TWI538075B - 用於氣相沉積系統中基板偵測之主動視域偵測組件 - Google Patents

Description

用於氣相沉積系統中基板偵測之主動視域偵測組件

本發明一般而言係關於薄膜氣相沉積系統之領域，其中一薄膜層(諸如一半導體層)沉積於穿過該系統而輸送之一基板上。更特定言之，本發明係關於一種偵測系統，當穿過該氣相沉積系統而移動基板時，該偵測系統偵測該等基板之存在。

薄膜光伏(PV)模組(亦稱為「太陽能板」)之生產通常涉及將一基板(諸如一玻璃板)輸送至一氣相沉積腔室中及該氣相沉積腔室之外，其中一半導體材料(諸如碲化鎘(CdTe))之一薄膜層(工業中一般而言認定小於10 μm)沉積於該基板之表面上。沉積處理可係任何已知處理，例如一密閉空間昇華(CSS)系統或化學氣相沉積(CVD)系統。

出於任何數目個原因，視域或「窗口」通常提供在該沉積系統之該等沉積腔室或輸送結構之該等壁中。舉例而言，該等視域可提供用於視覺檢測該處理之一構件，或可經組態以提供一輸入至控制各種處理參數(諸如輸送機速度及類似物)之控制設備。然而，此等習知視域通常由玻璃或一玻璃組合物形成且易於凝結或積聚來自該等沉積或輸送機腔室之昇華材料。此處境要求經常關閉該系統用於移除及清洗或更換該等視域。

工業中已知快門視域，用以保護該等視域不暴露於該昇華材料。然而，此等裝置使用受限，因為該等快門必須關閉以起作用，其致使光學視域不可操作。

捲片視域亦係已知的。此等裝置藉由在視域光學器件上提供一層透明保護膜進行操作。以捲形式提供膜材料，且當該膜由於凝結變得模糊時，該膜自該捲前進使得膜之一「乾淨」區段安置在該視域光學器件前面。然而，此等裝置需要週期維修並關閉該沉積系統以更換該膜材料。

亦已知加熱該等視域以減小凝結位準且延長清洗維修程序間之時間。在這點上，各種參考描述用於沉積腔室或設備之加熱視域。舉例而言，參考美國專利第5,129,994號、第5,977,526號及第6,367,415號。然而，此等參考中描述的該等加熱視域不特別適合用於主動感測系統且具有有限功能。

此外，存在對一改良視域偵測組件之一需要，該改良視域偵測組件特別適合用於穿過一氣相沉積系統而輸送之基板之主動偵測。本發明係關於合用此目的之一加熱視域組件。

本發明之態樣及優點將在以下描述中予以部分闡述，或可從描述中瞭解，或可透過本發明之實踐得知。

根據本發明之態樣，提供一主動視域組件之一實施例用於偵測穿過一氣相沉積系統而輸送之基板。該視域組件包含一外殼，該外殼經組態用於安裝至一氣相沉積模組之一壁，例如安裝至該模組之一側壁或頂壁。該外殼進一步包括一封閉腔室、一外側端口及一內側端口。當安裝至一氣相沉積模組之一壁時，該外側端口在該模組外面且該內側端口與該模組之內部連通。舉例而言，該模組可安裝至該模組之外觀表面，該內側端口穿過該壁而延伸且至該模組中。該組件進一步包含一透鏡組件，該透鏡組件佈置在該腔室內且延伸至該內側端口中使得該透鏡組件暴露於該模組內之條件。一加熱器元件經組態在該腔室內於該透鏡組件上。舉例而言，該加熱器元件可圓周式安裝在延伸至該腔室中之該透鏡組件之部分周圍。一主動傳輸器或一主動信號接收器之一者與該腔室外面之該外側端口一起組態。此主動部件與該透鏡組件隔開且軸向對齊。在此組態中，利用該外端口處之一主動傳輸器，將一主動信號傳輸至該腔室中、穿過該透鏡組件及至該內端口之外。利用其中一接收器在該外端口處之組態，穿過該內端口及透鏡組件而將一主動信號輸送至該腔室中，且藉由該接收器予以接收。

