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TWI690675B - 入口總成及用於處理一廢氣流之方法 - Google Patents

入口總成及用於處理一廢氣流之方法 Download PDF

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TWI690675B
TWI690675B TW104141957A TW104141957A TWI690675B TW I690675 B TWI690675 B TW I690675B TW 104141957 A TW104141957 A TW 104141957A TW 104141957 A TW104141957 A TW 104141957A TW I690675 B TWI690675 B TW I690675B
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安德魯 詹姆斯 希利
當肯 麥可 普萊斯
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英商愛德華有限公司
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Abstract

本發明揭示一種用於一燃燒器之入口總成及一種方法。該入口總成包括：一入口噴嘴，其界定可與一入口導管耦合之一入口孔，該入口導管提供一廢氣流供該燃燒器處理；一非圓形出口孔；及沿著一縱向軸在該入口孔與該出口孔之間延伸的一噴嘴鑽孔，其用於將該廢氣流自該入口孔輸送至該出口孔以遞送至該燃燒器之該燃燒室，該噴嘴鑽孔具有自該入口孔延伸之一入口部分及延伸至該非圓形出口孔之一出口部分。依此方式，該非圓形出口孔提供流入該燃燒室中之一非圓形廢氣流。該非圓形廢氣流動使廢氣流之一較大體積被引入至該燃燒室中，同時仍然達到或超過所需的消減程度。此係由於一非圓形廢氣流與一等效的圓形廢氣流相比提供一縮小的距離，擴散及反應需要沿著該距離發生。因此，與一等效的圓形廢氣流相比，非圓形廢氣流可消減廢氣流之一增大的體積。

Description

入口總成及用於處理一廢氣流之方法
本發明係關於一種用於一燃燒器之入口總成及一種方法。
輻射燃燒器已為吾人所知且通常用於處理來自用於(例如)半導體或平板顯示器製造業中之一製程工具之一廢氣流。在此製造期間，殘餘全氟化合物(PFC)及其他化合物存在於自處理工具泵抽之廢氣流中。PFC難以自廢氣移除，且將其等釋放至環境中係不可行的，此係因為吾人已知其等具有相對較高之溫室效應。
已知輻射燃燒器使用燃燒來自廢氣流移除PFC及其他化合物。通常，廢氣流係含有PFC及其他化合物之一氮氣流。一燃料氣體混合有廢氣流且該氣流混合物輸送至一燃燒室中，藉由一多孔氣體燃燒器之出口表面側向地圍繞該燃燒室。燃料氣體及空氣同時供應至多孔燃燒器以影響於出口表面處之無焰燃燒，其中穿過多孔燃燒器之空氣之數量不僅足以消耗供應至該燃燒器之燃料氣體，且亦足以消耗注入至該燃燒器室中之氣流混合物中之所有易燃物。
出現於廢氣流中之化合物的值域及該廢氣流之流動特性可隨處理工具變更，且燃料氣體及空氣，連同需要引入至輻射燃燒器中之其他氣體或流體一起，其等之值域亦將變更。
儘管存在用於處理廢氣流之技術，然其等本身各具有缺點。據此，期望提供一種用於處理一廢氣流之一改良技術。
