TWI608969B - Dust film assembly storage container packaging structure and its packaging method - Google Patents

Description

防塵薄膜組件收納容器的包裝結構體及其包裝 方法

本發明涉及收納在半導體裝置、積體電路(Integrated Circuit，IC)封裝體、印刷基板、液晶面板或者有機電致發光(Electroluminescence，EL)顯示器等的製造時作為防塵器使用的防塵薄膜組件中的至少一個邊長為超過500mm的大型的防塵薄膜組件的防塵薄膜組件的收納容器的包裝結構體以及其包裝方法。

在大型積體電路(Large Scale Integration，LSI)、超大型積體電路(Very Large Scale Integration，VLSI)等的半導體或為液晶顯示器等的製造中，要向半導體晶片或者液晶用玻璃板照射紫外光進行圖案的製作，此時使用的光遮罩如灰塵附著，灰塵就會對紫外光進行遮擋、反射，就會發生轉印的圖案的變形、短路，從而品質受損。

因此，這些的操作，通常在無塵室中進行，但是，即使如此，也難以總是保持光遮罩的清潔。由此，要在光遮罩表面貼附作為除灰塵器的防塵薄膜組件後再進行曝光。在該場合，異物不附著在光遮罩的表面上，而是在防塵薄膜組件上附著，微影時， 只要將焦點對準光遮罩的圖案上，防塵薄膜組件上的異物就與轉印無關係了。

該防塵薄膜組件，一般，為將良好透光的由硝化纖維素、醋酸纖維素或者氟樹脂等形成的透明的防塵薄膜組件膜在由鋁、不銹鋼、工程塑料等形成的防塵薄膜組件框架的上端面接著而製作。另外，防塵薄膜組件框架的下端，設置為了在光遮罩上裝著的聚丁烯樹脂、聚醋酸乙烯基酯樹脂、丙烯酸樹脂、有機矽樹脂等形成的黏著層，以及設置用來保護黏著層的離型層(分離片)。

另外，對邊長為超過500mm的大型的防塵薄膜組件進行收納的防塵薄膜組件收納容器，一般，由將防塵薄膜組件載置的容器本體和在其上周緣部嵌合密封的蓋體構成，這些容器本體和蓋體為，將厚度2mm~8mm左右的樹脂板真空成形或者壓空成形而製作。該製法，即使大型的也可一體成形，具有內部發塵源少之外，還具有生產性高、低成本的優點。

作為大型的防塵薄膜組件收納容器的材質，從機械性質和成形性優良性出發，幾乎所有的場合，容器本體使用丙烯睛-丁二烯-苯乙烯(Acrylonitrile butadiene styrene，ABS)樹脂，蓋體使用ABS樹脂或者聚甲基丙烯酸甲脂(Poly methyl methacrylate，PMMA)樹脂。這些的樹脂，由於具有可燃性，大型的防塵薄膜組件收納容器，作為可燃物的容積以及重量也很大，所以該防塵薄膜組件收納容器在一個場所大量保管的場合，有安全性的擔心，所以要求賦予難燃性。

對這樣的防塵薄膜組件收納容器進行保管的場合，一般是用防塵薄膜組件收納容器包裝袋中收納保管。由此，此包裝袋，被要求具有清潔性之外，要使內部的防塵薄膜組件收納容器上沒有異物附著的密閉性、防帶電性能等，所以，以往，使用厚度100μm~300μm的聚乙烯(Polyethylene，PE)，聚對苯二甲酸乙二醇酯(Polyethylene terephthalate，PET)等的樹脂材質形成的包裝袋。另外，為了確保防帶電性能，通常，在材質中混入帶電防止劑或者導電材料，或與導電材質進行貼合，或者進行導電印刷。

例如，專利文獻1中，記載了，為了防止防塵薄膜組件的污染，最內側的第一袋要使用在清潔度1000以下的無塵室內製造的潔淨袋，第二、第三的袋使用具有帶電防止功能的袋的防塵薄膜組件收納容器的收納方法。但是，該收納方法在適用於一邊超過500mm的大型的防塵薄膜組件收納容器的場合，使用的包裝袋要用吹漲法成形，考慮到其設備的尺寸以及需要量少等的問題，具有難以在無塵室等的清潔的環境中製造的問題。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2012-208158號公報

