TWI596753B - 有機電致發光顯示器之製造方法 - Google Patents

Description

有機電致發光顯示器之製造方法

相關申請案之交互參照

本申請案主張早期於2012年9月19日向韓國智慧財產局提出之申請案號10-2012-0104128之優先權及效益，其全部揭露之內容併入此處作為參考。

本發明揭露有關一種有機電致發光顯示器之製造方法。更具體地說，本發明係揭露有關一種製造有機電致發光顯示器之有機發光層之方法。

近年來，當與液晶顯示裝置相比時，由於有機電致發光顯示器具有出色的亮度與視角且不需包含單獨光源，有機電致發光顯示器已做為下一代之顯示設備而備受矚目。因此，有機電致發光顯示器具有纖薄與輕巧之優點。此外，有機電致發光顯示器具有像是快速反應、低驅動電壓及高亮度等性能。

一般來說，有機電致發光顯示器包含陽極電極、陰極電極、電洞注入層、電洞傳輸層、有機發光層、電子傳輸層及電子注入層。電洞與電子係透過陽極電極與陰極電極注入有機發光層，且於有機發光層中重組進而產生激子(電子-電洞對)。當激態恢復成基態時，激子發出能量作為光被釋放。

同時，在應用於製造液晶顯示器之各種製程，用於液晶顯示器的一部分製程係應用於製造有機電致發光顯示器。然而，製程的一部分，例如，於基板上圖樣化有機發光層的製程係不常見且使用不頻繁的，這部分仍待再研究。

本發明揭露供應一種製造有機電致發光顯示器之方法，其能夠輕易地圖樣化有機發光層。

本發明構思之實施例提供一種如下所述之有機電致發光顯示器之製造方法。當包含第一像素區域及與第一像素區域隔開之第二像素區域的基板備置好時，包含複數個開口形成穿透於其中的第一遮罩係設置於基板上，以分別地對應至第一與第二像素區域，以及包含形成以穿透於其中且對應至第一像素區域之開口的第二遮罩係設置於第一遮罩上，以暴露出第一像素區域及覆蓋第二像素區域。

然後，供應第一有機發光材料至基板，以形成第一有機發光材料於暴露的第一像素區域中，以及從基板移除第二遮罩，以暴露第一及第二像素區域。在這之後，供應第二有機發光材料至基板，以形成第二有機發光材料於暴露的第一及第二像素區域中，以及從基板移除第一遮罩。

本發明構思之實施例供應一種如下所述之有機電致發光顯示器之製造方法。當包含彼此隔開之第一、第二及第三像素區域之基板製備好時，包含穿透而形成於其中之複數個開口的第一遮罩係分別地對應至第一、第二及第三像素區域，包含穿透而形成於其中之複數個開口的第二遮罩係設置於第一 遮罩上以分別地對應至第一與第二像素區域，且包含穿透而形成於其中且對應第一項素區域之開口的第三遮罩係設置於第二遮罩上，以暴露第一像素區域且覆蓋第二及第三像素區域。

然後，供應第一有機發光材料至基板，以形成第一有機發光材料於暴露的第一像素區域中及自基板移除第三遮罩，以暴露第一與第二像素區域。接著，供應第二有機發光材料至基板，以形成第二有機發光材料於暴露的第一與第二像素區域中及自基板移除第二遮罩，以暴露第一、第二及第三像素區域。在這之後，供應第三有機發光材料至基板，以形成第三有機發光材料於暴露的第一、第二及第三像素區域中，以及自基板移除第一遮罩。

根據上述，彼此不同的有機發光層係選擇性地運用各自具有薄膜形狀之遮罩形成於像素區域中。因此，用於圖樣有機發光層之使用的金屬遮罩數目可減少，或金屬遮罩可用具有薄膜形狀之遮罩替代。因此，藉由使用金屬遮罩可防止過程中造成的缺陷，例如，金屬遮罩因其重量而下垂，所以，遮罩可按比例增加。

