TWI685849B - Semiconductor memory device and operating method thereof - Google Patents
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Abstract
Description
本公開的各種實施方式總體上涉及半導體記憶體裝置及其操作方法,並且更具體地,涉及一種具有多個記憶體區塊的半導體記憶體裝置及其操作方法。 Various embodiments of the present disclosure generally relate to semiconductor memory devices and operating methods thereof, and more particularly, to a semiconductor memory device having multiple memory blocks and an operating method thereof.
相關申請案之交互參考Cross-reference for related applications
本申請根據要求於2016年1月19日在韓國智慧財產權局提交的韓國專利申請號10-2016-0006584的優先權,該韓國專利申請的全部公開通過引用被併入到本文中。 This application is based on the priority of Korean Patent Application No. 10-2016-0006584 filed on January 19, 2016 at the Korean Intellectual Property Office, the entire disclosure of which is incorporated herein by reference.
可以將半導體記憶體裝置分類為揮發性記憶體裝置和非揮發性記憶體裝置。 Semiconductor memory devices can be classified into volatile memory devices and non-volatile memory devices.
儘管非揮發性記憶體裝置具有慢的程式化/讀取操作速度,然而它能夠即使在缺少電源的情況下也保持其資料。因此,非揮發性記憶體裝置可以被用於二級存儲(secondary storage)的任務,這在裝置被斷電時不丟失資料。非揮發性記憶體裝置的示例可以包括唯讀記憶體(ROM)、遮罩ROM(MROM)、可程式化ROM(PROM)、可擦除可程式化ROM(EPROM)、電可擦除可程式化ROM(EEPROM)、快閃記憶體、相變隨機 存取記憶體(PRAM)、磁性RAM(MRAM)、電阻式RAM(RRAM)、鐵電RAM(FRAM)等。快閃記憶體被分類為反或(NOR)型記憶體和反及(NAND)型記憶體。 Although the non-volatile memory device has a slow programming/reading operation speed, it can retain its data even in the absence of power. Therefore, the non-volatile memory device can be used for secondary storage (secondary storage) tasks, which does not lose data when the device is powered off. Examples of non-volatile memory devices may include read-only memory (ROM), mask ROM (MROM), programmable ROM (PROM), erasable programmable ROM (EPROM), electrically erasable programmable ROM (EEPROM), flash memory, random phase change Access memory (PRAM), magnetic RAM (MRAM), resistive RAM (RRAM), ferroelectric RAM (FRAM), etc. Flash memory is classified into NOR type memory and NAND type memory.
像隨機存取記憶體(RAM)一樣,快閃記憶體能夠被寫入和擦除多次,並且像ROM一樣,快閃記憶體能夠即使在電力中斷時也保持其資料。最近,快閃記憶體被廣泛用作諸如數位相機、智慧型手機、個人數位助手(PDA)和MP3這樣的可攜式電子裝置的儲存媒體。 Like random access memory (RAM), flash memory can be written and erased multiple times, and like ROM, flash memory can retain its data even when power is interrupted. Recently, flash memory is widely used as a storage medium for portable electronic devices such as digital cameras, smart phones, personal digital assistants (PDAs), and MP3s.
在本公開的實施方式中,一種操作半導體記憶體裝置的方法可以包括以下步驟:執行選擇的記憶體區塊的讀取操作;以及在所述讀取操作期間,使局部選擇線能夠浮置,使得耦合至未選擇的記憶體區塊的局部字線的電位位準增加。 In an embodiment of the present disclosure, a method of operating a semiconductor memory device may include the steps of: performing a read operation of a selected memory block; and, during the read operation, enabling a local selection line to float, The potential level of the local word line coupled to the unselected memory block is increased.
在本公開的實施方式中,一種操作半導體記憶體裝置的方法可以包括以下步驟:執行選擇的記憶體區塊的讀取操作;以及在所述讀取操作期間,將耦合至未選擇的記憶體區塊的局部選擇線拉至接地。 In an embodiment of the present disclosure, a method of operating a semiconductor memory device may include the steps of: performing a read operation of a selected memory block; and during the read operation, coupling to an unselected memory The local selection line of the block is pulled to ground.
在本公開的實施方式中,一種半導體記憶體裝置可以包括多個記憶體區塊、耦合至相應的記憶體區塊的局部選擇線和局部字線、電壓產生電路、選擇線通過電路、字線通過電路、區塊解碼器以及控制邏輯。所述電壓產生電路可以向全域選擇線和全域字線輸出各種位準的操作電壓。所述選擇線通過電路可以選擇性地使所述全域選擇線和所述局部選擇線耦合或者去耦合(decouple)。所述字線通過電路可以使所述全域字線和所述局部字線共同地耦合或者去耦合。所述區塊解碼器可以控制共用的所述 字線通過電路。所述控制邏輯可以響應於命令而控制所述電壓產生電路、所述選擇線通過電路和所述區塊解碼器。 In an embodiment of the present disclosure, a semiconductor memory device may include a plurality of memory blocks, a local selection line and a local word line coupled to the corresponding memory block, a voltage generating circuit, a selection line passing circuit, a word line Through circuits, block decoders and control logic. The voltage generating circuit can output various levels of operating voltages to the global selection line and the global word line. The selection line passing circuit can selectively couple or decouple the global selection line and the local selection line. The word line passing circuit may commonly couple or decouple the global word line and the local word line. The block decoder can control the shared The word line passes through the circuit. The control logic may control the voltage generation circuit, the selection line passing circuit, and the block decoder in response to a command.
根據本公開的實施方式,在半導體記憶體裝置的讀取操作期間,未選擇的記憶體區塊的字線和選擇線的電位位準被控制以防止在所述未選擇的記憶體區塊的通道中捕獲熱載子(例如,電洞)。結果,能夠改進未選擇的記憶體區塊的讀取操作的可靠性。 According to an embodiment of the present disclosure, during a read operation of the semiconductor memory device, the potential levels of the word line and the selection line of the unselected memory block are controlled to prevent the unselected memory block from Hot carriers (eg, holes) are captured in the channel. As a result, the reliability of the read operation of unselected memory blocks can be improved.
100‧‧‧半導體記憶體裝置 100‧‧‧Semiconductor memory device
110‧‧‧電壓產生電路 110‧‧‧ voltage generating circuit
120‧‧‧開關電路 120‧‧‧Switch circuit
121‧‧‧第一開關電路 121‧‧‧ First switch circuit
122‧‧‧第二開關電路 122‧‧‧ Second switch circuit
130‧‧‧通過電路組 130‧‧‧Through the circuit group
131‧‧‧第一通過電路 131‧‧‧ First pass circuit
132‧‧‧第二通過電路 132‧‧‧ Second pass circuit
140‧‧‧記憶體單元 140‧‧‧Memory unit
141‧‧‧第一記憶體區塊 141‧‧‧ First memory block
142‧‧‧第二記憶體區塊 142‧‧‧Second memory block
150‧‧‧控制邏輯 150‧‧‧Control logic
160‧‧‧區塊解碼器 160‧‧‧block decoder
200‧‧‧半導體記憶體裝置 200‧‧‧Semiconductor memory device
210‧‧‧電壓產生電路 210‧‧‧ voltage generation circuit
220‧‧‧開關電路 220‧‧‧Switch circuit
221‧‧‧第一開關電路 221‧‧‧ First switch circuit
222‧‧‧第二開關電路 222‧‧‧ Second switch circuit
230‧‧‧通過電路組 230‧‧‧Through the circuit group
231‧‧‧第一通過電路 231‧‧‧ First pass circuit
232‧‧‧第二通過電路 232‧‧‧ Second pass circuit
240‧‧‧記憶體單元 240‧‧‧Memory unit
241‧‧‧第一記憶體區塊 241‧‧‧ First memory block
242‧‧‧第二記憶體區塊 242‧‧‧Second memory block
250‧‧‧控制邏輯 250‧‧‧Control logic
260‧‧‧區塊解碼器 260‧‧‧block decoder
270‧‧‧選擇線控制電路 270‧‧‧Select line control circuit
271‧‧‧第一源極選擇線控制器 271‧‧‧ First source selection line controller
272‧‧‧第一汲極選擇線控制器 272‧‧‧The first drain selection line controller
273‧‧‧第二源極選擇線控制器 273‧‧‧Second source selection line controller
274‧‧‧第二汲極選擇線控制器 274‧‧‧Second drain selection line controller
300‧‧‧半導體記憶體裝置 300‧‧‧Semiconductor memory device
310‧‧‧電壓產生電路 310‧‧‧ voltage generation circuit
320‧‧‧通過電路組 320‧‧‧Through the circuit group
321‧‧‧第一通過電路 321‧‧‧ First pass circuit
322‧‧‧第二通過電路 322‧‧‧Second pass circuit
330‧‧‧選擇線開關電路 330‧‧‧Select line switch circuit
331‧‧‧第一汲極選擇線開關電路 331‧‧‧ First drain select line switch circuit
332‧‧‧第一源極選擇線開關電路 332‧‧‧ First source selection line switch circuit
333‧‧‧第二汲極選擇線開關電路 333‧‧‧Second drain select line switch circuit
334‧‧‧第二源極選擇線開關電路 334‧‧‧Second source selection line switch circuit
340‧‧‧記憶體單元 340‧‧‧Memory unit
341‧‧‧第一記憶體區塊 341‧‧‧ First memory block
342‧‧‧第二記憶體區塊 342‧‧‧Second memory block
350‧‧‧控制邏輯 350‧‧‧Control logic
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400‧‧‧半導體記憶體裝置 400‧‧‧Semiconductor memory device
410‧‧‧電壓產生電路 410‧‧‧ voltage generation circuit
420‧‧‧通過電路 420‧‧‧Through the circuit
421‧‧‧第一汲極選擇線通過電路 421‧‧‧ First drain select line pass circuit
422‧‧‧第一字線通過電路 422‧‧‧The first word line through circuit
423‧‧‧第一源極選擇線通過電路 423‧‧‧The first source selection line through circuit
424‧‧‧第二汲極選擇線通過電路 424‧‧‧Second drain select line passing circuit
425‧‧‧第二字線通過電路 425‧‧‧The second word line through circuit
426‧‧‧第二源極選擇線通過電路 426‧‧‧Second source selection line passing circuit
430‧‧‧記憶體單元 430‧‧‧Memory unit
431‧‧‧第一記憶體區塊 431‧‧‧ First memory block
432‧‧‧第二記憶體區塊 432‧‧‧Second memory block
440‧‧‧控制邏輯 440‧‧‧Control logic
450‧‧‧區塊解碼器 450‧‧‧block decoder
1000‧‧‧記憶體系統 1000‧‧‧Memory system
1100‧‧‧控制器 1100‧‧‧Controller
1110‧‧‧RAM 1110‧‧‧RAM
1120‧‧‧處理電路 1120‧‧‧ processing circuit
1130‧‧‧主機介面 1130‧‧‧Host interface
1140‧‧‧記憶體介面 1140‧‧‧Memory interface
1150‧‧‧錯誤校正區塊 1150‧‧‧Error correction block
2000‧‧‧記憶體系統 2000‧‧‧Memory system
2100‧‧‧半導體記憶體裝置 2100‧‧‧Semiconductor memory device
2200‧‧‧控制器 2200‧‧‧Controller
3000‧‧‧計算系統 3000‧‧‧computing system
3100‧‧‧中央處理電路 3100‧‧‧Central Processing Circuit
3200‧‧‧RAM 3200‧‧‧RAM
3300‧‧‧使用者介面 3300‧‧‧User interface
3400‧‧‧電源 3400‧‧‧Power
3500‧‧‧系統匯流排 3500‧‧‧ system bus
圖1是例示了根據本公開的實施方式的半導體記憶體裝置的圖。 FIG. 1 is a diagram illustrating a semiconductor memory device according to an embodiment of the present disclosure.
圖2是例示了根據圖1中例示的半導體記憶體裝置的實施方式的操作的流程圖。 FIG. 2 is a flowchart illustrating operation according to the embodiment of the semiconductor memory device illustrated in FIG. 1.
圖3是例示了根據圖1中例示的半導體記憶體裝置的實施方式的操作的流程圖。 FIG. 3 is a flowchart illustrating operations according to the embodiment of the semiconductor memory device illustrated in FIG. 1.
圖4是例示了根據本公開的實施方式的半導體記憶體裝置的圖。 4 is a diagram illustrating a semiconductor memory device according to an embodiment of the present disclosure.
圖5是例示了圖4中例示的半導體記憶體裝置的操作的流程圖。 FIG. 5 is a flowchart illustrating the operation of the semiconductor memory device illustrated in FIG. 4.
圖6是例示了根據本公開的實施方式的半導體記憶體裝置的圖。 FIG. 6 is a diagram illustrating a semiconductor memory device according to an embodiment of the present disclosure.
圖7是詳細地例示了圖6中例示的半導體記憶體裝置的第二組的圖。 FIG. 7 is a diagram illustrating in detail the second group of the semiconductor memory device illustrated in FIG. 6.
圖8是例示了圖6中例示的半導體記憶體裝置的操作的流程 圖。 FIG. 8 is a flowchart illustrating the operation of the semiconductor memory device illustrated in FIG. 6 Figure.
圖9是例示了根據本公開的實施方式的半導體記憶體裝置的圖。 9 is a diagram illustrating a semiconductor memory device according to an embodiment of the present disclosure.
圖10是詳細地例示了圖9中例示的半導體記憶體裝置的第四組的圖。 FIG. 10 is a diagram illustrating in detail the fourth group of the semiconductor memory device illustrated in FIG. 9.
圖11是例示了圖9中例示的半導體記憶體裝置的操作的流程圖。 FIG. 11 is a flowchart illustrating the operation of the semiconductor memory device illustrated in FIG. 9.
圖12是例示了根據本公開的實施方式的包括半導體記憶體裝置的記憶體系統的圖。 FIG. 12 is a diagram illustrating a memory system including a semiconductor memory device according to an embodiment of the present disclosure.
圖13是例示了圖12的記憶體系統的應用示例的圖。 FIG. 13 is a diagram illustrating an application example of the memory system of FIG. 12.
圖14是例示了包括參照圖13所例示的記憶體系統的計算系統的圖。 FIG. 14 is a diagram illustrating a computing system including the memory system illustrated with reference to FIG. 13.
現在將參照附圖在下文中更充分地描述示例性實施方式;然而,所述示例性實施方式可以按照不同的形式來具體實現,並且不應該被解釋為限於本文所闡述的實施方式。相反,這些實施方式被提供以使得本公開將是徹底且完整的,並且將示例性實施方式的範圍完全傳達給本領域技術人員。 Exemplary embodiments will now be described more fully hereinafter with reference to the accompanying drawings; however, the exemplary embodiments may be embodied in different forms and should not be interpreted as being limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the exemplary embodiments to those skilled in the art.
