TWI643285B - 緩衝器結構 - Google Patents

Abstract

本發明所提供一種緩衝器結構，其主要是由一上殼部、一下殼部、至少一緩衝環部、以及一緩衝氣室所組成，藉由緩衝環部彈抵上殼部與下殼部，使緩衝環部的變形段受外力擠壓變形且上導引段與下導引段相互靠近時，所產生的抵抗變形力，有效分擔晶圓盒所承受的碰撞力，並達到緩衝、保護作用的功效。

Description

緩衝器結構

本發明關於一種緩衝器結構，特別是一種應用在晶圓盒上的緩衝器結構。

按，在晶圓廠中，晶圓盒扮演著相當重要的角色，用以將複數片晶圓儲存及在半導體製程間傳輸的功能，同時提供晶圓的高潔淨置放環境，以確保製程中的晶圓不受外在環境的微粒汙染。由於晶圓本身厚度極薄，因此在搬運過程中必須十分小心，避免因碰撞而造成晶圓損毀。

參閱圖1所示，習知的晶圓盒100大多都採用複數個緩衝器10鎖固在晶圓盒100的底端，以降低晶圓盒100碰撞的機率，但是習知的緩衝器10僅具有一外殼部11，因此提供的防震效果相當有限，以致晶圓盒100在傳送時，造成的震盪而使晶圓盒100損壞或使晶圓盒100的微粒掉落至晶圓表面而造成晶圓良率下降的問題，無法充分達到保護晶圓的功效；另外，在運送晶圓盒100過程中，由於移動路徑上的高地起伏，可能使得晶圓盒100產生傾斜等情形，而此情形可能使所搬運的晶圓造成碰撞，容易產生晶圓損傷的問題，因而造成晶圓破片等情況發生。

因此，業內需要一種在典型運輸條件下能提供更強之抗振動性能的緩衝器結構，即為本發明欲研究改善的方向所在。

鑒於上述習知技術的缺點，因此，本發明提供一種緩衝器結構，其主要在於分擔晶圓盒所承受的碰撞力，並達到緩衝、保護作用的功效。

為達前述目的，本發明係一種緩衝器結構，包含：

一上殼部，包含一上殼連接端、及至少一洩氣孔。

一下殼部，包含一下殼連接端。

至少一緩衝環部，能夠彈抵該上殼部與該下殼部且位於該上殼部與下殼部之間，並具有一連接該上殼連接端的上導引段、一連接該下殼連接端的下導引段、及一位於該上導引段與該下導引段之間的變形段。

一緩衝氣室，由該緩衝環部、該上殼部及該下殼部所圍繞而成，並且連通該洩氣孔，當該變形段受一外力擠壓變形時，該上導引段與該下導引段相互靠近，該緩衝氣室內的氣體經由該洩氣孔排出。

在一較佳實施例中，其中該上導引段與該上殼連接端之間形成一呈90度的第一夾角。

在一較佳實施例中，其中該下導引段與該下殼連接端之間形成一呈90度的第二夾角。

在一較佳實施例中，其中該緩衝環部的外徑大於該上殼部與該下殼部的外徑。

在一較佳實施例中，其中更包含兩螺絲，該上殼部具有兩能夠與該兩螺絲螺接的螺合孔。

在一較佳實施例中，其中更包含至少一混凝膠，該混凝膠容設在該緩衝氣室內。

據此，本發明所提供一種緩衝器結構，其主要是由一上殼部、一下殼部、至少一緩衝環部及一緩衝氣室所組成，藉由緩衝環部彈抵上殼部與下殼部，使緩衝環部的變形段受外力擠壓變形且上導引段與下導引段相互靠近時，所產生的抵抗變形力，有效分擔晶圓盒所承受的碰撞力，並達到緩衝、保護作用的功效。

