TWI744591B - 制振系統以及具備該制振系統的光學裝置 - Google Patents

Abstract

本發明揭示一種用以抑制被制振體的振動的制振系統及具備所述制振系統的光學裝置。制振系統包括：（i）壓電元件，分別具有可收縮的壓電元件，自被制振體的側面延伸至基體，以將被制振體的側面與基體之間加以連結；（ii）驅動電源，為了使壓電元件收縮，將驅動電壓供給至致動器單元的壓電元件；（iii）振動檢測部，檢測被制振體的振動的狀態；以及（iv）振動控制器，藉由基於振動檢測部所檢測出的振動的狀態，利用驅動電源對供給至致動器單元的壓電元件的電壓進行控制，而對被制振體的振動的抑制進行控制。

Description

制振系統以及具備該制振系統的光學裝置

本發明是有關於一種使用一個或多個致動器單元的制振系統及具備該制振系統的光學裝置。

通常，為了抑制結構物或裝置等之中產生的振動或擺動（以下，總稱為「振動」），是使用各種制振機構或制振系統。特別欠佳的是，藉由振動，而在多個物體之間產生相對位移。

例如，在包括用以照射電子射束的鏡筒、及作為描繪對象的試料的電子射束描繪裝置中，欠佳的是由振動引起的鏡筒與試料之間的相對位移。因此，電子射束描繪裝置包括用以使鏡筒的振動減少的制振機構，所述鏡筒的振動是藉由保持試料的平台的移動所導致的平台的加減速而產生。其原因在於，在鏡筒與試料之間產生相對位移時，在朝向試料上的電子射束的入射位置產生偏移。

本發明提供一種實現充分的制振且小型而簡單地構成，具有在各種結構物或裝置中，可作為追加器具而共同使用的通用性的制振系統及具備該制振系統的光學裝置。

本發明的一實施方式的制振系統是以抑制傳輸至設置於基體上的被制振體的振動的方式而構成的制振系統。所述制振系統包括：（i）致動器單元，具有可伸縮的壓電體，並且自被制振體的側面的至少3個不同的周圍的位置分別延伸至基體的上表面，將被制振體的側面與基體的上表面之間加以連接；（ii）驅動電源，以為了使致動器單元的壓電體伸縮，將驅動電壓供給至壓電體的方式而構成；（iii）振動檢測部，檢測包括被制振體的振動的大小及方向的被制振體的振動狀態；以及（iv）控制部，構成為以根據振動檢測部所檢測出的被制振體的振動狀態，在被制振體沿遠離致動器單元的方向移動時致動器單元收縮，在被制振體沿朝向致動器單元的方向移動時致動器單元伸長的方式，對供給至致動器單元的壓電體的驅動電壓進行控制，從而抑制被制振體的振動。

此外，本發明的另一實施方式的光學裝置在設置有可移動的平台的框體上，包括鏡筒。所述光學裝置包括抑制因平台的移動而產生於鏡筒中的振動的制振系統。所述制振系統包括：（i）致動器單元，具有可伸縮的壓電體，自鏡筒的側面的至少3個部位分別延伸至框體的上表面，將鏡筒的側面與框體的上表面之間加以連接；（ii）驅動電源，供給使壓電體伸縮的驅動電壓；（iii）振動檢測部，檢測包含鏡筒的振動的大小及振動的方向的振動狀態；以及（iv）控制部，構成為以根據振動檢測部所檢測出的振動狀態，在鏡筒沿遠離致動器單元的方向振動時致動器單元收縮，在鏡筒沿靠近致動器單元的方向振動時致動器單元伸長的方式，對供給至致動器單元的壓電體的驅動電壓進行控制，從而抑制被制振體的振動。

以下，參照圖式對本發明的實施方式的制振系統進行說明。

圖1概念性地表示本發明的第1實施方式的制振系統1的結構。例如，制振系統1應用於設置在基體2上的筒形狀或箱狀的被制振體3。說明用以抑制因所述被制振體3中所產生的振動而導致的被制振體3的移動的制振系統。說明如下的示例：將後述第1實施方式的制振系統用於在半導體晶圓或光罩原版上描繪微細圖案的描繪裝置。基體2可以是收納載置作為試料的光罩的平台的描繪室。被制振體3可以是收納投影系統的鏡筒。被制振體3中產生的振動包括自外部傳輸的振動、及未圖示的來自設置於被制振體3自身的驅動系統的振動。

制振系統1包括：致動器單元4，以為了抑制被制振體3的移動而進行制振的方式而構成；振動檢測部5，以檢測被制振體3的振動的方式而構成；電源8，以供給對致動器單元4進行驅動的電壓的方式而構成；以及控制器7，構成為藉由基於振動檢測部5所檢測出的振動的相關資訊（振動資訊）對電源8的輸出進行控制，而控制致動器單元4，以抑制被制振體3的振動。

振動檢測部5包括檢測在被制振體3中產生的振動的振動檢測感測器6。在所述示例中，使用與被制振體3接觸而配置的第1感測器6a、以及遠離被制振體3而配置的第2感測器6b，作為振動檢測感測器6。

第1感測器6a例如是加速度感測器或應變感測器。作為加速度感測器，可使用公知的結構的感測器。可以將使用微機電系統（micro-electromechanical systems，MEMS）半導體技術的三軸加速度感測器用作加速度感測器。並且，亦可使用壓電電阻型三軸加速度感測器。再者，當被制振體3呈圓柱或稜柱形狀時，亦可藉由以在其上表面的平面方向（XY方向）上使雙軸加速度感測器的雙軸對準的方式設置，而使用雙軸加速度感測器來取代三軸加速度感測器。其原因在於，在被制振體3的上表面上，藉由振動而沿垂直方向上升的部位與沿垂直方向下降的部位在垂直方向上具有相同的位移量，所以所述兩個部位上的垂直方向上的加速度向量相抵消。

第2感測器6b例如是藉由雷射光等的射束來非接觸地測量距離的光學感測器，將被制振體3與第2感測器6b之間的距離的變化，作為振動幅度（振動的振幅）而檢測。如後所述，較佳為在被制振體3中的振動振幅最大的位置上配置該些振動檢測感測器6。

振動檢測部5基於藉由振動檢測感測器6而檢測出的已輸出的被制振體3的移動的值，生成振動資訊（包括振動幅度及振動方向），而輸出至控制器7。例如，在三軸型加速度感測器的情況下，振動檢測感測器6根據表示各個軸方向上的加速度的電訊號生成振動資訊。

