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TWI740077B - 半導體裝置封裝及其製造方法 - Google Patents

半導體裝置封裝及其製造方法 Download PDF

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TWI740077B
TWI740077B TW107143572A TW107143572A TWI740077B TW I740077 B TWI740077 B TW I740077B TW 107143572 A TW107143572 A TW 107143572A TW 107143572 A TW107143572 A TW 107143572A TW I740077 B TWI740077 B TW I740077B
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transparent
emitter
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Inventor
何信穎
詹勳偉
Original Assignee
日月光半導體製造股份有限公司
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Abstract

本發明提供一種半導體裝置封裝，其包括一載體、一發射體及一第一透明封裝體。該載體具有一第一表面。該發射體設置於該第一表面上。該第一透明封裝體封裝該發射體。該第一透明封裝體包括一主體及一透鏡部分。該主體具有一第一平面表面。該透鏡部分設置於該主體上且具有一第一平面表面。該透鏡部分之該第一平面表面與該主體之該第一平面表面實質上共面。

Description

半導體裝置封裝及其製造方法
本申請大體上係關於半導體裝置封裝及其製造方法。更特定而言，本申請係關於包括近接感測器之半導體裝置封裝及其製造方法。
在半導體裝置封裝中，近接感測器係用於感測在短距離內之物件。近接感測器包括用於發射光束至物件的發射體及用於接收由該物件反射之光束的感測器。為避免防護玻璃罩所誘發之串擾，將封蓋設置於發射體及感測器上方以限制光束的入射角。然而，當物件接近防護玻璃罩時，封蓋亦阻擋反射光束。因此，在物件接近感測器時，感測器可能不會感測到反射光束。
本申請之一些實施例提供一種半導體裝置封裝，其包括載體、發射體及第一透明封裝體。該載體具有第一表面。該發射體設置於該第一表面上。該第一透明封裝體封裝該發射體。該第一透明封裝體包括主體及透鏡部分。該主體具有第一平面表面。該透鏡部分設置於該主體上且具有第一平面表面。該透鏡部分之該第一平面表面與該主體之該第一平面表面實質上共面。
本申請之一些實施例提供一種半導體裝置封裝，其包括載體、發射體及第一透明封裝體。該載體具有第一表面。該發射體設置於該第一表面上。該第一透明封裝體封裝發射體且包括主體及透鏡部分。該主體具有第一表面及第一平面表面。該透鏡部分設置於該主體上且具有彎曲表面。該主體之第一表面自透鏡部分之彎曲表面朝著載體延伸。該主體之第一平面表面自該主體之第一表面朝著載體延伸。
本申請之一些實施例提供一種形成半導體裝置封裝之方法。該方法包括將發射體設置在載體之第一側面上及附近。該方法進一步包括藉由具有透鏡部分及主體之第一透明封裝體封裝發射體。該方法進一步包括移除第一透明封裝體中靠近載體之第一側面之邊緣的一部分及在主體上形成第一平面表面。該主體具有第一表面。
1:半導體裝置封裝
1a:半導體裝置封裝
1e:半導體裝置封裝
2:半導體裝置封裝
2a:半導體裝置封裝
3m:透明封裝體
3n:透明封裝體
3o:透明封裝體
3p:透明封裝體
3q:透明封裝體
3r:透明封裝體
4:電子裝置
4b:電子裝置
4c:電子裝置
4d:電子裝置
9:半導體裝置封裝
10:載體
12:封蓋
12':封蓋
13:透明封裝體
13':透明封裝體
13":透明封裝體
14:透明封裝體
16:透明板/觸控式螢幕
17:漫射體
23:透明封裝體
23':透明封裝體
33a:透明封裝體
33b:透明封裝體
33c:透明封裝體
33d:透明封裝體
33e:透明封裝體
33f:透明封裝體
33g:透明封裝體
33h:透明封裝體
33i:透明封裝體
33j:透明封裝體
33k:透明封裝體
33l:透明封裝體
33m:透明封裝體
33n:透明封裝體
33o:透明封裝體
33p:透明封裝體
33q:透明封裝體
33r:透明封裝體
40:目標
41:粗糙表面
92:封蓋
111:發射體
112:感測器
113:感測器
114:半導體裝置
121:上部
122:下部
131:透鏡部分
131':透鏡部分
132:主體
132':主體
151:黏著劑
151':黏著劑
151a:黏著劑
152:黏著劑
152':黏著劑
153:黏著劑
153':黏著劑
161:頂表面
231:透鏡部分
232:主體
當結合附隨圖式閱讀時，自以下實施方式最佳地理解本申請之態樣。應注意，各種特徵可能未按比例繪製，且各種特徵之尺寸可出於論述之清晰起見而任意增大或減小。
圖1A說明根據本申請之一些實施例之半導體裝置封裝的橫截面視圖。
圖1B說明根據本申請之一些實施例之半導體裝置封裝的橫截面視圖。
圖2A說明根據本申請之一些實施例之半導體裝置封裝之一部分的透視圖。
圖2B說明根據本申請之一些實施例之半導體裝置封裝之一部分的透視圖。
圖3A說明根據本申請之一些實施例之封裝體的橫截面視圖。
圖3B說明根據本申請之一些實施例之封裝體的橫截面視圖。
圖3C說明根據本申請之一些實施例之封裝體的橫截面視圖。
圖3D說明根據本申請之一些實施例之封裝體的橫截面視圖。
圖3E說明根據本申請之一些實施例之封裝體的橫截面視圖。
圖3F說明根據本申請之一些實施例之封裝體的橫截面視圖。
圖3G說明根據本申請之一些實施例之封裝體的橫截面視圖。
圖3H說明根據本申請之一些實施例之封裝體的橫截面視圖。
圖3I說明根據本申請之一些實施例之封裝體的橫截面視圖。
圖3J說明根據本申請之一些實施例之封裝體的橫截面視圖。
圖3K說明根據本申請之一些實施例之封裝體的橫截面視圖。
圖3L說明根據本申請之一些實施例之封裝體的橫截面視 圖。
圖3M說明根據本申請之一些實施例之封裝體的橫截面視圖。
圖3N說明根據本申請之一些實施例之封裝體的橫截面視圖。
圖3O說明根據本申請之一些實施例之封裝體的橫截面視圖。
圖3P說明根據本申請之一些實施例之封裝體的橫截面視圖。
圖3Q說明根據本申請之一些實施例之封裝體的橫截面視圖。
圖3R說明根據本申請之一些實施例之封裝體的橫截面視圖。
圖4A說明根據本申請之一些實施例之電子裝置的橫截面視圖。
圖4B說明根據本申請之一些實施例之電子裝置之操作的光路。
圖4C說明根據本申請之一些實施例之電子裝置之操作的光路。
圖5A說明根據本申請之一些實施例之電子裝置之操作的光路。
圖5B說明根據本申請之一些實施例之電子裝置之操作的光路。
圖6A說明根據本申請之一些實施例之半導體裝置封裝的橫截面視圖。
圖6B說明根據本申請之一些實施例之半導體裝置封裝的橫截面視圖。
圖7A、圖7B、圖7C、圖7D及圖7E為根據本申請之一些實施例之在各階段製造的半導體裝置封裝的橫截面視圖。
圖8A、圖8B、圖8C、圖8D及圖8E為根據本申請之一些實施例之在各階段製造的半導體裝置封裝的橫截面視圖。
圖9A說明根據本申請之一些實施例之半導體裝置封裝的透視圖。
圖9B說明根據本申請之一些實施例之圖9A中所示的半導體裝置封裝之操作的光路。
圖10A說明根據本申請之一些實施例之電子裝置的光路。
圖10B說明根據本申請之一些實施例之電子裝置的光路。
圖10C說明根據本申請之一些實施例之電子裝置的光路。
圖10D說明根據本申請之一些實施例之電子裝置的光路。
圖11A說明根據本申請之一些實施例之半導體裝置封裝的橫截面視圖。
圖11B說明根據本申請之一些實施例之圖11A中所示的半導體裝置封裝之一部分的放大視圖。
圖11C說明根據本申請之一些實施例之圖11A中所示的半導體裝置封裝之一部分的放大視圖。
圖11D說明根據本申請之一些實施例之圖11A中所示的半 導體裝置封裝之一部分的放大視圖。
貫穿該等圖式及實施方式使用共同參考數字以指示相同或類似元件。本申請將自結合隨附圖式之以下實施方式更顯而易見。
