TWI752197B - 膠帶剝離裝置 - Google Patents

Abstract

[課題]可不使用剝離膠帶，從板狀物剝離膠帶。[解決手段]種膠帶剝離裝置，從黏貼膠帶T的板狀物W剝離膠帶T，該膠帶剝離裝置具備：剝離起點形成部3，進入板狀物w與該膠帶T的界面並形成剝離起點T1；移動手段5，使該剝離起點形成部3對該界面進退自如地相對移動；以及剝離手段4，保持由該剝離起點形成部3形成的該膠帶T的剝離起點T1，且將該膠帶T從板狀物W剝離，該剝離起點形成部3具有前端部35，該前端部35包含：從板狀物W的厚度方向傾斜之傾斜面351；以及與進入該界面的進入方向平行之底部350，在該前端部35形成有：一端連接空氣供給源33之空氣供給路徑300；以及與該空氣供給路徑300的另一端連接並對所進入的該界面噴出空氣之空氣噴出口301。

Description

膠帶剝離裝置

本發明係關於一種從黏貼膠帶的板狀物剝離膠帶的膠帶剝離裝置。

在研削半導體晶圓等板狀物的情況下，在被研削面的相反面黏貼保護膠帶，在保持保護膠帶側的狀態下進行研削。然後，研削結束後，剝離保護膠帶，搬送板狀物至下一步驟。

在保護膠帶黏貼剝離膠帶，以拉引剝離膠帶的方式從板狀物剝離保護膠帶（例如，參見參閱專利文獻1、2）。 [習知技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開平11-16862號公報 [專利文獻2] 日本特開2003-338477號公報

[發明所欲解決的課題] 但是，使用剝離膠帶的膠袋剝離裝置，除了裝置構造複雜之外，也有剝離膠帶的運轉成本較高的問題。另外，也有廢棄的剝離膠帶附著在裝置內的問題。因此，希望不使用剝離膠帶而能夠剝離保護膠帶。

本發明考慮到這類型的問題，以不使用剝離膠帶而能夠從板狀物剝離膠帶作為課題。

[解決課題的技術手段] 一種膠帶剝離裝置，從黏貼膠帶的板狀物剝離膠帶，該膠帶剝離裝置具備：保持手段，保持黏貼該膠帶的板狀物；剝離起點形成部，進入板狀物與該膠帶的界面並形成剝離起點；移動手段，使該剝離起點形成部對該界面進退自如地相對移動；以及剝離手段，保持由該剝離起點形成部形成的該膠帶的剝離起點，且將該膠帶從板狀物剝離，該剝離起點形成部具有前端部，該前端部包含：從板狀物的厚度方向傾斜之傾斜面；以及與進入該界面的進入方向平行之底部，在該前端部形成有：一端連接空氣供給源之空氣供給路徑；以及與該空氣供給路徑的另一端連接並對所進入的該界面噴出空氣之空氣噴出口。

[發明功效] 本發明在剝離起點形成部所進入的板狀物和膠帶的界面上，將噴出空氣的空氣噴出口形成於剝離起點形成部，因此可用空氣噴出口噴出空氣，將部分膠帶從板狀物剝離形成剝離起點。因此，可不使用習知所使用的剝離膠帶，將膠帶從板狀物剝離。

圖1所示的膠帶玻璃裝置1具備：保持手段2，保持黏貼膠帶T的板狀物W；剝離起點形成部3，形成用來將膠帶T從板狀物W剝離的起點；以及剝離手段4，將膠帶T從板狀物W剝離。

保持手段2具備：以多孔構件構成的吸附部20；以及從外周側支撐吸附部20的框體21。吸附部20的上表面與框體21的上表面形成一表面，此面構成保持面22。

保持手段2，藉由移動手段5驅動，而可在X軸方向移動。移動手段5由以下構成：滾珠螺桿50，在X軸方向延伸；一對導軌51，和滾珠螺桿50平行配置；電動機52，和滾珠螺桿50的一端連結且使滾珠螺桿50旋轉；以及移動基台53，內部具有和滾珠螺桿50螺合的螺帽且底部與導軌51滑動接觸，且成為以下構成：當電動機52使滾珠螺桿50旋轉時，移動基台53被導軌51引導且在X軸方向移動，固定在移動基台53之保持手段2也隨著在X軸方向移動。

如圖1所示，剝離起點形成部3具備：前端部30，配設在保持手段2的移動路線上方；以及升降手段31，使前端部30升降。升降手段31由第1空氣汽缸310a、以第1空氣汽缸310a驅動升降的第1桿體310b、從第1桿體310b的上端水平方向延伸之臂部311、以及從臂部311的一端垂下之垂下部312所構成。

