TWI673565B - 側蓋式盒體掀蓋設備以及側蓋式盒體掀蓋方法 - Google Patents

Abstract

本發明涉及一種側蓋式盒體掀蓋設備以及側蓋式盒體掀蓋方法，用以開啟一盒體，上述盒體包含一側邊開口及一選擇性啟閉側邊開口之側蓋，而該側蓋式盒體掀蓋設備包含有一機座、一導引定位裝置、一壓掣限位裝置及一掀蓋裝置，藉此，利用導引定位裝置來將盒體定位於掀蓋位置，並進一步透過該壓掣限位裝置固定該盒體，之後利用該掀蓋裝置來掀開該盒體之側蓋，讓該側蓋式盒體也能進行自動化掀蓋與閉合，以提高設備的自動化程度，減少人工作業的失誤，同時能因自動化操作，而減少人工作業的污染，確保製程空間的潔淨度，故可大幅增進其實用性。

Description

側蓋式盒體掀蓋設備以及側蓋式盒體掀蓋方法

本發明係隸屬一種盒體之掀蓋技術，具體而言係一種側蓋式盒體掀蓋設備以及側蓋式盒體掀蓋方法，藉以能自動化進行側蓋之開啟動作，以減少人工作業失誤，可提高作業效率。

按，半導體製程中積體電路的線徑越來越細，目前已發展至10奈米以下，因此製程中的任何污染物都可能直接影響到相對製程或產品的良率。但整個半導體製程中，不論是製作、移轉、儲存或運輸的過程中，均存在有不少的微粒、水氣、氣體、化學溶劑分子等有害物質，這些有害物質會附著於晶圓、光罩或各式製程設備與裝置的表面，其會造成晶圓良率降低的現象，且增加清理與改善的時間，造成生產量降低，相對上也會提高營運的成本。因此，為了解決這個問題，而在半導體製程中，運用自動化物料搬運系統【Automated Material Handling System，AMHS】，與隔離進出料標準機械介面【Standard Mechanical Interface，SMIF】設備，來進行晶圓/光罩於不使用期間的維護與運送，不但能取代傳統人工搬運、降低無塵室設備之建置與維護成本，還能提升光罩的潔淨度，達到超高生產良率，故近年來，AMHS與SMIF已被列為是國際間半導體廠的標準設備規範。

在半導體製程中，用于晶圓(Wafer)表面形成積 體電路的所使用的光罩(Mask)是微影製程中不可或缺的元件之一，該光罩係由透光之基板所構成，當基板表面有污染物時，可能使該污染物的影像成像於晶圓上，也可能造成微影曝光圖形時失真的現象，影響製程生產效率及增加成本。

根據上述技術概念，該光罩除了在曝光使用時，光罩在運送過程或保存期間，都必須將晶圓或光罩放置在一個高潔淨度的載具內，如自動化用的光罩傳輸盒、出貨或儲存用的光罩傳送盒或的光罩放置盒等。其中主要用於一般儲存與運送的光罩放置盒包含一種側蓋式盒體，如第一圖所示，該盒體(100)側邊具有一開口(101)，供前述光罩於收納時進出盒體(100)，又該盒體(100)於開口(101)上緣樞設有一常閉式之側蓋(102)，且側蓋(102)兩側分別具有凸出盒體(100)相鄰側邊之撥部(103)，供方便掀轉該側蓋(102)於相對盒體(100)開口(101)之一開啟位置及一閉合位置間位移，同時盒體(100)相鄰開口(101)的兩側側邊分別具有一相對的把手凸條(105)，供作業人員移動盒體(100)時握持；由於上述光罩放置盒的盒體(100)開口(101)位於側邊，並無有效固定及夾持的位置，且側蓋(102)掀開時更需以手指來撥動，因此其通常係以人工操作方式來進行，難以用於自動化設備中，例如光罩檢測設備、光罩清洗設備或光罩儲存設備等，影響到應用該側蓋式盒體(100)之半導體設備的自動化程度，造成效率無法被有效提升，故開發一種可以自動化進行側蓋式盒體之掀蓋的設備，相信係業界的重要課題。

