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TWI748615B - 光學準直器、半導體裝置及其形成方法 - Google Patents

光學準直器、半導體裝置及其形成方法 Download PDF

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TWI748615B
TWI748615B TW109129311A TW109129311A TWI748615B TW I748615 B TWI748615 B TW I748615B TW 109129311 A TW109129311 A TW 109129311A TW 109129311 A TW109129311 A TW 109129311A TW I748615 B TWI748615 B TW I748615B
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黎俊朋
陳信樺
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劉彥江
許希丞
胡景翔
洪嘉駿
李佳烜
拉瓦亞 沙納卡瓦拉普
吳威鼎
蔣季宏
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Abstract

本發明實施例揭露符合經濟效益的方法，製造用於接觸式影像感測器的多功能準直器結構來過濾周圍紅外光，以減少雜訊。在一實施例中，光學準直器包含介電層；基底；複數個通孔；以及導電層，其中介電層形成於基底上方，其中複數個通孔被配置為沿介電層的第一表面的橫向方向延伸的陣列，其中複數個通孔的每一者在垂直方向從介電層的第一表面延伸通過介電層和基底至基底的第二表面，且其中導電層形成於介電層的第一表面和複數個通孔的每一者的側壁的一部分的至少一者上方，且其中導電層被配置為允許光學準直器過濾一波長範圍的光。

Description

光學準直器、半導體裝置及其形成方法
本發明實施例係有關於半導體技術，且特別是有關於光學準直器、半導體裝置及其形成方法。
為了防止來自周圍紅外光(infrared，IR)源的雜訊，接觸式影像感測器(contact image sensor，CIS)(例如指紋感測器)，通常使用玻璃濾光片。此類應用中的玻璃濾光片通常為厚的(例如400-500µm)，以提供對周圍紅外光雜訊的有效過濾，特別是在大的入射角(＞15°)的情況下。此導致笨重的組件及高成本。需要開發符合經濟效益的方法來過濾周圍紅外光，以減少接觸式影像感測器中的雜訊。
在一些實施例中，提供光學準直器，光學準直器包含介電層；基底；複數個通孔；以及導電層，其中介電層形成於基底上方，其中複數個通孔被配置為沿介電層的第一表面的橫向方向延伸的陣列，其中複數個通孔的每一者在垂直方向從介電層的第一表面延伸通過介電層和基底至基底的第二表面，且其中導電層形成於介電層的第一表面和複數個通孔的每一者的側壁的一部分的至少一者上方，且其中導電層被配置為允許光學準直器過濾一波長範圍的光。
在一些其他實施例中，提供半導體裝置，半導體裝置包含至少一光學感測元件；以及光學準直器；其中光學準直器包含:第一介電層、第一基底、複數個通孔和導電層，其中第一介電層形成於第一基底上方，其中複數個通孔被配置為沿第一介電層的第一表面的橫向方向延伸的陣列，其中複數個通孔的每一者在垂直方向從第一介電層的第一表面延伸通過第一介電層和第一基底至第一基底的第二表面，其中導電層形成於第一介電層的第一表面和複數個通孔的每一者的側壁的一部分的至少一者上方，且其中導電層被配置為允許光學準直器過濾一波長範圍的光。
在另外一些實施例中，提供半導體裝置的形成方法，此方法包含在有著第一介電層的第一基底上形成準直器結構，其中準直器結構包含複數個通孔，其中複數個通孔的每一者在垂直方向從第二介電層的第一表面延伸通過第二介電層和第二基底至第二基底的第二表面；以及在第二介電層的第一表面和準直器結構的複數個通孔的每一者的側壁的一部分的至少一者上方形成導電層。
要瞭解的是以下的揭露內容提供許多不同的實施例或範例，以實施提供之主體的不同部件。以下敘述各個構件及其排列方式的特定範例，以求簡化揭露內容的說明。當然，這些僅為範例並非用以限定本發明。例如，將理解的是，當一元件被敘述為“連接”或“耦接”另一元件時，此元件可直接連接或耦接至另一元件，或者可存在一個或多個中間元件。
