TWI765517B

TWI765517B - 晶粒接合裝置及半導體裝置的製造方法

Info

Publication number: TWI765517B
Application number: TW110100364A
Authority: TW
Inventors: 小橋英晴; 保坂浩二; 吉山仁晃; 小野悠太
Original assignee: 日商捷進科技有限公司
Priority date: 2020-03-23
Filing date: 2021-01-06
Publication date: 2022-05-21
Also published as: KR20210118742A; CN113436986B; TW202138790A; JP2021150586A; KR102516586B1; CN113436986A; JP7437987B2

Abstract

[課題] 提供可提升裂痕的辨識精度的技術。 [解決手段] 晶粒接合裝置係具備：對晶粒攝像的攝像裝置；由相對攝像裝置的光學系軸呈斜向照明晶粒的照明裝置；及控制攝像裝置及照明裝置的控制裝置。控制裝置係構成為對晶粒藉由照明裝置照射在可見光區域中比綠色為更短的波長的光，並且藉由攝像裝置對晶粒進行攝像，俾以檢測已形成在晶粒的裂痕。

Description

晶粒接合裝置及半導體裝置的製造方法

本揭示係關於晶粒接合裝置，可適用於例如檢查晶粒的裂痕的晶粒接合器。

在半導體裝置的製造工程的一部分有將半導體晶片(以下僅稱為晶粒)裝載在配線基板或引線框架等(以下僅稱為基板)來組裝封裝體的工程，在組裝封裝體的工程的一部分有由半導體晶圓(以下僅稱為晶圓)將晶粒分割的工程(切割工程)、及將經分割的晶粒裝載在基板之上的接合工程。被使用在接合工程的半導體製造裝置為晶粒接合器(die bonder)等晶粒接合裝置。

在切割工程中，有因切割時的切削阻力等，在晶粒發生由切剖面延伸至內部的裂痕的情形。因此，在接合工程中，以攝影機對晶粒攝像來進行表面檢查(外觀檢查)。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2019-54203號公報

(發明所欲解決之問題)

由聚醯亞胺膜等所形成的晶粒表面的保護膜(表面保護膜)係可透過來自照明裝置的照射光之層，因此依表面保護膜的厚度或形成在表面保護膜下的凹凸的圖案等，係有難以檢測由表面保護膜的上表面或下表面朝向矽等基板所形成的裂痕的情形。

本揭示之課題為提供可提升裂痕的辨識精度的技術。 (解決問題之技術手段)

簡單說明本揭示之中具代表性者的概要，如下所述。亦即，晶粒接合裝置係具備：對晶粒攝像的攝像裝置；由相對攝像裝置的光學系軸呈斜向照明晶粒的照明裝置；及控制攝像裝置及照明裝置的控制裝置。控制裝置係構成為對晶粒藉由照明裝置照射在可見光區域中比綠色為更短的波長的光，並且藉由攝像裝置對晶粒進行攝像，俾以檢測已形成在晶粒的裂痕。 (發明之效果)

藉由上述晶粒接合裝置，可提升裂痕的辨識精度。

首先，使用圖6至圖9，說明本揭示者等所檢討的技術。圖6係說明斜光照明的模式圖。圖7係說明裂痕及其背景的圖，圖7(a)係顯示裂痕相對背景的明度對比的差較大時的畫像的圖，圖7(b)係顯示裂痕相對背景的明度對比的差較小時的畫像的圖。圖8係說明依照明色所致之模樣的觀看方式的不同的圖，圖8(a)係照明色為藍之時的畫像，圖8(b)係照明色為綠之時的畫像，圖8(c)係照明色為紅之時的畫像。圖9係顯示視野內座標與晶粒表面的裂痕與背景照度的測定結果的圖表，圖9(a)係白色照明的情形，圖9(b)係藍色照明的情形，圖9(c)係紅色照明的情形。

若設計藉由攝影機所致之在畫像的裂痕檢查功能，其照明構成係有：「使背景較亮、使欲觀察者較暗來進行拍攝」的亮視野方式、與「使背景較暗、使欲觀察者較亮來進行拍攝」的暗視野方式。一般在檢查微細損傷時，係以暗視野方式為佳。晶圓表面係接近鏡面，進行藉由暗視野方式所為之檢查時，以由斜向照射光的照明方式亦即斜光照明為佳。如圖6所示，若檢測晶粒D的裂痕，照明裝置LD的斜光照明的入射角(θ)係以儘可能接近攝像裝置CM的光學系統的軸(將入射角(θ)儘可能接近0)較容易使裂痕發光。在本說明書中，將該照明稱為高角度裂痕檢測照明。