對用於本制振系統中的致動器單元4進行說明。圖2（a）是自正面觀察致動器單元4時的外觀圖，圖2（b）是自上方觀察致動器單元4時的外觀圖。在第1實施方式中，如以下所述，致動器單元4是長板形狀。將致動器單元4的面積大的表面與背面稱為主面或主面側，將在長邊方向上兩端側的面積小的面稱為端面或端部。

各致動器單元4包括：（i）長方形的壓電元件10，配置於大致中央，作為制振構件而起作用；（ii）固定部13、固定部14，與壓電元件10的伸縮方向m即長邊方向上的兩側連結；以及（iii）支持構件12，用以將壓電元件10與固定部13、固定部14加以連結。在所述一實施方式中，在壓電元件10中包含固定部13、固定部14的結構是致動器單元4。取而代之，在致動器單元4中，亦可藉由金屬材料等的相同構件一體地形成壓電元件10的後述的基材15（核心構件（core member））及固定部13、固定部14。並且，圖2（a）及圖2（b）表示利用支持構件12將壓電元件10與固定部13、固定部14加以連結的致動器單元4的結構，但若將壓電元件10的基材15設為各固定部13、固定部14所夾持的結構，不一定需要使用支持構件12。

此外，圖2（a）及圖2（b）所示的固定部13、固定部14的形狀是一例，可藉由對固定部13、固定部14進行固定的被制振體3的形狀或安裝位置來適當變更。在所述致動器單元4中，支持構件12是藉由將壓電元件10與固定部13、固定部14各自的端部加以橋接，使螺栓16貫通形成於該些各構件上的固定用孔，並利用螺母（nut）進行固定，或藉由鉚接而固定。藉由所述固定，致動器單元4包括呈一直線狀配置，且相互連結的壓電元件10及固定部13、固定部14。

壓電元件10包括作為芯材的可彈性變形的平板狀的基材15、以及安裝於基材15的兩主面上的薄膜壓電體11。壓電體11對應於所施加的驅動電壓而伸縮。壓電元件10包括用以自電源8供給所述驅動電壓的配線（包含形成於基材15上的電路圖案）。壓電體11對應於經由該些配線自電源8供給的驅動電壓，藉由逆壓電效應而伸縮，藉此，致動器單元4進行伸縮。藉由因壓電體11的伸縮，在與基材15的面交叉的方向上基材15產生翹曲或撓曲，或基材15在沿面的方向上伸縮，而使得壓電元件10的長邊方向上的長度發生變化。後述實施方式及變形例是參照如上所述的壓電元件10而說明。

基材15較佳的是使用具有可重複進行撓曲變形及向原來的形狀的恢復的彈性變形的特性的金屬材料的板狀構件，例如，可使用薄鋼板。此外，亦可應用具有可撓曲變形的彈性變形的特性的樹脂構件。如上所述，基材15的材料並不限定於金屬材料，只要是樹脂材料或將致動器單元4安裝於被制振體3上時可彈性變形以足夠賦予所需的伸縮量的某種程度硬質的材料即可。

第1實施方式的基材15的外形為長方形形狀，基材15的伸縮方向（此處，對應於致動器單元4所伸縮的方向）是沿長方形的長軸方向。在所述示例中，基材15包括：平坦部15a，為了支持壓電體11而設置於長方形形狀的基材15的中央部分，且形成得薄；以及端部15b，為了在基材15的兩端部15b分別將基材15與固定部13、固定部14加以連結，帶有錐形而增加了厚度。但是，支持基材15的壓電體11的區域只要可響應壓電體11的位移，便不一定必須薄於其他部分。在第1實施方式中，為了藉由支持構件12而將壓電元件10與固定部13、固定部14加以連接，端部15b帶錐形而具有增加了的厚度。再者，基材15的平坦部15a及連接用的端部15b無需利用相同的材料一體地形成。連接用的端部15b可包含與平坦部15a不同的材料。並且，連接用的端部15b與平坦部15a為分體，亦可具有夾持平坦部15a的兩端的結構。此外，只要固定部13、固定部14分別具有夾著壓電元件10的兩端的各端而保持的結構，連接用的端部15b便亦可為與平坦部15a相同的厚度。

固定部13、固定部14分別在其一端與壓電元件10連結，在另一端，具有用以在被制振體3或基體2的上表面上固定致動器單元4的連接部13a、連接部14a。連接部13a、連接部14a設置成與沿長邊方向延伸的固定部13、固定部14傾斜地交叉。連接部13a、連接部14a的端面（在被制振體3或基體2的上表面上與致動器單元4相接）的傾斜是對將致動器單元4固定於被制振體3及基體2的上表面時的致動器單元4的傾斜角度（圖1所示的角度a）進行規定。連接部13a、連接部14a例如包括未圖示的螺孔，藉由利用螺栓等的螺固而固定於被制振體3及基體2。並且，當因為維護等而必須自基體2拆下被制振體3時，致動器單元4可為能夠容易拆下的結構。這時，連接部13a、連接部14a亦可具有如下的結構：藉由將連接部13a、連接部14a插入至安裝用金屬件（例如，C形狀的導軌的接收口構件），而將連接部13a、連接部14a安裝於安裝用金屬件，所述安裝用金屬件是為了致動器單元4而設置於被制振體3及基體2的上表面。

壓電體11例如是將鋯鈦酸鉛陶瓷（PZT）等壓電體材料加工成纖維狀，利用環氧樹脂進行黏接而形成為膜狀的壓電陶瓷。雖未圖示，但壓電體11包括利用環氧樹脂與壓電陶瓷的主面結合的具有電極的聚醯亞胺薄膜（polyimide film）。

壓電體11是利用黏接劑等而黏附於基材15的壓電體支持區域即平坦部15a。所述電極與用以供給所述驅動電壓的配線電性連接。壓電體11發揮與例如被稱為超細纖維複合材料（Micro Fiber Composite，MFC）的壓電致動器單元同樣的功能。

如圖1所示，致動器單元4是以將被制振體3的側面與基體2的上表面之間線性相連的方式，傾斜地設置。以當致動器單元4將被制振體3的側面與基體2的上表面之間傾斜地線性相連時，致動器單元4的主面准照與被制振體3的側面交叉的虛擬平面的方式，將致動器單元4的主面固定於被制振體3的側面。在所述示例中，致動器單元4的主面在與被制振體3的側面正交的方向上，固定致動器單元4。若被制振體3為圓筒形狀，則致動器單元4的主面沿被制振體3的半徑方向而配置。