在附圖中,為了例示的清楚,可以放大尺寸。將理解的是,當一個元件被稱為“在”兩個元件“之間”時,所述一個元件可以是這兩個元件之間的唯一元件,或者也可以存在一個或更多個中間元件。相同的附圖標記自始至終指代相同的元件。 In the drawings, the size may be enlarged for clarity of illustration. It will be understood that when an element is referred to as being "between" two elements, the element can be the only element between the two elements, or one or more intervening elements may also be present . The same reference numbers refer to the same elements throughout.
在下文中,將參照附圖更詳細地描述實施方式。在本文中參照作為實施方式(和中間結構)的示意示例的截面示例對實施方式進行描述。因此,期望來自例如作為製造技術和/或容限的結果的示例的形狀的變化。因此,實施方式不應該被解釋為限於本文所例示的區域的特定形狀,而是可以包括例如由製造產生的形狀偏差。在附圖中,為了清楚起見,可以對層和區域的長度和大小進行放大。附圖中相同的附圖標記表示相同的元件。 Hereinafter, the embodiments will be described in more detail with reference to the drawings. The embodiments are described herein with reference to cross-sectional examples that are schematic examples of embodiments (and intermediate structures). Therefore, changes in shape from, for example, examples that are the result of manufacturing techniques and/or tolerances are expected. Therefore, the embodiments should not be interpreted as being limited to the specific shapes of the regions illustrated herein, but may include shape deviations caused by manufacturing, for example. In the drawings, the length and size of layers and regions may be exaggerated for clarity. The same reference numerals in the drawings denote the same elements.
將參照稍後與附圖一起詳細地描述的示例性實施方式來使本公開的優點和特徵及其實現方法清楚。因此,本公開不限於以下實施方式,而是可以按照其它類型來具體實現。相反,這些實施方式被提供以使得本公開將是徹底且完整的,並且將本公開的技術精神完全傳達給本領域技術人員。 The advantages and features of the present disclosure and the method of implementation thereof will be made clear with reference to the exemplary embodiments described later in detail together with the drawings. Therefore, the present disclosure is not limited to the following embodiments, but may be specifically implemented in other types. Rather, these embodiments are provided so that the present disclosure will be thorough and complete, and fully convey the technical spirit of the present disclosure to those skilled in the art.
將理解的是,當一個元件被稱為“耦合”或者“連接”至另一元件時,所述一個元件能夠直接耦合或者連接至所述另一元件,或者可以在它們之間存在中間元件。在本說明書中,當元件被稱為“包括”或“包含”元件時,除非上下文另外清楚地指示,否則該元件不排除另一元件,而是還可以包括其它元件。 It will be understood that when an element is referred to as being "coupled" or "connected" to another element, the one element can be directly coupled or connected to the other element, or intervening elements may be present therebetween. In this specification, when an element is referred to as an "include" or "include" element, unless the context clearly indicates otherwise, the element does not exclude another element, but may also include other elements.
圖1是例示了根據本公開的實施方式的半導體記憶體裝置的圖。 FIG. 1 is a diagram illustrating a semiconductor memory device according to an embodiment of the present disclosure.
參照圖1,半導體記憶體裝置100可以包括電壓產生電路110、開關電路120、通過電路組130、記憶體單元140、控制邏輯150和區塊解碼器160。
Referring to FIG. 1, the
電壓產生電路110可以在讀取操作期間響應於從控制邏輯150輸出的操作信號而產生具有各種位準的操作電壓,並且可以將這些操作電壓輸出到全域字線和全域選擇線。例如,操作電壓可以包括讀取電壓、通過電壓、選擇電晶體控制電壓、補償電壓等。電壓產生電路110可以向第一全域字線GWLs_A、第一全域選擇線GDSL_A和GSSL_A、第二全域字線GWLs_B以及第二全域選擇線GDSL_B和GSSL_B發送具有各種位準的操作電壓。例如,在記憶體單元140的第一記憶體區塊141與第二記憶體區塊142之間選擇了第一記憶體區塊141的情況下,電壓產生電路210可以向指派給第一記憶體區塊141的第一全域字線GWLs_A以及第一全域選擇線GDSL_A和GSSL_A發送操作電壓,並且可以向指派給未選擇的第二記憶體區塊142的第二全域字線GWLs_B以及第二全域選擇線GDSL_B和GSSL_B發送零伏特的電壓或低於操作電壓的補償電壓。補償電壓可以被設置在例如從零伏特至四伏特的範圍內。能夠通過將選擇的線耦合至接地端子來獲得零伏特的電壓。開關電路120可以包括第一開關電路121和第二開關電路122。
The
第一開關電路121可以將第一全域字線GWLs_A耦合至第一子全域字線GWLs_A1,並且可以將第一全域選擇線GDSL_A和GSSL_A耦合至第一子全域選擇線GDSL_A1和GSSL_A1。例如,第一開關電路121可以包括回應於選擇控制電壓CS_A而導通或者截止的高電壓電晶體。回應於從控制邏輯150輸出的選擇控制電壓CS_A,第一開關電路121可以向第一子全域字線GWLs_A1發送通過第一全域字線GWLs_A施加的操作電壓或補償電壓,或者可以使得第一子全域字線GWLs_A1能夠浮置。回應於從控
制邏輯150輸出的選擇控制電壓CS_A,第一開關電路121可以向第一子全域選擇線GDSL_A1和GSSL_A1發送通過第一全域選擇線GDSL_A和GSSL_A輸入的多個操作電壓或補償電壓,或者可以使得第一子全域選擇線GDSL_A1和GSSL_A1能夠浮置。選擇控制電壓CS_A可以是零伏特的電壓或者是高於通過第一全域字線GWLs_A以及第一全域選擇線GDSL_A和GSSL_A輸入的多個操作電壓的高電壓。
The
第二開關電路122可以將第二全域字線GWLs_B耦合至第二子全域字線GWLs_B1,並且可以將第二全域選擇線GDSL_B和GSSL_B耦合至第二子全域選擇線GDSL_B1和GSSL_B1。例如,第二開關電路122可以包括回應於取消選擇控制電壓CS_B而導通或者截止的高電壓電晶體。回應於從控制邏輯150輸出的取消選擇控制電壓CS_B,第二開關電路122可以向第二子全域字線GWLs_B1發送通過第二全域字線GWLs_B輸入的多個操作電壓或補償電壓,或者可以使得第二子全域字線GWLs_B1能夠浮置。回應於從控制邏輯150輸出的取消選擇控制電壓CS_B,第二開關電路122可以向第二子全域選擇線GDSL_B1和GSSL_B1發送通過第二全域選擇線GDSL_B和GSSL_B輸入的多個操作電壓,或者可以使得第二子全域選擇線GDSL_B1和GSSL_B1能夠浮置。取消選擇控制電壓CS_B可以是從零伏特至四伏特的範圍內的電壓或者是高於通過第二全域字線GWLs_B以及第二全域選擇線GDSL_B和GSSL_B輸入的多個操作電壓的高電壓。
The
在讀取操作期間,當在第一記憶體區塊141與第二記憶體區塊142之間選擇了第一記憶體區塊141時,回應於從控制邏輯150輸出的選擇控制電壓CS_A,第一開關電路121可以向第一子全域字線GWLs_A1發
送通過第一全域字線GWLs_A輸入的多個操作電壓。另外,第一開關電路121可以向第一子全域選擇線GDSL_A1和GSSL_A1發送通過第一全域選擇線GDSL_A和GSSL_A輸入的多個操作電壓。響應於取消選擇控制電壓CS_B,指派給未選擇的第二記憶體區塊142的第二開關電路122可以使得第二子全域字線GWLs_B1以及第二子全域選擇線GDSL_B1和GSSL_B1能夠浮置。也就是說,在讀取操作期間,開關電路120可以使得指派給未選擇的記憶體區塊的子全域字線和子全域選擇線能夠浮置。
During the read operation, when the
通過電路組130可以包括第一通過電路131和第二通過電路132。
The
回應於從區塊解碼器160輸出的區塊通過信號BLKWL,第一通過電路131可以將第一子全域字線GWLs_A1電耦合至第一記憶體區塊141的第一字線WLs_A,並且可以將第一子全域選擇線GDSL_A1和GSSL_A1電耦合至第一記憶體區塊141的第一選擇線DSL_A和SSL_A。這裡,選擇線DSL_A和SSL_A可以是局部選擇線。
In response to the block pass signal BLKWL output from the block decoder 160, the
回應於從區塊解碼器160輸出的區塊通過信號BLKWL,第二通過電路132可以將第二子全域字線GWLs_B1電耦合至第二記憶體區塊142的第二字線WLs_B,並且可以將第二子全域選擇線GDSL_B1和GSSL_B1電耦合至第二記憶體區塊142的第二選擇線DSL_B和SSL_B。
In response to the block pass signal BLKWL output from the block decoder 160, the
第一通過電路131和第二通過電路132可以共用承載從區塊解碼器160提供的區塊通過信號BLKWL的信號線。因此,回應於相同的區塊通過信號BLKWL,第一子全域字線GWLs_A1與第一記憶體區塊141的第一字線WLs_A可以彼此電耦合,並且第一子全域選擇線GDSL_A1和
GSSL_A1與第一記憶體區塊141的第一選擇線DSL_A和SSL_A可以彼此電耦合,並且第二子全域字線GWLs_B1與第二記憶體區塊142的第二字線WLs_B可以彼此電耦合,並且第二子全域選擇線GDSL_B1和GSSL_B1與第二記憶體區塊142的第二選擇線DSL_B和SSL_B可以彼此電耦合。第一通過電路131和第二通過電路132可以包括回應於區塊通過信號BLKWL而導通或者截止的多個高電壓電晶體。儘管第一通過電路131和第二通過電路132耦合至提供區塊通過信號BLKWL的同一信號線,然而可以通過使第一開關電路和第二開關電路中的僅一個接通來將區塊通過信號BLKWL施加到第一記憶體區塊141和第二記憶體區塊142中的僅一個。
The
記憶體單元140可以包括第一記憶體區塊141和第二記憶體區塊142。第一記憶體區塊141和第二記憶體區塊142中的每一個可以包括多個記憶體單元。例如,所述多個記憶體單元可以是非揮發性記憶體單元。在所述多個記憶體單元當中,耦合至同一字線的記憶體單元可以被定義為一頁。第一記憶體區塊141和第二記憶體區塊142中的每一個可以包括多個單元串。第一記憶體區塊141和第二記憶體區塊142可以共用共同源極線和位元線。
The
控制邏輯150可以響應於從外部裝置提供的命令CMD而控制電壓產生電路110和開關電路120。例如,如果輸入了與讀取操作有關的命令,則控制邏輯150可以按照使得產生各種操作電壓的方式向電壓產生電路110輸出操作信號,並且可以輸出選擇控制電壓CS_A和取消選擇控制電壓CS_B以用於控制指派給記憶體單元140的選擇的記憶體區塊和未選擇的記憶體區塊的第一開關電路121和第二開關電路122。
The
當與列位址ADDR對應的記憶體區塊是第一記憶體區塊141或第二記憶體區塊142時,區塊解碼器160可以產生具有高電壓位準的區塊通過信號BLKWL。可以從控制邏輯150輸出列位址ADDR。
When the memory block corresponding to the column address ADDR is the
圖2是例示了根據圖1中例示的半導體記憶體裝置的實施方式的操作的流程圖。 FIG. 2 is a flowchart illustrating operation according to the embodiment of the semiconductor memory device illustrated in FIG. 1.
將參照圖1和圖2描述根據本公開的實施方式的半導體記憶體裝置的操作。 The operation of the semiconductor memory device according to the embodiment of the present disclosure will be described with reference to FIGS. 1 and 2.
這裡,假定第一記憶體區塊141是選擇的記憶體區塊,其是在第一記憶體區塊141與第二記憶體區塊142之間選擇的記憶體區塊。
Here, it is assumed that the
1)輸入讀取命令(S110) 1) Enter the read command (S110)
當從外部裝置輸入了與讀取操作有關的讀取命令CMD時,控制邏輯150可以產生用於控制電壓產生電路110和開關電路120的控制信號和控制電壓。
When a read command CMD related to a read operation is input from an external device, the
2)產生操作電壓(S120) 2) Generate operating voltage (S120)
電壓產生電路110可以響應於從控制邏輯150提供的控制信號而產生用於讀取操作的具有各種位準的操作電壓。例如,操作電壓可以包括讀取電壓、通過電壓、選擇電晶體控制電壓、補償電壓等。電壓產生電路110可以將操作電壓提供給第一全域字線GWLs_A以及第一全域選擇線GDSL_A和GSSL_A。此外,電壓產生電路110可以向第二全域字線GWLs_B以及第二全域選擇線GDSL_B和GSSL_B提供零伏特的電壓。
The
3)對指派給未選擇的記憶體區塊的開關電路施加取消選擇控制電壓(S130) 3) Apply a deselection control voltage to the switch circuit assigned to the unselected memory block (S130)
可以對指派給未選擇的第二記憶體區塊142的第二開關電路122施加取消選擇控制電壓CS_B。可以對指派給所選擇的第一記憶體區塊141的第一開關電路121施加從控制邏輯150輸出的高電壓的選擇控制電壓CS_A。可以將取消選擇控制電壓CS_B設置為零伏特。
The deselection control voltage CS_B may be applied to the
4)使指派給未選擇的記憶體區塊的全域字線浮置(S140) 4) Floating the global word line assigned to the unselected memory block (S140)
回應於從控制邏輯150輸出的取消選擇控制電壓CS_B,指派給未選擇的第二記憶體區塊142的第二開關電路122可以使指派給未選擇的第二記憶體區塊142的第二子全域字線GWLs_B1以及第二子全域選擇線GDSL_B1和GSSL_B1浮置。例如,第一開關電路121可以回應於從控制邏輯150輸出的高電壓的選擇控制電壓CS_A而向第一子全域字線GWLs_A1以及第一子全域選擇線GDSL_A1和GSSL_A1發送通過第一全域字線GWLs_A以及第一全域選擇線GDSL_A和GSSL_A輸入的多個操作電壓。第二開關電路122可以響應於零伏特的取消選擇控制電壓CS_B而斷開,並且可以使得第二子全域字線GWLs_B1以及第二子全域選擇線GDSL_B1和GSSL_B1能夠浮置。
In response to the deselected control voltage CS_B output from the
5)對所選擇的記憶體區塊施加操作電壓(S150) 5) Apply an operating voltage to the selected memory block (S150)
在讀取操作期間,可以對由第一記憶體區塊141和第二記憶體區塊142共用的共同源極線施加零伏特的電壓,並且可以對由第一記憶體區塊141和第二記憶體區塊142共用的位元線進行預充電。
During a read operation, a voltage of zero volts can be applied to the common source line shared by the
在第一記憶體區塊141是選擇的記憶體區塊並且第二記憶體區塊142是未選擇的記憶體區塊的情況下,區塊解碼器160可以回應於列位址ADDR而產生具有高電壓位準的區塊通過信號BLKWL。
In the case where the
回應於區塊通過信號BLKWL,第一通過電路131可以將第一子全域字線GWLs_A1和第一字線WLs_A彼此電耦合,並且可以將第一子全域選擇線GDSL_A1和GSSL_A1與第一選擇線DSL_A和SSL_A彼此電耦合。
In response to the block pass signal BLKWL, the
回應於區塊通過信號BLKWL,第二通過電路132可以將第二子全域字線GWLs_B1和第二字線WLs_B彼此電耦合,並且可以將第二子全域選擇線GDSL_B1和GSSL_B1與第二選擇線DSL_B和SSL_B彼此電耦合。
In response to the block pass signal BLKWL, the
可以對所選擇的第一記憶體區塊141的第一字線WLs_A施加讀取電壓和通過電壓,並且可以對第一選擇線DSL_A和SSL_A施加選擇電晶體控制電壓。未選擇的第二記憶體區塊142的第二字線WLs_B以及第二選擇線DSL_B和SSL_B中的全部可以浮置。
The read voltage and the pass voltage may be applied to the first word line WLs_A of the selected
浮置的第二字線WLs_B以及浮置的第二選擇線DSL_B和SSL_B的電位位準可以通過與相鄰的佈線線路和端子的電容耦合而增加。在第二字線WLs_B以及第二選擇線DSL_B和SSL_B的電位位準通過電容耦合現象而超過零伏特的情況下,可以抑制可能在汲極選擇電晶體和源極選擇電晶體的通道中由於洩漏電流(例如,GIDL)的產生而形成的熱載子(例如,熱電洞)的產生。因此,在未選擇的記憶體區塊的通道中注入並捕獲到熱載子(例如,熱電洞)的概率可以降低。 The potential levels of the floating second word line WLs_B and the floating second selection lines DSL_B and SSL_B can be increased by capacitive coupling with adjacent wiring lines and terminals. In the case where the potential levels of the second word line WLs_B and the second selection lines DSL_B and SSL_B exceed zero volts through the capacitive coupling phenomenon, it is possible to suppress the possibility of leakage in the channel of the drain selection transistor and the source selection transistor The generation of hot carriers (eg, hot holes) formed by the generation of electric current (eg, GIDL). Therefore, the probability of injecting and capturing hot carriers (eg, hot holes) in the channels of the unselected memory block can be reduced.