有鑑於此，本發明即基於上述半導體設備自動化的 需求深入探討，並藉由本發明人多年從事相關開發的經驗積極尋求解決之道，經不斷努力之研究與發展，終於成功的創作出一種側蓋式盒體掀蓋設備以及側蓋式盒體掀蓋方法，其能有效解決現有者無法進行自動化掀蓋所造成的不便與困擾。

因此，本發明之主要目的係在提供一種側蓋式盒體掀蓋設備以及側蓋式盒體掀蓋方法，藉以能以自動化方式進行側蓋式盒體的掀蓋，以提高設備的自動化程度，減少人工作業的失誤，以提高製程效率。

又，本發明之次一主要目的在於提供一種側蓋式盒體掀蓋設備以及側蓋式盒體掀蓋方法，其能因自動化操作，而減少人工作業的污染，確保製程空間的潔淨度，從而提升製程良率。

再者，本發明之次一主要目的在於提供一種側蓋式盒體掀蓋設備以及側蓋式盒體掀蓋方法，其能透過自動化操作，減少人工作業的失誤，且進一步提升作業效率。

為此，本發明主要係透過下列的技術手段，來具體實現上述的各項目的與效能，用以開啟一盒體，上述盒體包含一側邊開口及一選擇性啟閉側邊開口之側蓋，且側蓋兩側分別具有凸出盒體相鄰側邊之撥部，又該盒體相鄰側邊開口的兩側側邊分別具有一相對的把手凸條，而該側蓋式盒體掀蓋設備包含有：一機座；一導引定位裝置，其係設置於機座上，該導引定位裝置包含有一導軌槽及一定位部，供上述盒體可利用兩側把手凸條於導軌槽中移動至一掀蓋位置，而該定位部可供盒體限位於該 掀蓋位置；一壓掣限位裝置，其係設置於機座上、且異於盒體之側蓋一端，該壓掣限位裝置具有一驅動元件及一推壓元件，其中驅動元件可作動該推壓元件選擇性由異於前述定位部一側壓抵該盒體，供盒體固定於該掀蓋位置；一掀蓋裝置，其係設置於機座上、且對應盒體之側蓋一端，該掀蓋裝置具有一驅動元件及一撥桿元件，其中驅動元件可作動該撥桿元件於一離開位置、一閉合位置及一開啟位置間移動，供帶動盒體側蓋於閉合位置及開啟位置間位移。

藉此，透過前述技術手段的具體實現，使本發明利用導引定位裝置來將盒體定位於掀蓋位置，並進一步透過該壓掣限位裝置固定該盒體，之後利用該掀蓋裝置來掀開該盒體之側蓋，讓該側蓋式盒體也能進行自動化掀蓋與閉合，以提高設備的自動化程度，減少人工作業的失誤，同時能因自動化操作，而減少人工作業的污染，確保製程空間的潔淨度，故可大幅增進其實用性，而能增加其附加價值，並能提高其經濟效益。

