TWI579646B - 感光性樹脂組成物、使用其的感光性樹脂膜以及彩色濾光片 - Google Patents

Description

感光性樹脂組成物、使用其的感光性樹脂膜以及彩色濾光片

本申請要求2014年11月17日在韓國智慧財產權局提交的第10-2014-0160355號韓國專利申請的優先權和權益，所述申請的全部內容以引用的方式併入本文中。

本發明涉及感光性樹脂組成物、使用其的感光性樹脂膜以及彩色濾光片。

將感光性樹脂組成物塗布在基底上以形成膜，經由光-輻射通過使用光罩幕等在膜的特定區域中曝光並且經顯影以移除未曝光區域，製造其上具有圖案的感光性樹脂膜。這種感光性樹脂組成物能夠通過輻射光聚合並且固化，並且因此已用於可光固化油墨、感光性印刷板、各種光阻、用於LCD的彩色濾光片光阻、用於樹脂黑色基質的光阻、透明感光材料等等。

由感光性樹脂組成物組成的黏合劑樹脂改進對基底的黏附並且使得感光性樹脂組成物可塗布以及溶解於鹼性顯影溶液中並且能夠形成精細圖案並且同時給予圖案強度，並且因此防止圖案在後處理期間塌陷。此外，黏合劑樹脂對感光性樹脂膜的耐熱性和耐化學性具有較大影響。

然而，因為包含常規黏合劑樹脂的感光性樹脂組成物大多在圖案中留下許多水斑（water spot），並且圖案也具有高錐形角（tapered angle），感光性樹脂組成物在實現精細圖案方面具有困難。因此，已進行對改進黏合劑樹脂的研究。

一個實施例提供一種能夠實現精細圖案的感光性樹脂組成物。

另一個實施例提供一種使用所述感光性樹脂組成物製造的感光性樹脂膜。

又一個實施例提供一種包含所述感光性樹脂膜的彩色濾光片。

一個實施例提供一種感光性樹脂組成物，包含：（A）包含由化學式1表示的重複單元的丙烯醯基類黏合劑樹脂；（B）包含由化學式2-1表示的重複單元和由化學式2-2表示的重複單元的卡哆類（cardo-based）黏合劑樹脂；（C）反應性不飽和化合物；（D）起始劑；（E）著色劑；以及（F）溶劑。 [化學式1][化學式2-1][化學式2-2]在化學式1中， R¹ 是氫或經取代或未經取代的C1到C20烷基， R² 和R³ 各自獨立地是氫、經取代或未經取代的C1到C20烷基、經取代或未經取代的C3到C20環烷基或經取代或未經取代的C6到C20芳基，並且 L¹ 是經取代或未經取代的C1到C20伸烷基， 在化學式2-1和化學式2-2中， R⁴ 、R⁵ 、R¹⁴ 以及R¹⁵ 各自獨立地是氫或由化學式3表示， R⁶ 是包含乙烯系雙鍵的取代基， R⁷ 、R⁸ 、R¹⁷ 以及R¹⁸ 各自獨立地是氫、鹵素原子或經取代或未經取代的C1到C20烷基， Z¹ 和Z¹¹ 各自獨立地由單鍵、O、CO、SO₂ 、CR⁹ R¹⁰ 、SiR¹¹ R¹² （其中R⁹ 到R¹² 各自獨立地是氫或經取代或未經取代的C1到C20烷基）以及由化學式a到化學式k表示的連接基團中選出， Z² 和Z¹² 各自獨立地是酸二酐殘基，並且 n1、m1、n2以及m2各自獨立地是0到4範圍內的整數。 [化學式3]在化學式3中， L^a 是單鍵或經取代或未經取代的C1到C20伸烷基，並且 R^a1 到R^a3 各自獨立地是氫或經取代或未經取代的C1到C20烷基。 [化學式a][化學式b][化學式c][化學式d][化學式e]在化學式e中， R_f 是氫、乙基、C₂ H₄ Cl、C₂ H₄ OH、CH₂ CH=CH₂ 或苯基。 [化學式f][化學式g][化學式h][化學式i][化學式j][化學式k]。