下表1示出了指派給共用一個區塊通過信號的通過電路的多個記憶體區塊當中的選擇的記憶體區塊和未選擇的記憶體區塊的字線和選擇線的電位位準的實施方式。 Table 1 below shows the potential levels of the word lines and selection lines of the selected memory block and the unselected memory block among the multiple memory blocks assigned to the pass circuit sharing a block pass signal Implementation.
如表1中所示,可以對選擇的記憶體區塊的字線施加讀取電壓和通過電壓,所述選擇的記憶體區塊是從多個記憶體區塊當中選擇的記憶體區塊。這裡,所選擇的記憶體區塊可以耦合至共用特定區塊通過信號的通過電路。因此,區塊通過信號可以不僅被施加到所選擇的記憶體區塊,而且被施加到未選擇的記憶體區塊。可以對所選擇的記憶體區塊的選擇線施加正電壓的選擇電晶體控制電壓Vssl和Vdsl。如上所述,未選擇的記憶體區塊的所有字線和選擇線可以浮置。因此,在所選擇的記憶體區塊的讀取操作期間,在未選擇的記憶體區塊中,在汲極選擇電晶體和源極選擇電晶體的下通道中形成熱載子(例如,熱電洞)的概率可以降低。 As shown in Table 1, read voltages and pass voltages can be applied to the word lines of selected memory blocks, which are memory blocks selected from a plurality of memory blocks. Here, the selected memory block may be coupled to a pass circuit sharing a pass signal of a specific block. Therefore, the block pass signal can be applied not only to the selected memory block but also to the unselected memory block. The selection transistor control voltages Vssl and Vdsl of a positive voltage may be applied to the selection line of the selected memory block. As described above, all word lines and selection lines of unselected memory blocks can be floated. Therefore, during the read operation of the selected memory block, in the unselected memory block, hot carriers (eg, thermoelectric) are formed in the lower channels of the drain-select transistor and the source-select transistor. Hole) can be reduced.
圖3是例示了根據圖1中例示的半導體記憶體裝置的實施方式的操作的流程圖。 FIG. 3 is a flowchart illustrating operations according to the embodiment of the semiconductor memory device illustrated in FIG. 1.
將參照圖1和圖3描述根據實施方式的半導體記憶體裝置的操作。 The operation of the semiconductor memory device according to the embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 3.
這裡,假定在第一記憶體區塊141與第二記憶體區塊142之間選擇了第一記憶體區塊141。
Here, it is assumed that the
1)輸入讀取命令(S210) 1) Enter the read command (S210)
當從外部裝置輸入了與讀取操作有關的讀取命令CMD時,
控制邏輯150可以產生用於控制電壓產生電路110和開關電路120的控制信號和控制電壓。
When a read command CMD related to a read operation is input from an external device,
The
2)產生操作電壓(S220) 2) Generate operating voltage (S220)
電壓產生電路110可以響應於從控制邏輯150提供的控制信號而產生用於讀取操作的具有各種位準的操作電壓。例如,操作電壓可以包括讀取電壓、通過電壓、選擇電晶體控制電壓、補償電壓等。電壓產生電路110可以向第一全域字線GWLs_A以及第一全域選擇線GDSL_A和GSSL_A提供諸如讀取電壓、通過電壓和選擇電晶體控制電壓這樣的電壓。此外,電壓產生電路110可以向第二全域字線GWLs_B以及第二全域選擇線GDSL_B和GSSL_B提供補償電壓。
The
3)對與未選擇的記憶體區塊對應的全域字線和全域選擇線施加補償電壓(S230) 3) Apply a compensation voltage to the global word line and the global selection line corresponding to the unselected memory block (S230)
電壓產生電路110可以對與未選擇的記憶體區塊142對應的第二全域字線GWLs_B以及全域選擇線GDSL_B和GSSL_B施加補償電壓。例如,電壓產生電路110對與所選擇的記憶體區塊141對應的第一全域字線GWLs_A以及第一全域選擇線GDSL_A和GSSL_A施加操作電壓。電壓產生電路110可以對與未選擇的記憶體區塊142對應的第二全域字線GWLs_B以及第二全域選擇線GDSL_B和GSSL_B施加補償電壓。施加到第二全域字線GWLs_B的補償電壓可以是正電壓,並且可以被設置在零伏特至四伏特之間的範圍內。施加到第二全域選擇線GDSL_B和GSSL_B的補償電壓可以是零伏特的電壓。
The
4)對與未選擇的記憶體區塊對應的開關電路施加取消選擇 控制電壓(S240) 4) Apply deselection to the switch circuit corresponding to the unselected memory block Control voltage (S240)
可以對與未選擇的第二記憶體區塊142對應的第二開關電路122施加取消選擇控制電壓CS_B。可以對與所選擇的第一記憶體區塊141對應的第一開關電路121施加從控制邏輯150輸出的高電壓選擇控制電壓CS_A。可以將取消選擇控制電壓CS_B設置為具有比補償電壓高的位準。例如,可以將取消選擇控制電壓CS_B設置為四伏特。
The deselection control voltage CS_B may be applied to the
5)對所選擇的記憶體區塊施加操作電壓(S250) 5) Apply an operating voltage to the selected memory block (S250)
在讀取操作期間,可以對由第一記憶體區塊141和第二記憶體區塊142共用的共同源極線施加零伏特的電壓,並且可以對由第一記憶體區塊141和第二記憶體區塊142共用的位元線進行預充電。
During a read operation, a voltage of zero volts can be applied to the common source line shared by the
在第一記憶體區塊141是選擇的記憶體區塊並且第二記憶體區塊142是未選擇的記憶體區塊的情況下,區塊解碼器160可以回應於列位址ADDR而產生具有高電壓位準的區塊通過信號BLKWL。
In the case where the
回應於區塊通過信號BLKWL,第一通過電路131可以將第一子全域字線GWLs_A1電耦合至第一記憶體區塊141的第一字線WLs_A,並且可以將第一子全域選擇線GDSL_A1和GSSL_A1電耦合至第一記憶體區塊141的選擇線DSL_A和SSL_A。
In response to the block pass signal BLKWL, the
回應於區塊通過信號BLKWL,第二通過電路132可以將第二子全域字線GWLs_B1電耦合至第二記憶體區塊142的第二字線WLs_B,並且可以將第二子全域選擇線GDSL_B1和GSSL_B1電耦合至第二記憶體區塊142的第二選擇線DSL_B和SSL_B。
In response to the block pass signal BLKWL, the
可以對所選擇的第一記憶體區塊141的第一字線WLs_A施
加讀取電壓和通過電壓,並且可以對第一選擇線DSL_A和SSL_A施加選擇電晶體控制電壓。可以對未選擇的第二記憶體區塊142的第二字線WLs_B施加從零伏特至四伏特的範圍內的補償電壓,並且可以對第二選擇線DSL_B和SSL_B施加零伏特的補償電壓。
The first word line WLs_A of the selected
可以對第二選擇線DSL_B和SSL_B施加零伏特的補償電壓,使得在汲極選擇電晶體和源極選擇電晶體的下通道中由於洩漏電流(例如,GIDL)的產生而形成熱載子(例如,熱電洞)的概率可以降低。此外,因為從零伏特至四伏特的範圍內的補償電壓被施加到第二字線WLs_B,所以在記憶體區塊的通道中注入並捕獲到熱載子(例如,熱電洞)的概率可以降低。 A zero-volt compensation voltage can be applied to the second selection lines DSL_B and SSL_B, so that hot carriers (e.g., due to the generation of leakage current (e.g., GIDL) in the lower channel of the drain-select transistor and the source-select transistor , Thermal holes) can be reduced. In addition, because the compensation voltage in the range from zero volts to four volts is applied to the second word line WLs_B, the probability of hot carriers (eg, hot holes) being injected and trapped in the channel of the memory block can be reduced .
下表2示出了與共用一個區塊通過信號的通過電路對應的多個記憶體區塊當中的選擇的記憶體區塊和未選擇的記憶體區塊的字線和選擇線的電位位準。 Table 2 below shows the potential levels of the word lines and selection lines of the selected memory block and the unselected memory block among the plurality of memory blocks corresponding to the pass circuit sharing a block pass signal .
如表2中所示,可以對從與共用一個區塊通過信號的通過電路對應的多個記憶體區塊當中選擇的記憶體區塊的字線施加讀取電壓和通過電壓,並且對其選擇線施加正電壓的選擇電晶體控制電壓Vssl和Vdsl。如上所述,可以對未選擇的記憶體區塊的字線施加具有從零伏特至四伏特
的範圍內的位準的補償電壓,並且可以對選擇線施加零伏特的補償電壓。因此,在所選擇的記憶體區塊的讀取操作期間,在未選擇的記憶體區塊中,在汲極選擇電晶體和源極選擇電晶體的下通道中形成熱載子(例如,熱電洞)的概率可以降低,並且在記憶體區塊的通道中注入並捕獲到熱載子(例如,熱電洞)的概率可以降低。可以減小流過第二記憶體區塊242中的單元串的洩漏電流。
As shown in Table 2, the read voltage and the pass voltage can be applied to the word line of the memory block selected from the plurality of memory blocks corresponding to the pass circuit sharing the pass signal of one block, and selected The selection transistor control voltage Vssl and Vdsl which apply a positive voltage to the line. As described above, the word lines of the unselected memory blocks can be applied
The compensation voltage of the level within the range of 0, and a zero-volt compensation voltage can be applied to the selection line. Therefore, during the read operation of the selected memory block, in the unselected memory block, hot carriers (eg, thermoelectric) are formed in the lower channels of the drain-select transistor and the source-select transistor. The probability of a hole) can be reduced, and the probability of hot carriers (eg, thermoelectric holes) injected and captured in the channel of the memory block can be reduced. The leakage current flowing through the cell string in the
圖4是例示了根據本公開的實施方式的半導體記憶體裝置的圖。 4 is a diagram illustrating a semiconductor memory device according to an embodiment of the present disclosure.