如圖2所示，構成剝離起點形成部3的前端部30，在內部具備讓空氣流通的空氣供給路徑300。空氣供給路徑300的一端經由閥門32連接空氣供給源33。另一方面，空氣供給路徑300的另一端連通噴出空氣的空氣噴出口301。

前端部30由在鉛直方向延伸的軸部34、與和軸部34的下端連結的作用部35所構成。作用部35在正視圖大致形成梯形，具備：底部350，具有和保持手段2的保持面22平行的底面350a；以及傾斜面351，相對於板狀物的厚度方向傾斜。底面350a與傾斜面351的剖面形成爪部352，爪部352形成銳角狀。空氣供給路徑300貫通軸部34與作用部35。另外，空氣噴出口301在底部350朝向爪部352側往斜下方傾斜的狀態下設有開口。

如圖1所示，剝離手段4具備：保持基座40；相對於保持基座40升降自如的保持板41；以及夾持剝離膠帶T的夾持部42。

保持板41與第2桿體43b連結，可伴隨第2桿體43b升降，第2桿體43b由形成為平板狀的保持基座40的上表面所立設的第2空氣汽缸43a驅動並進行升降。

保持板41內部構成為中空，下表面全面設有多數的未圖示微孔，且透過第2桿體43b的內部連通吸引源，成為可在保持板41的下表面產生負壓。

夾持部42由以下構成：第3空氣汽缸44a，配設在保持基座40上；第3桿體44b，由第3空氣汽缸44a驅動並在X軸方向進退；第1夾持片45，固定於第3桿體44b前端；以及第2夾持片46，由保持基座40的端部垂下。第1夾持片45及第2夾持片46形成為平板狀，以平行的狀態相互面對，第3空氣汽缸44a驅動第3桿體44b並使第1夾持片45在X軸方向移動，藉此可使第1夾持片45相對於第2夾持片46接近或是離開。

保持基座40的下表面連結第4桿體47b的上端。此第4桿體47b由第4空氣汽缸47a驅動升降，保持基座40亦隨之升降。另外，第4桿體47b可在水平方向旋轉，藉此，以第4桿體47b的軸為中心，保持基座40、保持板41及夾持部42可全體在水平方向旋轉。

在保持手段20的移動路線上方，配設有在Y軸方向延伸的摺疊滾筒48。摺疊滾筒48可在引導部48a沿著X方向移動。摺疊滾筒48可以Y軸方向的軸中心為中心旋轉，其長度至少較黏貼於板狀物的保護膠帶之直徑長。另外，摺疊滾筒48的表面，為抑止剝離膠帶T時附著黏著劑，塗佈有氟系樹脂。

在剝離手段4的附近，配設容納剝離手段4所剝離的膠帶之廢棄容器6。廢棄容器6的上部形成開口。

如圖3所示，保持手段2可由升降手段7升降並被支撐。升降手段7由複數的第5空氣汽缸70a、和上端以保持手段2固定，並由第5空氣汽缸70a驅動升降的複數第5桿體70b所構成。再者，圖1省略升降手段7的圖示。

在圖1雖省略圖示，但如圖3所示，在保持手段2的周圍，配設將黏貼在板狀物W的薄板S從上下方向夾持並保持的保持手段8。薄板保持手段8，可由圖1所示之移動手段5驅動在X軸方向的移動。

以下，參照圖3至圖12來說明使用這種構成的膠帶剝離裝置1，從黏貼膠帶T的板狀物W剝離膠帶T的情況之膠帶剝離裝置1的動作。再者，在本案例的板狀物W為半導體晶圓， 在內部形成改質層，該改質層即是用來藉由將雷射光束聚光而進行分割的起點。

首先如圖3所示，在保持手段2中保持黏貼膠帶T的板狀物W。在保持手段2的保持面22和板狀物W之間，置入可伸縮的薄板S，薄板S的X軸方向兩端，以薄板保持手段8夾住並保持在上下方向上。舉例而言，薄板S可使用由聚烯烴或聚氯乙烯等組成的基材並在其中一面上形成黏著層之材料，基材側由保持面22保持，黏著層側黏貼板狀物W。

經由薄板S在保持面22吸引保持板狀物W，藉此膠帶T為在上方露出的狀態。此時，前端起點形成部3及剝離手段4相對於保持手段2位在+X方向側。另外，閥門32為關閉狀態。

接著，如圖1所示以移動手段5使保持手段2及薄板保持手段8往+X方向移動，如圖4所示，膠帶T位在膠帶剝離手段4的下方。此時，剝離起點形成部3的爪部352，位於膠帶T及板狀物W的周緣部的若干外周側（-X方向側）的上方。即使在此狀態下，閥門32仍為關閉狀態。

