TWI751769B - 基板搬送機器人系統 - Google Patents

Abstract

一種基板搬送機器人系統，其包含：保持手用感測器，係設置於基板保持手；以及保持手電路基板，係設置於基板保持手，且連接於保持手用感測器；機器人控制部與保持手電路基板之間係經由臂部之內部而進行串列通信連接。

Description

基板搬送機器人系統

本發明係關於一種基板搬送機器人系統(robot system)，尤其是關於一種具備設置於基板保持手之保持手用感測器(sensor)的基板搬送機器人系統。

以往，已知有一種具備基板搬送手的基板搬送機器人。如此的基板搬送機器人，例如已揭示於日本特開2013-69914號公報。

在日本特開2013-69914號公報係已揭示一種由水平多關節機器人所構成的基板搬送機器人。該基板搬送機器人係具備：基座；臂部(arm)，係連接於基座且在水平面內旋轉；以及基板搬送手，係連接於臂部且在水平面內旋轉。又，在基板搬送機器人連接有控制裝置。控制裝置係控制基板搬送機器人之啟動或停止的動作。藉此，基板可藉由基板搬送機器人所搬送。

又，雖然在日本特開2013-69914號公報沒有清楚地記載，但是在如日本特開2013-69914號公報所記載之以往的基板搬送機器人中，有的情況是在基板搬送手設置有用以偵測基板搬送手所保持之基板的感測器。在此情況下，來自感測器的信號係藉由經由臂部之內部的配線而發送至控制裝置。

然而，設置有上述感測器的基板搬送機器人中，在從感測器之各 者經由臂部之內部而與機器人控制部進行通信的情況下，感測器之數目相應的配線是從基板保持手經由臂部之內部而插通至控制裝置側。因此，配線會複雜化，並且有必要將臂部之內部形成得比較大，而有基板搬送機器人大型化的問題點。

本發明係為了解決如上述的課題而開發完成，本發明之一個目的係在於提供一種能夠抑制配線之複雜化及臂部之大型化(基板搬送機器人之大型化)的基板搬送機器人系統。

為了達成上述目的，本發明之一態樣的基板搬送機器人，其具備：基板搬送機器人；以及機器人控制部，係控制基板搬送機器人；且基板搬送機器人係包含：臂部；基板保持手，係藉由臂部所移動並且對臂部連接成能夠轉動，且包含支撐基板的托板(blade)；保持手用感測器，係設置於基板保持手；以及保持手電路基板，係設置於基板保持手，且連接於保持手用感測器；機器人控制部與保持手電路基板之間係經由臂部之內部而進行串列通信(serial communication)連接。

如上述，在本發明之一態樣的基板搬送機器人系統中，機器人控制部與連接於保持手用感測器的保持手電路基板之間係經由臂部之內部而進行串列通信連接。藉此，就可以藉由用以將機器人控制部與保持手電路基板進行串列通信連接之比較少之數目的配線，來進行保持手用感測器與機器人控制部之間的通信。再者，即便是在保持手用感測器設置有複數個的情況下，複數個保持手用感測器與保持手電路基板之間仍可藉由複數條配線所連接，另一方面，機器 人控制部與保持手電路基板之間仍可藉由比較少之數目的配線來通信。結果，配線較少，能夠相應地抑制配線之複雜化以及臂部之大型化(基板搬送機器人之大型化)。