在所述示例中，4個致動器單元4是自等間隔（90度間隔）地位於被制振體3的周圍的部位，朝斜下方的方向延伸至基體2的上表面。第1實施方式的結構是將向上豎立的一個或多個支持構件設置於基體2上，對被制振體3進行固定，故而與將致動器單元設置於支持構件與被制振體3之間的先前結構不同。在第1實施方式中，一體地構成的致動器單元4是將被制振體3直接連結於基體2。再者，本實施方式是使用4個致動器單元4，但致動器單元4的個數並不限定於此。藉由至少利用3個致動器單元4，等間隔（120度間隔）地配置於被制振體3的周圍，可實現同樣的被制振體3的制振。並且，當被制振體3為其橫剖面例如為如五邊形的多邊形的多稜柱形狀時，只要將致動器單元4配置於被制振體3的三面以上的側面即可。並且，亦可將致動器單元4配置於多稜柱的各個側面。

控制器7基於自振動檢測部5輸出的振動資訊（包括振動幅度及振動方向），對電源8的輸出進行控制，使壓電元件10伸縮，而抑制被制振體3的振動。即，當被制振體3沿遠離致動器單元4中的任一者的方向移動時，壓電體11藉由控制器7而收縮以使基材15縮短，藉此使致動器單元4的整體長度收縮。相反地，當被制振體3沿靠近致動器單元4中的任一者的方向移動時，壓電體11藉由控制器7而伸展以使基材15延伸，使致動器單元4的整體長度伸長。

以上說明的第1實施方式的制振系統1中，為了實現充分的制振，具有小型而簡單的結構。制振系統1具有可追加於各種裝置的通用性。制振系統1的致動器單元4在壓電元件的尺寸或結構、及與其他壓電體的組合或其配置上具有自由度。並且，關於致動器單元4，伸縮量（伸縮長度）及伸縮所產生的力可根據需要而設定。藉由適當地設定搭載於壓電元件10上的壓電體11的伸縮量及伸縮力，可容易地獲得用以抑制被制振體3中產生的多種振動的適當性能。所述制振系統1由於結構簡單，故具有可追加設置於已有的各種裝置中的通用性。

制振系統1是將致動器單元4直接連結於產生振動的被制振體3、與搭載被制振體3的基體2之間的簡單結構。因此，不需要為了壓電元件10，將柱構件、台架、支架（kickstand）等特殊的結構物設置於基體2或周邊。並且，在安裝壓電元件10時不需要支柱等結構物，故用以將致動器單元4安裝至裝置的空間可較少。並且，安裝位置的自由度未受限，故可將致動器單元4配置於對振動有效的被制振體3的部位。

此外，所述第1實施方式中，制振系統1是進行立於基體2的上表面的被制振體3的制振，但本發明並不限定於此。並且，制振系統1的致動器單元4是為了被制振體3的制振而發揮作用，但不為有效固定被制振體3而發揮作用，因此即使是將被制振體3設置於基體2的上表面以外的面，例如，設置於下表面的結構，只要與所述被制振體3同樣地設置制振系統1，即可獲得同樣的效果。

其次，參照圖3至圖6，對用於其他實施方式的致動器單元4的壓電元件11進行說明。圖3表示用於第2實施方式的壓電元件18的壓電體11的結構。圖4表示第3實施方式的壓電元件19中的壓電體11的積層結構。圖5表示第4實施方式的壓電元件21中的壓電體22、壓電體23的配置結構。圖6表示第5實施方式的壓電元件25中的壓電體26、壓電體27的配置結構。

參照圖3，對第2實施方式的壓電元件18進行說明。

在所述壓電元件10中，是在基材15的平坦部15a的表面及背面這兩主面上分別載置一個壓電體11。與此相對，在第2實施方式的壓電元件18中，是在基材15的平坦部15a的一個主面上設置一個壓電體11。使用如上所述的壓電元件18的致動器單元與使用壓電元件10的致動器單元相比，伸縮力小，而適合於重量輕且振動能量小的被制振體。

參照圖4，對第3實施方式的壓電元件19進行說明。

第3實施方式的壓電元件19是在基材15的平坦部15a的兩個主面上分別具有經積層的多個壓電體11（11a～11d）的結構。在圖4所示的示例中，在平坦部15a的一個主面上，積層壓電體11a、壓電體11c，在另一個主面上，積層壓電體11b、壓電體11d。該些壓電體11a～壓電體11d分別貼附有所述形成有電極的聚醯亞胺薄膜。再者，在各個壓電體11a～壓電體11d上，將電極與各別的電源供給線連接，因此壓電體11a～壓電體11d可分別獨立地受到驅動。藉此，可選擇性地驅動壓電體11a～壓電體11d，以針對各種被制振體所固有的振動或移動進行最佳的制振。藉由如上所述的結構，可將一個壓電元件19通用地用於各種類型的被制振體。

該些壓電體11a～壓電體11d中，（1）亦可使用壓電體的壓電體材料相同，且具有相同伸縮量的壓電體，（2）亦可使用針對每個主面，壓電體材料及伸縮量互不相同的壓電體。此外，壓電體11a～壓電體11d中，（3）亦可由壓電體材料及伸縮量中的任一者不同的壓電體構成。並且，壓電體11a～壓電體11d亦可為不同特性的壓電體的適當組合。

當由壓電體材料及伸縮量均相同的壓電體構成壓電體11a～壓電體11d時（1），雖然與壓電元件10伸縮量相同，但伸縮時所產生的力（伸長力及壓縮力）與壓電元件10的力大致成倍。因此，第3實施方式的壓電元件19適合於抑制重量重或剛性大的被制振體的振動的情況。

當由壓電體材料不同且伸縮量不同的壓電體構成壓電體11a～壓電體11d時（2），例如，提示第1例及第2例。在第1例中，基材15的各主面具有包含不同的壓電體材料且伸縮量不同的壓電體的不同組合。在第2例中，基材15的各個主面具有包含不同的壓電體材料且伸縮量不同的壓電體的相同組合。在第1例中，壓電體11a、壓電體11b是由相同的壓電體材料形成，具有相同的伸縮量，而壓電體11c、壓電體11d雖與壓電體11a、壓電體11b不同，但包含相同的壓電體材料，具有相同的伸縮量。即，在第1例中，基材15的兩個主面分別具有特性相同的壓電體11a、壓電體11c的組合以及壓電體11b、壓電體11d的組合。

