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TWI761734B - 覆銅陶瓷基板 - Google Patents

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TWI761734B
TWI761734B TW108142898A TW108142898A TWI761734B TW I761734 B TWI761734 B TW I761734B TW 108142898 A TW108142898 A TW 108142898A TW 108142898 A TW108142898 A TW 108142898A TW I761734 B TWI761734 B TW I761734B
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莊凱翔
許建強
許建中
邱國創
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財團法人工業技術研究院
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Abstract

此處提供之覆銅陶瓷基板包括：氮化物陶瓷基板；第一鈍化層，包括摻雜其他金屬的氧化鋁或氧化矽，其他金屬係鈦、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、或上述之組合，且鋁或矽與其他金屬的重量比例介於60:40至99.5:0.5之間；以及第一銅層，其中第一鈍化層位於氮化物陶瓷基板的上表面與第一銅層之間。

Description

覆銅陶瓷基板
本揭露關於覆銅陶瓷基板與其形成方法。
隨著電動車市場的興起，其中用於控制馬達引擎電壓電流的輸出的IGBT功率模組需求增加，也隨著更佳的加速表現，功率模組所需之電壓、電流也越來越高(>1200C、>800A)，其中一種用於封裝IGBT晶片的覆銅陶瓷基板的技術也越來越重要，此覆銅陶瓷基板需能承受高電壓、高電流，且需兼具高結構強度、高導熱率、高熱循環可靠度等特性。
此覆銅陶瓷基板之結構為一陶瓷基板，上下接合厚度大於0.1mm之銅箔，中間之陶瓷基板的常見材料為氧化鋁(Al2 O3 )、氧化鋯增韌氧化鋁(ZTA)、氮化鋁(AlN)、氮化矽(Si3 N4 )等材料，其中AlN陶瓷具有最佳的導熱性(熱傳導係數達到180W/m•K，氧化鋁熱傳導係數為30 W/m•K)，熱膨脹係數與矽(Si)、鍺(Ge)等晶片材料接近等優點。另外，Si3 N4 陶瓷兼具強度與熱傳導特性是具備高度可熱循環可靠度之陶瓷基板材料。
覆銅陶瓷基板之製作方式常見的方法為直接覆銅接合技術(Direct Bonded Copper Method)，此方法利用表面處理之銅箔覆蓋於陶瓷基板上，於惰性氣氛中加熱至1050℃~1080℃之間，使銅箔表面之氧化銅接合至陶瓷基板。
當使用氮化鋁作為陶瓷基板時，需額外氧化處理氮化鋁陶瓷基板的表面以形成安定的惰性保護層。然而氧化銅與惰性保護層會發生反應產生氣體，即在銅箔與陶瓷基板的界面處形成氣泡。氣泡會降低銅箔與陶瓷基板的結合強度、熱傳導及可靠度。
綜上所述，目前亟需新的覆銅陶瓷基板以解決上述問題。
本揭露一實施例提供之覆銅陶瓷基板，包括：氮化物陶瓷基板；第一鈍化層，包括摻雜其他金屬的氧化鋁或氧化矽，其他金屬係鈦、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、或上述之組合，且鋁或矽與其他金屬的重量比例介於60:40至99.5:0.5之間；以及第一銅層，其中第一鈍化層位於氮化物陶瓷基板的上表面與第一銅層之間。
在一實施例中，氮化物陶瓷基板包括氮化鋁陶瓷基板或氮化矽陶瓷基板。
在一實施例中，氮化物陶瓷基板的厚度介於0.3毫米至1毫米之間。