有關於本發明之前述及其他技術內容、特點與功效，在以下配合參考圖式之較佳實施例的詳細說明中，將可清楚的呈現。

請參閱圖2至圖4所示，本發明第一實施例所提供一種緩衝器結構，包含一上殼部20、一下殼部30、至少一緩衝環部40、以及一緩衝氣室50：

該上殼部20為圓體狀，包含一上殼連接端21、及一貫穿面22，該貫穿面22具有兩貫穿的洩氣孔221、及兩螺合孔222。

該下殼部30為圓體狀，包含一下殼連接端31，該下殼部30的外徑等於該上殼部20的外徑。

該至少一緩衝環部40為圓環狀且為彈性材料，能夠彈抵該上殼部20與該下殼部30且位於該上殼部20與下殼部30之間，並具有一連接該上殼連接端21的上導引段41、一連接該下殼連接端31的下導引段42、及一位於該上導引段41與該下導引段42之間的變形段43；本發明第一實施例中，該至少一衝環部40舉兩個為例，但不以此為限；該兩緩衝環部40分為第一緩衝環部40A、及一連接該第一緩衝環部40A的第二緩衝環部40B，該第一緩衝環部40A的第一上導引段41A與該上殼連接端21連接，該第一緩衝環部40A的第一下導引段42A與該第二緩衝環部40B的第二上導引段41B連接，該第二緩衝環部40B的第二下導引段42B與該下殼連接端31連接，該第一上導引段41A與該第一下導引段42A之間具有一第一變形段43A，該第二上導引段41B與該第二下導引段42B之間具有一第二變形段43B；該兩緩衝環部40的外徑大於該上殼部20與該下殼部30的外徑；該第一上導引段41A與該上殼連接端21之間形成一呈90度的第一夾角Q1，該第二下導引段42B與該下殼連接端31之間形成一呈90度的第二夾角Q2。藉此該第一夾角Q1與該第二夾角Q2的設計，將能使該緩衝環部40敏銳地感知緩衝器結構的變形變化，而反應在緩衝、減震消能的成效上。

請參閱圖3A、圖4所示，該緩衝氣室50由該兩緩衝環部40、該上殼部20及該下殼部30所圍繞而成且連通該洩氣孔221，並具有一直線方向51；請參閱圖3B、圖4所示，當該第一變形段43A與該第二變形段43B受一外力擠壓變形時，該第一上導引段41A與該第一下導引段42A沿該直線方向51相互靠近，該第二上導引段41B與該第二下導引段42B也會沿該直線方向51相互靠近，同時，該緩衝氣室50內的氣體便會被壓縮經由該洩氣孔221排出；藉此，該第一變形段43A與該第二變形段43B受該外力產生形變，且同時間產生一反抗該外力的力至兩端上，而達到減震消能與緩衝的效果(在此故意誇飾此變形量，以容易了解)。

以上述為本發明所提供一緩衝器結構之各部構件之結構及其組態說明。

值得一提的是，請參閱圖4所示，本發明能夠透過兩螺絲60(圖中僅顯示一個螺絲表示)與該兩螺合孔222螺接，將本發明鎖固在晶圓盒A的底端，其中該螺絲60為六角螺絲；另外，本發明的該緩衝氣室50能夠容設至少一混凝膠B，該混凝膠B靠抵該下殼部30的內壁面，本實施例中，該混凝膠B舉三個疊加組成為例，但不以此為限，請參閱圖5所示，亦能夠為兩該混凝膠B容設該緩衝氣室50內；請再參閱圖4所示，該緩衝氣室50容設一連接該上殼部20內壁面的連接鋁塊C，該連接鋁塊C與該等混凝膠B相距一適當的距離且供該兩洩氣孔221以及兩螺合孔222貫穿，以上說明的組態及作動方式皆與習知相同，亦非本發明重點，因此對於該等構件之詳細結構與作動方式不再詳述。

值得說明的是，請參閱圖5所示，係為本發明第二實施例的剖視圖，本實施例中，該至少一緩衝環部40舉三個為例，該緩衝環部40是可連績複數 連接以提高變形量，並可確保變形的力量導引方向，以使緩衝器結構的變形於變形的過程中，減少歪斜與其他方向力的產生，以達到正向緩衝的需求。