記憶體單元層的分光反射率依由聚醯亞胺膜等所形成的表面保護膜的薄膜化、表面記憶體的多積層化等而改變。因此，在高角度裂痕檢測照明中，如圖7(b)所示，有在晶粒表面的記憶體陣列MARY的記憶體單元上浮現條紋模樣等模樣的情形。若該條紋模樣出現在背景，變得難以區分條紋模樣與裂痕CRK。亦即，該條紋模樣成為在畫像處理中進行裂痕區域與其他區域的分離時的阻礙，難以進行相對背景為明度對比的差較少的裂痕的檢測、或裂痕長度的正確測定。在如記憶體陣列MARY般藉由反覆圖案所構成的區域的面積大於其他區域的面積的情形下影響較大。

如圖8所示，若使本條紋模樣所使用的斜光照明的照明波長形成為較長者，會較為明顯，若形成為較短者，則會消失而變得看不見。

此外，若測定晶粒表面的裂痕與背景照度，如圖9(a)所示，在白色的照明中係有部分明度變亮的部分(A)，此為裂痕，圖9(a)的(B)係背景的明度，(C)係記憶體單元浮現而變亮的區域，(D)係成為作全反射的區域。在圖9(a)的(C)所示之白色的照明中，係存在記憶體單元浮現而變亮的區域，在圖9(b)的藍色的照明中並不存在該區域，在圖9(c)所示之紅色的照明中，係存在記憶體單元浮現而極端變亮的區域。因此，在白色的照明中有背景明度變亮的部分，可知原因在於白色內的紅色成分。

因照明色所致之上述差異係基於以下所致者： (a)表面保護膜的吸收光譜的不同(以藍色較容易被吸收) (b)表面保護膜的光干擾(以紅色較容易干擾) (c)在矽表層的記憶體層的分流部分(晶粒表面)的反射光譜的不同(以紅色較容易反射)。

亦即，在可見光區域，係以波長較長者的晶粒表面的反射率較高，因此因在其介在聚醯亞胺膜，會發生透過及干擾，可使晶粒表面的單元(cell)模樣可視化之故。相對於此，波長較短者係其特性較少，且僅反射裂痕的漫射光之故。

因此，如圖6所示，實施形態中的晶粒接合裝置BD係具備：攝像裝置CM、及照明裝置LD。照明裝置LD係以條紋模樣不會浮現在表面的方式，使用可見光區域中的波長比綠色為更短的顏色的光的照明。例如，使用藍色LED或紫LED作為光源。所使用的光源係除了使藍色發光的光源(例如藍色LED)以外，亦可為使白色光源透過短通濾波器者。在此，短通濾波器係急劇上升，使短波長側的光透過，可使長波長側的光截斷(cut)的波長(顏色)分離用濾波器。作為該光學濾波器的短通濾波器係例如以截斷紅色而透過藍色的青色濾波器等為佳。

此外，照明裝置LD較佳為斜光照明。此外，斜光照明係以高角度為更佳。照明裝置LD亦可為斜光環狀照明，亦可為斜光棒狀照明。入射角(θ)係例如以超過0度、30度以下為佳，以5度以上、15度以下為較佳。

藉此，可更加提高裂痕與背景的對比。以使攝影機拍攝為對比不同的裂痕而言，由於拍攝為較淺(低對比)者與其背景的分離變得較容易，因此可檢測寬幅更細的裂痕。此外，可得與不具背景的條紋模樣的製品同等的檢查感度。藉此，檢查感度提升，檢查安定化。

此外，進行晶粒或基板的定位或位置檢查(以下統稱為位置辨識)時，係使用白色光源的照明。其中，照明係使用白色光源(白色LED等)，檢測晶粒裂痕時，亦可使短通濾波器透過而照射藍色光或紫色光，位置辨識時係使其不透過短通濾波器而照射白色光。此外，亦可在晶粒或基板的定位或位置檢查中設置有別於晶粒裂痕檢測用的其他光源。