在一實施例中，第一鈍化層的厚度介於1至5微米之間。
在一實施例中，第一鈍化層的厚度介於1至2微米之間。
在一實施例中，第一銅層的厚度介於0.1毫米至0.3毫米之間。
在一實施例中，上述覆銅陶瓷基板更包括：第二鈍化層，包括摻雜其他金屬的氧化鋁或氧化矽，其他金屬係鈦、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、或上述之組合，且鋁或矽與其他金屬的重量比例介於60:40至99.5:0.5之間；以及第二銅層，其中第二鈍化層位於氮化物陶瓷基板的下表面與第二銅層之間。
在一實施例中，第二鈍化層的厚度介於1至5微米之間。
在一實施例中，第二鈍化層的厚度介於1至2微米之間。
在一實施例中，第二銅層的厚度介於0.1毫米至0.3毫米之間。
在一實施例中，提供氮化物如氮化鋁(AlN)或氮化矽(Si3 N4 )的氮化物陶瓷基板11，並清潔氮化物陶瓷基板11的表面，在一實施例中，氮化物陶瓷基板11的厚度介於0.3m毫米至1毫米之間。若氮化物陶瓷基板11的厚度過小，則基板強度無法抵抗銅箔因接合後所引入的熱應力而導致基板破裂。若氮化物陶瓷基板11的厚度過大，則界面熱阻太大，垂直於基板側的熱傳導不佳，造成無法有效將IGBT晶片的熱導出而降低產品特性。舉例來說，可鹼洗氮化物陶瓷基板11，再以去離子水中和基板表面。接著使氮化物陶瓷基板11的表面乾燥，再形成含鈦、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、或上述之組合的前驅物層13於氮化物陶瓷基板11的上表面與下表面上，如圖1所示。舉例來說，上述前驅物層13的形成方法可為沉積、鋪粉、印刷、噴塗、或塗佈。
接著加熱上表面與下表面具有前驅物層13的氮化物陶瓷基板11到1000℃至1300℃之間並維持0.1小時至6小時，使前驅物層13轉換成鈍化層15，如圖2所示。在一實施例中，上述加熱前驅物層13的步驟之環境的氧濃度介於100ppm至1%之間。若氧濃度過低，則鈍化元素無法產生鈍化的效果。若氧濃度過高，則鈍化層厚度過大。經上述步驟後，形成於氮化物陶瓷基板11的上表面與下表面上的鈍化層15包括摻雜鈦、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、或上述之組合的氧化鋁(當氮化物陶瓷基板11為氮化鋁時)或氧化矽(當氮化物陶瓷基板11為氮化矽時)，且摻雜元素對應前驅物層13的組成。在鈍化層15中，鋁或矽與其他摻雜金屬(如鈦、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、或上述之組合)的重量比例介於60:40至99.5:0.5。若其他摻雜元素的比例過低，則無摻雜元素的效果。若其他摻雜元素的比例過高，則無法形成鈍化層以提供接合。在一實施例中，鈍化層15的厚度介於1微米至5微米之間。在另一實施例中，鈍化層15的厚度介於1微米至2微米之間。若鈍化層15的厚度過小，則無法有效幫助銅箔貼合至氮化物陶瓷基板11。若鈍化層15的厚度過大，則貼合強度會下降。
接著預氧化銅箔17的表面，以形成預氧化面於銅箔17的上表面與下表面上。在一實施例中，銅箔17的厚度介於0.1毫米至0.3毫米之間。接著在惰性氣氛(低氧氣濃度，比如20ppm)中將上表面與下表面具有鈍化層15的氮化物陶瓷基板11置於兩片預氧化處理後的銅箔17之間，並加熱到1050℃至1080℃，使銅箔17經由鈍化層15接合至氮化物陶瓷基板11，如圖3所示。至此即得覆銅的陶瓷基板，其具有優異的銅箔拉力值(較不易分層)。由X光穿透相片可知，與純氧化鋁的鈍化層相較，摻雜鈦、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、或上述之組合的氧化鋁或氧化矽之鈍化層15在接合後的氣泡大小與數目均大幅下降。