由此，在一般環境中製造的包裝袋多在無塵室內清潔後，再加以使用，作為此場合的清潔方法，在用水洗以及用純水擦拭等 的濕法洗淨之外，還有用黏著棍以及吹風等的乾法洗淨等的方法，但是，大型的包裝袋，特別是袋內側的清潔作業極為困難，在製造工程以及品質上有大問題。

以此，本發明，就是鑒於上述那樣的問題而成的，本發明的目的為，提供一種，在包裝使用前清潔容易，包裝時內部密閉性優良的同時，具有防塵薄膜組件收納容器的收納、取出操作容易的防塵薄膜組件收納容器的包裝結構體以及其包裝方法。

本發明為一種收納至少一個邊長為超過500mm的防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器的包裝結構體，其特徵在於：其由用具有防帶電性的平面狀的包裝膜將防塵薄膜組件收納容器覆蓋包裝而成的內側包裝體以及將此內側包裝體收納的袋狀的外側包裝體形成的，至少二重的包裝體構成。

另外，本發明的包裝膜，以軟質聚氯乙烯或聚偏二氯乙烯為優選，其厚度優選50μm~300μm。進一步，本發明的外側包裝體優選從聚乙烯、聚丙烯、聚對苯二甲酸乙二醇酯中選擇。

本發明的包裝方法為，收納至少一個邊長超過500mm的防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器的包裝方法，其特徵在於：包括將具有防帶電性的平面狀的包裝膜進行多次反折，對防塵薄膜組件收納容器進行包裝，由此製作內側包裝體的步驟，以及將該內側包裝體收納於袋狀的外側包裝體的步驟。

根據本發明，特別是要求清潔的內側包裝體，不是像以往那樣，將防塵薄膜組件收納容器收納於袋中，而是，用平面狀的包裝膜對防塵薄膜組件收納容器進行覆蓋包裝，所以包裝使用前的平面狀的包裝膜的清潔容易，從而使極為清潔變為可能。另外，多次反折彎曲，將防塵薄膜組件收納容器包裝時，由於該包裝膜與防塵薄膜組件收納容器密著，所以密閉性可以充分確保，由此，可以保持內部的防塵薄膜組件收納容器清潔。

10、60、70‧‧‧防塵薄膜組件收納容器的包裝結構體

11‧‧‧平面狀的包裝膜

11’、61’、71‧‧‧內側包裝體

12、62、72‧‧‧袋狀的外側包裝體

13、14、63、73‧‧‧黏著帶

50、64‧‧‧防塵薄膜組件收納容器

50a、50b、50c、50d‧‧‧防塵薄膜組件收納容器外緣

51、64a‧‧‧防塵薄膜組件收納容器本體

52、64b‧‧‧防塵薄膜組件收納容器蓋體

53、65‧‧‧防塵薄膜組件

61a、61b、61c‧‧‧平面狀的包裝膜

64c、64d‧‧‧把手

64e‧‧‧腳部

64f‧‧‧搭扣

圖1是本發明的防塵薄膜組件收納容器的包裝結構體的概要截面圖。

圖2是內側包裝體的概要斜視圖。

圖3是將內側包裝體收納於外側包裝體的概要斜視圖。

圖4是將防塵薄膜組件收納容器用平面狀膜包裝步驟(1)~步驟(3)的平面圖。

圖5是包裝的防塵薄膜組件收納容器的斜視圖。

圖6是實施例2的包裝結構體的概要的截面圖。

圖7是比較例的包裝結構體的概要的截面圖。

以下，對本發明的一實施方式基於附圖進行詳細說明，但是本發明並不限於此。

圖1、圖2以及圖3，為本發明的防塵薄膜組件收納容器 的包裝構造的一實施方式的圖。圖1為，表示本發明的包裝結構體的全體概要的截面圖，圖2為，僅進行了將防塵薄膜組件收納容器50用平面狀的包裝膜11進行覆蓋包裝的內側包裝體11’的狀態的斜視圖，圖3為，在其外側進一步進行了用袋狀的外側包裝體12的包裝的狀態的斜視圖。