上文討論之該視域組件之該實施例之變更及修改在本發明之範圍及精神內且可在本文中進一步予以描述。

本發明亦涵蓋可用於一氣相沉積系統中之一模組之各種實施例，其中穿過該模組而輸送基板。該模組包含具有第一壁及第二壁之一外罩。此等壁可係相對壁，諸如相對側壁或頂壁與底壁。一內輸送機被罩於該模組內且經組態用於穿過該外罩而運送基板。一第一視域組件安裝在該第一側壁中，且一第二視域組件安裝在該第二側壁中。此等視域組件之一者或兩者可如上文討論的予以組態。在一特定實施例中，該等視域組件之每一者包含安裝至一模組壁之一外殼，該外殼進一步具有一封閉腔室、一外側端口及穿過各別壁而延伸之一內側端口。該等視域組件進一步包含一透鏡組件，該透鏡組件佈置在該腔室內且穿過該內側端口而延伸。一加熱器元件經組態在該腔室內於該透鏡組件上。該第一視域組件具有一主動傳輸器，該主動傳輸器與該外側端口一起組態以將一主動信號傳輸至該腔室中、穿過該透鏡組件且傳輸至該模組外罩中朝向該第二側壁。安裝至該相對第二側壁之該第二視域組件包含一接收器，該接收器與該外側端口一起組態以接收該主動信號，該主動信號穿過該內端口及透鏡組件、穿過該腔室予以輸送且藉由該接收器予以接收。

上文討論的該氣相沉積模組之該實施例之變更及修改在本發明之範圍及精神內且可在本文中進一步予以描述。

參考以下描述及隨附申請專利範圍將變得更好理解本發明之此等及其他特徵、態樣及優點。

參考隨附圖式在說明書中闡述本發明之一完整及賦能揭示內容，包含其之最佳模式。

現在將詳細參考本發明之實施例，其等之一或多個實例在圖示中繪示。藉由解釋本發明提供每一實例，而不限制本發明。事實上，熟習此項技術者將瞭解在不背離本發明之範圍及精神情況下可在本發明中作出各種修改及變更。例如，作為一實施例之一部分繪示或描述的特徵可與另一實施例一起使用以產生一又另一實施例。因此，期望本發明涵蓋在隨附申請專利範圍及其等之等效物範圍內之此等修改及變更。

圖1繪示根據本發明之態樣之可合併視域組件100之一氣相沉積系統10之一實施例，特定言之如組成該系統10之各種類型的模組之部件。為參考並理解可使用當前視域組件100之一環境，下文描述圖1之該系統10，接續其後該等視域組件100之特定實施例之一詳細描述。

該系統10經組態用於將一薄膜層沉積於一光伏(PV)模組基板14(下文稱為「基板」)。舉例而言，該薄膜可係一碲化鎘(CdTe)膜層。如所提到的，該技術中一般而言認定一PV模組基板上之一「薄」膜層一般而言小於大約10微米(μm)。應瞭解該等視域組件100並不限於圖1中繪示的該系統10中之使用，但可合併在任何適合處理線中，該等處理線經組態用於將一薄膜層氣相沉積至一基板(諸如一PV模組基板14)上。

參考圖1，例示性系統10包含藉由複數個互連模組界定之一真空腔室12。複數個互連加熱器模組16界定該真空腔室12之一預加熱區段，該基板14穿過該真空腔室予以輸送且在輸送至一氣相沉積儀器60中之前加熱至一期望溫度，該氣相沉積儀器亦可係一自給自足的模組。該等加熱器模組16之每一者可包含複數個獨立受控加熱器18，該等加熱器界定複數個不同熱區帶。一特定熱區帶可包含多於一個之加熱器18。

該氣相沉積儀器60可採取在本發明之範圍及精神內之各種組態及操作原理，且一般而言經組態用於將一昇華源材料(諸如CdTe)氣相沉積於該等PV模組基板14上作為一薄膜。在圖1中繪示的該系統10之該實施例中，該儀器60係包含一外殼之一模組，在該外殼中含有裏面部件，包含安裝在一輸送機組件上方之一真空沉積頭。

