TWI581881B - 供電單元及多線切割放電加工設備 - Google Patents

Description

供電單元及多線切割放電加工設備

本發明關於供電單元和多線切割放電加工設備，且更具體地，係關於一種減少損害同時與包括被設置成平行的線的複數個匝之線組接觸的供電端子的恐懼、以及避免供電端子由於線的行進而旋轉的技術。

近年來，已經發展出藉由放電加工(electrical discharge machining)在短時間內同時將被加工的材料(例如，半導體材料、太陽能電池材料、以及硬質材料)切割成多件的方法。

例如，為了將被加工的材料切割成薄板狀件，線切割放電加工設備控制線的行進同時經由供電端子將電壓施加到線，並使得被加工的材料更靠近線，以引起放電現象。以此方式，在被加工的材料上執行放電加工。

在日本專利申請第08-19920號公開案中，描述了使用具有柱狀或圓筒狀的供電端子，並將其外周表面用作與線電極的接觸位置。

此外，在日本專利申請第04-105821號公開案中，揭露了由具有小的電阻的材料(例如，銅或黃銅)所製成的供電端子，其包括由形成在具有小的電阻的材料 的表面上的硬質材料所製成的電鍍層。

分別在日本專利申請第08-19920號和第04-105821號公開案中所揭露的線切割放電加工設備均為單線切割放電加工設備。

另一方面，在使用供電端子(供電端子同時與包括被設置成平行的線的複數個匝之線組接觸，以將電壓供應給線組)的多線切割放電加工設備中，供電端子與線之間的接觸壓力會變化，除非供電端子與線組彼此平行地設置，並且在平行狀態下彼此接觸。在這種情況下，恐怕不能將電力穩定地供應給線。

此外，如果將供電端子用力壓到線上以對線穩定地供應電力，則供電端子的磨損程度或線的損傷程度會不利地增加。因此，長時間地執行穩定的放電加工是困難的。

本發明提供一種用於減少損害同時與包括被設置成平行的線的複數個匝之線組接觸的供電端子的恐懼、以及避免供電端子由於線的行進而旋轉的系統。

根據本發明的一個實施例，提供一種用於多線切割放電加工設備的供電單元，多線切割放電加工設備被設置成藉由包括被設置成平行的線的複數個匝的線組與被加工的材料之間所產生的放電來切割被加工的材料，並且供電單元安裝有具有圓筒狀的供電端子，供電端子的側表面同時與線組接觸，以對線組供應電壓，供電單元包括：安裝部，同時與線組接觸的供電端子被安裝到安裝部；軸，其插入具有圓筒狀的供電端子的內部空間，軸包括構件，構件具有比供電端子的電阻更低的電阻、以及具有比供電端子的軸向長度更長的長度；以及固定構件，其 被設置成在一方向上朝向安裝部去按壓被插入到具有圓筒狀的供電端子的內部空間的軸的部分，以將供電端子固定到安裝部，軸的部分從內部空間沿著供電端子的軸向方向突出。此外，根據本發明的另一個實施例，提供一種用於多線切割放電加工設備的供電單元，多線切割放電加工設備被設置成藉由包括被設置成平行的線的複數個匝的線組與被加工的材料之間所產生的放電來切割被加工的材料，並且供電單元安裝有具有柱狀的供電端子，供電端子的側表面同時與線組接觸，以對線組供應電壓，供電端子包括內部構件，內部構件具有比供電端子的外周構件的電阻更低的電阻，內部構件進一步形成在具有柱狀的供電端子的兩個軸向端部，供電單元包括：安裝部，同時與線組接觸的供電端子被安裝到安裝部；以及固定構件，其被設置成在一方向上朝向安裝部去按壓被形成在具有柱狀的供電端子的兩個軸向端部的內部構件，以將供電端子固定到安裝部。

本發明進一步的特徵將從以下參照所附圖式對例示性實施例的描述中變得清楚。

1‧‧‧多線切割放電加工設備

2‧‧‧塊

3‧‧‧進料設備

4‧‧‧接合部

5‧‧‧材料

6‧‧‧加工液槽

7‧‧‧線組

8‧‧‧主輥

9‧‧‧主輥

10‧‧‧供電單元

11‧‧‧供電端子

15‧‧‧電源單元(電源設備)