根據一第一態樣，提供一種用於一燃燒器之入口總成，該入口總成包括：一入口噴嘴，其界定可與一入口導管耦合之一入口孔，該入口導管提供一廢氣流供燃燒器處理；一非圓形出口孔；及沿著一縱向軸於入口孔與出口孔之間延伸的一噴嘴鑽孔，其用於將廢氣流自入口孔輸送至出口孔以遞送至燃燒器之燃燒室，噴嘴鑽孔具有自入口孔延伸之一入口部分及延伸至非圓形出口孔之一出口部分。
第一態樣認識到廢氣流的處理可成問題，尤其當該等廢氣之流量增加時。例如，一處理工具可輸出用於處理的五個廢氣流，各者帶有高達每分鐘300公升(即，每分鐘一共1,500公升)之一流動速率。然而，既有的燃燒器入口總成通常具有四個或六個噴嘴，各噴嘴能夠支持大約每分鐘僅50公升(每分鐘一共僅能處理200公升至300公升)之一流動速率。此係由於廢氣處理機構通常依賴於輻射燃燒器內之一擴散程序；燃燒副產品需要擴散至廢氣流中以執行消減反應。換言之，在廢氣流離開輻射燃燒器之前，燃燒副產品需要自廢氣流之一出口表面擴散，直至到達廢氣流中，且隨後與廢氣流反應。未能完全擴散至廢氣流中降低消減效能。若增大通過既有噴嘴之流動速率以容納廢氣流之增加的數量，則輻射燃燒器之長度將需要相稱地增加以確保擴散及反應可在快速移動的廢氣流離開輻射燃燒器之前發生。同樣地，若增大既有噴嘴之直徑以容納廢氣流之增加的數量，則歸因於在更大直徑的廢氣流中發生擴散及反應所花費的時間增加，輻射燃燒器之長度將需要相稱地增加。
據此，提供一種用於一燃燒器之入口總成。該入口總成可包括一入口噴嘴。入口噴嘴可界定或經塑形以提供一入口孔或開口。入口孔可與提供一廢氣流供燃燒器處理的入口導管耦合或連接。入口噴嘴亦可界定或經塑形以提供一非圓形出口孔。入口噴嘴亦可界定或經塑 形以提供於入口孔與出口孔之間延伸的一噴嘴鑽孔。噴嘴鑽孔可沿著一縱向或廢氣流流動軸延伸以將來自入口孔之廢氣流輸送至出口孔以遞送至燃燒器之燃燒室。噴嘴鑽孔亦可由自或臨近入口孔延伸之一入口部分組成。噴嘴鑽孔亦可具有延伸或臨近非圓形出口孔之一出口部分。依此方式，非圓形出口孔提供流入燃燒室內之一非圓形廢氣流。非圓形廢氣流動使廢氣流之一更大體積經引入至燃燒室中，同時仍然達到或超過所需的消減程度。此係由於一非圓形廢氣流與一等效的圓形廢氣流相比提供一縮短的距離，擴散及反應需要沿著該距離發生。因此，與一等效的圓形廢氣流相比，一非圓形廢氣流可消減廢氣流之一增加的體積。
在一實施例中，入口部分之一橫剖面面積沿著縱向軸自入口孔向出口部分縮小。
在一實施例中，入口部分之一橫剖面形狀沿著縱向軸自入口孔之一形狀轉變至出口孔之一形狀。提供自入口孔之形狀至出口孔之形狀之無間斷處之一漸變的轉變有助於維持一層流且最小化由廢氣流內之殘餘物引起的沈積物。
在一實施例中，入口孔係圓形。應瞭解入口孔可係與提供廢氣流之導管匹配的任何形狀。
在一實施例中，出口孔係細長的。提供一細長形狀的出口孔有助於最小化具有類似形狀之廢氣流的擴散距離。
在一實施例中，出口孔係一大體四邊形槽。此提供一具有類似形狀的廢氣流，該廢氣流寬且窄，既提供一更大的流動速率且同時最小化自廢氣流之任何點至廢氣流之一邊緣的距離。
在一實施例中，出口孔係一長圓形。一長圓形係一種由兩個半圓形組成的形狀，該兩個半圓形藉由與其等端點相切之平行線連接，提供帶有一可預測距離之一廢氣流，擴散及反應需要沿著該距離在該 廢氣流內發生。
在一實施例中，出口孔由複數個共位置、離散的孔構成。應瞭解出口孔可由分開的、但是共位置、更小的孔構成。
在一實施例中，出口部分之一橫剖面面積沿著縱向軸自出口孔向入口部分改變。