參照圖4,半導體記憶體裝置200可以包括電壓產生電路210、開關電路220、通過電路組230、記憶體單元240、控制邏輯250、區塊解碼器260和選擇線控制電路270。
Referring to FIG. 4, the
電壓產生電路210可以在讀取操作期間響應於從控制邏輯250輸出的操作信號而產生具有各種位準的操作電壓,並且可以將這些操作電壓輸出到全域字線和全域選擇線。例如,操作電壓可以包括讀取電壓、通過電壓、選擇電晶體控制電壓、補償電壓等。電壓產生電路210可以向第一全域字線GWLs_A、第一全域選擇線GDSL_A和GSSL_A、第二全域字線GWLs_B以及第二全域選擇線GDSL_B和GSSL_B發送具有各種位準的操作電壓。例如,在記憶體單元240的第一記憶體區塊241與第二記憶體區塊242之間選擇了第一記憶體區塊241的情況下,電壓產生電路210可以向與第一記憶體區塊241對應的第一全域字線GWLs_A以及第一全域選擇線GDSL_A和GSSL_A發送操作電壓,並且可以向指派給未選擇的第二記憶體區塊242的第二全域字線GWLs_B以及第二全域選擇線GDSL_B和GSSL_B
發送零伏特的電壓。
The
開關電路220可以包括第一開關電路221和第二開關電路222。
The
第一開關電路221可以將第一全域字線GWLs_A耦合至第一子全域字線GWLs_A1,並且可以將第一全域選擇線GDSL_A和GSSL_A耦合至第一子全域選擇線GDSL_A1和GSSL_A1。例如,第一開關電路221可以包括回應於選擇控制電壓CS_A而導通或者截止的高電壓電晶體。回應於從控制邏輯250輸出的選擇控制電壓CS_A,第一開關電路221可以向第一子全域字線GWLs_A1發送通過第一全域字線GWLs_A輸入的多個操作電壓,或者可以使第一子全域字線GWLs_A1浮置。回應於從控制邏輯250輸出的選擇控制電壓CS_A,第一開關電路221可以向第一子全域選擇線GDSL_A1和GSSL_B1發送通過第一全域選擇線GDSL_A和GSSL_A輸入的多個操作電壓,或者可以使第一子全域選擇線GDSL_A1和GSSL_A1浮置。選擇控制電壓CS_A可以是零伏特的電壓或者是高於通過第一全域字線GWLs_A以及第一全域選擇線GDSL_A和GSSL_A輸入的多個操作電壓的高電壓。
The
第二開關電路222可以將第二全域字線GWLs_B耦合至第二子全域字線GWLs_B1,並且可以將第二全域選擇線GDSL_B和GSSL_B耦合至第二子全域選擇線GDSL_B1和GSSL_B1。例如,第二開關電路222可以包括回應於取消選擇控制電壓CS_A而導通或者截止的高電壓電晶體。回應於從控制邏輯250輸出的取消選擇控制電壓CS_B,第二開關電路222可以向第二子全域字線GWLs_B1發送通過第二全域字線GWLs_B輸入的多個
操作電壓,或者可以使第二子全域字線GWLs_B1浮置。回應於從控制邏輯250輸出的取消選擇控制電壓CS_B,第二開關電路222可以向第二子全域選擇線GDSL_B1和GSSL_B1發送通過第二全域選擇線GDSL_B和GSSL_B輸入的多個操作電壓,或者可以使第二子全域選擇線GDSL_B1和GSSL_B1浮置。取消選擇控制電壓CS_B可以是零伏特的電壓或者是高於通過第二全域字線GWLs_B以及第二全域選擇線GDSL_B和GSSL_B輸入的多個操作電壓的高電壓。
The
在讀取操作期間,當在第一記憶體區塊241和第二記憶體區塊242之間選擇了第一記憶體區塊241時,回應於從控制邏輯250輸出的選擇控制電壓CS_A,第一開關電路221向第一子全域字線GWLs_A1發送通過第一全域字線GWLs_A輸入的多個操作電壓,並且可以向第一子全域選擇線GDSL_A1和GSSL_A1發送通過第一全域選擇線GDSL_A和GSSL_A輸入的多個操作電壓。與未選擇的第二記憶體區塊242對應的第二開關電路222響應於取消選擇控制電壓CS_B而使第二子全域字線GWLs_B1以及第二子全域選擇線GDSL_B1和GSSL_B1浮置。也就是說,開關電路220使與未選擇的記憶體區塊對應的子全域字線和子全域選擇線浮置。
During the read operation, when the
通過電路組230可以包括第一通過電路231和第二通過電路232。
The
回應於從區塊解碼器260輸出的區塊通過信號BLKWL,第一通過電路231可以將第一子全域字線GWLs_A1電耦合至第一記憶體區塊241的第一字線WLs_A,並且可以將第一子全域選擇線GDSL_A1和GSSL_A1電耦合至第一記憶體區塊241的第一選擇線DSL_A和SSL_A。
In response to the block pass signal BLKWL output from the
回應於從區塊解碼器260輸出的區塊通過信號BLKWL,第二通過電路232可以將第二子全域字線GWLs_B1電耦合至第二記憶體區塊142的第二字線WLs_B,並且可以將第二子全域選擇線GDSL_B1和GSSL_B1電耦合至第二記憶體區塊242的第二選擇線DSL_B和SSL_B。
In response to the block pass signal BLKWL output from the
第一通過電路231和第二通過電路232可以共用承載從區塊解碼器260提供的區塊通過信號BLKWL的信號線。因此,回應於相同的區塊通過信號BLKWL,第一子全域字線GWLs_A1可以電耦合至第一記憶體區塊241的第一字線WLs_A,且第一子全域選擇線GDSL_A1和GSSL_A1以及第一記憶體區塊241的第一選擇線DSL_A和SSL_A可以彼此電耦合,並且第二子全域字線GWLs_B1可以電耦合至第二記憶體區塊242的第二字線WLs_B,且第二子全域選擇線GDSL_B1和GSSL_B1以及第二記憶體區塊242的第二選擇線DSL_B和SSL_B可以彼此電耦合。第一通過電路231和第二通過電路232可以包括回應於區塊通過信號BLKWL而導通或者截止的多個高電壓電晶體。儘管第一通過電路231和第二通過電路232耦合至提供區塊通過信號BLKWL的同一信號線,然而可以通過使第一開關電路和第二開關電路中的僅一個接通來將區塊通過信號BLKWL施加到第一記憶體區塊241和第二記憶體區塊242中的僅一個。
The first pass circuit 231 and the
記憶體單元240可以包括第一記憶體區塊241和第二記憶體區塊242。第一記憶體區塊241和第二記憶體區塊242中的每一個可以包括多個記憶體單元。例如,所述多個記憶體單元可以是非揮發性記憶體單元。在所述多個記憶體單元當中,耦合至同一字線的記憶體單元可以被定義為一頁。第一記憶體區塊241和第二記憶體區塊242中的每一個可以包括多個
單元串。第一記憶體區塊241和第二記憶體區塊242可以共用共同源極線和位元線。
The
控制邏輯250可以響應於從外部裝置提供的命令CMD而控制電壓產生電路210和開關電路220。例如,如果輸入了與讀取操作有關的命令,則控制邏輯250可以按照使得產生各種操作電壓的方式來控制電壓產生電路210,並且可以輸出選擇控制電壓CS_A和取消選擇控制電壓CS_B以用於控制與記憶體單元240的選擇的記憶體區塊和未選擇的記憶體區塊對應的第一開關電路221和第二開關電路222。
The
當與列位址ADDR對應的記憶體區塊是第一記憶體區塊241或第二記憶體區塊24時,區塊解碼器260可以產生具有高電壓位準的區塊通過信號BLKWL。可以從控制邏輯250輸出列位址ADDR。
When the memory block corresponding to the column address ADDR is the
選擇線控制電路270可以包括第一源極選擇線控制器271、第一汲極選擇線控制器272、第二源極選擇線控制器273以及第二汲極選擇線控制器274。
The selection
第一源極選擇線控制器271可以耦合至第一記憶體區塊241,並且可以控制耦合至第一記憶體區塊241的第一源極選擇線SSL_A的電位位準。例如,在讀取操作期間,如果第一記憶體區塊241是未選擇的記憶體區塊,則第一源極選擇線控制器271可以對第一記憶體區塊241的第一源極選擇線SSL_A進行放電,並且因此將第一源極選擇線SSL_A的電位位準調整為零伏特。
The first source
第一汲極選擇線控制器272可以耦合至第一記憶體區塊241,並且可以控制耦合至第一記憶體區塊241的第一汲極選擇線DSL_A的
電位位準。例如,在讀取操作期間,如果第一記憶體區塊241是未選擇的記憶體區塊,則第一汲極選擇線控制器272可以對第一記憶體區塊241的第一汲極選擇線DSL_A進行放電,並且因此將第一汲極選擇線DSL_A的電位位準調整為零伏特。
The first drain
第二源極選擇線控制器273可以耦合至第二記憶體區塊242,並且可以控制耦合至第二記憶體區塊242的第二源極選擇線SSL_B的電位電平。例如,在讀取操作期間,如果第二記憶體區塊242是未選擇的記憶體區塊,則第二源極選擇線控制器273可以對第二記憶體區塊242的第二源極選擇線SSL_B進行放電,並且因此將第二源極選擇線SSL_B的電位電平調整為零伏特。
The second source
第二汲極選擇線控制器274可以耦合至第二記憶體區塊242,並且可以控制耦合至第二記憶體區塊242的第二汲極選擇線DSL_B的電位位準。例如,在讀取操作期間,如果第二記憶體區塊242是未選擇的記憶體區塊,則第二汲極選擇線控制器274可以對第二記憶體區塊242的第二汲極選擇線DSL_B進行放電,並且因此將第二汲極選擇線DSL_B的電位位準調整為零伏特。
The second drain
選擇線控制電路270可以由控制邏輯250控制。
The selection
圖5是例示了圖4中例示的半導體記憶體裝置的操作的流程圖。 FIG. 5 is a flowchart illustrating the operation of the semiconductor memory device illustrated in FIG. 4.
將參照圖4和圖5描述根據實施方式的半導體記憶體裝置的操作。 The operation of the semiconductor memory device according to the embodiment will be described with reference to FIGS. 4 and 5.
這裡,假定第一記憶體區塊241是選擇的記憶體區塊,其是
在第一記憶體區塊241和第二記憶體區塊242之間選擇的記憶體區塊。
Here, it is assumed that the
1)輸入讀取命令(S310) 1) Enter the read command (S310)
當從外部裝置輸入了與讀取操作有關的讀取命令CMD時,控制邏輯250可以產生用於控制電壓產生電路210和開關電路220的控制信號和控制電壓。
When a read command CMD related to a read operation is input from an external device, the
2)產生操作電壓(S320) 2) Generate operating voltage (S320)
電壓產生電路210可以響應於從控制邏輯250提供的控制信號而產生用於讀取操作的具有各種位準的操作電壓。例如,操作電壓可以包括讀取電壓、通過電壓、選擇電晶體控制電壓、補償電壓等。電壓產生電路210可以將操作電壓提供給第一全域字線GWLs_A以及第一全域選擇線GDSL_A和GSSL_A。此外,電壓產生電路210可以向第二全域字線GWLs_B以及第二全域選擇線GDSL_B和GSSL_B提供零伏特的電壓。
The
3)對指派給未選擇的記憶體區塊的開關電路施加取消選擇控制電壓(S330) 3) Apply a deselection control voltage to the switch circuit assigned to the unselected memory block (S330)
對指派給未選擇的第二記憶體區塊242的第二開關電路222施加取消選擇控制電壓CS_B。可以對指派給所選擇的第一記憶體區塊241的第一開關電路221施加從控制邏輯250輸出的高電壓選擇控制電壓CS_A。可以將取消選擇控制電壓CS_B設置為零伏特。
The deselection control voltage CS_B is applied to the
4)使與未選擇的記憶體區塊對應的全域字線浮置(S340) 4) Floating the global word line corresponding to the unselected memory block (S340)
回應於從控制邏輯250輸出的取消選擇控制電壓CS_B,與未選擇的第二記憶體區塊242對應的第二開關電路222可以使指派給未選擇的第二記憶體區塊242的第二子全域字線GWLs_B1以及第二子全域選擇線
GDSL_B1和GSSL_B1浮置。例如,第一開關電路221可以回應於從控制邏輯250輸出的高電壓的選擇控制電壓CS_A而向第一子全域字線GWLs_A1以及第一子全域選擇線GDSL_A1和GSSL_A1發送通過第一全域字線GWLs_A以及第一全域選擇線GDSL_A和GSSL_A輸入的多個操作電壓。第二開關電路122可以響應於零伏特的取消選擇控制電壓CS_B而斷開,並且可以使得第二子全域字線GWLs_B1以及第二子全域選擇線GDSL_B1和GSSL_B1能夠浮置。
In response to the deselected control voltage CS_B output from the
5)對未選擇的記憶體區塊的選擇線施加補償電壓(S350) 5) Apply a compensation voltage to the selection line of the unselected memory block (S350)
耦合至未選擇的第二記憶體區塊242的第二源極選擇線控制器273可以對第二記憶體區塊242的第二源極選擇線SSL_B施加補償電壓。第二汲極選擇線控制器274可以對第二記憶體區塊242的第二汲極選擇線DSL_B施加補償電壓。該補償電壓可以處在零伏特。
The second source
6)對所選擇的記憶體區塊施加操作電壓(S360) 6) Apply operating voltage to the selected memory block (S360)
在讀取操作期間,可以對由第一記憶體區塊241和第二記憶體區塊242共用的共同源極線施加零伏特的電壓,並且可以對由第一記憶體區塊241和第二記憶體區塊242共用的位元線進行預充電。
During the read operation, a voltage of zero volts can be applied to the common source line shared by the
在第一記憶體區塊241是選擇的記憶體區塊並且第二記憶體區塊242是未選擇的記憶體區塊的情況下,區塊解碼器260可以回應於列位址ADDR而產生具有高電壓位準的區塊通過信號BLKWL。
In the case where the
回應於區塊通過信號BLKWL,第一通過電路231可以將第一子全域字線GWLs_A1電耦合至第一記憶體區塊241的第一字線WLs_A,並且可以將第一子全域選擇線GDSL_A1和GSSL_A1電耦合至第一記憶體
區塊241的選擇線DSL_A和SSL_A。
In response to the block pass signal BLKWL, the first pass circuit 231 can electrically couple the first sub-global word line GWLs_A1 to the first word line WLs_A of the
回應於區塊通過信號BLKWL,第二通過電路232可以將第二子全域字線GWLs_B1電耦合至第二記憶體區塊242的第二字線WLs_B,並且可以將第二子全域選擇線GDSL_B1和GSSL_B1電耦合至第二記憶體區塊242的第二選擇線DSL_B和SSL_B。
In response to the block pass signal BLKWL, the
可以對所選擇的第一記憶體區塊241的第一字線WLs_A施加讀取電壓和通過電壓,並且可以對第一選擇線DSL_A和SSL_A施加選擇電晶體控制電壓。未選擇的第二記憶體區塊242的第二字線WLs_B可以浮置。
A read voltage and a pass voltage may be applied to the first word line WLs_A of the selected
浮置的第二字線WLs_B的電位位準可以通過與相鄰的佈線線路和端子的電容耦合而增加。當第二字線WLs_B的電位位準通過電容耦合而超過零伏特時,可以抑制可能在汲極選擇電晶體和源極選擇電晶體的下通道中由於洩漏電流(例如,GIDL)的產生而形成的熱載子(例如,熱電洞)的產生。因此,在未選擇的記憶體區塊的通道中注入並捕獲到熱載子(例如,熱電洞)的概率可以降低。此外,可以由選擇線控制電路270對第二記憶體區塊242的第二汲極選擇線DSL_B和源極選擇線SSL_B施加零伏特的電壓,使得可以使第二記憶體區塊242的汲極選擇電晶體和源極選擇電晶體截止。因此,能夠減小流過第二記憶體區塊242中的單元串的洩漏電流。
The potential level of the floating second word line WLs_B can be increased by capacitive coupling with adjacent wiring lines and terminals. When the potential level of the second word line WLs_B exceeds zero volts through capacitive coupling, the formation of leakage current (eg, GIDL) in the lower channel of the drain-select transistor and the source-select transistor can be suppressed Generation of hot carriers (eg, hot holes). Therefore, the probability of injecting and capturing hot carriers (eg, hot holes) in the channels of the unselected memory block can be reduced. In addition, the selection
下表3示出了指派給共用一個區塊通過信號的通過電路的多個記憶體區塊當中的選擇的記憶體區塊和未選擇的記憶體區塊的字線和選擇線的電位位準。 Table 3 below shows the potential levels of the word lines and selection lines of the selected memory block and the unselected memory block among the plurality of memory blocks assigned to the pass circuit sharing a block pass signal .