該真空腔室12亦包含該氣相沉積儀器60之下游之該真空腔室12內之複數個互連冷卻模組20。該等冷卻模組20界定該真空腔室12內之一冷卻區段，在該真空腔室中從該系統10移除該等基板14之前，允許具有沉積於其等上之昇華源材料之薄膜之該等基板14以一受控冷卻速率冷卻。該等模組20之每一者可包含一強迫冷卻系統，其中一冷卻介質(諸如冷水、冷凍劑、氣體或其他介質)穿過與該等模組20一起組態之冷卻線圈而泵送。

在系統10之繪示的實施例中，至少一後熱模組22定位在緊接該氣相沉積儀器60之下游且在該等冷卻模組20之前。該後熱模組22維持該基板14之一受控加熱剖面直到整個基板移出該氣相沉積儀器60以阻止對該基板之損壞，諸如藉由不受控或劇烈熱應力造成的翹曲或斷裂。若該基板14之前導區段在其退出該儀器60時經允許以一過度速度冷卻，則一潛在損壞溫度梯度將沿該基板14徑向產生。此條件可由熱應力導致該基板之斷裂或破裂。

如圖1中所圖表繪示，一饋送裝置24與該氣相沉積儀器60一起組態以供應源材料，諸如粒狀CdTe。較佳地，該饋送裝置24經組態以便在不中斷該儀器60內之連續氣相沉積處理或穿過該儀器60之該等基板14之輸送情況下供應該源材料。

仍參考圖1，單獨基板14初始放置在一負載輸送機26上，且隨後移至一入口真空鎖定站中，該入口真空鎖定站包含一負載模組28及一緩衝模組30。一「粗糙」(即，初始)真空泵32與該負載模組28一起組態以抽一初始真空，且一「精細」(即，高)真空泵38與該緩衝模組30一起組態以將該緩衝模組30中之真空大體上增加至該真空腔室12內之真空，該真空腔室內之真空藉由粗糙及精細真空泵40之任何組合維持。閥34(例如，閘型狹縫閥或旋轉型擋板閥)可操作佈置在該負載輸送機26與該負載模組28間、該負載模組28與該緩衝模組30間及該緩衝模組30與該真空腔室12間。藉由一馬達或其他類型的致動機構36順序致動此等閥34以便在不影響該腔室12內之真空情況下以一逐步方式將該等基板14引至該真空腔室12中。

一出口真空鎖定站經組態在最後冷卻模組20之下游，且大體上以上文描述的該入口真空鎖定站之反向進行操作。舉例而言，該出口真空鎖定站可包含一出口緩衝模組42及一下游出口鎖定模組44。順序操作的閥34佈置在該緩衝模組42與該等冷卻模組20之最後者間、該緩衝模組42與該出口鎖定模組44間及該出口鎖定模組44與一出口輸送機46間。一精細真空泵38與該出口緩衝模組42一起組態，且一粗糙真空泵32與該出口鎖定模組44一起組態。該等泵32、38及閥34順序進行操作在不損失該真空腔室12內之真空條件情況下以一逐步方式將該等基板14移出該真空腔室12。

系統10亦包含一輸送機系統，該輸送機系統經組態以將該等基板14移入、穿過且移出該真空腔室12及該等入口與出口真空鎖定站模組(26、28、30、42、44、46)。在繪示的實施例中，此輸送機系統包含複數個單獨受控輸送機48，各種模組之每一者包含該等輸送機48之一者。應瞭解可改變各種模組中之該等輸送機48之類型或組態。在繪示的實施例中，該等輸送機48係具有受控之經驅動輥之輥輸送機，以便實現該等基板14穿過各別模組及該總體系統10之一期望的輸送速率。

如描述，該系統10中之各種模組及各別輸送機之每一者獨立受控以執行一特定功能。對於此控制，單獨模組之每一者可具有與其一起組態之一相關聯的獨立控制器50以控制各別模組之單獨功能。繼而，該複數個控制器50可與一中央系統控制器52連通，如圖1中繪示。該中央系統控制器52可監測並控制(經由該等獨立控制器50)該等模組之任一者之功能，以便在處理穿過該系統10之該等基板14中實現一總體期望的升熱速率、沉積速率、冷卻速率等等。