本發明的防塵薄膜組件收納容器的包裝結構體為，由內側包裝體11’和外側包裝體12構成的至少二重的包裝體來構成的。其中，內側包裝體11’為，使用平面狀的包裝膜11將防塵薄膜組件收納容器50覆蓋包裝而構成的，在用於包裝之前將該平面狀的包裝膜11進行清潔的操作比以往的包裝袋容易，這對內側包裝體11’的清潔度的確保以及製造效率上有利。

在該平面狀的包裝膜11中，為了防止異物附著，優選加入了帶電防止劑或導電物質，使其具有防帶電性。另外，包裝膜的顏色如為透明或半透明易於對內部進行確認，優選，但是，相反，有時為了防止使容器變色退化的紫外線，也可使其為不透明的黑色等。

另外，包裝膜11的材料，沒有特別的限定，可以從聚乙烯、聚偏二氯乙烯、聚氯乙烯、聚甲基戊烯等的可以膜狀成形的材料中進行自由選擇。進一步，製成聚乙烯/聚丙烯那樣的多層構造。從難燃性以及密著性的觀點，特別以軟質聚氯乙烯或聚偏二氯乙烯製的膜為優選，如考慮成本，以軟質聚氯乙烯製的膜為更優選。

在此，所謂軟質聚氯乙烯，是指含有鄰苯二甲酸酯等構成的可塑劑按重量比為10%以上。

如果將如軟質聚氯乙烯或聚偏二氯乙烯那樣的賦予密著性的材料作為包裝膜11的材料而使用的話，在將包裝膜11多次反折而對防塵薄膜組件收納容器50進行包裝時，由於包裝膜11相互接觸密切，即使不使用袋狀，也容易構成密閉空間，優選。

內側包裝體11’中使用的包裝膜11的厚度以，50μm~300μm為優選，但是從密著性、成本、處理的容易度來看，以70μm~200μm的範圍為更優選。另外，將防塵薄膜組件收納容器50覆蓋包裝的內側包裝體11’的膜端，原封不動地密著也可，根據必要用熱封等接著也可。最好為用數枚的黏著帶13固定住為優選，如此，在開梱時易於將膜端剝離。

另外，內側包裝體11’，由於不是使用包裝袋，而是使用平面狀的包裝膜11，在有必要將大重量的大型的防塵薄膜組件收納容器50插入袋中或從袋中拉出時，包裝、開梱極為容易。進一步，包裝膜11的材料為軟質聚氯乙烯或聚氯(1,1-二氯乙烯)的場合，由於具有高的難燃性，所以從安全性的點來看也優選。

防塵薄膜組件收納容器50用包裝膜11來包裝成為內側包裝體11’的包裝步驟為，以使用最小限度必要的大小的包裝膜11，來以少的包裝步驟將防塵薄膜組件收納容器50完全覆蓋即可，但是優選包裝步驟的一例如圖4步驟(1)乃至步驟(3)所示。

首先，如圖4步驟(1)表示的那樣，在包裝膜11上放上防塵薄膜組件收納容器50，沿著防塵薄膜組件收納容器50的外緣50a、50b的由橫杠和點組成的虛線將包裝膜11反折，由此，防塵薄膜組件收納容器50的上面被完全覆蓋。圖4步驟(2)為反折後的狀態。此時，反折的包裝膜11的周緣為相互重疊的狀態，防塵薄膜組件收納容器50被包裝膜11完全覆蓋，故而優選。

然後，沿著防塵薄膜組件收納容器的外緣50c，50d，在圖4步驟(2)中的由橫杠和點組成的虛線，將包裝膜11向著防塵薄膜組件收納容器頂面反折。圖4步驟(3)為反折後的狀態。內側包裝體11’，在該狀態就完成了，但是，以將反折的包裝膜11的先端在頂面的包裝膜11上的數處用黏著帶13貼附為優選。