又，由於保持手用感測器與保持手電路基板之間的配線之長度變得比較短，所以可以抑制因配線變長而使來自外部的雜訊(noise)之影響變大的情形。

如上述，依據本發明可以抑制配線之複雜化及臂部之大型化(基板搬送機器人之大型化)。

1:基板搬送機器人

2:機器人控制部

10:臂部

10a:第一臂部

10b:第二臂部

11:類比感測器

11a:溫度感測器

11b:加速度感測器

11c:壓力感測器

12:類比輸入電路基板

12a,13a,23a,30:配線

13:數位輸入輸出電路基板

14:電磁閥

20:基板保持手

20a:上側基板保持手

20b:下側基板保持手

21,21a,21b:托板

22:基板偵測感測器

23:數位輸入電路基板

24:缸

40:基座

41:電源基板

42:ID基板

50:殼體

100,200,300,400,500,600:基板搬送機器人系統

P1,P2:可動部

W:基板

圖1係顯示本發明之一實施型態的基板搬送機器人之構成的圖。

圖2係本發明之一實施型態的基板搬送機器人系統之概略圖。

圖3係比較例的基板搬送機器人系統之概略圖。

圖4係本發明之第一變化例的基板搬送機器人系統之概略圖。

圖5係本發明之第二變化例的基板搬送機器人系統之概略圖。

圖6係本發明之第三變化例的基板搬送機器人系統之概略圖。

圖7係本發明之第四變化例的基板搬送機器人系統之概略圖。

以下，基於圖式來說明將本發明具體化後的本發明之一實施型態。

參照圖1及圖2來針對本實施型態的基板搬送機器人系統100之構成加以說明。

如圖1及圖2所示，本實施型態的基板搬送機器人系統100係具備基板搬送機器人1、以及控制基板搬送機器人1的機器人控制部2(參照圖2)。基板搬送機器人1係構成為：藉由使臂部10升降的臂部升降機構(未圖示)而相對於大致柱狀的殼體50進行升降。

又，基板搬送機器人1係由水平多關節機器人所構成。具體而言，基板搬送機器人1係包含：臂部10；基板保持手20，係藉由臂部10所移動並且對臂部10連接成能夠轉動，且包含支撐基板(半導體晶圓)W的托板21；基板偵測感測器22，係設置於基板保持手20；以及數位輸入電路基板23，係設置於基板保持手20，且連接於基板偵測感測器22。基板偵測感測器22與數位輸入電路基板23係藉由配線23a所連接。又，基板保持手20係具有：上側基板保持手20a；以及下側基板保持手20b，係配置於上側基板保持手20a之下方，且與上側基板保持手20a不同而另外地動作。再者，配線23a係與後述之配線30不同而為另外的配線。

又，在本實施型態中，托板21係設置有複數個，基板偵測感測器22係以對應複數個托板21的方式而設置有複數個。複數個基板偵測感測器22之各者與數位輸入電路基板23係藉由配線23a所連接。又，複數個托板21係在沿鉛直方向而彼此分離的狀態所配置。又，複數個托板21係包含：複數個托板21a，係安裝於上側基板保持手20a；以及托板21b，係安裝於下側基板保持手20b。

然後，在本實施型態中，機器人控制部2與數位輸入電路基板23之間係經由臂部10之內部而進行串列通信連接(參照圖2之配線30)。再者，數位輸入電路基板23係申請專利範圍的「保持手電路基板」之一例。

又，在本實施型態中，基板搬送機器人系統100更具備：類比感測器(analog sensor)11，係設置於臂部10；類比輸入電路基板12，係設置於臂部10，且連接於類比感測器11；以及數位輸入輸出電路基板13，係連接於基板偵測感測器22。機器人控制部2、類比輸入電路基板12、數位輸入輸出電路基板13與數位輸入電路基板23之間，係經由臂部10之內部而藉由菊鍊(daisy chain)連接來進行串列通信連接。再者，類比感測器11及基板偵測感測器22係分別為申請專利範圍的「臂部用感測器」及「保持手用感測器」之一例。又，類比輸入電路基板12係申請專利範圍的「臂部電路基板」及「第一臂部電路基板」之一例。又，數位輸入輸出電路基板13係申請專利範圍的「臂部電路基板」及「第二臂部電路基板」之一例。

又，在本實施型態中，機器人控制部2、類比輸入電路基板12與數位輸入電路基板23之間，係經由臂部10之內部、及使基板保持手20與臂部10相對可動的可動部P1而藉由菊鍊連接來進行串列通信連接。再者，在以能夠相對移動的方式配置臂部10的基座40之內部亦存在使串列通信連接之配線30可動的可動部P2。又，在可動部P1係設置有未圖示之筒狀的構件，配線30係以貫通筒狀的構件之內部的方式所配置。