10‧‧‧基板

20‧‧‧有機層

50‧‧‧密封基板

80‧‧‧填充層

100‧‧‧有機電致發光顯示器

CE‧‧‧共用電極

CF1‧‧‧第一彩色濾光片

CF2‧‧‧第二彩色濾光片

ELO_1‧‧‧第一預備有機發光層

ELO_2‧‧‧第二預備有機發光層

ELO_3‧‧‧第三預備有機發光層

EL1‧‧‧第一有機發光層

EL2‧‧‧第二有機發光層

EL3‧‧‧第三有機發光層

EM1‧‧‧第一有機發光材料

EM2‧‧‧第二有機發光材料

EM3‧‧‧第三有機發光材料

EIL‧‧‧電子注入層

ETL‧‧‧電子傳輸層

FMM‧‧‧精細金屬遮罩

HIL‧‧‧電洞注入層

HTL‧‧‧電洞傳輸層

L1‧‧‧第一光源

L2‧‧‧第二光源

L3‧‧‧第三光源

M1、M11‧‧‧第一遮罩

M2、M22‧‧‧第二遮罩

M3‧‧‧第三遮罩

OP‧‧‧開口

PE1‧‧‧第一像素電極

PE2‧‧‧第二像素電極

PE3‧‧‧第三像素電極

PA1‧‧‧第一像素區域

PA2‧‧‧第二像素區域

PA3‧‧‧第三像素區域

DP‧‧‧摻質

本發明上列及其他優點，將藉由參考下列的詳細描述與結合附圖一併考慮而更顯而易見，其中：第1A圖至第1J圖係為根據本發明之一實施例，顯示製造有機電致發光顯示器之方法之剖面圖。

第2圖係為根據本發明之另一實施例，顯示製造有機電致發光顯示器之方法之剖面圖。

第3圖係為根據本發明之另一實施例，顯示製造有機電致發光顯示器之方法之剖面圖。

第4A圖至第4F圖係為根據本發明之另一實施例，顯示製造有機電致發光顯示器之方法之剖面圖。

應理解的是，當一個元件或層被提到“在...上(on)”、“連接至(connected to)”或“耦接至(coupled to)”另一元件或層時，其可以直接地連接或耦接至另一元件或層或可存在中間的元件或層。相反的，當一個元件被提到“直接在...上(directly on)”、“直接連接至(directly connected to)”或“直接耦接至(directly coupled to)”另一元件或層時，不存在中間的元件或層。相似的符號通常指相似元件。如本文所用，用語“及/或(and/or)”包含一個或多個相關所列項目之任何及全部組合

應理解的是，雖然第一、第二等用語在本文中可用於描述各種元件、組件、區域、層及/或部分，但這些元件、組件、區域、層及/或部分不應被這些用語所限制。這些用語僅用於區分一個元件、組件、區域、層或部分與另一個區域、層或部分。因此，在不脫離本發明的學說下，下面討論的第一元件、組件、區域、層或部分可被稱為第二元件、組件、區域、層或部分。

空間相關用語，像是”在...之下(beneath)”、”下面(below)”、”較低(lower)”、”上方(above)”、”上面(upper)”等，本文為了便於說明，如圖所示可用來描述一個元件或功能與另一元件或功能之關係。應理解的是，除了在附圖中描述的方位外，空間相關用語意在包含使用或操作設備之不同方位。例如：如 果圖中的裝置被翻轉，其他元件或特徵被描述為”下面(below)”或”在...之下(beneath)”的元件，將面向其他元件或特徵的”上方(above)”。因此，例示性用語”下面(below)”可包含上方(above)及下面(below)兩種方位。裝置可被另外定位(旋轉90度或在其他方位)及用於本文的空間相關描述相應地解釋。

本文使用的用語其目的只為描述特定的實施例，而非限制本發明。如本文所用，除非上下文清楚地表示，否則單數形式”一(a)”、”一(an)”和”該(the)”也意指包含複數形式。應進一步理解的是，當用語“包含(includes)”及/或“包含(including)”在本說明書中使用時，係說明所述特徵、整數、步驟、操作、元件，及/或組件之存在，但不排除存在或添加一個或多個其他特徵，整數，步驟，操作，元件，組件，和/或其組合。

除另外界定之外，本文使用的所有用語(包含技術與科學用語)與本發明所屬技術領域之普通技術人員之通常知識具有相同含意。應進一步理解的是，像是常用字典所定義的用語，應該被解釋為與相關領域上下文中的含意相互一致，以及除非有明確定義，否則將不被解釋為理想化或過度正式化的意義。