在另一實施例中，可只在氮化物陶瓷基板11的一側上形成鈍化層15與銅箔17，如圖4所示。
上述覆銅陶瓷基板可作為高功率模組中的電路板，以承載高電壓與高電流的IGBT晶片。上述高功率模組可用於電動車、風力發電機、發電廠、或類似設備。
為讓本揭露之上述內容和其他目的、特徵、和優點能更明顯易懂，下文特舉出較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下：[ 實施例 ]
比較例1 取無氧銅的銅箔裁切成4.25吋×4.25吋×0.3mm的尺寸，並以#2500砂帶拋光銅箔的上表面與下表面，以超音波清潔後在大氣下加熱至250℃並維持30分鐘。接著在20ppm的氧氣下加熱至800℃並維持60分鐘，以預氧化銅箔表面。此處理後的銅箔保存於真空下備用。
購自Kyocera的氧化鋁基板，其尺寸為4.25吋×4.25吋×0.635mm，且表面粗糙度為0.6微米至0.8微米。將氧化鋁基板置入5%的NaOH並超音波振盪3分鐘以鹼洗氧化鋁基板，再將氧化鋁基板置入去離子水並超音波振盪3分鐘以中和鹼洗後的氧化鋁表面。接著旋轉氧化鋁基板，並將氧化鋁基板加熱至120℃並維持10分鐘以乾燥氧化鋁基板。上述步驟可清潔氧化鋁基板的上表面與下表面。
將表面清潔後的氧化鋁基板置於兩片處理後的銅箔之間，並於20ppm的氧氣濃度下進行DBC製程，分別在700℃下維持5分鐘、在900℃下維持5分鐘、且在1056℃下維持5分鐘，而升溫速度為40℃/分鐘。如此一來，可得銅箔/氧化鋁基板/銅箔的覆銅陶瓷基板，其銅箔拉力值為66N/cm (量測標準為ASTM D903 )。
比較例2 依照比較例1的方式處理銅箔。購自Maruwa的氮化鋁基板，其尺寸為4.25吋×4.25吋×0.635mm，且表面粗糙度為0.2微米至0.8微米。將氮化鋁基板置入5%的NaOH並超音波振盪3分鐘以鹼洗氮化鋁基板，再將氮化鋁基板置入去離子水並超音波振盪3分鐘以中和鹼洗後的氮化鋁表面。接著旋轉氮化鋁基板，並將氮化鋁基板加熱至120℃並維持10分鐘以乾燥氮化鋁基板。上述步驟可清潔氮化鋁基板的上表面與下表面。
在大氣下預加熱清潔後的氮化鋁基板，分別在1100℃下維持560分鐘且在700℃下維持360分鐘，以形成氧化鋁的鈍化層於氮化鋁基板的上表面與下表面上。上述鈍化層的厚度為8μm。
將具有氧化鋁鈍化層於上表面與下表面上的氮化鋁基板置於兩片處理後的銅箔之間，並於20ppm的氧氣濃度下進行DBC製程，分別在700℃下維持5分鐘、在900℃下維持5分鐘、且在1056℃下維持5分鐘，而升溫速度為40℃/分鐘。如此一來，可得銅箔/氧化鋁鈍化層/氮化鋁基板/氧化鋁鈍化層/銅箔的覆銅陶瓷基板，其銅箔拉力值為44N/cm (量測標準為ASTM D903)。
比較例3 依照比較例1的方式處理銅箔，並依照比較例2的方式清潔氮化鋁基板的表面。在大氣下預加熱清潔後的氮化鋁基板，分別在1020℃下維持560分鐘且在700℃下維持360分鐘，以形成氧化鋁的鈍化層於氮化鋁基板的上表面與下表面上。上述鈍化層的厚度為2μm。
將具有氧化鋁鈍化層於上表面與下表面上的氮化鋁基板置於兩片處理後的銅箔之間，並於20ppm的氧氣濃度下進行DBC製程，分別在700℃下維持5分鐘、在900℃下維持5分鐘、且在1056℃下維持5分鐘，而升溫速度為40℃/分鐘。如此一來，可得銅箔/氧化鋁鈍化層/氮化鋁基板/氧化鋁鈍化層/銅箔的覆銅陶瓷基板，其銅箔拉力值為34N/cm (量測標準為ASTM D903)。
比較例4 依照比較例1的方式處理銅箔，並依照比較例2的方式清潔氮化鋁基板的表面。塗佈形成1微米厚的氯化錫層(SnCl2 )於清潔後的氮化鋁基板的上表面與下表面上，接著在大氣下預加熱具有氯化錫層於上表面與下表面上的氮化鋁基板，分別在1100℃下維持560分鐘且在700℃下維持360分鐘，以形成摻雜錫的氧化鋁鈍化層於氮化鋁基板的上表面與下表面上。上述鈍化層的厚度為8μm，且鈍化層中鋁與錫的重量比例為98:2 (量測方法為能量色散X射線光譜(EDS)，Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)。