在一實施例中，出口部分之橫剖面面積沿著縱向軸自出口孔向入口部分縮小。
在一實施例中，入口總成包括耦合入口部分與出口部分之一擋板，擋板界定定位於噴嘴鑽孔內之一擋板孔，擋板孔和與擋板相鄰之出口部分相比具有一縮小的橫剖面面積。於噴嘴鑽孔內放置一擋板或限制件提供一障礙及一間斷處使得流動之一膨脹發生在出口部分下游，其有助於塑形廢氣流以最小化擴散距離。
在一實施例中，入口部分之一橫剖面面積沿著縱向軸自入口孔向出口部分縮小以與擋板孔的橫剖面面積匹配。據此，入口部分之尺寸及形狀可改變以與擋板孔的尺寸及形狀匹配以進一步最小化歸因於廢氣流中之殘餘物的沈積物風險。
在一實施例中，入口部分之一橫剖面形狀沿著縱向軸自入口孔之一形狀轉變至擋板孔之一形狀。
在一實施例中，擋板孔之一形狀和與擋板相鄰之出口部分的形狀匹配。
在一實施例中，擋板孔由複數個共位置孔構成。據此，擋板孔可由共位置但離散的孔構成。
在一實施例中，擋板經構形以提供具有一可變橫剖面面積之擋板孔。因此，可變更或改變擋板孔之尺寸以適應操作條件。
在一實施例中，擋板包括可操作以提供可變橫剖面面積之一擋閘。
在一實施例中，擋閘經偏置以提供回應於廢氣流之一速度而變更的可變橫剖面面積。據此，擋板孔之面積可回應於廢氣流之流動速率而自動改變。
根據一第二態樣，提供一種方法，其包括：提供用於一燃燒器之一入口總成，入口總成包括：一入口噴嘴，其界定可與一入口導管耦合之一入口孔，該入口導管提供一廢氣流供燃燒器處理；一非圓形出口孔；及沿著一縱向軸在入口孔與出口孔之間延伸的一噴嘴鑽孔，其用於將廢氣流自入口孔輸送至出口孔以遞送至燃燒器之燃燒室，噴嘴鑽孔具有自入口孔延伸之一入口部分及延伸至非圓形出口孔之一出口部分；及將廢氣流供應至入口孔。
在一實施例中，入口總成包括耦合入口部分與出口部分之一擋板，擋板界定具有定位於噴嘴鑽孔內之一可變橫剖面面積的一擋板孔，擋板孔和與擋板相鄰之出口部分相比具有一縮小的橫剖面面積且該方法包括：回應於廢氣流之一速度而變更可變橫剖面面積。
第二態樣之實施例提供對應於上文提及之第一態樣之實施例之特徵的特徵。
另外特定及較佳的態樣陳述於隨附獨立技術方案及附屬技術方案中。附屬技術方案之特徵可與獨立技術方案之特徵適當地組合，且組合除明確地陳述於技術方中的特徵。
當一裝置特征描述為可操作以提供一功能時，應瞭解此包含提供該功能或經調適或構形以提供該功能之一裝置特徵。
10:頭部總成
20:外殼
30:絕緣體
40:孔
50:入口總成
60:絕緣體
70:觀察窗
75A:導桿
100:輻射燃燒器總成
110:外燃燒器
120:增壓室外殼
130:內燃燒器
200:入口部分
210:擋板部分
210A:擋板部分
210B:擋板部分
220:出口部分
230:圓柱形部分
240:入口孔
250:拋線型部分
260:出口孔
260A:圓形出口孔
270:擋板孔
270A:擋板孔
270B:擋板孔
330A:板
330B:樞轉板
340A:板
340B:樞轉板
350:彈簧
A:面積
r1:擴散長度
r2:擴散長度
