TWI610866B - 物品保管設備 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種簡單之結構且易進行以區間單位而設之機器之保養作業的物品保管設備。本發明是於複數個區間用供給部份分別設第1切換閥，於複數個收納部用供給部份分別設第2切換閥，將複數個釋放路徑連接於惰性氣體供給路徑之設有第1切換閥之位置的氣體供給方向之下游且設有第2切換閥之位置之氣體供給方向的上游側，於複數個釋放路徑分別設區間用釋放切換閥。

Description

物品保管設備 發明領域

本發明是有關於一種物品保管設備，該物品保管設備設有收納容器之複數個收納部、將惰性氣體分別供至前述複數個收納部之惰性氣體供給路徑、及將以前述惰性氣體供給路徑供至前述收納部之惰性氣體吐出至收納於該收納部之前述容器的內部之吐出部；前述複數個收納部劃分為複數個區間。

發明背景

於日本專利公開公報平11-168135號(專利文獻1)揭示有如上述之物品保管設備之一例。專利文獻1之物品保管設備包含有收納容器之複數個收納部、將氮氣或氬氣等惰性氣體分別供至複數個收納部之惰性氣體供給路徑，而構造成以惰性氣體供給路徑將惰性氣體供至吐出部，從該吐出部吐出惰性氣體，而將惰性氣體供至收納於收納部之容器內。

在上述專利文獻1之物品保管設備中，將容器收納於收納部時，將惰性氣體供至容器內。藉此，可使對半導體基 板之品質管理不利之氧氣或水蒸氣等從容器內排出，而抑制產生收容於容器之半導體基板之氧化等弊端。

如此，已知有將惰性氣體供至收納於收納部之容器內而謀求防止容器內之物品之品質惡化的物品保管設備。

發明概要

在上述專利文獻1之物品保管設備中，設有6個收納部，該6個收納部劃分為2個區間。又，對2個區間各個各別設有惰性氣體供給路徑。因此，對2條惰性氣體供給路徑分別設有惰性氣體之供給源，從此2個供給源各別將惰性氣體供至2條惰性氣體供給路徑。

在此種物品保管設備中，考慮藉將2條惰性氣體供給路徑連接於共通之基幹供給部份，從單一氣體供給源將惰性氣體供至屬於2區間之收納部，而減少供給源之數來謀求物品保管設備之結構之簡單化。

如上述構成物品保管設備時，例如因於以區間單位而設之主閥21產生故障而更換該主閥21時，需使對設有主閥21之惰性氣體供給路徑之惰性氣體的供給停止，並且使在受到該惰性氣體供給路徑壓縮之狀態下殘留之惰性氣體的一部份排出至外部，而使惰性氣體供給路徑內之壓力與外部之壓力一致(排壓)。然而，由於2條惰性氣體供給路徑連接於共通之基幹部份，故為使惰性氣體之供給停止而使基幹供給部份之惰性氣體的供給停止時，2條路徑皆停止 惰性氣體之供給。結果，停止對物品保管設備之所有收納部之惰性氣體的供給。因此，更換以區間單位而設之機器時，亦需使對物品保管設備之所有收納部之惰性氣體的供給停止。

又，由於如上述更換機器時，有雜質混入惰性氣體供給路徑之虞，故於再開始運轉前，需進行使惰性氣體流通至惰性氣體供給路徑而將雜質與惰性氣體一同排出至外部的預備運轉。此時，當使在惰性氣體供給路徑流通之惰性氣體從吐出部吐出時，若於收納部收納有容器時，有雜質與從吐出部吐出之惰性氣體一同混入容器之虞。因此，進行預備運轉時，需從收納部取出容器，而有供預備運轉用之事前準備之作業繁雜的問題。

如此，如上述構成物品保管設備時，雖然可簡單地構成物品保管設備，但更換以區間單位而設之機器時，由於亦對設有該機器之區間以外之區間產生影響，故不易進行機器之保養作業。

鑑於上述背景，預期實現簡單之結構且易進行以區間單位而設之機器之保養作業的物品保管設備。

本發明之物品保管設備包含有收納容器之複數個收納部、將惰性氣體分別供至前述複數個收納部之惰性氣體供給路徑、及複數個收納部用供給部份，將以前述惰性氣體供給路徑供至前述收納部之惰性氣體吐出至收納於該收納部之前述容器的內部之吐出部；在此，前述複數個收納部劃分為複數個區間，前述惰性氣體供給路徑具有基 幹供給部份、複數個區間用供給部份、及複數個收納部用供給部份，該複數個區間用供給部份從前述基幹供給部份一一分歧到前述複數個區間而將在前述基幹供給部份流通之惰性氣體一一供至前述複數個區間，該複數個收納部用供給部份將在前述區間用供給部份流通之惰性氣體各別地供至前述複數個收納部而使惰性氣體從前述吐出部吐出，此複數個收納部屬於對應於該區間用供給部份之前述區間；前述物品保管設備更包含有第1切換閥、第2切換閥及複數個釋放路徑，該第1切換閥分別設於前述複數個區間用供給部份，可自由切換為惰性氣體可流通之開啟狀態及無法流通之關閉狀態；該第2切換閥設於每一前述複數個區間用供給部份中較設有前述第1切換閥之位置更靠氣體供給方向下游側，或者分別設於前述複數個收納部用供給部份，並可自由切換成惰性氣體可流通之開啟狀態及無法流通之關閉狀態；該複數個釋放路徑分別連接於前述複數個區間用供給部份而用以從前述區間用供給部份排出惰性氣體；又，前述複數個釋放路徑連接於前述惰性氣體供給路徑中較設有前述第1切換閥之位置更靠前述氣體供給方向下游側且較設有前述第2切換閥之位置更靠前述氣體供給方向的上游側；於前述複數個釋放路徑分別設有可自由切換成惰性氣體可流通之開啟狀態及無法流通之關閉狀態的區間用釋放切換閥。