18‧‧‧加工液供應設備

19‧‧‧塊

111‧‧‧中心點

301‧‧‧供電端子固定塊

302‧‧‧固定螺釘

401‧‧‧緊固螺釘

402‧‧‧供電端子固定塊支撐部

403‧‧‧絕緣板

404‧‧‧槓桿

405‧‧‧固定螺釘

406‧‧‧軸

407‧‧‧固定螺釘

408‧‧‧凸輪

409‧‧‧軸固定部

501‧‧‧板

601‧‧‧板

602‧‧‧緊固螺釘

603‧‧‧高度調整螺釘

604‧‧‧軸

701‧‧‧加工液供應埠

801‧‧‧線

1001‧‧‧燒結碳化物

1002‧‧‧銅

1003‧‧‧中空

1301‧‧‧軸

1401‧‧‧供電端子固定螺釘

1601‧‧‧標記

L1‧‧‧距離

L2‧‧‧距離

圖1是從前側觀看之多線切割放電加工系統的外部視圖。

圖2A、2B和2C示出圖1所示的供電端子的外部形狀。

圖3是被包含在圖1所示的具有供電端子安裝於其上的供電單元中的供電端子固定塊的側視圖。

圖4是被包含在圖1所示的具有供電端子安裝於其上的供電單元中的供電端子固定塊、以及供電端子固定塊支撐部的側視圖。

圖5是被包含在圖1所示的具有供電端子安裝於其上的供電單元中的供電端子固定塊、以及供電端子固定塊支撐部的側視圖，圖5示出了供電端子固定塊支撐部在保持供電端子與線組之間的平行的同時向上移動供電端子固定塊的狀態。

圖6是示出從上側觀看之具有供電端子安裝於其上的供電單元的視圖。

圖7是示出從圖1的右側觀看之具有供電端子安裝於其上的供電單元的視圖。

圖8是示出從圖1的右側觀看之具有供電端子安裝於其上的供電單元的視圖，圖8示出了線組與供電端子未彼此平行的狀態。

圖9是示出從圖1的右側觀看之具有供電端子安裝於其上的供電單元的視圖，圖9示出了藉由緊固在後側的高度調整螺釘以增加在後側的供電端子固定塊與板之間的距離，而使線組與供電端子彼此平行的狀態。

圖10A、10B和10C是示出根據複數個模式的供電單元的側視圖。

圖11A是包括由銅或不銹鋼所製成的內部構件以及由燒結碳化物所製成的外周部的供電端子的立體圖，圖11B是其側視圖，且圖11C是其俯視圖。

圖12A是具有形成為空(中空)的內部以及由燒結碳化物所製成的外周部的供電端子的立體圖，圖12B是其側視圖，且圖12C是其俯視圖。

圖13A、13B和13C是示出具有穿過供電端子的中空被插入的軸的供電端子的視圖。

圖14是從圖1的右側觀看之根據變形例的具有供電端子安裝於其上的供電單元的視圖。

圖15是從上側觀看之根據變形例的具有供電端子安裝於其上的供電單元的視圖。

圖16A、16B和16C是分別示出供電端子的側視圖，其中，每個供電端子都在其側表面上有標記。

現在，參考附圖詳細描述本發明的實施例。

圖1是從前側觀看之根據本實施例的多線切割放電加工設備1的外部視圖(前視圖)。圖1中所示的每個機構(單元)的配置都僅僅是範例。明顯地，根據目的和應用具有各種配置範例。此外，本文的向上方向和向下方向分別對應到沿著重力方向的向上方向和向下方向，而本文的左方向和右方向分別對應到從前側觀看多線切割放電加工設備的情況下的左方向和右方向。

根據本實施例的多線切割放電加工系統包括多線切割放電加工設備1、電源單元(電源設備)15和加工液供給設備18。

多線切割放電加工系統能夠在平行設置的多行線之間的間隔處，藉由放電將被加工的材料5(例如，矽錠(silicon ingot))切割成薄片。

多線切割放電加工設備1通過電線(電壓施加線)連接到電源單元15，並藉由電源單元15所供應的電力被致動。

經由藉由伺服電動機(servomotor)(未示 出)驅動的用於被加工的材料的進料設備3的垂直運動，多線切割放電加工設備1能夠沿垂直方向移動被加工的材料5，被加工的材料5由接合部4(例如，導電膠)接合到用於被加工的材料的進料設備3。

多線切割放電加工設備1是根據本實施例的多線切割放電加工設備的應用之範例，並藉由線組7與被加工的材料5之間所產生的放電來切割和加工被加工的材料5。

在本實施例中，被加工的材料5沿向下方向的移動使被加工的材料5更加靠近線組7。接著，被加工的材料5與線組7之間產生放電，以對被加工的材料5執行放電加工。此時，被加工的材料5與線組7之間的間隙被加工液(machining fluid)填滿。加工液具有預定範圍內的電阻值，且因此在被加工的材料5與線組7之間產生放電。以此方式，可以對被加工的材料5執行放電加工。