如表3中所示,可以對選擇的記憶體區塊的字線施加讀取電壓和通過電壓,所述選擇的記憶體區塊是從多個記憶體區塊當中選擇的記憶體區塊。這裡,所選擇的記憶體區塊可以耦合至共用特定區塊通過信號的通過電路。因此,區塊通過信號可以不僅被施加到所選擇的記憶體區塊,而且被施加到未選擇的記憶體區塊。可以對所選擇的記憶體區塊的選擇線施加正電壓的選擇電晶體控制電壓Vssl和Vdsl。如上所述,未選擇的記憶體區塊的字線可以浮置,並且可以對選擇線施加零伏特的電壓。因此,在所選擇的記憶體區塊的讀取操作期間,在未選擇的記憶體區塊中,在源極選擇電晶體的下通道中形成熱載子(例如,熱電洞)的概率可以降低,並且可以使選擇電晶體截止,使得能夠減小洩漏電流。 As shown in Table 3, read voltages and pass voltages can be applied to the word lines of selected memory blocks, which are memory blocks selected from a plurality of memory blocks. Here, the selected memory block may be coupled to a pass circuit sharing a pass signal of a specific block. Therefore, the block pass signal can be applied not only to the selected memory block but also to the unselected memory block. The selection transistor control voltages Vssl and Vdsl of a positive voltage may be applied to the selection line of the selected memory block. As described above, the word lines of unselected memory blocks can be floated, and a voltage of zero volts can be applied to the selected lines. Therefore, during the read operation of the selected memory block, the probability of forming hot carriers (eg, hot holes) in the lower channel of the source selection transistor in the unselected memory block can be reduced And, the selective transistor can be turned off, so that the leakage current can be reduced.
圖6是例示了根據本公開的實施方式的半導體記憶體裝置的圖。 FIG. 6 is a diagram illustrating a semiconductor memory device according to an embodiment of the present disclosure.
參照圖6,半導體記憶體裝置300可以包括電壓產生電路310、通過電路組320、選擇線開關電路320、記憶體單元340、控制邏輯350和區塊解碼器360。
6, the
電壓產生電路310可以在讀取操作期間響應於從控制邏輯350輸出的操作信號而產生具有各種位準的操作電壓,並且可以將這些操作
電壓輸出到全域字線和全域選擇線。例如,操作電壓可以包括讀取電壓、通過電壓、選擇電晶體控制電壓、補償電壓等。電壓產生電路310可以向第一全域字線GWLs_A、第一全域選擇線GDSL_A和GSSL_A、第二全域字線GWLs_B以及第二全域選擇線GDSL_B和GSSL_B發送具有各種位準的操作電壓。例如,在記憶體單元340的第一記憶體區塊341與第二記憶體區塊342之間選擇了第一記憶體區塊341的情況下,電壓產生電路310可以向指派給第一記憶體區塊341的第一全域字線GWLs_A以及第一全域選擇線GDSL_A和GSSL_A發送操作電壓,並且可以向指派給未選擇的第二記憶體區塊342的第二全域字線GWLs_B以及第二全域選擇線GDSL_B和GSSL_B發送零伏特的電壓或低於操作電壓的補償電壓。該補償電壓可以被設置在從零伏特至四伏特的範圍內。
The
通過電路組320可以包括第一通過電路321和第二通過電路322。
The
回應於從區塊解碼器360輸出的區塊通過信號BLKWL,第一通過電路321可以將第一全域字線GWLs_A電耦合至第一記憶體區塊341的第一字線WLs_A,並且可以將第一全域選擇線GDSL_A和GSSL_A電耦合至與第一記憶體區塊341對應的第一子選擇線DSL_A和SSL_A。
In response to the block pass signal BLKWL output from the
回應於從區塊解碼器360輸出的區塊通過信號BLKWL,第二通過電路322可以將第二全域字線GWLs_B電耦合至第二記憶體區塊342的第二字線WLs_B,並且可以將第二全域選擇線GDSL_B和GSSL_B電耦合至指派給第二記憶體區塊342的第二子選擇線DSL_B和SSL_B。
In response to the block pass signal BLKWL output from the
第一通過電路321和第二通過電路322共用承載從區塊解碼
器360提供的區塊通過信號BLKWL的信號線。因此,回應於相同的區塊通過信號BLKWL,第一全域字線GWLs_A與第一記憶體區塊341的第一字線WLs_A可以彼此電耦合,且第一全域選擇線GDSL_A和GSSL_A與指派給第一記憶體區塊341的第一子選擇線DSL_A和SSL_A可以彼此電耦合,並且第二全域字線GWLs_B與第二記憶體區塊342的第二字線WLs_B可以彼此電耦合,且第二全域選擇線GDSL_B和GSSL_B與指派給第二記憶體區塊342的第二子選擇線DSL_B和SSL_B可以彼此電耦合。第一通過電路321和第二通過電路322可以包括回應於區塊通過信號BLKWL而導通或者截止的多個高電壓電晶體。儘管第一通過電路321和第二通過電路322耦合至提供區塊通過信號BLKWL的同一信號線,然而可以通過使第一開關電路和第二開關電路中的僅一個接通來將區塊通過信號BLKWL施加到第一記憶體區塊341和第二記憶體區塊342中的僅一個。
The
選擇線開關電路330可以包括第一汲極選擇線開關電路331、第一源極選擇線開關電路332、第二汲極選擇線開關電路333以及第二源極選擇線開關電路334。
The selection
第一汲極選擇線開關電路331可以耦合在第一子汲極選擇線DSL_A與第一記憶體區塊341的第一汲極選擇線DSL_A1之間,並且可以控制第一汲極選擇線DSL_A1的電位位準。例如,在記憶體單元340的第一記憶體區塊341與第二記憶體區塊342之間選擇了第一記憶體區塊341的情況下,第一汲極選擇線開關電路331可以響應於從控制邏輯350輸出的汲極選擇控制電壓CS_DSL_A而向第一記憶體區塊的第一汲極選擇線DSL_A1發送通過第一子汲極選擇線DSL_A輸入的操作電壓。
The first drain select
第一源極選擇線開關電路332可以耦合在第一子源極選擇線SSL_A與第一記憶體區塊341的第一源極選擇線SSL_A1之間,並且可以控制第一源極選擇線SSL_A1的電位位準。例如,在記憶體單元340的第一記憶體區塊341與第二記憶體區塊342之間選擇了第一記憶體區塊341的情況下,第一源極選擇線開關電路332可以響應於從控制邏輯350輸出的源極選擇控制電壓CS_SSL_A而向第一記憶體區塊的第一源極選擇線SSL_A1發送通過第一子源極選擇線SSL_A輸入的操作電壓。
The first source selection
第二汲極選擇線開關電路333可以耦合在第二子汲極選擇線DSL_B與第二記憶體區塊342的第二汲極選擇線DSL_B1之間,並且可以控制第二汲極選擇線DSL_B1的電位位準。例如,在未選擇第二記憶體區塊342的情況下,第二汲極選擇線開關電路333可以響應於從控制邏輯350輸出的汲極取消選擇控制電壓CS_DSL_B而使得第二汲極選擇線DSL_B1能夠浮置。
The second drain select
第二源極選擇線開關電路334可以耦合在第二子源極選擇線SSL_B與第二記憶體區塊342的第二源極選擇線SSL_B1之間,並且可以控制第二源極選擇線SSL_B1的電位位準。例如,在記憶體單元340的第一記憶體區塊341與第二記憶體區塊342之間選擇了第二記憶體區塊342的情況下,第二源極選擇線開關電路334可以響應於從控制邏輯350輸出的源極取消選擇控制電壓CS_SSL_B而向第二記憶體區塊的第二源極選擇線SSL_B1發送通過第二子源極選擇線SSL_B輸入的操作電壓,或者使第二源極選擇線SSL_B1浮置。
The second source selection
也就是說,選擇線開關電路330可以選擇性地使未選擇的記
憶體區塊的汲極選擇線和源極選擇線浮置。
That is, the selection
選擇線控制電路330可以由控制邏輯350控制。
The selection
記憶體單元340可以包括第一記憶體區塊341和第二記憶體區塊342。第一記憶體區塊341和第二記憶體區塊342中的每一個可以包括多個記憶體單元。例如,所述多個記憶體單元可以是非揮發性記憶體單元。在所述多個記憶體單元當中,耦合至同一字線的記憶體單元可以被定義為一頁。第一記憶體區塊341和第二記憶體區塊342中的每一個可以包括多個單元串。第一記憶體區塊341和第二記憶體區塊342可以共用共同源極線和位元線。
The
控制邏輯350可以響應於從外部裝置輸入的命令CMD而控制電壓產生電路310和選擇線開關電路330。例如,當輸入了與讀取操作有關的讀取命令時,控制邏輯350可以控制電壓產生電路310以產生各種操作電壓,並且可以輸出汲極選擇控制電壓CS_DSL_A、源極選擇控制電壓CS_SSL_A、汲極取消選擇控制電壓CS_DSL_B以及源極取消選擇控制電壓CS_SSL_B,以便控制指派給記憶體單元340的選擇的記憶體區塊和未選擇的記憶體區塊的第一汲極選擇線開關電路331、第一源極選擇線開關電路332、第二汲極選擇線開關電路333以及第二源極選擇線開關電路334。
The
當與列位址ADDR對應的記憶體區塊是第一記憶體區塊341或第二記憶體區塊342時,區塊解碼器360可以產生具有高電壓位準的區塊通過信號BLKWL並且輸出該區塊通過信號BLKWL。可以從控制邏輯350輸出列位址ADDR。
When the memory block corresponding to the column address ADDR is the
第一組GRA可以包括第一通過電路321、第一汲極選擇線
開關電路331、第一源極選擇線開關電路332和第一記憶體區塊341。
The first group GRA may include a
第二組GRB可以包括第二通過電路322、第二汲極選擇線開關電路333、第二源極選擇線開關電路334和第二記憶體區塊342。
The second group of GRBs may include a
圖7是詳細地例示了圖6中例示的半導體記憶體裝置的第二組的圖。 FIG. 7 is a diagram illustrating in detail the second group of the semiconductor memory device illustrated in FIG. 6.
圖6的第一組GRA和第二組GRB可以具有相同的結構;因此,為了方便起見,將僅詳細地描述第二組GRB,並且假定第二組GRB與未選擇的記憶體對應。 The first group GRA and the second group GRB of FIG. 6 may have the same structure; therefore, for convenience, only the second group GRB will be described in detail, and it is assumed that the second group GRB corresponds to an unselected memory.
第二組GRB可以包括第二通過電路322、第二汲極選擇線開關電路333、第二源極選擇線開關電路334和第二記憶體區塊342。
The second group of GRBs may include a
第二通過電路322可以包括多個高電壓電晶體,所述多個高電壓電晶體回應於從區塊解碼器360輸出的區塊通過信號BLKW而將第二全域字線GWLs_B電耦合至第二子字線WLs_B1,並且將第二全域選擇線GDSL_B和GSSL_B電耦合至第二子選擇線DSL_B和SSL_B。
The
第二汲極選擇線開關電路333可以包括第一電晶體Tr1。第一電晶體Tr1可以耦合在第二子汲極選擇線DSL_B與第二記憶體區塊342的第二汲極選擇線DSL_B1之間,並且可以回應於汲極取消選擇控制電壓CS_DSL_B而使得第二汲極選擇線DSL_B1能夠浮置。
The second drain selection
第二源極選擇線開關電路334可以包括第二電晶體Tr2。
The second source selection
第二電晶體Tr2可以耦合在第二子源極選擇線SSL_B與第二記憶體區塊342的第二源極選擇線SSL_B1之間,並且可以回應於源極取消選擇控制電壓CS_SSL_B而對源極選擇電晶體SST的柵極施加通過第二
源極選擇線SSL_B1發送的補償電壓,或者可以使得第二源極選擇線SSL_B能夠浮置。
The second transistor Tr2 may be coupled between the second sub-source selection line SSL_B and the second source selection line SSL_B1 of the
例如,在第二記憶體區塊342在讀取操作期間是未選擇的記憶體區塊的情況下,可以分別回應於汲極取消選擇控制電壓CS_DSL_B和源極取消選擇控制電壓CS_SSL_B而使第一電晶體Tr1和第二電晶體Tr2截止。結果,第二汲極選擇線DSL_B1和第二源極選擇線SSL_B1可以浮置。汲極取消選擇控制電壓CS_DSL_B和源極取消選擇控制電壓CS_SSL_B可以是零伏特的電壓。
For example, in the case where the
在另一示例中,當第二記憶體區塊342在讀取操作期間是未選擇的記憶體區塊時,第一電晶體Tr1可以回應於汲極取消選擇控制電壓CS_DSL_B而截止,並且因此第二選擇線DSL_B1可以浮置。第二電晶體Tr2可以回應於源極取消選擇控制電壓CS_SSL_B而導通,並且可以對源極選擇電晶體SST的柵極施加通過第二源極選擇線SSL_B發送的0V的補償電壓以使源極選擇電晶體SST截止。汲極取消選擇控制電壓CS_DSL_B可以是零伏特的電壓,並且源極取消選擇控制電壓CS_SSL_B可以是從零伏特至四伏特的範圍內的電壓。
In another example, when the
第二記憶體區塊342可以包括分別耦合在共同源極線CsL與多條位元線BL1至BLm之間的多個單元串ST1至STm。
The
所述多個單元串ST1至STm可以具有彼此相同的結構。第一單元串ST1可以包括串聯耦合在共同源極線CSL與位元線BL1之間的源極選擇電晶體SST、多個記憶體單元MC0至MCn以及汲極選擇電晶體DST。所述多個記憶體單元MC0至MCn的柵極可以耦合至相應的第二字線 WLs_B。 The plurality of cell strings ST1 to STm may have the same structure as each other. The first cell string ST1 may include a source selection transistor SST, a plurality of memory cells MC0 to MCn, and a drain selection transistor DST coupled in series between the common source line CSL and the bit line BL1. The gates of the plurality of memory cells MC0 to MCn may be coupled to corresponding second word lines WLs_B.
圖8是例示了圖6中例示的半導體記憶體裝置的操作的流程圖。 FIG. 8 is a flowchart illustrating the operation of the semiconductor memory device illustrated in FIG. 6.
將參照圖6、圖7和圖8描述根據實施方式的半導體記憶體裝置的操作。 The operation of the semiconductor memory device according to the embodiment will be described with reference to FIGS. 6, 7 and 8.