又，在本實施型態中，臂部10係包含：第一臂部10a，係構成為能夠以一方端部作為轉動中心而轉動；以及供基板保持手20連接的第二臂部10b，係一方端部以能夠轉動的方式連接於第一臂部10a之另一方端部，構成為能夠相對於第一臂部10a轉動。類比輸入電路基板12及數位輸入電路基板23係設置於第一臂部10a與第二臂部10b之中的至少一方。

又，如圖2所示，第一臂部10a及第二臂部10b皆是沿水平面而轉 動。又，第一臂部10a及第二臂部10b係在內部設置有空間，且配線30通至空間之內部。

又，在本實施型態中，類比輸入電路基板12係設置於第一臂部10a，數位輸入電路基板23係設置於第二臂部10b。類比輸入電路基板12係配置於第一臂部10a之內部的空間，數位輸入電路基板23係配置於第二臂部10b之內部的空間。

又，在本實施型態中，來自類比感測器11的信號係輸入至類比輸入電路基板12。類比感測器11與類比輸入電路基板12係藉由配線12a所連接。配線12a係與配線30a不同而為另外的配線。

又，在本實施型態中，類比感測器11為對設置於臂部10之關節的馬達(motor)之旋轉以外者進行偵測的感測器。具體而言，類比感測器11係包含溫度感測器11a、加速度感測器11b及壓力感測器11c之中的至少一個。在本實施型態中係設置有溫度感測器11a、加速度感測器11b及壓力感測器11c的全部。

又，在本實施型態中，數位輸入輸出電路基板13係連接於基板偵測感測器22且在其與基板偵測感測器22之間收發信號。數位輸入輸出電路基板13與基板偵測感測器22係藉由配線13a所連接。再者，配線13a係與配線30不同而為另外的配線。

又，在本實施型態中，基板搬送機器人系統100更具備電磁閥14，該電磁閥14係設置於第二臂部10b，且在其與數位輸入輸出電路基板13之間收發信號，調整被送至設置於基板保持手20之缸(cylinder)24的空氣。電磁閥14係使用於供流體(空氣等)通過的管之開閉控制。數位輸入輸出電路基板13與電磁閥14係藉由配線13a所連接。

又，在本實施型態中，基板偵測感測器22為對馬達之旋轉以外者進行偵測的感測器。具體而言，基板偵測感測器22係偵測由托板21所支撐的基板W之存在。數位輸入電路基板23係接收來自基板偵測感測器22之信號。再者，基板偵測感測器22為反射型光學式感測器、穿透型光學式感測器、靜電電容式感測器、距離感測器、及以接觸基板W作為前提所設計的觸控感測器(touch sensor)之中的其中任一個。再者，在本實施型態中，基板偵測感測器22為反射型光學式感測器。

又，在本實施型態中，機器人控制部2與數位輸入電路基板23之間係藉由能夠在機器人控制部2與數位輸入電路基板23之間共享彼此之資訊的通信網路來進行串列通信連接。具體而言，機器人控制部2與類比輸入電路基板12之間係藉由串列通信連接用的配線30而彼此連接。又，類比輸入電路基板12與數位輸入輸出電路基板13之間係藉由串列通信連接用的配線30而彼此連接。又，數位輸入輸出電路基板13與數位輸入電路基板23之間係藉由串列通信連接用的配線30而彼此連接。又，在類比輸入電路基板12、數位輸入輸出電路基板13及數位輸入電路基板23係設置有用以建構能夠共享彼此之資訊的通信網路的IC(Integrated Circuit；積體電路)。

又，在基座40之內部係設置有未圖示的編碼器(encoder)之電源基板41及ID(identification；識別)基板42。

其次，針對圖3之比較例的基板搬送機器人系統600加以說明。

如圖3之比較例的基板搬送機器人系統600，在從複數個基板偵測感測器22或其他的感測器等(類比感測器11或電磁閥14等)之各者經由臂部10之內部而與機器人控制部2進行通信的情況下，基板偵測感測器22或其他的感測器 等之數目相應的配線30是經由臂部10之內部而插通至機器人控制部2側。因此，有必要將臂部10之內部形成得比較大，基板搬送機器人1會大型化。再者，在圖3中，雖然在基板保持手20內從複數個基板偵測感測器22延伸的配線30被匯總成一個，但是實際上，從複數個基板偵測感測器22之各者延伸的複數條配線30是經由臂部10之內部而連接於機器人控制部2。