另外，優選將包裝膜的大小設定，使各包裝膜11相互的重疊100mm~300mm，由於包裝膜11的密著性而使重疊部分相互密著，從而得到確實的密閉。

另一方面，外側包裝體12，如圖3表示的那樣，將內側包裝體11’進一步包覆，從而可以防止灰塵附著於內側包裝體11’，這是為了在保管以及輸送中包裝內不讓灰塵侵入。

此外，外側包裝體12為袋狀，其材料，從由聚乙烯(PE)、聚丙烯(polypropylcne，PP)、聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)樹脂構成的群中選擇為優選。作為袋狀物的製造方法沒有特別的要求，以將袋的開口部熱封來進一步密封，或多次反折彎曲，用黏著帶14固定為優選。

外側包裝體12的厚度，從50μm~300μm的範圍選擇即可，但是，從成本、強度、製袋的難易度等的觀點來看，以100μm~150μm為優選。該外側包裝體12也與內側包裝體11’同樣，以混入帶電防止劑以及導電物質，或與導電材質進行貼合，使其具有防帶電性為優選。另外，顏色可以為有色，但是，以透明或半透明，可以對內部進行確認為優選。

該外側包裝體12，由於為袋狀的形狀，特別易於防止灰塵向內部的侵入，可以保持內側包裝體11’的清潔。另外，作為外側包裝體12的材料，優選聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)樹脂，其中，任一個都為硬材質，滑動性良好，對於具有微黏著性的內側包裝體11’，也很容易收納。

內側包裝體11’，具有微黏著性，所以灰塵易於附著，而且具有對其接觸的各種各樣的物品的貼附操作性變差的問題，但是，此內側包裝體11’的外側上，由於設置有使用上述材料的外側包裝體12(使內側包裝體11’被收納於袋狀的外側包裝體12)，所以具有可以防止灰塵的附著優點。另外，在向包裝箱以及收納棚的收納以及取出的搬送操作中，其操作性被改善，非常適用。

該外側包裝體12，在一般環境下，由於灰塵附著很多，所以通常在防塵薄膜組件使用時，在向無塵室將防塵薄膜組件搬入，以將外側包裝體12除掉，僅剩內側包裝體11’的狀態搬入無塵室，進行保管為特別優選。

本發明中，被收納的防塵薄膜組件收納容器50，其構造、 材質沒有特別的要求，一般，以使用ABS、PMMA、聚碳酸酯(Polycarbonate，PC)等的樹脂板進行真空成形來製作為優選。此防塵薄膜組件收納容器50，如圖5表示的那樣，通常，由將載置防塵薄膜組件53的收納容器本體51以及在其周緣部嵌合，將防塵薄膜組件53和收納容器本體51覆蓋的蓋體52來構成。然後，其周緣部用夾子等進行固定，或用黏著帶密封(未圖示)。

特別是，邊長超過1m的大型的防塵薄膜組件收納容器50的場合，為了提高剛性，在樹脂用真空成形製作的防塵薄膜組件收納容器的外側，可以通過貼附金屬以及纖維強化樹脂製的補強體，另外，也可以用鋁合金、鎂合金等的輕量金屬製作防塵薄膜組件收納容器自身或特別是製作下側的容器本體。

另外，可以在防塵薄膜組件收納容器50的外側安裝作業用把手以及腳部，由於本發明使用的平面狀的包裝膜11具有柔軟性，可以與把手以及腳部等的突起物良好地對應。

進一步，防塵薄膜組件收納容器50的表面，如平坦，與內側包裝體11’的密著性良好而優選，但是，也可以特意在防塵薄膜組件收納容器50的表面設置凹凸，由此考慮操作性等，對密著性進行控制。

[實施例]

以下，對本發明的實施例以及比較例進行具體說明，實施例以及比較例的各操作在10級無塵室內進行。

<實施例1>

實施例1中，製作圖1~圖3表示的那樣的防塵薄膜組件收納容器的包裝結構體10。該包裝結構體10，由內側包裝體11’和外側包裝體12的二重的包裝體來構成，內側包裝體11’的內部，使用平面狀的包裝膜11對圖5所示的防塵薄膜組件收納容器50包裝。