根據上述結構，惰性氣體供給路徑以複數個區間用供給部份將來自基幹供給部份之惰性氣體供至複數個區 間之各區間，關於各區間用供給部份，以複數個收納部用供給部份將在區間用供給部份流通之惰性氣體各別供至複數個收納部。因此，由於可以1個惰性氣體供給路徑將惰性氣體分別供至屬於複數個區間之複數個收納部，故相較於對複數個區間各別設供給惰性氣體供給路徑之情形，可謀求物品保管設備之結構之簡單化。

又，於區間用供給部份設有第1切換閥，於區間用供給部份或複數個收納部用供給部份分別設有第2切換閥。

因此，藉將第1切換閥與設於區間用供給部份之第2切換閥或設於複數個收納部用供給部份各個之第2切換閥切換為關閉狀態及開啟狀態，可以區間單位切換為將惰性氣體供至收納部之狀態及不供給之狀態。

於較設有第1切換閥之位置更靠氣體供給方向下游側且較設有第2切換閥之位置更靠氣體供給方向上游側的部份(以下稱為區間之對象部份)連接有釋放路徑。因此，將第1切換閥及第2切換閥切換為關閉狀態，以區間單位停止對收納部之惰性氣體之供給，將區間用釋放切換閥切換為開啟狀態，藉此，可將殘留於區間之對象部份之惰性氣體從釋放路徑排出，僅將區間之對象部份排壓。

如此，更換設於區間之對象部份之機器時，一面停止對該區間之惰性氣體之供給而使該機器排壓，一面繼續進行對其他區間之惰性氣體之供給。

又，藉將第1切換閥及區間用釋放切換閥切換為 開啟狀態，將第2切換閥切換為關閉狀態，可從釋放路徑排出從基幹供給部份供至區間之對象部份的惰性氣體。是故，例如更換以區間單位而設之機器時，為去除該更換時混入之雜質，而於運轉再開始時，使惰性氣體流通至惰性氣體供給路徑之區間之對象部份，進行使雜質與惰性氣體一同排出至外部之預備運轉時，由於不從吐出部吐出惰性氣體，故可抑制雜質與從吐出部吐出之惰性氣體一同混入容器。結果，不需於預備運轉時等取出收納於收納部之容器，而可減低事前準備之作業之繁雜。

如此，可簡單地構成物品保管設備，並且更換以區間單位而設之機器時，由於可減低對設有該機器之區間以外之區間的影響，故易進行機器之更換等保養作業。

以下，就本發明之較佳實施形態之例作說明。

在本發明之物品保管設備之實施形態中，宜設覆蓋用以設置前述複數個收納部之設置空間的壁體，前述區間用釋放切換閥以藉人為操作切換為前述開啟狀態及前述關閉狀態之人為操作式切換閥構成，並且設於前述壁體之外部。

根據上述之結構，藉作業員將區間用釋放切換閥切換為開啟狀態，可使供至區間用供給部份之惰性氣體從釋放路徑排出，而可進行在該區間用供給部份流通之惰性氣體之取樣。

又，有設置空間充滿從容器排出之惰性氣體之情形，藉於壁體之外部設區間用釋放切換閥，作業員可在不進入 設置空間下，切換區間用釋放切換閥。

在本發明之物品保管設備之實施形態中，宜設連接於前述複數個釋放路徑各個之設有前述區間用釋放切換閥之位置之氣體排出方向的下游側之匯合用釋放路徑，於前述匯合用釋放路徑設有以人為操作自由切換為惰性氣體可流通之開啟狀態與無法流通之關閉狀態的匯合用釋放切換閥；前述匯合用釋放切換閥設於前述壁體之外部。

根據上述結構，作業員可在不進入設置空間下，切換區間用釋放切換閥及匯合用釋放切換閥，藉將該等區間用釋放切換閥及匯合用釋放切換閥切換為開啟狀態，以區間單位排出惰性氣體。

又，以區間用釋放切換閥及匯合用釋放切換閥將人為操作式切換閥設成二重，由於若將2個切換閥中至少一者切換為關閉狀態，可使惰性氣體之排出停止，故可抑制因人為疏失忘記將切換閥切換為關閉狀態引起之惰性氣體的排出。

本發明之物品保管設備之實施形態中，宜設連接於前述基幹供給部份之基幹用釋放路徑，前述基幹用釋放路徑具有自由切換為惰性氣體可流通之開啟狀態與無法流通之關閉狀態的基幹用釋放切換閥。