下文詳細論述本申請的實施例之製造及用途。然而，應瞭解，該等實施例涵蓋可實施於廣泛多種特定情境中之許多適用概念。應理解，以下揭示內容提供實施各種實施例之不同特徵的許多不同實施例或實例。下文出於論述之目的而描述組件及配置之特定實例。此等實例為例示性的且並不意欲為限制性的。
下文使用特定語言揭示圖式中所說明之實施例或實例。然而，將理解，實施例及實例並不意欲為限制性的。如相關領域中之一般技術者通常將想到，所揭示實施例之任何更改及修改，及本文中所揭示之原理的任何其他應用處於本申請之範疇內。
另外，本申請可在各種實例中重複參考數字及/或字母。此重複是出於簡單及清晰性之目的，且本身並不指示所論述之各種實施例及/或組態之間的關係。
圖1A說明根據本申請之一些實施例之半導體裝置封裝1的橫截面視圖。半導體裝置封裝1包括載體10、發射體111、感測器112及113、半導體裝置114、封蓋12、透明封裝體13及14及黏著劑151、152及153。
在一些實施例中，載體10可包括在其中及/或其上之電路。載體10可包括導電跡線。載體10可包括導電襯墊。載體10可包括導電通孔。載體10可包括半導體材料。載體10可包括導電材料。載體10可包括 絕緣材料(例如介電材料)。載體10可包括重佈層(RDL)。載體10可包括重佈層(RDL)。載體10可包括雙馬來醯亞胺三嗪(BT)、FR4、預浸體(PP)或其他適合的材料。載體10具有表面s1。
發射體111可包括發光二極體(LED)晶粒、雷射二極體/晶粒(例如垂直共振腔面射型雷射(VCSEL))或類似者。發射體111設置於載體10之表面s1上。發射體111可產生不同波長之光束。在一些實施例中，發射體111可產生光束。
感測器112及113設置於半導體裝置114之表面s2上。感測器113與封蓋12之開口o2之中心對準或靠近而具有對稱及較大接收角。感測器112設置為相比感測器113相對接近發射體111。在一些實施例中，感測器112為近接感測器。在一些實施例中，感測器113為環境光感測器(ALS)。在一些實施例中，感測器112及113可較佳地設計成更好地接收自發射體111發射之光、光束或光線。
半導體裝置114設置於載體10之表面s1上。半導體裝置114鄰近於發射體111設置。在一些實施例中，半導體裝置114可包括控制器晶粒，諸如特殊應用積體電路(ASIC)晶粒。在一些實施例中，感測器112及113中之一或兩者可整合至半導體裝置114中。
封蓋12可包括不透明材料。封蓋12可包括塑膠材料、聚合物、樹脂、金屬、金屬合金或其他適合的材料。封蓋12設置於載體10之表面s1上。封蓋12可包括在發射體111與感測器112之間的壁(圖1A中未表示)，以防止由發射體111發射之光束或光線直接到達感測器112。光束或光線可穿過開口o2並到達感測器112。封蓋12可包括在發射體111與感測器113之間的壁(圖1A中未表示)，以防止由發射體111發射之光束或光線直 接到達感測器113。封蓋12可包括在發射體111與半導體裝置114之間的壁(圖1A中未表示)，以防止由發射體111發射之光束或光線直接到達半導體裝置114。
封蓋12具有上部121及下部122。封蓋12定義或具有開口o1及o2。封蓋12之上部121定義開口o1。封蓋12之上部121定義開口o2。
開口o1與發射體111對準。開口o1在發射體111上方。開口o1暴露發射體111。自發射體111發射之光、光束或光線可穿過開口o1。
開口o2與感測器113對準。開口o2在感測器113上方。開口o2暴露感測器113。光、光束或光線可穿過開口o2並到達感測器113。開口o2與感測器112對準。開口o2與感測器113對準。開口o2在感測器112上方。開口o2在感測器113上方。開口o2暴露感測器112。開口o2暴露感測器113。
透明封裝體13可包括透明材料。光、光束或光線可穿過透明封裝體13。透明封裝體13設置於載體10之表面s1上。該透明封裝體封裝發射體111。
該透明封裝體13具有透鏡部分131及主體132。主體132在載體10之表面s1上。透鏡部分131在主體132上。透鏡部分131具有彎曲表面s11及平面表面s12。主體132具有平面表面s13及表面s14。
透鏡部分131之平面表面s12與主體132之平面表面s13實質上共面。透鏡部分131之平面表面s12實質上垂直於載體10之表面s1。主體132之平面表面s13實質上垂直於載體10之表面s1。透鏡部分131之平面表面s12及主體132之平面表面s13實質上垂直於載體10之表面s1。在主體132之平面表面s13與載體10之表面s1之間形成角度θ1。在一些實施例 中，角度θ1為大致90°。在一些實施例中，角度θ1為90°。
主體132之表面s14自透鏡部分131之彎曲表面s11朝著載體10延伸。透鏡部分131連接至主體132。透鏡部分131可包括斜面(圖1A中未表示)。透鏡部分131之斜率及主體132斜率可不同。在主體之表面s14與載體10之表面s1之間形成角度θ2。角度θ2小於90°。
主體132之表面s14可包括彎曲表面。主體之表面s11可包括彎曲表面。
透鏡部分131之平面表面s12的表面粗糙度不同於透鏡部分131之彎曲表面s11的表面粗糙度。透鏡部分131之平面表面s12的表面粗糙度大於透鏡部分131之彎曲表面s11的表面粗糙度。主體132之平面表面s13的表面粗糙度不同於主體132之表面s14的表面粗糙度。主體132之平面表面s13的表面粗糙度大於主體132之表面s14的表面粗糙度。透鏡部分131之平面表面s12的表面粗糙度與主體132之平面表面s13的表面粗糙度實質上相同。透鏡部分131之彎曲表面s11的表面粗糙度與主體132之表面s14的表面粗糙度實質上相同。
透明封裝體13可透光。透明封裝體13可對特定波長範圍之光透明。在一些實施例中，透明封裝體13對具有小於570nm之波長的光透明。在一些實施例中，透明封裝體13對具有380至450nm之波長的光透明。在一些實施例中，透明封裝體13對具有450至475nm之波長的光透明。在一些實施例中，透明封裝體13對具有475至495nm之波長的光透明。在一些實施例中，透明封裝體13對具有495至570nm之波長的光透明。在一些實施例中，透明封裝體13對具有570至590nm之波長的光透明。在一些實施例中，透明封裝體13對具有590至620nm之波長的光透 明。在一些實施例中，透明封裝體13對具有620至750nm之波長的光透明。在一些實施例中，透明封裝體13對具有至少750nm之波長的光透明。在大部分實施例中，透明封裝體13對具有780至1200nm之波長且對人眼不可見的光透明。
透明封裝體14設置於載體10之表面s1上。透明封裝體14封裝感測器112及113以及半導體裝置114。透明封裝體14覆蓋感測器112。透明封裝體14覆蓋感測器113。透明封裝體14可包括透明材料。光、光束或光線可穿過透明封裝體14。在一些實施例中，透明封裝體14對特定波長範圍的光透明。在一些實施例中，透明封裝體14可與透明封裝體13包括相同材料。在一些實施例中，透明封裝體14可包括與透明封裝體13之材料不同的材料。
黏著劑151、152及153設置於載體10與封蓋12之間。封蓋12藉由黏著劑151、152及153附接或安裝至載體之表面s1上。在一些實施例中，黏著劑151、152及153包括不透明材料。在一些實施例中，黏著劑151包括光學反射材料。在一些實施例中，黏著劑152包括光學反射材料。在一些實施例中，黏著劑153包括光學反射材料。
黏著劑151、152及153流入封蓋12與透明封裝體13及14之間的空間中。具體而言，具有高度或厚度A1之黏著劑151在封蓋12與主體132之平面表面s13之間。具有高度或厚度A2之黏著劑152在封蓋12與主體132之表面s14之間。具有高度或厚度A3之黏著劑153在封蓋12與透明封裝體14之間。A1實質上小於A2。A2與A3實質上相同。A1實質上小於A3。
圖1B說明根據本申請之一些實施例之半導體裝置封裝2的橫截面視圖。除了半導體裝置封裝1之透明封裝體13由半導體裝置封裝2 之透明封裝體23替換以外，半導體裝置封裝2類似於參考圖1A說明及描述之半導體裝置封裝1。
透明封裝體23具有透鏡部分231及主體232。主體232設置於載體10之表面s1上。透鏡部分231在主體232上。