厚的紅外光玻璃可用於過濾接觸式影像感測器所不期望的周圍雜訊。這種設計導致笨重的結構並增加了這種接觸式影像感測器的成本。本發明呈現方法的各種實施例，這些實施例以緊密的設計和低成本將過濾功能整合至準直器，以同時對準入射光並過濾周圍雜訊。
第1圖顯示依據本發明一些實施例之在半導體裝置上形成多功能準直器結構的方法100的流程圖。可以注意的是，方法100僅為範例，不意圖限制本發明實施例。因此，可在第1圖的方法100之前、期間和之後提供額外的操作，且本文僅簡要地描述一些其他操作。在一些實施例中，方法100的操作可與分別如第2A、2B、2C、2D、2E、2F、2G和2H 圖所示的各個製造階段的半導體裝置的剖面示意圖相關聯，這將在以下進一步詳細討論。
依據一些實施例，請參照第1圖，方法100開始於操作102，其中提供第一基底。在一些實施例中，第一基底包括至少一個光學感測元件。依據一些實施例，方法100繼續至操作104，其中在第一基底的表面上沉積第一介電層。在一些實施例中，第一介電層包括用於將互補式金屬氧化物半導體(Complementary metal-oxide semiconductor，CMOS)後端表面輪廓平坦化的氧化矽，並形成矽至氧化物熔融接合表面。依據一些實施例，方法100繼續至操作106，其中在第一基底上的第一介電層上方接合第二基底。在一些實施例中，第二基底透過晶圓接合製程接合至第一介電層。在一些實施例中，第二基底為矽基底。依據一些實施例，方法100繼續至操作108，其中將第二基底薄化。在一些實施例中，薄化的第二基底具有厚度75µm。依據一些實施例，方法100繼續至操作110，其中在第二基底的第一表面上沉積第二介電層。在一些實施例中，第二介電層包括氧化矽。依據一些實施例，方法100繼續至操作112，其中在第二介電層上將光阻層圖案化。在一些實施例中，圖案化的光阻層提供準直器結構的圖案。
依據一些實施例，方法100繼續至操作114，其中形成通過第二介電層和薄化的第二基底的複數個通孔。在一些實施例中，透過使用圖案化的第一光阻層作為軟遮罩來蝕刻第二介電層，接著使用圖案化的第二介電層作為硬遮罩來蝕刻薄化的第二基底，以形成複數個通孔。依據一些實施例，方法100繼續至操作116，其中在第一介電層中形成至少一個導電部件。在一些實施例中，至少一個導電部件提供與第一基底中的至少一個光學感測元件電性接觸。依據一些實施例，方法100繼續至操作118，其中在複數個通孔中形成犧牲層(有時也被稱為第二光阻層)，以暴露第二介電層的第一表面和複數個通孔中的側壁的一部分。在一些實施例中，塗佈並蝕刻犧牲層，以暴露準直器結構的一部分。依據一些實施例，方法100繼續至操作120，其中沉積至少一個導電層。在一些實施例中，至少一個導電層的每一者包括金屬層。依據一些實施例，方法100繼續至操作122，其中移除犧牲層和與犧牲層接觸的至少一個導電層的一部分。在一些實施例中，進行化學蝕刻製程，以移除犧牲層和至少一個導電層與犧牲層直接接觸的部分。在一些實施例中，將有著準直器結構的半導體進行晶圓切割，以形成複數個晶粒。在一些實施例中，接著將複數個晶粒的每一者晶圓接合至第三基底，並進一步進行打線接合。在一些實施例中，將複數個晶粒的每一者埋置於模造物中並封裝。
如以上所提及，第2A-2H圖顯示第1圖的方法在各個製造階段之半導體裝置200的一部分的剖面示意圖。半導體裝置200可被包含在積體電路(integrated circuit，IC)中。再者，為了較佳地理解本發明實施例的概念，將第2A-2H圖簡化。雖然圖式顯示半導體裝置200，但是可以理解的是，積體電路可包括許多其他裝置，例如電阻、電容、電感、熔絲等。為了清楚起見，第2A-2H圖未顯示其他裝置。
第2A圖為依據本發明一些實施例之各個製造階段的其中一者，對應第1圖的操作102和104，包含第一基底202和第一介電層204的半導體裝置200的剖面示意圖。在一些實施例中，第一基底202包括至少一個光學感測元件(未顯示)。在一些實施例中，至少一個光學感測元件的每一者為接觸式影像感測器(CIS)。在一些實施例中，接觸式影像感測器為與要成像或掃描的物體直接接觸的影像感測器。在一些實施例中，接觸式影像感測器包括複數個偵測器。在一些實施例中，複數個偵測器偵測從物體表面發出的光。一些實施例中，複數個偵測器的每一者包括以下物件的其中一者:電荷耦合元件(Charge Coupled Device，CCD)感測器和互補式金屬氧化物半導體(CMOS)感測器。
