏輯狀態的判定。
記憶體裝置1500可包含相變組件1559,其可與記憶體裝置1500中之其他組件協作以修改裝置狀態,例如以自閒置轉變為主動相位、自主動相位轉變為脈衝相位、自脈衝相位轉變為主動相位及/或自主動相位轉變為閒置相位,例如如上文所描述。計數及時序組件1569可追蹤對記憶體組件1519中之任何記憶體部分之存取的數目;例如來自/至庫、分割區、影像塊、頁等或作為整體之記憶體陣列的讀取及/或程式化操作的數目。存取的數目可儲存於計數器中且用於判定存取計數是否滿足或超過臨限值。計數及時序組件1569可追蹤在上一閒置至主動轉變之後 經過之時間以判定可能的逾時。基於存取計數器及逾時判定中之任一者或兩者,主動至閒置相變可藉由相變組件1559觸發。
記憶體裝置1500亦可包含控制器組件1579,該控制器組件1579監督記憶體裝置1500之全局操作,且詳言之,將控制信號及偏壓電壓提供至記憶體陣列之存取線的單一電晶體驅動器。
記憶體裝置1500可為系統之實例或可為包含記憶體陣列及控制器之系統的子系統,該控制器經組態以在閒置相位期間,經由偶數單一電晶體驅動器將耦接至記憶體單元之偶數存取線驅動至放電電壓,且經由奇數單一電晶體驅動器將鄰近於偶數存取線之奇數存取線驅動至放電電壓,控制器亦經組態以在主動相位期間,經由偶數單一電晶體驅動器將偶數存取線驅動至浮動電壓,且經由奇數單一電晶體驅動器將鄰近於偶數存取線之奇數存取線驅動至浮動電壓,且控制器亦經組態以在脈衝相位期間,經由偶數單一電晶體驅動器將偶數存取線驅動至讀取/程式化電壓,且經由奇數單一電晶體驅動器將鄰近於偶數存取線之奇數存取線驅動至屏蔽電壓。上文已參考圖1至圖14詳細描述此等及其他操作條件。
裝置1500之組件可包括經設計以進行其功能之電路系統。此可包括各種電路元件,例如,導電線、電晶體、電容器、電感器、電阻器、放大器、或經組態以進行在本文中所描述之功能的其他主動或被動元件。裝置1500可為電腦、伺服器、膝上型電腦、筆記本電腦、平板電腦、行動電話、可穿戴式電子裝置、個人電子裝置或類似者。或裝置1500可為此裝置之一部分或元件。
本文中之描述提供實例,且並不限制在申請專利範圍中所闡述之範疇、適用性或實例。可在不脫離本發明之範疇的情況下對所論述 元件之功能及配置作出改變。一些實例可視需要省略、取代或添加各種操作、程序或組件。此外,關於一些實例描述之特徵可在其他實例中組合。
可使用各種不同技術及技藝中之任一者來表示本文中所描述之資訊及信號。舉例而言,可藉由電壓、電流、電磁波、磁場或磁粒子、光場或光粒子或其任何組合來表示貫穿以上描述可能提及之資料、指令、命令、資訊、信號、位元、符號及晶片。一些圖可將信號說明為單一信號;然而,一般熟習此項技術者應理解,該信號可表示信號之匯流排,其中該匯流排可具有多種位元寬度。
如本文中所使用,術語「虛擬接地」指代電路的保持處於大約零伏特(0V)之電壓的節點,或更大體而言,表示可或可不直接與接地耦接之電路或包括該電路之裝置的參考電壓。因此,虛擬接地之電壓可臨時變動,且在穩定狀態下返回至大約0V或虛擬0V。虛擬接地可使用各種電子電路元件實施,諸如由可操作放大器及電阻器組成之分壓器。其他實施亦係可能的。「虛擬接地」或「虛擬地接地」意謂連接至大約0V,或裝置之某一其他參考電壓。
