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TWI633609B - 引線夾裝置之校準方法及引線接合裝置 - Google Patents

引線夾裝置之校準方法及引線接合裝置 Download PDF

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TWI633609B
TWI633609B TW106116638A TW106116638A TWI633609B TW I633609 B TWI633609 B TW I633609B TW 106116638 A TW106116638 A TW 106116638A TW 106116638 A TW106116638 A TW 106116638A TW I633609 B TWI633609 B TW I633609B
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Taiwan
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piezoelectric element
pair
voltage
arm portions
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TW106116638A
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TW201810464A (zh
Inventor
Noboru Fujino
藤野昇
Hisashi Ueda
上田尙
Original Assignee
Shinkawa Ltd.
日商新川股份有限公司
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Publication date
Application filed by Shinkawa Ltd., 日商新川股份有限公司 filed Critical Shinkawa Ltd.
Publication of TW201810464A publication Critical patent/TW201810464A/zh
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Abstract

本發明之課題在於進行準確且穩定之引線接合。
本發明之引線夾裝置70之校準方法包括以下步驟：準備引線夾裝置70，該引線夾裝置70具備具有用以夾住引線42之前端部73a、73b且自前端部73a、73b朝向基端部74a、74b延伸之一對臂部72a、72b、及與一對臂部72a、72b之基端部74a、74b結合且設置有使一對臂部72a、72b之前端部73a、73b開閉之驅動用壓電元件80的驅動部76；驅動驅動用壓電元件80時，藉由前端部彼此之電性導通檢測出一對臂部72a、72b成為閉合狀態之時點，以取得基準電壓；以及基於基準電壓對施加至驅動用壓電元件80之驅動電壓進行校準。

Description

引線夾裝置之校準方法及引線接合裝置
本發明係關於一種引線夾裝置之校準方法及引線接合裝置。
於將半導體晶片引線接合於基板等之引線接合裝置中，於供引線插通之接合工具之上方設置有引線夾裝置。例如於專利文獻1中，揭示有具備具有用以夾住引線之前端部之一對臂部、及設置有使該一對臂部開閉之壓電元件之驅動部的引線夾裝置。根據該引線夾裝置，與對壓電元件施加之電壓值對應而控制一對臂部之前端部之間的距離。利用該控制，能夠藉由將臂部閉合而限制引線，或者藉由將臂部打開而釋放引線。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本專利第2981948號公報