以下使用圖示，說明實施例。但是，在以下說明中，對同一構成要素係有標註同一符號而省略反覆說明的情形。其中，圖示係為了使說明更為明確，與實際的態樣相比，有模式表示各部的寬幅、厚度、形狀等的情形，惟僅為一例，並非為限定本發明之解釋者。 [實施例]

圖1係顯示實施例之晶粒接合器的概略的上面圖。圖2係在圖1中由箭號A方向觀看時，說明拾取頭及接合頭的動作的圖。

晶粒接合器10大致區分具有：供給構裝在基板S的晶粒D的晶粒供給部1、拾取部2、中間載台部3、接合部4、搬送部5、基板供給部6、基板搬出部7、及監視且控制各部的動作的控制部8。Y軸方向為晶粒接合器10的前後方向，X軸方向為左右方向。晶粒供給部1配置在晶粒接合器10的跟前側，接合部4配置在裡側。在此，在基板S係印刷有最終成為1封裝體的一個或複數製品區(以下稱為封裝體區P)。

首先，晶粒供給部1係供給構裝在基板S的封裝體區P的晶粒D。晶粒供給部1係具有：保持晶圓11的晶圓保持台12；及由晶圓11將晶粒D上頂之以虛線表示的上頂單元13。晶粒供給部1係藉由未圖示的驅動手段以XY方向移動，且使所拾取的晶粒D移動至上頂單元13的位置。

拾取部2係具有：拾取晶粒D的拾取頭21、使拾取頭21以Y方向移動的拾取頭的Y驅動部23、及使筒夾(collet)22作昇降、旋轉及X方向移動的未圖示的各驅動部。拾取頭21係具有：將被上頂的晶粒D吸附保持在前端的筒夾22(亦參照圖2)，由晶粒供給部1拾取晶粒D，且載置在中間載台31。拾取頭21係具有使筒夾22作昇降、旋轉及X方向移動的未圖示的各驅動部。

中間載台部3係具有：暫時載置晶粒D的中間載台31、及用以辨識中間載台31上的晶粒D的載台辨識攝影機32。接合部4係以由中間載台31拾取晶粒D，接合在搬送而來的基板S的封裝體區P上、或積層在已被接合在基板S的封裝體區P之上的晶粒之上的形式進行接合。接合部4係具有：與拾取頭21同樣地具備將晶粒D吸附保持在前端的筒夾42(亦參照圖2)的接合頭41；使接合頭41以Y方向移動的Y驅動部43；及對基板S的封裝體區P的位置辨識標記(未圖示)攝像，且辨識接合位置的基板辨識攝影機44。藉由如上所示之構成，接合頭41係根據載台辨識攝影機32的攝像資料，補正拾取位置/姿勢，由中間載台31拾取晶粒D，且根據基板辨識攝影機44的攝像資料，在基板接合晶粒D。

搬送部5係具有：抓取搬送基板S的基板搬送爪51；及基板S所移動的搬送路徑52。基板S係藉由以沿著搬送路徑52而設的未圖示的滾珠螺桿驅動設在搬送路徑52的基板搬送爪51的未圖示的螺帽來移動。藉由如上所示之構成，基板S係由基板供給部6沿著搬送路徑52移動至接合位置，接合後，移動至基板搬出部7，而將基板S交至基板搬出部7。

控制部8係具備：儲存監視且控制晶粒接合器10的各部的動作的程式(軟體)的記憶體、及執行被儲存在記憶體的程式的中央處理裝置(CPU)。

接著，使用圖3，說明晶粒供給部1的構成。圖3係顯示圖1的晶粒供給部的主要部分的概略剖面圖。

晶粒供給部1係具備：以水平方向(XY方向)移動的晶圓保持台12、及以上下方向移動的上頂單元13。晶圓保持台12係具有：保持晶圓環14的擴展環15；及將被保持在晶圓環14且接著有複數晶粒D的切割膠帶16水平定位的支持環17。上頂單元13係被配置在支持環17的內側。