R⁶ 可由化學式4-1或化學式4-2表示。 [化學式4-1]在化學式4-1中， Q是氫或經取代或未經取代的C1到C20烷基。 [化學式4-2]在化學式4-2中， X¹ 到X⁵ 各自獨立地是氫、鹵素、經取代或未經取代的C1到C20烷基、經取代或未經取代的C6到C30芳基、經取代或未經取代的胺基或經取代或未經取代的C1到C20烷氧基，並且 p是0到5範圍內的整數。

卡哆類黏合劑樹脂可在兩個末端中的至少一個處包含由化學式5表示的末端基團。 [化學式5]在化學式5中， Z³ 是由化學式6-1到化學式6-7表示的連接基團中的一個。 [化學式6-1]在化學式6-1中， R^b 和R^c 各自獨立地是氫、經取代或未經取代的C1到C20烷基、酯基或醚基。 [化學式6-2][化學式6-3][化學式6-4][化學式6-5]在化學式6-5中， R^d 是O、S、NH、經取代或未經取代的C1到C20伸烷基、C1到C20烷基胺基或C2到C20烯基胺基。 [化學式6-6][化學式6-7]

可以1:9到9:1的重量比包含丙烯醯基類黏合劑樹脂和卡哆類黏合劑樹脂。

以丙烯醯基類黏合劑樹脂的單體的總量計，可以0.05重量%到30重量%的量包含由化學式1表示的重複單元。

丙烯醯基類黏合劑樹脂的重量平均分子量可為3,000克/莫耳到40,000克/莫耳。

卡哆類黏合劑樹脂的重量平均分子量可為500克/莫耳到50,000克/莫耳。

著色劑可包含顏料、染料或其組合。

起始劑可為光聚合起始劑、自由基聚合起始劑或其組合。

感光性樹脂組成物可包含1重量%到30重量%丙烯醯基類黏合劑樹脂（A）；1重量%到30重量%卡哆類黏合劑樹脂（B）；0.1重量%到10重量%反應性不飽和化合物（C）；0.01重量%到10重量%起始劑（D）；10重量%到40重量%著色劑（E）；以及餘量溶劑（F）。

感光性樹脂組成物可更包含至少一種由以下中選出的添加劑：丙二酸、3-氨基-1,2-丙二醇、具有乙烯基或(甲基)丙烯醯氧基的矽烷類偶合劑、調平劑、氟類表面活性劑以及其混合物。

另一個實施例提供一種使用所述感光性樹脂組成物製造的感光性樹脂膜。

感光性樹脂膜中的圖案的錐形角可為大於或等於20°並且小於60°。

又一個實施例提供一種包含所述感光性樹脂膜的彩色濾光片。

本發明的其它實施例包含在以下具體實施方式中。

感光性樹脂組成物具有對基底的改進的黏附並且因此可有效地塗覆到彩色濾光片。

在下文中，詳細地描述本發明的實施例。然而，這些實施例是例示性的，並且本發明並不限於此。

如本文所用，當不另外提供特定定義時，｢烷基」指C1到C20烷基，術語｢烯基」指C2到C20烯基，術語｢環烯基」指C3到C20環烯基，術語｢雜環烯基」指C3到C20雜環烯基，術語｢芳基」指C6到C20芳基，術語｢芳基烷基」指C7到C20芳基烷基，術語｢伸烷基」指C1到C20伸烷基，術語｢伸芳基」指C6到C20伸芳基，術語｢烷基伸芳基」指C7到C20烷基伸芳基，術語｢伸雜芳基」指C3到C20伸雜芳基，並且術語｢伸烷氧基」指C1到C20伸烷氧基。