根據上述結構，藉作業員將基幹用釋放切換閥切換為開啟狀態，可使供至基幹供給部份之惰性氣體從基幹用釋放路徑排出，而可進行在基幹用供給部份流通之惰性氣體之取樣。

又，依據依從以區間單位而設之釋放路徑排出之取樣的檢測結果及依從基幹用釋放路徑排出之取樣之檢測結果，判斷基準供給部份是否有污染源或區間用供給部份是否有污染源，而可獲得對污染源之界定有利的資訊。

10‧‧‧保管架

10a‧‧‧載置支撐部

10b‧‧‧定位突起

10i‧‧‧吐出噴嘴

10o‧‧‧排出用通氣體

10z‧‧‧庫存感測器

10S‧‧‧收納部

20‧‧‧堆高式起重機

21‧‧‧行走台車

22‧‧‧柱

23‧‧‧上部框架

24‧‧‧升降台

25‧‧‧移載裝置

40‧‧‧質量流量控制器

50‧‧‧容器

50i‧‧‧供氣口

50o‧‧‧排氣口

51‧‧‧殼體

52‧‧‧蓋體

53‧‧‧頂凸緣

60‧‧‧氮氣供給路徑

61‧‧‧基幹供給部份

61a‧‧‧基幹設置部

61b‧‧‧基幹連接部

62‧‧‧區間用供給部份

62a‧‧‧區間用設置部

62b‧‧‧區間用連接部

63‧‧‧收納部用供給部份

65‧‧‧第1基幹用手動閥

66‧‧‧基幹用控制閥

67‧‧‧第2基幹用手動閥

69‧‧‧區間用手動閥(第1切換閥)

70‧‧‧壓力調整閥

71‧‧‧壓力檢測感測器

72‧‧‧區間用控制閥

74‧‧‧收納部用手動閥(第2切換閥)

75‧‧‧收納部用控制閥

77‧‧‧旁通路徑

78‧‧‧旁通用手動閥

80‧‧‧氮氣釋放路徑

81‧‧‧基幹用釋放路徑

82‧‧‧區間用釋放路徑

82a‧‧‧區間用釋放部份

82b‧‧‧匯合用釋放部份

83‧‧‧基幹用釋放手動閥

84‧‧‧區間用釋放手動閥

85‧‧‧匯合用釋放手動閥

86‧‧‧釋放用壓力調整閥

87‧‧‧分配閥箱

A，B‧‧‧方向

CH‧‧‧區間

CV‧‧‧入庫出庫輸送機

D‧‧‧搬送車

H‧‧‧控制裝置

K‧‧‧壁體

W‧‧‧半導體基板

圖1是物品保設備之縱斷側視圖。

圖2是顯示該設備之一部份之縱斷正面圖。

圖3是收納部之立體圖。

圖4是收納部之正面圖。

圖5是顯示對區間之惰性氣體之供給形態的圖。

圖6是顯示基幹供給部份與基幹用釋放路徑之圖。

圖7是顯示區間用供給部份與區間用釋放路徑之圖。

圖8是顯示收納部用供給部份之圖。

圖9是控制方塊圖。

用以實施發明之形態

以下，依據圖式，說明本發明之實施形態。

全體結構

如圖1所示，於物品保管設備設有具有複數個收納容器50之收納部10S之保管架10、搬送容器50之堆高式起重機20、覆蓋用以設置保管架10(複數個收納部10S)與堆高式起重機20之設置空間的壁體K、以貫穿壁體K之狀態配設而載置搬送容器50的入庫出庫輸送機CV。

此外，保管架10以對向之狀態設有1對。又，在本實施 形態中，保管架10將收容半導體基板W(以下稱為基板W)之FOUP(Front Opening Unified Pod：前開口式通用容器)作為容器50來保管。

容器50之結構

如圖4所示，容器50具有具有用以取出放入基板W之開口之殼體51、關閉殼體51之開口之裝卸自如之蓋體52。

如圖1、圖2及圖4所示，於殼體51之上面形成有以吊車式搬送車D握持之頂凸緣53。又，於殼體51之底面設有用以將作為惰性氣體之氮氣注入至容器50內之供氣口50i及用以將氮氣從容器50內排出之排氣口50o。雖省略圖示，但於供氣口50i設有注入側開關閥，於排氣口50o設有排出側開關閥。

亦即，容器50構造成藉在收容有基板W之狀態下，以蓋體52關閉開口，且以開關閥分別關閉供氣口50i及排氣口50o，而具有氣密性。

供氣口50i之注入側開關閥以彈簧等賦與勢能體賦與往關閥側之勢能，當供至供氣口50i之氮氣之吐出壓力達設定為高於大氣壓之值的設定開閥壓力以上時，便藉該壓力開閥。

又，排氣口50o之排出側開關閥藉彈簧等賦與勢能體賦與往關閥側之勢能，當容器50內部之壓力達設定為高於大氣壓之值之設定開閥壓力以上時，藉該壓力開閥。

堆高式起重機20之結構

如圖1所示，堆高式起重機20具有沿著保管架10之架寬 度方向在保管架10之前面側行走移動之行走台車21、直立設於該行走台車21之柱22、設於柱22之上端而與圖中未示之上部引導軌道卡合的上部框架23、在受到上述柱22導引之狀態下升降移動之升降台24。