晶粒供給部1係在上頂晶粒D時，使保持有晶圓環14的擴展環15下降。結果，被保持在晶圓環14的切割膠帶16被拉伸且晶粒D的間隔擴寬，藉由上頂單元13由晶粒D下方上頂晶粒D，使晶粒D的拾取性提升。其中，伴隨薄型化，將晶粒接著在基板的接著劑係由液狀形成為薄膜狀，在晶圓11與切割膠帶16之間黏貼被稱為晶粒黏結薄膜(DAF)18的薄膜狀的接著材料。在具有晶粒黏結薄膜18的晶圓11中，切割係對晶圓11與晶粒黏結薄膜18來進行。因此，在剝離工程中，將晶圓11與晶粒黏結薄膜18由切割膠帶16剝離。其中，以下係忽略晶粒黏結薄膜18的存在來作說明。

晶粒接合器10係具有：辨識晶圓11上的晶粒D的姿勢的晶圓辨識攝影機24；辨識被載置於中間載台31的晶粒D的姿勢的載台辨識攝影機32；及辨識接合載台BS上的構裝位置的基板辨識攝影機44。必須進行辨識攝影機間的姿勢偏移補正的是涉及藉由接合頭41所為之拾取的載台辨識攝影機32、及涉及藉由接合頭41所為之對構裝位置的接合的基板辨識攝影機44。在本實施例中係使用連同晶圓辨識攝影機24、載台辨識攝影機32及基板辨識攝影機44一起在實施形態中所說明的照明裝置，來檢測晶粒D的裂痕。

使用圖4，說明控制部8。圖4係顯示控制系統的概略構成的區塊圖。控制系統80係具備：控制部8、驅動部86、訊號部87、及光學系統88。控制部8係大致區分為主要具有：由CPU(Central Processor Unit，中央處理單元)所構成的控制/運算裝置81、記憶裝置82、輸出入裝置83、匯流排線84、及電源部85。記憶裝置82係具有：由記憶有處理程式等的RAM所構成的主記憶裝置82a；及由記憶有控制所需的控制資料或畫像資料等的HDD所構成的輔助記憶裝置82b。輸出入裝置83係具有：顯示裝置狀態或資訊等的監視器83a、輸入操作人員的指示的觸控面板83b、操作監視器的滑鼠83c、及取入來自光學系統88的畫像資料的畫像取入裝置83d。此外，輸出入裝置83係具有：控制晶粒供給部1的XY平台(未圖示)或接合頭平台的ZY驅動軸等驅動部86的馬達控制裝置83e、及由各種感測器訊號或照明裝置等的開關等的訊號部87取入或控制訊號的I/O訊號控制裝置83f。在光學系統88係包含：晶圓辨識攝影機24、載台辨識攝影機32、基板辨識攝影機44。控制/運算裝置81係透過匯流排線84取入必要的資料，進行運算，且進行拾取頭21等的控制、或對監視器83a等傳送資訊。

控制部8係透過畫像取入裝置83d而將以晶圓辨識攝影機24、載台辨識攝影機32及基板辨識攝影機44所攝像到的畫像資料保存在記憶裝置82。藉由根據所保存的畫像資料來編程式的軟體，使用控制/運算裝置81，進行晶粒D及基板S的封裝體區P的定位、以及晶粒D及基板S的表面檢查。根據控制/運算裝置81所算出的晶粒D及基板S的封裝體區P的位置，藉由軟體，透過馬達控制裝置83e來移動驅動部86。藉由該製程，進行晶圓上的晶粒的定位，且在拾取部2及接合部4的驅動部使其動作且將晶粒D接合在基板S的封裝體區P上。所使用的晶圓辨識攝影機24、載台辨識攝影機32、及基板辨識攝影機44係灰階、彩色等，將光強度數值化。

圖5係說明圖1的晶粒接合器中的晶粒接合工程的流程圖。

在實施例的晶粒接合工程中，首先，控制部8係將保持有晶圓11的晶圓環14由晶圓匣盒取出而載置於晶圓保持台12，且將晶圓保持台12搬送至進行晶粒D的拾取的基準位置(晶圓裝載(工程P1))。接著，控制部8係由藉由晶圓辨識攝影機24所取得的畫像，以晶圓11的配置位置與該基準位置正確地相一致的方式進行微調整。