現將參考隨附圖式進一步描述本發明之實施例，其中：圖1係展示根據一實施例之一頭部總成及燃燒器之底面的一透視圖；圖2係圖1之頭部總成及燃燒器之一底平面視圖； 圖3展示根據一實施例之入口總成；圖4展示穿過圖3之入口總成的一橫剖面；圖5展示沿著入口總成之軸向長度觀察的出口孔；圖6及圖7展示根據實施例之擋板部分；圖8A係一圖表，其展示用於不同入口總成構形之以200l/min之氮氣稀釋NF3之損耗率效率的一測繪圖；圖8B係圖8A的一放大圖，其展示以200l/min之氮氣稀釋NF3之損耗率效率之一測繪圖且展示具有實施例(帶有兩個不同的擋板孔)之一單個入口總成之一頭部總成與具有四個內徑為16mm的圓形入口總成之一既有的頭部總成相比的效能；及圖8C係一圖表，其展示以300l/min之氮氣稀釋NF3之損耗率效率的一測繪圖且展示具有實施例(帶有兩個不同的擋板孔)之一單個入口總成之一頭部總成與具有四個內徑為16mm的圓形入口總成之一既有的頭部總成相比的效能。
概述
在更詳細地論述實施例之前，首先提供一概述。實施例提供一燃燒器入口總成。儘管下文實施例描述使用輻射燃燒器，但是應瞭解入口總成可與許多不同的燃燒器(舉例而言，諸如，擾流火焰燃燒器或電加熱氧化器)之任一者一起使用。輻射燃燒器已在本技術中為人熟知，諸如描述於EP 0 694 735中。
實施例提供具有一入口噴嘴之一燃燒器，該入口噴嘴具有自其之入口孔延伸之一變剖面的鑽孔，該入口孔與將廢氣流提供至一出口孔之一入口導管耦合，該出口孔將廢氣流提供至燃燒器之燃燒室。特定言之，噴嘴鑽孔之構形自可與入口導管耦合且提供廢氣流之一入口孔改變至一非圓形出口孔。非圓形出口孔將一非圓形廢氣流動提供至 燃燒室中。非圓形廢氣流動使廢氣流之一更大體積經引入至燃燒室中，同時仍然達到或超過所需的消減程度。此係因為一非圓形廢氣流與一等效的圓形廢氣流相比提供一縮小的距離，擴散及反應需要沿著該距離發生。因此，與一等效的圓形廢氣流相比，非圓形廢氣流可消減廢氣流之一增大的體積。
藉由在入口孔與出口孔之間之入口噴嘴內提供一擋板或限制件進一步改良實施例中之消減效能。此擋板使用一擋板孔以執行限制，該擋板孔具有大體與出口孔形狀匹配且橫剖面面積略小的一形狀。此在擋板下游提供一明顯的間隔處，該間隔處引起發生在自擋板延伸至非圓形出口孔之出口部分內的一流動膨脹。藉由提供帶有一擋閘機構之擋板可進一步改良實施例之效能，該擋閘機構可操作以在不同的情況下改變擋板孔的面積。
頭部總成
圖1及圖2繪示根據一實施例與一輻射燃燒器總成100耦合之一頭部總成，大體以10表示。在此實例中，輻射燃燒器總成100係具有一內燃燒器130及一外燃燒器110之一同軸燃燒器。燃料及氧化劑之一混合物經由一增壓室外殼120內之一增壓室(未展示)供應至外燃燒器110且經由一導管(未展示)供應至內燃燒器130。
頭部總成10包括三個主要的組件集。第一組件集係一金屬(通常為不鏽鋼)外殼20，其提供用於與輻射燃燒器總成100耦合之必要的機械強度及構形。第二組件集係一絕緣體30，其提供於外殼20內且幫助減少界定於輻射燃燒器總成100之內燃燒器130與外燃燒器110之間之一燃燒室內的熱損失，還保護外殼20及耦合至外殼20之物品不受燃燒室內產生之熱的損害。第三組件集係入口總成50，藉由提供於外殼20中之一系列完全相同、標準化的孔40(見於圖2)接納入口總成50。此配置使單個入口總成50可經移除以便維修，不需要將完整的頭部總成 10自輻射燃燒器總成100上移除或拆卸。
圖1中展示之實施例利用五個完全相同的入口總成50，各者安裝於一對應的孔40內，第六個孔展示為空的。應瞭解不是每個孔40都可填充有接納一廢氣或處理流體，或其他流體之一入口總成50，且替代地可接納一下料入口總成以完全充滿孔40，或替代地可接納一測量儀表入口總成外殼感測器以監測輻射燃燒器內之條件。又，應瞭解可提供多於或少於六個孔40，此等孔不需圍繞外殼周向定位，且其等也不需對稱地定位。