於升降台24裝備有對收納部10S或入庫出庫輸送機CV移載容器50之移載裝置25。

又，堆高式起重機20藉行走台車21之行走移動、升降台24之升降移動及移載裝置25之移載作動，執行將入庫出庫輸送機CV上之容器50搬送至收納部10S之入庫作業、將收納部10S之容器50搬送至入庫出庫輸送機CV上之出庫作業及將收納部10S之容器50搬送至其他收納部10S之退避作業。

收納部10S之結構

如圖2所示，在保管架10，收納部10S於上下方向及架寬度方向並排設置複數個。加以說明，在本實施形態中，在保管架10，收納部10S於上下方向並排設置8段，於架寬度方向並排設置9列(圖2僅顯示4列)。即，於保管架10設有72處收納部10S。

又，如圖5所示，將於上下方向並排設置之4段、於架寬度方向並排設置之3列共計12處的收納部10S作為屬於1個區間CH之收納部10S，72處收納部10S劃分為屬於6個區間CH其中任一個。如此，設於保管架10之複數個收納部10S劃分為複數個(在本例為6個)區間CH。

如圖3所示，於複數個收納部10S分別具有載置支 撐容器50之載置支撐部10a。而收納部10S可在載置支撐於載置支撐部10a之狀態下，收納容器50。

又，於載置支撐部10a設有用以卡合於形成在容器50之下面部之複數個(在本例中為3個)被卡合部(圖中未示)而將該容器50定位於規定位置之複數個(在本例中為3個)定位突起10b、檢測載置支撐部10a上是否載置有容器50(亦即，容器50是否收納於收納部10S)之庫存感測器10z。在本例中，2個庫存感測器10z設於載置支撐部10a。

又，如圖3及圖4所示，於載置支撐部10a設有作為將氮氣供至收納於收納部10S之容器50內部的吐出部之吐出噴嘴10i、使從容器50之內部排出之氣體流通之排出用通氣體10o。

如圖4所示，吐出噴嘴10i設於在容器50載置於載置支撐部10a上之規定位置之狀態下嵌合於該容器50的下面部具有之供氣口50i之處。又，排出用通氣體10o設於在容器50載置於載置支撐部10a上之規定位置之狀態下嵌合於該容器50的下面部具有之排氣口50o之處。

亦即，當將容器50收納於收納部10S而載置於載置支撐體10a時，可以定位突起10b將在水平方向之位置定位於規定位置，同時，吐出噴嘴10i與供氣口50i連接成嵌合狀態，且排出用通氣體10o與排氣口50o連接成嵌合狀態。

又，在容器50載置支撐於載置支撐部10a之狀態下，使設定為高於大氣壓之值之設定值以上的高壓氮氣從吐出噴嘴10i吐出，藉此，從容器50之供氣口50i將氮氣注入至容器 50之內部，且從容器50之排氣口50o使容器50內之氣體排出至外部。

氮氣之供給結構

如圖5~圖8所示，於物品保管設備設有作為將氮氣供至複數個收納部10S之惰性氣體供給路徑之氮氣供給路徑60。又，此氮氣供給路徑60僅對1對保管架10之其中一者設置，而可將氮氣僅供至該其中之一保管架10。接著，就此氮氣供給路徑60作說明。氮氣供給路徑60具有連接於圖外之氮氣供給源之基幹供給部份61、從該基幹供給部份61對應於區間CH而分歧之區間用供給部份62、從該區間用供給部份62對應於收納部10S而進一步分歧之收納部用供給部份63。

附帶一提，圖5是顯示對各區間CH供給氮氣之結構的圖。圖6~圖8是部份顯示氮氣供給路徑60之圖。附帶一提，在圖6及圖7中，將氮氣供給路徑60以較其他旁通路徑77或氮氣釋放路徑80(基幹用釋放路徑81及區間用釋放路徑82)粗之線顯示。

此外，說明氮氣供給路徑60時，將氮氣從供給源朝吐出噴嘴10i流通之方向稱為氣體供給方向，依據該氣體供給方向之氣體流動，定義氣體供給方向之上游及下游來說明。

基幹供給部份

如圖6所示，於基幹供給部份61之基幹設置部61a從氣體供給方向之上游依序設有第1基幹用手動閥65、基幹用控 制閥66、第2基幹用手動閥67。附帶一提，在基幹供給部份61，於圖6以箭號A顯示之方向為氣體供給方向。

第1基幹用手動閥65、基幹用控制閥66、第2基幹用手動閥67分別構造成自由切換為氮氣可從基幹供給部份61流通至區間用供給部份62之開啟狀態與無法流通之關閉狀態。基幹用控制閥66依據控制裝置H之控制指令，各別切換操作為開啟狀態及關閉狀態。又，第1基幹用手動閥65及第2基幹用手動閥67藉作業員之人為操作切換操作為關閉狀態及開啟狀態。

又，藉將第1基幹用手動閥65、基幹用控制閥66及第2基幹用手動閥67分別切換為開啟狀態，形成為氮氣可從基幹供給部份61流通至區間用供給部份62之狀態，藉將第1基幹用手動閥65、基幹用控制閥66及第2基幹用手動閥67中至少1個切換為關閉狀態，形成為氮氣無法從基幹供給部份61流通至區間用供給部份62之狀態。

