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TWI749266B - 閥組合體 - Google Patents

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TWI749266B
TWI749266B TW107136073A TW107136073A TWI749266B TW I749266 B TWI749266 B TW I749266B TW 107136073 A TW107136073 A TW 107136073A TW 107136073 A TW107136073 A TW 107136073A TW I749266 B TWI749266 B TW I749266B
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valve
blade
exhaust line
housing
valve housing
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TW107136073A
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English (en)
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TW201923268A (zh
Inventor
趙趌泳
金鐘鶴
Original Assignee
南韓商萊恩Ｔｍｄ有限公司
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Abstract

本發明係有關於能夠容易地設置在真空室的排氣線且閥構成排氣線的一部分而通過閥的水平移動來完全阻斷流入閘閥內部的工程污染物質及副產物且排氣效果極佳的閥組合體，本發明的閥組合體包括：閥外殼，在真空腔室排氣線的一部分被去除的狀態下，被插入設置到該排氣線的去除部分，向該排氣線的連通方向開口且向垂直於該連通方向的方向具有一定的內部空間；閥，可水平移動地設置在該閥外殼內部，在該閥外殼內部水平移動而連通或阻斷該排氣線；閥驅動部，與該閥相連地設置在該閥外殼的一側，使得該閥向垂直於該排氣線的方向水平移動；閥移動引導部，設置在該閥外殼內部而引導該閥的移動路線。

Description

閥組合體
本發明係有關於閥組合體，更具體地說，係有關於能夠容易地設置在真空室的排氣線且閥構成排氣線的一部分而通過閥的水平移動來完全阻斷流入閘閥內部的工程污染物質及副產物且排氣效果極佳的閥組合體。
在半導體、LCD、LED、太陽電池等精密製造領域，廣泛使用製造過程中能夠保持設備內部壓力低於大氣壓的真空設備。這種真空設備包括用於抽吸和排出真空設備內部的氣體以保持真空設備內部較低壓力的真空泵以及連接該真空泵和真空設備的排氣管線。
並且，該排氣線上設置有閘閥而用於排氣線本身的開閉。現有的閘閥如第1圖所示，設置在排氣線10的中間，包括閥外殼40，閥20以及閥驅動部(附圖中未示出)。
首先，閥20是阻斷該排氣線10的構件，向垂直於該排氣線10的方向移動。並且，該閥外殼40提供該閥20移動的路線，設置在排氣線10而起到防止通過排氣線排出的氣體向外部洩漏的作用。最後，閥驅動部結合到該閥20的後端而起到驅動所述閥20的作用。
但是，這種結構的閘閥如第1圖所示，閘閥內閥20與閥外殼40之間的空間未被阻斷，存在通過排氣線10排出的工程副產物或污染物質30積聚在該閥外殼40內部及閥20表面的問題。
因工程副產物或污染物質30積聚在閥外殼40內部或閥20上，存在導致閥外殼40或閥20腐蝕而產生驅動不良且需要頻繁維修的致命問題，以及因不必要的摩擦導致排氣能力下降的問題。
本發明要解決的技術問題是提供一種能夠容易地設置在真空室的排氣線，閥構成排氣線的一部分而通過該閥的水平移動來完全阻斷流入閘閥內部的工程污染物質及副產物且排氣效果極佳的閥組合體。
本發明的技術方案在於：