這裡,假定針對讀取操作在第一記憶體區塊341與第二記憶體區塊342之間選擇了第一記憶體區塊341。
Here, it is assumed that the
1)輸入讀取命令(S410) 1) Enter the read command (S410)
當從外部裝置輸入了與讀取操作有關的讀取命令CMD時,控制邏輯350可以產生用於控制電壓產生電路310和開關電路330的控制信號和控制電壓。
When a read command CMD related to a read operation is input from an external device, the
2)產生操作電壓(S420) 2) Generate operating voltage (S420)
電壓產生電路310可以響應於從控制邏輯350提供的控制信號而產生用於讀取操作的具有各種位準的操作電壓。例如,操作電壓可以包括讀取電壓、通過電壓、選擇電晶體控制電壓、補償電壓等。電壓產生電路310可以將讀取電壓、通過電壓、選擇電晶體控制電壓等提供給第一全域字線GWLs_A以及第一全域選擇線GDSL_A和GSSL_A。此外,電壓產生電路310可以向第二全域字線GWLs_B以及第二全域選擇線GDSL_B和GSSL_B提供補償電壓。
The
3)對與未選擇的記憶體區塊對應的全域字線和全域選擇線施加補償電壓(S430) 3) Apply a compensation voltage to the global word line and the global selection line corresponding to the unselected memory block (S430)
電壓產生電路310可以對指派給未選擇的第二記憶體區塊
342的第二全域字線GWLs_B以及全域選擇線GDSL_B和GSSL_B施加補償電壓。例如,電壓產生電路310可以對指派給所選擇的第一記憶體區塊341的第一全域字線GWLs_A以及第一全域選擇線GDSL_A和GSSL_A施加操作電壓。電壓產生電路310可以對指派給未選擇的第二記憶體區塊342的第二全域字線GWLs_B以及第二全域選擇線GDSL_B和GSSL_B施加補償電壓。施加到第二全域字線GWLs_B的補償電壓可以是正電壓,並且例如,可以被設置在從零伏特至四伏特的範圍內。施加到第二全域選擇線GDSL_B和GSSL_B的補償電壓可以是零伏特的電壓。
The
4)對指派給未選擇的記憶體區塊的選擇線開關電路施加取消選擇控制電壓並且使該選擇線浮置(S440) 4) Apply a deselection control voltage to the selection line switch circuit assigned to the unselected memory block and float the selection line (S440)
可以對指派給未選擇的第二記憶體區塊342的第二汲極選擇線開關電路333和第二源極選擇線開關電路334分別施加汲極取消選擇控制電壓CS_DSL_B和源極取消選擇控制電壓CS_SSL_B。在這種情況下,從控制邏輯350輸出的高電壓的汲極選擇控制電壓CS_DSL_A可以被施加到指派給第一記憶體區塊341的第一汲極選擇線開關電路331。從控制邏輯350輸出的高電壓的源極選擇控制電壓CS_SSL_A可以被施加到第一源極選擇線開關電路332。從控制邏輯350輸出的零伏特的汲極取消選擇控制電壓CS_DSL_B可以被施加到指派給未選擇的第二記憶體區塊342的第二汲極選擇線開關電路333。從控制邏輯350輸出的零伏特的源極取消選擇控制電壓CS_SSL_B可以被施加到第二源極選擇線開關電路334。結果,第二汲極選擇線DSL_B1和第二源極選擇線SSL_B1可以浮置。
The drain deselection control voltage CS_DSL_B and the source deselection control voltage may be applied to the second drain select
5)對選擇的記憶體區塊施加操作電壓(S450) 5) Apply an operating voltage to the selected memory block (S450)
在讀取操作期間,可以對由第一記憶體區塊341和第二記憶體區塊342共用的共同源極線施加零伏特的電壓,並且可以對由第一記憶體區塊341和第二記憶體區塊342共用的位元線進行預充電。
During a read operation, a voltage of zero volts can be applied to the common source line shared by the
在第一記憶體區塊341是選擇的記憶體區塊並且第二記憶體區塊342是未選擇的記憶體區塊的情況下,區塊解碼器360可以回應於列位址ADDR而產生具有高電壓位準的區塊通過信號BLKWL。
In the case where the
回應於區塊通過信號BLKWL,第一通過電路321可以將第一全域字線GWLs_A電耦合至第一記憶體區塊341的第一字線WLs_A,並且可以將第一全域選擇線GDSL_A和GSSL_A電耦合至第一子選擇線DSL_A和SSL_A。
In response to the block pass signal BLKWL, the
回應於區塊通過信號BLKWL,第二通過電路322可以將第二全域字線GWLs_B電耦合至第二記憶體區塊342的第二字線WLs_B,並且可以將第二全域選擇線GDSL_B和GSSL_B電耦合至第二子選擇線DSL_B和SSL_B。
In response to the block pass signal BLKWL, the
可以對所選擇的第一記憶體區塊341的第一字線WLs_A施加讀取電壓和通過電壓,並且可以對第一選擇線DSL_A1和SSL_A1施加選擇電晶體控制電壓。可以對未選擇的第二記憶體區塊342的第二字線WLs_B施加從零伏特至四伏特的範圍內的補償電壓,並且可以對第二選擇線DSL_B1和SSL_B1施加零伏特的補償電壓。結果,未選擇的第二記憶體區塊342的第二選擇線DSL_B1和SSL_B1可以浮置。
The read voltage and the pass voltage may be applied to the first word line WLs_A of the selected
浮置的第二選擇線DSL_B和SSL_B的電位位準可以通過與相鄰的佈線線路和端子的電容耦合而增加。在第二字線WLs_B以及第二選
擇線DSL_B1和SSL_B1的電位位準通過電容耦合現象而超過零伏特的情況下,可以抑制可能在汲極選擇電晶體和源極選擇電晶體的通道中由於洩漏電流(例如,GIDL)的產生而形成的熱載子(例如,熱電洞)的產生。因此,在未選擇的記憶體區塊的通道中注入並捕獲到熱載子(例如,熱電洞)的概率可以降低,並且可以減小流過第二記憶體區塊342中的單元串的洩漏電流。
The potential levels of the floating second selection lines DSL_B and SSL_B can be increased by capacitive coupling with adjacent wiring lines and terminals. In the second word line WLs_B and the second selection
When the potential levels of the line selection DSL_B1 and SSL_B1 exceed zero volts through capacitive coupling, it is possible to suppress the leakage current (for example, GIDL) in the channel of the drain selection transistor and the source selection transistor. The generation of formed hot carriers (eg, hot holes). Therefore, the probability of injecting and capturing hot carriers (eg, hot holes) in the channel of the unselected memory block can be reduced, and the leakage of the cell string flowing through the
下“表4”示出了指派給共用一個區塊通過信號的通過電路的多個記憶體區塊當中的選擇的記憶體區塊和未選擇的記憶體區塊的字線和選擇線的電位位準。 The following "Table 4" shows the potentials of the word lines and the selection lines assigned to the selected memory block and the unselected memory block among the plurality of memory blocks that share a block pass signal. Level.
如表4中所示,可以對選擇的記憶體區塊的字線施加讀取電壓和通過電壓,所述選擇的記憶體區塊是從多個記憶體區塊當中選擇的記憶體區塊。這裡,所選擇的記憶體區塊可以耦合至共用特定區塊通過信號的通過電路。因此,區塊通過信號可以不僅被施加到所選擇的記憶體區塊,而且被施加到未選擇的記憶體區塊。可以對所選擇的記憶體區塊的選擇線施加5.5伏特的選擇電晶體控制電壓。如上所述,可以對未選擇的記憶體區塊的字線施加零伏特或補償電壓,並且可以對選擇線施加零伏特的補償電
壓,或者選擇線可以浮置。因此,在所選擇的記憶體區塊的讀取操作期間,在未選擇的記憶體區塊中,在汲極選擇電晶體和源極選擇電晶體的下通道中形成熱載子(例如,熱電洞)的概率可以降低,並且在記憶體區塊的通道中注入並捕獲到熱載子(例如,熱電洞)的概率可以降低。另外,可以減小流過第二記憶體區塊342中的單元串的洩漏電流。
As shown in Table 4, read voltages and pass voltages can be applied to the word lines of selected memory blocks, which are memory blocks selected from a plurality of memory blocks. Here, the selected memory block may be coupled to a pass circuit sharing a pass signal of a specific block. Therefore, the block pass signal can be applied not only to the selected memory block but also to the unselected memory block. A selection transistor control voltage of 5.5 volts can be applied to the selection line of the selected memory block. As described above, zero volts or compensation voltage can be applied to the word lines of unselected memory blocks, and zero volt compensation power can be applied to the selected lines
Press, or select line can float. Therefore, during the read operation of the selected memory block, in the unselected memory block, hot carriers (eg, thermoelectric) are formed in the lower channels of the drain-select transistor and the source-select transistor. The probability of a hole) can be reduced, and the probability of hot carriers (eg, thermoelectric holes) injected and captured in the channel of the memory block can be reduced. In addition, the leakage current flowing through the cell string in the
圖9是例示了根據本公開的實施方式的半導體記憶體裝置的圖。 9 is a diagram illustrating a semiconductor memory device according to an embodiment of the present disclosure.
參照圖9,半導體記憶體裝置400可以包括電壓產生電路410、通過電路420、記憶體單元430、控制邏輯440和區塊解碼器450。
Referring to FIG. 9, the
電壓產生電路410可以在讀取操作期間響應於從控制邏輯440輸出的操作信號而產生具有各種位準的操作電壓,並且可以將這些操作電壓輸出到全域字線和全域選擇線。例如,操作電壓可以包括讀取電壓、通過電壓、選擇電晶體控制電壓、補償電壓等。電壓產生電路410可以向第一全域字線GWLs_A、第一全域選擇線GDSL_A和GSSL_A、第二全域字線GWLs_B以及第二全域選擇線GDSL_B和GSSL_B發送具有各種位準的操作電壓。例如,在記憶體單元430的第一記憶體區塊431與第二記憶體區塊432之間選擇了第一記憶體區塊431的情況下,電壓產生電路410可以向指派給第一記憶體區塊341的第一全域字線GWLs_A以及第一全域選擇線GDSL_A和GSSL_A發送操作電壓,並且可以向指派給未選擇的第二記憶體區塊342的第二全域字線GWLs_B以及第二全域選擇線GDSL_B和GSSL_B發送零伏特的電壓或低於操作電壓的補償電壓。該補償電壓可以被設置在從零伏特至四伏特的範圍內。
The
通過電路組420可以包括第一汲極選擇線通過電路421、第一字線通過電路422、第一源極選擇線通過電路423、第二汲極選擇線通過電路424、第二字線通過電路425以及第二源極選擇線通過電路426。
The
第一汲極選擇線通過電路421可以耦合在第一全域汲極選擇線GDSL_A與第一記憶體區塊431的第一汲極選擇線DSL_A之間,並且可以控制第一汲極選擇線DSL_A的電位位準。例如,在記憶體單元430的第一記憶體區塊431與第二記憶體區塊432之間選擇了第一記憶體區塊431的情況下,第一汲極選擇線通過電路421可以回應於從控制邏輯440輸出的塊汲極選擇控制電壓BLKDSL_A而向第一記憶體區塊431的第一汲極選擇線DSL_A發送通過第一全域汲極選擇線GDSL_A施加到其的操作電壓。
The first drain selection
第一字線通過電路422可以耦合在第一全域字線GWLs_A與第一記憶體區塊431的第一字線WLs_A之間,並且可以控制第一字線WLs_A的電位位準。例如,在記憶體單元430的第一記憶體區塊431與第二記憶體區塊432之間選擇了第一記憶體區塊431的情況下,第一字線通過電路422可以回應於從區塊解碼器450輸出的區塊通過信號BLKWL而向第一記憶體區塊431的第一字線WLs_A發送通過第一全域字線GWLs_A輸入給其的操作電壓。
The first word line passing circuit 422 may be coupled between the first global word line GWLs_A and the first word line WLs_A of the
第一源極選擇線通過電路423可以耦合在第一源極選擇線GSSL_A與第一記憶體區塊431的第一源極選擇線SSL_A之間,並且可以控制第一源極選擇線SSL_A的電位位準。例如,在記憶體單元430的第一記憶體區塊431與第二記憶體區塊432之間選擇了第一記憶體區塊431的情況下,第一源極選擇線通過電路423可以回應於從控制邏輯440輸出的塊源極
選擇控制電壓BLKSSL_A而向第一記憶體區塊431的第一源極選擇線SSL_A發送通過第一全域源極選擇線GSSL_A輸入給其的操作電壓。
The first source selection
第二汲極選擇線通過電路424可以耦合在第二全域汲極選擇線GDSL_B與第二記憶體區塊432的第二汲極選擇線DSL_B之間,並且可以控制第二汲極選擇線DSL_B的電位位準。例如,在記憶體單元430的第一記憶體區塊431和第二記憶體區塊432中的未選擇的記憶體區塊是第二記憶體區塊432的情況下,第二汲極選擇線通過電路424回應於從控制邏輯440輸出的塊汲極取消選擇控制電壓BLKDSL_B而使第二汲極選擇線DSL_B浮置。
The second drain selection
第二字線通過電路425耦合在第二全域字線GWLs_B與第二記憶體區塊432的第二字線WLs_B之間,並且控制第二字線WLs_B的電位位準。例如,在第二記憶體區塊432是記憶體單元430的未選擇的記憶體區塊的情況下,第二字線通過電路425可以回應於從區塊解碼器450輸出的區塊通過信號BLKWL而向第二記憶體區塊432的第二字線WLs_B發送通過第二全域字線GWLs_B輸入給其的補償電壓。
The second word line is coupled between the second global word line GWLs_B and the second word line WLs_B of the
第二源極選擇線通過電路426可以耦合在第二源極選擇線GSSL_B與第二記憶體區塊432的第二源極選擇線SSL_B之間,並且可以控制第二源極選擇線SSL_B的電位位準。例如,在第二記憶體區塊432是記憶體單元430的所選擇的記憶體區塊的情況下,第二源極選擇線通過電路426可以回應於從控制邏輯440輸出的塊源極取消選擇控制電壓BLKSSL_B而向第二記憶體區塊432的第二源極選擇線SSL_B發送通過第二全域源極選擇線GSSL_B輸入給其的補償電壓,或者可以使得第二源極選擇線SSL_B
能夠浮置。
The second source selection
也就是說,通過電路420可以選擇性地使未選擇的記憶體區塊的汲極選擇線和源極選擇線浮置。
That is, the drain selection line and the source selection line of the unselected memory block can be selectively floated by the
通過電路420的第一汲極選擇線通過電路421和第二汲極選擇線通過電路424以及第一源極選擇線通過電路423和第二源極選擇線通過電路426可以由控制邏輯440控制。通過電路420的第一字線通過電路422和第二字線通過電路425可以由區塊解碼器450控制。
The first drain select
通過電路420的第一汲極選擇線通過電路421和第二汲極選擇線通過電路424、第一源極選擇線通過電路423和第二源極選擇線通過電路426以及第一字線通過電路422和第二字線通過電路425可以包括多個高電壓電晶體。
The first drain select
記憶體單元430可以包括第一記憶體區塊431和第二記憶體區塊432。第一記憶體區塊431和第二記憶體區塊432中的每一個可以包括多個記憶體單元。在實施方式中,所述多個記憶體單元可以是非揮發性記憶體單元。在所述多個記憶體單元當中,耦合至同一字線的記憶體單元被定義為一頁。第一記憶體區塊431和第二記憶體區塊432中的每一個可以包括多個單元串。
The
第一記憶體區塊431和第二記憶體區塊432可以共用共同源極線和位元線。
The
控制邏輯440可以響應於從外部裝置輸入的命令CMD而控制電壓產生電路410,並且控制通過電路420的第一汲極選擇線通過電路421和第二汲極選擇線通過電路424以及第一源極選擇線通過電路423和第二源
極選擇線通過電路426。例如,回應於和讀取操作有關的讀取命令,控制邏輯440可以控制電壓產生電路410以產生各種操作電壓。此外,控制邏輯440可以輸出塊汲極選擇控制電壓BLKDSL_A、塊源極選擇控制電壓BLKSSL_A、塊汲極取消選擇控制電壓BLKDSL_B以及塊源極取消選擇控制電壓BLKSSL_B,以便控制指派給記憶體單元430的選擇的記憶體區塊和未選擇的記憶體區塊的第一汲極選擇線通過電路421和第二汲極選擇線通過電路424以及第一源極選擇線通過電路423和第二源極選擇線通過電路426。
The
當與列位址ADDR對應的記憶體區塊是第一記憶體區塊431或第二記憶體區塊432時,區塊解碼器450可以產生具有高電壓位準的區塊通過信號BLKWL。可以從控制邏輯440輸出列位址ADDR。
When the memory block corresponding to the column address ADDR is the
第三組GRC可以包括第一汲極選擇線通過電路421、第一字線通過電路422、第一源極選擇線通過電路423和第一記憶體區塊431。
The third group of GRCs may include a first drain select
第四組GRD可以包括第二汲極選擇線通過電路424、第二字線通過電路425、第二源極選擇線通過電路426和第二記憶體區塊432。
The fourth group of GRDs may include a second drain select
圖10是詳細地例示了圖9中例示的半導體記憶體裝置的第四組的圖。 FIG. 10 is a diagram illustrating in detail the fourth group of the semiconductor memory device illustrated in FIG. 9.