參考圖1，對於藉由總體系統組態10內之該等模組執行的該等功能之獨立控制，包含(舉例而言)各別輸送機48之單獨控制、閘閥34之打開及關閉等等，該等模組包含主動感測視域組件100，當穿過該模組而輸送該等基板14時，該等主動感測視域組件偵測該等基板14之存在。該等組件100與個別模組控制器50連通，該個別模組控制器50繼而與該中央控制器52連通。以此方式，該單獨各別輸送機48可經控制以確保在該等基板14間維持一適宜間隔且以期望的恆定輸送速率輸送該等基板14穿過該真空腔室12。應瞭解可使用該等視域組件用於關於該等單獨模組或總體系統10之任何其他控制功能。

圖2及圖3繪示一種系統，其中各種視域組件100與複數個相鄰模組(諸如上文關於圖1討論的該等模組)之各別輸送機系統48一起組態。在此特定實施例中，該等輸送機系統48包含複數個相鄰佈置的輥144，該等輥用於在一輸送方向上輸送基板14，如圖2中箭頭指示。參考圖3，一視域組件100安裝至一各別模組之相對側壁106之每一者上。在交替實施例中，此等視域組件可安裝至該模組之該頂壁及底壁，或安裝至一頂壁或底壁及一相鄰側壁。

仍參考圖3，一第一組之該等視域組件100可提供在一模組之入口末端處，且一第二組之該等視域組件100可提供在每一模組之出口末端處，如圖2中繪示。此等組之視域組件100可間隔開一距離，該距離大體上相同於或稍微小於輸送該等基板14之一者穿過該系統之長度。

如圖3中描繪，該等相對視域組件100可佈置在其等之各別壁上之上垂直位置及下垂直位置處，使得該等組件100間之一感測軸146橫穿該輸送機48之水平面。舉例而言，在該實施例中，其中該輸送機由具有單獨輥間之一空間之複數個相鄰佈置的輥144組成，該等視域組件100可經安置使得該感測軸146穿過兩個相鄰輥間之該空間而延伸，如圖2中特定繪示。因此，參考圖3，可容易瞭解一基板14之存在可阻擋或偏轉在該等視域組件100間傳輸/接收之該主動信號。在此特定組態中，藉由與一主動信號接收器一起組態之該組件100之一接收信號之不存在係一基板被安置在該等組件100之定位處之一指示。當該基板14線性移動超過該等視域組件100之位置時，將沿該等組件100間之軸線146傳輸/接收該主動信號，藉此指示該基板已移動且不再在該等組件100之位置處。當串列輸送的基板14之相鄰末端間存在一空間時將產生此傳輸/接收信號，且該信號之長度或持續時間可係該等基板14間之適宜間隔之一指示。若該信號指示相鄰基板14間之間隔太小或太大，則用於該單獨模組之該控制系統50可調整用於該特定模組之該各別輸送機系統48之驅動速度以調整該間隔。該感測軸146係非水平的，因為其橫穿至(即，越過)該輸送機(或該輸送機上裝載之基板14)之水平面。

仍參考圖3，應瞭解可藉由各種構件實現該橫穿、非水平感測軸146。舉例而言，該等視域組件100可相對於該等模組側壁106或相對於一側壁106及一頂壁或底壁呈一角度予以安裝，以便實現該橫穿感測軸146。在圖3中繪示的該實施例中，該等視域組件100與該等側壁106齊平且垂直予以安裝，裏面光學器件呈一非水平角度而佈置以便實現該非水平感測軸146，如下文參考圖4中繪示的實施例更詳細描述。

圖4繪示包含一外殼結構102之一視域組件100之一實施例，該外殼結構可藉由外罩或結構部件之任何組合加以界定。在此特定實施例中，該外殼102包含許多部件，該等部件可與各種部件間之密封件132一起組態。該外殼經組態用於安裝至一氣相沉積模組(諸如上文關於圖1討論的該等模組之任一者)之一壁104。該視域組件100並不限於一模組上之任何特定定位。舉例而言，一對視域組件100可與一模組之該頂壁及該底壁或一模組之該等側壁106一起組態，如圖2及圖3中描繪。