透鏡部分231具有彎曲表面s21。主體232具有表面s22及平面表面s23。主體232之平面表面s23實質上垂直於載體10之表面s1。在主體232之平面表面s23與載體10之表面s1之間形成角度θ1。在一些實施例中，角度θ1為大致90°。主體232之表面s22自透鏡部分231之彎曲表面s21朝著載體10延伸。平面表面s23自主體232之表面s22朝著載體10延伸。在一些實施例中，透鏡部分231連接至主體232。
主體232具有斜面(圖1B中未表示)。在主體232之表面s22與載體10之表面s1之間形成角度θ2。在一些實施例中，角度θ2可小於90°。
透鏡部分231之表面s21可包括彎曲表面。主體232之表面s22可包括彎曲表面。
透鏡部分231之彎曲表面s21的表面粗糙度與主體之表面s22的表面粗糙度實質上相同。主體232之平面表面s23的表面粗糙度不同於主體232之表面s22的表面粗糙度。主體232之平面表面s23的表面粗糙度不同於透鏡部分231之彎曲表面s21的表面粗糙度。主體232之平面表面s23的表面粗糙度大於主體232之表面s22的表面粗糙度。主體232之平面表面s13的表面粗糙度大於透鏡部分231之彎曲表面s21的表面粗糙度。
透明封裝體23可對特定波長範圍之光透明。在一些實施例中，透明封裝體23對具有小於570nm之波長的光透明。在一些實施例 中，透明封裝體13對具有380至450nm之波長的光透明。在一些實施例中，透明封裝體23對具有450至475nm之波長的光透明。在一些實施例中，透明封裝體23對具有475至495nm之波長的光透明。在一些實施例中，透明封裝體23對具有495至570nm之波長的光透明。在一些實施例中，透明封裝體23對具有570至590nm之波長的光透明。在一些實施例中，透明封裝體23對具有590至620nm之波長的光透明。在一些實施例中，透明封裝體23對具有620至750nm之波長的光透明。在一些實施例中，透明封裝體23對具有至少750nm之波長的光透明。在大部分實施例中，透明封裝體13對具有780至1200nm之波長且對人眼不可見的光透明。
圖2A說明參考圖1A說明及描述之半導體裝置封裝1之一部分的透視圖。
如圖2A中所示，透鏡部分131之表面s12與主體132之表面s13實質上共面。透鏡部分131之表面s12實質上垂直於載體10之表面s1。主體132之平面表面s13實質上垂直於載體10之表面s1。透鏡部分131之平面表面s12及主體132之平面表面s13實質上垂直於載體10之表面s1。在一些實施例中，主體132之表面s14可包括彎曲表面。
主體132之平面表面s13與發射體111之間的距離小於主體132之表面s14與發射體111之間的距離。
圖2B說明參考圖1B說明及描述之半導體裝置封裝2之一部分的透視圖。
如圖2B中所示，主體232之平面表面s23實質上垂直於載體10之表面s1。主體232之表面s22自透鏡部分231之彎曲表面s21朝著載體 10延伸。主體232之平面表面s23自主體232之表面s22朝著載體10延伸。
主體232之表面s21可包括彎曲表面。主體232之平面表面s23與發射體111之間的距離小於主體232之表面s22與發射體111之間的距離。
圖3A至圖3R說明根據本申請之一些實施例之各種透明封裝體33a至33r的橫截面視圖。
在一些實施例中，諸如包括透明封裝體33a至33f之實施例，透鏡部分具有彎曲表面及連接至主體之平面表面的平面表面。主體具有連接至透鏡部分之彎曲表面的表面及連接至透鏡部分之平面表面的平面表面。透鏡部分之平面表面與主體之平面表面實質上共面。
在一些實施例中，諸如包括透明封裝體33g至33l之實施例，透鏡部分具有彎曲表面。主體具有彎曲表面及表面，該兩者均連接至透鏡部分之彎曲表面。
在一些實施例中，諸如包括透明封裝體3m至3r之實施例，透鏡部分具有彎曲表面。該主體具有第一平面表面、第二平面表面及表面。該主體之第一平面表面自透鏡部分之彎曲表面朝著載體延伸。主體之第二平面表面連接於透鏡部分之彎曲表面與主體之表面之間且平行於載體之表面。主體之彎曲表面自主體之第二平面表面朝著載體之表面延伸。
在一些實施例中，角度θ1為大致90°。在一些具體實例中，角度θ1大於90°。在一些實施例中，角度θ2小於90°。在一些實施例中，角度θ2為大致90°。在一些實施例中，角度θ2大於90°。
圖4A說明根據本申請之一些實施例之電子裝置4的橫截面視圖。電子裝置4具有參考圖1A說明及描述之半導體裝置封裝1及透明板 16。
透明板16可設置於半導體裝置封裝1上方或之上。透明板16可包括透明材料，諸如玻璃、聚合物、塑膠等。透明板16可設置於半導體裝置封裝1上。透明板16可具有實質上光滑或平面的頂表面161。透明板16可具有實質上光滑或平面的底表面(圖4A中未表示)。透明板16上之入射光光束或光線可穿過透明板16及開口o2以到達感測器112及113。
圖4B說明根據本申請之一些實施例之電子裝置4之操作的光路。
在操作中，目標40置放於電子裝置4之透明板16上。在目標40與電子裝置4之透明板16之間存在距離D1(圖4B中未表示)。在圖4B中，目標40非常接近透明板16或接觸透明板16，因此距離D1幾乎為0。在透明板16之底表面(圖4B中未表示)與封蓋12之頂表面(圖4B中未表示)之間存在距離D2。
舉例而言，在操作中，自發射體111發射之光束E1可由主體132之平面表面s13反射。藉由透鏡部分131之彎曲表面s11會聚反射光束R1。反射光束R2離開透明封裝體13。光束R2在進入空氣時折射。折射光束R2在進入透明板16時折射。折射光束R3由目標40之相對粗糙表面41反射。反射光束R4離開透明板16(光束R4在離開透明板16時的折射並未在圖4B中展示)，進入透明封裝體14(光束R4在進入透明封裝體14時的折射並未在圖4B中展示)並到達感測器112。簡言之，當目標40與透明板16接觸時，半導體裝置封裝4之感測器112能夠感測自發射體111發射且由目標40反射之光束。
在一些實施例中，發射體111為近接感測器，且因此由感 測器112接收或偵測到的光束可用於判定目標40與電子裝置4之間的距離。
在一些實施例中，電子裝置4為行動電話且透明板16為防護玻璃罩，且因此，當由感測器112接收或偵測到光束時，半導體裝置114可關閉觸控式螢幕16。
在一些實施例中，電子裝置4為行動電話且透明板16為觸控式螢幕，其中一旦感測器112接收或偵測到光束R4，則觸控式螢幕16關閉。舉例而言，當使用者撿拾電子裝置4來應答電話呼叫時，其臉部(例如目標40)可觸碰(或接觸)觸控式螢幕16而不會觸發電子裝置4之其他操作。
雖然圖4A及圖4B中未展示，但預期，當目標40與電子裝置4或透明板16間隔一距離時(亦即，距離D1大於0)，自發射體111發射之光束由目標40之表面41反射且到達感測器112以判定透明板16與目標40之間的距離。
距離D1及D2之參數詳述於下表1中。
舉例而言，若自發射體111發射之信號(光束)的功率為1.17mW，則距離D1為0mm，距離D2為0.2mm，目標40之反射率為5%，且由感測器112接收之信號(光束)的功率為0.40毫微瓦(nW)。
在另一實例中，若自發射體111發射之信號(光束)的功率為1.17mW，則距離D1為30mm，距離D2為0.2mm，且目標40之反射率為26%，且由感測器112接收之信號(光束)的功率為0.83毫微瓦(nW)。
在另一實例中，若自發射體111發射之信號(光束)的功率為1.17mW，則距離D1為0mm，距離D2為0.4mm，目標40之反射率為5%，且由感測器112接收之信號(光束)的功率為0.59毫微瓦(nW)。
在另一實例中，若自發射體111發射之信號(光束)的功率為1.17mW，則距離D1為30mm，距離D2為0.4mm，且目標40之反射率為26%，且由感測器112接收之信號(光束)的功率為0.86毫微瓦(nW)。
Figure 107143572-A0305-02-0018-1
圖4C說明根據本申請之一些實施例之相對於透鏡部分131的出射角θ3。光束R2與透鏡部分131之法線方向N之間的角度θ3為大致50°。
圖5A說明根據本申請之一些實施例之電子裝置4之操作的光路。
自發射體111發射之光束E1可由主體132之平面表面s13以入射角φ4反射。反射光束R1具有反射角φ4。光束R1以入射角φ1到達透鏡部分131之彎曲表面s11。光束R1在進入空氣時折射。折射光束R2具有折射角φ2。折射光束R2以入射角φ2到達透明板16。光束R2在進入透明板16時折射。折射光束R3具有折射角φ3。折射光束R3由目標40之相對粗糙表面41反射。反射光束R4離開透明板16(光束R4的折射並未在圖5A中說明)，進入透明封裝體14(光束R4的折射並未在圖5A中說明)，並到達感測器112。