在第2例中，一個主面（上表面）上的壓電體11a、壓電體11c由相同的壓電體材料形成，具有相同的伸縮量，而另一個主面（下表面）上的壓電體11b、壓電體11d雖與壓電體11a、壓電體11c的材料及伸縮量不同，但由相同的壓電體材料形成，具有相同的伸縮量。即，在第2例中，設置於一個主面上的壓電體11a、壓電體11c的組合具有與設置於另一個主面上的壓電體11b、壓電體11d的組合不同的特性。該些壓電體11a～壓電體11d可分別個別地與電源供給線連接，選擇性地受到驅動。藉此，可選擇性地驅動壓電體11a～壓電體11d，以針對各種被制振體所固有的振動或移動進行最佳的制振。當如上所述，由壓電體材料及伸縮量不同的壓電體構成時，可藉由選擇驅動的壓電體來選擇伸縮量的範圍，從而可針對各種振動，有效率地進行制振。

此處，說明壓電體11a～壓電體11d是利用壓電體材料或伸縮量中的任一者的特性不同的壓電體而構成的情況（3）。例如，壓電體11c、壓電體11d的壓電體材料與壓電體11a、壓電體11b的壓電體材料相同，但壓電體11c、壓電體11d的伸縮量與壓電體11a、壓電體11b的伸縮量不同。

再者，在所述（1）至（3）的情況下的壓電元件19的結構例中，在基材15的平坦部15a的兩個主面上積層相同數量的壓電體11a～壓電體11d。但是，所積層的壓電體的數量亦可針對各個主面而不同。具體而言，在一個主面上，配置兩個壓電體，在另一個主面上，配置一個壓電體。如上所述，針對所述（1）至（3）的情況下的壓電元件19的一個主面及另一個主面，可選擇性地使用壓電體的不同的配置（成行地配置或積層）或不同數量（一層或多層）的任意的適當組合。並且，壓電元件19中所使用的多個壓電體亦可藉由控制器56而各別地驅動。亦可取而代之，對該些多個壓電體進行分組，對各個組藉由控制器56而各別地驅動。

為了實現與被制振體3的振動特性相匹配的致動器單元4的制振，藉由對應於預先檢測出的或推斷出的該被制振體3的振動的大小（寬度）或頻率，設定壓電元件19中的壓電體的結構或配置（例如，單層或積層、基材15的主面的配置位置），壓電元件19可具有適當的伸縮量或伸縮力。

其次，參照圖5，對第4實施方式的壓電元件21進行說明。

在所述壓電元件21中，多個壓電體22、壓電體23是在基材24的主面上，沿伸縮方向m縱行地配置。具體而言，如圖5所示，壓電元件21具有在基材24的平坦部24a的主面上，沿壓電元件21的長邊方向（伸縮方向m）縱行地配置的兩個壓電體22、壓電體23。該些壓電體22、壓電體23分別是與所述壓電體11（圖2（a）所示）相同的壓電體。

該些壓電體22、壓電體23分別具有接收驅動電壓的各別的電極。所述控制器7藉由針對每個壓電體22、壓電體23各別地供給驅動電壓，而對壓電體22、壓電體23各自的伸縮進行控制。但是，根據設備的規格，壓電體22、壓電體23亦可藉由控制器7而共同控制，以同時伸縮。壓電體22、壓電體23既可以同樣的方式伸縮，或者亦可具有相同的伸縮量。取而代之，壓電體22、壓電體23既可以不同的方式伸縮，或者亦可具有不同的伸縮量。並且，壓電體22、壓電體23的壓電體材料既可為相同材料，亦可為不同材料。壓電體的個數並不限定於兩個，亦可根據需要而適當設定。

在第4實施方式中，沿壓電元件21的伸縮方向m縱行地配置壓電體22、壓電體23，可增大壓電元件21的伸縮量，藉此，增大致動器單元4的伸縮的長度。因此，所述結構適合於被制振體3的振動的振幅比較大的情況。僅使壓電體22、壓電體23之中的任一個壓電體伸縮，可減小壓電元件21的伸縮量，可獲得與所述壓電體11同樣的作用效果。

另一方面，可考慮如下的結構：將所述壓電體11分成兩個一半大小的壓電體22、壓電體23，在平坦部24a的主面上，沿壓電元件21的長邊方向（伸縮方向m）縱行地配置壓電體22、壓電體23。當以該些壓電體22、壓電體23中的一者進行伸縮的方式而驅動時，壓電元件21的伸縮量小於所述壓電元件10（圖2（a）所示）的伸縮量。這時，由於壓電元件21的基材24中的伸縮長度短，故致動器單元的伸縮量小，因此適合於抑制振動頻數多的（振動的頻率高的）振動。

因此，藉由在壓電元件21中，組合使用相同尺寸或不同尺寸的多個壓電體，可在被供給的驅動電壓值的可變範圍內，改變壓電元件21的伸縮量的最大值與最小值之間的範圍。並且，藉由自尺寸或材料不同的壓電體中選擇使用適當的壓電體，實現致動器單元4的良好的響應性，可有效率地抑制單位時間的振動頻數多的（頻率高的）振動。

如以上所述，第4實施方式的壓電元件21對於被制振體的擺動，可在自振幅大的振動至振幅小的振動為止的大範圍內進行應對，並且可自頻率高的振動抑制至頻率低的振動。

其次，參照圖6，對按照第5實施方式的壓電元件25進行說明。

此處所說明的壓電元件25中，沿伸縮方向m延伸的多個壓電體26、壓電體27是並聯配置於基材28的主面上。如圖6所示，壓電元件25包括沿壓電元件25的長邊方向（伸縮方向m）延伸，且並聯配置於基材28的平坦部28a的主面上的兩種壓電體26、壓電體27。

與所述壓電元件21同樣地，該些壓電體26、壓電體27既可為了伸縮而各別地藉由控制器7來控制，亦可藉由控制器7來共同控制，以同時伸縮。壓電體26、壓電體27亦可同樣地，或不同地，藉由伸縮而發生變化，亦可具有相同的伸縮量或不同的伸縮量。並且，壓電體26、壓電體27既可包含相同的壓電體材料，亦可包含不同的壓電體材料。當然，壓電體26、壓電體27並非分別限定於兩個，可根據需要，適當設定其個數。