該外殼102界定一裏面腔室108。此腔室108在真空洩漏至該外殼102中之事件中可作用為一輔助真空局限腔室，如下文更詳細討論。

該外殼102進一步包含一外側端口110。此端口110係「外部」，因為其位於其所附接之該壁104之外側。該外側端口110與一凹部140一起組態，用於主動傳輸器或接收器118之任何適合方式之接收。在該繪示的實施例中，舉例而言，此傳輸器/接收器118可係將一光纖信號傳輸至該腔室108中或接收來自該腔室108之一光纖信號之一光纖傳輸器或接收器120。可係一聚焦透鏡之一透鏡126可經組態在該外側端口110內，以有助於各別主動信號之傳輸或接收。此透鏡126可安置在密封件132間。

該視域組件100包含一透鏡組件114，該透鏡組件具有佈置在該腔室108內之一第一末端或部分。該透鏡組件114之相對末端在該外殼102之一內側端口112內予以接收。此端口係「內部」，因為其穿過安裝該外殼102之該模組壁104而延伸且至該模組之內部，且因此暴露於該模組內之條件。在這點上，該內側端口112可包含具有一長度之一加長管狀形狀，該長度足以穿過該壁104而延伸且至該模組之內部。在該繪示的實施例中，該透鏡組件114包含一加長管122，該加長管配合至該側端口112之內表面且經由一彈性圓周密封件130密封至該側端口112之內表面。在一特定實施例中，該管122可係一石英管狀元件。

一透鏡124佈置在該管122內一般而言相鄰於位於該腔室108內之該管122之末端。此透鏡124可用以聚焦藉由該主動元件118(接收器或傳輸器)接收或傳輸之該主動信號。應瞭解該管122之內部暴露於安裝該組件之該模組內之真空沉積條件。在這點上，該昇華源材料可擴散至該管122中且傾向於鍍覆在該透鏡124上，其遲早將致使該組件100不可操作。為阻止該昇華源材料凝結在該透鏡124上，一加熱器元件116可操作佈置在該腔室108內於該透鏡組件114上。在圖4中繪示之一特定實施例中，該加熱器元件116包含一圓周環加熱器138，其包圍該管122圍繞包含該透鏡124之該管之長度之一部分。舉例而言，此環加熱器138可係一電阻加熱器或任何其他適合加熱機構。熱被供應至包含該透鏡124之該透鏡組件114之末端，該末端維持在有效用於阻止昇華源材料鍍覆在該透鏡124上之一溫度。

該管122具有一充分軸向長度使得該彈性密封件130在離該加熱器元件116之一充分軸向距離處以阻止損壞該密封件130。應認定該管122與該內側端口112間之一有缺陷密封件可導致一真空裂口。然而，即使發生此，該腔室108大體上可充當一輔助真空腔室以包含穿過該內側端口112之任何真空洩漏。在此情況下，與該主動元件118相關聯之一輔助透鏡126協作之該等密封件可構成一額外真空障壁。

為週期判定是否已發生真空洩漏至該組件100，可在該外殼102中提供真空檢查端口134之任何組態。

如上文關於圖2及圖3之該等實施例所討論，可期望佈置一對組件100之相對者以便傳輸/接收一主動信號，該主動信號橫穿一模組內之一輸送機之水平面且相對於該水平面為非水平的，如圖3中特定繪示。參考圖4，可藉由使該透鏡組件114在該腔室108及內側端口112內以一非水平角度定向而完成此。該內側端口112可包含用於接收該管122之一斜向孔，該管122之該相對末端呈角度佈置在該環加熱器138內。該環加熱器138亦可經由任何適合結構或絕緣材料136或類似物呈角度佈置在該腔室108內。此特定實施例係有利的，因為其允許該外殼102相對於一壁104之相對齊平安裝，還允許相對於該模組之內部之一非水平感測軸146。

應瞭解該視域組件100並不限於任何特定感測原理，且可與任何類型的主動感測器或接收器(諸如一射頻(RF)系統、雷射系統、光纖系統及類似物)一起組態。該主動感測部件118(一接收器或一傳輸器)可包含一端口128，用於雷力供應且用於傳導來自或至該主動元件118之信號。該主動元件118可在該外端口110中提供之該凹部140內可拆卸地接收，使得在不需自該壁104移除該組件100情況下可更換或服務該主動元件。一輔助透鏡126可利用密封件132在該外端口110內可操作地佈置。此組態允許自該外端口110移除該主動部件118同時維持該腔室108之真空完整性。