在下文中，本發明參照附圖將會有更詳細的解釋。

第1A圖至第1J圖係為根據本發明之實施例，顯示製造有機電致發光顯示器之方法之剖面圖。

參照第1A圖，基板10包含複數個第一像素區域PA1、複數個第二像素區域PA2、及複數個第三像素區域PA3。當有機電致顯示器的製程執行時，第一光源L1(參照第1J圖)從其中發出之像素，係分別地形成於第一像素區域PA中，具有與第一光源L1顏色不同之第二光源L2(參照第1J圖)從其中發出之像素， 係分別地形成於第二像素區域PA2中，以及具有與第一光源L1即第二光源L2顏色不同之第三光源L3(參照第1J圖)從其中發出之像素，係分別地形成於第三像素區域PA3中。第1A圖至第1J圖顯示分別地設置於第一、第二及第三像素區域PA1、PA2及PA3中之像素的製造方法作為代表性範例。

有機層20係形成於基板10上，以及第一、第二及第三像素電極PE1、PE2及PE3係設置於有機層20上，以一對一對應至第一、第二及第三像素區域PA1、PA2及PA3。

在一實施例中，設置於基板10上之有機層20覆蓋複數個驅動電晶體(未顯示)。驅動電晶體包含以一對一方式電性連接至第一、第二及第三像素電極PE1、PE2及PE3之第一、第二及第三驅動電晶體，以對應施加至第一、第二及第三像素電極PE1、PE2及PE3之切換驅動訊號。

此外，每一驅動電晶體包含閘極電極、源極電極、主動圖樣及汲極電極。因此，閘極絕緣層(未顯示)係進一步設置於基板10上，以絕緣來自其他導電圖樣中之閘極電極，以及間絕緣層(未顯示)係進一步設置於基板10上，以絕緣來自其他導電圖樣之源極、汲極電極。

第一、第二及第三像素電極PE1、PE2及PE3形成後，電洞注入層HIL與電洞傳輸層HTL係依序地形成於第一至第三像素電極PE1至PE3上。在一實施例中，每一電洞注入層HIL與電洞傳輸層HTL具有單層結構，其通常係形成於第一至第三像素區域PA1至PA3上方，根據另一實施例，電洞注入層HIL與電洞傳輸層HTL其中之一具有單層結構，其通常係形成於第一至第三像素區域PA1至PA3上方，或每一電洞注入層HIL與電洞傳輸層HTL被圖樣化以形成於每個第一至第三像素區域PA1至PA3中。

電洞注入層HIL與電洞傳輸層HTL形成後，第一遮罩M1係設置於基板10上。第一遮罩M1包含複數個開口，其形成穿過對應至第一至第三像素區域PA1至PA3，以暴露第一至第三像素區域PA1至PA3。當具有上述結構的第一遮罩M1設置在基板10上時，電洞傳輸層HTL係部分地暴露於第一至第三像素區域PA1至PA3中。

在一實施例中，第一遮罩M1具有薄膜形狀，複數個開口係穿透形成於其中。在此情況下，第一遮罩M1之複數個開口係與第一至第三像素區域PA1至PA3對齊且第一遮罩M1係設置於薄膜層上，其係設置於基板10上之薄膜層中最上部的位置上。

參照第1B圖，第二遮罩M2係在第一遮罩M1設置於基板10上後，設置於第一遮罩M1上。第二遮罩M2包含複數個開口，其係穿透於其中而形成且對應至第一至第二像素區域PA1至PA2，以暴露第一至第二像素區域PA1至PA2。此外，不同於第一遮罩M1，由於第二遮罩M2之一部分於相對應第三像素區域PA3的區域中未被打開，故第三像素區域PA3被第二遮罩M2覆蓋。

在一實施例中，與第一遮罩M1相似之第二遮罩M2具有薄膜形狀，複數個開口係穿透其中而形成。在此情況下，第二遮罩M2係附著於第一遮罩M1上。

參照第1C圖，第三遮罩M3係在第二遮罩M2設置於第一遮罩M1上後，設置於第二遮罩M2上。第三遮罩M3包含複數個開口，其穿透於其中而形成且對應至第一像素區域PA1，以暴露第一像素區域PA1。此外，不同於第一與第二遮罩M1與M2，第三遮罩M3之一部分對應至第二與第三像素區域PA2與PA3之區域中未被打開，故第二與第三像素區域PA2與PA3被第三遮罩M3覆蓋。