將具有摻雜錫的氧化鋁鈍化層於上表面與下表面上的氮化鋁基板置於兩片處理後的銅箔之間，並於20ppm的氧氣濃度下進行DBC製程，分別在700℃下維持5分鐘、在900℃下維持5分鐘、且在1056℃下維持5分鐘，而升溫速度為40℃/分鐘。如此一來，可得銅箔/摻雜錫的氧化鋁鈍化層/氮化鋁基板/摻雜錫的氧化鋁鈍化層/銅箔的覆銅陶瓷基板，其銅箔拉力值為30N/cm (量測標準為ASTM D903)。
實施例1 依照比較例1的方式處理銅箔，並依照比較例2的方式清潔氮化鋁基板的表面。塗佈形成1微米厚的氧化鈦層(TiO2 )於清潔後的氮化鋁基板的上表面與下表面上，接著在氧氣濃度為100ppm下預加熱具有氧化鈦層於上表面與下表面上的氮化鋁基板，分別在1100℃下維持560分鐘且在700℃下維持360分鐘，以形成摻雜鈦的氧化鋁鈍化層於氮化鋁基板的上表面與下表面上。上述鈍化層的厚度為2μm，且鈍化層中鋁與鈦的重量比例為90:10 (供量測方法為EDS)。
將具有摻雜鈦的氧化鋁鈍化層於上表面與下表面上的氮化鋁基板置於兩片處理後的銅箔之間，並於20ppm的氧氣濃度下進行DBC製程，分別在700℃下維持5分鐘、在900℃下維持5分鐘、且在1056℃下維持5分鐘，而升溫速度為40℃/分鐘。如此一來，可得銅箔/摻雜鈦的氧化鋁鈍化層/氮化鋁基板/摻雜鈦的氧化鋁鈍化層/銅箔的覆銅陶瓷基板，其銅箔拉力值為82N/cm (量測標準為ASTM D903)。
實施例2 依照比較例1的方式處理銅箔，並依照比較例2的方式清潔氮化鋁基板的表面。塗佈形成1微米厚的氧化釩層(V2 O3 )於清潔後的氮化鋁基板的上表面與下表面上，接著在氧氣濃度為1%下預加熱具有氧化釩層於上表面與下表面上的氮化鋁基板，分別在1100℃下維持560分鐘且在700℃下維持360分鐘，以形成摻雜釩的氧化鋁的鈍化層於氮化鋁基板的上表面與下表面上。上述鈍化層的厚度為4μm，且鈍化層中鋁與釩的重量比例為85:15 (量測方法為EDS)。
將具有摻雜釩的氧化鋁鈍化層於上表面與下表面上的氮化鋁基板置於兩片處理後的銅箔之間，並於20ppm的氧氣濃度下進行DBC製程，分別在700℃下維持5分鐘、在900℃下維持5分鐘、且在1056℃下維持5分鐘，而升溫速度為40℃/分鐘。如此一來，可得銅箔/摻雜釩的氧化鋁鈍化層/氮化鋁基板/摻雜釩的氧化鋁鈍化層/銅箔的覆銅陶瓷基板，其銅箔拉力值為81N/cm (量測標準為ASTM D903)。
實施例3 依照比較例1的方式處理銅箔，並依照比較例2的方式清潔氮化鋁基板的表面。塗佈形成1微米厚的氧化鉻層(Cr2 O3 )於清潔後的氮化鋁基板的上表面與下表面上，接著在氧氣濃度為500ppm下預加熱具有氧化鉻層於上表面與下表面上的氮化鋁基板，分別在1100℃下維持560分鐘且在700℃下維持360分鐘，以形成摻雜鉻的氧化鋁的鈍化層於氮化鋁基板的上表面與下表面上。上述鈍化層的厚度為3μm，且鈍化層中鋁與鉻的重量比例為92:8 (量測方法為EDS)。
將具有摻雜鉻的氧化鋁鈍化層於上表面與下表面上的氮化鋁基板置於兩片處理後的銅箔之間，並於20ppm的氧氣濃度下進行DBC製程，分別在700℃下維持5分鐘、在900℃下維持5分鐘、且在1056℃下維持5分鐘，而升溫速度為40℃/分鐘。如此一來，可得銅箔/摻雜鉻的氧化鋁鈍化層/氮化鋁基板/摻雜鉻的氧化鋁鈍化層/銅箔的覆銅陶瓷基板，其銅箔拉力值為79N/cm (量測標準為ASTM D903)。
實施例4 依照比較例1的方式處理銅箔，並依照比較例2的方式清潔氮化鋁基板的表面。塗佈形成1微米厚的氧化錳層(MnO2 )於清潔後的氮化鋁基板的上表面與下表面上，接著在氧氣濃度為1%下預加熱具有氧化錳層於上表面與下表面上的氮化鋁基板，分別在1100℃下維持560分鐘且在700℃下維持360分鐘，以形成摻雜錳的氧化鋁的鈍化層於氮化鋁基板的上表面與下表面上。上述鈍化層的厚度為2μm，且鈍化層中鋁與錳的重量比例為84:16 (量測方法為EDS)。