術語「電子通信」及「耦接」指代支援組件之間的電子流的組件之間的關係。此可包括組件之間的直接連接或耦接,或可包括中間組件。換言之,「連接」或「耦接」之組件彼此電子通信。處於電子通信之組件可主動地交換電子或信號(例如,在供能電路中),或可能不會主動地交換電子或信號(例如,在失能電路中),但可經組態且可用以在電路予以供能時交換電子或信號。藉助於實例,不論開關之狀態如何(例如,斷開、閉合),經由開關(例如,電晶體)實體地連接或耦接之兩個組件處於電子通信。
片語「耦接於其間」可指組件相對於彼此之次序,且可指電耦接。在一個實例中,電耦接於組件「A」與組件「C」之間的組件「B」可指電意義上之組件次序「A-B-C」或「C-B-A」。換言之,可藉助於組件B將電信號(例如,電壓、電荷、電流)自組件A傳遞至組件C。
對組件B「耦接於」組件A與組件C「之間」之描述未必應解譯為在所描述次序上排除其他介入組件。舉例而言,組件「D」可耦接在所描述組件A與組件B之間(例如,參考「A-D-B-C」或「C-B-D-A」之組件的次序作為實例),同時仍支援組件B電耦接於組件A與組件C之間。換言之,片語「耦接於其間」之使用不應被視為必須參考排他性依序次序。
此外,對組件B「耦接於」組件A與組件C「之間」之描述並不排除組件A與組件C之間的第二不同耦接。例如,組件A及組件C可在與經由組件B之耦接電並聯之單獨耦接中彼此耦接。在另一實例中,組件A與組件C可經由另一組件「E」耦接(例如,組件B耦接於組件A與組件C之間且組件E耦接於組件A與組件C之間)。換言之,片語「耦接於其間」之使用不應被視為組件之間的排他性耦接。
術語「隔離」指組件(電子當前無法在其間流動)之間的關係;組件在其間存在斷路的情況下彼此隔離。例如,在開關斷開時,由開關實體地耦接之兩個組件可彼此隔離。
如本文中所使用,術語「短接」指代組件之間的關係,在該關係中,經由啟動兩個所討論之組件之間的單個中間組件在組件之間建立了導電路徑。例如,在兩個組件之間的開關閉合時,短接至第二組件之第一組件可與第二組件交換電子。因此,短接可為使得能夠在電子通信之 組件(或線)之間施加電壓及/或流動電荷的動態操作。
如本文中所使用,術語「端子」並不暗示電路元件之實體邊界或連接點。實際上,「端子」可指與電路元件相關之電路參考點,其亦可被稱為「節點」或「參考點」。
本文中所論述之裝置(包括記憶體裝置100、陣列200及電路系統300)及參考圖1、圖2、圖3及圖4至圖5所描述之驅動器400以及圖6至圖11中所描述之其組合可形成於半導體基板上,諸如矽、鍺、矽-鍺合金、砷化鎵、氮化鎵等。在一些情況下,基板為半導體晶圓。在其他情況下,基板可為絕緣層上矽(SOI)基板,諸如玻璃上矽(SOG)或藍寶石上矽(SOP),或另一基板上之半導體材料的磊晶層。可經由使用包括但不限於磷、硼或砷之各種化學物質摻雜而控制基板或基板之子區的導電性。可藉由離子植入或藉由任何其他摻雜方式在基板之初始形成或生長期間執行摻雜。
本文中所論述之一或多個電晶體可表示場效電晶體(FET),且包含包括源極、汲極及閘極之三端裝置。端子可經由諸如金屬之導電材料連接至其他電子元件。源極及汲極可為導電的,且可包含重摻雜或退化之半導體區。源極與汲極可藉由輕微摻雜之半導體區或通道分隔。若通道為n型(例如,多數載子為電子),則FET可被稱為n型FET。若通道為p型(例如,多數載子為電洞),則FET可被稱為p型FET。通道可由絕緣閘氧化物加蓋。可藉由將電壓施加至閘極來控制通道導電性。舉例而言,將正電壓或負電壓分別施加至n型FET或p型FET可導致通道變得導電。在將大於或等於電晶體之臨限電壓的電壓施加至電晶體閘極時,電晶體可「接通」或「啟動」。當將小於電晶體之臨限電壓的一電壓施加至電 晶體閘極時,電晶體可「斷開」或「去啟動」。