為使 貴審查委員能進一步了解本發明的構成、特徵及其他目的，以下乃舉本發明之若干較佳實施例，並配合圖式詳細說明如后，供讓熟悉該項技術領域者能夠具體實施。

(100)‧‧‧盒體

(101)‧‧‧側邊開口

(102)‧‧‧側蓋

(103)‧‧‧撥部

(105)‧‧‧把手凸條

(106)‧‧‧前端面

(107)‧‧‧後端面

(108)‧‧‧階級端面

(10)‧‧‧機座

(20)‧‧‧導引定位裝置

(21)‧‧‧導軌槽

(210)‧‧‧斜導緣

(22)‧‧‧側板

(23)‧‧‧定位部

(231)‧‧‧定位凸部

(24)‧‧‧第一位置感測元件

(30)‧‧‧壓掣限位裝置

(31)‧‧‧驅動元件

(32)‧‧‧推壓元件

(33)‧‧‧安裝座

(34)‧‧‧感應件

(35)‧‧‧第二位置感測元件

(36)‧‧‧第三位置感測元件

(40)‧‧‧掀蓋裝置

(41)‧‧‧驅動元件

(42)‧‧‧撥桿元件

(420)‧‧‧凸部

(43)‧‧‧安裝座

(44)‧‧‧感應件

(45)‧‧‧第四位置感測元件

(46)‧‧‧第五位置感測元件

(47)‧‧‧第六位置感測元件

第一圖：係一種應用於放置光罩之側蓋式盒體的外觀示意圖。

第二圖：係本發明側蓋式盒體掀蓋設備的立體外觀示意圖。

第三圖：係本發明側蓋式盒體掀蓋設備的局部立體分解示意圖，供說明各組件的相對關係。

第四圖：係本發明側蓋式盒體掀蓋方法的流程圖。

第五圖：係本發明側蓋式盒體掀蓋設備於實際使用時的立體外觀示意圖，供說明盒體置入定位之動作態樣。

第六圖：係本發明側蓋式盒體掀蓋設備於實際使用時的俯視平面示意圖，供說明盒體壓掣限位之動作態樣。

第七圖：係本發明側蓋式盒體掀蓋設備於實際使用時的立體外觀示意圖，供說明盒體掀蓋前之動作態樣。

第八圖：係本發明側蓋式盒體掀蓋設備於實際使用時的立體外觀示意圖，供說明盒體掀蓋之動作態樣。

本發明係一種側蓋式盒體掀蓋設備以及側蓋式盒體掀蓋方法，隨附圖例示本發明之具體實施例及其構件中，所有關於前與後、左與右、頂部與底部、上部與下部、以及水平與垂直的參考，僅用於方便進行描述，並非限制本發明，亦非將其構件限制於任何位置或空間方向。圖式與說明書中所指定的尺寸，當可在不離開本發明之申請專利範圍內，根據本發明之具體實施例的設計與需求而進行變化。