另外，也可以按照如下方式在被加工的材料5與線組7之間執行放電加工。具體地，用於被加工的材料的進料設備3被定位在低於線組7的位置。將被加工的材料5沿向上方向移動。接著，使被加工的材料5更靠近線組7。

在本實施例中，儘管將矽錠描述為被加工的材料5的範例，但是也可以使用不是絕緣材料的諸如碳化矽(SiC)的其它材料(導體或半導體)。

如圖1所示，多線切割放電加工設備1包括 塊19和塊2，塊19用作多線切割放電加工設備1的基底，且塊2安裝在塊19的上部。多線切割放電加工設備1還包括用於被加工的材料的進料設備3、接合部4、被加工的材料5、具有加工液供應埠701的加工液槽6、主輥8、線組7、主輥9、供電單元10和供電端子11。

電源單元(電源設備)15對多線切割放電加工設備1供應電力。

用於被加工的材料的進料設備3定位被加工的材料5並促進放電加工。此外，為了根據放電的狀態高效地產生放電，藉由用於控制伺服電動機的放電伺服控制電路來控制用於被加工的材料的進料設備3，使得被加工的材料5與線組7之間的放電間隙保持恆定。

用於被加工的材料的進料設備3是包括用於沿垂直方向移動被加工的材料5的機構的設備，被加工的材料5由接合部4接合(連接)。通過用於被加工的材料的進料設備3沿著向下方向的移動，被加工的材料5能夠更靠近線組7。

加工液供給設備18藉由泵經由加工液供應埠701向加工液槽6供應加工液，加工液是冷卻線組7與被加工的材料5之間產生放電的放電加工部以及移除加工屑(碎片)所需的。此外，加工液供給設備18移除在加工液中的加工屑、藉由離子交換樹脂控制和調整具體的電阻或導電率(1μS/cm至250μS/cm)、並控制和調整液溫度(20℃附近)。儘管主要使用水來作為加工液，但是 也可以使用放電加工油。儘管在本實施例中以水作為加工液的範例，但是也可以替代地使用放電加工油。

主輥8和9中的每一個具有預定間距的預定數量的導槽，使得被加工的材料5可以被加工成期望的厚度。從供線筒(未示出)供應的具有可控張力的單根線801環繞兩個主輥8和9，以繞著兩個主輥8和9形成複數個匝(所需的匝數)，然後送進繞線筒。包括平行設置的單根線801的匝的線組7的行進速度可被設置為大約100米/分鐘至900米/分鐘。

透過主輥9的旋轉，使得環繞主輥9的線組7行進。

透過兩個主輥8和9沿著相同的方向以相同的速度彼此連動地旋轉，從線供給部(供線筒)(未示出)所供應的單根線801環繞兩個主輥8和9的外周。結果，包括在主輥8和9之間平行設置的線801的複數個匝的線組7能夠沿著相同方向行進。

線組7包括單根連續的線801。從供線筒(未示出)供應線801。在裝配到形成在主輥8和9的外周表面上的導槽(未示出)中的同時以螺旋方式環繞主輥8和9的外周表面以形成多個匝(最大約2000匝)之後，線801藉由繞線筒(未示出)被纏繞。

加工液槽6將作為加工液的水供應到放電間隙中的一位置(放電點)，水為被控制和調整以具有預定範圍內的特定電阻(導電率)，在該位置處，包括平行設 置的線801的複數個匝(線801亦稱作為「線電極」)之線組7和被加工的材料5彼此靠近。

加工液槽6儲存用於在被加工的材料5與線組7之間產生放電的加工液，且加工液槽6被安裝成使得加工液槽6中的加工液被定位在被加工的材料5與線組7之間。

加工液經由形成在加工液槽6下部的加工液供應埠701(亦稱作「加工液供應部」)被供應到加工液槽6。

供電單元10將來自電源單元15的電壓經由電線施加給供電端子11。供電單元10是上面安裝並固定有待施加電壓的供電端子11的供電設備。

具體地，供電單元10是根據本實施例的供電單元，在其上安裝有供電端子11，供電端子11同時與包括平行設置的線801的複數個匝的線組7接觸，以對線組7供應電壓。

供電單元10包括軸向調整機構(調整部)，用於安裝具有柱狀或圓筒狀(具有中空的形狀)的供電端子11，並調整供電端子11(柱狀或圓筒狀)的軸線的傾角，以便平行於與線組7的行進方向垂直的方向(寬度方向，沿此方向設置被包含在線組7中的線的複數個匝)。供電單元10還包括將供電端子11(柱狀或圓筒狀)平移接近或遠離線組7的機構(移動部)，以將供電端子11垂直地壓向線組7的行進方向。

