TWI771885B - 薄型氣體傳輸裝置 - Google Patents

Abstract

一種薄型氣體傳輸裝置，包含：底板，具有：第一底表面；第二底表面；容置槽，自第一底表面凹陷形成，設有容置底面；出氣槽，自容置底面凹陷形成，設有出氣通道；定位部，圍繞容置槽；通氣孔，位於定位部，具有進氣端及通氣端，通氣端連通容置槽，通氣孔自通氣端至進氣端呈漸縮；進氣管及出氣管；止逆閥，設置於容置槽；氣體泵，設置於止逆閥；以及頂蓋，固設於定位部並封蓋容置槽。

Description

薄型氣體傳輸裝置

本案關於一種薄型氣體傳輸裝置，尤指一種能夠避免氣體回流的薄型氣體傳輸裝置。

隨著科技的日新月異，氣體輸送裝置的應用上亦愈來愈多元化，舉凡工業應用、生醫應用、醫療保健、電子散熱等等，甚至近來熱門的穿戴式裝置皆可見它的蹤影，可見傳統的泵浦已漸漸有朝向裝置微小化、流量極大化的趨勢。

目前的薄型氣體傳輸裝置對一氣囊進行充氣後，當充氣完成，薄型氣體傳輸裝置停止運作後，經常會發生氣體回流的現象，使的充氣負載內的氣壓不足，故如何在薄型氣體傳輸裝置停止時，避免氣體回流為目前需要解決之難題。

請參閱第1A圖及第1B圖，第1A圖及第1B圖為先前技術之薄型氣體傳輸裝置200，包含一下板201、一氣體泵202及一上板203，下板201具有一容置區2011、一通孔2012、一氣塞2013、一進氣端2014及出氣端2015，氣體泵202設置於容置區2011，氣塞2013設置於通孔2012，上板203封蓋容置區2011，氣體泵202作動後，吸取容置區2011內的氣體往出氣端2015移動，此時，容置區2011內呈現負壓，氣體將通過進氣端2014進入通孔2012，並推動通孔2012內的氣塞2013上移，使氣體得以持續傳輸， 當氣體泵202停止，氣塞2013通過彈性回復至通孔2012內，以封閉通孔2012。

先前技術中透過氣塞2013來防止氣體回流，但氣塞2013的尺寸極小，於製作氣塞2013時容易因為公差難以維持氣塞2013的品質，但氣塞2013又必須與通孔2012匹配，若兩者無法吻合，將會導致氣體逆流或是無法組裝的狀態，因此，需另行尋找防止氣體回流之方法。

本案之主要目的係提供一種具有薄型氣體傳輸裝置，利用止逆閥來達到禁止氣體回流的效果。

本案之一廣義實施態樣為一種薄型氣體傳輸裝置，包含：一殼體，具有：一殼表面；一容置槽，自該殼表面凹陷形成，具有一容置底面；一出氣槽，自該容置底面凹陷形成；一定位部，自該殼表面凸出且圍繞該容置槽；一通氣孔，位於該定位部，具有一進氣端及一通氣端，該通氣端連通該容置槽，該通氣孔自該通氣端至該進氣端呈漸縮狀；一進氣管，設置於該殼體，具有一進氣通道，該進氣通道與該通氣孔之該進氣端相連通；以及一出氣管，設置於該殼體，具有一出氣通道，該出氣通道與該出氣槽連通；一止逆閥，設置於該容置槽，包含有：一阻隔片，設置於該容置底面且覆蓋該出氣槽，具有：一第一表面；一第二表面，與該第一表面相對；一凸出部，自該第二表面凸出，位於該出氣槽；以及複數個穿孔，環繞該凸出部；一閥片，設置該第二表面，具有：一閥門部，具有一閥孔，該閥孔與該凸出部垂直對應；一固定部分，位於該閥門部；其中，該閥片透過該固定部分結合至該第二表面，該凸出部頂抵閥門部，並阻塞該閥孔；一氣體泵，設置於該第一表面；以及一頂蓋，固設於該定位部並封蓋該容置槽。