在壓電元件25中，藉由使壓電體26、壓電體27中的任一者或該些壓電體26、壓電體27兩者驅動，可切換藉由壓電元件25的伸縮所帶來的力。因此，壓電元件25在制振中，即使在由於大振幅而需要大的制振力（能量）的情況下，亦可提高壓電元件25所產生的制振力。使用壓電元件25的致動器單元4可應對自振幅大的振動至振幅小的振動為止的大範圍的振動。

另外，在壓電體26、壓電體27中，當使用不同的伸縮變化或伸縮量的壓電體時，對於混合存在大小不同的振幅的振動，自壓電體26、壓電體27中選擇適合於該些振幅的壓電體，藉此可更快地有效率地進行抑制。

其次，參照圖7，對致動器單元的第1變形例進行說明。

圖7是自上方觀察第1變形例的致動器單元31時的外觀圖。

在第1變形例的致動器單元31中，將兩個壓電元件10a、壓電元件10b加以堆疊而並聯配置。經堆疊的兩個壓電元件10a、壓電元件10b與固定部13、固定部14連結。壓電元件10a、壓電元件10b均具有與所述壓電元件10同樣的結構。

在致動器單元31中，壓電元件10a、壓電元件10b的端部15b分別配置於固定部13、固定部14的端部的主面上，藉由將固定物16插入至相一致的固定用的孔而固定。致動器單元31的結構中，除了搭載兩個壓電元件10a、壓電元件10b以外，與圖2（b）所示的致動器單元4的結構同樣。

第1變形例的致動器單元31由於搭載有堆疊著的壓電元件10a、壓電元件10b，當使壓電元件10a、壓電元件10b同時驅動時，壓電元件10a、壓電元件10b的伸縮所帶來的力會成為單個致動器單元4的伸縮所帶來的力的兩倍。當然，壓電元件10a、壓電元件10b無需經常同時被驅動。控制器7亦可對壓電元件10a、壓電元件10b進行控制，以驅動壓電元件10a、壓電元件10b之中的任一者。當被制振體3的振動導致致動器單元31的扭曲產生時，致動器單元31與致動器單元4相比，對所述扭曲的耐性高。因此，在致動器單元31中，壓電元件10a、壓電元件10b的壓電體11的伸縮更高效地有助於制振。並且，即使在因經年變化或熱等所引起的被制振體3的變形產生使致動器單元31應變的力的情況下，亦可藉由致動器單元31的結構，來避免所述力使壓電元件10產生扭曲。

其次，參照圖8，對致動器單元的第2變形例進行說明。

圖8是自上方觀察第2變形例的致動器單元32時的外觀圖。

在第2變形例中，致動器單元32包括在伸縮方向上串聯配置的兩個壓電元件10a、壓電元件10b。壓電元件10a、壓電元件10b的外側的端部分別與固定部13、固定部14連結，且與壓電元件10a、壓電元件10b配置成直線狀。壓電元件10a、壓電元件10b分別具有與所述壓電元件10同樣的結構。

在致動器單元32中，利用支持構件35將壓電元件10a的一端與壓電元件10b的一端加以連結。將壓電元件10a的另一端與壓電元件10b的另一端，分別利用支持構件35而連結於固定部33、固定部34。支持構件35利用螺栓及螺母或鉚釘等的固定物16，而將壓電元件10a、壓電元件10b與固定部33、固定部34加以固定。

在第2變形例的致動器單元32中，串聯配置著的壓電元件10a及壓電元件10b可增大致動器單元32的伸縮量。因此，致動器單元32可抑制自大振幅至小振幅為止，且自高頻率至低頻率為止的大範圍的被制振體3的振動。再者，亦可將其他連結部機構置於壓電元件10a與壓電元件10b之間。

其次，參照圖9，對按照本發明的另一實施方式的制振系統的變形例進行說明。圖9概念性地表示制振系統的變形例中的致動器單元36的配置。

如圖1所示，所述制振系統的致動器單元4是以將被制振體3的側面與基體2的上表面之間線性傾斜地相連的方式，固定於基體2及被制振體3上，但致動器單元4的主面（如上所述，長板的面積大的表面及背面的面）是准照於與被制振體3的側面正交或交叉的方向。

與此相對，在本變形例中，是以致動器單元36的主面及壓電元件10的主面准照於被制振體3的圓周方向的方式，將致動器單元36固定於基體2及被制振體3上。並且，如圖9所示，當被制振體3為圓筒形狀時，以致動器單元36的主面准照於與被制振體3的半徑方向正交的方向，或者換言之，准照於被制振體3的側面的切線方向的方式，將致動器單元36固定於基體2及被制振體3上。

其次，參照圖10，對第3變形例的致動器單元進行說明。

圖10是自側方觀察第3變形例的致動器單元37時的外觀圖。在圖2（a）及圖2（b）所示的所述致動器單元4中，將壓電元件10及固定部13、固定部14配置成直線狀。與此相對，第3變形例的致動器單元37具有近似於扇形的彎曲的側面形狀。

在致動器單元37中，例如，交替地配置長條形狀的矩形的壓電元件38與扇形狀的固定部39，並藉由螺栓及螺母等固定物16而固定。在所述示例中，藉由固定部39的扇的張開角度的調整及所使用的固定部39的數量的設定，致動器單元37可具有如所期望般彎曲的側面形狀。致動器單元37的各壓電元件38是在圖10中沿以「m」表示的方向伸縮。

另外，如圖1所示，在將基體2與被制振體3加以連接的區域的附近存在空間，故可在所述區域設置直線形狀的致動器單元4。但是，當在所述區域的附近設置有其他單元時，存在其他單元成為障礙，而無法安裝直線形狀的致動器單元4的情況。或者，為了避開該些其他單元，可能需要長的致動器單元4。致動器單元37提供一種針對所述問題的一個解決對策。

關於第3變形例，圖10表示具有彎曲的扇狀的側面形狀的致動器單元37的示例。但是，致動器單元37的側面形狀並不限定於此。致動器單元37亦可具有由如圖8所示的直線形狀的部分與彎曲的部分組合而成的側面形狀。

第3變形例的致動器單元37可具有如所期望般彎曲的側面形狀，故可繞開成為障礙的其他單元，安裝於基體2及被制振體3上。

其次，參照圖11，說明將第1實施方式的制振系統1應用於光學裝置的示例。圖11中，作為應用有第1實施方式的制振系統的光學裝置，概念性地表示用以在半導體晶圓或光罩的原版上描繪微細圖案的電子射束描繪裝置41的結構。在所述示例中，作為光學裝置，例示性地表示電子射束描繪裝置。但是，其中所揭示的制振系統可應用於將鏡筒等設置於描繪室等的框體上的任意裝置。並且，射束並不限於電子射束，亦可為雷射或X線等的任意的電磁波。因此，本說明書中的「光學」的用語可解釋為除了所謂的「光」以外，亦包含「電子束」或「電磁波」等。再者，關於使用第1實施方式的制振系統的電子射束描繪裝置，對與所述控制系統同樣的組件（component）標註相同的參照符號，並省略關於該些組件的詳細說明。