在一實施例中，與第一遮罩M1及第二遮罩M2相似之第三遮罩M3具有薄膜形狀，且複數個開口係穿透其中而形成。在此情況下，第三遮罩M3係附著於第二遮罩M2上。

參照第1D圖至第1E圖，第一、第二及第三遮罩M1、M2及M3依序設置於基板10上後，第一有機發光材料EM1係供應給基板10。因此，在第一像素區域PA1中，第一有機發光材料EM1係沉積於電洞傳輸層HTL上，以及除了第一像素區域PA1外，沉積於第三遮罩M3之其他區域上。因此，第一預備有機發光層ELO_1係形成於第三遮罩M3與第一像素區域PA1中的電洞傳輸層HTL上。

在一實施例中，第一有機發光材料EM1可藉由一蒸餾法供應至基板10。一般來說，蒸餾法係藉由加熱與蒸餾有機發光材料以沉積蒸餾的有機發光材料於基板上。因此，在此情況下，蒸餾法係用來供應第一有機發光材料EM1於基板10上，蒸餾第一有機發光材料EM1之一材料來源之蒸餾裝置係設置於基板10下方，以及基板10係設置於蒸餾裝置上面以允許第三遮罩M3面對蒸餾裝置。

接著，第三遮罩M3從基板10上移除。因此，形成於第三遮罩M3上的第一預備有機發光層ELO_1連同第三遮罩M3一起從基板10上移除，以及形成於電洞傳輸層HTL上的第一預備有機發光層ELO_1仍然作為第一有機發光層EL1。

參照第1F圖至第1G圖，第二有機發光材料EM2在第一有機發光層EM1形成後供應至基板10。因此，第二有機發光材料EM2係沉積於第一像素區域PA1中之第一有機發光層EL1上，且沉積於第二像素區域PA2中之電洞傳輸層HTL上。此外，第二有機發光材料EM2係沉積於除了第一與第二像素區域PA1 與PA2外之其他像區域中之第二遮罩M2上。因此，第二預備有機發光層ELO_2係形成於第二遮罩M2上、第一像素區域PA1中之第一有機發光層EL1上，以及第二像素區域PA2之電洞傳輸層HTL上。

接著，第二遮罩M2於第二預備有機發光層ELO_2形成後從基板10移除。因此，形成於第二遮罩M2上的第二預備有機發光層ELO_2連同第二遮罩M2一起從基板10上移除，以及形成於第二像素區域PA2中之電洞傳輸層HTL上與第一像素區域PA1中之第一有機發光層EL1上的第二預備有機發光層ELO_2，仍然作為第二有機發光層EL2。

參照第1H圖至第1I圖，第三有機發光材料EM3在第二有機發光層EL2形成後供應至基板10。因此，第三有機發光材料EM3係沉積於第一像素區域PA1中之第二有機發光層EL2上、第二像素區域PA2中之第二有機發光層EL2上，及第三像素區域PA3中之電洞傳輸層HTL上。此外，第三有機發光材料EM3係沉積於除了第一、第二及第三像素區域PA1、PA2及PA3以外之其他區域中的第一遮罩M1上。因此，第三預備有機發光層ELO_3形成於第一遮罩M1上、第一像素區域PA1中之第二有機發光層EL2上、第二像素區域PA2中之第二有機發光層EL2上，以及第三像素區域PA3中之電洞傳輸層HTL上。

接著，第一遮罩M1於第三預備有機發光層ELO_3形成後從基板10移除。因此，形成於第一遮罩M1上的第三預備有機發光層ELO_3連同第一遮罩M1一起從基板10上移除，以及形成於第三像素區域PA3中之電洞傳輸層HTL上、第二像素區域PA2中之第二有機發光層EL2上、與第一像素區域PA1中之第二有機發光材料層EL2上的第三預備有機發光層ELO_3，仍然作為第三有機發光層EL3。