100:薄型氣體傳輸裝置

1:殼體

11:殼表面

12:底表面

13:容置槽

131:容置底面

14:出氣槽

15:定位部

151:定位結構

152:固定孔

16:通氣孔

161:進氣端

162:通氣端

17:進氣管

171:進氣通道

18:出氣管

181:出氣通道

1a:第一側壁

1b:第二側壁

1c:第三側壁

1d:第四側壁

2:止逆閥

21:阻隔片

211:第一表面

212:第二表面

213:凸出部

214:穿孔

215:定位缺口

22:閥片

22a:閥孔

221:閥門部

222:固定部分

3:氣體泵

31:進流板

31a:進流孔

31b:匯流排槽

31c:匯流腔室

32:共振片

32a:中空孔

32b:可動部

32c:固定部

33:壓電致動器

33a:懸浮板

33b:外框

33c:支架

33d:壓電元件

33e:間隙

33f:凸部

34:第一絕緣片

35:導電片

36:第二絕緣片

37:腔室空間

4:頂蓋

41:固定榫

A-A、B-B:剖面線

200:薄型氣體傳輸裝置

201:下板

2011:容置區

2012:通孔

2013:氣塞

2014:進氣端

2015:出氣端

202:氣體泵

203:上板

第1A圖及第1B圖為先前技術之薄型氣體傳輸裝置示意圖。

第2A圖為本案薄型氣體傳輸裝置之立體圖。

第2B圖為本案薄型氣體傳輸裝置之分解圖。

第2C圖為本案薄型氣體傳輸裝置另一角度分解圖。

第2D圖為本案薄型氣體傳輸裝置之仰視圖。

第2E圖為本案底板的立體圖。

第3A圖為本案氣體泵之分解示意圖。

第3B圖為本案氣體泵之另一角度分解示意圖。

第4A圖為本案氣體泵之剖面示意圖。

第4B圖至第4D圖為本案氣體泵作動示意圖。

第5A圖為第2D圖中A-A剖面圖。

第5B圖為第2D圖中B-B剖面圖。

第5C圖為本案避免氣體回流示意圖。

體現本案特徵與優點的實施例將在後段的說明中詳細敘述。應理解的是本案能夠在不同的態樣上具有各種的變化，其皆不脫離本案的範圍，且其中的說明及圖示在本質上當作說明之用，而非用以限制本案。

請參閱第2A圖至第2B圖，本案提供一種薄型氣體傳輸裝置100，包含一殼體1、一止逆閥2、一氣體泵3及一頂蓋4，氣體泵3設置於止逆閥2，並將兩者容設於殼體1內，最後由頂蓋4封蓋。

請參閱第2E圖所示，殼體1為一方型殼體，但不以此為限，包含有一殼表面11、一底表面12、一容置槽13、一出氣槽14、一定位部15、一通氣孔16、一進氣管17、一出氣管18、一第一側壁1a、一第二側壁1b、一第 三側壁1c及一第四側壁1d，殼表面11及底表面12為兩相對之表面，容置槽13自該殼表面11凹陷形成，具有一容置底面131，出氣槽14自容置底面131凹陷形成，定位部15自殼表面11凸出且圍繞容置槽13的四周，通氣孔16則位於定位部15上，且具有一進氣端161及一通氣端162，通氣端162連通至容置槽13，且通氣端162至進氣端161呈現縮狀，進氣管17設置於殼體1的第一側壁1a，具有一進氣通道171，進氣通道171與通氣孔16的進氣端161相連通，出氣管18設置於與殼體1的第一側壁1a相對的第三側壁1c，並具有一出氣通道181與出氣槽14相連通，其中，進氣管17與出氣管18錯位設置；值得注意的是，進氣管17及出氣管18也可設置於相對的第二側壁1b或第四側壁1d，或是同一側，如同時設置於第一側壁1a，並不以此為限。

請再參閱第2B圖及第2C圖，止逆閥2設置於殼體1的容置槽13，止逆閥2包含有一阻隔片21及一閥片22。

阻隔片21設置於容置槽13的容置底面131並覆蓋出氣槽14，具有一第一表面211、一第二表面212、一凸出部213及複數個穿孔214；第一表面211與第二表面212彼此相對，第二表面212貼附於容置底面131，使止逆閥2固定於容置槽13，凸出部213自第二表面212凸出，當第二表面212貼附於容置底面131時，凸出部213位於出氣槽14內，穿孔214於本實施例中為4個，但不以此為限，4個穿孔214環繞凸出部213的周圍；此外，可於阻隔片21的第一表面211進行沖壓來形成凸出部213，使凸出部213得以凸出於第二表面212，而阻隔片21可由一金屬材料所形成，於本實施例中，可由銅、鋁、不銹鋼或其他合金形成，而以金屬材料形成之阻隔片21的厚度為0.05mm以下，其材料與厚度受限於阻隔片21所需求的機械 強度，只要阻隔片21的機械強度足以承受沖壓製程，且能夠在氣壓反作用力下不過度變形即可。