而本發明係一種供側蓋式盒體掀蓋設備以及側蓋式盒體掀蓋方法，用以選擇性開啟如第一圖所示之盒體(100)，上述盒體(100)包含一側邊開口(101)及一樞設於側邊開口(101)上緣之側蓋(102)，該側蓋(102)可相對側邊開口(101)於一開啟位置及一閉合位置間位移，且側蓋(102)兩側分別具有凸 出盒體(100)相鄰側邊之撥部(103)，供方便掀轉該側蓋(102)選擇性啟閉盒體(100)的側邊開口(101)，同時盒體(100)相鄰開口(101)的兩側側邊分別具有一相對的把手凸條(105)，又各該把手凸條(105)分別具有一前端面(106)、一後端面(107)，且各該把手凸條(105)於前、後端面(106、107)間形成有一階級端面(108)。另第二圖所顯示者係該側蓋式盒體掀蓋設備包含有一機座(10)、一導引定位裝置(20)、一壓掣限位裝置(30)及一掀蓋裝置(40)所組成。在某些實施例上，該側蓋式盒體掀蓋設備進一步包含有一移動盒體(100)之進料傳送裝置，如半導體設備之機械手臂，供夾持及位移該盒體(100)載入該側蓋式盒體掀蓋設備內；其中機座(10)用以供前述導引定位裝置(20)、壓掣限位裝置(30)及掀蓋裝置(40)安裝設置，且該機座(10)可以是半導體設備的一部份，該半導體設備可以是如用於檢測光罩表面污染物之光學檢查設備【Automatic Optical Inspection System，AOI】、光罩清洗設備、光罩儲存設備或微影設備內，供直接取出收納於盒體(100)內的基板，進行該基板如光罩之污染物檢測、清洗或儲存轉換；又如第二、三圖所示，所述之導引定位裝置(20)係設置於機座(10)上，其包含有一導軌槽(21)及一定位部(23)，使該導引定位裝置(20)可導引盒體(100)利用兩側把手凸條(105)移動至一掀蓋位置定位，在某些實施例中，該兩導軌槽(21)可分別形成在設於機座(10)的兩平行側板(22)之相對內側表面。在某些實施例中，該兩導軌槽(21)開口處形成向外 擴大之斜導緣(210)，供便於盒體(100)兩側之把手凸條(105)導入，且該導引定位裝置(20)之定位部(23)在某些實施例中，其可以是形成於兩導軌槽(21)中段之限位凸部(231)，供該盒體(100)把手凸條(105)之階級端面(108)貼抵限位，另該導引定位裝置(20)進一步具有一供檢知盒體(100)是否就掀蓋位置之第一位置感測元件(24)，在某些實施例中，該第一位置感測元件(24)可以是一設於導軌槽(21)端部之觸動開關、近接開關或光電開關，本發明之第一位置感測元件(24)係以觸動開關為主要實施例，供盒體(100)把手凸條(105)之階級端面(108)受定位部(23)限位時，該把手凸條(105)之前端面(106)可碰觸該第一位置感測元件(24)動作，以確認盒體(100)可就掀蓋位置；另所述之壓掣限位裝置(30)係設置於機座(10)上，供盒體(100)往前受前述導引定位裝置(20)固定位置後選擇性由後方壓抵限制，在某些實施例中，該壓掣限位裝置(30)具有一驅