參照第1J圖，第三有機發光層EL3形成後，電子傳輸層ETL、電子注入層EIL、以及共用電極CE依序地形成。

在一實施例中，每個電子傳輸層ETL、電子注入層EIL，及共用電極CE具有單層結構，被形成於第一、第二及第三像素區域PA1、PA2及PA3上。根據另一實施例，電子注入層EIL與電子傳輸層ETL其中之一具有單層結構，通常形成於第一、第二及第三像素區域PA1、PA2及PA3中，或每個圖樣化的電子注入層EIL與電子傳輸層ETL形成於每一個第一、第二及第三像素區域PA1、PA2及PA3中。

接著，密封基板50係耦接至基板10以覆蓋形成於基板10上之薄膜層，及填充層80係被配置於基板10與密封基板50之間，因而製造有機電致發光顯示器100。在有機電致發光顯示器100中，藉由第一、第二與第三發光層EL1、EL2與EL3產生之第一光源L1係從第一像素區域PA1發出、藉由第二與第三發光層EL2與EL3產生之第二光源L2係從第二像素區域PA2發出、以及藉由第三發光層EL3產生之第三光源L3係從第三像素區域PA3發出。

在一實施例中，第一至第三光源L1至L3可具有不同顏色。例如，第一、第二及第三光源L1、L2及L3可分別地為藍、綠及紅光。

如上所述，兩個或更多不同的有機發光層係形成於第一、第二與第三像素區域PA1、PA2與PA3中之至少其一中，以及一個或更多個第一、第二與第三光源L1、L2與L3之光源係藉由使用兩個或更多不同的有機發光層堆疊於另一個而產生。因此，藉由兩個或更多不同的有機發光層堆疊於另一個而產生光源之顏色係需要被精確地控制，以提高有機電致發光顯示器100之顏色重現 性。為此，精確地控制光源之顏色的過程，參照第2圖與第3圖將會有更詳細地描述。

第2圖係根據本發明之另一實施例，顯示製造有機電致發光顯示器之方法之剖面圖。詳細地說，參照第1A圖至第1I圖所述之過程執行後，如第2圖所示，有機電致發光顯示器之製造方法係控制從第一、第二與第三像素區域PA1、PA2與PA3發出之光源顏色。因此，在第2圖中，相同的參考符號係表示與在第1A圖至第1I圖中之相同元件，所以將省略對相同元件詳細地描述。

參照第2圖，當第一、第二與第三有機發光層EL1、EL2與EL3選擇性地形成於第一、第二與第三像素區域PA1、PA2與PA35中時，摻質DP係供應至基板10以控制第一、第二與第三光源L1、L2與L3至少其一之顏色。

摻質DP包含螢光材料或磷光材料之至少其一。因此，摻質DP吸收由第一、第二與第三有機發光層EL1、EL2與EL3中至少其一所產生的光源，且產生之光源具有與該光源不同之顏色，因此第一、第二與第三光源L1、L2與L3之至少其一之顏色可藉由控制摻質DP的種類與含量輕易地控制。

此外，如第2圖所示的實施例中，摻質DP係於第三有機發光層EL3形成後供應至基板10。然而，不同摻質DP中的摻質可於第三有機發光層EL3形成前供應給基板10，或不同摻質DP中的摻質可於第二有機發光層EL2形成前供應給基板10。

第3圖係根據本發明之另一實施例，顯示製造有機電致發光顯示器之方法之剖面圖。詳細地說，參照第1A圖至第1L圖所述之過程執行後，如第3圖所示，有機電致發光顯示器之製造方法係控制從第一、第二與第三像素區域 PA1、PA2與PA3發出之光源顏色。因此，在第3圖中，相同的參考符號係表示與第1A圖至第1L圖中之相同元件，所以將省略對相同元件詳細地描述。

參照第3圖，當第一、第二與第三有機發光層EL1、EL2與EL3選擇性地形成於第一、第二與第三像素區域PA1、PA2與PA3中時，電子傳輸層ETL、電子注入層EIL與共用電極CE係依序地形成於基板10上。

接著，彩色濾光片係於共用電極CE上形成。彩色濾光片包含形成於第一像素區域PA1中之第一彩色濾光片CF1與形成於第二像素區域PA2中之第二彩色濾光片CF2。在此情況下，當從第一像素區域PA1發出之第一光源L1(參考第1J圖)通過第一彩色濾光片CF1時係被過濾，因此第一光源L1可具有預定顏色。此外，當從第二像素區域PA2發出之第二光源L2(參考第1J圖)通過第二彩色濾光片CF2時係被過濾，因此第二光源L2可具有預定顏色。