如本文所用，當不另外提供特定定義時，｢經取代」指代替至少一個氫，以鹵素原子（F、Cl、Br、I）、羥基、C1到C20烷氧基、硝基、氰基、胺基、亞氨基、疊氮基、甲脒基、肼基、亞肼基、羰基、胺甲醯基、硫醇基、酯基、醚基、甲矽烷基、羧基或其鹽、磺酸基或其鹽、磷酸（如膦酸）或其鹽、C1到C20烷基、C2到C20烯基、C2到C20炔基、C6到C20芳基、C3到C20環烷基、C3到C20環烯基、C3到C20環炔基、C2到C20雜環烷基、C2到C20雜環烯基、C2到C20雜環炔基、C3到C20雜芳基或其組合取代。

如本文所用，當不另外提供特定定義時，術語｢雜」指代替環狀取代基中的至少一個C，經N、O、S以及P的至少一個雜原子取代者。

如本文所用，當不另外提供特定定義時，｢(甲基)丙烯酸酯」指｢丙烯酸酯」和｢甲基丙烯酸酯」兩者，並且｢(甲基)丙烯酸」指｢丙烯酸」和｢甲基丙烯酸」。

如本文所使用，當不另外提供定義時，術語｢組合」指混合或共聚。

如本文所用，除非另外提供特定定義，否則當未繪製化學鍵時，氫原子鍵結在應該給定的位置處。

如本文所用，當不另外提供特定定義時，卡哆類樹脂指在主鏈中包含由化學式a到化學式k表示的連接基團中的至少一個的樹脂。

如本文中所用，當不另外提供特定定義時，｢*」指示其中連接相同或不同原子或化學式的點。

根據一個實施例的感光性樹脂組成物包含：（A）包含由化學式1表示的重複單元的丙烯醯基類黏合劑樹脂；（B）包含由化學式2-1表示的重複單元和由化學式2-2表示的重複單元的卡哆類黏合劑樹脂；（C）反應性不飽和化合物；（D）起始劑；（E）著色劑；以及（F）溶劑。丙烯醯基類黏合劑樹脂包含由化學式1表示的重複單元並且可改進感光性樹脂組成物對基底的黏附，並且卡哆類黏合劑樹脂包含由化學式2-1和化學式2-2表示的重複單元並且可在固化製程期間改進表面硬度，提供具有具極好顯影容限（development margin）並且維持低錐形角的精細圖案的感光性樹脂膜和彩色濾光片。

在下文中，詳細地描述每種組分。 （A）丙烯醯基類黏合劑樹脂

丙烯醯基類黏合劑樹脂包含由化學式1表示的重複單元。 [化學式1]在化學式1中， R¹ 是氫或經取代或未經取代的C1到C20烷基， R² 和R³ 各自獨立地是氫、經取代或未經取代的C1到C20烷基、經取代或未經取代的C3到C20環烷基或經取代或未經取代的C6到C20芳基，並且 L¹ 是經取代或未經取代的C1到C20伸烷基。

一般來說，感光性樹脂組成物在顯影之後形成的圖案中留下水斑。因此，已經通過使用包含由化學式X表示的重複單元的丙烯醯基類黏合劑樹脂增加接觸角來進行解決水斑問題的嘗試。 [化學式X]在化學式X中， R¹⁰¹ 和R¹⁰² 各自獨立地是氫或C1到C20烷基。

然而，包含由化學式X表示的重複單元的丙烯醯基類黏合劑樹脂可在一定程度上解決水斑問題但顯示對基底的劣化的黏附並且超出必要地增加圖案的錐形角。

相反地，根據一個實施例，丙烯醯基類黏合劑樹脂包含由化學式1表示的重複單元並且因此可使水斑的產生最小化，並且同時改進對基底的黏附並且因此維持在顯影之後形成的圖案的小錐形角。

以丙烯醯基類黏合劑樹脂的單體的總量計，可以0.05重量%到30重量%，例如1重量%到20重量%，例如5重量%到15重量%的量包含由化學式1表示的重複單元。當由化學式1表示的重複單元在以丙烯醯基類黏合劑樹脂的單體總量計的範圍內時，可改進對基底的黏附和顯影性。