動元件(31)及一推壓元件(32)所組成，其中該驅動元件(31)可設於一置於機座(10)之安裝座(33)內，該驅動元件(31)可作動該推壓元件(32)，使推壓元件(32)可於一壓抵位置及一釋放位置間移動，該推壓元件(32)的移動可以是沿Z軸之α旋轉位移或沿X軸之θ旋轉位移，供推壓元件(32)選擇性推壓盒體(100)把手凸條(105)之後端面(107)，供配合前述導引定位裝置(20)之定位部(23)前後固定盒體(100)於掀蓋位置，或釋放盒體(100)使其可進出導引定位裝置(20)，而本發明係令驅動元件(31)作動推壓元件(32)沿Z軸之α旋 轉位移為主要實施例，又在某些實施例中，該推壓元件(32)上具有一同步位移之感應件(34)，且該壓掣限位裝置(30)於機座(10)或安裝座(33)上分設有一第二位置感應元件(35)及一第三位置感應元件(36)，其中第二位置感測元件(35)可供檢知該推壓元件(32)位於釋放位置【如第五圖所示】、而第三位置感測元件(36)可供檢知該推壓元件(32)位於壓抵位置【如第六、七圖所示】，而該第二、三位置感測元件(35、36)可以是選自觸動開關、近接開關或光電開關，本發明之第二、三位置感測元件(35、36)係以光電開關為主要實施例；再者，所述之掀蓋裝置(40)係設置於機座(10)上，供選擇性作動該盒體(100)側邊開口(101)之側蓋(102)於一離開位置、一閉合位置及一開啟位置間位移，在某些實施例中，該掀蓋裝置(40)具有一驅動元件(41)及一撥桿元件(42)所組成，其中該驅動元件(41)可設於一置於機座(10)之安裝座(43)內，該驅動元件(41)可作動該撥桿元件(42)於離開位置、閉合位置及開啟位置間移動，在某些實施例中，該撥桿元件(42)具有一可選擇性貼靠盒體(100)側蓋(102)之撥部(103)的凸部(420)，又該撥桿元件(42)的移動可以是與側蓋(102)同軸旋轉之轉動，如沿X軸之θ旋轉位移，供作動該盒體(100)的側蓋(102)相對側邊開口(101)於離開位置、閉合位置與開啟位置間位移，又在某些實施例中，該撥桿元件(42)上具有一同步位移之感應件(44)，且該掀蓋裝置(40)於機座(10)或安裝座(43)上分設有一第四位置感應元件(45)、一第五位置感測元件(46)及一第六位置感應元件(47)，其中第四位置感 測元件(45)可供檢知該撥桿元件(42)離開位置【如第五圖所示】，以避免影響盒體(100)進出，又該第五位置感測元件(46)可供檢知該撥桿元件(42)位於側蓋(102)之閉合位置【如第七圖所示】，供預備掀動側蓋(102)之狀態，至於第六位置感測元件(47)可供檢知該撥桿元件(42)位於側蓋(102)之開啟位置【如第八圖所示】，供確認盒體(100)側邊開口(101)呈開啟狀，而該第四、五及六位置感測元件(45、46、47)可以是選自觸動開關、近接開關或光電開關，本發明之第四、五及六位置感測元件(45、46、47)係以光電開關為主要實施例；藉此，組構成一可自動化掀蓋之側蓋式盒體掀蓋設備者。