用於解決前述技術問題的本發明的閥組合體包括：閥外殼，在真空腔室排氣線的一部分被去除的狀態下，被插入設置到該排氣線的去除部分，向該排氣線的連通方向開口且向垂直於該連通方向的方向具有一定的內部空間；閥，可水平移動地設置在該閥外殼內部，在該閥外殼內部水平移動而連通或阻斷該排氣線；閥驅動部，與該閥相連地設置在該閥外殼的一側，使得該閥向垂直於該排氣線的方向水平移動；閥移動引導部，設置在該閥外殼內部而引導該閥的移動路線。
並且，本發明中，較佳地，該閥外殼包括：外殼主體，提供該閥的水平移動空間；一對開口部，結合到該外殼主體中該排氣線的狀態下向該排氣線的連通方向開口。
並且，本發明中，較佳地，該閥包括：上部葉片，連通或阻斷該一對開口部中的上側開口部；下部葉片，與上部葉片並排設置在該上部葉片下側，連通或阻斷該一對開口部中的下側開口部；葉片連接部，設置在該上部葉片與下部葉片之間，以能夠自由改變該上部葉片與下部葉片之間的間隔地連接該上部葉片與下部葉片；多個突起部，在該上下部葉片的各側面突出，可滑動地結合到該閥移動引導部。
並且，本發明中，較佳地，該上部葉片包括：連通孔，以厚度方向貫通該上部葉片而形成；密封部，鄰接該連通孔而形成，形成大小與該連通孔相同的密封件插入槽；密封件，插入設置到該密封件插入槽，該密封部阻斷該閥外殼的開口部時，阻斷該上部葉片與閥外殼之間的縫隙。
並且，本發明中，較佳地，該閥驅動部包括：葉片連接部，設置在該閥外殼內部，分別結合到該上下部葉片；動力提供部，設置在該閥外殼外部，提供使得該葉片連接部水平移動的動力；連接軸，連接該動力提供部與該葉片連接部。
並且，本發明中，較佳地，該葉片連接部包括：連接模組，具有向與水平移動方向相同的方向以一定間隔隔開形成的一對安裝長孔；一對滑動模組，可滑動地設置在各個該安裝長孔；一對連接銷，其一端可轉動地結合到該各滑動模組，另一端可轉動地結合到各個該上下部葉片的內面。
並且，較佳地，本發明的閥組合體還具有：加熱部，設置在該外殼主體中開口部附近，加熱該閥外殼內部。
並且，較佳地，本發明的閥組合體還具有：正壓保持部，設置在該外殼主體，向該外殼主體與閥之間的空間噴射惰性氣體。
並且，較佳地，本發明的閥組合體還具有：壓力保持線，貫通該外殼主體，一端向該排氣線中的腔室側排氣線開口，另一端向該排氣線中的泵側排氣線開口；慢泵閥，設置在該壓力保持線中，約束該壓力保持線。
並且，本發明中，較佳地，該外殼主體包括：筒狀的下側主體，上面開放且具有一定的內部空間；主體蓋，結合到該下側主體的上面而該下側主體的開放的上面， 並且，該一對開口部是在該下側主體及主體蓋上各形成一個。
並且，較佳地，本發明的閥組合體還具有：軸承部，分別設置在該上下部葉片的側面，減少該上下部葉片側面與該閥外殼內面之間的摩擦力。
並且，本發明中，較佳地，該一對連接銷以向該一對滑動模組相對的方向形成銳角。
並且，較佳地，本發明的閥組合體還具有：外殼主體連接線，在壓力保持線中間連通，與該閥外殼內部空間連通。
並且，較佳地，本發明的閥組合體還具有：隔熱板，設置在該閥外殼與動力提供部之間，阻斷該閥外殼與動力提供部之間的熱傳遞。
並且，本發明中，較佳地，該移動引導部形成水平區間及傾斜區間，陰刻形成在該外殼主體的內面，向連通位置及阻斷位置引導該閥。
1:閥組合體
10:排氣線
10a:腔室側排氣線
10b:泵側排氣線
20:閥
30:工程副產物或污染物質
40:閥外殼
100:閥外殼
110:外殼主體
112:下側主體
114:主體蓋
120:開口部
200:閥
210:上部葉片
212:連通孔
214:密封部
215:密封件插入槽
216:密封件插入槽
220:下部葉片
230:葉片連接部
240:突起部
250:軸承部
300:閥驅動部
310:葉片連接部
311:連接模組
312:連接銷
313:長孔
314:滑動模組
320:動力提供部
330:連接軸
340:隔熱板
342:隔開槽
400:閥移動引導部
411:水平區間
412:傾斜區間
413:傾斜區間
414:水平區間
500:加熱部
600:正壓保持部
710:壓力保持線
720:外殼主體連接線
730:慢泵閥
D1:方向
第1圖是示出現有的閥組合體的結構的圖。