供電端子11的僅表面或包括其內部的供電端子11的實體中的任何一個都可以使用抵抗機械磨損(mechanical wear)且具有導電性的燒結碳化物(cemented carbide)所製成。

被加工的材料5被設置於主輥8和9之間的中央位置上方。被加工的材料5被安裝到用於被加工的材料的進料設備3。透過用於被加工的材料的進料設備3的垂直移動，被加工的材料5被沿著垂直方向移動，以使得材料5能夠被加工。

在主輥8和9之間的中央位置，安裝加工液槽6。線組7和被加工的材料5浸入到加工液槽6中的加工液中，以冷卻放電加工部，並移除加工屑。

此外，線801是電導體。經由被供應了來自電源單元15的電壓的供電單元10的供電端子11與線組7之間的接觸，所供應的電壓被從供電端子11施加到線組7。具體地，供電單元10經由供電端子11對線組7施加電壓。

接著，在被包含於線組7中的線801的複數個匝中的每一個與被加工的材料5之間產生放電。結果，被加工的材料5能夠被加工(藉由放電加工)，以形成薄板狀加工產品(例如，矽晶圓)。

接下來，參見圖2A至2C。圖2A至2C示出圖1所示的供電端子11的外部形狀。

圖2A是供電端子11的立體圖，圖2B是供電 端子11的側視圖，且圖2C是供電端子11的俯視圖。如圖2A至2C所示，供電端子11為柱狀。

如上所述，藉由形成具有柱狀的供電端子11，可以藉由使用供電端子11將電力統一地(同時)供應給線組7。此外，可以減少由供電端子11與線組7之間的接觸所引起的對線組7的損害。此外，具有柱狀的供電端子11的整個外周表面可以被用作與線組7接觸的部分。因此，可以減少更換供電端子11的頻率，且供電端子11可以使用更長的時間。

接下來，參照圖3。

圖3是示出被包含在圖1所示的具有供電端子11安裝於其上的供電單元10中的供電端子固定塊301的側視圖。

具體地，圖3示出了，當從前側觀看多線切割放電加工設備1時，被包含在具有供電端子11安裝於其上的供電單元10中的供電端子固定塊301。

如圖3所示，被包含在線組7中的線801的多個匝係保持成與具有柱狀的供電端子11的外周表面接觸。

供電端子固定塊301是根據本實施例的安裝部的應用之範例。具有同時與線組7接觸的外周部的供電端子11被安裝到供電端子固定塊301。

此外，供電端子固定塊301是用於固定供電端子11的塊，並具有符合具有柱狀的供電端子11的圓形 截面形狀的形狀的凹陷，使得供電端子11能夠安裝於其中。

凹陷(安裝部的一部分，供電端子安裝於其中)具有的形狀使得具有柱狀或圓筒狀的供電端子的圓形截面的中心點被定位在安裝部內部，且具有柱狀或圓筒狀的供電端子的外周表面的至少一半保持與凹陷接觸。

如圖3所示，切口(凹陷)形成在供電端子固定塊301上，使得供電端子11的圓形截面的中心點111被定位在供電端子固定塊301的內部。藉由沿著供電端子11的柱狀的軸向滑動供電端子11，供電端子11可以安裝到供電端子固定塊301。

藉由簡單地沿著供電端子11的柱狀的軸向滑動供電端子11，使得供電端子11被安裝到供電端子固定塊301，可以想到的是，由於與行進的線組7接觸，所以供電端子11會不期望地旋轉。為了避免供電端子11的旋轉，設置用於固定供電端子11的固定螺釘302。

固定螺釘302穿過形成在供電端子固定塊301中的螺孔來插入，以便與供電端子11接觸，從而固定供電端子11。

固定螺釘302是根據本實施例的第一固定構件的應用之範例，並且是用於沿著朝向安裝部的方向按壓供電端子11以固定供電端子11的構件。

接下來，參考圖4、5、6和7，描述圖1所示的具有供電端子11安裝於其上的供電單元10、以及供電 端子固定塊支撐部402。

圖4是被包含在圖1所示的具有供電端子11安裝於其上的供電單元10中的供電端子固定塊301、以及供電端子固定塊支撐部402的側視圖。

圖5是被包含在圖1所示的具有供電端子11安裝於其上的供電單元10中的供電端子固定塊301、以及供電端子固定塊支撐部402的側視圖，圖5示出了供電端子固定塊支撐部402在保持供電端子11與線組7之間的平行的同時向上移動供電端子固定塊301的狀態。