電子射束描繪裝置41在裝置本體中，包括鏡筒42及框體43。框體43收容保持試料49的可移動的平台48。鏡筒42設置於框體43上，包括對平台48上的試料49照射電子射束55的光源即電子槍46。此外，在框體43的底部，設置腳部45。防振構件44設置於框體43與腳部45之間。腳部45設置於無塵室（clean room）等的地面上。藉由在框體43與腳部45之間設置防振構件44，來防止將地面的振動傳輸至裝置本體。並且，亦可在框體43的底部與防振構件44之間配置牢固的平板。再者，試料49例如可為光罩用的玻璃基板。

框體43例如可為不鏽鋼合金等金屬的中空箱，可維持真空地構成。框體43包括用以取放試料49的開口（未圖示）及氣密地覆蓋開口的可開閉的閘門（gate）58。當閘門58打開後，藉由試料搬運機構59而自外部搬入試料49，並載置於平台48。同樣地，將圖案描繪於試料49上之後，試料49藉由試料搬運機構59，而自平台48上搬出至外部。

另外，為了在試料49上描繪任意圖案時使平台48移動，將平台驅動機構50設置於平台內部或平台的附近。描繪圖案時，藉由使平台48沿水平方向移動，而使所載置的試料49二維（例如，XY方向）移動。為了描繪圖案，亦可不使試料49一點點地移動，而是藉由後述的透鏡驅動部52使電子射束彎曲或進行掃描。亦可使平台48移動，以粗略地移動試料49。平台驅動機構50亦可使平台48升降（Z方向：重力方向），以調整試料49的高度。平台48的移動時的加減速所引起的慣性力的反作用力可作為振動而傳遞至框體43。平台48的移動越高速化，所述影響越大。

電子射束描繪裝置41包括：高壓電源51，供給用以使電子射束自電子槍46射出的高電壓；透鏡驅動部52，驅動光學系統47；抽吸系統53，將框體43及鏡筒42的內部抽吸至真空狀態；平台驅動控制部54，使平台驅動機構50驅動；致動器驅動電源57，對所述致動器單元4進行驅動；振動檢測部5，自加速度感測器61及應變感測器63獲取後述的振動資訊；以及控制器56，對系統的各組件進行控制。電子射束描繪裝置41進而包括配置於鏡筒42的上表面或電子槍46的上表面的加速度感測器61、以及配置於鏡筒42的側面的應變感測器63。

抽吸系統53例如，可組合使用粗略抽吸用的乾式泵（dry pump）、以及超高真空抽吸用的離子泵或渦輪分子泵（turbo molecular pump）等。在將各泵與框體43及鏡筒42相連的管上，設置用以切換地進行抽吸的真空閥（未圖示）。並且，在框體43及鏡筒42上，設置使框體43及鏡筒42的室內返回至大氣壓的洩漏閥（leak valve）。在所述示例中，框體43具有一個室。但是，為了縮短吸氣時間，亦可追加預備排氣室即緩衝腔室（buffer chamber）。

雖不作詳細說明，但將包含照明透鏡、孔徑（aperture）、投影透鏡、偏振器、物鏡等的光學系統47設置於鏡筒42中。所述光學系統47藉由透鏡驅動部52而驅動，為了藉由一面移動平台48，一面利用電子射束55照射試料49而在試料49上描繪所需的圖案，對自電子槍46射出的電子射束55進行調整、轉向、掃描。必須利用電子射束55準確地照射試料49的所需的位置或區域。因此，所描繪的圖案越微細化，減少鏡筒42內的光學系統47與試料的目標位置的相對位移的重要性越增大。

設置於電子射束描繪裝置41中的制振系統如上所述，包括致動器單元4、振動檢測部5、加速度感測器61、應變感測器63及控制器56。

如圖2（a）所示，在各致動器單元4中，將長方形的壓電元件10、與固定部13、固定部14呈直線狀配置，所述固定部13、固定部14是將沿伸縮方向m的壓電元件的10的兩端分別利用支持構件12加以連結。如圖11所示，致動器單元4自鏡筒42的側面起，在等間隔的放射狀的4方向上，傾斜向下延伸，而抵達至框體43的上表面。設置於固定部13、固定部14的前端的連接部13a、連接部14a是以保持各致動器單元4的傾斜角a的方式，藉由螺固等而固定於鏡筒42及框體43上。

在所述示例中，將加速度感測器61配置在設置於鏡筒42上的電子槍46的上表面。應變感測器63配置於鏡筒42的側面的上方。後文將描述，所有感測器亦可設置於振動的振幅大的部位。

加速度感測器61檢測鏡筒42的位移的大小（振動幅度）及方向（振動方向），所述鏡筒42的位移是由於藉由平台驅動機構50而驅動的平台48的移動所引起的振動而產生。應變感測器63根據由所述振動引起的鏡筒42的變形，檢測振動的大小。特別是加速度感測器61檢測平台48自停止狀態轉變至移動狀態、及自移動狀態轉變至停止狀態時所產生的振動。加速度感測器61又檢測平台48的移動速度發生變化時所產生的振動。藉由加速度感測器61而輸出的檢測訊號被發送至振動檢測部5的加速度檢測部62。加速度檢測部62基於接收到的檢測訊號，生成至少表示振動幅度及振動方向的振動資訊。

應變檢測部64基於自應變感測器63接收到的應變檢測訊號，生成表示振動的大小的振動資訊。振動檢測部5將藉由應變檢測部64而生成的振動資訊補充性地用於藉由加速度檢測部62而生成的振動資訊，生成振動資訊，並輸出至控制器56。再者，在所述示例中，將來自加速度檢測部62的振動資訊與來自應變檢測部64的振動資訊加以組合，而獲得振動資訊。但是，振動資訊亦可使用來自加速度檢測部62的振動資訊與來自應變檢測部64的振動資訊中的任一者而獲得。此外，如上所述，為了使用雷射光等光束進行非接觸的距離測量，亦可使用光學感測器。