第2圖是示出本發明的一個實施例的閥組合體的結構的剖視圖。
第3圖是示出本發明的一個實施例的閥外殼的結構的立體圖。
第4圖是示出本發明的一個實施例的閥組合體的結構的立體圖。
第5圖是示出本發明的一個實施例的上部葉片的結構的平面圖。
第6圖是示出本發明的一個實施例的閥移動引導部的結構的圖。
第7、8圖是示出本發明的一個實施例的閥驅動部的驅動過程的圖。
第9圖是示出本發明的一個實施例的壓力保持線及慢泵閥的結構的圖。
以下參照附圖詳細地說明本發明的具體實施例。
本實施例的閥組合體1如第2至4及6圖所示，可以包括閥外殼的主體100、閥200、閥驅動部300及閥移動引導部400。
首先，該閥外殼100如第2圖所示，在真空腔室排氣線10的一部分被去除的狀態下，被插入設置到該排氣線10的去除部分，提供設置閥組合體1的其他構件的空間。並且，該閥外殼100如第2、3圖所示，向該排氣線10的連通方向開口且向垂直於該連通方向的方向具有一定的內部空間。其中，連通方向是指如第2圖所示的排氣線10的排氣流動的方向，附圖中從上側朝向下側的方向D1。
為此，本實施例中該閥外殼100具體如第3圖所示，可以由外殼主體110與一對開口部120構成。該外殼主體110的內部具有閥200能夠水平移動的一定的空間，該一對開口部120在結合到該外殼主體110中該排氣線10的狀態下，向該排氣線10的連通方向開口。
因此，該外殼主體110如第3圖所示，由上面開放且具有一定的內部空間的筒狀的下側主體112和主體蓋114構成，該主體蓋114結合到該下側主體112的上面而覆蓋該下側主體112的開放的上面。並且，該一對開口部120是在該下側主體112及主體蓋114上各形成一個。
其次，該閥200如第2、4圖所示，是水平移動地設置在該閥外殼100內部且在該閥外殼100內部水平移動而連通或阻斷該排氣線10的構件。本實施例中，該閥200為了連通過程及阻斷過程中完全保持氣密而具有雙重葉片結構，具體來說，該閥200可以包括上部葉片210，下部葉片220，葉片連接部230及突起部240。
首先，該上、下部葉片210、220以對稱結構設置在上下側，由能夠通過該葉片連接部230改變其間隔的結構結合。因此，該上、下部葉片210、220起到連通或阻斷形成在該外殼主體110的開口部120的功能，該上部葉片210上分別形成連通孔212和密封部214。並且，連通孔212可滑動，如第2圖所示，具有延長該排氣線10截斷部分的結構。
其中，該連通孔212以厚度方向貫通該上部葉片210而形成，該密封部214如第4、5圖所示，鄰接該連通孔212而形成，形成大小與該連通孔212相同的密封件插入槽216。當然，在該連通孔212的外周部也形成密封件插入槽215，設置密封件。
並且，該葉片連接部230如第2圖所示，設置在該上部葉片210與下部葉片220之間，是以能夠自由改變該上部葉片210與下部葉片220之間的間隔地連接該上部葉片210與下部葉片220的構件。因此，該葉片連接部230可簡單地具有銷形態，以被插入到分別形成在該上部葉片210與下部葉片220的插入槽的狀態進行設置。這種狀態下，該葉片連接部230具有可以向上下方向滑動的結構。
其次，該突起部240如第5圖所示，在該上部葉片210的各側面突出，可滑動地結合到該閥移動引導部400(如第6圖)。因此，以在該上部葉片210的一側設置至少兩個地設置多個該突起部240。其中，該突起部240具有能夠被插入到該閥移動引導部400的直徑，其外面設置用於減少摩擦力的軸承(附圖中未示出)。並且，該下部葉片220上也與上部葉片210相同地設置該突起部240。
並且，較佳地，如第5圖所示，該上部葉片210的側面還具有軸承部250，用於減少該上部葉片210側面與該外殼主體110內面之間的摩擦力。該軸承部250可以具有滾珠軸承等結構，減少與該外殼主體110 之間的摩擦而抑制微粒的產生。
其次，該閥驅動部300如第2圖所示，與該閥200相連地設置在該閥外殼100的一側，使得該閥200向垂直於該排氣線10的方向水平移動。為此，本實施例中該閥驅動部300具體如第2圖所示，可以包括葉片連接部310，動力提供部320及連接軸330。