接著，如圖1所示以第1空氣汽缸310a使第1桿體310b下降，藉此如圖5所示，使剝離起點形成部3的爪部352置於膠帶T與板狀物W的界面B的側邊。

然後，如圖1所示的移動手段5使如圖6所示之保持手段2及薄板保持手段8往-X方向相對移動，由此使剝離起點形成部3相對於界面B在X軸方向相對移動，且爪部352進入界面B，如圖7所示開啟閥門32並由空氣噴出口301向界面B噴出空氣。此時，爪部352的進入方向和底面350a的方向平行，爪部352的前端進入界面B。此外，從空氣噴出口301噴出空氣，且如圖1所示的第1空氣汽缸310a使前端部30略為上升，藉此從板狀物W剝離膠帶T的端部。藉此，膠帶T內的剝離部分成為剝離起點T1。

如此，可從空氣噴出口301向界面B噴出空氣，將部分的膠帶T從板狀物W剝離形成剝離起點T1。然後，接著用剝離手段4夾持此剝離起點T1，藉此可剝離膠帶T，故即使不使用習知所使用的剝離膠帶，也可將膠帶T從板狀物W剝離。

接著，如圖8所示，使剝離起點形成部3上升並關閉閥門32，第1夾持片45從側邊支撐被剝離的膠帶T的端部。然後，如圖1所示的第3空氣汽缸44a將第3桿體44b往+X方向牽引，藉此如圖9所示，使第1夾持片45往+X方向移動，在第1夾持片45和第2夾持片46之間夾持膠帶T的剝離起點T1。另外，使摺疊滾筒48往+X方向移動，抵接膠帶T立起部分的黏著面側。

接著，如圖10所示，摺疊滾筒48藉由接觸膠帶T將膠帶T沿著摺疊滾筒48的周面維持摺疊狀態，且保持手段2往-X方向移動而使夾持手段4相對於保持手段2往+X方向進行相對移動，將膠帶T剝離。此時，為降低保護膠帶T在剝離過程中板狀物W的破壞或破損的發生，膠帶T希望能為180度摺疊的狀態。

進而當夾持手段4相對於保持手段2往+X方向相對移動，如圖11所示，全部的膠帶T從板狀物W剝離。另外，繼續將摺疊滾筒48往+X方向相對移動，藉此按壓膠帶T於保持版41的下表面。換言之，在保持版41所保持之膠帶T下表面連接摺疊滾筒48並向上方施力，以使保持版41的高度位置由如圖1所示的第2空氣汽缸43a控制。然後，使吸引力作用在保持版41，藉此吸引保持膠帶T。

如此剝離膠帶T時，第3空氣汽缸44a使第1夾持片45往-X方向移動，藉此解除第1夾持片45和第2夾持片46對剝離起點T1的夾持。另外，以如圖1所示的第4桿體47b為中心使剝離手段4在水平方向旋轉後，解除保持版41對膠帶T的吸引保持，藉此將剝離的膠帶T廢棄於廢棄容器6。

如此，使剝離起點形成部3的爪部352侵入膠帶T和板狀物W的界面B，使空氣從噴出部301噴出而爪部352上升，藉此使膠帶T的端部上升並可形成剝離起點T1。因此，可不使用習知所使用的剝離膠帶，將膠帶T從板狀物W剝離。

像這樣將膠帶T從板狀物W剝離後，板狀物W透過薄板S被保持手段2保持。然後，第5空氣汽缸70a使第5桿體70b上升，藉此使薄板S在水平方向以放射狀伸展。這樣的話，以在板狀物W的內部形成的改質層作為起點將板狀物W分割。另外，可將分割形成之複數個晶片的間隔擴大，藉此，將能防止晶片相互間因接觸而損壞等。

再者，在上述實施方式，雖以移動手段5使保持手段2往+X方向移動，藉此使爪部352侵入界面B，但亦可構成為保持手段2在X軸方向不移動，而具備爪部352的剝離起點形成部3在X軸方向移動，也可構成為保持手段2及剝離起點形成部3兩者都在X軸方向移動。 另外，在上述實施方式，雖然升降手段31使剝離起點形成部3上升，藉此從板狀物W將膠帶T的端部剝離，但亦可構成為剝離起點形成部3不升降，而保持手段2升降，也可構成為保持手段2及剝離起點形成部3兩者都升降。 換言之，膠帶剝離裝置1也可具備，使剝離起點形成部3相對於界面B進退自如地相對移動的移動手段。