H1表示發射體111之頂表面之水平/高度與主體132之平面表面s13上的入射點/位置之水平/高度之間的豎直/高程距離。H2表示主體132之平面表面s13上之入射點/位置的水平/高度與透鏡部分131之頂部的水平/高度之間的豎直/高程距離。H3表示透鏡部分131之頂部與封蓋12之頂部之間的豎直/高程距離。H4表示封蓋12之頂部與透明板16之間的氣隙/ 豎直距離。H5表示透明板16之厚度/高度。H6表示發射體111之頂表面之水平/高度與載體10之表面s1之水平/高度之間的豎直/高程距離。
L1表示感測器112與穿過透明板16之入射點的假想豎直線之間的水平/側向距離。L2表示主體132之平面表面s13與發射體111之間的水平/側向距離。L3表示發射體111之中心與穿過透明板16之入射點的假想豎直線之間的水平/側向距離。L4表示發射體111之中心與發射體111之邊緣之間的水平/側向距離(或發射體111之寬度的一半)。L5表示發射體111之發射點/位置(光束E1自其發射)與主體132之平面表面s13之間的水平/側向距離。
在一些實施例中，發射體111之中心與感測器112之中心之間的距離為1mm。假定H3為0.15mm，H4為0.4mm且H5為0.7mm。距離H3、H4、H5、L1及L3滿足如下文所展示之方程式1及2。
方程式1：(H3+H4)* tan(φ2)+H5 * tan(φ3)=L1+L3=1
方程式2：1.5 * sin(φ3)=1 * sin(φ2)
方程式1展示側向距離與豎直距離之間的轉換。方程式2展示光束R2在進入透明板16時的折射，其中1.5及1分別為透明板16及空氣之折射率。基於以上假定及方程式，角度為φ2為大致47.69°。另外，當角度φ2為47.69°時，對應距離L2及L5分別為0.1mm及0.13mm，其仍滿足標準L5-L2>0。
圖5B說明根據本申請之一些實施例之電子裝置4之操作的光路。
在L5大於L2之條件下，最大距離L2(或最小距離L5)在L5等於L2時出現。為進一步判定距離L2之最大值，將如下文所展示之方程 式3、4及5納入考慮範圍中。
方程式3：1.57 * sin(φ1)=1 * sin(φ2)
方程式4：φ1+φ4=90°
方程式：H1+H2=L2 tan(φ4)+(L2+L4)* tan(φ4)=0.59mm
方程式3展示當光束R1進入空氣時的折射，其中1.57及1分別為透明封裝體13及空氣之折射率。方程式4展示角度φ1及φ4為餘角。方程式5展示側向距離與豎直距離之間的轉換。此外，方程式5進一步假定發射體111之頂表面之水平/高度與透鏡部分131之頂部之水平/高度之間的豎直/高程距離為0.59mm。
在一些實施例中，在L4為0.085mm之條件下，根據以上假定及方程式3、4及5，可獲得最大值L2=0.115mm。
在不同距離H4及L2下由感測器112接收之功率的值展示於下表2中。
參考表2中之第一行，其展示在透明封裝體13之角度θ1小於90°時由電子裝置4之感測器112接收之功率的量。換言之，主體132之平面表面s13為傾斜(leaning/tilted/sloping/inclined)表面。
舉例而言，若自電子裝置4之發射體111發射之信號(光束)的功率為1.17mW，則距離H4為0.4mm，目標40與透明板16之間的距離為0mm，目標40之反射率為5%，且由電子裝置4之感測器112接收之信號(光束)的功率為0.5毫微瓦(nW)。
在另一實例中，若自電子裝置4之發射體111發射之信號(光束)的功率為1.17mW，則距離H4為0.2mm，目標40與透明板16之間的距離為0mm，目標40之反射率為5%，由電子裝置4之感測器112接收之 信號(光束)的功率為0.30毫微瓦(nW)。
參考表2中之第二行，其展示在主體132之平面表面s13與發射體111之邊緣之間的距離L2為0.15mm時由電子裝置4之感測器112接收之功率的量。
舉例而言，若自電子裝置4之發射體111發射之信號(光束)的功率為1.17mW，則距離H4為0.4mm，目標40與透明板16之間的距離為0mm，目標40之反射率為5%，且由電子裝置4之感測器112接收之信號(光束)的功率為1.1毫微瓦(nW)。
在另一實例中，若自電子裝置4之發射體111發射之信號(光束)的功率為1.17mW，則距離H4為0.2mm，目標40與透明板16之間的距離為0mm，目標40之反射率為5%，且由電子裝置4之感測器112接收之信號(光束)的功率為0.30毫微瓦(nW)。
參考表2中之第三行，其展示在主體132之平面表面s13與發射體111之邊緣之間的距離L2為0.1mm時由電子裝置4之感測器112接收之功率的量。
舉例而言，若自電子裝置4之發射體111發射之信號(光束)的功率為1.17mW，則距離H4為0.4mm，目標40與透明板16之間的距離為0mm，目標40之反射率為5%，且由電子裝置4之感測器112接收之信號(光束)的功率為6.3毫微瓦(nW)。
在另一實例中，若自電子裝置4之發射體111發射之信號(光束)的功率為1.17mW，則距離H4為0.2mm，目標40與透明板16之間的距離為0mm，目標40之反射率為5%，且由電子裝置4之感測器112接收之信號(光束)的功率為1.7毫微瓦(nW)。
參考表2中之第四行，其展示在主體132之平面表面s13與發射體111之邊緣之間的距離L2為0.05mm時由電子裝置4之感測器112接收之功率的量。
舉例而言，若自電子裝置4之發射體111發射之信號(光束)的功率為1.17mW，則距離H4為0.4mm，目標40與透明板16之間的距離為0mm，目標40之反射率為5%，且由電子裝置4之感測器112接收之信號(光束)的功率為7.2毫微瓦(nW)。
對於另一實例，若自電子裝置4之發射體111發射之信號(光束)的功率為1.17mW，則距離H4為0.2mm，目標40與透明板16之間的距離為0mm，目標40之反射率為5%，且由電子裝置4之感測器112接收之信號(光束)的功率為1.4毫微瓦(nW)。
根據表2，在主體132之豎直平面表面s13至發射體111之間的距離小於0.1mm時，電子裝置4具有相對較好效能。
Figure 107143572-A0305-02-0022-2
圖6A說明根據本申請之一些實施例之半導體裝置封裝1a的橫截面視圖。除了半導體裝置封裝1之黏著劑151由黏著劑151替換以及半導體裝置封裝1a之厚度或高度A4以外，參考圖1A說明及描述之半導體裝置封裝1類似於半導體裝置封裝1a。
在一些實施例中，黏著劑151a可包括不透明材料。黏著劑152可包括不透明材料。黏著劑153可包括不透明材料。黏著劑151a及152可圍繞透明封裝體13。黏著劑152及153可圍繞透明封裝體14。
與主體132之平面表面s13接觸之黏著劑151a之厚度或高度 A4小於H1與H6之總和，其中H1表示發射體111之頂表面之水平/高度與透鏡部分131之彎曲表面s11上之入射點/位置之水平/高度之間的豎直/高程距離，且H6表示發射體111之頂表面之水平/高度與載體10之表面s1之水平/高度之間的豎直/高程距離。靠近主體132之平面表面s13之黏著劑151a的厚度或高度A4小於H1與H6之總和。圍繞主體132之平面表面s13之黏著層151a的厚度或高度A4小於H1與H6之總和。
在一些實施例中，黏著劑151a可包括光學反射材料。黏著劑152可包括不透明材料。黏著劑152可包括光學反射材料。黏著劑153可包括不透明材料。黏著劑153可包括光學反射材料。黏著劑151a及152可圍繞透明封裝體13。黏著劑152及153可圍繞透明封裝體14。
與主體132之平面表面s13接觸之黏著劑151a之厚度或高度A4等於H1與H6之總和，其中H1表示發射體111之頂表面之水平/高度與透鏡部分131之彎曲表面s11上之入射點/位置之水平/高度之間的豎直/高程距離，且H6表示發射體111之頂表面之水平/高度與載體10之表面s1之水平/高度之間的豎直/高程距離。靠近主體132之平面表面s13之黏著劑151a的厚度或高度A4等於H1與H6之總和。圍繞主體132之平面表面s13之黏著層151a的厚度或高度A4等於H1與H6之總和。
在一些實施例中，黏著劑151a可包括光學反射材料。黏著劑152可包括不透明材料。黏著劑152可包括光學反射材料。黏著劑153可包括不透明材料。黏著劑153可包括光學反射材料。黏著劑151a及152可圍繞透明封裝體13。黏著劑152及153可圍繞透明封裝體14。