該葉片連接部310設置在該閥外殼100內部，分別結合到該上、下部葉片210、220而通過該動力提供部320的動力分別驅動上、下部葉片210、220。具體來說，該葉片連接部310如第7、8圖所示，可以由連接模組311和連接銷312構成。該對安裝的長孔313，一端連接到該連接軸330而能夠水平移動。並且，在各長孔313上可滑動地設置滑動模組314。
並且，該連接銷312如第7、8圖所示，一端可轉動地結合到該各滑動模組314，另一端可轉動地分別結合到該上、下部葉片210、220的內面，一個長孔313上設置有一對連接銷312而分別連接到上、下部葉片210、220。這種一對連接銷312是向相對的方向對稱地設置共四個連接銷312，如第7、8圖所示。
其中，較佳地，該一對連接銷312如第7、8圖所示，以向該一對滑動模組314相對的方向形成銳角。這樣向相對的方向具有小於180°的角度設置連接銷312的優點在於，如第7、8圖所示，在前進過程及後退過程中，前方或後方中其中一處的連接銷312充分受力而能夠實現容易的驅動。
然後，該動力提供部320如第2圖所示，設置在該閥外殼100外部，提供用於使得該葉片連接部310水平移動的動力。該動力提供部320可以具有向氣缸、電機等水平移動動力的多種結構。
並且，該連接軸330如第2圖所示，是連接該動力提供部320與該葉片連接部310的構件，可以具有簡單的軸結構。
另外，本實施例中，較佳地，如第2、4圖所示，還具有隔熱板340，設置在該閥外殼100與動力提供部320之間而阻斷該閥外殼100與動力提供部320之間的熱傳遞。較佳地，該隔熱板340由熱穩定的聚醚醚酮(PEEK)等工程塑膠構成，更較佳地，為了減少與該閥外殼100的接 觸面積，如第4圖所示地具有隔開槽342。
然後，該閥移動引導部400如第2、3圖所示，是設置在該閥外殼100內部而引導該閥200的移動路線的構件。該閥移動引導部400可以通過陰刻的閥外殼100內面而直接形成在該閥外殼的主體100，也可以具有在板上形成後將該板結合到該閥外殼100內側的結構。
其中，該閥移動引導部400如第6圖所示，具有形成水平區間411及傾斜區間412、413而向連通位置及阻斷位置引導該閥200的結構。具體而言，在該阻斷位置，如第6圖所示，經過傾斜區間413後形成較短的水平區間414。因此，在阻斷位置，上、下部葉片210、220被該水平區間414掛住而穩定地阻斷上、下開口部120。
相反，在該連通位置，如第6圖所示，具有僅形成傾斜區間412的結構。因此，以該上、下部葉片210、220被該傾斜區間412的末端掛住的狀態連通。在連通位置，通過該排氣線10排出氣體，因此保持閥外殼100與閥200之間的氣密非常重要。因此，在該連通位置，通過該動力提供部320持續對該上、下部葉片210、220加壓的動作進一步確保氣密。
當然，在通過水平區間411的過程中，上、下部葉片210、220之間的間隔變小而該上下部葉片210、220不接觸閥外殼100的內面而能夠穩定地實現水平移動。
另外，較佳地，本實施例的閥組合體1還具有加熱部500。該加熱部500如第2圖所示，設置在該外殼主體110中開口部120附近，加熱該閥外殼100內部。若是在真空室內部實施高溫工藝，排氣也是被加熱的狀態。只有該排氣保持相同溫度地通過閥組合體1區間，閥組合體1才不會產生微粒，因此需要加熱閥外殼100和閥200等。
並且，較佳地，本實施例的閥組合體1如第2圖所示，還具有正壓保持部600。該正壓保持部600是設置在該外殼主體110而向該外殼主體110與閥200之間的空間噴射惰性氣體的構件。若該閥外殼100內部的壓力保持高於該閥200或排氣線10的壓力，則向閥外殼100內部流入排氣的可能性會降低，因此該正壓保持部600根據該排氣線10的壓力而改變惰性氣體的噴射壓力，以保持閥外殼100內部的壓力更高。
並且，較佳地，本實施例的閥組合體1還具有壓力保持線710和外殼主體連接線720及慢泵閥730。該壓力保持線710如第9圖所示，是貫通該外殼主體110地設置且一端向該排氣線10中的腔室側排氣線10a開口，另一端向該排氣線中的泵側排氣線10b開口的氣體通過線。並且，該外殼主體連接線720是在壓力保持線710中間連通且與該閥外殼100內部空間連通的氣體通過線。通過該壓力保持線710和外殼主體連接線720來調整該閥外殼110內部壓力和排氣線10的壓力始終保持相同。