圖9的第三組GRC和第四組GRD可以具有相同的結構;因此,為了方便起見,將僅詳細地描述第四組GRD,並且假定第四組GRD與未選擇的記憶體對應。 The third group GRC and the fourth group GRD of FIG. 9 may have the same structure; therefore, for convenience, only the fourth group GRD will be described in detail, and it is assumed that the fourth group GRD corresponds to an unselected memory.
第四組GRD可以包括第二汲極選擇線通過電路424、第二字線通過電路425、第二源極選擇線通過電路426和第二記憶體區塊432。
The fourth group of GRDs may include a second drain select
第二汲極選擇線通過電路424、第二字線通過電路425和第二源極選擇線通過電路426可以包括第一電晶體MT1至第k電晶體MTk。例如,第二源極選擇線通過電路426可以包括第一電晶體MT1。第二字線通過電路425可以包括第二電晶體MT2至第(k-1)電晶體MTk-1。第二汲極選擇線通過電路424可以包括第k電晶體MTk。
The second drain select
第一電晶體MT1可以回應於塊源極取消選擇控制電壓BLKSSL_B而使第二全域源極選擇線GSSL_B和第二源極選擇線SSL_B彼此耦合或者去耦合。第二電晶體MT2至第(k-1)電晶體MTk-1可以回應於區塊通過信號BLKWL而使第二全域字線GWLs_B和第二字線WLs_B彼此耦合或者去耦合。第k電晶體MTk回應於塊汲極取消選擇控制電壓BLKDSL_B而使第二全域汲極選擇線GDSL_B和第二汲極選擇線DSL_B彼此耦合或者去耦合。 The first transistor MT1 may couple or decouple the second global source selection line GSSL_B and the second source selection line SSL_B in response to the block source deselection control voltage BLKSSL_B. The second transistor MT2 to the (k-1)th transistor MTk-1 may couple or decouple the second global word line GWLs_B and the second word line WLs_B to each other in response to the block pass signal BLKWL. In response to the block-drain deselection control voltage BLKDSL_B, the k-th transistor MTk couples or decouples the second global drain selection line GDSL_B and the second drain selection line DSL_B to each other.
在選擇的記憶體區塊的讀取操作期間,第一電晶體MT1和第k電晶體MTk可以回應於塊源極取消選擇控制電壓BLKSSL_B和塊汲極取消選擇控制電壓BLKDSL_B而截止,並且第二電晶體MT2至第k-1電晶體MTk-1可以回應於區塊通過信號BLKWL而導通。因此,第二源極選擇線SSL_B和第二汲極選擇線DSL_B可以浮置,並且可以向第二字線WLs_B發送施加到第二全域字線GWLs_B的電壓。例如,在第二全域字線GWLs_B是指派給未選擇的記憶體區塊的線的情況下,可以對第二全域字線GWLs_B施加零伏特的電壓,並且因此也可以向第二字線WLs_B發送零伏特的電壓。 During the read operation of the selected memory block, the first transistor MT1 and the k-th transistor MTk may be turned off in response to the block source deselection control voltage BLKSSL_B and the block drain deselection control voltage BLKDSL_B, and the second The transistor MT2 to the k-1th transistor MTk-1 can be turned on in response to the block pass signal BLKWL. Therefore, the second source selection line SSL_B and the second drain selection line DSL_B may float, and the voltage applied to the second global word line GWLs_B may be transmitted to the second word line WLs_B. For example, in the case where the second global word line GWLs_B is a line assigned to an unselected memory block, a voltage of zero volts may be applied to the second global word line GWLs_B, and thus may also be sent to the second word line WLs_B Zero volts.
第二記憶體區塊432包括分別耦合在共同源極線CSL與多條位元線BL1至BLm之間的多個單元串ST1至STm。
The
所述多個單元串ST1至STm可以具有相同的結構。第一單元串ST1可以包括串聯耦合在共同源極線CSL與位元線BL1之間的源極選擇電晶體SST、多個記憶體單元MC0至MCn以及汲極選擇電晶體DST。所述多個記憶體單元MC0至MCn的柵極耦合至相應的第二字線WLs_B。 The plurality of cell strings ST1 to STm may have the same structure. The first cell string ST1 may include a source selection transistor SST, a plurality of memory cells MC0 to MCn, and a drain selection transistor DST coupled in series between the common source line CSL and the bit line BL1. The gates of the plurality of memory cells MC0 to MCn are coupled to the corresponding second word lines WLs_B.
圖11是例示了圖9中例示的半導體記憶體裝置的操作的流程圖。 FIG. 11 is a flowchart illustrating the operation of the semiconductor memory device illustrated in FIG. 9.
將參照圖9、圖10和圖11描述根據本實施方式的半導體記憶體裝置的操作。 The operation of the semiconductor memory device according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 9, 10 and 11.
這裡,假定在第一記憶體區塊431和第二記憶體區塊432之間,第一記憶體區塊431是選擇的記憶體區塊並且第二記憶體區塊432是未選擇的記憶體區塊。
Here, it is assumed that between the
1)輸入讀取命令(S510) 1) Enter the read command (S510)
當從外部裝置輸入了與讀取操作有關的讀取命令CMD時,控制邏輯440產生用於控制電壓產生電路410和通過電路420的控制信號和控制電壓。
When a read command CMD related to a read operation is input from an external device, the
2)產生操作電壓(S520) 2) Generate operating voltage (S520)
電壓產生電路410可以響應於從控制邏輯440提供的控制信號而產生用於讀取操作的具有各種位準的操作電壓。例如,操作電壓可以包括讀取電壓、通過電壓、選擇電晶體控制電壓、補償電壓等。電壓產生電路410可以將讀取電壓、通過電壓、選擇電晶體控制電壓等提供給第一全域字線GWLs_A以及第一全域選擇線GDSL_A和GSSL_A。此外,電壓產生電路410可以向第二全域字線GWLs_B以及第二全域選擇線GDSL_B
和GSSL_B提供補償電壓。
The
3)對與未選擇的記憶體區塊對應的全域字線施加補償電壓(S530) 3) Apply a compensation voltage to the global word line corresponding to the unselected memory block (S530)
電壓產生電路410可以對指派給未選擇的第二記憶體區塊432的第二全域字線GWLs_B施加補償電壓。例如,電壓產生電路410可以對指派給所選擇的第一記憶體區塊431的第一全域字線GWLs_A以及第一全域選擇線GDSL_A和GSSL_A施加操作電壓。電壓產生電路410可以對指派給未選擇的第二記憶體區塊432的第二全域字線GWLs_B施加零伏特的補償電壓。
The
4)對指派給未選擇的記憶體區塊的選擇線通過電路施加取消選擇控制電壓並且使該選擇線浮置(S540) 4) Apply a deselection control voltage to the selection line assigned to the unselected memory block through the circuit and float the selection line (S540)
可以對指派給未選擇的第二記憶體區塊432的第二汲極選擇線通過電路424和第二源極選擇線通過電路426分別施加塊汲極取消選擇控制電壓BLKDSL_B和塊源極取消選擇控制電壓BLKSSL_B。塊汲極取消選擇控制電壓BLKDSL_B和塊源極取消選擇控制電壓BLKSSL_B可以是零伏特的電壓。結果,第二汲極選擇線DSL_B和第二源極選擇線SSL_B可以浮置。
The block drain deselection control voltage BLKDSL_B and the block source deselection may be applied to the second drain selection
5)對所選擇的記憶體區塊施加操作電壓(S550) 5) Apply an operating voltage to the selected memory block (S550)
在讀取操作期間,可以對由第一記憶體區塊431和第二記憶體區塊432共用的共同源極線施加零伏特的電壓,並且可以對由第一記憶體區塊341和第二記憶體區塊342共用的位元線進行預充電。
During the read operation, a voltage of zero volts can be applied to the common source line shared by the
在第一記憶體區塊431是選擇的記憶體區塊並且第二記憶
體區塊432是未選擇的記憶體區塊的情況下,區塊解碼器450可以回應於列位址ADDR而產生具有高電壓位準的區塊通過信號BLKWL。因為區塊通過信號BLKWL被共同地施加到第一字線通過電路422和第二字線通過電路425,所以第一全域字線GWLs_A可以電耦合至第一字線WLs_A,並且第二全域字線GWLs_B可以電耦合至第二字線WLs_B。
The
浮置的選擇線DSL_B和SSL_B的電位位準可以通過與相鄰的佈線線路和端子的電容耦合而增加。在選擇線DSL_B和SSL_B的電位位準通過電容耦合現象而超過零伏特的情況下,可以抑制可能在汲極選擇電晶體和源極選擇電晶體的通道中由於洩漏電流(例如,GIDL)的產生而形成的熱載子(例如,熱電洞)的產生。因此,在未選擇的記憶體區塊的通道中注入並捕獲到熱載子(例如,熱電洞)的概率可以降低,並且可以減小流過第二記憶體區塊432中的單元串的洩漏電流。
The potential levels of the floating selection lines DSL_B and SSL_B can be increased by capacitive coupling with adjacent wiring lines and terminals. In the case where the potential levels of the selection lines DSL_B and SSL_B exceed zero volts by the phenomenon of capacitive coupling, the generation of leakage current (eg, GIDL) that may be in the channel of the drain selection transistor and the source selection transistor can be suppressed The formation of hot carriers (eg, hot holes). Therefore, the probability of injecting and capturing hot carriers (eg, hot holes) in the channels of the unselected memory block can be reduced, and the leakage of the cell string flowing through the
圖12是例示了根據本公開的實施方式的包括半導體記憶體裝置的記憶體系統的圖。 FIG. 12 is a diagram illustrating a memory system including a semiconductor memory device according to an embodiment of the present disclosure.
參照圖12,記憶體系統1000可以包括半導體記憶體裝置100和控制器1100。
Referring to FIG. 12, the
半導體記憶體裝置100可以與用圖1、圖4、圖6或圖9描述的半導體記憶體裝置相同;因此,將省去或者簡化任何重複的詳細描述。
The
控制器1100耦合至主機Host和半導體記憶體裝置100。控制器1100被配置為回應於來自主機Host的請求而訪問半導體記憶體裝置100。例如,控制器1100被配置為控制半導體記憶體裝置100的讀取、寫入、擦除和背景操作。控制器1100被配置為在主機Host與半導體記憶體裝置100
之間提供介面。控制器1100被配置為驅動用於控制半導體記憶體裝置100的固件。
The
控制器1100包括RAM(隨機存取記憶體)1110、處理電路1120、主機介面1130、記憶體介面1140和錯誤校正區塊1150。RAM 1110被用作處理電路1120的操作記憶體、半導體記憶體裝置100與主機Host之間的快取記憶體記憶體以及半導體記憶體裝置100與主機Host之間的緩衝記憶體中的至少一個。處理電路1120控制控制器1100的總體操作。另外,控制器1100可以暫時存儲在寫入操作期間從主機Host提供的程式資料。
The
主機介面1130包括用於執行主機Host與控制器1100之間的資料交換的協議。在示例性實施方式中,控制器1100被配置為通過諸如以下協定這樣的各種介面協定中的至少一種來與主機Host進行通信:通用串列匯流排(USB)協定、多媒體卡(MMC)協定、周邊組件互連(PCI)協議、PCI-快速(PCI-E)協定、進階附接技術(ATA)協定、串列ATA協定、並行ATA協定、小電腦小介面(SCSI)協定、強型小型磁碟介面(ESDI)協定以及積體驅動電子(IDE)協定、專用協定等。
The
記憶體介面1140與半導體記憶體裝置100連接。例如,記憶體介面包括反及介面或反或介面。
The
錯誤校正區塊1150使用錯誤校正碼(ECC)來檢測並校正從半導體存儲裝置100接收到的資料中的錯誤。處理電路1120可以根據來自錯誤校正區塊1150的錯誤檢測結果來調整讀取電壓,並且控制半導體記憶體裝置100以執行重新讀取。在示例性實施方式中,錯誤校正區塊可以被提供為控制器1100的元件。
The
可以將控制器1100和半導體記憶體裝置100集成到單個半導體裝置中。在示例性實施方式中,可以將控制器1100和半導體記憶體裝置100集成到單個半導體裝置中以形成存儲卡。例如,控制器1100和半導體記憶體裝置100可以被集成到單個半導體裝置中,並且形成諸如個人電腦記憶卡國際協會(PCMCIA)、小型快閃卡(CF)、智能媒體卡(SM或SMC)、記憶棒多媒體卡(MMC、RS-MMC或MMCmicro)、SD卡(SD、mimiSD、microSD或SDHC)、通用快閃存儲裝置(UFS)等這樣的記憶體卡。
The
可以將控制器1100和半導體記憶體裝置100集成到單個半導體裝置中,以形成固態驅動器(SSD)。SSD包括被形成以將資料存儲到半導體記憶體中的存儲裝置。當記憶體系統1000被用作SSD時,可以顯著地改進耦合至記憶體系統2000的主機Host的操作速度。
The
在另一實施方式中,記憶體系統1000可以被提供為諸如以下這樣的電子裝置的各種元件中的一種:電腦、超移動PC(UMPC)、工作站、上網本、個人數位助手(PDA)、可攜式電腦、網路平板電腦、無線電話、行動電話、智慧型手機、電子書、可攜式多媒體播放機(PMP)、遊戲控制台、導航裝置、黑盒、數位相機、3維電視、數位音訊記錄器、數位音訊播放機、數位圖片記錄器、數位圖片播放機、數位視訊記錄器、數位視訊播放機、能夠在無線環境中發送/接收資訊的裝置、用於形成家用網路的各種裝置中的一種、用於形成電腦網路的各種電子裝置中的一種、用於形成遠端資訊處理網路的各種電子裝置中的一種、RFID裝置、用於形成計算系統的各種元件中的一種等。
In another embodiment, the
在示例性實施方式中,可以將半導體記憶體裝置100或記憶
體系統1000嵌入在各種類型的封裝中。例如,可以按照諸如以下的項這樣的類型對半導體記憶體裝置100或記憶體系統2000進行封裝:層疊封裝(PoP)、球柵陣列(BGA)、晶片級封裝(CSP)、塑膠引線晶片載體(PLCC)、塑膠雙列直插封裝(PDIP)、Waffle組件的管芯、晶片形式的管芯、板上晶片(COB)、陶瓷雙列直插封裝(CERDIP)、塑膠度量四方扁平封裝(MQFP)、薄型四方扁平封裝(TQFP)、小外形封裝(SOIC)、縮小外形封裝(SSOP)、薄型小外形封裝(TSOP)、薄型四方扁平封裝(TQFP)、系統級封裝(SIP)、多晶片封裝(MCP)、晶片級製造封裝(WFP)、晶片級加工堆疊封裝(WSP)等。
In an exemplary embodiment, the
圖13是例示了圖12的記憶體系統的應用示例的圖。 FIG. 13 is a diagram illustrating an application example of the memory system of FIG. 12.