與主體132之平面表面s13接觸之黏著劑151a之厚度或高度A4大於H1與H6之總和，其中H1表示發射體111之頂表面之水平/高度與透 鏡部分131之彎曲表面s11上之入射點/位置之水平/高度之間的豎直/高程距離，且H6表示發射體111之頂表面之水平/高度與載體10之表面s1之水平/高度之間的豎直/高程距離。靠近主體132之平面表面s13之黏著劑151a的厚度或高度A4大於H1與H6之總和。圍繞主體132之平面表面s13之黏著層151a的厚度或高度A4大於H1與H6之總和。
圖6B說明根據本申請之一些實施例之半導體裝置封裝2a的橫截面視圖。除了半導體裝置封裝2之黏著劑151由半導體裝置封裝2a之黏著劑151a替換以外，參考圖2A說明及描述之半導體裝置封裝2類似於半導體裝置封裝2a。
在一些實施例中，黏著劑151a可包括不透明材料。黏著劑152可包括不透明材料。黏著劑153可包括不透明材料。黏著劑151a及152可圍繞透明封裝體23。黏著劑152及153可圍繞透明封裝體14。
與主體232之平面表面s23接觸之黏著劑151a之厚度或高度A4小於H1與H6之總和，其中H1表示發射體111之頂表面之水平/高度與透鏡部分231之彎曲表面s21上之入射點/位置之水平/高度之間的豎直/高程距離，且H6表示發射體111之頂表面之水平/高度與載體10之表面s1之水平/高度之間的豎直/高程距離。靠近主體232之平面表面s23之黏著劑151a的厚度或高度A4小於H1與H6之總和。圍繞主體232之平面表面s23之黏著層151a的厚度或高度A4小於H1與H6之總和。
在一些實施例中，黏著劑151a可包括光學反射材料。黏著劑152可包括不透明材料。黏著劑152可包括光學反射材料。黏著劑153可包括不透明材料。黏著劑153可包括光學反射材料。黏著劑151a及152可圍繞透明封裝體23。黏著劑152及153可圍繞透明封裝體14。
與主體232之平面表面s23接觸之黏著劑151a之厚度或高度A4等於H1與H6之總和，其中H1表示發射體111之頂表面之水平/高度與透鏡部分231之彎曲表面s21上之入射點/位置之水平/高度之間的豎直/高程距離，且H6表示發射體111之頂表面之水平/高度與載體10之表面s1之水平/高度之間的豎直/高程距離。靠近主體232之平面表面s23之黏著劑151a的厚度或高度A4等於H1與H6之總和。圍繞主體232之平面表面s23之黏著層151a的厚度或高度A4等於H1與H6之總和。
在一些實施例中，黏著劑151a可包括光學反射材料。黏著劑152可包括不透明材料。黏著劑152可包括光學反射材料。黏著劑153可包括不透明材料。黏著劑153可包括光學反射材料。黏著劑151a及152可圍繞透明封裝體23。黏著劑152及153可圍繞透明封裝體14。
與主體232之平面表面s23接觸之黏著劑151a之厚度或高度A4大於H1與H6之總和，其中H1表示發射體111之頂表面之水平/高度與透鏡部分231之彎曲表面s21上之入射點/位置之水平/高度之間的豎直/高程距離，且H6表示發射體111之頂表面之水平/高度與載體10之表面s1之水平/高度之間的豎直/高程距離。靠近主體232之平面表面s23之黏著劑151a的厚度或高度A4大於H1與H6之總和。圍繞主體232之平面表面s23之黏著層151a的厚度或高度A4大於H1與H6之總和。
下表3展示由具有不同材料之黏著劑151a之電子裝置4的感測器112接收之功率。
參考表3中之第一行，其展示當半導體裝置封裝1之黏著劑151包括不透明材料時由電子裝置4之感測器112接收之功率的量。黏著劑151之高度或厚度A1大於H1與H6之總和。
舉例而言，若自發射體111發射之信號(光束)的功率為1.17mW，則距離D1為0mm，距離D2(或距離H4)為0.2mm，目標40之反射率為5%，且由感測器112接收之信號(光束)的功率為0.08毫微瓦(nW)。
對於另一實例，若自發射體111發射之信號(光束)的功率為1.17mW，則距離D1為0mm，距離D2(或距離H4)為0.4mm，目標40之反射率為26%，且由感測器112接收之信號(光束)的功率為0.03毫微瓦(nW)。
參考表3中之第二行，其展示當半導體裝置封裝1之黏著劑151包括不透明材料時由電子裝置4之感測器112接收之功率的量。黏著劑151之高度或厚度A1大於H1與H6之總和。
舉例而言，若自發射體111發射之信號(光束)的功率為1.17mW，則距離D1為30mm，距離D2(或距離H4)為0.2mm，目標40之反射率為5%，且由感測器112接收之信號(光束)的功率為2.10毫微瓦(nW)。
在另一實例中，若自發射體111發射之信號(光束)的功率為1.17mW，則距離D1為30mm，距離D2(或距離H4)為0.4mm，目標40之反射率為26%，且由感測器112接收之信號(光束)的功率為2.26毫微瓦(nW)。
參考表3中之第三行，其展示當半導體裝置封裝1之黏著劑151包括光學反射材料時由電子裝置4之感測器112接收之功率的量。黏著劑151之高度或厚度A1大於H1與H6之總和。
舉例而言，若自發射體111發射之信號(光束)的功率為1.17mW，則距離D1為0mm，距離D2(或距離H4)為0.2mm，目標40之反射率為5%，且由感測器112接收之信號(光束)的功率為0.96毫微瓦(nW)。
在另一實例中，若自發射體111發射之信號(光束)的功率為1.17mW，則距離D1為0mm，距離D2(或距離H4)為0.4mm，目標40之反射率為26%，且由感測器112接收之信號(光束)的功率為0.86毫微瓦(nW)。
參考表3中之第四行，其展示當半導體裝置封裝1之黏著劑151包括不透明材料時由電子裝置4之感測器112接收之功率的量。黏著劑151之高度或厚度A1大於H1與H6之總和。
舉例而言，若自發射體111發射之信號(光束)的功率為1.17mW，則距離D1為30mm，距離D2(或距離H4)為0.2mm，目標40之反射率為5%，且由感測器112接收之信號(光束)的功率為2.10毫微瓦(nW)。
對於另一實例，若自發射體111發射之信號(光束)的功率為1.17mW，則距離D1為30mm，距離D2(或距離H4)為0.4mm，目標40之反射率為26%，且由感測器112接收之信號(光束)的功率為2.26毫微瓦(nW)。
參考表3中之第五行，其展示當半導體裝置封裝1不包括黏著劑151或黏著劑A1之高度或厚度A1接近於零時由電子裝置4之感測器112接收之功率的量。
舉例而言，若自發射體111發射之信號(光束)的功率為1.17mW，則距離D1為0mm，距離D2(或距離H4)為0.2mm，目標40之反射率為5%，且由感測器112接收之信號(光束)的功率為0.79毫微瓦(nW)。
在另一實例中，若自發射體111發射之信號(光束)的功率為1.17mW，則距離D1為0mm，距離D2(或距離H4)為0.4mm，目標40之反射率為26%，且由感測器112接收之信號(光束)的功率為0.63毫微瓦 (nW)。
參考表3中之第六行，其展示當半導體裝置封裝1不包括黏著劑151或黏著劑A1之高度或厚度A1接近於零時由電子裝置4之感測器112接收之功率的量。
舉例而言，若自發射體111發射之信號(光束)的功率為1.17mW，則距離D1為30mm，距離D2(或距離H4)為0.2mm，目標40之反射率為5%，且由感測器112接收之信號(光束)的功率為2.10毫微瓦(nW)。
對於另一實例，若自發射體111發射之信號(光束)的功率為1.17mW，則距離D1為30mm，距離D2(或距離H4)為0.4mm，目標40之反射率為26%，且由感測器112接收之信號(光束)的功率為2.26毫微瓦(nW)。
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圖7A、圖7B、圖7C、圖7D及圖7E為根據本申請之一些實施例之在各階段製造的半導體裝置封裝1的橫截面視圖。各圖已經簡化以用於本申請之態樣之較佳理解。
參考圖7A，提供載體10。載體10包括碳化矽(SiC)基板、藍寶石基板或矽基板。發射體111及半導體裝置114設置於載體10之表面s1上。感測器112及113設置於半導體裝置114之表面s2上。半導體裝置鄰近於發射體111置放。相比感測器113，感測器112在半導體裝置114之表面s2上置放為相對接近發射體111。