區間用供給部份

如圖5所示，區間用供給部份62連接於位於基幹供給部份61之基幹設置部61a之下游側的基幹連接部61b。加以說明，氮氣供給路徑60具有與區間CH之數相同之路徑數之區間用供給部份62，在本例中，於基幹供給部份61之基幹連接部61b連接有6個路徑之區間用供給部份62。又，各區間用供給部份62之區間用連接部62b分歧為與區間CH之收納部10S之段數相同之4個路徑。附帶一提，在區間用供給部份62，於圖7以箭號A顯示之方向為氣體供給方向。又，區 間用供給部份62為較基幹供給部份61細之配管尺寸。

如圖7所示，於區間用供給部份62之區間用設置部62a從氣體供給方向之上游依序設有區間用手動閥69、壓力調整閥70、壓力檢測感測器71、區間用控制閥72。此外，在本實施形態中，區間用手動閥69相當於本發明之第1切換閥。

區間用手動閥69及區間用控制閥72構造成自由切換為氮氣可從區間用供給部份62流通至收納部用供給部份63之開啟狀態及無法流通之關閉狀態。區間用控制閥72依據控制裝置H之控制指令，各別切換操作為開啟狀態及關閉狀態。又，區間用手動閥69藉作業員之人為操作切換操作為關閉狀態與開啟狀態。

又，藉將區間用手動閥69及區間用控制閥72分別切換為開啟狀態，而形成為氮氣可從區間用供給部份62流通至收納部用供給部份63之狀態，藉將區間用手動閥69及區間用控制閥72中至少1個切換為關閉狀態，而形成為氮氣無法從區間用供給部份62流通至收納部用供給部份63之狀態。

又，壓力調整閥70藉調整從區間用供給部份62流通至收納部用供給部份63之氮氣之流通量，而調整收納部用供給部份63之氮氣之壓力。壓力檢測感測器71檢測收納部用供給部份63之氮氣之壓力。

收納部用供給部份

如圖5所示，收納部用供給部份63連接於區間用供給部 份62之區間用連接部62b。加以說明，氮氣供給路徑60具有與收納部10S之數相同之路徑數(在本例中為72條路俓)之收納部用供給部份63，在本例中，於區間用供給部份62之1個區間用連接部62b連接有3條路徑之收納部用供給部份63。

附帶一提，在收納部用供給部份63中，於圖8以箭號A顯示之方向為氣體供給方向。又，收納部用供給部份63為較區間用供給部份62細之配管尺寸。

如圖8所示，於收納部用供給部份63從氣體供給方向之上游依序設有收納部用手動閥74、收納部用控制閥75、質量流量控制器40，於收納部用供給部份63之下游側端部連接有吐出噴嘴10i。

此外，在本實施形態中，收納部用手動閥74相當於本發明之第2切換閥。

收納部用手動閥74及收納部用控制閥75構造成自由切換為氮氣可從收納部用供給部份63流通至吐出噴嘴10i之開啟狀態與無法流通之關閉狀態。收納部用控制閥75依據控制裝置H之控制指令，各別切換操作為開啟狀態與關閉狀態。又，收納部用手動閥74藉作業員之人為操作切換操作為關閉狀態及開啟狀態。

又，藉將收納部用手動閥74及收納部用控制閥75分別切換為開啟狀態，而形成為氮氣可從收納部用供給部份63流通至吐出噴嘴10i之狀態，藉將收納部用手動閥74及收納部用控制閥75中至少1個切換為關閉狀態，而形成為氮氣無法從收納部用供給部份63流通至吐出噴嘴10i之狀 態。

又，於質量流量控制器40具有調整從收納部用供給部份63流通至吐出噴嘴10i之氮氣之流通量的流量調整閥、檢測從收納部用供給部份63流通至吐出噴嘴10i之氮氣之流量的流量檢測感測器之功能。

基幹用控制閥66、區間用控制閥72及收納部用控制閥75各控制閥依據控制裝置H之控制指令，各別切換操作為開啟狀態及關閉狀態。

又，第1基幹用手動閥65、第2基幹用手動閥67、區間用手動閥69及收納部用手動閥74各手動閥藉作業員之人為操作切換操作為關閉狀態及開啟狀態。

控制結構

如圖9所示，控制裝置H可輸入庫存感測器10z之檢測資訊且與堆高式起重機20連接成通訊自如。藉此，控制裝置H管理保管架10之容器50之庫存狀態等，並且依據圖外之上位控制器之入庫指令及出庫指令，控制堆高式起重機20之作動。

加以說明，控制裝置H當從上位控制器發出入庫指令時，便執行入庫搬送處理。在入庫搬送處理中，依據庫存狀態，選擇未收納容器50之1個空收納部10S作為收納對象之收納部10S，控制堆高式起重機20之作動，以將容器50從入庫出庫輸送機CV搬送至收納對象之收納部10S。又，控制裝置H當從上位控制器發出出庫指令時，執行出庫搬送處理。在出庫搬送處理中，控制堆高式起重機20之作動，以將出庫 對象之容器50從收納其之收納部10S搬送至入庫出庫輸送機CV上。