在一些實施例中，第一基底202為矽基底。替代地，第一基底202可包含其他元素半導體材料，例如鍺。第一基底202也可包含化合物半導體，例如碳化矽、砷化鎵、砷化銦和磷化銦。第一基底202可包含合金半導體，例如矽鍺、碳化矽鍺、磷化鎵砷和磷化鎵銦。在一實施例中，第一基底202包含磊晶層。舉例來說，第一基底202可具有覆蓋塊狀半導體的磊晶層。再者，第一基底202可包含絕緣層上覆半導體(semiconductor-on-insulator，SOI)結構。舉例來說，第一基底202可包含透過例如植氧分離(separation by implanted oxygen，SIMOX)的製程或其他合適技術(例如晶圓接合和研磨)形成的埋置氧化物(buried oxide，BOX)層。
在一些實施例中，第一基底202也包含透過例如離子佈植及/或擴散實現的各種p型摻雜區及/或n型摻雜區。這些摻雜區包含n型井、p型井、輕摻雜汲極(lightly doped region，LDD)、重摻雜源極和汲極(source and drain，S/D)和被配置以形成各種積體電路(IC)裝置的各種通道摻雜輪廓，積體電路裝置例如互補式金屬氧化物半導體場效電晶體(CMOS field-effect transistor，CMOS-FET)、影像感測器及/或發光二極體(light emitting diode，LED)。第一基底202可更包含其他功能部件，例如形成於基底中或基底上的電阻或電容。第一基底202更包含配置以將形成於第一基底202中的各種元件隔開的橫向隔離部件，例如淺溝槽隔離(shallow trench isolation，STI)。第一基底202中的各種元件更包含設置於源極和汲極上的矽化物、閘極和其他元件部件，以在通過局部互連在裝置之間耦接時，降低接觸電阻並增強製程相容性。
在一些實施例中，第一基底202包含至少一個導電部件。在一些實施例中，至少一個導電部件可為源極、汲極或閘極電極。替代地，至少一個導電部件可為矽化物部件，矽化物部件通常透過包含熱加熱、雷射照射或離子束混合的至少一者引入的燒結製程設置於源極、汲極或閘極電極上。矽化物部件可透過自對準矽化物技術形成於多晶矽閘極(通常被稱為 “多晶矽化金屬閘極(polycide gate)”)上或源極/汲極(通常被稱為“金屬矽化物(silicide)”)上。在另一實施例中，至少一個導電部件可包含電容的電極或電阻的一端。在另一實施例中，至少一個導電部件為連接至第一基底202中接觸式影像感測器的接點。
在一些實施例中，第一介電層204包括以下其中一者的材料:二氧化矽、低介電常數(low-k)材料、其他合適的介電材料或前述之組合。低介電常數材料可包含氟化石英玻璃(fluorinated silica glass，FSG)、磷矽酸鹽玻璃(phosphosilicate glass，PSG)、硼磷矽酸鹽玻璃(borophosphosilicate glass，BPSG)、碳摻雜氧化矽(SiOx Cy )、黑鑽石(加州聖塔克拉拉的應用材料(Applied Materials)註冊)、乾凝膠、氣凝膠、非晶氟化碳、聚對二甲苯、雙苯並環丁烯(bis-benzocyclobutenes，BCB)、SiLK(密西根州密德蘭的陶氏化學(Dow Chemical)註冊)、聚醯亞胺及/或其他未來開發的低介電常數介電材料。在一些實施例中，第一介電層204透過矽烷氣體作為前驅物氣體以使用電漿輔助化學氣相沉積(plasma enhanced chemical vapor deposition，PECVD)來沉積。在一些其他實施例中，第一介電層204透過使用物理氣相沉積(physical vapor deposition，PVD)製程來沉積。
第2B圖為依據本發明一些實施例之各個製造階段的其中一者，對應第1圖的操作106，包含第一基底202、第一介電層204和第二基底206的半導體裝置200的剖面示意圖。在一些實施例中，第二基底206包含矽基底。替代地，依據材料的光學性質，第二基底206可包含其他元素半導體材料，例如鍺。第二基底206也可包含化合物半導體，例如碳化矽、砷化鎵、砷化銦和磷化銦。第二基底206可包含合金半導體，例如矽鍺、碳化矽鍺、磷化鎵砷和磷化鎵銦。在一實施例中，第二基底206包含磊晶層。舉例來說，第二基底206可具有覆蓋塊狀半導體的磊晶層。再者，第二基底206可包含絕緣層上覆半導體(SOI)結構。舉例來說，第二基底206可包含透過例如植氧分離(SIMOX)的製程或其他合適技術(例如晶圓接合和研磨)形成的埋置氧化物(BOX)層。