閥片22設置於阻隔片21的第二表面212，具有一閥門部221及一固定部分222，閥門部221中央具有一閥孔22a，閥孔22a與阻隔片21的凸出部213垂直對應，固定部分222位於閥門部221的周圍，當閥片22通過固定部分222固定於阻隔片21的第二表面212時，阻隔片21的凸出部213頂抵閥門部221且阻塞閥孔22a，其中，閥片22之閥門部221可由軟性材料所製成，如矽膠、橡膠、聚醯亞胺薄膜(PI膜)等軟性材料，固定部分222可為一膠層，於閥門部221的周圍設置膠層形成固定部分222，閥門部221透過膠層(固定部分222)黏著於阻隔片21之第二表面212，以將閥片22固定於阻隔片21。

值得注意的是，止逆閥2的凸出部213呈一扁圓柱狀，且為了阻塞閥孔22a，凸出部213的直徑不可小於閥孔22a之直徑，於本實施方式中，凸出部213的直徑大於閥孔22a之直徑，此外，為了使凸出部213頂抵閥門部221，凸出部213的厚度不得小於固定部分222的厚度，本實施方式中，凸出部213的厚度大於固定部分222的厚度，使凸出部213能夠將閥孔22a周圍的閥門部221些微地向下變形，產生較佳的止逆效果。

上述之閥門22的閥門部221厚度為0.2mm，閥孔22a的直徑為3mm，固定部分222厚度為0.14mm，而阻隔片21之穿孔214的直徑為1mm，凸出部213的直徑需大於閥孔22a的直徑，故凸出部213的直徑介於4mm至5mm之間，而凸出部213之厚度需大於固定部分222的厚度，故凸出部213厚度為0.2mm。

氣體泵3設置於該阻隔片21之第一表面211，請再參閱第3A圖及第3B圖，氣體泵3包含一進流板31、一共振片32、一壓電致動器33、一第一 絕緣片34、一導電片35及一第二絕緣片36依序堆疊組合設置。其中進流板31具有至少一進流孔31a、至少一匯流排槽31b及一匯流腔室31c，進流孔31a供導入氣體，進流孔31a對應貫通匯流排槽31b，且匯流排槽31b匯流到匯流腔室31c，使進流孔31a所導入氣體得以匯流至匯流腔室31c中。於本實施例中，進流孔31a與匯流排槽31b之數量相同，進流孔31a與匯流排槽31b之數量分別為4個，並不以此為限，4個進流孔31a分別連通至4個匯流排槽31b，且4個匯流排槽31b匯流到匯流腔室31c。

請參閱第3A圖、第3B圖及第4A圖所示，上述之共振片32透過貼合方式組接於進流板31上，且共振片32上具有一中空孔32a、一可動部32b及一固定部32c，中空孔32a位於共振片32的中心處，並與進流板31的匯流腔室31c對應，而可動部32b設置於中空孔32a的周圍且與匯流腔室31c相對的區域，而固定部32c設置於共振片32的外周緣部分而貼固於進流板31上。

請繼續參閱第3A圖、第3B圖及第4A圖所示，上述之壓電致動器33接合於共振片32上，包含有一懸浮板33a、一外框33b、至少一支架33c、一壓電元件33d、至少一間隙33e及一凸部33f。其中，懸浮板33a為一正方形型態，懸浮板33a之所以採用正方形，乃相較於圓形懸浮板之設計，正方形懸浮板33a之結構明顯具有省電之優勢，因在共振頻率下操作之電容性負載，其消耗功率會隨頻率之上升而增加，又因邊長正方形懸浮板33a之共振頻率明顯較圓形懸浮板低，故其相對的消耗功率亦明顯較低，亦即本案所採用正方形設計之懸浮板33a，具有省電優勢之效益；外框33b環繞設置於懸浮板33a之外側；至少一支架33c連接於懸浮板33a與外框33b之間，以提供彈性支撐懸浮板33a的支撐力；以及一壓電元件33d具有一邊長，該邊長小於或等於懸浮板33a之一懸浮板33a邊長，且 壓電元件33d貼附於懸浮板33a之一表面上，用以施加電壓以驅動懸浮板33a彎曲振動；而懸浮板33a、外框33b與支架33c之間構成至少一間隙33e，用以供氣體通過；凸部33f為設置於懸浮板33a貼附壓電元件33d之表面的相對之另一表面，凸部33f於本實施例中，可為透過於懸浮板33a利用一蝕刻製程製出一體成形突出於貼附壓電元件33d之表面的相對之另一表面上形成之一凸狀結構。