參考圖7B，透明封裝體13'及14形成於載體10之表面s1 上。透明封裝體13'覆蓋發射體111。透明封裝體13'封裝發射體111。透明封裝體14覆蓋感測器112及113以及半導體裝置114。透明封裝體14封裝感測器112及113以及半導體裝置114。
透明封裝體13'包括透鏡部分131'及主體132'。透鏡部分131'在主體132'上。主體132'在載體10之表面s1上。在一些實施例中，透鏡部分131'具有球面或抛物面表面。透鏡部分131'會聚穿過其之光束。在一些實施例中，主體132'具有圓錐形狀。在一些實施例中，主體132'具有圓筒形形狀。在一些實施例中，主體132'具有彎曲形狀。
在一些實施例中，透明封裝體13之中心對準發射體111。透明封裝體14之中心對準感測器13。透明封裝體13'及14可經由模製製程形成。
參考圖7C，透明封裝體13'之一部分經移除以形成透明封裝體13。移除透明封裝體13'中相對遠離感測器112及113的部分。
為形成透明封裝體13，可對透明封裝體13'執行切割製程。舉例而言，切割製程可為雷射切割或機械切割製程。切割製程切穿透明封裝體13'之透鏡部分131'及主體132'兩者。因此，形成透鏡部分131。形成主體132。形成透鏡部分131之平面表面s12。形成主體132之平面表面s13。
透鏡部分131之平面表面s12的表面粗糙度不同於透鏡部分131之彎曲表面s11的表面粗糙度。透鏡部分131之平面表面s12的表面粗糙度大於透鏡部分131之彎曲表面s11的表面粗糙度。主體132之平面表面s13的表面粗糙度不同於主體132之表面s14的表面粗糙度。主體132之平面表面s13的表面粗糙度大於主體132之表面s14的表面粗糙度。透鏡部分 131之平面表面s12的表面粗糙度與主體132之平面表面s13的表面粗糙度相同。透鏡部分131之彎曲表面s11的表面粗糙度與主體132之表面s14的表面粗糙度相同。
在一些實施例中，切割製程可移除透明封裝體13'之超過一個側面。只要在切割製程之後透明封裝體13包括相對遠離感測器112之平面表面，則透明封裝體13在本申請之範疇內。
參考圖7D，黏著劑151'、152'及153'設置於載體10之表面s1上。在一些實施例中，黏著劑151'、152'及153'可包括不透明材料。在一些實施例中，黏著劑151'、152'及153'可包括光學反射材料。黏著劑151'設置為相對接近主體132之平面表面s13。黏著劑152'設置於發射體111與感測器112之間。黏著劑153'設置為相對接近感測器113。
參考圖7E，封蓋12'設置於載體10之表面s1上。封蓋12'可包括不透明材料。封蓋12'具有開口o1及o2。開口o1之中心對準發射體111。開口o2之中心對準感測器113。開口o1暴露發射體111，因此自發射體111發射之光束可穿過開口o1且到達目標。開口o2暴露感測器112及113，因此由目標反射之光束可穿過開口o2且到達感測器112及113。
封蓋12'使用黏著劑151'、152'及153'安裝或附接於載體10之表面s1上。黏著劑151'流入封蓋12'與主體之平面表面s13之間的間隙或空間中且形成黏著劑151。黏著劑152'流入封蓋12'與主體132之平面表面s14之間的間隙或空間中且形成黏著劑152。黏著劑153'流入封蓋12'與透明封裝體14之間的間隙或空間中且形成黏著劑153。黏著劑151具有高度或厚度A1。黏著劑152具有高度或厚度A2。黏著劑153具有高度或厚度A3。
在一些實施例中，當黏著劑151'包括不透明材料時，較少黏著劑151'可設置於載體10之表面s1上，使得黏著劑151之高度或厚度A1小於H1與H6之總和。
在一些實施例中，當黏著劑151'包括光學反射材料時，較少黏著劑151'可設置於載體10之表面s1上，使得黏著劑151之高度或厚度A1大於H1與H6之總和。
在一些實施例中，當黏著劑151'包括光學反射材料時，較多黏著劑151'可設置於載體10之表面s1上，使得黏著劑151之高度或厚度A1大於H1與H6之總和。
可執行單體化操作以形成參考圖1A說明及描述之半導體裝置封裝1。
圖8A、圖8B、圖8C、圖8D及圖8E為根據本申請之一些實施例之在各階段製造的半導體裝置封裝2的橫截面視圖。各圖已經簡化以用於本申請之態樣之較佳理解。
參考圖8A，提供載體10。載體10包括碳化矽(SiC)基板、藍寶石基板或矽基板。發射體111及半導體裝置114設置於載體10之表面s1上。感測器112及113設置於半導體裝置114之表面s2上。感測器112置放於發射體111與感測器113之間。換言之，感測器112設置為相比感測器113相對接近發射體111。
參考圖8B，透明封裝體23'及14形成於載體10之表面s1上。該透明封裝體23'覆蓋發射體111。該透明封裝體23'封裝發射體111。透明封裝體14覆蓋感測器112及113以及半導體裝置114。透明封裝體14封裝感測器112及113以及半導體裝置114。
透明封裝體23'包括透鏡部分231及主體232'。透鏡部分231在主體232'上。主體232'在載體10之表面s1上。在一些實施例中，透鏡部分231具有球面或抛物面表面。透鏡部分231會聚穿過其之光束。在一些實施例中，主體232'具有圓筒形形狀。在一些實施例中，主體232'具有彎曲形狀。
在一些實施例中，透明封裝體23'之中心對準發射體111。在一些實施例中，透明封裝體14之中心對準感測器113。透明封裝體23'及14可經由模製製程形成。
參考圖8C，移除透明封裝體23'之一部分且形成透明封裝體23。移除透明封裝體23'中相對遠離感測器112及113的部分。
為形成透明封裝體23，可對透明封裝體23'執行切割製程。切割製程可為例如雷射切割或機械切割製程。切割製程切穿透明封裝體23'之主體232'。因此，形成主體232。形成主體232之平面表面s23。
透鏡部分231之彎曲表面s21的表面粗糙度與主體之表面s22的表面粗糙度相同。主體232之平面表面s13的表面粗糙度不同於主體232之表面s22的表面粗糙度。主體232之平面表面s13的表面粗糙度不同於透鏡部分231之彎曲表面s21的表面粗糙度。主體232之平面表面s13的表面粗糙度大於主體232之表面s22的表面粗糙度。主體232之平面表面s13的表面粗糙度大於透鏡部分231之彎曲表面s21的表面粗糙度。
在一些實施例中，切割製程可移除透明封裝體23'之超過一個側面。只要在切割製程之後透明封裝體13包括相對遠離感測器112之平面表面，則透明封裝體23在本申請之範疇內。
參考圖8D，黏著劑151'、152'及153'設置於載體10之表面 s1上。在一些實施例中，黏著劑151'、152'及153'可包括不透明材料。在一些實施例中，黏著劑151'、152'及153'可包括光學反射材料。黏著劑151'設置為相對接近主體232之平面表面s23。黏著劑152'設置於發射體111與感測器112之間。黏著劑153'設置為相對接近感測器113。
參考圖8E，封蓋12'設置於載體10之表面s1上。封蓋12'可包括不透明材料。封蓋12'具有開口o1及o2。開口o1之中心對準發射體111。開口o2之中心對準感測器113。開口o1暴露發射體111，因此自發射體111發射之光束可穿過開口o1且到達目標。開口o2暴露感測器112及113，因此由目標反射之光束可穿過開口o2且到達感測器112及113。
封蓋12'使用黏著劑151'、152'及153'安裝或附接於載體10之表面s1上。黏著劑151'流入至封蓋12'與主體之平面表面s23之間的間隙或空間中且形成黏著劑151。黏著劑152'流入至封蓋12'與主體232之表面s22之間的間隙或空間中且形成黏著劑152。黏著劑153'流入至封蓋12'與透明封裝體14之間的間隙或空間中且形成黏著劑153。黏著劑151具有高度或厚度A1。黏著劑152具有高度或厚度A2。黏著劑153具有高度或厚度A3。
黏著劑151'之量可基於黏著劑151'中所含之材料的類型或封蓋12'與主體232之平面表面s13之間的距離來判定。
在一些實施例中，當黏著劑151'包括不透明材料時，較少黏著劑151'可設置於載體10之表面s1上，使得黏著劑151之高度或厚度A1小於H1與H6之總和。
在一些實施例中，當黏著劑151'包括光學反射材料時，較少黏著劑151'可設置於載體10之表面s1上，使得黏著劑151之高度或厚度 A1大於H1與H6之總和。
在一些實施例中，當黏著劑151'包括光學反射材料時，較多黏著劑151'可設置於載體10之表面s1上，使得黏著劑151之高度或厚度A1大於H1與H6之總和。