[本實施型態之功效]

在本實施型態中，可以獲得如下的功效。

在本實施型態中，如上述，使機器人控制部2與連接於基板偵測感測器22的數位輸入電路基板23之間經由臂部10之內部而進行串列通信連接，藉此，就可以藉由用以將機器人控制部2與數位輸入電路基板23進行串列通信連接的比較少之數目的配線30來進行基板偵測感測器22與機器人控制部2的通信。再者，即便是在基板偵測感測器22設置有複數個的情況下，複數個基板偵測感測器22與數位輸入電路基板23之間仍可藉由複數條配線30所連接，另一方面，機器人控制部2與數位輸入電路基板23之間仍可藉由比較少之數目的配線30而進行通信。結果，配線30較少，能夠相應地抑制配線30之複雜化以及臂部10之大型化(基板搬送機器人1之大型化)。

又，由於基板偵測感測器22與數位輸入電路基板23之間的配線30之長度變得比較短，所以可以抑制因配線30變長而使來自外部的雜訊之影響變大的情形。

又，在本實施型態中，如上述，係設置：設置於臂部10的類比感測器11；設置於臂部10且連接於類比感測器11的類比輸入電路基板12；以及連接於基板偵測感測器22的數位輸入輸出電路基板13。然後，機器人控制部2、類比 輸入電路基板12、數位輸入輸出電路基板13與數位輸入電路基板23之間係經由臂部10之內部而藉由菊鍊連接來進行串列通信連接。藉此，與藉由配線30來連接基板偵測感測器22及類比感測器11之各者與機器人控制部2的情況不同，可以藉由用以將機器人控制部2、類比輸入電路基板12、數位輸入輸出電路基板13及數位輸入電路基板23進行串列通信連接的比較少之數目的配線30，來進行基板偵測感測器22及類比感測器11之各者與機器人控制部2的通信。結果，在設置有類比輸入電路基板12及數位輸入輸出電路基板13的構成中，可以抑制配線30之複雜化以及臂部10之大型化(基板搬送機器人1之大型化)。

又，在本實施型態中，如上述，機器人控制部2、類比輸入電路基板12、數位輸入輸出電路基板13與數位輸入電路基板23之間，係經由臂部10之內部、及使基板保持手20與臂部10相對可動的可動部P1而藉由菊鍊連接來進行串列通信連接。藉此，由於機器人控制部2、類比輸入電路基板12、數位輸入輸出電路基板13與數位輸入電路基板23之間是藉由菊鍊連接而串聯地連接，所以經由可動部P1的配線30之數目會變得比較少。結果，與比較多的配線30經由可動部P1的情況不同，能夠輕易地使可動部P1可動。

又，在本實施型態中，如上述，臂部10係包含：第一臂部10a，係構成為能夠以一方端部作為轉動中心而轉動；以及供基板保持手20連接的第二臂部10b，其一方端部以能夠轉動的方式連接於第一臂部10a之另一方端部，而構成為能夠相對於第一臂部10a轉動；並且，類比輸入電路基板12及數位輸入輸出電路基板13係設置於第一臂部10a與第二臂部10b之中的至少一方。藉此，在第一臂部10a與第二臂部10b之中的至少一方設置有類比輸入電路基板12及數位輸入輸出電路基板13的基板搬送機器人系統100中，可以抑制配線30之複雜化以及臂 部10之大型化(基板搬送機器人1之大型化)。

又，在本實施型態中，如上述，在第一臂部10a設置有類比輸入電路基板12，在第二臂部10b設置有數位輸入輸出電路基板13。藉此，在設置有類比輸入電路基板12與數位輸入輸出電路基板13雙方的基板搬送機器人系統100中，可以抑制配線30之複雜化以及臂部10之大型化(基板搬送機器人1之大型化)。