控制器56基於至少表示振動幅度及振動方向的振動資訊，對致動器驅動電源57的電壓輸出進行控制，從而對各個致動器單元4的伸縮進行控制，以使被制振體3的振動減少。即，各致動器單元4是以如下的方式，藉由控制器56而控制：藉由鏡筒42的振動，而在鏡筒42沿遠離所述致動器單元4的方向移動時收縮，相反地，在鏡筒42沿靠近所述致動器單元4的方向移動時伸長。

其次，參照圖12（a）、圖12（b）、圖12（c），對用於使鏡筒42的振動減少的致動器單元4的安裝位置進行說明。

圖12（a）是表示鏡筒42的振動狀態為第一次振動模式A的圖。

如上所述，在電子射束描繪裝置41的鏡筒42內，收容有包含照明透鏡、孔徑、投影透鏡，偏振器、物鏡等多個構成零件的光學系統47。該些結構部位由於分別具有互不相同的重量，故而鏡筒42的結構在振動時具有多個質點（例如，代表質點101c）。對應於鏡筒42的振動狀態（例如，振動幅度），質點101c的存在產生質點101在大致直線的線101a～線101b之間同步振動的第一次振動模式A的振動。如圖12（a）所示，在第一次振動模式A下，立於框體43上的鏡筒42是以根基為支點而振動。因此，如圖11所示，藉由在位於鏡筒42上的電子槍46的上表面（頂部）配置加速度感測器61（或應變感測器63），加速度感測器61（或應變感測器63）能夠以最大的振動幅度（最大的振動振幅）檢測鏡筒42的振動。藉由檢測最大的振動幅度的振動，可準確地掌握藉由抑制振動而獲得的振動的減少。

圖12（b）是表示鏡筒42的振動狀態為第二次模式B的圖。

在第二次振動模式B下，鏡筒42的多個質點是在多個質點之中的一個質點102c上屈曲而形成一個交點的線102a～線102b之間振動。

如圖12（b）所示，在第二次振動模式B下，以位於立於框體43上的鏡筒42的根基的支點、及位於鏡筒42的上方的支點兩者為支點而振動。因此，藉由在鏡筒42的頂部配置加速度感測器61（或應變感測器63），加速度感測器61（或應變感測器63）能夠以最大的振動幅度檢測鏡筒42的振動。藉由以最大的振動幅度檢測鏡筒42的振動，可準確地掌握藉由抑制振動而獲得的振動的減少。

圖12（c）是表示鏡筒42的振動狀態為第三次振動模式C的圖。

在第三次振動模式C下，鏡筒42的多個質點是在多個質點之中的兩個質點103c、質點103d上分別屈曲的線103a～線103b之間振動。

如圖12（c）所示，在第三次振動模式C下，立於框體43上的鏡筒42是以位於鏡筒42的根基的支點、位於鏡筒42的中間的支點及位於鏡筒42的上方的支點三者作為支點而振動。因此，藉由將加速度感測器61（或應變感測器63）配置在位於鏡筒42的上方的振動幅度大的質點103c，加速度感測器61（或應變感測器63）能夠以最大的振動幅度，檢測鏡筒42的振動。藉由以最大的振動幅度檢測鏡筒42的振動，可準確地掌握藉由抑制振動而獲得的振動的減少。

如以上說明，搭載於電子射束描繪裝置41上的各種實施方式的制振系統具有將線性延伸的致動器單元4設置於鏡筒42與框體43之間的簡單結構。該些制振系統與先前的制振系統相比，小型，重量輕，因此無需用於致動器單元的牢固的支持結構，可防止電子射束描繪裝置41的大型化或重量的增加。由於無需用以安裝致動器單元的支柱或壁等追加的支持結構，因此可進一步減少用以安裝致動器單元的裝置內的空間。此外，由於安裝致動器單元的位置的自由度高，因此可將致動器單元配置於對振動更有效的部位。

電子射束描繪裝置41具有用以防止來自地面的振動的傳播的制震機構或免震機構，但藉由搭載制振系統而導致的電子射束描繪裝置41的重量的增加少。因此，搭載本實施方式的制振系統的電子射束描繪裝置41無需大的設置面積。並且，藉由搭載本實施方式的制振系統而導致的裝置41的重量增加少，因此亦可進一步增強電子射束描繪裝置41的設置部位的底板，以承受裝置41的重量。

已說明本發明的若干實施方式，但該些實施方式是作為例示起提示作用，而並非意圖限定發明的範圍。該些新穎的實施方式可藉由其他各種方式來實施，在不脫離發明的主旨的範圍內，可進行各種省略、置換、變更。該些實施方式及其變形包含於發明的範圍或主旨內，並且包含於申請專利範圍所記載的發明及其同等的範圍內。

1‧‧‧制振系統 2‧‧‧基體 3‧‧‧被制振體 4、31、32、36、37‧‧‧致動器單元 5‧‧‧振動檢測部 6‧‧‧振動檢測感測器 6a‧‧‧第1感測器 6b‧‧‧第2感測器 7、56‧‧‧控制器 8‧‧‧電源 10、10a、10b、18、19、21、25、38‧‧‧壓電元件 11‧‧‧薄膜壓電體（壓電體） 11a～11d、22、23、26、27‧‧‧壓電體 12、35‧‧‧支持構件 13、14、33、34、39‧‧‧固定部 13a、14a‧‧‧連接部 15、24、28‧‧‧基材 15a、24a、28a‧‧‧平坦部 15b‧‧‧端部 16‧‧‧螺栓（固定物） 41‧‧‧電子射束描繪裝置（裝置） 42‧‧‧鏡筒 43‧‧‧框體 44‧‧‧防振構件 45‧‧‧腳部 46‧‧‧電子槍 47‧‧‧光學系統 48‧‧‧平台 49‧‧‧試料 50‧‧‧平台驅動機構 51‧‧‧高壓電源 52‧‧‧透鏡驅動部 53‧‧‧抽吸系統 54‧‧‧平台驅動控制部 55‧‧‧電子射束 57‧‧‧致動器驅動電源 58‧‧‧閘門 59‧‧‧試料搬運機構 61‧‧‧加速度感測器 62‧‧‧加速度檢測部 63‧‧‧應變感測器 64‧‧‧應變檢測部 101、102c、103c、103d‧‧‧質點 101c‧‧‧質點（代表質點） 101a、101b、102a、102b、103a、103b‧‧‧線 a‧‧‧角度（傾斜角） A‧‧‧第一次振動模式 B‧‧‧第二次振動模式 C‧‧‧第三次振動模式 m‧‧‧伸縮方向