又第四圖所示為根據一些實施例之側蓋式盒體掀蓋方法的流程圖。而如第五、六、七及八圖所示是根據一些實施例之側蓋式盒體掀蓋方法中的側蓋式盒體掀蓋設備的動作示意圖。本發明的側蓋式盒體掀蓋設備可設於不同的半導體設備中，例如光罩檢查設備、光罩清洗設備或光罩儲存設備，當有開啟該盒體(100)之側邊開口(101)的側蓋(102)取出內部收納之基板如光罩進行檢查、清洗或儲存的需求時。該側蓋式盒體掀蓋方法的流程步驟包含：在步驟S101中，放置一盒體於一復位後之側蓋式盒體掀蓋設備上：利用一半導體設備內之一移動裝置【如夾持盒體之機械手臂】夾持該盒體(100)，供預備將上述盒體(100)置於一側蓋式盒體掀蓋設備上，且根據某些實施例，該側蓋式盒體掀蓋設備作動一壓掣限位裝置(30)之一推壓元件(32)於一 釋放位置及一掀蓋裝置(40)之一撥桿元件(42)於一離開位置，讓盒體(100)可以順利進出該側蓋式盒體掀蓋設備；在步驟S102中，利用一導引定位裝置移動上述盒體至一掀蓋位置：上述移動裝置將盒體(100)置入一導引定位裝置(20)內，如第五圖所示，使該盒體(100)可利用兩側把手凸條(105)沿該導引定位裝置(20)之導軌槽(21)移動至一掀蓋位置，且上述盒體(100)可相對導引定位裝置(20)之定位部(23)產生定位效果，如利用盒體(100)兩把手凸條(105)之階級端面(108)相對貼抵於導軌槽(21)之定位凸部(231)，而根據某些實施例，該導引定位裝置(20)可利用第一位置感測元件(24)檢知盒體(100)之把手凸條(105)前端面(106)，以確認該盒體(100)是否正確位於掀蓋位置；步驟S103中，產生一壓抵力道使上述盒體固定於掀蓋位置：如第六圖所示根據一些實施例，驅動上述側蓋式盒體掀蓋設備之一壓掣限位裝置(30)的驅動元件(31)作動一推壓元件(32)緊壓該盒體(100)的把手凸條(105)的後端面(107)，使盒體(100)被導引定位裝置(20)之定位部(23)及壓掣限位裝置(30)之推壓元件(32)固定在掀蓋位置。而根據某些實施例，該壓掣限位裝置(30)可以利用其第三位置感測元件(36)檢知該推壓元件(32)的感應件(34)，以確認盒體(100)被確實固定在掀蓋位置上；步驟S104中，作動一掀蓋裝置掀開上述盒體之側蓋：上述盒體(100)固定於掀蓋位置後，如第七、八圖所示，根據某些實施例，上述的掀蓋裝置(40)可透過驅動元件(41) 作動撥桿元件(42)轉動至相對盒體(100)側蓋(102)的一閉合位置，使該撥桿元件(42)的凸部(420)貼抵該側蓋(102)的撥部(103)【如第七圖所示】，接著進一步作動撥桿元件(42)轉動至開啟位置，使該撥桿元件(42)可帶動側蓋(102)相對盒體(100)側邊開口(101)掀開呈開啟狀【如第八圖所示】，而根據某些實施例，該掀蓋裝置(40)可以利用其第五、六位置感測元件(46、47)檢知該撥桿元件(42)的感應件(44)，以確認盒體(100)之側蓋(102)分別位於閉合位置及開啟位置，供該半導體設備自動化將基板置入盒體(100)內部或將基板由盒體(100)內部取出；在完成盒體(100)之側蓋(102)的掀蓋，且取出或置入基板作業後，可以根據需要增加下列的流程步驟；諸如：步驟S105中，驅動上述掀蓋裝置釋放上述盒體之側蓋：完成基板的置入或取出後，可透過上述掀蓋裝置(40)之驅動元件(31)反向轉動該撥桿元件(42)至閉合位置，使該盒體(100)之側蓋(102)可隨同撥桿元件(42)向下移動而關閉該盒體(100)之側邊開口(101)，且該掀蓋裝置(40)之驅動元件(41)進一步作動該撥桿元件(42)反轉至離開位置，使其在盒體(100)退出時不干涉側蓋(102)，而根據某些實施例，該掀蓋裝置(40)可以利用其第五、四位置感測元件(46、45)檢知該撥桿元件(42)的感應件(44)，以確認盒體(100)之側蓋(102)分別位於閉合位置及離開位置；步驟S106中，移動上述壓掣限位裝置釋放上述盒體：在掀蓋裝置(40)釋放盒體(100)之側蓋(102)後，可以 驅動上述壓掣限位裝置(30)的驅動元件(31)反向作動推壓元件(32)脫離該盒體(100)的把手凸條(105)的後端面(107)，使盒體(100)被固定在掀蓋位置之力道獲得釋放。而根據某些實施例，該壓掣限位裝置(30)可以利用其第二位置感測元件(35)檢知該推壓元件(32)的感應件(34)，以確認盒體(100)被確實釋放，且該推壓元件(32)位於不干涉盒體(100)退出的路徑上；步驟S107中，將上述盒體移出上述側蓋式盒體掀蓋設備：利用該半導體設備內之移動裝置夾持該盒體(100)，將上述盒體(100)移出該導引定位裝置(20)之導軌槽(21)，使盒體(100)可利用兩把手凸條(105)退出導軌槽(21)，即可將該盒體(100)移出該側蓋式盒體掀蓋設備。