圖6是示出從上側觀看的具有供電端子11安裝於其上的供電單元10的視圖。圖7是示出從圖1的右側觀看的具有供電端子11安裝於其上的供電單元10的視圖。

如圖4所示，供電單元10包括供電端子固定塊301以及供電端子固定塊支撐部402。

如圖4和6所示，供電端子固定塊301包括用於固定供電端子11的固定螺釘302、高度調整螺釘603、緊固螺釘602、以及用於各個螺釘的螺孔。

此外，如圖4和6所示，供電端子固定塊支撐部402包括絕緣板403、板601、固定螺釘405、包括軸固定部409的槓桿404、軸406、固定螺釘407、以及凸輪408。如圖4、6和7所示，供電端子固定塊支撐部402進一步包括具有用於緊固螺釘602的螺孔的板501、緊固螺釘401、軸604、以及軸406。

儘管供電端子固定塊301被描述為根據本實施例的安裝部的範例，但是供電端子固定塊301和供電端子固定塊支撐部402的組合可以用作根據本實施例的安裝部。

供電端子固定塊支撐部402包括絕緣板403，以避免從電源單元15經由電線供應給供電端子11的電壓洩漏到作為供電單元10的基底的塊19。絕緣板403是包括由絕緣體製成的構件的板。

此外，如圖6所示，供電端子固定塊301和供電端子固定塊支撐部402由緊固螺釘602緊固。

在本實施例中，描述供電單元10的範例，其中，供電端子固定塊301和供電端子固定塊支撐部402形成為獨立的個體，並由螺釘等緊固。然而，供電端子固定塊301和供電端子固定塊支撐部402可以被集成以用作供電單元10。

固定螺釘401成為用於將板601和501彼此緊固並沿著重力方向向上或向下旋轉地移動板501的支撐部(旋轉軸)。

此外，槓桿404被緊固到軸406，軸406藉由固定螺釘407緊固(耦合)到從前側觀看之具有橢圓形狀的凸輪408。

被包括在槓桿404中的軸固定部409(軸固定部409與槓桿404形成為一體)和軸406的每一個都具有用於固定螺釘407的螺孔。藉由固定螺釘407，軸406和 槓桿404被緊固。

此外，固定螺釘405被設置來維持板501在藉由以固定螺釘401作為軸線的旋轉來移動之後的狀態。藉由緊固固定螺釘405，槓桿404被固定。

固定螺釘405是根據本實施例的固定部的應用之範例，並將藉由移動部來移動的安裝部固定到移動後的位置。

軸406被安裝到安裝在前側和後側上的板601的孔中(軸406穿過的孔)。軸406耦合到在截面上具有橢圓形狀的凸輪408。

因此，如圖5所示，當槓桿404以軸406作為軸線向左旋轉時，凸輪408接觸板501，以使得板501以從固定螺釘401到軸604的直線為軸線向左旋轉。結果，供電端子11可以沿著重力方向向上移動。

當凸輪408以軸406為中心旋轉時，固定螺釘405也向左旋轉，如圖5所示。由於固定螺釘405的移動，弧狀槽(未示出)形成在前側的板601中。

槓桿404、軸406、凸輪408、板501和固定螺釘407是根據本實施例的移動部的應用之範例。

如上所述，根據本實施例的移動部在維持由下述的調整部所調整的安裝部的傾角的狀態下，將安裝部移動到安裝於安裝部上的供電端子11接觸線組7的位置(沿著朝向線組7的方向移動安裝部)。

板501藉由緊固螺釘602被緊固到供電端子 固定塊301。

板501是根據本實施例的支撐部的應用之範例，且緊固螺釘602是根據本實施例的緊固部的應用之範例。

緊固螺釘602(緊固部)藉由擰緊來將供電端子固定塊301(安裝部)和用於支撐供電端子固定塊301的板501(支撐部)彼此緊固。

儘管緊固螺釘602不能完全地將供電端子固定塊301和板501彼此固定，但是緊固螺釘602在保持供電端子固定塊301和板501之間的緊固的同時有鬆動。因此，根據向板501按壓高度調整螺釘603的程度，供電端子固定塊301和板501之間的距離可以增加或減少。

緊固螺釘602可以至少在一個位置處將供電端子固定塊301和板501彼此緊固。此外，當緊固螺釘602在多個位置處緊固供電端子固定塊301和板501時，緊固螺釘602的其中一者可以沿著與線組7的行進方向交叉的方向被安裝在遠離另一個緊固螺釘602的至少一位置處。此外，緊固螺釘602可以安裝在供電端子固定塊301和板501中的任何一個，只要供電端子固定塊301和板501能彼此緊固即可。