接著，控制部8係使載置有晶圓11的晶圓保持台12以預定間距作間距移動，且水平保持，藉此將最初拾取的晶粒D配置在拾取位置(晶粒搬送(工程P2))。晶圓11係預先藉由探針儀等檢查裝置，按每個晶粒作檢查，且按每個晶粒生成表示良、不良的映射資料，且記憶在控制部8的記憶裝置82。成為拾取對象的晶粒D為良品、或為不良品的判定係藉由映射資料進行。控制部8係若晶粒D為不良品時，使載置有晶圓11的晶圓保持台12以預定間距作間距移動，且將接下來拾取的晶粒D配置在拾取位置，且跳過不良品的晶粒D。

控制部8係藉由晶圓辨識攝影機24，對拾取對象的晶粒D的主面(上表面)攝影，由所取得的畫像，算出拾取對象的晶粒D由上述拾取位置的位置偏移量。控制部8係根據該位置偏移量，使載置有晶圓11的晶圓保持台12移動，且將拾取對象的晶粒D正確地配置在拾取位置(晶粒定位(工程P3))。

接著，控制部8係由藉由晶圓辨識攝影機24所取得的畫像，進行晶粒D的表面檢查(工程P4)。在此，控制部8係判定在表面檢查中是否有問題，若判定出在晶粒D的表面沒有問題，係進至下一工程(後述之工程P9)，惟若判定出有問題，係以目視確認表面畫像、或另外進行改變高感度的檢查或照明條件等的檢查，若有問題，係跳過處理，若沒有問題，則進行下一工程的處理。跳過處理係跳過晶粒D的工程P9之後，使載置有晶圓11的晶圓保持台12以預定間距作間距移動，將接下來被拾取的晶粒D配置在拾取位置。

控制部8係在基板供給部6將基板S載置於搬送路徑52(基板裝載(工程P5))。控制部8係使抓取搬送基板S的基板搬送爪51移動至接合位置(基板搬送(工程P6))。以基板辨識攝影機44對基板攝像來進行定位(基板定位(工程P7))。

接著，控制部8係由藉由基板辨識攝影機44所取得的畫像，進行基板S的封裝體區P的表面檢查(工程P8)。在此，控制部8係判定在表面檢查中是否有問題，若判定出在基板S的封裝體區P的表面沒有問題，係進至下一工程(後述之工程P9)，惟若判定出有問題，則以目視確認表面畫像、或另外進行改變高感度的檢查或照明條件等的檢查，若有問題，係進行跳過處理，若沒有問題，則進行下一工程的處理。跳過處理係跳過對基板S的封裝體區P的相符標籤(tab)的工程P10之後，且在基板施工開始資訊進行不良登錄。

控制部8係在藉由晶粒供給部1而將拾取對象的晶粒D正確地配置在拾取位置之後，藉由包含筒夾22的拾取頭21，由切割膠帶16拾取晶粒D(晶粒處理(handling)(工程P9))，且載置於中間載台31(工程P10)。控制部8係在載台辨識攝影機32進行攝像來進行載置於中間載台31的晶粒的姿勢偏移(旋轉偏移)的檢測(工程P11)。控制部8係若有姿勢偏移，係藉由被設在中間載台31的回旋驅動裝置(未圖示)，在與具有構裝位置的構裝面呈平行的面，使中間載台31回旋來補正姿勢偏移。

控制部8係由藉由載台辨識攝影機32所取得的畫像，進行晶粒D的表面檢查(工程P12)。在此，控制部8係判定在表面檢查中是否有問題，若判定出在晶粒D的表面沒有問題時，係進至下一工程(後述之工程P13)，惟若判定出有問題時，則以目視確認表面畫像、或另外進行改變高感度的檢查或照明條件等的檢查，若有問題，係將該晶粒載置於未圖示的不良品托架等來進行跳過處理，若沒有問題，則進行下一工程的處理。跳過處理係跳過晶粒D的工程P13之後，使載置有晶圓11的晶圓保持台12以預定間距作間距移動，將接下來被拾取的晶粒D配置在拾取位置。

控制部8係藉由包含筒夾42的接合頭41，由中間載台31拾取晶粒D，且作晶粒接合在基板S的封裝體區P或已被接合在基板S的封裝體區P的晶粒(晶粒黏結((工程P13))。

控制部8係在接合晶粒D之後，檢查該接合位置是否被正確進行(晶粒與基板的相對位置檢查(工程P14))。此時，與後述之晶粒的對位同樣地，求出晶粒的中心、與標籤的中心，檢查相對位置是否為正確。

