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TWI635371B - 移動體裝置、曝光裝置、平板顯示器之製造方法、及元件製造方法 - Google Patents

移動體裝置、曝光裝置、平板顯示器之製造方法、及元件製造方法 Download PDF

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TWI635371B
TWI635371B TW106107473A TW106107473A TWI635371B TW I635371 B TWI635371 B TW I635371B TW 106107473 A TW106107473 A TW 106107473A TW 106107473 A TW106107473 A TW 106107473A TW I635371 B TWI635371 B TW I635371B
Authority
TW
Taiwan
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exposure
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moving body
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substrate
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Application number
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English (en)
Chinese (zh)
Other versions
TW201723680A (zh
Inventor
Yasuo Aoki
青木保夫
Original Assignee
Nikon Corporation
尼康股份有限公司
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Publication date
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    • H10P76/202—
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
    • G03F7/70758—Drive means, e.g. actuators, motors for long- or short-stroke modules or fine or coarse driving

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