板601分別安裝在供電端子固定塊支撐部402的前側和後側，並藉由固定螺釘401和軸604被固定到板501。

高度調整螺釘603調整板501和供電端子固 定塊301之間的高度，使得供電端子11與垂直於線組7的行進方向的方向(設置被包括線組7中的線801的複數個匝的寬度方向)平行。高度調整螺釘603是根據本實施例的調整部(軸向調整機構)的應用之範例。

本實施例的調整部沿著與線組7的行進方向交叉的方向調整安裝部的傾角。具體地，調整部調整安裝部相對於被包括在線組7中的線801的複數個匝被設置為平行的方向的傾角。

在沿著與線組7的行進方向交叉的方向彼此遠離的位置，將多個高度調整螺釘603(調整部)安裝到供電端子固定塊301(安裝部)，如圖6等所示。

在高度調整螺釘603於藉由將高度調整螺釘603與形成在供電端子固定塊301中的螺孔嚙合和緊固而移動之後與板501接觸的板501上的位置處，未形成用於高度調整螺釘603的螺孔。因此，藉由緊固高度調整螺釘603，高度調整螺釘603按壓板501來增加和調整供電端子固定塊301和板501之間的距離。

因此，高度調整螺釘603可以沿著與線組7的行進方向交叉的方向在遠離緊固螺釘602的位置處，調整供電端子固定塊301和板501之間的距離，如圖8和9所示。

圖8是從圖1的右側觀看的具有供電端子11安裝於其上的供電單元10的視圖，圖8示出了線組7與供電端子11彼此不平行的狀態。

在圖8中，在前側的線801與供電端子11之間的距離(L2)比在後側的線801與供電端子11之間的距離(L1)短。

因此，通過緊固在後側的高度調整螺釘603，在後側的供電端子固定塊301與板501之間的距離得以增加，使得線組7與供電端子11成為彼此平行。

圖9示出藉由緊固在後側的高度調整螺釘603來增加在後側的供電端子固定塊301與板501之間的距離，使得線組7與供電端子11成為彼此平行的狀態。

圖9是示出從圖1的右側觀看的具有供電端子11安裝於其上的供電單元10的視圖，圖9示出了藉由緊固在後側的高度調整螺釘603來增加在後側的供電端子固定塊301與板501之間的距離，使得線組7與供電端子11成為彼此平行的狀態。在圖9中，在前側的線組7與供電端子11之間的距離和在後側的線組7與供電端子11之間的距離都是相同的距離L2。

在如上所述地使線組7與供電端子11為彼此平行之後，槓桿404如圖5所示向左旋轉。因此，供電端子11和線組7能夠彼此平行地接觸。

接下來，描述供電端子11的變形例。

上面已經在供電端子11是由燒結碳化物1001所製成的前提下描述了供電端子11，如圖10A所示。然而，供電端子11的內部可以被形成為由銅1002或不銹鋼所製成的構件，如圖10B所示。

此外，如圖10C所示，供電端子11的內部可以形成為空(中空1003)。

圖10A至10C是根據複數個模式的供電端子11的側視圖。

圖11A至11C是供電端子11的立體圖(圖11A)、側視圖(圖11B)和俯視圖(圖11C)，供電端子11包括由銅1002或不銹鋼所製成的內部構件以及由燒結碳化物1001所製成的外周部，如圖10B所示。

如圖11A至11C所示，燒結碳化物1001的內部填充有銅1002。銅1002被設置為具有比供電端子11的燒結碳化物1001的軸向長度更長的長度。

如上所述，供電端子11包括由銅1002或不銹鋼所製成的內部構件以及由燒結碳化物1001所製成的外周部，銅1002或不銹鋼相較於燒結碳化物1001較為便宜且具有較低的電阻。以此方式，能夠以低成本製造供電端子11。

圖11A至11C所示的供電端子11是具有柱狀的供電端子。如圖11A至11C所示，具有柱狀的供電端子包括內部構件(由銅1002或不銹鋼所製成的構件)，內部構件具有比供電端子的外周部(燒結碳化物1001)低的電阻。具有較低的電阻的內部構件亦形成在具有柱狀的供電端子的兩個軸向端部。

在本實施例中描述的具有低電阻的構件是由包括銅或不銹鋼的材料所製成。

接下來，圖12A至12C是供電端子11的立體圖(圖12A)、側視圖(圖12B)和俯視圖(圖12C)，供電端子11具有形成為空(中空1003)的內部、以及由燒結碳化物1001所製成外周部，如圖10C所示。圖12A至12C所示的供電端子是具有圓筒狀的供電端子。