並且，該慢泵閥730如第9圖所示，是設置在該壓力保持線710而約束該壓力保持線710的構件。在將閥200的阻斷狀態改變成連通狀態之前，進行慢泵閥730從阻斷狀態變成打開狀態，使得該外殼主體110的內部壓力與排氣線的壓力相同的過程。然後再將閥200變成打開狀態，就能防止因閥外殼100內部的壓力差導致的故障、障礙等。
本發明的有益效果在於：
本發明的閥組合體的優點在於，能夠容易地設置在真空室的排氣線且閥構成排氣線的一部分而通過閥的水平移動來完全阻斷流入閘閥內部的工程污染物質及副產物且排氣效果極佳。
1‧‧‧閥組合體
10‧‧‧排氣線
110‧‧‧外殼主體
112‧‧‧下側主體
114‧‧‧主體蓋
200‧‧‧閥
210‧‧‧上部葉片
220‧‧‧下部葉片
230‧‧‧葉片連接部
300‧‧‧閥驅動部
310‧‧‧葉片連接部
311‧‧‧連接模組
312‧‧‧連接銷
313‧‧‧長孔
320‧‧‧動力提供部
330‧‧‧連接軸
340‧‧‧隔熱板
500‧‧‧加熱部
600‧‧‧正壓保持部
D1‧‧‧方向

Claims (6)

  1. 一種閥組合體，包括：一閥外殼，在一真空腔室的一排氣線的一部分被去除的狀態下，被插入設置到該排氣線的一去除部分，向該排氣線的一連通方向開口且向垂直於該連通方向的方向具有一定的內部空間；一閥，可水平移動地設置在該閥外殼內部，在該閥外殼內部水平移動而連通或阻斷該排氣線；一閥驅動部，與該閥相連地設置在該閥外殼的一側，使得該閥向垂直於該排氣線的一方向水平移動；及一閥移動引導部，設置在該閥外殼內部而引導該閥的一移動路線；其中該閥外殼包括：一外殼主體，提供該閥的一水平移動空間；及一對開口部，結合到該外殼主體中該排氣線的狀態下向該排氣線的連通方向開口；該閥包括：一上部葉片，連通或阻斷該一對開口部中的一上側開口部；一下部葉片，與該上部葉片並排設置在該上部葉片下側，連通或阻斷該一對開口部中的一下側開口部；一葉片連接部，設置在該上部葉片與該下部葉片之間，以能夠自由改變該上部葉片與該下部葉片之間的 間隔地連接該上部葉片與該下部葉片；及多個突起部，在該上部葉片及該下部葉片的各側面突出，可滑動地結合到該閥移動引導部；及該閥驅動部包括：一葉片連接部，設置在該閥外殼內部，分別結合到該上部葉片及該下部葉片，該閥驅動部的葉片連接部包括：一連接模組，具有向與該水平移動的方向相同的一方向以一定間隔隔開形成的一對安裝的長孔；一對滑動模組，可滑動地設置在各個該安裝的長孔；及一對連接銷，其一端可轉動地結合到該各滑動模組，另一端可轉動地結合到該上部葉片及該下部葉片中的各個葉片的內面；一動力提供部，設置在該閥外殼外部，提供使得該閥驅動部的葉片連接部水平移動的動力；及一連接軸，連接該動力提供部與該閥驅動部的葉片連接部。
  2. 根據請求項1所述的閥組合體，其中該上部葉片包括：一連通孔，以一厚度方向貫通該上部葉片而形成；一密封部，鄰接該連通孔而形成，形成大小與該連通孔相同的一密封件插入槽；一密封件，插入設置到該密封件插入槽，該密封部阻斷該 閥外殼的開口部時，阻斷該上部葉片與該閥外殼之間的一縫隙。
  3. 根據請求項1所述的閥組合體，還具有：一加熱部，設置在該外殼主體中的開口部附近，加熱該閥外殼內部。
  4. 根據請求項1所述的閥組合體，還具有：一正壓保持部，設置在該外殼主體，向該外殼主體與該閥之間的一空間噴射惰性氣體。
  5. 根據請求項1所述的閥組合體，還具有：一壓力保持線，貫通該外殼主體，一端向該排氣線中的一腔室側排氣線開口，另一端向該排氣線中的一泵側排氣線開口；一慢泵閥，設置在該壓力保持線中，約束該壓力保持線。
  6. 根據請求項1所述的閥組合體，其中該外殼主體包括：一筒狀的下側主體，上面開放且具有一定的內部空間；一主體蓋，結合到該下側主體的上面而覆蓋該下側主體的開放的上面，該一對開口部是在該下側主體及該主體蓋上各形成一個。
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