防塵薄膜組件收納容器50，由用厚度5mm的黑色的難燃帶電防止ABS樹脂將真空成形的防塵薄膜組件收納容器本體51、以及在其周緣部嵌合的用同材料製成的真空成形的蓋體52構成，其組合後的外尺寸為1350mm×1532mm×高度120mm。然後，將此防塵薄膜組件收納容器50用介面活性劑和純水洗淨，良好乾燥。

然後，製作外尺寸1146mm×1366mm的大小，高度7mm的防塵薄膜組件53，在暗室內用集光燈目視異物檢査後，收納於防塵薄膜組件收納容器50，周圍用黏著帶(未圖示)密閉。防塵薄膜組件53中使用的防塵薄膜組件框架為，將A5052鋁合金進行機械加工，並施以黑色氧化膜，外尺寸1146mm×1366mm的大小，內尺寸1122mm×1342mm的大小，高度為5.8mm，角部為外側R3，內側R2。

在該防塵薄膜組件框架的一個面上，作為防塵薄膜組件膜接著層塗布有機矽樹脂，將厚度4.5μm的氟系樹脂構成的防塵薄膜組件膜接著。另外，在另外一個面上，作為光遮罩黏著層將有機矽黏著劑塗布，在其表面上將在與框架外形大略同形狀切斷 的PET樹脂上塗有離型劑而製作的分離片貼附。將該收納防塵薄膜組件53的防塵薄膜組件收納容器50的外面用純水擦拭洗淨，將周圍弄暗，用集光燈進行目視檢査，將可以看到的附著異物全部除去。

另外，作為平面狀的包裝膜11，準備切成1830mm×3300mm大小，且厚度100μm的帶電防止透明軟質聚氯乙烯(Polyvinyl chloride，PVC)膜，將該膜用純水擦洗淨，良好乾燥。該洗淨操作，由於準備的包裝膜11為平板狀，具有極其良好的操作性，另外，乾燥的目視確認也容易。

然後，使用該包裝膜11，按圖4表示的那樣的包裝步驟將防塵薄膜組件收納容器50包裝。首先，如圖4步驟(1)表示的那樣，在平面上放置的包裝膜11上，放上防塵薄膜組件收納容器50，在沿著防塵薄膜組件收納容器50的外緣50a、50b的點橫虛線將包裝膜11反折，使防塵薄膜組件收納容器50的頂面完全覆蓋，成為圖4步驟(2)所示的狀態。然後，沿著容器外緣50c、50d，在圖4步驟(2)中的點橫虛線將包裝膜11向容器頂面的方面反折，成為圖4步驟(3)所示的狀態。最後，使反折的包裝膜11的周緣部良好密著，將其先端用PVC製黏著帶13黏貼在頂面上的包裝膜11上，圖2所示的內側包裝體11’完成。

然後，關於外側包裝體12，先準備1700mm×1650mm的大小、厚度100μm的可以防止帶電的PE製透明袋，將該袋蓋在內側包裝體11’的外側將其收納，其開口進行二次反折卷起，用PVC製 黏著帶14固定，圖3所示的包裝結構體10完成。

將該包裝結構體10從無塵室搬出，在溫度20℃~30℃，濕度30%~80%的一般室中保管3個月，其後，為了進行內部確認，再次搬入無塵室。在進行該搬入時，將灰塵大量附著的外側包裝體12在馬上就要搬入無塵室時取下，以僅具有內側包裝體11’的狀態搬入無塵室內。

最後，將內側包裝體11’按和圖4所示的包裝步驟相反的步驟放開。然後，使周圍變暗，對防塵薄膜組件收納容器50的外面用集光燈照射進行觀察，確認到沒有髒汙以及異物的附著，保持著清潔的狀態。另外，將防塵薄膜組件收納容器50的蓋體52小心地打開，對在防塵薄膜組件收納容器本體51上的防塵薄膜組件53進行觀察，可以確認到防塵薄膜組件53沒有異物的附著，保持著清潔的狀態。