當使用上述的具有中空1003的供電端子11時，軸1301被插入到具有圓筒狀的供電端子的內部空間中，如圖13A至13C所示，其中，軸1301是由比燒結碳化物1001便宜且具有較低的電阻的銅1002或不銹鋼所製成的構件。以此方式，可以重複使用被包含在供電端子11中的中心構件(軸1301)。圖13A至13C是供電端子11的立體圖(圖13A)、側視圖(圖13B)和俯視圖(圖13C)，供電端子11具有經由如圖12A至12C所示的其中空1003而插入的軸1301。

即使在參照圖11A至11C所述的這種情況下，仍使用具有比被包含在供電端子中的燒結碳化物1001的軸向長度更長的長度的軸1301。

具體地，軸1301是待插入到具有圓筒狀的供電端子的軸，且軸1301是具有比供電端子的外周部(燒結碳化物1001)的電阻更低的電阻的構件(由銅1002或不銹鋼所製成的構件)。軸1301具有比供電端子11的軸向長度更長的長度。

接下來，描述將上面根據圖11A至11C和13A至13C所示的變形例描述的供電端子11固定到供電 端子固定塊301的方法。

當根據上述變形例的供電端子11被固定到供電端子固定塊301上時，如圖14和15所示，供電端子固定塊301和銅1002或軸1301由供電端子固定螺釘1401緊固。

供電端子固定螺釘1401是根據本實施例的第二固定構件的應用之範例。形成在具有柱狀的供電端子的軸向端部的低電阻構件的兩端或任何一端被沿著朝向待固定到的安裝部的方向按壓。

此外，供電端子固定螺釘1401是根據本實施例的第三固定構件的應用之範例。插入到具有圓筒狀的供電端子的軸的兩端或任何一端被沿著朝向待固定到的安裝部的方向按壓。

以此方式，供電端子11被固定，以避免供電端子11由於線801的行進而旋轉。此外，不需要使用圖3所示的固定螺釘302。因此，能夠降低用固定螺釘302損壞供電端子的外周表面的風險。

圖16A至16C是示出側面具有標記1601的供電端子11的範例的視圖。圖16A是具有標記1601的供電端子11的側視圖，供電端子11由燒結碳化物1001所製成。圖16B是具有標記1601的供電端子11的側視圖，供電端子11包括諸如銅1002的具有低電阻的內部構件。圖16C是具有標記1601的供電端子11的側視圖，供電端子11具有形成為中空1003的內部。

如圖16A至16C所示，標記1601設置在供電端子11的側表面。因此，可以容易地獲得供電端子11的旋轉距離(角度)。

在本實施例中，例如，已經描述了高度調整螺釘603安裝到供電端子固定塊301的範例，如圖8所示。替代地，高度調整螺釘603可以安裝到板501。在此情況下，用於高度調整螺釘603的螺孔形成在板501中，而螺孔並未形成在供電端子固定塊301中。

在此情況下，在高度調整螺釘603於藉由將高度調整螺釘603與形成在板501中的螺孔嚙合和緊固而移動之後與供電端子固定塊301接觸的供電端子固定塊301上的位置處，未形成用於高度調整螺釘603的螺孔。因此，藉由緊固高度調整螺釘603，高度調整螺釘603按壓供電端子固定塊301來增加和調整供電端子固定塊301和板501之間的距離。即使在此情況下，高度調整螺釘603在沿著與線組7的行進方向交叉的方向彼此遠離的位置處被安裝到板501。因此，高度調整螺釘603可以調整安裝部相對於被包括在線組7中的線801的複數個匝被平行設置的方向的傾角。

如上所述，根據本實施例，用於多線切割放電加工設備1的供電單元10包括安裝部和調整部，安裝部上安裝有與線組7接觸的供電端子11，線組7同時包括平行設置的線801的複數個匝，調整部用於沿著與線組7的行進方向交叉的方向調整安裝部的傾角。因此，可以 容易地調整供電端子11與包括平行設置的線的複數個匝的線組7的平行設置。結果，可以減小供電端子11與線組7之間接觸壓力的變化，其中，供電端子11與同時包括平行設置的線801的複數個匝的線組7接觸。

此外，本發明的概念可應用於，例如，系統、設備和方法的實施例。更具體地，本發明的概念可被應用於包括至少一件裝備的設備。

儘管本發明已經參照例示性實施例被描述，但應該理解的是，本發明不限於所揭露的例示性實施例。以下申請專利範圍之範疇應被賦予最寬廣的解釋，以涵蓋所有這樣的變形及等效結構和功能。