又，在本實施型態中，如上述，設置有供來自類比感測器11之信號輸入的類比輸入電路基板12。藉此，與藉由配線30來連接基板偵測感測器22及類比感測器11之各者與機器人控制部2的情況不同，可以抑制配線30之複雜化，並且進行基板偵測感測器22及類比感測器11之各者與機器人控制部2的通信。

又，在本實施型態中，如上述，類比感測器11為對設置於臂部10之關節的馬達之旋轉以外者進行偵測的感測器。藉此，即便是在與偵測馬達之旋轉的感測器不同而另外地設置有類比感測器11的情況下，類比感測器11仍可經由類比輸入電路基板12來與機器人控制部2進行串列通信連接，所以可以抑制配線30之複雜化以及臂部10之大型化(基板搬送機器人1之大型化)。

又，在本實施型態中，如上述，類比感測器11係包含溫度感測器11a、加速度感測器11b及壓力感測器11c之中的至少一個。藉此，即便是在設置有溫度感測器11a、加速度感測器11b及壓力感測器11c之中的至少一個的情況下，溫度感測器11a、加速度感測器11b及壓力感測器11c之中的至少一個仍可經由類比輸入電路基板12來與機器人控制部2進行串列通信連接，所以可以抑制配線30之複雜化以及臂部10之大型化(基板搬送機器人1之大型化)。

又，在本實施型態中，如上述，設置有連接於基板偵測感測器22且在其與基板偵測感測器22之間收發信號的數位輸入輸出電路基板13。藉此，即 便是在設置有基板偵測感測器22的情況下，基板偵測感測器22仍可經由數位輸入輸出電路基板13來與機器人控制部2進行串列通信連接，所以可以抑制配線30之複雜化以及臂部10之大型化(基板搬送機器人1之大型化)。

又，在本實施型態中，如上述，係設置有：電磁閥14，係設置於第二臂部10b，且在其與數位輸入輸出電路基板13之間收發信號，調整被送至設置於基板保持手20之缸24的空氣。藉此，即便是在電磁閥14已設置於第二臂部10b的情況下，電磁閥14仍可經由第二臂部10b之數位輸入輸出電路基板13來與機器人控制部2進行串列通信連接，所以可以抑制配線30之複雜化以及臂部10之大型化(基板搬送機器人1之大型化)。

又，在本實施型態中，如上述，基板偵測感測器22為對馬達之旋轉以外者進行偵測的感測器。藉此，即便是在與偵測馬達之旋轉的感測器不同而另外地設置有基板偵測感測器22的情況下，基板偵測感測器22仍可經由數位輸入電路基板23來與機器人控制部2進行串列通信連接，所以可以抑制配線30之複雜化以及臂部10之大型化(基板搬送機器人1之大型化)。

又，在本實施型態中，如上述，係設置有偵測由托板21所支撐的基板W之存在的基板偵測感測器22，數位輸入電路基板23係接收來自基板偵測感測器22之信號。藉此，即便是在與偵測馬達之旋轉的感測器不同而另外地設置有基板偵測感測器22的情況下，基板偵測感測器22仍可經由數位輸入電路基板23來與機器人控制部2進行串列通信連接，所以可以抑制配線30之複雜化以及臂部10之大型化(基板搬送機器人1之大型化)。

又，在本實施型態中，如上述，機器人控制部2與數位輸入電路基板23之間係藉由能夠在機器人控制部2與數位輸入電路基板23之間共享彼此之 資訊的通信網路而進行串列通信連接。藉此，由於可在機器人控制部2與數位輸入電路基板23之間共享彼此之資訊，所以可以輕易地進行基板搬送機器人系統100之控制。