因此，雖然兩個或更多不同的有機發光層形成於第一與第二像素區域PA1與PA2中，且光源藉由於每個第一與第二像素區域PA1與PA2中之有機發光層堆疊於另一個而產生，但光源之顏色藉由第一與第二彩色濾光片CF1與CF2可輕易地控制。

第4A圖至第4F圖係根據本發明之另一實施例，顯示製造有機電致發光顯示器之方法之剖面圖。因此，在第4A圖至第4F圖中，相同的參考符號係表示與第1A圖至第1J圖中之相同元件，所以將省略對相同元件詳細地描述。

參照第4A圖，有機層20、第一、第二與第三像素電極PE1、PE2與PE3、電洞注入層HIL，及電洞傳輸層HTL係依序地形成於基板10上。接著，第一遮罩M11係形成於電洞傳輸層HTL上。第一遮罩M11包含複數個開口OP，其穿透於其中而形成以對應至第一與第二像素區域PA1與PA2。

接著，第二遮罩M22係形成於第一遮罩M11上。第二遮罩M22包含開口OP，其穿透於其中而形成以對應至第一像素區域PA1。因此，第一像素區域PA1係透過形成貫穿第一與第二遮罩M11與M22之開口OP而暴露，以及第二像素區域PA2係被第二遮罩M22覆蓋。

參照第4B圖與第4C圖，第一與第二遮罩M11與M22設置於基板10上後，第一有機發光材料EM1係供應至基板10。因此，第一有機發光材料EM1係沉積於第一像素區域PA1中之電洞傳輸層HTL上、以及於除了第一像素區域PA1外之其他區域中之第二遮罩M22上。因此，第一預備有機發光層ELO1係形成於第二遮罩M22上及第一像素區域PA1中之電洞傳輸層HTL上。

接著，第二遮罩M22係從基板10移除。因此，形成於第二遮罩M22上之第一預備有機發光層ELO1係與第二遮罩M22一起從基板10移除，以及形成於第一像素區域PA1中之電洞傳輸層HTL上之第一預備有機發光層ELO1，仍然做為第一有機發光層EL1。

參照第4D圖與第4E圖，第一有機發光層EL1形成後，第二有機發光材料EM2係供應至基板10。因此，第二有機發光材料EM2係沉積於第一像素區域PA1中之第一有機發光層EL1上、以及於第二像素區域PA2中之電洞傳輸層HTL上。此外，第二有機發光材料EM2係沉積於除了第一及第二像素區域PA1、PA2以外之第一遮罩M11上。因此，第二預備有機發光層ELO2係形成於第一遮罩M11上、第一像素區域中PA1之第一有機發光層EL1上、以及第二像素區域PA2中之電洞傳輸層HTL上。

接著，第一遮罩M11係於第二預備有機發光層ELO2形成後從基板10移除。因此，形成於第一遮罩M11上之第二預備有機發光層ELO2係與第一遮 罩M11一起從基板10移除，以及形成於第二像素區域PA2中之電洞傳輸層HTL上之第二預備有機發光層ELO2，仍然做為第二有機發光層EL2。

參照第4F圖，精細金屬遮罩FMM係設置於基板10上。精細金屬遮罩FMM包含穿透形成於其中且對應至第三像素區域PA3之開口。接著，第三有機發光材料EM3係供應至基板10以形成於第三像素區域PA3中之第三有機發光層EL3。之後，當參照第1J圖所述之過程執行於第一、第二與第三有機發光層EL1、EL2與EL3形成於其上的基板10時，有機電致發光顯示器被製造。

根據另一實施例，參照第2圖所述之摻質DP之供應至第一至第三有機發光層EL1至EL3之至少其一的製程，可被添加至參照第4A圖至第4F圖所述之有機電致發光顯示器之製造過程。在此情況下，從第一至第三像素區域PA1至PA3發出之光源顏色可藉由摻質輕易地控制。

此外，根據另一實施例，參照第3圖所述之第一與第二彩色濾光片CF1與CF2之形成過程可被添加至參照第4A圖至第4F圖所述之有機電致發光顯示器之製造過程。在此情況下，從第一至第三像素區域PA1至PA3發出之光源顏色可藉由第一與第二彩色濾光片CF1與CF2輕易地控制。