圖1是表示本發明的第1實施方式的制振系統的概念性結構的圖。 圖2（a）是自正面觀察第1實施方式的致動器單元時的外觀圖。 圖2（b）是自上方觀察第1實施方式的致動器單元時的外觀圖。 圖3表示第2實施方式的壓電元件中的壓電體的結構例。 圖4表示第3實施方式的壓電元件中的壓電體的積層結構例。 圖5表示第4實施方式的壓電元件中的壓電體的配置結構例。 圖6表示第5實施方式的壓電元件中的壓電體的配置結構例。 圖7是自上方觀察第1變形例的致動器單元時的外觀圖。 圖8是自上方觀察第2變形例的致動器單元時的外觀圖。 圖9概念性地表示制振系統的變形例中的致動器單元的配置例。 圖10是自側方觀察第3變形例的致動器單元時的外觀圖。 圖11表示應用有第1實施方式的制振系統的光學裝置即電子射束描繪裝置的概念性結構例。 圖12（a）表示鏡筒的振動狀態處於第一次振動模式A的情況。 圖12（b）表示鏡筒的振動狀態處於第二次振動模式B的情況。 圖12（c）表示鏡筒的振動狀態處於第三次振動模式C的情況。

1‧‧‧制振系統

2‧‧‧基體

3‧‧‧被制振體

4‧‧‧致動器單元

5‧‧‧振動檢測部

6‧‧‧振動檢測感測器

6a‧‧‧第1感測器

6b‧‧‧第2感測器

7‧‧‧控制器

8‧‧‧電源

10‧‧‧壓電元件

11‧‧‧薄膜壓電體

12‧‧‧支持構件

13、14‧‧‧固定部

13a、14a‧‧‧連接部

m‧‧‧伸縮方向

a‧‧‧角度(傾斜角)

Claims (16)

1. 一種制振系統，抑制搭載於基體上的被制振體的振動，所述制振系統包括： 致動器單元，分別具有可伸縮的壓電元件，為了將所述被制振體的側面與所述基體之間加以連結，自所述被制振體的側面的至少3個圓周方向上不同的位置起，沿至少3個不同的方向延伸至所述基體； 驅動電源，為了使所述壓電元件伸縮，將驅動電壓供給至所述致動器單元的所述壓電元件； 振動檢測部，檢測包括所述振動的量及方向的所述被制振體的振動的狀態；以及 振動控制器，以所述致動器單元分別在所述被制振體沿遠離所述致動器單元的方向移動時收縮，在所述被制振體沿朝向所述致動器單元的方向移動時伸長的方式，基於所述振動檢測部所檢測出的所述振動的狀態，對所述驅動電源供給至所述壓電元件的電壓進行控制，從而對所述被制振體的振動的抑制進行控制。
2. 如申請專利範圍第1項所述的制振系統，其中 所述致動器單元分別進而包括： 可變形的平板狀的基材；以及 壓電體，為了形成所述壓電元件而搭載於所述基材上。
3. 如申請專利範圍第2項所述的制振系統，其中所述致動器單元分別進而包括固定構件，所述固定構件是與所述壓電元件成行地配置，且以將所述壓電元件固定於所述被制振體的側面及所述基體的方式而構成。
4. 如申請專利範圍第1項所述的制振系統，其中所述致動器單元在配置於所述被制振體的側面與所述基體之間時，自所述被制振體的側面向所述基體傾斜地延伸。
5. 如申請專利範圍第1項所述的制振系統，其中所述致動器單元分別包括並聯或串聯地具有多個壓電體的所述壓電元件。
6. 如申請專利範圍第1項所述的制振系統，其中所述致動器單元分別包括並聯或串聯地配置的多個壓電元件。
7. 如申請專利範圍第1項所述的制振系統，其中所述振動檢測部設置於所述被制振體的振動具有最大的振幅的位置上。
8. 一種光學裝置，包括： 框體，收容可移動的平台； 鏡筒，配置於所述框體上；以及 制振系統，抑制藉由所述平台的移動而產生的所述鏡筒的振動；且 所述制振系統包括： 致動器單元，分別具有可收縮的壓電元件，為了將所述鏡筒的側面與所述框體之間加以連結，自所述鏡筒的側面的至少3個圓周方向上不同的位置起，沿至少3個不同的方向延伸至所述框體； 驅動電源，為了使所述壓電元件伸縮，將驅動電壓供給至所述致動器單元的所述壓電元件； 振動檢測部，檢測包括所述振動的量及方向的所述被制振體的振動的狀態；以及 振動控制器，以所述致動器單元分別在所述鏡筒沿遠離所述致動器單元的方向移動時收縮，在所述鏡筒沿朝向所述致動器單元的方向移動時延伸的方式，基於所述振動檢測部所檢測出的所述振動的狀態，對所述驅動電源供給至所述壓電元件的電壓進行控制，從而對所述鏡筒的振動的抑制進行控制。
9. 如申請專利範圍第8項所述的光學裝置，其中 所述致動器單元分別進而包括： 可變形的平板狀的基材；以及 壓電體，為了形成所述壓電元件，搭載於所述基材上。
10. 如申請專利範圍第9項所述的光學裝置，其中所述致動器單元分別進而包括固定構件，所述固定構件是與所述壓電元件成行地配置，且以將所述壓電元件固定於所述鏡筒的側面與所述框體的方式而構成。
11. 如申請專利範圍第8項所述的光學裝置，其中所述振動檢測部包括檢測所述鏡筒的所述振動的狀態的加速度檢測器。
12. 如申請專利範圍第8項所述的光學裝置，其中所述振動檢測部包括檢測所述鏡筒的振動的狀態的應變檢測器。
13. 如申請專利範圍第8項所述的光學裝置，其中所述振動檢測部包括光檢測器，所述光檢測器藉由在光學上測量至所述鏡筒為止的距離來檢測所述鏡筒的振動的狀態。
14. 如申請專利範圍第8項所述的光學裝置，其中所述致動器單元在配置於所述鏡筒的側面與所述框體之間時，自所述鏡筒的側面的至少3個圓周方向上不同的位置起，沿至少3個不同的方向朝向所述框體傾斜地延伸。
15. 如申請專利範圍第8項所述的光學裝置，其中所述致動器單元分別包括並聯或串聯地具有多個壓電體的所述壓電元件。
16. 如申請專利範圍第8項所述的光學裝置，其中所述致動器單元分別包括並聯或串聯地配置的多個壓電元件。

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