可穿過一端口142而供應用於該加熱器元件116(例如該環加熱器138)之電力，該端口位於相對於該外殼102之任何適合位置處。

本發明亦涵蓋用於一氣相沉積系統中之一模組，諸如包含根據本發明之該等視域組件100之一或多者之上文關於圖1討論的該等模組之任一者。舉例而言，此一模組可包含界定一裏面真空空間之一外罩，該外罩包括第一及第二側壁106，如圖3中描繪。一內部輸送機被罩於該模組內。在該繪示的實施例中，此輸送機包含複數個輥144，該等輥在該等模組側壁間延伸用於穿過該模組外罩而運送一基板14。根據本發明之態樣之一視域組件100之各種實施例可經組態在該等壁106上(或該等頂壁及底壁中)，以便感測一基板在該模組內於該等組件100之特定定位處之存在或不存在。

此書面的描述使用實例來揭示本發明(包含最佳模式)，且亦賦能熟習此項技術者實踐本發明，包含製作且使用任何裝置或系統及執行任何合併的方法。本發明之專利範圍藉由申請專利範圍加以界定，且可包含對熟習此項技術者想到之其他實例。若此等其他實例包含與申請專利範圍之字面語言相同的結構元件或若其等包含與申請專利範圍之字面語言無實質不同之等效結構元件，則此等其他實例意欲在申請專利範圍之範圍內。

10．．．系統

12．．．真空腔室

14．．．基板

16．．．加熱器模組

18．．．加熱器

20．．．冷卻模組

22．．．後熱模組

24．．．饋送裝置

26．．．負載輸送機

28．．．負載模組

30．．．緩衝模組

32．．．粗糙真空泵

34．．．閥

36．．．致動機構

38．．．精細真空泵

40．．．真空泵

42．．．出口緩衝模組

44．．．出口鎖定模組

46．．．出口輸送機

48．．．輸送機

50．．．控制器

52．．．系統控制器

60．．．氣相沉積儀器

100．．．視域組件

102．．．外殼

104．．．模組壁

106．．．側壁

108．．．腔室

110．．．外側端口

112．．．內側端口

114．．．管狀透鏡組件

116．．．加熱器元件

118．．．主動傳輸器/接收器

120．．．光纖部件

122．．．管

124．．．透鏡

126．．．透鏡

128．．．連接器

130．．．密封件

132．．．密封件

134．．．洩漏檢查端口

136．．．絕緣件

138．．．環加熱器

140．．．凹部

142．．．電力端口

144．．．輥

146．．．感測軸

圖1係可合併根據本發明之視域組件之實施例之一氣相沉積系統之一平面圖；

圖2係合併根據本發明之視域組件之實施例之輸送機模組之一俯視圖；

圖3係圖2中描繪的該等輸送機模組之一者之一側面剖視圖；及

圖4係一視域組件之一特定實施例之一剖視圖。

14．．．基板

100．．．視域組件

102．．．外殼

106．．．側壁

108．．．腔室

112．．．內側端口

118．．．主動傳輸器/接收器

144．．．輥

146．．．感測軸

Claims (16)