本文中結合附圖闡述之描述描述實例組態,且並不表示可實施或在申請專利範圍之範疇內的所有實例。本文中所使用術語「例示性」意謂「充當實例、例子或說明」且並不意謂「較佳」或「優於其他實例」。詳細描述包括用於提供對所描述技術之理解的目的之特定細節。然而,可在無此等具特定細節的情況下實踐此等技術。在一些情況下,以方塊圖形式展示熟知之結構及裝置以避免混淆所描述實例之概念。
在隨附圖式中,類似組件或特徵可具有相同參考標記。此外,可藉由在參考標記之後加上破折號及在類似組件之間進行區分之第二標記來區分同一類型之各種組件。若在說明書中僅使用第一參考標記,則描述適用於具有相同第一參考標記而與第二參考標記無關的類似組件中之任一者。
結合本文中之揭示內容所描述的各種說明性區塊及模組可使用通用處理器、DSP、ASIC、FPGA或其他可程式化邏輯裝置、離散閘或電晶體邏輯、離散硬體組件或經設計以執行本文所描述之功能的其任何組合來實施或執行。通用處理器可為微處理器,但在替代例中,處理器可為任何習知的處理器、控制器、微控制器或狀態機。處理器亦可被實施為計算裝置之組合(例如,數位信號處理器(DSP)與微處理器之組合、多個微處理器、結合DSP核心之一或多個微處理器,或任何其他此組態)。
本文中所描述之功能可以硬體、由處理器執行之軟體、韌體或其任何組合實施。若以由處理器執行之軟體實施,則可將功能作為一或多個指令或程式碼儲存於電腦可讀媒體上或經由電腦可讀媒體傳輸。其他實例及實施在本發明及隨附申請專利範圍之範疇內。舉例而言,歸因於 軟體之性質,上文所描述之功能可使用由處理器執行之軟體、硬體、韌體、硬連線或此等者中之任一者的組合實施。實施功能之特徵亦可實體上位於各種位置處,包括經分配以使得功能之部分在不同實體位置處實施。又,如本文中所使用(包括在申請專利範圍中),「或」在用於項目清單(例如,以諸如「中之至少一者」或「中之一或多者」之片語作為結尾之項目清單)中時指示包括性清單,使得(例如)A、B或C中之至少一者之清單意謂A或B或C或AB或AC或BC或ABC(例如,A及B及C)。
如本文中所使用,術語「大體上」」意謂經修飾特性(例如,由術語「大體上」修飾之動詞或形容詞)無需為絕對的,而是足夠接近以便實現該特性之優勢,或足夠接近,使得在本發明之相關態樣的上下文中,所參考特性係真實的。
如本文中所使用,詞組「基於」不應被認作對封閉條件集合之參考。舉例而言,描述為「基於條件A」之例示性步驟在不脫離本發明之範疇的情況下可係基於條件A及條件B兩者。換言之,如本文中所使用,應以與詞組「至少部分地基於」相同之方式解釋詞組「基於」。
提供本文中之描述以使得熟習此項技術者能夠進行或使用本發明。對本發明之各種修改對於熟習此項技術者而言將為顯而易見的,且可在不脫離本發明之範疇的情況下將本文中定義之一般原理應用於其他變體。因此,本發明並不限於本文中所描述之實例及設計,而是應符合與本文中所揭示之原理及新穎特徵相一致的最廣範疇。
801E:偶數驅動器
801O:奇數驅動器
804:群組
871E:閘極控制信號線
871O:閘極控制信號線
890<0>:經定址存取線
890<1>:存取線
890adj:鄰近存取線
890unrel:不相關存取線
L1E<0>:閘極控制信號線
L1E<1>:閘極控制信號線