如亦可見於圖1及圖2，在外殼20中提供額外的孔以提供其他物品，舉例而言，諸如，一觀察窗70及一導桿75A。
入口總成50提供有一絕緣體60以保護入口總成50之結構免受燃燒室損害。使用合適的固定件(舉例而言，諸如，螺栓(未展示))固持入口總成50。該等固定件可移除以利於其等的移除且此等固定件亦受到一絕緣體(未展示)的保護。入口總成50具有一出口孔260及一擋板部分210，如將在下文更詳細地解釋。
入口總成
圖3展示根據一實施例之入口總成50。圖4展示穿過入口總成50之一橫剖面。入口總成50形成用於遞送由一入口導管(未展示)提供之廢氣流的一導管，該導管將廢氣流遞送至入口總成且至燃燒室。入口總成50接納由入口導管塑形之廢氣流且再塑形用於遞送至燃燒室之廢氣流。
入口總成50具有三個主要的部分：一入口部分200、一擋板部分210及一出口部分220。應瞭解一絕緣遮罩(未展示)可提供於與孔40配合之至少出口部分220之外表面上。
入口部分
入口部分200包括界定一入口孔240之一圓柱形段230。應瞭解入 口部分200可係與入口導管形狀匹配之任何形狀。圓柱形部分230與入口導管耦合以接納流向擋板部分210之廢氣流。在此實施例中，入口部分200自一內徑為50mm的入口管進行饋送。在圓柱形部分230之下游，入口部分自一圓形橫剖面轉變至與出口部分220匹配之一非圓形橫剖面。
據此，有一拋線型轉變部分250，其中入口部分200之橫剖面形狀自圓形轉變至非圓形。在此實例中，橫剖面形狀自一圓形轉變至一長圓形。然而，應瞭解其他轉變係可能的。在擋板部分210上游提供匹配的圓柱形部分230及拋線型部分250有助於防止沈積物堆積。
出口部分
出口部分220沿著其軸向長度維持相同的長圓形橫剖面形狀及面積且界定將廢氣流提供至燃燒室之一出口孔260。在此實施例中，出口部分係內半徑為8mm、中心距為50mm的長圓形橫剖面，且長為75mm。儘管在此實施例中出口部分220沿著其之軸向長度具有一恆定的形狀，應瞭解此部分可係錐形的。
擋板部分
位於入口部分200與出口部分220之間的係一擋板部分210。在此實例中，擋板部分210包括具有一擋板孔270之一板。擋板部分210經定向垂直於廢氣流之流動的方向且對該流動提供一限制。在此實例中，擋板孔270之形狀與出口部分220之橫剖面的形狀匹配且對稱地位於擋板部分210內。擋板孔270具有小於出口部分220的一橫剖面面積。在此實施例中，擋板孔半徑為3mm、中心距為40mm。與內徑為16mm之一習用噴嘴(在每分鐘50公升下，產生4m/s之標稱噴嘴速度及在每分鐘60公升下，產生5m/s之標稱噴嘴速度)相比，此在每分鐘300公升下，產生分別為24m/s及5m/s的一槽速度及標稱噴嘴速度。
據此，如可見，圓柱形段230之內部體積提供入口導管之一連續 延伸，同時拋線型部分250將導管的形狀自圓形轉變至非圓形。此提供廢氣流之近層流動直到其到達擋板部分210為止。擋板部分210及其之孔270的存在提供一明顯的間斷處使得穿過擋板孔270的廢氣流在出口部分220內經受一流動的膨脹。儘管不需要擋板部分210的存在，如將在下文論述，但是包含一擋板部分210改良後續的消減效能。
非圓形出口
圖5展示沿著入口總成50之軸向長度觀察的出口孔260。出口孔260具有一面積A。圖5亦繪示具有與出口孔260之面積A等效的一面積A之一圓形出口孔260a。
如可見，為了提供一等效的面積，用於圓形出口孔260a之擴散長度r2顯著地長於出口孔260之擴散長度r1。