參照圖13,記憶體系統2000可以包括半導體記憶體裝置2100和控制器2200。半導體記憶體裝置2100可以包括多個記憶體晶片。可以將半導體記憶體晶片劃分成多個組。
13, the
在圖13中,例示了多個組中的每一個通過第一通道CH1至第k通道CHk與控制器2200進行通信。每個半導體記憶體晶片可以具有與參照圖1、圖4、圖6或圖9所描述的半導體記憶體裝置100、200、300和400中的任一個的配置相同的配置。
In FIG. 13, each of the plurality of groups is illustrated to communicate with the
每個組可以通過一個共同通道與控制器2200進行通信。控制器2200可以具有與參照圖12所描述的控制器1100的配置相同的配置,並且可以通過多個通道CH1至CHk來控制半導體記憶體裝置2100的多個記憶體晶片。
Each group can communicate with the
圖14是例示了包括參照圖13所例示的記憶體系統的計算系 統的圖。 14 is a diagram illustrating a computing system including the memory system illustrated with reference to FIG. 13 Traditional diagram.
參照圖14,計算系統3000可以包括中央處理電路3100、RAM 3200、使用者介面3300、電源3400、系統匯流排3500和記憶體系統2000。
Referring to FIG. 14, the
記憶體系統2000可以通過系統匯流排3500電耦合至CPU 3100、RAM 3200、使用者介面3300和電源3400。通過使用者介面3300提供的資料或者由CPU 3100處理的資料可以被存儲在記憶體系統2000中。
The
在圖14中,半導體記憶體裝置2100被例示為通過控制器2200耦合至系統匯流排3500。然而,半導體記憶體裝置2100可以直接耦合至系統匯流排3500。控制器2200的功能可以由CPU 3100和RAM 3200來執行。
In FIG. 14, the
在圖14中,例示了參照圖13所描述的記憶體系統2000被使用。然而,記憶體系統2000可以用參照圖12所描述的記憶體系統1000替換。在實施方式中,計算系統3000可以包括參照圖12和圖13所描述的所有記憶體系統1000和2000。
In FIG. 14, it is illustrated that the
雖然已經出於例示性目的公開了本公開的示例性的實施方式,但是本領域技術人員將領會的是,各種修改、添加和替換是可能的。因此,本公開的範圍必須由所附的申請專利範圍及申請專利範圍的等同物來限定,而不是由在它們之前的說明書來限定。 Although exemplary embodiments of the present disclosure have been disclosed for illustrative purposes, those skilled in the art will appreciate that various modifications, additions, and substitutions are possible. Therefore, the scope of the present disclosure must be defined by the appended patent application scope and equivalents of the patent application scope, and not by the specification preceding them.
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Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102434922B1 (en) * | 2018-03-05 | 2022-08-23 | 에스케이하이닉스 주식회사 | Semiconductor memory device and operating method thereof |
| US10522226B2 (en) | 2018-05-01 | 2019-12-31 | Silicon Storage Technology, Inc. | Method and apparatus for high voltage generation for analog neural memory in deep learning artificial neural network |
| KR102480012B1 (en) * | 2018-06-12 | 2022-12-21 | 삼성전자 주식회사 | Memory device for compensating current of off cells and operating method thereof |
| CN110880350B (en) * | 2018-09-06 | 2021-08-13 | 亿而得微电子股份有限公司 | Operation method of low current electronically erasable rewritable read only memory array |
| KR102759177B1 (en) * | 2019-01-02 | 2025-01-24 | 에스케이하이닉스 주식회사 | Memory device and operating method thereof |
| US11880582B2 (en) | 2019-01-02 | 2024-01-23 | SK Hynix Inc. | Memory device having improved program and erase operations and operating method of the memory device |
| JP2020144961A (en) * | 2019-03-07 | 2020-09-10 | キオクシア株式会社 | Semiconductor storage device |
| KR102895410B1 (en) | 2020-06-23 | 2025-12-04 | 에스케이하이닉스 주식회사 | Memory device and operating method thereof |
| KR102818434B1 (en) | 2020-10-08 | 2025-06-10 | 삼성전자주식회사 | Nonvolatile memory device and method of programming in the same |
| KR102829358B1 (en) * | 2020-12-16 | 2025-07-04 | 에스케이하이닉스 주식회사 | Semiconductor memory device and operating method thereof |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20020159315A1 (en) * | 2001-03-29 | 2002-10-31 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor memory |
| US20060203550A1 (en) * | 2005-03-10 | 2006-09-14 | Hynix Semiconductor Inc. | Flash Memory Device with Improved Erase Function and Method for Controlling Erase Operation of the Same |
| US20090021983A1 (en) * | 2004-12-29 | 2009-01-22 | Sandisk Corporation | Word Line Compensation In Non-Volatile Memory Erase Operations |
| US20120140586A1 (en) * | 2010-12-06 | 2012-06-07 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Nonvolatile memory device having stacked transistor configuration |
| US20120224426A1 (en) * | 2011-03-03 | 2012-09-06 | Sang-Wan Nam | Nonvolatile memory device and read method thereof |
| US20150340096A1 (en) * | 2014-05-26 | 2015-11-26 | SK Hynix Inc. | Semiconductor device, semiconductor system having the same and operating method thereof |
Family Cites Families (39)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5245570A (en) * | 1990-12-21 | 1993-09-14 | Intel Corporation | Floating gate non-volatile memory blocks and select transistors |
| KR0145224B1 (en) * | 1995-05-27 | 1998-08-17 | 김광호 | Word Line Driver Circuit with Separate Write and Read Paths of Nonvolatile Semiconductor Memory |
| US5801991A (en) * | 1997-03-31 | 1998-09-01 | Intel Corporation | Deselected word line that floats during MLC programming of a flash memory |
| US5886923A (en) * | 1997-10-27 | 1999-03-23 | Integrated Silicon Solution Inc. | Local row decoder for sector-erase fowler-nordheim tunneling based flash memory |
| US6459645B2 (en) * | 1999-09-30 | 2002-10-01 | Intel Corporation | VPX bank architecture |
| KR100381962B1 (en) * | 2000-08-07 | 2003-05-01 | 삼성전자주식회사 | Row decoder of nonvolatile memory device |
| DE10112281B4 (en) * | 2001-03-14 | 2006-06-29 | Infineon Technologies Ag | Sense amplifier arrangements for a semiconductor memory device |
| KR100432884B1 (en) * | 2001-08-28 | 2004-05-22 | 삼성전자주식회사 | Non-volatile semiconductor memory device with shared row selecting circuit |
| JP3884448B2 (en) * | 2004-05-17 | 2007-02-21 | 株式会社東芝 | Semiconductor memory device |
| US20050203550A1 (en) * | 2004-03-11 | 2005-09-15 | Laufer Michael D. | Surgical fastener |
| KR100559716B1 (en) * | 2004-04-01 | 2006-03-10 | 주식회사 하이닉스반도체 | NAND flash memory device and reading method thereof |
| KR100559714B1 (en) * | 2004-04-19 | 2006-03-10 | 주식회사 하이닉스반도체 | NAND flash memory device and its programming method |
| KR100705221B1 (en) * | 2004-09-03 | 2007-04-06 | 에스티마이크로일렉트로닉스 엔.브이. | Flash memory device and method of erasing flash memory cell using same |
| KR100687424B1 (en) * | 2005-08-29 | 2007-02-26 | 주식회사 하이닉스반도체 | Nonvolatile memory device |
| KR100842996B1 (en) * | 2006-02-06 | 2008-07-01 | 주식회사 하이닉스반도체 | A word line voltage generator for generating a word line voltage selectively changed according to temperature, a flash memory device including the same, and a method of generating the word line voltage |
| KR100685638B1 (en) * | 2006-03-31 | 2007-02-22 | 주식회사 하이닉스반도체 | Dual plane type flash memory device having random program function and program operation method |
| KR100746292B1 (en) * | 2006-07-04 | 2007-08-03 | 삼성전자주식회사 | Nonvolatile memory device |
| KR100854914B1 (en) * | 2007-04-06 | 2008-08-27 | 주식회사 하이닉스반도체 | Flash memory device and operation method thereof |
| KR100909627B1 (en) * | 2007-10-10 | 2009-07-27 | 주식회사 하이닉스반도체 | Flash memory devices |
| KR101519061B1 (en) * | 2008-01-21 | 2015-05-11 | 삼성전자주식회사 | Flash memory device having row decoder sharing single high voltage level shift |
| US8125829B2 (en) * | 2008-05-02 | 2012-02-28 | Micron Technology, Inc. | Biasing system and method |
| KR100967000B1 (en) * | 2008-05-20 | 2010-06-30 | 주식회사 하이닉스반도체 | How to Program Nonvolatile Memory Devices |
| WO2009154799A1 (en) * | 2008-06-20 | 2009-12-23 | Aplus Flash Technology, Inc. | An apparatus and method for inhibiting excess leakage current in unselected nonvolatile memory cells in an array |
| IT1391466B1 (en) * | 2008-07-09 | 2011-12-23 | Micron Technology Inc | DETECTION OF A MEMORY CELL THROUGH NEGATIVE VOLTAGE |
| KR101591940B1 (en) * | 2009-04-23 | 2016-02-05 | 삼성전자주식회사 | Nonvolatile memory device |
| KR101155279B1 (en) * | 2009-09-01 | 2012-06-18 | 에스케이하이닉스 주식회사 | Semiconductor memory device |
| KR101060899B1 (en) * | 2009-12-23 | 2011-08-30 | 주식회사 하이닉스반도체 | Semiconductor memory device and operation method thereof |
| KR101636015B1 (en) * | 2010-02-11 | 2016-07-05 | 삼성전자주식회사 | Non-volatile data storage device, programming method thereof and memory system including the same |
| KR101083680B1 (en) * | 2010-05-31 | 2011-11-16 | 주식회사 하이닉스반도체 | Semiconductor integrated circuit device can reduce area |
| KR101089967B1 (en) * | 2010-07-09 | 2011-12-05 | 주식회사 하이닉스반도체 | Nonvolatile Memory Device and Its Operation Method |
| KR20120119322A (en) * | 2011-04-21 | 2012-10-31 | 에스케이하이닉스 주식회사 | Semiconductor memory device |
| KR101184539B1 (en) * | 2011-06-28 | 2012-09-19 | 에스케이하이닉스 주식회사 | Semiconductor memory device and method of operating thereof |
| KR20130022228A (en) * | 2011-08-25 | 2013-03-06 | 에스케이하이닉스 주식회사 | Semiconductor memory device and operating method thereof |
| KR20130031483A (en) | 2011-09-21 | 2013-03-29 | 에스케이하이닉스 주식회사 | Non-volatile memory device |
| KR102053282B1 (en) * | 2012-08-08 | 2019-12-06 | 에스케이하이닉스 주식회사 | Address decoder, semiconductor memory device including the same and operating method thereof |
| US8958244B2 (en) * | 2012-10-16 | 2015-02-17 | Conversant Intellectual Property Management Inc. | Split block decoder for a nonvolatile memory device |
| US9007834B2 (en) * | 2013-01-10 | 2015-04-14 | Conversant Intellectual Property Management Inc. | Nonvolatile memory with split substrate select gates and hierarchical bitline configuration |
| KR102293136B1 (en) * | 2014-10-22 | 2021-08-26 | 삼성전자주식회사 | Nonvolatile memory device, storage device having the same, operating method thereof |
| KR102396422B1 (en) * | 2015-02-11 | 2022-05-11 | 삼성전자주식회사 | Nonvolatile memory and storage device including nonvolatile memory |
-
2016
- 2016-01-19 KR KR1020160006584A patent/KR102424371B1/en active Active
- 2016-06-17 TW TW105119105A patent/TWI685849B/en active
- 2016-06-21 US US15/188,135 patent/US9842653B2/en active Active
- 2016-07-13 CN CN201610548541.7A patent/CN106981310B/en active Active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20020159315A1 (en) * | 2001-03-29 | 2002-10-31 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor memory |
| US20090021983A1 (en) * | 2004-12-29 | 2009-01-22 | Sandisk Corporation | Word Line Compensation In Non-Volatile Memory Erase Operations |
| US20060203550A1 (en) * | 2005-03-10 | 2006-09-14 | Hynix Semiconductor Inc. | Flash Memory Device with Improved Erase Function and Method for Controlling Erase Operation of the Same |
| US20120140586A1 (en) * | 2010-12-06 | 2012-06-07 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Nonvolatile memory device having stacked transistor configuration |
| US20120224426A1 (en) * | 2011-03-03 | 2012-09-06 | Sang-Wan Nam | Nonvolatile memory device and read method thereof |
| US20150340096A1 (en) * | 2014-05-26 | 2015-11-26 | SK Hynix Inc. | Semiconductor device, semiconductor system having the same and operating method thereof |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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