<實施例2>

在實施例2中，製作圖6表示的那樣的防塵薄膜組件收納容器的包裝結構體60。在該製作中，首先，將防塵薄膜組件收納容器64用平面狀的包裝膜61包裝，得到內側包裝體61’，將其收納於袋狀的外側包裝體62中，製得包裝結構體60。

在實施例2中收納的防塵薄膜組件收納容器64，由鋁合金製本體64a，以及將厚度5mm的透明PC樹脂板真空成形製作的蓋體64b構成，其外部安裝有把手64c、64d及腳部64e。另外，其周圍被PVC製黏著帶(未圖示)密閉，用搭扣64f固定。

另外，在該防塵薄膜組件收納容器64內收納的防塵薄膜組件65為，在施加了黑色氧化膜的A5052鋁合金製框架上接著了厚度4μm的氟系樹脂構成的防塵薄膜組件膜來製作的防塵薄膜組件，外尺寸1526mm×1748mm的大小，內尺寸1493mm×1715mm的大小，防塵薄膜組件框架高度為6.2mm。角部外側R6mm，內側R2mm，含光遮罩黏著層的高度為8mm。

對該防塵薄膜組件65在暗室內進行集光燈目視檢查異物，將其收納於防塵薄膜組件收納容器64中，在該防塵薄膜組件收納容器64的外面，使周圍變暗，用集光燈照射，目視確認，將附著的異物全部除去。

實施例2中，作為平面狀的包裝膜61，準備與上述實施例1同樣的材料的帶電防止透明軟質PVC膜，將其切斷為1830mm×4200mm的大小，作為包裝膜61a，接著，以915mm×4200mm的大小切為2枚，作為包裝膜61b，進一步以500mm×400mm的大小切4枚作為包裝膜61c。將這7枚的包裝膜的兩面用純水擦淨洗乾淨，進行良好乾燥。

然後，將包裝膜61a配置於腳部64e的內側，將防塵薄膜組件收納容器64包覆，使端部重合密著，用黏著帶貼附，由於防塵薄膜組件收納容器64比包裝膜61a的寬度還要大，所以從腳部64e的外側的兩端具有沒有包裝的領域。

另外，將2枚包裝膜61b分別配置在包裝膜61a的外側，進行包裝，使在包裝膜61a上有200mm重疊，端部重合密著。此 時，在包裝膜61b中，預先設置相當於腳部64e部分的開口，通過該開口，腳部露在外部。然後，包裝膜61b的端部，其剩餘部被向上方反折，在包裝膜61a的頂面用黏著膜63貼附。

進一步，將包裝膜61c插入各腳部64e的下面，向上方反折在將腳部64e包覆的同時，將端部用黏著帶63貼附密閉，內側包裝體61’完成。

在該實施例2的防塵薄膜組件收納容器64中，腳部64e以外，具有把手64c、64d及搭扣64f的突起部，由於包裝膜61有柔軟性，可以在突起部使包裝膜61密著包裝。

然後，作為外側包裝體62，準備2700mm×5000mm的大小的帶電防止透明PE袋，在該PE袋的內部收納將防塵薄膜組件收納容器64包裝的內側包裝體61’，其開口部反折用黏著帶63貼附，得到圖6所示的包裝結構體60。

其後，將包裝結構體60與上述實施例1同樣，從無塵室搬出在溫度20℃~30℃，濕度30%~80%的一般室中3個月保管，其後，為了進行內部確認，再次搬入無塵室。在該搬入時，將灰塵大量附著的外側包裝體62在馬上就要搬入無塵室的時刻取下，以僅有內側包裝體61’的狀態搬入無塵室內。

最後，將內側包裝體61’打開，接著，使周圍變暗，對防塵薄膜組件收納容器60的外面用集光燈照射觀察，確認沒有髒汙以及異物的附著，保持了清潔的狀態。另外，小心將防塵薄膜組件收納容器60的蓋體64b打開，對防塵薄膜組件收納容器本體64b 上收納的防塵薄膜組件65用集光燈照射目視觀察，沒有發現異物的附著，保持為清潔的狀態。

[比較例]