L1E<2>:閘極控制信號線
L2E<0>:控制信號線
L2E<1>:控制信號線
L1O<0>:閘極控制信號線
L1O<1>:閘極控制信號線
L1O<2>:閘極控制信號線
L2O<0>:控制信號線
L2O<1>:控制信號線

Claims (25)

  1. 一種記憶體裝置,其包含:記憶體單元,其位於一記憶體陣列之存取線的交叉點處,一第一偶數單一電晶體驅動器,其經組態以:在一閒置相位期間將一第一偶數存取線驅動至一放電電壓;在一主動相位期間將該第一偶數存取線驅動至一浮動電壓;及在一脈衝相位期間將該第一偶數存取線驅動至一讀取/程式化電壓,一第一奇數單一電晶體驅動器,其經組態以:在該閒置相位期間將一第一奇數存取線驅動至該放電電壓,該第一奇數存取線實體地鄰近於該第一偶數存取線;在該主動相位期間將該第一奇數存取線驅動至該浮動電壓;及在該脈衝相位期間將該第一奇數存取線驅動至一屏蔽電壓。
  2. 如請求項1之記憶體裝置,其中:該第一偶數單一電晶體驅動器具有耦接至一偶數群組閘極驅動線之一閘極及耦接至一第一偶數汲極驅動線之一汲極,該第一奇數單一電晶體驅動器具有耦接至一奇數群組閘極驅動線之一閘極及耦接至一第一奇數汲極驅動線之一汲極,該記憶體裝置進一步包含:一第二偶數單一電晶體驅動器,其具有耦接至該偶數群組閘極驅動線之一閘極及耦接至一第二偶數汲極驅動線之一汲極,該第二偶數單一電晶體驅動器經組態以在該閒置相位期間將一第二偶數存取線驅動至該放電電壓,在該主動相位期間將該第二偶數存取線驅動至該浮動電壓,且在該 脈衝相位期間將該第二偶數存取線驅動至該屏蔽電壓,一第二奇數單一電晶體驅動器,其具有耦接至該奇數群組閘極驅動線之一閘極及耦接至一第二奇數汲極驅動線之一汲極,該第二奇數單一電晶體驅動器經組態以在該閒置相位期間將一第二奇數存取線驅動至該放電電壓,在該主動相位期間將該第二奇數存取線驅動至該浮動電壓,且在該脈衝相位期間將該第二奇數存取線驅動至該屏蔽電壓,該第二奇數存取線實體地鄰近於該第一偶數存取線。
  3. 如請求項1之記憶體裝置,其中:該第一偶數單一電晶體驅動器具有耦接至一偶數群組閘極驅動線之一閘極及耦接至一第一偶數汲極驅動線之一汲極,該第一奇數單一電晶體驅動器具有耦接至一奇數群組閘極驅動線之一閘極及耦接至一第一奇數汲極驅動線之一汲極,該記憶體裝置進一步包含:一第二偶數單一電晶體驅動器,其具有耦接至該偶數群組閘極驅動線之一閘極及耦接至一第二偶數汲極驅動線之一汲極,該第二偶數單一電晶體驅動器經組態以在該閒置相位期間將一第二偶數存取線驅動至該放電電壓,在該主動相位期間將該第二偶數存取線驅動至該浮動電壓,且在該脈衝相位期間將該第二偶數存取線驅動至該屏蔽電壓,一第二奇數單一電晶體驅動器,其具有耦接至與該奇數群組閘極驅動線不同的一第二奇數群組閘極驅動線之一閘極及耦接至一第二奇數汲極驅動線之一汲極,該第二奇數單一電晶體驅動器經組態以在該閒置相位期間將一第二奇數存取線驅動至該放電電壓,在該主動相位期間將該第二奇 數存取線驅動至該浮動電壓,且在該脈衝相位期間將該第二奇數存取線驅動至該屏蔽電壓,該第二奇數存取線實體地鄰近於該第一偶數存取線。
  4. 如請求項1之記憶體裝置,其包含:複數個偶數驅動器,其按偶數群組組織,每一驅動器耦接至一各別偶數存取線,該第一偶數單一電晶體驅動器在該複數個偶數驅動器之一第一群組中,複數個奇數驅動器,其按奇數群組組織,每一驅動器耦接至一各別奇數存取線,該第一奇數單一電晶體驅動器在該複數個奇數驅動器之一第一群組中,其中各別偶數存取線及各別奇數存取線在該記憶體裝置之一疊組中交替。