在一些實施例中，第二基底206透過晶圓接合製程接合至第一介電層204。在一些實施例中，晶圓接合製程為沒有任何額外的中間層的直接接合。在一些實施例中，晶圓接合製程包括以下步驟的至少一者:表面預處理、在室溫中預接合以及在高溫下退火。在另一實施例中，可使用表面活化以避免高溫退火。
第2C圖為依據本發明一些實施例之各個製造階段的其中一者，對應第1圖的操作108和110，包含在薄化的第二基底206上方的第二介電層208的半導體裝置200的剖面示意圖。在一些實施例中，在第二基底206接合至第一基底202上的第一介電層204之後，將第二基底206進一步薄化以得到所期望的厚度。在一些實施例中，第二基底206透過乾蝕刻及/或濕蝕刻來蝕刻。在一些實施例中，被蝕刻的第二基底206具有厚度75µm。在一些實施例中，第二介電層208沉積於被蝕刻的第二基底206上。在一些實施例中，第二介電層208包括以下其中一者的材料:二氧化矽、低介電常數(low-k)材料、其他合適的介電材料或前述之組合。低介電常數材料可包含氟化石英玻璃(FSG)、磷矽酸鹽玻璃(PSG)、硼磷矽酸鹽玻璃(BPSG)、碳摻雜氧化矽(SiOx Cy )、黑鑽石(加州聖塔克拉拉的應用材料(Applied Materials)註冊)、乾凝膠、氣凝膠、非晶氟化碳、聚對二甲苯、雙苯並環丁烯(BCB)、SiLK(密西根州密德蘭的陶氏化學(Dow Chemical)註冊)、聚醯亞胺及/或其他未來開發的低介電常數介電材料。在一些實施例中，第二介電層208透過矽烷氣體作為前驅物氣體以使用電漿輔助化學氣相沉積(PECVD)來沉積。在一些其他實施例中，第二介電層208透過使用物理沉積製程(例如濺鍍或蒸鍍)來沉積。在一些實施例中，第二介電層208透過使用原子層沉積(atomic layer deposition，ALD)製程來沉積。在一些實施例中，第二介電層208具有厚度至少3µm。在一些實施例中，在沉積第二介電層208之前，第二基底206不與第一介電層204直接接觸的表面在被蝕刻之後進一步透過化學機械研磨(Chemical-Mechanical Polishing，CMP)來平坦化。
第2D圖為依據本發明一些實施例之各個製造階段的其中一者，對應第1圖的操作112的半導體裝置200的剖面示意圖，其中在第二介電層208上將光阻層圖案化。如以下所述，使用圖案化光阻層210作為蝕刻第二介電層208和薄化的第二基底206的遮罩，以在第一基底202上的第一介電層204的頂部上形成複數個通孔(即準直器結構)。因此，在一些實施例中，在傳統的圖案化(例如光微影)製程之後，形成圖案化光阻層210，使準直器結構對準第一基底202中至少一個光學感測元件。
在一些實施例中，在圖案化製程之前的初始光阻層可包含回應光微影光源而圖案化的負型或正型光阻層。在一些其他實施例中，初始光阻層可包含回應電子束微影能量源而可圖案化的電子束(electron beam，e-beam)光阻層(例如聚甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯等)。在一些實施例中，初始光阻層透過使用本領域已知的沉積製程(例如旋塗、噴塗、浸漬塗佈、滾筒塗佈或類似方法)形成於第二介電層208上方。接著，在可涉及各種曝光、顯影、烘烤、剝離、蝕刻和清洗製程的微影製程中將初始光阻圖案化。因此，形成圖案化光阻層210，使得複數個開口212暴露出第二介電層208的頂表面的至少一部分，如第2D圖所示。在一些實施例中，圖案化光阻層210中的複數個開口212為圓形且具有直徑4µm。在一些實施例中，複數個開口212的直徑在1-3µm的範圍中，且在一些實施例中，此直徑為2µm。
第2E圖為依據本發明一些實施例之各個製造階段的其中一者，對應第1圖的操作114和116的半導體裝置200的剖面示意圖，其中在第二介電層208和被蝕刻的第二基底206中形成複數個通孔216，移除圖案化光阻層210，並在第一介電層204中形成至少一個導電部件214。在一些實施例中，先蝕刻第二介電層208以將有著複數個開口212的圖案化光阻層210的圖案轉移至第二介電層208。在一些實施例中，接著進一步蝕刻圖案化的第二介電層208，以將第二介電層208中的圖案轉移至薄化的第二基底206。在一些實施例中，第二介電層208和第二基底206的蝕刻透過乾蝕刻製程及/或濕蝕刻製程來進行。