又，在本實施型態中，如上述，托板21係設置有複數個，基板偵測感測器22係以對應複數個托板21的方式而設置有複數個。在此，在基板偵測感測器22設置有複數個的情況下，從基板偵測感測器22延伸的配線30之數目會增加。於是，藉由連接從複數個基板偵測感測器22延伸的複數條配線30與數位輸入電路基板23，且經由臂部10之內部來將數位輸入電路基板23與機器人控制部2之間進行串列通信連接，藉此，即便是在設置有複數個基板偵測感測器22的情況下，仍可抑制配線30之複雜化以及臂部10之大型化(基板搬送機器人1之大型化)。

[變化例]

再者，此次所揭示的實施型態應認為全部的點為例示而非限制。本發明之範圍並非藉由上述的實施型態之說明所示，而是藉由申請專利範圍所示，且進而涵蓋與申請專利範圍均等的意思以及範圍內的全部之變更(變化例)。

例如，在上述實施型態中，雖然已顯示在第一臂部10a設置有類比輸入電路基板12，在第二臂部10b設置有數位輸入輸出電路基板13之例，但是本發明不限於此。例如，如圖4所示之第一變化例的基板搬送機器人系統200，亦可不在臂部10設置類比輸入電路基板12及數位輸入輸出電路基板13。在此情況下，數位輸入電路基板23與機器人控制部2係進行串列通信連接。

又，在上述實施型態中，雖然已顯示在第一臂部10a設置有類比輸入電路基板12，在第二臂部10b設置有數位輸入輸出電路基板13之例，但是本發明係不被限於此。例如，如圖5所示之第二變化例的基板搬送機器人系統300，亦 可在臂部10設置數位輸入輸出電路基板13，另一方面，不設置類比輸入電路基板12。在此情況下，數位輸入電路基板23、數位輸入輸出電路基板13與機器人控制部2進行串列通信連接。

又，在上述實施型態中，雖然已顯示在第一臂部10a設置有類比輸入電路基板12，在第二臂部10b設置有數位輸入輸出電路基板13之例，但是本發明係不被限於此。例如，如圖6所示之第三變化例的基板搬送機器人系統400，亦可在臂部10設置類比輸入電路基板12，另一方面，不設置數位輸入輸出電路基板13。在此情況下，數位輸入電路基板23、類比輸入電路基板12與機器人控制部2進行串列通信連接。

又，在上述實施型態中，雖然已顯示在第一臂部10a設置有類比輸入電路基板12，在第二臂部10b設置有數位輸入輸出電路基板13之例，但是本發明係不被限於此。例如，如圖7所示之第四變化例的基板搬送機器人系統500，亦可在第二臂部10b設置類比輸入電路基板12與數位輸入輸出電路基板13雙方。 又，亦可在第一臂部10a設置類比輸入電路基板12與數位輸入輸出電路基板13雙方。

又，在上述實施型態中，雖然已顯示托板21及基板偵測感測器22係分別各設置有複數個之例，但是本發明係不被限於此。例如，亦可將本發明應用於托板21及基板偵測感測器22分別各設置有一個的基板搬送機器人系統。

又，在上述實施型態中，雖然已顯示臂部10具有第一臂部10a與第二臂部10b的二個臂部部分之例，但是本發明係不被限於此。例如，臂部所具有的臂部部分之數目亦可為二個以外的數目。

又，在上述實施型態中，雖然已顯示類比感測器11係包含溫度感 測器11a、加速度感測器11b及壓力感測器11c之例，但是本發明係不被限於此。在本發明中，類比感測器11亦可包含此等感測器以外的感測器。

又，在上述實施型態中，雖然已顯示本發明的「保持手用感測器」為基板偵測感測器22之例，但是本發明係不被限於此。亦可應用基板偵測感測器22以外的感測器來作為本發明的「保持手用感測器」。

1:基板搬送機器人

2:機器人控制部

10:臂部

10a:第一臂部

10b:第二臂部

11:類比感測器

11a:溫度感測器

11b:加速度感測器

11c:壓力感測器

12:類比輸入電路基板

12a,13a,23a,30:配線

13:數位輸入輸出電路基板

14:電磁閥

20:基板保持手

20a:上側基板保持手

20b:下側基板保持手

21,21a,21b:托板

22:基板偵測感測器

23:數位輸入電路基板

24:缸

40:基座

41:電源基板

42:ID基板

100:基板搬送機器人系統

P1,P2:可動部

W:基板

Claims (14)