請繼續參閱第3A圖、第3B圖及第4A圖所示，上述之進流板31、共振片32、壓電致動器33、第一絕緣片34、導電片35及第二絕緣片36依序堆疊組合，其中壓電致動器33之懸浮板33a與共振片32之間需形成一腔室空間37，腔室空間37可利用於共振片32及壓電致動器33之外框33b之間的間隙填充一材質形成，例如：導電膠，但不以此為限，以使共振片32與懸浮板33a之一表面之間可維持一定深度形成腔室空間37，進而可導引氣體更迅速地流動，且因懸浮板33a與共振片32保持適當距離使彼此接觸干涉減少，促使噪音產生可被降低，當然於另一實施例中，亦可藉由壓電致動器33之外框33b高度加高來減少共振片32及壓電致動器33之外框33b之間的間隙所填充導電膠之厚度，如此氣體泵3整體結構組裝不因導電膠之填充材質會因熱壓溫度及冷卻溫度而間接影響到，避免導電膠之填充材質因熱脹冷縮因素影響到成型後腔室空間37之實際間距，但不以此為限。另外，腔室空間37將會影響氣體泵3的傳輸效果，故維持一固定的腔室空間37對於氣體泵3提供穩定的傳輸效率是十分重要。

為了瞭解上述氣體泵3提供氣體傳輸之輸出作動方式，請繼續參閱第4B圖至第4D圖所示，請先參閱第4B圖，壓電致動器33的壓電元件33d被施加驅動電壓後產生形變帶動懸浮板33a向下位移，此時腔室空間37的容 積提升，於腔室空間37內形成了負壓，便汲取匯流腔室31c內的氣體進入腔室空間37內，同時共振片32受到共振原理的影響被同步向下位移，連帶增加了匯流腔室31c的容積，且因匯流腔室31c內的氣體進入腔室空間37的關係，造成匯流腔室31c內同樣為負壓狀態，進而通過進流孔31a及匯流排槽31b來吸取氣體進入匯流腔室31c內；請再參閱第4C圖，壓電元件33d帶動懸浮板33a向上位移，壓縮腔室空間37，同樣的，共振片32被懸浮板33a因共振而向上位移，迫使同步推擠腔室空間37內的氣體往下通過間隙33e向下傳輸，以達到傳輸氣體的效果；最後請參閱第4D圖，當懸浮板33a回復原位時，共振片32仍因慣性而向下位移，此時的共振片32將使壓縮腔室空間37內的氣體向間隙33e移動，並且提升匯流腔室31c內的容積，讓氣體能夠持續地通過進流孔31a及匯流排槽31b來匯聚於匯流腔室31c內，透過不斷地重複上述第4C圖至第4E圖所示之氣體泵3提供氣體傳輸作動步驟，使氣體泵3能夠使氣體連續自進流孔31a進入進流板31及共振片32所構成流道產生壓力梯度，再由間隙33e向下傳輸，使氣體高速流動，達到氣體泵3傳輸氣體輸出的作動操作。

請參閱第5A圖及第5B圖，第5A圖為第2B圖之A-A剖面線之剖面示意圖，氣體泵3開始作動後，開始汲取於進流板31及頂蓋4之間的氣體進入進流孔31a，並向下傳輸，同時，當容置槽13的氣體進入氣體泵3後，容置槽13內呈負壓狀態，於薄型氣體傳輸裝置100外的氣體便由進氣管17之進氣通道171進入，通過通氣孔16而引入容置槽13內，當氣體泵3持續運作，便會持續將氣體由進氣通道171導入，再由氣體泵3向下傳輸。

再參閱第5B圖，第5B圖為第2B圖之B-B剖面線之剖面示意圖，氣體向下移動至止逆閥2時，分別通過阻隔片21上的多個穿孔214移動傳送至閥片22，氣體接觸閥片22後，推移閥門部221，使閥孔22a及閥孔22a周 圍的閥門部221脫離阻隔片21的凸出部213，導通閥孔22a，以供氣體通過閥孔22a進入出氣槽14，最後由出氣通道181排出(如第5A圖所示)。