比較例中，以與上述實施例1同樣的樣式以及步驟製作的防塵薄膜組件53和防塵薄膜組件收納容器50，在10級無塵室內製作圖7表示的那樣的包裝結構體70。此包裝結構體70，與實施例1、2相比，以內側包裝體71以及外側包裝體72的二重包裝體構成的點上以及收納的防塵薄膜組件53和防塵薄膜組件收納容器50為同一的點上相同，但是，不同點為，內側包裝體71不是平面狀的包裝膜，為與外側包裝體72同樣的包裝袋。

在該比較例中，首先，將在上述實施例1、2中作為外側包裝體12使用的同樣的帶電防止透明PE袋加以準備，在將該PE袋的內側和外側用純水擦拭洗淨的同時，敞開開口部，良好乾燥。此時，在PE袋的內側的洗淨中，操作者要將身體插入袋內操作，操作性極差。

然後，將收納防塵薄膜組件53的防塵薄膜組件收納容器50收納於PE袋內，其開口部進行熱封密封，內側包裝體71完成。進而，在將防塵薄膜組件收納容器50在PE袋內收納前，防塵薄膜組件收納容器50的表面附著的異物，使周圍變暗用集光燈目視確認，並除去。

其後，將該內側包裝體71全體用外側包裝體72的同樣的帶電防止透明PE袋收納，其開口部進行二重反折用黏著帶73 固定，比較例的包裝結構體70完成。

然後，將該包裝結構體70從無塵室搬出，與上述實施例1、2同樣的溫度20℃~30℃，濕度30%~80%的一般室中進行3個月保管後，為了進行內部確認再次搬入無塵室。該搬入時，灰塵大量附著的外側包裝體72在馬上就要搬入的時刻去除，僅以內側包裝體71的狀態快速搬入無塵室內。

最後，將內側包裝體71開封，周圍變暗，對防塵薄膜組件收納容器50的外面用集光燈照射觀察，可以確認，儘管處於密封的狀態，在防塵薄膜組件收納容器50的角附近的周緣部1處，有100μm以下的數十個的異物構成的髒汙。

另外，將收納的防塵薄膜組件收納容器50的蓋體52小心打開，對在防塵薄膜組件收納容器本體51上載置的防塵薄膜組件53是否有異物附著進行目視確認，看到在防塵薄膜組件膜面上有2個20μm大小的異物的附著。這些異物，由於可以用離子化的氣體槍容易地除去，所以可以推測為是剛剛附著之物，可以推測是蓋體52打開時，從蓋體52飛來或者落下而附著之物。

10‧‧‧防塵薄膜組件收納容器的包裝結構體

11’‧‧‧內側包裝體

12‧‧‧袋狀的外側包裝體

13‧‧‧黏著帶

14‧‧‧黏著帶

50‧‧‧防塵薄膜組件收納容器

Claims (4)

1. 一種防塵薄膜組件收納容器的包裝結構體，其為收納至少一個邊長超過500mm的防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器的包裝結構體，其特徵在於：所述包裝結構體由用具有防帶電性的平面狀的包裝膜將所述防塵薄膜組件收納容器覆蓋包裝而成的具有微黏著性的內側包裝體以及收納所述內側包裝體的袋狀的外側包裝體形成的至少二重的包裝體構成，所述包裝膜的材料為賦予密著性的軟質聚氯乙烯或聚偏二氯乙烯。
2. 如申請專利範圍第1項所述的防塵薄膜組件收納容器的包裝結構體，其中所述平面狀的包裝膜的厚度為50μm~300μm。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的防塵薄膜組件收納容器的包裝結構體，其中所述外側包裝體為聚乙烯、聚丙烯、聚對苯二甲酸乙二醇酯的任一個。
4. 一種防塵薄膜組件收納容器的包裝方法，其為收納至少一個邊長超過500mm的防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器的包裝方法，其特徵在於：在無塵室中進行且包括將具有防帶電性的平面狀的包裝膜多次反折從而將所述防塵薄膜組件收納容器包裝製作具有微黏著性的內側包裝體的步驟和將所述內側包裝體收納於袋狀的外側包裝體的步驟。