將具有摻雜錳的氧化鋁鈍化層於上表面與下表面上的氮化鋁基板置於兩片處理後的銅箔之間，並於20ppm的氧氣濃度下進行DBC製程，分別在700℃下維持5分鐘、在900℃下維持5分鐘、且在1056℃下維持5分鐘，而升溫速度為40℃/分鐘。如此一來，可得銅箔/摻雜錳的氧化鋁鈍化層/氮化鋁基板/摻雜錳的氧化鋁鈍化層/銅箔的覆銅陶瓷基板，其銅箔拉力值為85N/cm (量測標準為ASTM D903)。
實施例5 依照比較例1的方式處理銅箔，並依照比較例2的方式清潔氮化鋁基板的表面。塗佈形成1微米厚的氧化鐵層(Fe2 O3 )於清潔後的氮化鋁基板的上表面與下表面上，接著在氧氣濃度為500ppm下預加熱具有氧化鐵層於上表面與下表面上的氮化鋁基板，分別在1100℃下維持560分鐘且在700℃下維持360分鐘，以形成摻雜鐵的氧化鋁的鈍化層於氮化鋁基板的上表面與下表面上。上述鈍化層的厚度為2μm，且鈍化層中鋁與鐵的重量比例為78:22 (量測方法為EDS)。
將具有摻雜鐵的氧化鋁鈍化層於上表面與下表面上的氮化鋁基板置於兩片處理後的銅箔之間，並於20ppm的氧氣濃度下進行DBC製程，分別在700℃下維持5分鐘、在900℃下維持5分鐘、且在1056℃下維持5分鐘，而升溫速度為40℃/分鐘。如此一來，可得銅箔/摻雜鐵的氧化鋁鈍化層/氮化鋁基板/摻雜鐵的氧化鋁鈍化層/銅箔的覆銅陶瓷基板，其銅箔拉力值為69N/cm (量測標準為ASTM D903)。
實施例6 依照比較例1的方式處理銅箔，並依照比較例2的方式清潔氮化鋁基板的表面。塗佈形成1微米厚的氧化鎳層(NiO)於清潔後的氮化鋁基板的上表面與下表面上，接著在氧氣濃度為1%下預加熱具有氧化鎳層於上表面與下表面上的氮化鋁基板，分別在1100℃下維持560分鐘且在700℃下維持360分鐘，以形成摻雜鎳的氧化鋁的鈍化層於氮化鋁基板的上表面與下表面上。上述鈍化層的厚度為4μm，且鈍化層中鋁與鎳的重量比例為80:20 (量測方法為EDS)。
將具有摻雜鎳的氧化鋁鈍化層於上表面與下表面上的氮化鋁基板置於兩片處理後的銅箔之間，並於20ppm的氧氣濃度下進行DBC製程，分別在700℃下維持5分鐘、在900℃下維持5分鐘、且在1056℃下維持5分鐘，而升溫速度為40℃/分鐘。如此一來，可得銅箔/摻雜鎳的氧化鋁鈍化層/氮化鋁基板/摻雜鎳的氧化鋁鈍化層/銅箔的覆銅陶瓷基板，其銅箔拉力值為70N/cm (量測標準為ASTM D903)。
實施例7 依照比較例1的方式處理銅箔，並依照比較例2的方式清潔氮化鋁基板的表面。塗佈形成1微米厚的氧化亞銅層(Cu2 O)於清潔後的氮化鋁基板的上表面與下表面上，接著在氧氣濃度為500ppm下預加熱具有氧化亞銅層於上表面與下表面上的氮化鋁基板，分別在1100℃下維持560分鐘且在700℃下維持360分鐘，以形成摻雜銅的氧化鋁的鈍化層於氮化鋁基板的上表面與下表面上。上述鈍化層的厚度為3μm，且鈍化層中鋁與銅的重量比例為65:35 (量測方法為EDS)。
將具有摻雜銅的氧化鋁鈍化層於上表面與下表面上的氮化鋁基板置於兩片處理後的銅箔之間，並於20ppm的氧氣濃度下進行DBC製程，分別在700℃下維持5分鐘、在900℃下維持5分鐘、且在1056℃下維持5分鐘，而升溫速度為40℃/分鐘。如此一來，可得銅箔/摻雜銅的氧化鋁鈍化層/氮化鋁基板/摻雜銅的氧化鋁鈍化層/銅箔的覆銅陶瓷基板，其銅箔拉力值為65N/cm (量測標準為ASTM D903)。