然而，以往無法確認與對壓電元件之施加電壓對應之臂部之打開量的絕對值。因此，即便對壓電元件之施加電壓之值為固定，亦存在 各引線夾裝置之臂部之打開量不均之情況。尤其是引線夾裝置容易因壓電元件等構成要素之經時性變化、或對引線接合裝置本體之安裝等各種因素而導致臂部之打開量之絕對值發生變動，因此，消除該問題對於提高引線接合之可靠性而言較為重要。
本發明係鑒於此種情況而完成者，目的在於提供一種能夠進行準確且穩定之引線接合之引線夾裝置之校準方法及引線接合裝置。
本發明之一態樣之引線夾裝置之校準方法包括以下步驟：準備引線夾裝置，該引線夾裝置具備：一對臂部，其具有用以夾住引線之前端部且自前端部朝向基端部延伸，及驅動部，其與一對臂部之基端部結合且設置有使一對臂部之前端部開閉之驅動用壓電元件；藉由驅動用壓電元件之驅動檢測出一對臂部成為閉合狀態之時點；以及基於檢測結果，設定對驅動用壓電元件之施加電壓。
根據上述構成，藉由一對臂部之前端部彼此之電性導通檢測出一對臂部成為閉合狀態之時點，基於一對臂部成為閉合狀態之基準電壓對施加至驅動用壓電元件之驅動電壓進行校準。藉此，可準確地調整臂部之打開量。由此，可進行準確且穩定之引線接合。
本發明之另一態樣之引線夾裝置之校準方法包括以下步驟：準備引線夾裝置，該引線夾裝置具備：一對臂部，其具有用以夾住引線之前端部且自該前端部朝向基端部延伸，及驅動部，其具有藉由驅動電壓使一對臂部之前端部開閉之驅動用壓電元件及對伴隨利用驅動用壓電元件所進行之一對臂部之開閉而產生之應力進行檢測之檢測用壓電元件且與 一對臂部之基端部結合；藉由驅動電壓使驅動用壓電元件驅動時，基於應力之變化檢測出一對臂成為閉合狀態之時點，取得一對臂成為閉合狀態之基準電壓；以及基於基準電壓對施加至驅動用壓電元件之驅動電壓進行校準。
根據上述構成，基於檢測用壓電元件之應力之變化檢測出一對臂部成為閉合狀態之時點，基於一對臂部成為閉合狀態之基準電壓對施加至驅動用壓電元件之驅動電壓進行校準。藉此，可準確地調整臂部之打開量。由此，可進行準確且穩定之引線接合。
於上述方法中，亦可為檢測用壓電元件設置於驅動用壓電元件與一對臂部之基端部之間。
於上述方法中，亦可為於引線夾裝置之驅動部設置與驅動用壓電元件接觸之應變感測器，且該方法係於對施加至驅動用壓電元件之驅動電壓進行校準後，於引線接合處理中，進而包括如下步驟，即，檢測出伴隨驅動用壓電元件之驅動之應變感測器之輸出值，基於應變感測器之輸出值控制對驅動用壓電元件施加之驅動電壓。
本發明之另一態樣之引線接合裝置具備：引線夾裝置，其具備：一對臂部，其具有用以夾住引線之前端部且自該前端部朝向基端部延伸，及驅動部，其與一對臂部之基端部結合且設置有藉由驅動電壓使一對臂部之前端部開閉之驅動用壓電元件；基準電壓取得部，其於藉由驅動電壓使驅動用壓電元件驅動時，藉由一對臂部之前端部彼此之電性導通檢測出一對臂部成為閉合狀態之時點，取得一對臂部成為閉合狀態之基準電壓；以及電壓校準部，其基於基準電壓取得部取得之基準電壓對施加至驅 動用壓電元件之驅動電壓進行校準。
根據上述構成，藉由一對臂部之前端部彼此之電性導通檢測出一對臂部成為閉合狀態之時點，基於一對臂部成為閉合狀態之基準電壓對施加至驅動用壓電元件之驅動電壓進行校準。藉此，能夠準確地調整臂部之打開量。由此，能夠進行準確且穩定之引線接合。
本發明之另一態樣之引線接合裝置具備：引線夾，其具備：一對臂部，其具有用以夾住引線之前端部且自該前端部朝向基端部延伸，及驅動部，其藉由驅動電壓使一對臂部之前端部開閉之驅動用壓電元件及對伴隨利用驅動用壓電元件所進行之一對臂部之開閉而產生之應力進行檢測之檢測用壓電元件且與一對臂部之基端部結合；基準電壓取得部，其於藉由驅動電壓使驅動用壓電元件驅動時，基於應力之變化檢測出一對臂成為閉合狀態之時點，取得一對臂成為閉合狀態之基準電壓；以及電壓校準部，其基於基準電壓取得部取得之基準電壓對施加至驅動用壓電元件之驅動電壓進行校準。
根據上述構成，基於檢測用壓電元件之應力之變化檢測出一對臂部成為閉合狀態之時點，基於一對臂部成為閉合狀態之基準電壓對施加至驅動用壓電元件之驅動電壓進行校準。藉此，可準確地調整臂部之打開量。由此，可進行準確且穩定之引線接合。