雖然本發明已描述某些實施例，應當理解的是，本發明不應受限於這些實施例，但可由本技術領域中具有通常知識者在未脫離本發明下述申請專利範圍定義之精神與範疇的情況下進行各種改變及修改。

10‧‧‧基板

20‧‧‧有機層

M1‧‧‧第一遮罩

PE1‧‧‧第一像素電極

PE2‧‧‧第二像素電極

PE3‧‧‧第三像素電極

PA1‧‧‧第一像素區域

PA2‧‧‧第二像素區域

PA3‧‧‧第三像素區域

HIL‧‧‧電洞注入層

HTL‧‧‧電洞傳輸層

Claims (18)

1. 一種有機電致發光顯示器之製造方法，其包含：製備一基板，其包含一第一像素區域以及與該第一像素區域隔開之一第二像素區域；設置包含形成以穿透於其中之複數個開口的一第一遮罩於該基板上以分別地對應至該第一像素區域與該第二像素區域；設置包含形成以穿透於其中並對應至該第一像素區域之一開口的一第二遮罩於該第一遮罩上以暴露該第一像素區域及覆蓋該第二像素區域；供應一第一有機發光材料至該基板，以形成該第一有機發光材料於暴露的該第一像素區域中；從該基板移除該第二遮罩，以暴露該第一像素區域及該第二像素區域；供應一第二有機發光材料至該基板，以形成該第二有機發光材料於暴露的該第一像素區域及該第二像素區域中；以及從該基板移除該第一遮罩。
2. 如申請專利範圍第1項所述之方法，其中該第一有機發光材料係沉積於該第一像素區域上，以形成一第一有機發光層，以及該第二有機發光材料係沉積於該第一像素區域與該第二像素區域上，以形成一第二有機發光層。
3. 如申請專利範圍第2項所述之方法，其中從該第一有機發光層與該第二有機發光層發出之一第一光源，係形成於該第一像素 區域中，從該第二有機發光層發出之一第二光源，係形成於該第二像素區域中，以及該第二光源具有一顏色，其係與該第一光源之一顏色不同。
4. 如申請專利範圍第3項所述之方法，更包含供應一摻質至該第一有機發光層與該第二有機發光層之至少其一，用以控制該第一光源與該第二光源之至少其一之該顏色。
5. 如申請專利範圍第3項所述之方法，更包含形成至少一彩色濾光片於該基板上，用以過濾該第一光源與該第二光源之至少其一之該顏色。
6. 如申請專利範圍第3項所述之方法，其更包含：於該第一遮罩與該第二遮罩從該基板移除後，設置包含形成而穿透於其中且對應至一第三像素區域之一開口的一第三遮罩以暴露該第三像素區域，該第三像素區域係與該第一像素區域及該第二像素區域隔開；以及沉積一第三有機發光材料於暴露的該第三像素區域上，以形成一第三有機發光層，使具有與該第一光源與該第二光源不同之一顏色之一第三光源從其發出。
7. 如申請專利範圍第6項所述之方法，其中該第三遮罩係一金屬遮罩。
8. 如申請專利範圍第6項所述之方法，更包含：形成該第一有機發光層、該第二有機發光層及該第三有機發光層前，形成像素電極分別地對應至該第一像素區域、該第二像素區域及該第三像素區域； 形成該第一有機發光層、該第二有機發光層及該第三有機發光層前，於該像素電極上形成一電洞注入層；形成該第一有機發光層、該第二有機發光層及該第三有機發光層前，於該電洞注入層上形成一電洞傳輸層；於該第一發光層、該第二發光層及該第三發光層上形成一電子傳輸層；於該電子傳輸層上形成一電子注入層；以及於該電子注入層上形成一共用電極，其中該電洞注入層、該電洞傳輸層、該電子傳輸層及該電子注入層之至少其一具有一單層結構，用以形成於該第一像素區域、該第二像素區域及該第三像素區域中。
9. 如申請專利範圍第2項所述之方法，其中當該第二遮罩從該基板移除時，沉積於該第二遮罩上之該第一有機發光材料係與該第二遮罩一起移除，以及當該第一遮罩係從該基板移除時，沉積於該第一遮罩上之該第二有機發光材料係與該第一遮罩一起移除。