在一些實施例中，在蝕刻第二基底206之前，移除圖案化光阻層210。在一些實施例中，圖案化光阻層210可透過使用丙酮、N-甲基吡咯烷酮(1-Methyl-2-pyrrolidone，NMP)、二甲基亞碸(Dimethyl sulfoxide，DMSO)或其他合適的移除化學物的一個或多個化學清潔製程來移除。在一些實施例中，可能需要加熱使用的化學物至高於室溫的溫度，以有效地溶解圖案化光阻層210。移除劑的選擇取決於圖案化光阻層210、第二介電層208以及第二基底206的類型和化學結構，以確保這些層與化學清潔製程的化學相容性。在一些實施例中，清潔製程之後，接著為使用異丙醇或類似物，接著使用去離子水進行清洗。由於此製程的緣故，形成通過第二介電層208和第二基底206的複數個通孔216(即準直器結構)。在一些實施例中，準直器結構包括第二介電層208的頂表面218和側壁220。
在一些實施例中，至少一個導電部件214形成於第一介電層204中，以提供與第一基底202中的至少一個光學感測元件的電性接觸。在一些實施例中，導電部件214透過個別之傳統的圖案化(例如光微影)製程形成，圖案化製程涉及各種曝光、顯影、烘烤、剝離、蝕刻和清洗製程。在一些實施例中，透過使用化學氣相沉積、物理氣相沉積、旋塗及/或其他合適技術以在個別的圖案化光阻層上方沉積導電材料，接著對光阻層進行濕蝕刻來形成導電部件214。因此，至少一個導電部件214形成於第一介電層204中。
第2F圖為依據本發明一些實施例之各個製造階段的其中一者，對應第1圖的操作118的半導體裝置200的剖面示意圖，其中在複數個通孔216中形成犧牲層222，並暴露出準直器結構的一部分。在一些實施例中，犧牲層222為光阻層，此光阻層可透過在準直器結構中填充光阻來形成。在一些實施例中，可在有選擇性的乾蝕刻製程中部分移除犧牲層222，此乾蝕刻製程對第二介電層208和第二基底206蝕刻為可忽略的。因此，可暴露出準直器結構從其頂表面的一部分。特別來說，暴露出第二介電層208的頂表面218和複數個通孔216的側壁220的一部分(220A)。在一些實施例中，側壁220的暴露部分220A的深度小於第二介電層208的厚度。在一些其他實施例中，側壁220的暴露部分220A的深度大於第二介電層208的厚度。
第2G圖為依據本發明一些實施例之各個製造階段的其中一者，對應第1圖的操作120的半導體裝置200的剖面示意圖，其中沉積導電層224。在一些實施例中，導電層224透過使用物理氣相沉積製程(例如濺鍍或蒸鍍)來沉積。在一些實施例中，導電層224包括以逐層的形式堆疊的複數個導電層。在一些實施例中，導電層224直接接觸準直器結構的頂表面218和側壁220的部分220A。在一些實施例中，導電層224也沉積於犧牲層222的表面上。在一些實施例中，導電層224包括鋁銅(AlCu)合金。在一些實施例中，鋁/銅比值在190-210的範圍中，且在一些實施例中，鋁/銅比值為199。在一些實施例中，鋁/銅比值由靶材的組成控制。在一些其他實施例中，鋁/銅比值取決於兩種個別靶材的沉積速率。在一些實施例中，導電層224在犧牲層222的表面和準直器結構的頂表面218上的厚度為900nm。在一些其他實施例中，導電層224在犧牲層222的表面和準直器結構的頂表面218上的厚度為8-12µm，且在一些實施例中，此厚度為10µm。在一些實施例中，由於在不同表面上沉積速率不同的緣故，導電層224在準直器結構的側壁220的部分220A上的厚度不同於導電層224在準直器結構的頂表面218上的厚度。在一些其他實施例中，導電層224的順應性塗層可用以得到導電層在頂表面218和側壁220的部分220A上相當的厚度。在一些實施例中，依據接觸式影像感測器所需的操作條件(例如準直器結構要過濾的波長範圍)和材料的光學性質，其他金屬材料或合金可用於導電層224，這些皆在本發明實施例的範圍中。
第2H圖為依據本發明一些實施例之各個製造階段的其中一者，對應第1圖的操作122的半導體裝置200的剖面示意圖，其中形成準直器結構。在一些實施例中，犧牲層222透過使用合適化學物的一個或多個化學清潔製程移除。舉例來說，當犧牲層222為光阻層時，犧牲層222可透過丙酮、N-甲基吡咯烷酮(NMP)和二甲基亞碸(DMSO)移除。在一些實施例中，可能需要加熱使用的化學物至高於室溫的溫度，以有效地溶解犧牲層222。移除劑的選擇取決於導電層224、第二介電層208以及第二基底206的類型和化學結構，以確保這些層與化學清潔製程的化學相容性。在一些實施例中，清潔製程之後，接著為使用異丙醇或類似物的清洗製程，接著使用去離子水進行清洗。因此，移除導電層224與犧牲層222直接接觸的部分。
在一些實施例中，當光到達第一基底中的至少一個光學感測元件時，準直器結構使入射光變窄且允許入射光對準特定方向。再者，有著導電層224的準直器結構更能夠過濾不期望的周圍雜訊，並防止這些雜訊到達至少一個光學感測元件。因此，本發明實施例中的導電層塗佈的準直器結構提供多個功能，使得在封裝期間能夠使用普通玻璃，進而降低成本，更進一步能夠在有限空間應用中使用接觸式影像感測器裝置。