接著，控制部8係由藉由基板辨識攝影機44所取得的畫像，進行晶粒D及基板S的表面檢查(工程P15)。在此，控制部8係判定在表面檢查中是否有問題，若判定出在被接合的晶粒D的表面沒有問題時，係進至下一工程(後述之工程P9)，惟若判定出有問題時，係以目視確認表面畫像、或另外進行改變高感度的檢查或照明條件等的檢查，若有問題，係進行跳過處理，若沒有問題，則進行下一工程的處理。在跳過處理中，係在基板施工開始資訊進行不良登錄。

之後按照相同順序，晶粒D1個1個地接合在基板S的封裝體區P。若1個基板的接合完成，以基板搬送爪51將基板S移動至基板搬出部7(基板搬送(工程P16))，將基板S交至基板搬出部7(基板卸載(工程P17))。

之後，按照相同順序，晶粒D1個1個地由切割膠帶16剝下(工程P9)。若除了不良品之外的所有晶粒D拾取完成，將以晶圓11的外形保持有該等晶粒D的切割膠帶16及晶圓環14等卸載至晶圓匣盒(工程P18)。

裂痕的外觀檢查係在進行晶粒位置辨識的場所亦即晶粒供給部、中間載台、及接合載台的至少1處進行，惟以在所有部位進行為更佳。若在晶粒供給部進行，可快速檢測裂痕。若在中間載台進行，可在接合前檢測原在晶粒供給部無法檢測到的裂痕或在拾取工程之後所發生的裂痕(在比接合工程更為之前未顯化的裂痕)。此外，若在接合載台進行，可在積層接下來的晶粒的接合前、或基板排出前，檢測原在晶粒供給部及中間載台無法檢測到的裂痕(在比接合工程更為之前未顯化的裂痕)或在接合工程之後所發生的裂痕。

以上根據實施形態及實施例，具體說明藉由本揭示者所完成的發明，惟本揭示並非為限定於上述實施形態及實施例者，當然可作各種變更。

例如，在實施例中係在晶粒位置辨識之後進行晶粒外觀檢查辨識，惟亦可在晶粒外觀檢查辨識之後進行晶粒位置辨識。

此外，在實施例中係在晶圓的背面黏貼有DAF，惟亦可不具有DAF。

此外，在實施例中係分別具備1個拾取頭及接合頭，惟亦可分別為2個以上。此外，在實施例中係具備中間載台，惟亦可不具有中間載台。此時，拾取頭與接合頭亦可兼用。

此外，在實施例中係將晶粒的表面形成為上予以接合，惟亦可在拾取晶粒後，使晶粒的表背反轉，將晶粒的背面形成為上來進行接合。此時，亦可未設置中間載台。該裝置係稱為倒裝晶片接合器。