又，可程式邏輯控制器P及複數個IO擴充模組A以通訊線通訊自如地連接於控制裝置H。於可程式邏輯控制器P連接有複數個質量流量控制器40。於IO擴充模組A連接有屬於對應之區間CH之庫存感測器10z、壓力檢測感測器71及分配閥箱87。

又，控制裝置H控制基幹用控制閥66之作動，並且將顯示氮氣之供給量及供給氮氣之收納部10S之供給資訊發送至可程式邏輯控制器P。可程式邏輯控制器P依據來自控制裝置H之供給資訊，控制質量流量控制器40(流量調整閥)之作動，並且藉由IO擴充模組A，將指令資訊發送至分配閥箱87。分配閥箱87依據指令資訊作動，使區間用控制閥72及收納部用控制閥75作動，以對供給氮氣之供給對象之收納部10S供給氮氣。

如此，控制裝置H藉由可程式邏輯控制器P及IO擴充模組A等，控制基幹用控制閥66、區間用控制閥72、收納部用控制閥75及質量流量控制器40之作動。

旁通路徑

如圖5所示，將複數個區間用供給部份62中之2個作為1組，在使作為該組之2個區間用供給部份62連通之狀態下，設有旁通路徑77。

在本例中，此旁通路徑77設成使分別對應於上下方向相鄰之2個區間CH之區間用供給部份62連通，對應於6個區 間CH而設有3條路徑。此外，旁通路徑77為與區間用供給部份62相同之配管尺寸。

如圖7所示，於旁通路徑77設有自由切換為氮氣可在旁通路徑77流通之開啟狀態與無法流通之關閉狀態之旁通用手動閥78。此旁通用手動閥78藉作業員之人為操作切換操作為關閉狀態與開啟狀態。

釋放路徑

如圖5所示，設有連接於氮氣供給路徑60而用以從氮氣供給路徑60排出氮氣之氮氣釋放路徑80。又，如圖5~圖7所示，此氮氣釋放路徑80設有連接於基幹供給部份61而用以從基幹供給部份61排出氮氣之基幹用釋放路徑81、連接於複數個區間用供給部份62而用以從區間用供給部份62排出氮氣之區間用釋放路徑82。此外，在說明氮氣釋放路徑80時，將來自氮氣供給路徑60之氮氣流通之方向稱為氣體排出方向，依據該氣體排出方向之氣體流動，定義氣體排出方向之上游及下游來說明。

基幹釋放

如圖6所示，基幹用釋放路徑81連接於在基幹供給部份61之基幹設置部61a之設有第1基幹用手動閥65及基幹用控制閥66的位置之氣體供給方向之下游側且設有第2基幹用手動閥67之位置之氣體供給方向的上游側。此外，基幹用釋放路徑81為與區間用供給部份62相同之配管尺寸。

又，於基幹用釋放路徑81從氣體排出方向之上游側依序設有釋放用壓力調整閥86、自由切換為惰性氣體可流通 之開啟狀態及無法流通之關閉狀態之基幹用釋放手動閥83。釋放用壓力調整閥86與壓力調整閥70同樣地構成。基幹用釋放手動閥83藉作業員之人為操作切換操作為關閉狀態與開啟狀態。此外，在本實施形態中，基幹用釋放手動閥83相當於本發明之基幹用釋放切換閥。

因此，藉將第1基幹用手動閥65及第2基幹用手動閥67切換為開啟狀態，將基幹用釋放手動閥83切換為關閉狀態，可使來自圖外供給源之氮氣之全部流動至區間用供給部份62。

又，藉將第1基幹用手動閥65、第2基幹用手動閥67及基幹用釋放手動閥83切換為開啟狀態，可一面使來自供給源之氮氣流動至區間用供給部份62，一面使來自供給源之氮氣之一部份流動至基幹用釋放路徑81而排出至外部，而可進行來自供給源之氮氣之取樣。

又，藉將第1基幹用手動閥65切換為開啟狀態，將第2基幹用手動閥67切換為關閉狀態，將基幹用釋放手動閥83切換為開啟狀態，可使來自供給源之氮氣之全部流動至基幹用釋放路徑81，而可使氮氣流通至供給源與基幹供給部份61之間。

又，藉將第1基幹用手動閥65切換為關閉狀態，將第2基幹用手動閥67及基幹用釋放手動閥83切換為開啟狀態，可使基幹供給部份61之氮氣流動至基幹用釋放路徑81，而可進行基幹供給部份61之排壓。

附帶一提，在基幹用釋放路徑81，於圖6以箭號B顯示 之方向為氣體排出方向。

區間釋放

如圖7所示，區間用釋放路徑82具有分別連接於複數個區間用供給部份62而用以從區間用供給部份62排出氮氣之複數個區間用釋放部份82a(相當於本發明之釋放路徑)、分別連接於複數個區間用釋放部份82a之匯合用釋放部份82b(相當於本發明之匯合用路徑)。此外，區間用釋放路徑82為與收納部用供給部份63相同之配管尺寸。