於上述裝置中，亦可為檢測用壓電元件設置於驅動用壓電元件與一對臂部之基端部之間。
於上述裝置中，亦可為於引線夾裝置之驅動部設置與驅動用壓電元件接觸之應變感測器，且上述裝置進而具備電壓控制部，該電壓控 制部檢測出伴隨驅動用壓電元件之驅動之應變感測器之輸出值，基於應變感測器之輸出值控制對驅動用壓電元件施加之驅動電壓。
根據本發明，可提供一種能夠進行準確且穩定之引線接合之引線夾裝置之校準方法及引線接合裝置。
1‧‧‧引線接合裝置
70‧‧‧引線夾裝置
72a、72b‧‧‧臂部
73a、73b‧‧‧前端部
74a、74b‧‧‧基端部
76‧‧‧驅動部
80‧‧‧驅動用壓電元件
82‧‧‧應變感測器
90‧‧‧引線接合控制部
90a‧‧‧基準電壓取得部
90b‧‧‧電壓校準部
90c‧‧‧應變檢測部
90d‧‧‧電壓控制部
180‧‧‧驅動用壓電元件
186‧‧‧檢測用壓電元件
圖1係表示本發明之第1實施形態之引線接合裝置之整體概要的圖。
圖2(A)及(B)係圖1之引線接合裝置中之接合臂之俯視圖及仰視圖。
圖3係圖1之引線夾裝置之立體圖。
圖4係表示本發明之第1實施形態之引線夾裝置之校準方法的流程圖。
圖5係本發明之第2實施形態之引線夾裝置之立體圖。
圖6係用以說明本發明之第2實施形態之引線夾裝置之校準方法的曲線圖。
以下，對本發明之實施形態進行說明。於以下之圖式之記載中，相同或相似之構成要素係由相同或相似之符號表示。圖式為例示，各部之尺寸或形狀係示意性者，不應將本案發明之技術範圍限定於該實施形態而解釋。
<第1實施形態>
圖1係表示本實施形態之引線接合裝置之整體概略之圖。又，圖2(A)及(B)係引線接合裝置中之接合臂之局部放大圖，圖2(A)表示接合臂之俯視圖，圖2(B)表示接合臂之仰視圖。圖3係圖1之引線夾裝置之立體圖。
如圖1所示，引線接合裝置1具備XY驅動機構10、Z驅動機構12、接合臂20、超音波放大器30、接合工具40、負載感測器50、超音波振子60、引線夾裝置70及引線接合控制部90。
XY驅動機構10係能夠沿XY軸方向(與接合面平行之方向)滑動而構成，於XY驅動機構(線性馬達)10設置有能夠使接合臂20沿Z軸方向(與接合面垂直之方向)搖動之Z驅動機構(線性馬達)12。
接合臂20支持於心軸14，且相對於XY驅動機構10搖動自如而構成。接合臂20係以自XY驅動機構10向放置有作為接合對象之工件(例如半導體晶片或基板)18之接合載台16延出之方式形成為大致長方體。接合臂20具備：臂基端部22，其安裝於XY驅動機構10；臂前端部24，其位於臂基端部22之前端側且安裝有超音波放大器30；以及連結部23,其將臂基端部22與臂前端部24連結且具有可撓性。該連結部23係由自接合臂20之頂面21a向底面21b之方向延出之既定寬度的狹縫25a、25b、及自接合臂20之底面21b向頂面21a之方向延出之既定寬度的狹縫25c所構成。如此，連結部23係藉由各狹縫25a、25b、25c局部地作為薄壁部而構成，因此，臂前端部24係以相對於臂基端部22彎曲之方式構成。
如圖1及圖2(B)所示，於接合臂20之底面21b側形成有 收容超音波放大器30之凹部26。超音波放大器30於收容於接合臂20之凹部26之狀態下，藉由放大器固定螺桿32安裝於臂前端部24。該超音波放大器30於自凹部26突出之前端部保持接合工具40，於凹部26設置有產生超音波振動之超音波振子60。可利用超音波振子60產生超音波振動，利用超音波放大器30將其傳達至接合工具40，並經由接合工具40而對接合對象賦予超音波振動。超音波振子60例如為壓電振子。