另外，可執行單體化操作以形成參考圖1B說明及描述之半導體裝置封裝2。
圖9A說明根據本申請之一些實施例之半導體裝置封裝9的透視圖。半導體裝置封裝9包括封蓋92。
圖9B說明根據本申請之一些實施例之圖9A中所示的半導體裝置封裝9之操作的光路。半導體裝置封裝9包括載體(圖9B中未表示)、發射體111、感測器112及封蓋92。
發射體111設置於由封蓋92限定之空腔中。感測器112設置於載體上。封蓋92設置於載體上。封蓋92具有暴露感測器112之開口。
透明板16設置於半導體裝置封裝9上。遮罩層形成於透明板16上。
目標40與透明板16間隔一距離。自半導體裝置11發射的穿過透明板16之光束E2可由目標40之實質上粗糙表面41反射。穿過透明板16及封蓋92之開口的反射光束R5可到達感測器112。
圖10A說明根據本申請之一些實施例之電子裝置4b的光路。除了透明封裝體13不包括於電子裝置4b中以外，電子裝置4b類似於參考圖4A說明及描述之電子裝置4。
在操作中，可包括使用者之面部、手、手指、手掌或其他物件之目標40可與透明板16間隔一距離。自反射體111發射之光束E3可穿 過開口o1及透明板16，且到達目標40之實質上粗糙表面41。
由透明板16之表面161反射之光束R6受到封蓋12阻擋。由目標40之表面41反射之光束R7可穿過透明板16之開口o2到達感測器112及113。
封蓋12防止反射光束R6到達感測器112。封蓋12防止反射光束R6到達感測器113。需要相對較小出射角/來自發射體111之發射光束E3防止反射光束R6到達感測器112。需要相對較小出射角/來自發射體111之發射光束防止反射光束R6到達感測器113。
舉例而言，自發射體111發射之光束E3可由相對粗糙表面41反射，由表面41反射之反射光束R7可到達感測器112。在感測器112為近接感測器的條件下，由感測器112接收或偵測的光束R7可用於判定目標40與電子裝置4b之間的距離。
舉例而言，在電子裝置4b為行動電話且透明板16為防護玻璃罩的條件下，當光束R7由感測器112接收或偵測時，半導體裝置114可有助於關閉或切斷觸控式螢幕16。
圖10B說明根據本申請之一些實施例之電子裝置4b的光路。除了透明封裝體13並未包括於電子裝置4b中以外，電子裝置4b類似於參考圖4A說明及描述之電子裝置4。目標40置放為非常接近透明板16。換言之，目標40之表面41與透明板16之表面161之間的距離幾乎為零。
在操作中，自發射體111發射之光束E3穿過開口o1且到達透明板16。由透明板16之表面161反射之光束R6受到封蓋12阻擋。由目標40之表面41反射之光束R8穿過封蓋之開口o2。然而，光束R6可能不會到達感測器112。
舉例而言，若感測器112為近接感測器，則未能接收或偵測光束R6可導致電子裝置4b發生故障。舉例而言，若電子裝置4b為行動電話且透明板16為防護玻璃罩，則防護玻璃罩16不會關閉，係因為感測器112不會接收或偵測到光束R6。舉例而言，歸因於感測器112無法接收或偵測光束R6，當使用者撿拾電子裝置4b來應答電話呼叫時，其面部(例如目標40)可觸碰觸控式螢幕16以觸發電子裝置4b之另一操作。
圖10C說明根據本申請之一些實施例之電子裝置4c的光路。除了漫射體17設置於開口o2上以外，電子裝置4c類似於參考圖10A說明及描述之電子裝置4b。目標40置放為非常接近透明板16。換言之，目標40之表面41與透明板16之表面161之間的距離幾乎為零。
漫射體17可包括具有相對粗糙表面之透明板。漫射體17可包括具有相對粗糙頂表面之透明板。漫射體17可包括具有相對粗糙底表面之透明板。漫射體17可包括具有表面之粗糙部分之透明板。漫射體17可包括類似於或等同於透明板16之材料的材料。漫射體17設置於開口o2上。
舉例而言，在操作中，自發射體111發射之光束E3可由表面41反射，該表面非常接近透明板16或實質上接觸透明板16。反射光束R6受到封蓋12阻擋。反射光束R9到達漫射體17。折射光束R10由漫射體17重導向且到達感測器112。
圖10D說明根據本申請之一些實施例之電子裝置4d的光路。除了參考圖7B說明及描述之透明封裝體13'設置於載體10之表面s1上以外，電子裝置4d類似於參考圖10A說明及描述之電子裝置4b。目標40置放為非常接近透明板16。換言之，目標40之表面41與透明板16之表面161 之間的距離幾乎為零。
舉例而言，在操作中，自發射體111發射之光束E3可由表面41反射，該表面非常接近透明板16或實質上接觸透明板16。反射光束R11受到封蓋12阻擋。反射光束R12到達感測器113。
圖11A為根據本申請之一些實施例之半導體裝置封裝1e的橫截面視圖。除了半導體裝置封裝1之透明封裝體13由參考圖7B說明及描述之透明封裝體13'替換以外，半導體裝置封裝1e類似於參考圖1A說明及描述之半導體裝置封裝1。
半導體裝置封裝1e及透明封裝體13'封裝兩者均為非最終階段產品。透明封裝體13'可藉由圖7A及圖7B中所示之製造製程形成。換言之，未對透明封裝體13'執行切割製程。
圖11B為根據本申請之一些實施例的由圖11A中所示之圓C環繞的半導體裝置封裝1e之一部分的放大視圖。透明封裝體13'具有自透鏡部分131'朝著載體10之表面s1延伸的表面s15。在一些實施例中，載體10之表面s15與表面s1之間的角度θ4小於90°。
在一些實施例中，表面s15為彎曲表面。在一些實施例中，表面s15為平面表面。由於表面s15與表面s1之間的角度θ4小於90°，相比半導體裝置封裝1或2之感測器112，半導體裝置封裝1e之感測器112接收相對較低功率信號。
圖11C說明根據本申請之一些實施例的由圖11A中所示之圓C環繞的半導體裝置封裝1e之一部分的放大視圖。透明封裝體13'具有連接透鏡部分131'且平行於載體10之表面s1的表面s16。透明封裝體13'具有自表面16朝著載體10之表面s1延伸的表面s17。在一些實施例中，表面s17 與表面s1之間的角度θ5為大致90°。
歸因於表面s16，主體132'之表面s17與發射體111之間的水平/側向距離相應增加。此外，表面s16亦阻擋自發射體111發射之光束的一部分。因此，相比半導體裝置封裝1或2之感測器112，半導體裝置封裝1e之感測器112接收相對較低功率信號。
圖11D為根據本申請之一些實施例的由圖11A中所示之圓C環繞的半導體裝置封裝1e之一部分的放大視圖。透明封裝體13'具有連接透鏡部分131'且平行於載體10之表面s1的表面s18。透明封裝體13"具有自表面s18朝著載體10之表面s1延伸的表面s19。在一些實施例中，表面s19與表面s1之間的角度θ6小於90°。
歸因於表面s18及角度θ6，主體132'之表面s19與發射體111之間的水平/側向距離相應增加。此外，表面s18亦阻擋自發射體111發射之光束的一部分。因此，相比半導體裝置封裝1或2之感測器112，半導體裝置封裝1e之感測器112接收相對較低功率信號。
總之，本申請提供一種半導體裝置封裝，其包括具有平面表面之透明封裝體(包括透鏡部分及主體)。因此，半導體裝置封裝可允許相對較多光束自發射體進入近接感測器。提供封蓋與透明封裝體之間的相對較大空間以置放將封蓋附接至載體之黏著劑。相對較小的透明封裝體可有助於達成封裝之小型化。
如本文所使用，術語「大致」、「實質上」、「實質」及「約」係用以描述及考慮小的變化。當與事件或情形結合使用時，術語可指事件或情形明確發生之情況以及事件或情形極近似於發生之情況。舉例而言，當結合數值使用時，該等術語可指小於或等於該數值之±10%的變 化範圍，諸如，小於或等於±5%、小於或等於±4%、小於或等於±3%、小於或等於±2%、小於或等於±1%、小於或等於±0.5%、小於或等於±0.1%或者小於或等於±0.05%之變化範圍。舉例而言，若兩個數值之間的差小於或等於該等值之平均值的±10%(諸如，小於或等於±5%、小於或等於±4%、小於或等於±3%、小於或等於±2%、小於或等於±1%、小於或等於±0.5%、小於或等於±0.1%、或者小於或等於±0.05%)，則可認為該兩個數值「實質上」或「約」相同。舉例而言，「實質上」平行可指相對於0°而言小於或等於±10°之角度變化範圍，諸如小於或等於±5°、小於或等於±4°、小於或等於±3°、小於或等於±2°、小於或等於±1°、小於或等於±0.5°、小於或等於±0.1°，或小於或等於±0.05°。舉例而言，「實質上」垂直可指相對於90°而言小於或等於±10°之變化範圍，諸如，小於或等於±5°、小於或等於±4°、小於或等於±3°、小於或等於±2°、小於或等於±1°、小於或等於±0.5°、小於或等於±0.1°，或小於或等於±0.05°之變化範圍。