第3圖顯示依據本發明一些實施例之有著準直器結構的半導體裝置300的例示性剖面示意圖。在顯示的實施例中，依據第1圖描述的方法100製造準直器結構。特別來說，半導體裝置300包括第一基底202、第一介電層204、在第二基底206和第二介電層208中的複數個通孔216和導電層224。在顯示的實施例中，導電層224沉積於第二介電層208的頂表面218和複數個通孔216的側壁220的部分220A上。
在一些實施例中，圖案化的第二介電層208具有厚度302在0.8-1.2µm的範圍中，且在一些實施例中，厚度302為1.0µm。在一些實施例中，圖案化的第二基底206具有厚度304在4-8µm的範圍中，且在一些實施例中，厚度304為6µm。在一些實施例中，圖案化的第二介電層208具有厚度306在0.8-1.2µm的範圍中，且在一些實施例中，厚度302為1.0µm。
在一些實施例中，間距尺寸308在0.5-1.0µm的範圍中，且在一些實施例中，間距尺寸308為0.8µm。在一些實施例中，間在沉積導電層224之前，通孔216的直徑在0.03-0.08µm的範圍中，且在一些實施例中，通孔216的直徑為0.05µm。在一些實施例中，導電層224在頂表面218上沿y方向的第一厚度312在180-220nm的範圍中，且在一些實施例中，第一厚度312為200nm。在一些實施例中，導電層224在準直器結構的側壁220的部分220A上沿x方向的第二厚度314在15-25nm，且在一些實施例中，第二厚度314為20nm。在一些實施例中，導電層224沉積於第二基底206的側壁上的厚度為2500-3500nm，且在一些實施例中，此厚度為3000nm。
在顯示的實施例中，蝕刻至第二介電層208和第二基底206之複數個通孔216的側壁220垂直於第一介電層204的暴露表面。在半導體裝置300中有著理想側壁保護的理想蝕刻條件下得到的輪廓是用於顯示的目的，而非限制性的。實際的蝕刻條件(即不同方向的蝕刻速率)可導致例如錐形、底切、刻痕、彎曲、波紋等，這些蝕刻條件改變通孔216的側壁輪廓。應注意的是，可從實際蝕刻條件得到的不同側壁輪廓都在本發明實施例的範圍中。
第4圖顯示依據本發明一些實施例之第二介電層208和第二基底206中的蝕刻通孔的各種側壁輪廓400。各種側壁輪廓400包括在理想蝕刻條件下之有著垂直側壁220的第一輪廓402、由強側壁保護導致之有著錐形側壁220和在第二介電層208下完整底切424的第二輪廓404、由自發蝕刻反應導致之有著錐形側壁220和在第二介電層208下部分底切424的第三輪廓406、有著包括波紋418的側壁220的第四輪廓408、有著光滑彎曲側壁220的第五輪廓410、由扭曲離子軌道及/或化學蝕刻導致之有著錐形側壁220和在通孔底部的刻痕420的第六輪廓412、有著倒錐形側壁220的第七輪廓414以及有著錐形側壁220和在第二介電層208中被腐蝕的角落422的第八輪廓416。應注意的是，第4圖中的側壁輪廓是用於顯示的目的，而非限制性的。可從各種蝕刻條件得到的不同側壁輪廓皆在本發明實施例的範圍中。
請再次參照第3圖，在顯示的實施例中，導電層224具有棉花棒形狀的剖面輪廓，其中棉花棒形狀的剖面輪廓由用於導電層224的沉積技術的方向性所導致。舉例來說，如第3圖所示，導電層224的兩相鄰表面之間的第一寬度318小於導電層224的兩相鄰表面之間的第二寬度320。舉例來說，濺鍍沉積為方向性的，導致在面對自濺鍍靶材的離子通量的方向的表面上的主要沉積。在另一範例中，對於方向性的技術，導電層224可僅沉積於第二介電層208的頂部上，而導電層224在通孔216的側壁220上的沉積為可忽略的。在另一範例中，相較於濺鍍沉積製程，蒸鍍沉積的方向性相對較差，其導致導電層224較均勻地沉積於通孔216的側壁220上。可結合並使用在頂表面上的導電層224的不同輪廓和通孔216的側壁220的不同輪廓，這些在本發明實施例的範圍中。
第5A圖顯示依據本發明一些實施例之有著準直器結構的半導體裝置500的例示性上視圖。在半導體裝置500中的準直器結構包括81個通孔216。在顯示的實施例中，每個通孔216具有圓形剖面。在一些其他實施例中，可使用不同形狀(例如正方形)之通孔216的剖面，且在本發明實施例的範圍中。在顯示的實施例中，通孔216以正方形單元502的9×9陣列排列。應注意的是，第5A圖中的半導體裝置500為顯示目的，可使用任何數量的通孔216，且在本發明實施例的範圍中。