1‧‧‧膠帶剝離裝置2‧‧‧保持手段20‧‧‧吸著部21‧‧‧框體22‧‧‧保持面　3‧‧‧剝離起點形成部30‧‧‧前端部300‧‧‧空氣供給路徑301‧‧‧空氣噴出口31‧‧‧升降手段310a‧‧‧第1空氣汽缸310b‧‧‧第1桿體311‧‧‧臂部312‧‧‧垂下部32‧‧‧閥門33‧‧‧空氣供給源34‧‧‧軸部35‧‧‧作用部350‧‧‧底部351‧‧‧傾斜面352‧‧‧爪部4‧‧‧剝離手段40‧‧‧保持基座41‧‧‧保持板42‧‧‧夾持部43a‧‧‧第2空氣汽缸43b‧‧‧第2桿體44a‧‧‧第3空氣汽缸44b‧‧‧第3桿體45‧‧‧第1夾持片46‧‧‧第2夾持片47a‧‧‧第4空氣汽缸47b‧‧‧第4桿體48‧‧‧摺疊滾筒48a‧‧‧引導部5‧‧‧移動手段50‧‧‧滾珠螺桿51‧‧‧導軌52‧‧‧電動機53‧‧‧移動基台6‧‧‧廢棄容器7‧‧‧升降手段70a‧‧‧第5空氣汽缸70b‧‧‧第5桿體8‧‧‧薄板保持手段

圖1表示膠帶剝離裝置範例的立體圖。 圖2表示剝離起點形成部範例的剖面圖。 圖3概略表示以保持手段保持板狀物狀態的剖面圖。 圖4概略表示將剝離起點形成部置於膠帶T及板狀物W的周緣部的外周側上方狀態的剖面圖。 圖5概略表示剝離起點形成部的爪部位於板狀物和膠帶的界面的側面的狀態之剖面圖。 圖6概略表示剝離起點形成部的爪部侵入板狀物和膠帶的界面的狀態之剖面圖。 圖7概略表示從剝離起點形成部的空氣噴出口噴出空氣將部分膠帶剝離形成剝離起點狀態的剖面圖。 圖8概略表示以膠帶剝離手段的第1夾持片支撐剝離起點的狀態之剖面圖。 圖9概略表示以膠帶剝離手段的第1夾持片和第2夾持片夾持剝離起點的狀態之剖面圖。 圖10概略表示以膠帶剝離手段的第1夾持片和第2夾持片夾持剝離起點，以摺疊滾筒按壓膠帶並進行膠帶剝離的狀態之剖面圖。 圖11概略表示將由按壓滾筒所剝離的膠帶按壓保持於膠帶剝離手段的保持板的狀態之剖面圖。 圖12概略表示解除以第1夾持片和第2夾持片夾持剝離起點的狀態之剖面圖。

2‧‧‧保持手段

22‧‧‧保持面

3‧‧‧剝離起點形成部

300‧‧‧空氣供給路徑

312‧‧‧垂下部

32‧‧‧閥門

33‧‧‧空氣供給源

34‧‧‧軸部

4‧‧‧剝離手段

40‧‧‧保持基座

41‧‧‧保持板

43a‧‧‧第2空氣汽缸

43b‧‧‧第2桿體

44a‧‧‧第3空氣汽缸

44b‧‧‧第3桿體

45‧‧‧第1夾持片

46‧‧‧第2夾持片

48‧‧‧摺疊滾筒

7‧‧‧升降手段

70a‧‧‧第5空氣汽缸

70b‧‧‧第5桿體

8‧‧‧薄板保持手段

T‧‧‧膠帶

W‧‧‧板狀物

T1‧‧‧剝離起點

Claims (1)

1. 一種膠帶剝離裝置，從黏貼膠帶的板狀物剝離該膠帶，該剝離裝置具備：保持手段，保持黏貼該膠帶的板狀物；剝離起點形成部，進入板狀物與該膠帶的界面並形成剝離起點；移動手段，使該剝離起點形成部對該界面進退自如地相對移動；以及剝離手段，保持由該剝離起點形成部形成的該膠帶的剝離起點，且將該膠帶從板狀物剝離，該剝離起點形成部具有前端部，該前端部包含：從板狀物的厚度方向傾斜之傾斜面；具有底面之底部，該底面係與進入該界面的進入方向平行；以及由該底面與該傾斜面所形成之爪部，在該前端部形成有：一端連接空氣供給源之空氣供給路徑；以及在該底部朝向該爪部側往斜下方開口，且與該空氣供給路徑的另一端連接並對所進入的該界面噴出空氣之空氣噴出口，使該前端部在和該底面平行的方向相對移動並使該爪部進入該界面，再使空氣從該空氣噴出口噴出並使該前端部上升，藉此形成用來將該膠帶剝離的起點。

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