經由上述的說明，本發明側蓋式盒體掀蓋設備利用導引定位裝置(20)來將盒體(100)定位於掀蓋位置，並進一步透過該壓掣限位裝置(30)固定該盒體(100)，之後利用該掀蓋裝置(40)來掀開該盒體(100)之側蓋(102)，讓該側蓋式盒體(100)也能進行自動化掀蓋與閉合，以提高設備的自動化程度，減少人工作業的失誤，同時能因自動化操作，而減少人工作業的污染，確保製程空間的潔淨度，故可大幅增進其實用性。

綜上所述，可以理解到本發明為一創意極佳之發明創作，除了有效解決習式者所面臨的問題，更大幅增進功效，且在相同的技術領域中未見相同或近似的產品創作或公開使用，同時具有功效的增進，故本發明已符合發明專利有關「新穎性」與「進步性」的要件，乃依法提出發明專利之申請。

Claims (10)

1. 一種側蓋式盒體掀蓋設備，用以開啟一盒體，上述盒體包含一側邊開口及一選擇性啟閉側邊開口之側蓋，且側蓋兩側分別具有凸出盒體相鄰側邊之撥部，又該盒體相鄰側邊開口的兩側側邊分別具有一相對的把手凸條，而該側蓋式盒體掀蓋設備包含有：一機座；一導引定位裝置，其係設置於機座上，該導引定位裝置包含有一導軌槽及一定位部，供上述盒體可利用兩側把手凸條於導軌槽中移動至一掀蓋位置，而該定位部可供盒體限位於該掀蓋位置；一壓掣限位裝置，其係設置於機座上、且異於盒體之側蓋一端，該壓掣限位裝置具有一驅動元件及一推壓元件，其中驅動元件可作動該推壓元件選擇性由異於前述定位部一側壓抵該盒體，供盒體固定於該掀蓋位置；一掀蓋裝置，其係設置於機座上、且對應盒體之側蓋一端，該掀蓋裝置具有一驅動元件及一撥桿元件，其中驅動元件可作動該撥桿元件於一離開位置、一閉合位置及一開啟位置間移動，供帶動盒體側蓋於閉合位置及開啟位置間位移。
2. 如申請專利範圍第1項所述之側蓋式盒體掀蓋設備，其中該導引定位裝置之兩導軌槽可分別形成在設於機座的兩相對平行之側板上。
3. 如申請專利範圍第1項所述之側蓋式盒體掀蓋設備，其中該導引定位裝置之定位部可以是形成於兩導軌槽中段之限位凸部，而該盒體之把手凸條形成有可相對貼抵之階級端面。
4. 如申請專利範圍第1項所述之側蓋式盒體掀蓋設備，其中該導引定位裝置具有一供檢知盒體是否就掀蓋位置之第一位置感測元件。
5. 如申請專利範圍第1項所述之側蓋式盒體掀蓋設備，其中該壓掣限位裝置之驅動元件可作動該推壓元件選擇性推壓盒體把手凸條之一後端面，供選擇性固定盒體於掀蓋位置。
6. 如申請專利範圍第1或5項所述之側蓋式盒體掀蓋設備，其中該壓掣限位裝置之推壓元件上具有一同步位移之感應件，且該壓掣限位裝置分設有一第二位置感應元件及一第三位置感應元件，其中第二位置感測元件可透過感應件檢知該推壓元件位於釋放位置，而第三位置感測元件可透過感應件檢知該推壓元件位於壓抵位置。
7. 如申請專利範圍第1項所述之側蓋式盒體掀蓋設備，其中該掀蓋裝置之撥桿元件具有一可選擇性貼靠盒體側蓋之一凸出撥部的凸部，供作動該盒體的側蓋相對側邊開口於離開位置、閉合位置與開啟位置間位移。
8. 如申請專利範圍第1或7項所述之側蓋式盒體掀蓋設備，其中該掀蓋裝置之撥桿元件上具有一同步位移之感應件，且該掀蓋裝置分設有一第四位置感應元件、一第五位置感測元件及一第六位置感應元件，其中第四位置感測元件可透過感應件檢知該撥桿元件離開位置，又該第五位置感測元件可透過感應件檢知該撥桿元件位於側蓋之閉合位置，至於第六位置感測元件可透過感應件檢知該撥桿元件位於側蓋之開啟位置。
9. 一種側蓋式盒體掀蓋方法，用以開啟一盒體，上述盒體包含一側邊開口及一選擇性啟閉側邊開口之側蓋，且側蓋兩側分別具有凸出盒體相鄰側邊之撥部，又該盒體相鄰側邊開口的兩側側邊分別具有一相對的把手凸條，而該側蓋式盒體掀蓋方法包括：放置一盒體於一復位後之側蓋式盒體掀蓋設備上；利用一導引定位裝置移動上述盒體至一掀蓋位置；產生一壓抵力道使上述盒體固定於掀蓋位置；以及作動一掀蓋裝置掀開上述盒體之側蓋。
10. 如申請專利範圍第9項所述之側蓋式盒體掀蓋方法，其中更包含驅動上述掀蓋裝置釋放上述盒體之側蓋；移動一壓掣限位裝置釋放上述盒體；以及將上述盒體移出上述側蓋式盒體掀蓋設備。