第5B圖顯示依據本發明一些實施例之有著準直器結構的半導體裝置500的例示性上視圖。在半導體裝置500中的準直器結構包括77個通孔216。在顯示的實施例中，每個通孔216具有圓形剖面。在一些其他實施例中，可使用不同形狀(例如正方形)之通孔216的剖面，且在本發明實施例的範圍中。在顯示的實施例中，通孔216以鑽石單元504的陣列排列。應注意的是，第5B圖中的半導體裝置500為顯示目的，可使用任何數量的通孔216，且在本發明實施例的範圍中。
在一實施例中，光學準直器包含介電層；基底；複數個通孔；以及導電層，其中介電層形成於基底上方，其中複數個通孔被配置為沿介電層的第一表面的橫向方向延伸的陣列，其中複數個通孔的每一者在垂直方向從介電層的第一表面延伸通過介電層和基底至基底的第二表面，且其中導電層形成於介電層的第一表面和複數個通孔的每一者的側壁的一部分的至少一者上方，且其中導電層被配置為允許光學準直器過濾一波長範圍的光。
在一些其他實施例中，其中導電層包含鋁銅合金。
在一些其他實施例中，其中導電層在介電層的第一表面上方的第一厚度約200nm，且導電層在複數個通孔的每一者的側壁上方的第二厚度約20nm。
在一些其他實施例中，其中有著導電層的側壁的部分的第一深度約3000nm，其中第一深度從介電層的第一表面測量。
在一些其他實施例中，其中複數個通孔的每一者具有尺寸約0.05µm。
在一些其他實施例中，其中介電層的第一厚度約1.0µm，且基底的第二厚度約6.0µm。
在一些其他實施例中，其中波長範圍在780nm與1400nm之間。
在另一實施例中，半導體裝置包含至少一光學感測元件；以及光學準直器；其中光學準直器包括:第一介電層、第一基底、複數個通孔和導電層，其中第一介電層形成於第一基底上方，其中複數個通孔被配置為沿第一介電層的第一表面的橫向方向延伸的陣列，其中複數個通孔的每一者在垂直方向從第一介電層的第一表面延伸通過第一介電層和第一基底至第一基底的第二表面，其中導電層形成於第一介電層的第一表面和複數個通孔的每一者的側壁的一部分的至少一者上方，且其中導電層被配置為允許光學準直器過濾一波長範圍的光。
在一些其他實施例中，其中至少一光學感測元件形成於第二基底中，其中第二基底更塗覆有第二介電層，且其中光學準直器形成於第二介電層上方。
在一些其他實施例中，其中導電層包含鋁銅合金。
在一些其他實施例中，其中導電層在第一介電層的第一表面上方的第一厚度約200nm，且導電層在複數個通孔的每一者的側壁上方的第二厚度約20nm。
在一些其他實施例中，其中有著導電層的側壁的部分的第一深度約3000nm，其中第一深度從介電層的第一表面測量。
在一些其他實施例中，其中複數個通孔的每一者具有尺寸約0.05µm。
在一些其他實施例中，其中第一介電層的第一厚度約1.0µm，且第一基底的第二厚度約6.0µm。
在一些其他實施例中，其中波長範圍在780nm與1400nm之間。
在另一實施例中，半導體裝置的形成方法包含在有著第一介電層的第一基底上形成準直器結構，其中準直器結構包含複數個通孔，其中複數個通孔的每一者在垂直方向從第二介電層的第一表面延伸通過第二介電層和第二基底至第二基底的第二表面；以及在第二介電層的第一表面和準直器結構的複數個通孔的每一者的側壁的一部分的至少一者上方形成導電層。
在一些其他實施例中，其中導電層包含鋁銅合金。
在一些其他實施例中，其中導電層在第二介電層的第一表面上方的第一厚度約200nm，且導電層在複數個通孔的每一者的側壁上方的第二厚度約20nm。
在一些其他實施例中，其中有著導電層的側壁的部分的第一深度約3000nm，其中第一深度從第二介電層的第一表面測量。
在一些其他實施例中，其中複數個通孔的每一者具有尺寸約0.05µm。
前述內文概述了許多實施例的特徵，使本技術領域中具有通常知識者可以從各個方面更加了解本發明實施例。本技術領域中具有通常知識者應可理解，且可輕易地以本發明實施例為基礎來設計或修飾其他製程及結構，並以此達到相同的目的及/或達到與在此介紹的實施例等相同之優點。本技術領域中具有通常知識者也應了解這些相等的結構並未背離本發明的發明精神與範圍。在不背離本發明的發明精神與範圍之前提下，可對本發明實施例進行各種改變、置換或修改。
如本文所用，術語“約”意味著在陳述值的正負10%的範圍中。