丙烯醯基類黏合劑樹脂是包含以下的共聚物：（a）由化學式1表示的重複單元；（b）包含至少一個羧基的乙烯系不飽和單體；以及（c）可與其共聚的其它乙烯系不飽和單體。

舉例來說，丙烯醯基類黏合劑樹脂是包含以下的共聚物：0.05重量%到30重量%的（a）由化學式1表示的重複單元；10重量%到30重量%的（b）包含至少一個羧基的乙烯系不飽和單體；以及60重量%到80重量%的（c）可與包含至少一個羧基的乙烯系不飽和單體共聚的其它乙烯系不飽和單體。

具有羧基的乙烯系不飽和單體可為例如（但不限於）丙烯酸、甲基丙烯酸、順丁烯二酸、衣康酸、反丁烯二酸等中的一個或多個。

可與包含至少一個羧基的乙烯系不飽和單體共聚的其它乙烯系不飽和單體可為例如（但不限於）烯基芳香族化合物，如苯乙烯、α-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯以及乙烯基苯甲基甲醚；不飽和碳酸酯化合物，如丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸2-羥基乙酯、甲基丙烯酸2-羥基乙酯、丙烯酸2-羥基丁酯、甲基丙烯酸2-羥基丁酯、丙烯酸苯甲酯、甲基丙烯酸苯甲酯、丙烯酸環己酯、甲基丙烯酸環己酯、丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苯酯以及三環癸烷甲基丙烯酸酯；不飽和碳酸氨基烷基酯化合物，如丙烯酸2-氨基乙酯、N-苯基順丁烯二醯亞胺、乙二醇甲基丙烯酸酯、聚戊內酯甲基丙烯酸酯、N-乙烯吡咯烷酮、甲基丙烯酸2-氨基乙酯、丙烯酸2-二甲基氨基乙酯以及甲基丙烯酸2-二甲基氨基乙酯；碳酸乙烯酯化合物，如乙酸乙烯酯和苯甲酸乙烯酯；不飽和碳酸縮水甘油酯化合物，如丙烯酸縮水甘油酯和甲基丙烯酸縮水甘油酯；乙烯基氰化合物，如丙烯腈和甲基丙烯腈；不飽和醯胺化合物，如丙烯醯胺和甲基丙烯醯胺。

黏合劑樹脂的重量平均分子量可為3,000克/莫耳到40,000克/莫耳，例如9600克/莫耳到40,000克/莫耳。當黏合劑樹脂的重量平均分子量在所述範圍內時，可獲得極好顯影性。

以感光性樹脂組成物的總量計，可以1重量%到30重量%，例如1重量%到20重量%，例如1重量%到10重量%的量包含丙烯醯基類黏合劑樹脂。當包含在所述範圍內的丙烯醯基類黏合劑樹脂時，鹼性顯影溶液的顯影性改進，由於良好交聯表面粗糙度減少，並且由於良好耐化學性不剝離圖案。 （B）卡哆類黏合劑樹脂

卡哆類黏合劑樹脂包含由化學式2-1表示的重複單元和由化學式2-2表示的重複單元。 [化學式2-1][化學式2-2]在化學式2-1和化學式2-2中， R⁴ 、R⁵ 、R¹⁴ 以及R¹⁵ 各自獨立地是氫或由化學式3表示， R⁶ 是包含乙烯系雙鍵的取代基， R⁷ 、R⁸ 、R¹⁷ 以及R¹⁸ 各自獨立地是氫、鹵素原子或經取代或未經取代的C1到C20烷基， Z¹ 和Z¹¹ 各自獨立地由單鍵、O、CO、SO₂ 、CR⁹ R¹⁰ 、SiR¹¹ R¹² （其中R⁹ 到R¹² 各自獨立地是氫或經取代或未經取代的C1到C20烷基）以及由化學式a到化學式k表示的連接基團中選出， Z² 和Z¹² 各自獨立地是酸二酐殘基，並且 n1、m1、n2以及m2各自獨立地是0到4範圍內的整數。 [化學式3]在化學式3中， L^a 是單鍵或經取代或未經取代的C1到C20伸烷基， R^a1 到R^a3 各自獨立地是氫或經取代或未經取代的C1到C20烷基。 [化學式a][化學式b][化學式c][化學式d][化學式e]在化學式e中， R_f 是氫、乙基、C₂ H₄ Cl、C₂ H₄ OH、CH₂ CH=CH₂ 或苯基。 [化學式f][化學式g][化學式h][化學式i][化學式j][化學式k]