7‧‧‧線組

11‧‧‧供電端子

301‧‧‧供電端子固定塊

401‧‧‧緊固螺釘

403‧‧‧絕緣板

404‧‧‧槓桿

406‧‧‧軸

407‧‧‧固定螺釘

408‧‧‧凸輪

501‧‧‧板

601‧‧‧板

602‧‧‧緊固螺釘

603‧‧‧高度調整螺釘

604‧‧‧軸

801‧‧‧線

L2‧‧‧距離

Claims (10)

1. 一種供電單元，用於多線切割放電加工設備，該多線切割放電加工設備被設置成藉由線組與被加工的材料之間所產生的放電來切割該被加工的材料，該線組包括被設置成平行的線的複數個匝，且該供電單元安裝有具有圓筒狀的供電端子，該供電端子的側表面同時與該線組接觸，以對該線組供應電壓，該供電單元包括：安裝部，同時與該線組接觸的該供電端子被安裝於該安裝部；軸，其插入具有該圓筒狀的該供電端子的內部空間，該軸包括構件，該構件具有比該供電端子的電阻更低的電阻、以及具有比該供電端子的軸向長度更長的長度；以及固定構件，其被設置成朝向該安裝部去按壓被插入到具有該圓筒狀的該供電端子的該內部空間的該軸的部分，以將該供電端子固定到該安裝部，該軸的該部分從該內部空間沿著該供電端子的軸向方向突出。
2. 一種供電單元，用於多線切割放電加工設備，該多線切割放電加工設備被設置成藉由線組與被加工的材料之間所產生的放電來切割該被加工的材料，該線組包括被設置成平行的線的複數個匝，且該供電單元安裝有具有柱狀的供電端子，該供電端子的側表面同時與該線組接觸，以對該線組供應電壓，該供電端子包括內部構件，該內部構件具有比該供電端子的外周構件的電阻更低的電阻，該內部構件進一步形 成在具有該柱狀的該供電端子的兩個軸向端部，該供電單元包括：安裝部，同時與該線組接觸的該供電端子被安裝於該安裝部；以及固定構件，其被設置成朝向該安裝部去按壓被形成在具有該柱狀的該供電端子的該兩個軸向端部的該內部構件，以將該供電端子固定到該安裝部。
3. 如申請專利範圍第1或2項所述之供電單元，還包括調整部，該調整部被設置成沿著與該線組的行進方向交叉的方向去調整該安裝部的傾角，以調整被安裝到該安裝部的該供電端子的傾角。
4. 如申請專利範圍第3項所述之供電單元，其中，該供電端子被安裝到該安裝部，使得在該供電單元的軸向方向上被平行地間隔設置的該線的每一匝同時與該供電端子的該側表面接觸，並且該調整部在該供電端子的該軸向方向上使在該供電端子的一側之該安裝部的一側相較於在該供電端子的相對側之該安裝部的相對側向前移動到該線組，以使該供電端子的該一側相較於該供電端子的該相對側向前移動到該線組，使得被安裝到該安裝部的該供電端子的該軸向方向平行於該線的該複數個匝被設置為平行的方向。
5. 如申請專利範圍第4項所述之供電單元，進一步包括：支撐部，被設置成支撐該安裝部； 其中，該調整部使在該安裝部的該一側之該安裝部與該支撐部之間的距離加長超過在該安裝部的該相對側之該安裝部與該支撐部之間的距離，以使該供電端子的該一側相較於該供電端子的該相對側移動朝向該線組。
6. 如申請專利範圍第5項所述之供電單元，進一步包括移動部，該移動部被設置成在保持由該調整部所調整的該安裝部與該支撐部之間的該距離的狀態下，將該支撐部與該安裝部移動朝向該線組，以使在該供電單元的該軸向方向上被平行地間隔設置的該每一線同時與該供電端子的該側表面接觸。
7. 如申請專利範圍第6項所述之供電單元，進一步包括固定部，該固定部被設置成將由該移動部所移動的該支撐部與該安裝部固定在移動後的位置處。
8. 如申請專利範圍第1或2項所述之供電單元，其中，該供電端子被安裝到該安裝部，使得該供電端子的該側表面同時接觸該線組。
9. 如申請專利範圍第1或2項所述之供電單元，其中，具有較低電阻的該內部構件由包括銅和不銹鋼的其中之一的材料所製成。
10. 一種多線切割放電加工設備，包括如申請專利範圍第1或2項所述之供電單元。