又，如圖1及圖2(A)所示，於接合臂20之頂面21a側自頂面21a朝向底面21b依序形成有狹縫25a及25b。上部之狹縫25a形成為較下部之狹縫25b更寬幅。並且，於該形成為寬幅之上部之狹縫25a設置有負載感測器50。負載感測器50藉由預壓用螺桿52固定於臂前端部24。負載感測器50係以夾於臂基端部22與臂前端部24之間之方式配置。即，負載感測器50係自超音波放大器30之長度方向之中心軸向相對於接合對象之相接/分離方向偏離，而安裝於接合臂20之旋轉中心與臂前端部24中之超音波放大器30之安裝面(即，臂前端部24中之接合工具40側之前端面)之間。並且，如上所述，將保持接合工具40之超音波放大器30安裝於臂前端部24，因此，若因來自接合對象之反作用力而對接合工具40之前端施加負載，則臂前端部24相對於臂基端部22彎曲，能夠於負載感測器50中檢測負載。負載感測器50例如為壓電元件負載感測器。
接合工具40係供引線42插通者，例如為設置有插通孔41之毛細管。於該情形時，將用於接合之引線42插通於接合工具40之插通孔41，能夠自其前端送出引線42之一部分而構成。又，於接合工具40之前端設置有用以按壓引線42之按壓部。按壓部具有繞接合工具40之插通孔41 之軸向旋轉對稱之形狀，且於插通孔41之周圍之下表面具有按壓面。
接合工具40藉由彈力等而可更換地安裝於超音波放大器30。又，於接合工具40之上方設置有引線夾裝置70，引線夾裝置70係以於既定之時點限制或釋放引線42之方式構成。於引線夾裝置70之更上方設置有引線張力器46，引線張力器46係以供引線42插通，且對接合中之引線42賦予適度之張力之方式構成。
引線42之材料係根據加工之容易性及低電阻之程度度等適當進行選擇，例如可使用金(Au)、銅(Cu)或銀(Ag)等。再者，引線42將自接合工具40之前端延出之無空氣焊球43接合於工件18之第1接合點。
此處，參照圖3，對本實施形態之引線夾裝置70之詳細內容進行說明。引線夾裝置70具備一對臂部72a、72b、及安裝於引線接合裝置1之本體之驅動部76。一對臂部72a、72b具有用以夾住引線42之前端部73a、73b、及基端部74a、74b，且自前端部73a、73b朝向基端部74a、74b沿與引線軸向大致正交之方向延伸。於前端部73a、73b中之相互對向之面設置有接觸引線42之夾片71a、71b。又，於驅動部76設置有使一對臂部72a、72b之前端部73a、73b開閉之驅動用壓電元件80。於驅動用壓電元件80連接有未圖示之控制電源，藉由自控制電源供給之電壓而控制一對臂部72a、72b之開閉動作。驅動部76中之與一對臂部72a、72b為相反側之端部固定於引線接合裝置1之本體。再者，於圖1中，關於引線夾裝置70，示出自前端部73a、73b側觀察一對臂部72a、72b之延伸方向之狀態。
一對臂部72a、72b於其基端部74a、74b經由多個連結部77a、 77b、78a、78b而與驅動部76連結。具體而言，自引線軸向之上方觀察一對臂部72a、72b時，一對連結部78a、78b設置於一對臂部72a、72b之兩外側，又，一對連結部77a、77b設置於夾在一對連結部78a、78b之位置。該等連結部係作為能夠彈性變形之收縮部而構成。又，一對連結部77a、77b係藉由作用部79而相互連結。於此種構成中，於將驅動用壓電元件之兩端部固定於驅動部76與作用部79之間之狀態下設置驅動用壓電元件80。藉由施加電壓而驅動用壓電元件80於一對臂部72a、72b之延伸方向上伸縮，藉此，各連結部77a、77b、78a、78b以使一對臂部72a、72b之前端部73a、73b開閉之方式彈性變形。再者，各連結部77a、77b、78a、78b於前端部73a、73b閉合之方向上具有彈性。
驅動用壓電元件80例如為於將驅動部76與作用部79之間連結之方向上積層有多層壓電元件之積層型壓電致動器。於圖3所示之例中，與驅動用壓電元件80接觸而設置有應變感測器82。應變感測器82係對藉由驅動用壓電元件80之驅動而產生之應變進行檢測者。應變感測器82亦可與驅動用壓電元件80之周圍之各面接著。應變感測器82經由配線84而與引線接合控制部90電性連接。