10. 如申請專利範圍第1項所述之方法，其中每一該第一遮罩與該第二遮罩為薄膜狀遮罩。
11. 一種有機電致發光顯示器之製造方法，其包含：製備一基板，其包含彼此隔開之一第一像素區域、一第二像素區域及一第三像素區域； 設置一第一遮罩，其包含穿透而形成之複數個開口，該複數個開口分別地對應至該基板上之該第一像素區域、該第二像素區域及該第三像素區域；設置一第二遮罩，其包含穿透而形成之複數個開口，該複數個開口分別地對應至該第一遮罩上之該第一像素區域與該第二像素區域；設置一第三遮罩，其包含穿透而形成之一開口，該開口對應至該該第二遮罩上之該第一像素區域，以暴露該第一像素區域且覆蓋該第二像素區域及該第三像素區域；供應一第一有機發光材料至該基板，以形成該第一有機發光材料於暴露的該第一像素區域中；從該基板移除該第三遮罩，以暴露該第一像素區域與該第二像素區域；供應一第二有機發光材料至該基板，以形成該第二有機發光材料於暴露的該第一像素區域與該第二像素區域中；從該基板移除該第二遮罩，以暴露該第一像素區域、該第二像素區域及該第三像素區域；供應一第三有機發光材料至該基板，以形成該第三有機發光材料於暴露的該第一像素區域、第二像素區域及第三像素區域中；以及從該基板移除該第一遮罩。
12. 如申請專利範圍第11項所述之方法，其中該第一有機發光材料係沉積於該第一像素區域上，以形成一第一有機發光層，該 第二有機發光材料係沉積於該第一像素區域與該第二像素區域上，以形成一第二有機發光層，以及該第三有機發光材料係沉積於該第一像素區域、該第二像素區域及該第三像素區域上，以形成一第三有機發光層。
13. 如申請專利範圍第12項所述之方法，其中一第一光源係從在該第一像素區域中之該第一有機發光層、該第二有機發光層及該第三有機發光層所發出，一第二光源係從在該第二像素區域中之該第二有機發光層及該第三有機發光層所發出，一第三光源係從在該第三像素區域中之該第三有機發光層所發，以及該第一光源、該第二光源及該第三光源彼此具有不同顏色。
14. 如申請專利範圍第13項所述之方法，更包含供應一摻質至該第一有機發光層、該第二有機發光層與該第三有機發光層之至少其一，以控制該第一光源、該第二光源與該第三光源之至少其一之該顏色。
15. 如申請專利範圍第13項所述之方法，更包含形成至少一彩色濾光片於該基板上，用以過濾該第一光源、該第二光源與該第三光源之至少其一之該顏色。
16. 如申請專利範圍第12項所述之方法，其中當該第三遮罩係從該基板移除時，沉積於該第三遮罩上之該第一有機發光材料係與該第三遮罩一起移除，當該第二遮罩係從該基板移除時，沉積於該第二遮罩上之該第二有機發光材料係與該第二遮罩一起移除，以及當該第一遮罩係從該基板移除時，沉積於該第一遮罩上之該第三有機發光材料係與該第一遮罩一起移除。
17. 如申請專利範圍第12項所述之方法，更包含： 形成該第一有機發光層、該第二有機發光層及該第三有機發光層前，形成像素電極以分別地對應至該第一像素區域、該第二像素區域及該第三像素區域；形成該第一有機發光層、該第二有機發光層及該第三有機發光層前，於該像素電極上形成一電洞注入層；形成該第一有機發光層、該第二有機發光層及該第三有機發光層前，於該電洞注入層上形成一電洞傳輸層；於該第一有機發光層、該第二有機發光層及該第三有機發光層上形成一電子傳輸層；於該電子傳輸層上形成一電子注入層；以及於該電子注入層上形成一共用電極，其中該電洞注入層、該電洞傳輸層，該電子傳輸層，及該電子注入層之至少其一具有一單層結構，用以形成於該第一像素區域、該第二像素區域及第三像素區域中。
18. 如申請專利範圍第11項所述方法，其中每一第一遮罩與該第二遮罩為薄膜狀遮罩。