  5. 如請求項4之記憶體裝置,其中:該第一偶數存取線實體地鄰近於耦接至該複數個奇數驅動器之該第一群組中之一第二奇數單一電晶體驅動器的一各別奇數存取線,或該第一偶數存取線實體地鄰近於耦接至該複數個奇數驅動器之一第二群組中之一第二奇數單一電晶體驅動器的一各別奇數存取線。
  6. 如請求項4之記憶體裝置,其進一步包含該複數個偶數驅動器之一第二群組及該複數個奇數驅動器之一第二群組,偶數及奇數驅動器之該等第二群組經組態以在一主動相位期間及該第一偶數存取線之該脈衝相位期間將該各別偶數及奇數存取線驅動至該浮動電壓。
  7. 如請求項4至6之一者之記憶體裝置,其中該複數個偶數/奇數驅動器中之每一偶數/奇數群組耦接至一各別閘極驅動線,且複數個偶數/奇數汲極驅動線耦接至該複數個偶數/奇數驅動器之每一群組中之對應者偶數/奇數驅動器。
  8. 如請求項1之記憶體裝置,其包含另一單一電晶體驅動器,該另一單一電晶體驅動器經組態以在該閒置相位期間將實質上垂直於該第一偶數存取線之一正交存取線驅動至該放電電壓,在一主動相位期間將該正交存取線驅動至一浮動電壓,且在該脈衝相位期間將該正交存取線驅動至一正交[互補]讀取/程式化電壓。
  9. 如請求項8之記憶體裝置,其中該放電電壓及該屏蔽電壓為一接地電壓,該讀取/程式化電壓為一正電壓及一負電壓中之一者,且該正交讀取/程式化電壓具有與該讀取/程式化電壓之一極性相反的一極性。
  10. 如請求項1之記憶體裝置,其中該第一偶數單一電晶體驅動器及該第一奇數單一電晶體驅動器處於該記憶體陣列下。
  11. 如請求項1之記憶體裝置,其中該第一偶數單一電晶體驅動器及該第一奇數單一電晶體驅動器各自包含一CMOS電晶體、一FinFET電晶體或一豎直TFT電晶體中之一者。
  12. 如請求項1之記憶體裝置,其中該第一偶數單一電晶體驅動器包含電晶體節點,且該記憶體裝置進一步包含一控制器,該控制器經組態以在該閒置相位、該主動相位及該脈衝相位中之任一者期間將電晶體節點驅動至不超出可靠性電晶體評級之電壓差。
  13. 如請求項1之記憶體裝置,其進一步包含一讀取/程式化計數器、一時間計數器,該控制器經組態以:基於接收到一讀取或一寫入命令而實施自該閒置相位至該主動相位之一轉變,且接著實施自該主動相位至該脈衝相位之轉變,或在接收到一讀取或寫入命令後實施自該主動相位至該脈衝相位之一轉變,在完成該讀取/程式化相位後返回至該主動相位,及若該讀取/程式化計數器及該時間計數器低於各別臨限值,則保持在該主動相位中,或若該讀取/程式化計數器或該時間計數器滿足各別臨限值,則返回至閒置相位。
  14. 一種操作包含單一電晶體驅動器之一記憶體裝置的方法,其包含:在一閒置相位期間:經由一偶數單一電晶體驅動器將耦接至一記憶體單元之一偶數存取線驅動至一放電電壓,及經由一奇數單一電晶體驅動器將鄰近於該偶數存取線之一奇數存 取線驅動至該放電電壓,在一主動相位期間:經由該偶數單一電晶體驅動器將該偶數存取線驅動至一浮動電壓,及經由該奇數單一電晶體驅動器將鄰近於該偶數存取線之該奇數存取線驅動至該浮動電壓,在一脈衝相位期間:經由該偶數單一電晶體驅動器將該偶數存取線驅動至一讀取/程式化電壓,及經由該奇數單一電晶體驅動器將鄰近於該偶數存取線之該奇數存取線驅動至一屏蔽電壓。