100:方法 102,104,106,108,110,112,114,116,118,120,122:操作 200,300,500:半導體裝置 202:第一基底 204:第一介電層 206:第二基底 208:第二介電層 210:圖案化光阻層 212:開口 214:導電部件 216:通孔 218:頂表面 220:側壁 220A:部分 222:犧牲層 224:導電層 302,304,306:厚度 308:間距尺寸 312:第一厚度 314:第二厚度 318:第一寬度 320:第二寬度 400:側壁輪廓 402:第一輪廓 404:第二輪廓 406:第三輪廓 408:第四輪廓 410:第五輪廓 412:第六輪廓 414:第七輪廓 416:第八輪廓 418:波紋 420:刻痕 422:角落 424:底切 502:正方形單元 504:鑽石單元
根據以下的詳細說明並配合所附圖式可以更加理解本發明實施例。應注意的是，根據本產業的標準慣例，圖示中的各種部件(feature)並未必按照比例繪製。事實上，可能任意的放大或縮小各種部件的尺寸，以做清楚的說明。也應強調的是，附圖僅顯示出本發明的典型實施例，因此不應視為對範圍的限制，本發明可同等地應用於其他實施例中。 第1圖顯示依據本發明一些實施例之形成半導體裝置的例示性方法的流程圖。 第2A、2B、2C、2D、2E、2F、2G和2H圖顯示依據本發明一些實施例，透過第1圖的方法在各個製造階段期間之有著準直器(collimator)的例示性半導體裝置的剖面示意圖。 第3圖顯示依據本發明一些實施例之有著準直器的半導體裝置的例示性剖面示意圖。 第4圖顯示依據本發明一些實施例之在準直器結構中的蝕刻開口的側壁輪廓的例示性剖面示意圖。 第5A圖顯示依據本發明一些實施例之有著準直器的半導體裝置的例示性上視圖。 第5B圖顯示依據本發明一些實施例之有著準直器的半導體裝置的例示性上視圖。
200:半導體裝置
202:第一基底
204:第一介電層
206:第二基底
208:第二介電層
214:導電部件
216:通孔
224:導電層

Claims (10)

  1. 一種光學準直器，包括：一介電層；一基底；複數個通孔；以及一導電層，其中該介電層形成於該基底上方，其中該複數個通孔被配置為沿該介電層的一第一表面的一橫向方向延伸的一陣列，其中該複數個通孔的每一者在一垂直方向從該介電層的該第一表面延伸通過該介電層和該基底至該基底的一第二表面，且其中該導電層形成於該介電層的該第一表面和該複數個通孔的每一者的側壁的一部分上方，且其中該導電層被配置為允許該光學準直器過濾一波長範圍的光。
  2. 如請求項1之光學準直器，其中該導電層包括鋁銅合金。
  3. 如請求項1或2之光學準直器，其中該導電層在該介電層的該第一表面上方的一第一厚度約200nm，且該導電層在該複數個通孔的每一者的側壁上方的一第二厚度約20nm。
  4. 如請求項1或2之光學準直器，其中有著該導電層的側壁的部分的一第一深度約3000nm，其中該第一深度從該介電層的該第一表面測量。
  5. 如請求項1或2之光學準直器，其中該複數個通孔的每一者具有一直徑約0.05μm。
  6. 一種半導體裝置，包括：至少一光學感測元件；以及 一光學準直器；其中該光學準直器包括：一第一介電層、一第一基底、複數個通孔和一導電層，其中該第一介電層形成於該第一基底上方，其中該複數個通孔被配置為沿該第一介電層的一第一表面的一橫向方向延伸的一陣列，其中該複數個通孔的每一者在一垂直方向從該第一介電層的該第一表面延伸通過該第一介電層和該第一基底至該第一基底的一第二表面，其中該導電層形成於該第一介電層的該第一表面和該複數個通孔的每一者的側壁的一部分上方，且其中該導電層被配置為允許該光學準直器過濾一波長範圍的光。
  7. 如請求項6之半導體裝置，其中該至少一光學感測元件形成於一第二基底中，其中該第二基底更塗覆有一第二介電層，且其中該光學準直器形成於該第二介電層上方。
  8. 如請求項6或7之半導體裝置，其中該導電層包括鋁銅合金。
  9. 如請求項6或7之半導體裝置，其中該導電層在該第一介電層的該第一表面上方的一第一厚度約200nm，且該導電層在該複數個通孔的每一者的側壁上方的一第二厚度約20nm。
  10. 一種半導體裝置的形成方法，包括：在有著一第一介電層的一第一基底上形成一準直器結構，其中該準直器結構包括複數個通孔，其中該複數個通孔的每一者在一垂直方向從一第二介電層的一第一表面延伸通過該第二介電層和一第二基底至該第二基底的一第二表面；以及在該第二介電層的該第一表面和該準直器結構的該複數個通孔的每一者的側壁的一部分上方形成一導電層。
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