一對臂部72a、72b(夾片71a、71b、前端部73a、73b及基端部74a、74b)係由導電性材料構成。再者，於本實施形態中，為了電性檢測出一對臂部72a、72b成為閉合狀態，而例如於基端部74a、74b之至少一者(於圖3中為基端部74b)設置有絕緣層75。絕緣層75係防止一對臂部72a、72b成為閉合狀態時，於前端部73a、73b以外之部分電性短路者。藉此，能夠藉由例如僅前端部73a、73b之夾片71a、71b相互電性導通而檢 測出一對臂部72a、72b成為閉合狀態。
其次，對引線夾裝置70之動作進行說明。於不對驅動用壓電元件80施加電壓之狀態下，一對臂部72a、72b之前端部73a、73b於閉合之方向上施加既定之負載。並且，若對驅動用壓電元件80施加電壓，則驅動用壓電元件80藉由電伸縮或磁伸縮效應而向一對臂部72a、72b之延伸方向(換言之，將驅動部76與作用部79之間連結之方向)伸長，藉此，作用部79向一對臂部72a、72b之方向移動，如此，連結部77a、77b、78a、78b向外側方向彎曲，前端部73a、73b成為打開之狀態。此時之前端部73a、73b之移動量(即，臂部之打開量)相當於與作用部79至連結部之長度和連結部至前端部73a、73b之長度之比對應而將驅動用壓電元件80之伸長量擴大者。
若進一步詳細敍述，則若自施加至驅動用壓電元件80之電壓為零之狀態起施加電壓，則由前端部73a、73b所產生之引線夾負載與驅動用壓電元件80之施加電壓成比例地變小，電壓值成為既定值時，前端部73a、73b之夾片71a、71b成為於引線夾負載為零之狀態下相互接觸之狀態(閉合狀態)。若進一步增加施加電壓，則前端部73a、73b成為向相互遠離之方向打開之狀態。再者，伴隨驅動用壓電元件80之施加電壓之變動之一對臂部72a、72b之打開量的關係亦可預先測定。
返回至圖1，對本實施形態之引線接合裝置1進一步進行說明。引線接合控制部90係以能夠於XY驅動機構10、Z驅動機構12、超音波放大器30(超音波振子60)、負載感測器50及引線夾裝置70等各構成之間進行訊號之發送接收之方式連接，藉由引線接合控制部90控制該等構成 之動作，藉此能夠進行用於引線接合之所需之處理。
又，於引線接合控制部90連接有用以輸入控制資訊之操作部92、及用以輸出控制資訊之顯示部94。藉此，作業者可一面藉由顯示部94確認畫面，一面藉由操作部92輸入所需之控制資訊。再者，引線接合控制部90係具備CPU及記憶體等之電腦裝置，於記憶體預先儲存有用以進行引線接合所需之處理之接合程式等。引線接合控制部90係以進行下述引線夾裝置之校準時控制所需之動作之方式構成(例如具備用以使電腦執行各動作之程式)。
本實施形態之引線接合控制部90具備基準電壓取得部90a、電壓校準部90b、應變檢測部90c、及電壓控制部90d。
基準電壓取得部90a取得藉由驅動電壓使驅動用壓電元件80驅動時，一對臂部72a、72b成為閉合狀態之基準電壓。具體而言，檢測出使驅動用壓電元件80驅動時之一對臂部72a、72b成為閉合狀態之時點，即，前端部73a、73b之夾片71a、71b於引線夾負載為零之狀態下相互接觸之狀態(負載零點)，取得此時之施加至驅動用壓電元件80之電壓作為基準電壓。
於本實施形態中，由基準電壓取得部90a所進行之基準電壓之取得係藉由一對臂部72a、72b是否電性導通而進行。於該情形時，較佳為於不插通引線42之狀態下電性檢測出夾片71a、71b相互接觸之狀態。藉此，能夠準確地檢測出成為負載零點之時點。電性檢測可藉由如下之方式而進行，即，藉由對各臂部72a、72b施加電壓，而檢測於前端部73a、73b之夾片71a、71b之間電流是否流通。
電壓校準部90b基於基準電壓取得部90a之檢測結果校準施加至驅動用壓電元件80之驅動電壓。若預先算出引線接合處理之各步驟中所要求之一對臂部72a、72b之期望的打開量，又，預先算出與驅動用壓電元件80之驅動電壓對應之一對臂部72a、72b之打開量的變化，則可藉由既定出負載零點基準電壓，而準確地校準於引線接合處理之各步驟中所要求之驅動用壓電元件80之驅動電壓。