如第5C圖所示，第5C圖為停止氣體逆流示意圖，當氣體泵3停止的瞬間，出氣槽14內的氣體壓力高於容置槽13內的氣體壓力，導致氣體於瞬間回流，回流之氣體推動閥片22之閥門部221向上復位，閥門部221回復至被凸出部213頂抵，並同時阻塞閥孔22a，通過閥孔22a被凸出部213封閉，氣體無法通過閥孔22a回流至氣體泵3，來達到停止氣體回流的效果。

請再參閱第2B圖及第2C圖，殼體1的定位部15具有複數個定位結構151，本實施例之殼體1及容置槽13皆為方形，定位部15與容置槽13匹配設置，故也為方形，但不以此為限。定位部15具有複數個定位結構151及複數個固定孔152，本實施例中，定位結構151為4個，分別間隔設置於定位部15的四個角，而固定孔152數量為3個，分別位於不同的定位結構151上，其中，鄰近於進氣管17之定位結構151用以設置通氣孔16，以將氣體能夠以較短的路線導入容置槽13內，故鄰近於進氣管17之定位結構151未設有固定孔152，此外，頂蓋4具有複數個固定榫41，固定榫41與固定孔152對應設置，故固定榫41其數量也為3個，將固定榫41分別穿設於固定孔152內，以將頂蓋4固設於定位部15並封蓋容置槽13，固定榫41與固定孔152其位置與數量為3個，除了固定之外，同樣可用於精確定位，避免封蓋的方向錯誤。

止逆閥2之阻隔片21具有複數個定位缺口215，該些定位缺口215與定位結構151外型相互匹配，如定位缺口215為弧形缺口，定位結構151則為弧形柱，使止逆閥2設置於容置槽13時，通過定位缺口215對準定位結構151，得以快速且精確的定位。

綜上所述，本案所提供之薄型氣體傳輸裝置，利用將氣體泵設置於止逆閥，當氣體泵作動時，能夠持續輸出氣體，氣體泵停止後，止逆閥能夠快速關閉閥孔，得以有效防止氣體回流，且止逆閥製造方便，良率高，不會因為尺寸過小，量產時的公差難以維持品質，導致良率不高，與組裝困難等問題，以極具產業利用性。

本案得由熟知此技術之人士任施匠思而為諸般修飾，然皆不脫如附申請專利範圍所欲保護者。

100:薄型氣體傳輸裝置

1:殼體

11:殼表面

13:容置槽

131:容置底面

14:出氣槽

15:定位部

151:定位結構

152:固定孔

16:通氣孔

17:進氣管

18:出氣管

2:止逆閥

21:阻隔片

211:第一表面

214:穿孔

215:定位缺口

22:閥片

22a:閥孔

221:閥門部

222:固定部分

3:氣體泵

4:頂蓋

Claims (22)