請參閱圖6所示，係為本發明第三實施例的剖視圖，本實施例與第一、二實施例不同在於：該至少一緩衝環部40舉一個為例，擠壓時所產生的抵抗變形力，能夠有效分擔晶圓盒所承受的碰撞力，並達到正向緩衝的需求，其餘結構、組態與功效與第一、二實施例相同。

綜上所述，本發明所提供一種緩衝器結構，藉由該緩衝環部40彈抵該上殼部20與該下殼部30，使該緩衝環部40的該變形段43受外力擠壓變形且該上導引段41與該下導引段42相互靠近時，所產生的抵抗變形力，有效分擔晶圓盒所承受的碰撞外力，並達到緩衝、保護作用的功效，因此提供了良好的減震消能、以及輔助緩衝的效果。

惟以上所述者，上述實施例及圖式僅為本發明之較佳實施例而已，當不能以之限定本發明實施之範圍，舉凡依本發明申請專利範圍所作之均等變化與修飾，皆應屬本發明專利涵蓋之範圍內。

〔習知〕

100‧‧‧晶圓盒

10‧‧‧緩衝器

11‧‧‧外殼部

〔本發明〕

A‧‧‧晶圓盒

B‧‧‧混凝膠

C‧‧‧連接鋁塊

20‧‧‧上殼部

21‧‧‧上殼連接端

22‧‧‧貫穿面

221‧‧‧洩氣孔

222‧‧‧螺合孔

30‧‧‧下殼部

31‧‧‧下殼連接端

40‧‧‧緩衝環部

40A‧‧‧第一緩緩衝環部

41A‧‧‧第一上導引段

42A‧‧‧第一下導引段

43A‧‧‧第一變形段

40B‧‧‧第二緩緩衝環部

41B‧‧‧第二上導引段

42B‧‧‧第二下導引段

43B‧‧‧第二變形段

41‧‧‧上導引段

42‧‧‧下導引段

43‧‧‧變形段

50‧‧‧緩衝氣室

51‧‧‧直線方向

60‧‧‧螺絲

Q1‧‧‧第一夾角

Q2‧‧‧第二夾角

圖1是習知緩衝器結構的立體圖； 圖2是本發明第一實施例的立體圖； 圖3A是本發明第一實施例的局部放大圖，顯示緩衝環部未壓縮的狀態； 圖3B是本發明第一實施例的局部放大圖，顯示緩衝環部壓縮後的狀態； 圖4是本發明第一實施例的剖視圖，顯示本發明鎖固晶圓盒的狀態； 圖5是本發明第二實施例的剖視圖，顯示三個緩衝環部；以及 圖6是本發明第三實施例的剖視圖，顯示一個緩衝環部。

Claims (6)

1. 一種緩衝器結構，包含： 　　一上殼部，包含一上殼連接端、及至少一洩氣孔； 　　一下殼部，包含一下殼連接端； 至少一緩衝環部，能夠彈抵該上殼部與該下殼部且位於該上殼部與下殼部之間，並具有一連接該上殼連接端的上導引段、一連接該下殼連接端的下導引段、及一位於該上導引段與該下導引段之間的變形段；以及 一緩衝氣室，由該緩衝環部、該上殼部及該下殼部所圍繞而成，並且連通該洩氣孔，當該變形段受一外力擠壓變形時，該上導引段與該下導引段相互靠近，該緩衝氣室內的氣體經由該洩氣孔排出。
2. 如請求項1所述之緩衝器結構，其中該上導引段與該上殼連接端之間形成一呈90度的第一夾角。
3. 如請求項1所述之緩衝器結構，其中該下導引段與該下殼連接端之間形成一呈90度的第二夾角。
4. 如請求項1所述之緩衝器結構，其中該緩衝環部的外徑大於該上殼部與該下殼部的外徑。
5. 如請求項1所述之緩衝器結構，其中更包含兩螺絲，該上殼部具有兩能夠與該兩螺絲螺接的螺合孔。
6. 如請求項1所述之緩衝器結構，其中更包含至少一混凝膠，該混凝膠容設在該緩衝氣室內。