應變檢測部90c檢測出伴隨驅動用壓電元件80之驅動之應變感測器82之輸出值。應變感測器82係與驅動用壓電元件80接觸而配置，因此，應變感測器82之輸出值伴隨驅動用壓電元件80之驅動而發生變化。因此，藉由預先算出應變感測器82之輸出值與利用驅動壓電元件80之驅動所產生之一對臂部72a、72b之打開量之變化的關係，可準確地控制驅動用壓電元件80之驅動電壓。尤其於本實施形態中，將應變感測器82與驅動用壓電元件80接觸而配置，可直接檢測出伴隨驅動用壓電元件80之驅動之變化，因此，可更準確地控制驅動用壓電元件80之驅動電壓。
電壓控制部90d基於應變檢測部90c之檢測結果控制驅動用壓電元件80之驅動電壓。如此，藉由應變檢測部90c且經由應變感測器82而監視驅動用壓電元件80之動作狀態，將該監視結果反饋控制成驅動用壓電元件80之驅動電壓，藉此可更準確地控制引線夾裝置。
其次，參照圖4，對本實施形態之引線夾裝置之校準方法進行說明。圖4係表示該方法之流程圖者。該方法可使用上述引線接合裝置1而進行。引線夾裝置之校準方法可於引線接合結束時(即，下一引線接合開始前)、或用以進行引線接合之示教時等進行。
首先，準備引線夾裝置70(S10)。具體而言，藉由將引線夾裝置70搭載於接合頭而作為引線接合裝置1之構成要素裝入。
其次，取得臂部72a、72b成為閉合狀態(例如上述負載零點之狀態)之基準電壓(S12)。具體而言，經由引線接合控制部90將驅動電壓供給至驅動用壓電元件80，使臂部72a、72b進行開閉動作，藉由基準電壓取得部90a取得與負載零點對應之負載零點基準電壓。於本實施形態中，藉由檢測於前端部73a、73b之夾片71a、71b之間電流是否流通而取得基準電壓。於該情形時，藉由自驅動用壓電元件80之驅動電壓為零之狀態使驅動電壓漸漸增加，可檢測出負載零點之時點。或者亦可相反地藉由將驅動用壓電元件80之驅動電壓設為既定值而成為將臂部72a、72b打開之狀態，自該狀態使驅動電壓漸漸減少，藉此取得負載零點基準電壓。又，更佳為，藉由反覆使驅動電壓增加或減少而檢測出負載零點之時點，基於此取得負載零點基準電壓。再者，藉由基準電壓取得部90a取得之基準電壓亦可顯示於顯示部94。
其次，基於基準電壓對施加至驅動用壓電元件80之驅動電壓進行校準(S12)。例如亦可為，作業者識別顯示於顯示部94之利用基準電壓取得部90a所得之基準電壓，基於此經由操作部92，利用電壓校準部90b校準驅動電壓。或者，亦可以接收表示藉由基準電壓取得部90a取得之基準電壓之訊號之電壓校準部90b自動地校準驅動電壓的方式進行。若算出與驅動電壓對應之臂部之打開量，則之後可藉由特定出負載零點之基準電壓而準確地控制引線接合處理中之引線夾裝置之打開量。
如此，使用將驅動電壓校準後之引線夾裝置70開始引線接 合處理(S13)。引線接合處理中經由應變檢測部90c檢測出應變感測器82之輸出值(S14)，基於應變感測器82之輸出結果，經由電壓控制部90d控制施加至驅動用壓電元件80之驅動電壓(S15)。如此，與驅動用壓電元件80之驅動狀態對應而即刻控制驅動電壓，藉此可高精度地控制一對臂部72a、72b之開閉動作(打開量)。
其後，判斷是否結束引線接合(S16)，於未結束而進一步繼續引線接合之情形時(S16否(NO))，返回至步驟S11。另一方面，於結束引線接合之情形時(S16是(YES))，結束本方法。再者，步驟S11至S15之各步驟能夠以對1個或多個工件之引線接合結束為契機而進行。
如上所述，根據本實施形態，藉由一對臂部72a、72b之前端部73a、73b彼此之電性導通檢測出一對臂部72a、72b成為閉合狀態之時點，基於一對臂部72a、72b成為閉合狀態之基準電壓對施加至驅動用壓電元件80之驅動電壓進行校準。藉此，可準確地調整一對臂部72a、72b之打開量。由此，可進行準確且穩定之引線接合。
又，根據本實施形態，由於設置有與驅動用壓電元件80接觸而配置之應變感測器82，故而可直接檢測出伴隨驅動用壓電元件80之驅動之變化。因此，可更準確地控制驅動用壓電元件80之驅動電壓。