1. 一種薄型氣體傳輸裝置，包含：一殼體，具有：一殼表面；一容置槽，自該殼表面凹陷形成，具有一容置底面；一出氣槽，自該容置底面凹陷形成；一定位部，自該殼表面凸出且圍繞該容置槽，該定位部具有複數個定位結構，該些定位結構間隔設置；一通氣孔，位於該定位部，具有一進氣端及一通氣端，該通氣端連通該容置槽，該通氣孔自該通氣端至該進氣端呈漸縮狀；一進氣管，設置於該殼體，具有一進氣通道，該進氣通道與該通氣孔之該進氣端相連通；以及一出氣管，設置於該殼體，具有一出氣通道，該出氣通道與該出氣槽連通；一止逆閥，設置於該容置槽，包含有：一阻隔片，設置於該容置底面且覆蓋該出氣槽，具有：一第一表面；一第二表面，與該第一表面相對；一凸出部，自該第二表面凸出，位於該出氣槽；以及複數個穿孔，環繞該凸出部；一閥片，設置該第二表面，具有：一閥門部，具有一閥孔，該閥孔與該凸出部垂直對應；以及一固定部分，位於該閥門部；其中，該閥片透過該固定部分結合至該第二表面，該凸出部頂抵該閥門部，並阻塞該閥孔； 一氣體泵，設置於該第一表面；以及一頂蓋，固設於該定位部並封蓋該容置槽。
2. 如請求項1所述之薄型氣體傳輸裝置，其中該止逆閥之該凸出部呈一圓柱狀，該凸出部之直徑大於該閥片之該閥孔的直徑。
3. 如請求項2所述之薄型氣體傳輸裝置，其中該止逆閥之該凸出部之厚度大於該閥片之該固定部分之厚度。
4. 如請求項3所述之薄型氣體傳輸裝置，其中該固定部分之厚度為0.14mm。
5. 如請求項4所述之薄型氣體傳輸裝置，其中該凸出部之厚度為0.2mm。
6. 如請求項3所述之薄型氣體傳輸裝置，其中該閥門部為一軟性材料。
7. 如請求項1所述之薄型氣體傳輸裝置，其中該閥片之該固定部分為一膠層，於該閥片之周圍設置該膠層形成該固定部分，使該閥片固定於該阻隔片。
8. 如請求項6所述之薄型氣體傳輸裝置，其中該軟性材料可為一矽膠、一橡膠或一聚醯亞胺薄膜。
9. 如請求項6所述之薄型氣體傳輸裝置，其中該閥門部之厚度為0.2mm。
10. 如請求項3所述之薄型氣體傳輸裝置，其中該止逆閥之該阻隔片由一金屬材料所形成。
11. 如請求項10所述之薄型氣體傳輸裝置，其中該金屬材料為銅、鋁或不銹鋼。
12. 如請求項10所述之薄型氣體傳輸裝置，其中該阻隔片之厚度為0.05mm。
13. 如請求項2所述之薄型氣體傳輸裝置，其中該閥孔其直徑為3mm。
14. 如請求項13所述之薄型氣體傳輸裝置，其中該凸出部其直徑介於4mm至5mm之間。
15. 如請求項1所述之薄型氣體傳輸裝置，其中該些穿孔其直徑皆為1mm。
16. 如請求項1所述之薄型氣體傳輸裝置，其中該定位部具有複數個固定孔，該些定位孔分別位於該些定位結構，而該頂蓋具有複數個固定榫，該些固定榫分別穿設於該些固定孔。
17. 如請求項1所述之薄型氣體傳輸裝置，其中該通氣孔位於該些定位結構之其中之一內。
18. 如請求項1所述之薄型氣體傳輸裝置，其中該止逆閥之該阻隔片具有複數個定位缺口，該些定位缺口與該些定位結構相互匹配。
19. 如請求項18所述之薄型氣體傳輸裝置，其中該些定位缺口為呈弧形。
20. 如請求項1所述之薄型氣體傳輸裝置，其中該氣體泵具有：一進流板，具有至少一進流孔、至少一匯流排槽及一匯流腔室，其中該進流孔供以導入一氣體，該進流孔對應貫通該匯流排槽，且該匯流排槽匯流到該匯流腔室，使該進流孔所導入之該氣體匯流至該匯流腔室中；一共振片，接合於該進流板上，具有一中空孔、一可動部及一固定部，該中空孔位於該共振片中心處，並與該進流板的該匯流腔室對應，而該可動部設置於該中空孔周圍且與該匯流腔室相對的區域，而該固定部設置於該共振片的外周緣部分而貼固於該進流板上；以及一壓電致動器，接合於該共振片上並與該共振片相對應設置；其中，該共振片與該壓電致動器之間具有一腔室空間，以使該壓電致動器受驅動時，使該氣體由該進流板之該進流孔導入，經該匯流排槽匯集至該匯流腔室中，再流經該共振片之該中空孔，由該壓電致動器與該共振片之該可動部產生共振傳輸該氣體。
21. 如請求項20所述之薄型氣體傳輸裝置，其中該壓電致動器包含： 一懸浮板，具有一正方形型態，可彎曲振動；一外框，環繞設置於該懸浮板之外側；至少一支架，連接於該懸浮板與該外框之間，以提供該懸浮板彈性支撐；以及一壓電元件，具有一邊長，該邊長小於或等於該懸浮板之一懸浮板邊長，且該壓電元件貼附於該懸浮板之一表面上，用以施加電壓以驅動該懸浮板彎曲振動。
22. 如請求項21所述之薄型氣體傳輸裝置，其中該氣體泵進一步包含一第一絕緣片、一導電片及一第二絕緣片，其中該進流板、該共振片、該壓電致動器、該第一絕緣片、該導電片及該第二絕緣片依序堆疊組合設置。

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