實施例8 依照比較例1的方式處理銅箔，並依照比較例2的方式清潔氮化鋁基板的表面。物理氣相沉積100nm厚的鈦層、100nm厚的錳層、與100nm厚的銅層於清潔後的氮化鋁基板的上表面與下表面上，接著在氧氣濃度為500ppm下預加熱具有鈦、錳、與銅層於上表面與下表面上的氮化鋁基板，分別在1100℃下維持560分鐘且在700℃下維持360分鐘，以形成摻雜鈦、錳、與銅的氧化鋁的鈍化層於氮化鋁基板的上表面與下表面上。上述鈍化層的厚度為3μm，且鈍化層中鋁與鈦的重量比例為90:10、鋁與錳的重量比例為90:10、且鋁與銅的重量比例為90:10 (量測方法為EDS)。
將具有摻雜鈦、錳、與銅的氧化鋁鈍化層於上表面與下表面上的氮化鋁基板置於兩片處理後的銅箔之間，並於20ppm的氧氣濃度下進行DBC製程，分別在700℃下維持5分鐘、在900℃下維持5分鐘、且在1056℃下維持5分鐘，而升溫速度為40℃/分鐘。如此一來，可得銅箔/摻雜鈦、錳、與銅的氧化鋁鈍化層/氮化鋁基板/摻雜鈦、錳、與銅的氧化鋁鈍化層/銅箔的覆銅陶瓷基板，其銅箔拉力值為85N/cm (量測標準為ASTM D903)。
雖然本揭露已以數個較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本揭露，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本揭露之精神和範圍內，當可作任意之更動與潤飾，因此本揭露之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
11:氮化物陶瓷基板 13:前驅物層 15:鈍化層 17:銅箔
圖1至圖3係一實施例中，形成覆銅陶瓷基板的方法的示意圖。 圖4係一實施例中，覆銅陶瓷基板的示意圖。
11:氮化物陶瓷基板
15:鈍化層
17:銅箔

Claims (10)

  1. 一種覆銅陶瓷基板，包括：一氮化物陶瓷基板；一第一鈍化層，包括摻雜其他金屬的氧化鋁或氧化矽，其他金屬係鈦、釩、鉻、錳、鐵、鎳、或上述之組合，且鋁或矽與其他金屬的重量比例介於60：40至99.5：0.5之間；以及一第一銅層，其中該第一鈍化層位於該氮化物陶瓷基板的上表面與該第一銅層之間。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之覆銅陶瓷基板，其中該氮化物陶瓷基板包括氮化鋁陶瓷基板或氮化矽陶瓷基板。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之覆銅陶瓷基板，其中該氮化物陶瓷基板的厚度介於0.3毫米至1毫米之間。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之覆銅陶瓷基板，其中該第一鈍化層的厚度介於1微米至5微米之間。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之覆銅陶瓷基板，其中該第一鈍化層的厚度介於1微米至2微米之間。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之覆銅陶瓷基板，其中該第一銅層的厚度介於0.1毫米至0.3毫米之間。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之覆銅陶瓷基板，更包括：一第二鈍化層，包括摻雜其他金屬的氧化鋁或氧化矽，其他金屬係鈦、釩、鉻、錳、鐵、鎳、銅、或上述之組合，且鋁或矽與其他 金屬的重量比例介於6040至99.5：0.5之間；以及一第二銅層，其中該第二鈍化層位於該氮化物陶瓷基板的下表面與該第二銅層之間。
  8. 如申請專利範圍第7項所述之覆銅陶瓷基板，其中該第二鈍化層的厚度介於1微米至5微米之間。
  9. 如申請專利範圍第7項所述之覆銅陶瓷基板，其中該第二鈍化層的厚度介於1微米至2微米之間。
  10. 如申請專利範圍第7項所述之覆銅陶瓷基板，其中該第二銅層的厚度介於0.1毫米至0.3毫米之間。
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