區間用釋放部份82a具有與區間CH之數相同之路徑數(在本例中為6條路徑)，於該各路徑之區間用釋放部份82a分別設有區間用釋放手動閥84。此區間用釋放手動閥84構造成藉作業員之人為操作自由切換為氮氣可流通之開啟狀態與無法流通之關閉狀態。此外，在本實施形態中，區間用釋放手動閥84相當於本發明之區間用釋放切換閥。

又，複數個區間用釋放部份82a連接於區間用供給部份62之區間用設置部62a之設有區間用手動閥69的位置之氣體供給方向之下游側。如此，區間用釋放部份82a連接於氮氣供給路徑60之設有區間用手動閥69之位置的氣體供給方向之下游側且設有收納部用手動閥74之位置之氣體供給方向的上游側。

又，匯合用釋放部份82b連接於複數個區間用釋放部份82a之各設有區間用釋放手動閥84之位置之氣體排出方向的下游側，並於匯合用部份82b設有藉作業員之人為操作自由切換為氮氣可流通之開啟狀態與無法流通之關閉 狀態的匯合用釋放手動閥85。此外，在本實施形態中，匯合用釋放手動閥85相當於本發明之匯合用釋放切換閥。

因此，藉將區間用手動閥69及收納部用手動閥74切換為開啟狀態，可使來自基幹供給部份61之氮氣從吐出噴嘴10i吐出。

又，藉將區間用手動閥69及收納部用手動閥74切換為開啟狀態且將對應之區間用釋放手動閥84及匯合用釋放手動閥85切換為開啟狀態，可一面使來自基幹供給部份61之氮氣從吐出噴嘴10i吐出，一面使來自基幹供給部份61之氮氣之一部份流動至區間用釋放路徑82而排出至外部，而可以區間單位進行氮氣之取樣。

又，藉將收納部用手動閥74切換為關閉狀態，將區間用手動閥69、區間用釋放手動閥84及匯合用手動閥85切換為開啟狀態，可使來自基幹供給部份61之氮氣全部流動至區間用釋放路徑82，而以區間單位使氮氣流通。

又，藉將區間用手動閥69及收納部用手動閥74切換為關閉狀態且將區間用釋放手動閥84及匯合用手動閥85切換為開啟狀態，可使區間用供給部份62(特別是設有區間用手動閥69之位置之氣體供給方向的下游側且設有收納部用手動閥74之位置之氣體供給方向之上游側的部份之區間之對象部份)之氮氣流動至區間用釋放路徑82，而可進行區間用供給部份62(區間之對象部份)之排壓。

附帶一提，在區間用釋放路徑82，於圖7以箭號B顯示之方向為氣體排出方向。

如此，在本實施形態之物品保管設備中，於複數個區間用供給部份62分別設有區間用手動閥69，於複數個收納部用供給部份63分別設有收納部用手動閥74。又，於氮氣供給路徑60之區間用手動閥69之下游且為收納部用手動閥74之上游連接有區間用釋放路徑82。因此，可進行區間單位之排壓或取樣、氮氣之流通。

其他實施形態

(1)在上述實施形態中，以藉作業員之人為操作切換之手動閥構成第1切換閥、第2切換閥、區間用釋放切換閥、匯合用釋放切換閥及基幹用釋放切換閥全部，亦可以依據控制裝置H之控制指令切換之控制閥構成該等切換閥之一部份或全部。

具體而言，舉例言之，亦可以控制閥構成區間用釋放切換閥與匯合用釋放切換閥，而構造成以控制台指定區間CH，並且輸入取樣開始時，依據控制裝置H之控制指令，操作開啟該區間CH之區間用釋放切換閥與匯合用釋放切換閥，若設定時間經過或以控制台輸入取樣結束時，依據控制裝置H之控制指令，操作關閉該區間用釋放切換閥與匯合用釋放切換閥。

(2)在上述實施形態中，構造成設複數個區間用釋放部份82a與匯合用釋放部份82b，而將從區間用釋放路徑82排出之惰性氣體從1處排出，亦可構造成僅設複數個區間用釋放部份82a與匯合用釋放部份82b中之複數個區間用釋放部份82a，將從區間用釋放路徑82排出之惰性氣體依各 區間CH從其他處排出。

(3)在上述實施形態中，將基幹用釋放切換閥、區間用釋放切換閥及匯合用釋放切換閥設於壁體K之外部，亦可將該等釋放切換閥之一部份或全部設於壁體K之內部。

附帶一提，壁體K之外部只要為設有保管架10或堆高式起重機20之設置空間之外部即可，舉例言之，將壁體K構造成形成設置空間與設控制裝置H之第2空間之2個空間時，亦可將第2空間作為外部而於該第2空間設上述釋放切換閥。

又，設於壁體K之外部時，至少將上述釋放切換閥之一部份(具體為供作業員操作之操作桿等操作部份)設於壁體K之外部即可，亦可不將該釋放切換閥全體設於壁體K之外部。

(4)在上述實施形態中，將第2切換閥分設於複數個收納部用供給部份63各個，亦可將第2切換閥設於複數個區間用供給部份62各個。此時，第2切換閥設於區間用供給部份62之設有第1切換閥之位置及連接有區間用釋放路徑82(區間用釋放部份82a)之位置的氣體供給方向之下游側即可。