此外，在實施例中係具備接合頭，惟亦可不具有接合頭。此時，被拾取的晶粒係被載置於容器等。該裝置係稱為拾取裝置。

BD:晶粒接合裝置

CM:攝像裝置

CNT:控制裝置

CRK:裂痕

D:晶粒

LD:照明裝置

MARY:記憶體陣列

P:封裝體區

S:基板

1:晶粒供給部

2:拾取部

3:中間載台部

4:接合部

5:搬送部

6:基板供給部

7:基板搬出部

8:控制部

10:晶粒接合器

11:晶圓

12:晶圓保持台

13:上頂單元

14:晶圓環

15:擴展環

16:切割膠帶

17:支持環

18:晶粒黏結薄膜

21:拾取頭

22:筒夾

23:Y驅動部

24:晶圓辨識攝影機

31:中間載台

32:載台辨識攝影機

41:接合頭

42:筒夾

43:Y驅動部

44:基板辨識攝影機

51:基板搬送爪

52:搬送路徑

80:控制系統

81:控制/運算裝置

82:記憶裝置

82a:主記憶裝置

82b:輔助記憶裝置

83:輸出入裝置

83a:監視器

83b:觸控面板

83c:滑鼠

83d:畫像取入裝置

83e:馬達控制裝置

83f:I/O訊號控制裝置

84:匯流排線

85:電源部

86:驅動部

87:訊號部

88:光學系統

[圖1]係顯示晶粒接合器的構成例的概略上面圖。

[圖2]係說明在圖1中由箭號A方向觀看時的概略構成的圖。

[圖3]係顯示圖1的晶粒供給部的主要部分的概略剖面圖。

[圖4]係顯示圖1的晶粒接合器的控制系統的概略構成的區塊圖。

[圖5]係說明圖1的晶粒接合器中的晶粒接合工程的流程圖。

[圖6]係說明斜光照明的模式圖。

[圖7]係說明裂痕及其背景的圖。

[圖8]係說明依照明色所致之模樣的觀看方式的不同的圖。

[圖9]係顯示視野內座標與晶粒表面的裂痕與背景照度的測定結果的圖表。

BD:晶粒接合裝置

CM:攝像裝置

CNT:控制裝置

D:晶粒

LD:照明裝置

θ:入射角

Claims

一種晶粒接合裝置，其係具備：對晶粒攝像的攝像裝置；由相對前述攝像裝置的光學系軸呈斜向照明前述晶粒的照明裝置；及控制前述攝像裝置及前述照明裝置的控制裝置，前述控制裝置係構成為對前述晶粒藉由前述照明裝置照射在可見光區域中比綠色為更短的波長的光，並且藉由前述攝像裝置對前述晶粒進行攝像，俾以檢測已形成在前述晶粒的裂痕。
如請求項1之晶粒接合裝置，其中，前述照明裝置係構成為將藍色LED作為光源而將藍色光照射至前述晶粒。
如請求項1之晶粒接合裝置，其中，前述照明裝置係構成為使白色光源透過短通濾波器而將藍色光照射至前述晶粒。
如請求項1之晶粒接合裝置，其中，前述控制裝置係構成為若辨識前述晶粒的位置，藉由第二照明裝置照射白色光，並且以前述攝像裝置對前述晶粒攝像。
如請求項1之晶粒接合裝置，其中，前述照明裝置係構成為使來自白色光源的光透過短通濾波器而將藍色光照射至前述晶粒，前述控制裝置係構成為若辨識前述晶粒的位置，使來自前述白色光源的光不透過前述短通濾波器而照射白色光，並且以前述攝像裝置對前述晶粒攝像。
如請求項1之晶粒接合裝置，其中，另外具備：具有保持黏貼有前述晶粒的切割膠帶的晶圓環保持具的晶粒供給部，前述控制裝置係構成為使用前述攝像裝置及前述照明裝置，對已被黏貼在前述切割膠帶的晶粒攝像。
如請求項1之晶粒接合裝置，其中，另外具備：將前述晶粒接合在基板或已被接合的晶粒上的接合頭，前述控制裝置係構成為使用前述攝像裝置及前述照明裝置，對已被接合在前述基板或晶粒上的晶粒攝像。
如請求項1之晶粒接合裝置，其中，另外具備：拾取前述晶粒的拾取頭；及載置前述被拾取的晶粒的中間載台，前述控制裝置係構成為使用前述攝像裝置及前述照明裝置，對已被載置於前述中間載台之上的晶粒攝像。
如請求項1之晶粒接合裝置，其中，前述晶粒係以反覆圖案所構成的區域的面積大於非為其的區域的面積。
如請求項1之晶粒接合裝置，其中，前述晶粒為半導體記憶裝置。
一種半導體裝置的製造方法，其係具備： (a)將保持黏貼有晶粒的切割膠帶的晶圓環保持具搬入至如請求項1至5中任一項之晶粒接合裝置的工程；(b)搬入基板的工程；(c)拾取前述晶粒的工程；及(d)將前述所拾取的晶粒接合在前述基板或已被接合在前述基板的晶粒上的工程。
如請求項11之半導體裝置的製造方法，其中，前述(c)工程係將前述被拾取的晶粒載置於中間載台，前述(d)工程係拾取已被載置於前述中間載台的晶粒。
如請求項11之半導體裝置的製造方法，其中，另外具備：(e)在前述(c)工程之前，使用前述攝像裝置及前述照明裝置來檢查前述晶粒的外觀的工程。
如請求項11之半導體裝置的製造方法，其中，另外具備：(f)在前述(d)工程之後，使用前述攝像裝置及前述照明裝置，檢查前述晶粒的外觀的工程。
如請求項12之半導體裝置的製造方法，其中，另外具備：(g)在前述(c)工程之後、前述(d)工程之前，使用前述攝像裝置及前述照明裝置，檢查前述晶粒的外觀的工程。