<第2實施形態>
其次，一面參照圖5及圖6，一面對本發明之第2實施形態進行說明。圖5係本實施形態之引線夾裝置之立體圖。又，圖6係用以說明圖5之引線夾裝置之校準方法之曲線圖。
於第1實施形態中，對電性檢測出一對臂部72a、72b成為 閉合狀態之時點之形態進行了說明，於本實施形態中，藉由檢測用壓電元件186進行檢測之方面不同。以下，對與第1實施形態之內容不同之方面進行說明。再者，省略於圖5中標註與圖3相同之符號之構成要素之說明。
本實施形態之引線夾裝置170具備一對臂部72a、72b、及安裝於引線接合裝置1之本體之驅動部76，且於驅動部76設置有驅動用壓電元件180及檢測用壓電元件186。驅動用壓電元件180亦可與於第1實施形態中說明之內容同樣地接觸配置有應變感測器。
檢測用壓電元件186對伴隨由驅動用壓電元件180所進行之一對臂部72a、72b之開閉而產生之應力進行檢測。檢測用壓電元件186於驅動用壓電元件180之移動方向(即，伸縮方向)上與驅動用壓電元件180相鄰設置。換言之，檢測用壓電元件186係與驅動用壓電元件180串聯而配置於驅動部76與作用部79之間。
於圖5所示之例中，檢測用壓電元件186於一對臂部72a、72b之延伸方向上設置於驅動用壓電元件180與一對臂部72a、72b之基端部74a、74b之間。藉此，檢測用壓電元件186能夠於其一端部受到來自驅動用壓電元件180之應力，於其另一端部受到來自作用部79之應力，因此能夠準確地檢測出伴隨一對臂部72a、72b之開閉而產生之應力。
於此種引線夾裝置170中，可藉由檢測用壓電元件186檢測出一對臂部72a、72b成為閉合狀態之時點之彎曲點。利用圖6對該點進行詳細說明。於圖6中，縱軸表示檢測用壓電元件之輸出值，橫軸表示一對臂部之開閉量。再者，關於橫軸之開閉量，正值為打開之方向之值，負值為閉合之方向之值，零表示閉合狀態。
若對該檢測方法之一例進行說明，則首先，對驅動用壓電元件180施加既定值之電壓，將一對臂部72a、72b設為打開狀態(例如圖6之0.8之狀態)，自該狀態使對驅動用壓電元件180之施加電壓漸漸減少，使一對臂部72a、72b漸漸接近閉合狀態。然後，繼續減少對驅動用壓電元件180之施加電壓，若成為前端部73a、73b之夾片71a、71b相互接觸之閉合狀態(圖6之橫軸之零之狀態)，則於驅動用壓電元件180伸縮之方向上釋放應力，其成為彎曲點而表現為檢測用壓電元件186之輸出。如此，可藉由檢測用壓電元件186檢測負載零點，取得此時之施加至驅動用壓電元件80之電壓作為基準電壓。
再者，檢測用壓電元件186之配置並不限定於上述內容，作為變化例，亦可將檢測用壓電元件186配置於驅動用壓電元件180中之與作用部79為相反側。於該情形時，亦可藉由檢測用壓電元件186檢測上述彎曲點。
於本實施形態中，一對臂部72a、72b之材料可為導電性材料，亦可為絕緣性材料，並無特別限定。又，亦可不具備第1實施形態中說明之絕緣層75。
本發明並不限定於上述實施形態，能夠變化為各種而應用。
於上述各實施形態中，關於一對臂部72a、72b成為閉合狀態之時點，對檢測出前端部73a、73b之夾片71a、71b相互接觸之狀態之形態進行了說明，但本發明並不限定於此。例如，利用基準電壓取得部90a所進行之檢測亦可於插通引線42之狀態下檢測出夾片71a、71b分別與引線42接觸之狀態。
又，於上述各實施形態中，對採用檢測出負載零點之狀態之構成、及檢測出伴隨驅動用壓電元件之驅動之應變感測器之輸出值之構成之兩者的形態進行了說明，但作為變化例，亦可僅採用任一者之構成。
又，於本發明中，對驅動用壓電元件之施加電壓之方向與臂部之開閉動作之關係並不限於上述各實施形態的例，該等之關係可適當進行設定。
又，於本發明中，引線夾裝置之構成要素並不限定於上述各實施形態，只要能夠藉由驅動用壓電元件之驅動進行臂部之開閉動作，則並無特別限定。