若兩個表面之間的移位不大於5μm、不大於2μm、不大於1μm或不大於0.5μm，則可認為該兩個表面共面或實質上共面。若表面相對於表面上之任兩點之間的平坦平面的移位不大於5μm、不大於2μm、不大於1μm或不大於0.5μm，則可認為該表面為平面或實質上平面的。
如本文中所使用，術語「導電(conductive)」、「導電(electrically conductive)」及「導電率」指代傳送電流之能力。導電材料通常指示呈現對於電流流動之極小或零阻力之彼等材料。電導率之一個量度為西門子/公尺(S/m)。通常，導電性材料係具有大於約104S/m(諸如至 少105S/m或至少106S/m)之電導率的一種材料。材料之電導率有時可隨溫度變化。除非在本文中另外規定，否則材料之電導率係在室溫下量測。
除非上下文另外明確地規定，否則如本文中所使用，單數術語「一(a/an)」及「該」可包括複數個指代物。在一些實施例之描述中，設置在另一組件「上」或「上方」之組件可涵蓋前一組件直接在後一組件上(例如，與之實體接觸)的情況，以及一或多個介入組件位於前一組件與後一組件之間的情況。
除非另有規定，否則空間術語，諸如「在...以上」、「在...以下」、「上」、「左」、「右」、「下」、「頂部」、「底部」、「豎直」、「水平」、「側面」、「較高」、「較低」、「上部」、「在...上方」、「在...下方」、「朝下」等等用於指示相對於圖式中所示之定向的位置。應理解，本文中所使用之空間術語僅出於說明之目的，且本文中所描述之結構之實際實施可在空間上以任何定向或方式佈置，其限制條件為此等佈置並不偏離本申請之實施例之精神。
雖然已參考本申請之特定實施例描述並說明本申請，但此等描述及說明並不限制本申請。熟習此項技術者可清楚地理解，在不脫離如由所附申請專利範圍所定義之本申請之真實精神及範疇之情況下，可進行各種改變，且可在實施例內替代等效組件。說明可不必按比例繪製。歸因於製造製程之類中的變數，本申請中之藝術再現與實際設備之間可存在區別。可存在並未特定說明的本申請之其他實施例。應將本說明書及圖式視為說明性而非限制性的。可作出修改，以使特定情形、材料、物質之組成、方法或製程適應於本申請之目標、精神及範疇。所有此類修改意欲在此處附加之申請專利範圍之範疇內。雖然已參考以特定次序執行之特定操 作來描述本文所揭示之方法，但可理解，可在不脫離本申請之教示的情況下組合、再分或重新定序此等操作以形成等效方法。因此，除非在本文中特定指示，否則操作之次序及分組並非本申請之限制。
1‧‧‧半導體裝置封裝
10‧‧‧載體
12‧‧‧封蓋
13‧‧‧透明封裝體
14‧‧‧透明封裝體
111‧‧‧發射體
112‧‧‧感測器
113‧‧‧感測器
114‧‧‧半導體裝置
121‧‧‧上部
122‧‧‧下部
131‧‧‧透鏡部分
132‧‧‧主體
151‧‧‧黏著劑
152‧‧‧黏著劑
153‧‧‧黏著劑

Claims (22)

  1. 一種半導體裝置封裝，其包含：一載體，其具有一第一表面；一發射體，其設置於該第一表面上；及封裝該發射體之一第一透明封裝體，該第一透明封裝體包含一主體及設置於該主體上之一透鏡部分，該透鏡部分具有一第一平面表面且該主體具有一第一平面表面，其中該透鏡部分之該第一平面表面與該主體之該第一平面表面實質上共面，其中該透鏡部分具有一第一彎曲表面且該主體具有一第一彎曲表面，及其中該主體之該第一彎曲表面自該透鏡部分之該第一彎曲表面至該載體連續地延伸(continuously extend)。
  2. 如請求項1之半導體裝置封裝，其中該主體之該第一平面表面實質上垂直於該載體之該第一表面。
  3. 如請求項1之半導體裝置封裝，其中該透鏡部分之該第一平面表面實質上垂直於該載體之該第一表面。
  4. 如請求項1之半導體裝置封裝，其中該透鏡部分之該第一平面表面具有一第一表面粗糙度且該透鏡部分之該第一彎曲表面具有一第二表面粗糙度，且其中該第一表面粗糙度不同於該第二表面粗糙度。
  5. 如請求項4之半導體裝置封裝，其中該第一表面粗糙度大於該第二表面粗糙度。
  6. 如請求項1之半導體裝置封裝，其中該透鏡部分之該第一彎曲表面具有一第一表面粗糙度且該主體之該第一平面表面具有一第三表面粗糙度，且其中該第一表面粗糙度與該第三表面粗糙度相同。
  7. 如請求項1之半導體裝置封裝，其中該透鏡部分之該第一彎曲表面具有一第二表面粗糙度且該主體之該第一彎曲表面具有一第四表面粗糙度，且其中該第二表面粗糙度與該第四表面粗糙度相同。
  8. 如請求項1之半導體裝置封裝，其進一步包含設置於該載體之該第一表面上之一封蓋，其中該封蓋具有在該發射體上之一第一開口。
  9. 如請求項8之半導體裝置封裝，其中該主體之該第一平面表面與該封蓋之間的一第一距離大於該主體之該第一彎曲表面與該封蓋之間的一第二距離。
  10. 如請求項8之半導體裝置封裝，其進一步包含在該第一透明封裝體與該封蓋之間的一第一黏著劑，其中該第一黏著劑具有在該主體之該第一平面表面與該封蓋之間的一第一高度且該第一黏著劑具有在該主體之該第一彎曲表面與該封蓋之間的一第二高度，且其中該第一高度小於該第二高 度。
  11. 如請求項10之半導體裝置封裝，其中該第一黏著劑包含光學反射材料。
  12. 如請求項1之半導體裝置封裝，其中該透鏡部分之該第一平面表面自該透鏡部分之該第一彎曲表面延伸。
  13. 如請求項1之半導體裝置封裝，其中在主體之該第一平面表面與該載體之該第一表面之間形成一第一角度，及在主體之一第二表面與該載體之該第一表面之間形成一第二角度，其中該第一角度不同於該第二角度。
  14. 如請求項1之半導體裝置封裝，其進一步包含：一半導體裝置，其經設置於該載體之該第一表面上；及一第一感測器及一第二感測器，其經設置於該半導體裝置上，其中該第一感測器經設置為比該第二感測器相對接近該發射體。
  15. 如請求項10之半導體裝置封裝，其中該第一黏著劑包含不透明材料。
  16. 如請求項10之半導體裝置封裝，其中該透鏡部分之該第一彎曲表面之一端與該透鏡部分之該第一平面表面之一端會合(meet)。
  17. 一種半導體裝置封裝，其包含：一載體，其具有一第一表面；一發射體，其設置於該第一表面上；及封裝該發射體之一第一透明封裝體，該第一透明封裝體包含一主體及設置於該主體上之一透鏡部分，該透鏡部分具有一第一平面表面且該主體具有一第一平面表面，其中該透鏡部分之該第一平面表面與該主體之該第一平面表面實質上共面，其中該主體具有一第一彎曲表面，其中該主體之該第一平面表面具有一第三表面粗糙度且該主體之該第一彎曲表面具有一第四表面粗糙度，及其中該第三表面粗糙度不同於該第四表面粗糙度。
  18. 如請求項17之半導體裝置封裝，其中該第三表面粗糙度大於該第四表面粗糙度。
  19. 如請求項17之半導體裝置封裝，其進一步包含設置於該載體之該第一表面上之一封蓋，其中該封蓋具有在該發射體上之一第一開口，及其中該主體之該第一平面表面與該封蓋之間之一第一距離大於該主體之該第一彎曲表面與該封蓋之一第二距離。
  20. 一種半導體裝置封裝，其包含：一載體，其具有一第一表面； 一發射體，其設置於該第一表面上；及封裝該發射體之一第一透明封裝體，該第一透明封裝體包含一主體及設置於該主體上之一透鏡部分，該透鏡部分具有一第一平面表面且該主體具有一第一平面表面，其中該透鏡部分之該第一平面表面與該主體之該第一平面表面實質上共面，其中該主體具有一第一彎曲表面，及其中該主體之該第一平面表面與該發射體之間的一第一距離小於該主體之該第一彎曲表面與該發射體之間的一第二距離。
  21. 如請求項20之半導體裝置封裝，其中在主體之該第一平面表面與該載體之該第一表面之間形成一第一角度，及在主體之該第一彎曲表面與該載體之該第一表面之間形成一第二角度，其中該第一角度不同於該第二角度。
  22. 如請求項20之半導體裝置封裝，其進一步包含設置於該載體之該第一表面上之一封蓋及在該第一透明封裝體與該封蓋之間的一第一黏著劑，其中該第一黏著劑具有在該主體之該第一平面表面與該封蓋之間的一第一高度且該第一黏著劑具有在該主體之該第一彎曲表面與該封蓋之間的一第二高度，且其中該第一高度小於該第二高度。
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