  15. 如請求項14之方法,其進一步包含:在該偶數存取線之一脈衝相位期間,經由耦接至鄰近於該偶數存取線之另一存取線的一各別單一電晶體驅動器將該另一存取線驅動至該屏蔽電壓。
  16. 如請求項14之方法,其進一步包含:在該偶數存取線之一脈衝相位期間,經由耦接至不鄰近於該偶數存取線之另一存取線的一各別單一電晶體驅動器將該另一存取線驅動至該浮動電壓。
  17. 如請求項14之方法,其進一步包含: 經由耦接至該驅動器中之各別單一電晶體的各別汲極節點的汲極驅動線選擇性地將該放電電壓、該讀取/寫入電壓及/或該屏蔽電壓提供至該等偶數及奇數單一電晶體驅動器。
  18. 如請求項17之方法,其進一步包含:經由耦接至該驅動器中之各別單一電晶體的各別閘極節點的閘極驅動線選擇性地將閘極控制信號提供至該等偶數及奇數單一電晶體驅動器。
  19. 如請求項18之方法,其中:選擇性地提供該等閘極控制信號包含並行地將該等閘極控制信號提供至偶數或奇數單一電晶體驅動器之一群組,且選擇性地提供該放電電壓、該讀取/寫入電壓及/或該屏蔽電壓包含並行地將該放電電壓、該讀取/寫入電壓及/或該屏蔽電壓中之每一者提供至不同群組中之複數個偶數或奇數單一電晶體驅動器。
  20. 如請求項19之方法,其中提供該放電電壓、該讀取/寫入電壓及/或該屏蔽電壓及提供該等閘極控制信號包含在該閒置相位、該主動相位及該脈衝相位中之任一者期間將電晶體節點偏壓至未超出可靠性電晶體評級之電壓差。
  21. 如請求項14之方法,其中該放電電壓及該屏蔽電壓為一接地電壓,且該讀取/程式化電壓為一正電壓及一負電壓中之一者。
  22. 如請求項14之方法,其進一步包含:接收對一記憶體部分中之一記憶體單元的一讀取或一寫入命令,若處於該閒置相位,則基於接收到該讀取或該寫入命令而將該記憶體部分自該閒置相位轉變為該主動相位,且接著將[記憶體庫]自該主動相位轉變為該脈衝相位,若處於該主動相位,則基於接收到該讀取或該寫入命令而將該記憶體部分自該主動相位轉變為該脈衝相位,在該記憶體部分中執行該脈衝相位,基於該執行而增加一讀取/程式化計數器且將該記憶體部分返回至該主動相位,及基於該讀取/程式化計數器及/或一時間計數器不滿足各別臨限值而將該記憶體部分維持在該主動相位中,或基於該讀取/程式化計數器或該時間計數器滿足各別臨限值而將該記憶體部分返回至該閒置相位。
  23. 如請求項22之方法,其中:基於該執行而將該記憶體部分返回至該主動相位包含在將該偶數存取線驅動至該讀取/程式化電壓之後將該偶數存取線驅動至該放電電壓。
  24. 如請求項22之方法,其中將該記憶體部分自該閒置相位轉變為該主動相位進一步包含重設該讀取/程式化計數器及/或該時間計數器。
  25. 一種包含一記憶體陣列及一控制器之系統,該控制器經組態以:在一閒置相位期間,經由一偶數單一電晶體驅動器將耦接至一記憶 體單元之一偶數存取線驅動至一放電電壓,且經由一奇數單一電晶體驅動器將鄰近於該偶數存取線之一奇數存取線驅動至該放電電壓,在一主動相位期間,經由該偶數單一電晶體驅動器將該偶數存取線驅動至一浮動電壓,且經由該奇數單一電晶體驅動器將鄰近於該偶數存取線之該奇數存取線驅動至該浮動電壓,及在一脈衝相位期間,經由該偶數單一電晶體驅動器將該偶數存取線驅動至一讀取/程式化電壓,且經由該奇數單一電晶體驅動器將鄰近於該偶數存取線之該奇數存取線驅動至一屏蔽電壓。
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