透過上述發明之實施形態所說明之實施態樣可根據用途而適當進行組合，或加入變更或改良而使用，本發明並不限定於上述實施形態之記載。根據申請專利範圍可知此種加入組合、或變更或改良之形態亦可包含於本發明之技術範圍。

Claims (8)

  1. 一種引線夾裝置之校準方法，其包括以下步驟：準備引線夾裝置，該引線夾裝置具備：一對臂部，其具有用以夾住引線之前端部且自該前端部朝向基端部延伸；及驅動部，其與上述一對臂部之基端部結合且設置有藉由驅動電壓使上述一對臂部之前端部開閉之驅動用壓電元件；於藉由驅動電壓驅動上述驅動用壓電元件時，藉由上述一對臂部之前端部彼此之電性導通檢測出上述一對臂部成為閉合狀態之時點，以取得上述一對臂部成為閉合狀態之基準電壓；以及基於上述基準電壓對施加至上述驅動用壓電元件之驅動電壓進行校準。
  2. 一種引線夾裝置之校準方法，其包括以下步驟：準備引線夾裝置，該引線夾裝置具備：一對臂部，其具有用以夾住引線之前端部且自該前端部朝向基端部延伸；及驅動部，其具有藉由驅動電壓使上述一對臂部之前端部開閉之驅動用壓電元件及對伴隨利用上述驅動用壓電元件所進行之上述一對臂部之開閉而產生之應力進行檢測之檢測用壓電元件，且與上述一對臂部之基端部結合；於藉由驅動電壓驅動上述驅動用壓電元件時，基於上述應力變化檢測出上述一對臂部成為閉合狀態之時點，以取得上述一對臂成為上述閉合狀態之基準電壓；以及基於上述基準電壓對施加至上述驅動用壓電元件之驅動電壓進行校準。
  3. 如申請專利範圍第2項之校準方法，其中，上述檢測用壓電元件設置於上述驅動用壓電元件與上述一對臂部之基端部之間。
  4. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之校準方法，其中，於上述引線夾裝置之上述驅動部設置有與上述驅動用壓電元件接觸之應變感測器，且上述方法於對施加至上述驅動用壓電元件之驅動電壓進行校準後，於引線接合處理中，進一步包括：檢測出伴隨上述驅動用壓電元件之驅動之上述應變感測器之輸出值，基於上述應變感測器之輸出值，對施加至上述驅動用壓電元件之驅動電壓進行控制的步驟。
  5. 一種引線接合裝置，其具備：引線夾裝置，具備：一對臂部，其具有用以夾住引線之前端部且自該前端部朝向基端部延伸；及驅動部，其與上述一對臂部之基端部結合且設置有藉由驅動電壓使上述一對臂部之前端部開閉之驅動用壓電元件；基準電壓取得部，其於藉由驅動電壓驅動上述驅動用壓電元件時，藉由上述一對臂部之前端部彼此之電性導通檢測出上述一對臂部成為閉合狀態之時點，以取得上述一對臂部成為閉合狀態之基準電壓；以及電壓校準部，其基於上述基準電壓取得部取得之上述基準電壓，對施加至上述驅動用壓電元件之驅動電壓進行校準。
  6. 一種引線接合裝置，其具備：引線夾，具備：一對臂部，其具有用以夾住引線之前端部且自該前端部朝向基端部延伸；及驅動部，其具有藉由驅動電壓使上述一對臂部之前端部開閉之驅動用壓電元件及對伴隨利用上述驅動用壓電元件所進行之上述一對臂部之開閉而產生之應力進行檢測之檢測用壓電元件，且與上述一對臂部之基端部結合；基準電壓取得部，其於藉由驅動電壓驅動上述驅動用壓電元件時，基於上述應力之變化檢測出上述一對臂成為閉合狀態之時點，以取得上述一對臂部成為閉合狀態之基準電壓；以及電壓校準部，其基於上述基準電壓取得部取得之上述基準電壓，對施加至上述驅動用壓電元件之驅動電壓進行校準。
  7. 如申請專利範圍第6項之引線接合裝置，其中，上述檢測用壓電元件設置於上述驅動用壓電元件與上述一對臂部之基端部之間。
  8. 如申請專利範圍第5至7項中任一項之引線接合裝置，其中，於引線夾裝置之上述驅動部設置有與上述驅動用壓電元件接觸之應變感測器，且上述引線接合裝置進一步具備電壓控制部，該電壓控制部檢測出伴隨上述驅動用壓電元件之驅動之上述應變感測器之輸出值，基於上述應變感測器之輸出值，對施加至上述驅動用壓電元件之驅動電壓進行控制。
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