(5)在上述實施形態中，例示容器50為收納半導體基板之FOUP之結構，非限於此種結構，例如亦可為收容光罩之光罩容器。又，令惰性氣體為氮氣，惰性氣體除了氮氣以外，亦可使用氬氣等對收容之基板W反應性低之各種氣體。附帶一提，收容於容器50之物品可廣泛地應用於 工業製品、食品、醫藥品等。

(6)在上述實施形態中，僅對設於物品保管設備之1對保管架10中其中一保管架10設惰性氣體供給路徑，亦可對2個保管架10皆設惰性氣體供給路徑。附帶一提，對2個保管架10皆設惰性氣體供給路徑時，亦可對2個保管架10各別設基幹供給部份61或供給源，又，亦可設成在2個保管架10共用基幹供給部份61或供給源。

(7)關於其他結構，在本說明書中所揭示之實施形態所有點為例示，本發明之範圍不以該等為限。在不脫離本發明之旨趣之範圍，可適宜改變。因而，在不脫離本發明之旨趣之範圍改變之其他實施形態亦當然包含在本發明之範圍。

10i‧‧‧吐出噴嘴

10S‧‧‧收納部

60‧‧‧氮氣供給路徑

61‧‧‧基幹供給部份

61a‧‧‧基幹設置部

61b‧‧‧基幹連接部

62‧‧‧區間用供給部份

62a‧‧‧區間用設置部

62b‧‧‧區間用連接部

63‧‧‧收納部用供給部份

65‧‧‧第1基幹用手動閥

66‧‧‧基幹用控制閥

67‧‧‧第2基幹用手動閥

69‧‧‧區間用手動閥(第1切換閥)

70‧‧‧壓力調整閥

71‧‧‧壓力檢測感測器

72‧‧‧區間用控制閥

74‧‧‧收納部用手動閥(第2切換閥)

77‧‧‧旁通路徑

78‧‧‧旁通用手動閥

80‧‧‧氮氣釋放路徑

81‧‧‧基幹用釋放路徑

82‧‧‧區間用釋放路徑

82a‧‧‧區間用釋放部份

82b‧‧‧匯合用釋放部份

83‧‧‧基幹用釋放手動閥

84‧‧‧區間用釋放手動閥

85‧‧‧匯合用釋放手動閥

86‧‧‧釋放用壓力調整閥

CH‧‧‧區間

Claims (4)

1. 一種物品保管設備，包含有以下：複數個收納部，收納容器；惰性氣體供給路徑，將惰性氣體分別供至前述複數個收納部；吐出部，將以前述惰性氣體供給路徑供至前述收納部之惰性氣體吐出至收納於該收納部之前述容器的內部；在此，前述複數個收納部劃分為複數個區間；該物品保管設備具有以下之特徵：前述惰性氣體供給路徑具有基幹供給部份、複數個區間用供給部份及複數個收納部用供給部份，該複數個區間用供給部份從前述基幹供給部份一一分歧到前述複數個區間而將在前述基幹供給部份流通之惰性氣體一一供至前述複數個區間，該複數個收納部用供給部份將在前述區間用供給部份流通之惰性氣體各別地供至前述複數個收納部而使惰性氣體從前述吐出部吐出，此複數個收納部屬於對應於該區間用供給部份之前述區間；前述物品保管設備更包含有：第1切換閥，分別設於前述複數個區間用供給部份，可自由切換為惰性氣體可流通之開啟狀態及無法流通之關閉狀態； 第2切換閥，設於前述複數個區間用供給部份之各個區間用供給部份中較設有前述第1切換閥之位置更靠氣體供給方向下游側，或者分別設於前述複數個收納部用供給部份，並可自由切換成惰性氣體可流通之開啟狀態及無法流通之關閉狀態；複數個釋放路徑，分別連接於前述複數個區間用供給部份而用以從前述區間用供給部份排出惰性氣體；又，前述複數個釋放路徑連接於前述惰性氣體供給路徑中較設有前述第1切換閥之位置更靠近前述氣體供給方向下游側且較設有前述第2切換閥之位置更靠前述氣體供給方向上游側；於前述複數個釋放路徑分別設有可自由切換成惰性氣體可流通之開啟狀態及無法流通之關閉狀態的區間用釋放切換閥。
2. 如請求項1之物品保管設備，其具有以下特徵：設有將設置前述複數個收納部之設置空間覆蓋的壁體，前述區間用釋放切換閥以藉人為操作切換為前述開啟狀態及前述關閉狀態之人為操作式切換閥構成，並且設於前述壁體之外部。
3. 如請求項2之物品保管設備，其具有以下特徵：設有匯合用釋放路徑，其連接於每一前述複數個釋放路徑中較設有前述區間用釋放切換閥之位置更靠氣體排出方向下游側，於前述匯合用釋放路徑設有以人為操作可自由切 換為惰性氣體可流通之開啟狀態與無法流通之關閉狀態的匯合用釋放切換閥；前述匯合用釋放切換閥設於前述壁體之外部。
4. 如請求項1或2之物品保管設備，其具有以下特徵：設有連接於前述基幹供給部份之基幹用釋放路徑，前述基幹用釋放路徑具有可自由切換為惰性氣體可流通之開啟狀態與無法流通之關閉狀態的基幹用釋放切換閥。