1. 一種基板搬送機器人系統，其具備：基板搬送機器人；以及機器人控制部，係控制前述基板搬送機器人；且前述基板搬送機器人係包含：臂部；基板保持手，係藉由前述臂部所移動並且對前述臂部連接成能夠轉動，且包含支撐基板的托板；保持手用感測器，係設置於前述基板保持手；以及保持手電路基板，係設置於前述基板保持手，且連接於前述保持手用感測器；前述機器人控制部與前述保持手電路基板之間係經由前述臂部之內部、及使前述基板保持手與前述臂部相對可動的可動部而進行串列通信連接。
2. 如請求項1所述之基板搬送機器人系統，更具備：臂部用感測器，係設置於前述臂部；以及臂部電路基板，係設置於前述臂部，且連接於前述臂部用感測器與前述保持手用感測器之中的至少一方；前述機器人控制部、前述臂部電路基板與前述保持手電路基板之間，係經由前述臂部之內部而藉由菊鍊連接來進行串列通信連接。
3. 如請求項2所述之基板搬送機器人系統，其中前述機器人控制部、前述臂部電路基板與前述保持手電路基板之間，係經由前述臂部之內部、及 使前述基板保持手與前述臂部相對可動的前述可動部而藉由前述菊鍊連接來進行串列通信連接。
4. 如請求項2所述之基板搬送機器人系統，其中前述臂部係包含：第一臂部，係構成為能夠以一方端部作為轉動中心而轉動；以及第二臂部，其一方端部以能夠轉動的方式連接於前述第一臂部之另一方端部，而構成為能夠相對於前述第一臂部轉動，且該第二臂部係供前述基板保持手連接；前述臂部電路基板係設置於前述第一臂部與前述第二臂部之中的至少一方。
5. 如請求項4所述之基板搬送機器人系統，其中前述臂部電路基板係包含：設置於前述第一臂部的第一臂部電路基板；以及設置於前述第二臂部的第二臂部電路基板。
6. 如請求項5所述之基板搬送機器人系統，其中前述臂部用感測器係包含類比感測器；前述第一臂部電路基板與前述第二臂部電路基板之中的至少一方係包含供來自前述類比感測器之信號輸入的類比輸入電路基板。
7. 如請求項6所述之基板搬送機器人系統，其中前述類比感測器為對設置於前述臂部之關節的馬達之旋轉以外者進行偵測的感測器。
8. 如請求項7所述之基板搬送機器人系統，其中前述類比感測器係包含溫度感測器、加速度感測器及壓力感測器之中的至少一個。
9. 如請求項5所述之基板搬送機器人系統，其中前述第二臂部電路基板係包含數位輸入輸出電路基板，該數位輸入輸出電路基板係連接於前述保持手用感測器且在其與前述保持手用感測器之間收發信號。
10. 如請求項9所述之基板搬送機器人系統，更具備：電磁閥，係設置於前述第二臂部，且在其與前述數位輸入輸出電路基板之間收發信號，而調整被送至設置於前述基板保持手之缸的空氣。
11. 如請求項1所述之基板搬送機器人系統，其中前述保持手用感測器為對馬達之旋轉以外者進行偵測的感測器。
12. 如請求項11所述之基板搬送機器人系統，其中前述保持手用感測器係包含偵測由前述托板所支撐的前述基板之存在的基板偵測感測器；前述保持手電路基板係包含接收來自前述基板偵測感測器之信號的數位輸入電路基板。
13. 如請求項1所述之基板搬送機器人系統，其中前述機器人控制部與前述保持手電路基板之間係藉由能夠在前述機器人控制部與前述保持手電路基板之間共享彼此之資訊的通信網路來進行串列通信連接。
14. 如請求項1所述之基板搬送機器人系統，其中前述托板係設置有複數個；前述保持手用感測器係以對應前述複數個托板的方式而設置有複數個。

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