因此，為了相同的流動速率，與由出口孔260提供之廢氣流相比，發生在由圓形出口孔260A提供之一廢氣流上之擴散及消減所花費的時間長得多。換言之，與由出口孔260提供相比，對由圓形出口孔260A提供之相同流動速率的廢氣流執行消減反應所需的燃燒室的長度將需要長得多。換言之，使用出口孔260之一更緊湊的輻射燃燒器比帶有圓形出口孔260A的輻射燃燒器更合理。
擋板部分──替代實施例
圖6及圖7繪示用於擋板部分的替代配置。
圖6展示具有擋閘配置的一擋板部分210A，該擋閘配置包括一對可滑動安裝的板330A、340A，該對板一起界定一可變尺寸的擋板孔270A。在此實例中，板330A、340A係L形的。然而，應瞭解可想到其他擋閘結構及形狀。板330A、340A可經移動聚合或分開以改變擋板孔270A之面積。
圖7展示利用一對樞轉板330B、340B之一平行邊的槽噴嘴配置，藉由彈簧350偏置板330B、340B以限制擋板孔270B的尺寸。樞轉板 330B、340B藉由廢氣流之流動起作用，該等樞轉板增大擋板孔270B的面積。應瞭解，可提供其他偏置擋閘機構。
通常，可用兩種方法改變擋板孔的尺寸：手動地回應於穿過噴嘴之氣體的低流動速率，使得最佳化導入口尺寸以適應程序氣體加泵送稀釋物之輸出量。例如，當消減一氣體(諸如NF3)時，一更狹隘的導入口產生改良的消減效能。但是當消減一顆粒形成的氣體(諸如SiH4)時，此相同的導入口尺寸導致沈積於燃燒器表面上的固體增加，在此案例中，一更少收縮的導入口係有利的。又，導入口尺寸可經自動最佳化，使得擋板部分之導入口由於一彈簧動作或其他復原力而可變形。應瞭解使用兩個相對板330A、340A比調節一等效圓形孔之面積更易於調整。
效能結果
如可見於圖8A至圖8C，相比於既有的配置，使用實施例之入口總成之一輻射燃燒器的效能更高。
圖8A展示NF3損耗率效率之一測繪圖，NF3經量測充當帶有200l/min之氮氣之一模擬廢氣流的部分，該模擬廢氣流用於為內徑為152.4mm(6英寸)、軸向長度為304.8mm(12英寸)之一輻射燃燒器饋料的不同入口總成構形，該燃燒器操作在36SLM的燃料下，當在不存在廢氣流之情況下進行量測時，該燃料提供9.5%之一殘餘氧氣濃度。如可見，使用實施例之入口總成提供對使用內徑為32mm之一單個圓形入口總成之一既有配置的顯著的效能改良。又，具有擋板部分之實施例之該等入口總成提供對使用四個內徑為16mm之圓形入口總成之一既有配置的顯著的效能改良，如可更詳細地見於圖8B中。
圖8B係在與具有內徑為4mm×16mm之噴嘴之一標準的頭部總成相同之條件下操作的圖8A之一放大圖。入口總成50(稱為具有不同擋板孔配置之「槽噴嘴」)在氮氣的稀釋下略勝標準的頭部總成。
圖8C展示與圖8B相同的配置，但是稀釋NF3之氮氣的總流量已增加至300SLM。如可見，在此增加的流體流量下，入口總成50(具有不同擋板孔配置之「槽噴嘴」)與標準頭部總成相比具有大大改良的效能。
提供一可變尺寸的擋板孔有助於在不同的操作條件下進一步改良燃燒器總成之效能。例如，對於100SLM之氮氣而言，用一更大的擋板孔(例如，6mm寬)來消減NF3係極佳的。然而為了更高的氮氣流動速率(例如，200SLM及300SLM)，越狹窄的槽執行得越好。此外，擋板孔或孔口的尺寸可經改變以不產生或以減輕在流動暫態(諸如當無待消減的處理氣體時抽空室)期間的一高背壓。