1. 一種用於偵測穿過一氣相沉積系統而輸送之基板之主動視域組件，該視域組件包括：一外殼，其經組態用於安裝至一氣相沉積模組之一壁，該外殼進一步包括一封閉腔室、一外側端口及一內側端口；一透鏡組件，其佈置在該腔室內且穿過該內側端口而延伸；一加熱器元件，其經組態在該腔室內於該透鏡組件上；及一主動傳輸器或一主動信號接收器之一者，其與該腔室外面之該外側端口一起組態，該傳輸器或接收器與該透鏡組件軸向對齊且與其隔開。
2. 如請求項1之視域組件，其中該透鏡組件包括一管及佈置在該管內一定位處而在該腔室內之一透鏡，該加熱器元件同心圍繞該管予以佈置以便包圍該透鏡。
3. 如請求項2之視域組件，其進一步包括該管與該內側端口間佈置之一彈性密封件，該密封件與該加熱器元件隔開一距離，該距離足以阻止對該密封件之熱損壞。
4. 如請求項1之視域組件，其中該內端口具有一充分軸向長度以便穿過該氣相沉積模組中之該壁而延伸，該視域組件安裝在該氣相沉積模組上，該透鏡組件包括與該內端口一起佈置之一管及佈置在該管內一定位處以便在該腔室內之一透鏡。
5. 如請求項1之視域組件，其包括一主動傳輸器，該主動傳輸器與該外側端口一起組態以將一主動信號傳輸至該腔室中、穿過該透鏡組件，且至該氣相沉積模組中。
6. 如請求項1之視域組件，其包括一主動信號接收器，該主動信號接收器與該外側端口一起組態且經對齊以接收一主動信號，該主動信號傳導至該透鏡組件中、穿過該腔室且穿過該外側端口。
7. 如請求項1之視域組件，其進一步包括與該腔室連通之一洩漏檢查端口。
8. 如請求項1之視域組件，其中該透鏡組件相對於該外殼呈一非水平角度予以佈置以便接收或傳輸穿過一氣相沉積模組而傳輸之一非水平信號，該視域組件安裝在該氣相沉積模組中，該非水平信號越過穿過該氣相沉積模組而輸送之一基板之一水平面。
9. 一種用於一氣相沉積系統中之模組，其中穿過該模組而輸送基板，該模組包括：一外罩，該外罩包括第一壁及第二壁；一內輸送機，其在該外罩內且經組態用於穿過該外罩而運送一基板；一第一視域組件，其安裝在該第一壁上，該第一視域組件進一步包括：一外殼，其安裝至該第一壁，該外殼進一步包括一封閉腔室、一外側端口及穿過該各別壁而延伸之一內側端口；一透鏡組件，其佈置在該腔室內且穿過該內側端口而延伸；一加熱器元件，其經組態在該腔室內於該透鏡組件上；及一主動傳輸器或一主動信號接收器之一者，其與該腔室外面之該外側端口一起組態，該傳輸器或接收器與該透鏡組件軸向對齊且與其隔開。
10. 如請求項9之模組，其進一步包括安裝至該第二壁之一第二視域組件，該第二視域組件進一步包括：一外殼，其安裝至該第二壁，該外殼進一步包括一封閉腔室、一外側端口及穿過該第二壁而延伸之一內側端口；一透鏡組件，其佈置在該腔室內且穿過該內側端口而延伸；一加熱器元件，其經組態在該腔室內於該透鏡組件上；及一主動傳輸器或一主動信號接收器之一者，其與該腔室外面之該外側端口一起組態，該傳輸器或接收器與該透鏡組件軸向對齊且與其隔開；其中一主動信號在該第一視域組件與該第二視域組件間予以輸送，該主動信號通過該第一視域組件與該第二視域組件之每一者之該內側端口、該腔室及該透鏡組件。
11. 如請求項10之模組，其中該第一視域組件及該第二視域組件中之該透鏡組件包括一管及佈置在該管內一定位處而在該腔室內之一透鏡，該加熱器元件同心圍繞該管予以佈置以便包圍該透鏡。
12. 如請求項11之模組，其進一步包括一彈性密封件，在該第一視域組件及該第二視域組件中該彈性密封件佈置在該管與該內側端口間，該密封件與該加熱器元件隔開一距離，該距離足以阻止對該密封件之熱損壞。
13. 如請求項10之模組，其中該第一視域組件及該第二視域組件之每一者中之該內端口具有一充分軸向長度以便穿過該各別壁而延伸，該等透鏡組件包括與該內端口一起佈置之一管及佈置在該管內於該腔室內之一定位處之一透鏡。
14. 如請求項10之模組，其中該第一視域組件及該第二視域組件包括與該腔室連通之一洩漏檢查端口。
15. 如請求項10之模組，其中該第一視域組件及該第二視域組件佈置在相對於該第一壁及該第二壁之一非水平面中，使得該主動信號越過該外罩內之該輸送機之一水平面。
16. 如請求項15之模組，其中該輸送機包括複數個間隔開的輥，該第一視域組件及該第二視域組件經佈置使得該主動信號通過相鄰之該等輥間之該輸送機。