因此，可見實施例將一入口總成提供至包括以一槽或長圓形形式構造之一單個噴嘴的一可燃燒的消減系統，該可燃燒的消減系統與一入口管上游及一燃燒室下游流體連通。入口管與噴嘴之間的介面在下游側提供一明顯的間斷處，使得流動的一膨脹發生在噴嘴內。此配置經論述以加強廢氣流或包含(例如)NF3之處理氣體的損耗，該損耗超過既有的構形。實際上，帶有此構形之一單個噴嘴的效能超過用於既有燃燒器總成中之複數個分開的噴嘴。
儘管已參考隨附圖式在文中詳細地揭示本發明之說明的實施例，但是應瞭解本發明不限於精確的實施例且熟習此項技術者在不脫離本發明藉由隨附申請專利範圍及其等等效物界定之範疇的情況下可對實施例實現各種改變及修改。
50:入口總成
200:入口部分
210:擋板部分
220:出口部分
230:圓柱形部分
240:入口孔
250:拋線型部分
260:出口孔
270:擋板孔

Claims (15)

  1. 一種用於一輻射燃燒器、擾流火焰燃燒器或電加熱氧化器之入口總成，該入口總成包括：一圓形入口噴嘴，其界定一入口孔，其可與提供一廢氣流供該燃燒器處理之一入口導管耦合，一非圓形出口孔，及一噴嘴鑽孔，其沿著一縱向軸在該入口孔與該出口孔之間延伸，以用於將該廢氣流自該入口孔輸送至該出口孔以遞送至該燃燒器之一燃燒室，該噴嘴鑽孔具有自該入口孔延伸之一圓形入口部分及延伸至該非圓形出口孔之一出口部分，其中該入口部分的一橫剖面面積沿著該縱向軸自該入口孔向該出口部分縮小；該入口總成進一步包括耦合該入口部分與該出口部分之一擋板，該擋板界定定位於該噴嘴鑽孔內之一擋板孔，該擋板孔之形狀：係與鄰接於該擋板之該出口部分的形狀相匹配，係對稱地座設在該擋板部分之內，且和相鄰於該擋板之該出口部分相比具有一縮小的橫剖面面積；其中該入口部分的一橫剖面面積沿著該縱向軸自該入口孔之一圓柱形形狀轉變至該擋板孔的一形狀，並且沿著該縱向軸自該入口孔朝向該出口部分縮小以匹配於該擋板孔的該橫剖面面積。
  2. 如請求項1之入口總成，其中該出口孔係細長的。
  3. 如請求項1之入口總成，其中該出口孔係一大體四邊形槽。
  4. 如請求項1之入口總成，其中該出口孔係一長圓形。
  5. 如請求項1之入口總成，其中該出口孔係由複數個共位置、離散的孔構成。
  6. 如請求項1之入口總成，其中該出口部分之一橫剖面面積沿著該縱向軸自該出口孔向該入口部分改變。
  7. 如請求項1之入口總成，其中該出口部分之一橫剖面面積沿著該縱向軸自該出口孔向該入口部分縮小。
  8. 如請求項1之入口總成，其中該入口部分之一橫剖面形狀沿著該縱向軸自該入口孔之一形狀轉變至該擋板孔之一形狀。
  9. 如請求項1之入口總成，其中該擋板孔之一形狀和與該擋板相鄰之該出口部分的形狀匹配。
  10. 如請求項1之入口總成，其中該擋板孔由複數個共位置的孔構成。
  11. 如請求項1之入口總成，其中該擋板經構形以提供具有一可變橫剖面面積之該擋板孔。
  12. 如請求項1之入口總成，其中該擋板包括可操作以提供一可變橫剖面面積之一擋閘。
  13. 如請求項12之入口總成，其中該擋閘經偏置以提供回應於該廢氣流之一速度而變更的該可變橫剖面面積。
  14. 一種用於處理一廢氣流之方法，其包括：提供根據請求項1-13中任一項之一入口總成；及將該廢氣流供應至該入口孔。
  15. 如請求項14之方法，其中該擋板孔具有一可變橫剖面面積且該方法進一步包括：回應於該廢氣流之一速度而變更該擋板孔該可變橫剖面面積。
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