舉例來說，R⁶ 可由化學式4-1或化學式4-2表示。 [化學式4-1]在化學式4-1中， Q是氫或經取代或未經取代的C1到C20烷基。 [化學式4-2]在化學式4-2中， X¹ 到X⁵ 各自獨立地是氫、鹵素、經取代或未經取代的C1到C20烷基、經取代或未經取代的C6到C30芳基、經取代或未經取代的胺基或經取代或未經取代的C1到C20烷氧基，並且 p是0到5範圍內的整數。

卡哆類黏合劑樹脂包含由化學式4-1或化學式4-2表示的取代基並且可在固化（例如光固化）期間改進表面硬度。原因是由化學式4-1或化學式4-2表示的取代基包含乙烯基並且提供固化位點。

此外，卡哆類黏合劑樹脂包含由化學式4-1或化學式4-2表示的取代基並且可實現極好解析度以及表面硬度。

可通過使由化學式7表示的化合物與四羧酸二酐反應獲得卡哆類黏合劑樹脂。 [化學式7]

四羧酸二酐可為芳香族四羧酸二酐。芳香族四羧酸二酐的實例可為（但不限於）苯均四酸二酐、3,3',4,4'-聯苯四甲酸二酐、2,3,3',4-聯苯四甲酸二酐、2,2',3,3'-聯苯四甲酸二酐、3,3',4,4'-二苯甲酮四甲酸二酐、3,3',4,4'-聯苯醚四甲酸二酐、3,3',4,4'-二苯碸四甲酸二酐、1,2,3,4-環戊烷四甲酸二酐、1,2,5,6-萘四甲酸二酐、2,3,6,7-萘四甲酸二酐、1,4,5,8-萘四甲酸二酐、2,3,5,6-吡啶四甲酸二酐、3,4,9,10-苝四甲酸二酐、2,2-雙(3,4-二羧基苯基)六氟丙烷二酐等。

卡哆類黏合劑樹脂可在兩個末端中的至少一個處包含由化學式5表示的末端基團。 [化學式5]在化學式5中， Z³ 是由化學式6-1到化學式6-7表示的連接基團中的一個。 [化學式6-1]在化學式6-1中， R^b 和R^c 各自獨立地是氫、經取代或未經取代的C1到C20烷基、酯基或醚基。 [化學式6-2][化學式6-3][化學式6-4][化學式6-5]在化學式6-5中， R^d 是O、S、NH、經取代或未經取代的C1到C20伸烷基、C1到C20烷基胺基或C2到C20烯基胺基。 [化學式6-6][化學式6-7]

卡哆類黏合劑樹脂的重量平均分子量可為500克/莫耳到50,000克/莫耳，並且具體地說500克/莫耳到10,000克/莫耳。當卡哆類黏合劑樹脂的重量平均分子量在所述範圍內時，可獲得極好圖案化特性和顯影性。

以感光性樹脂組成物的總量計，可以1重量%到30重量%，例如1重量%到20重量%，例如1重量%到10重量%的量包含卡哆類黏合劑樹脂。當包含在所述範圍內的卡哆類黏合劑樹脂時，改進圖案化特性、可處理性以及顯影性。

可以1:9到9:1，例如1:5到5:1，例如1:3到3:1的重量比包含丙烯醯基類黏合劑樹脂和卡哆類黏合劑樹脂。

當卡哆類樹脂和丙烯醯基類樹脂包含在所述重量比範圍內時，可形成具有降低的錐形角以及維持極好顯影性和敏感性的精細圖案，並且還可防止底切（undercut）。 （C）反應性不飽和化合物

反應性不飽和化合物是感光性樹脂組成物中的一般使用的單體或寡聚物，並且可為包含至少一個乙烯系不飽和雙鍵的(甲基)丙烯酸的單官能或多官能酯。

反應性不飽和化合物具有乙烯系不飽和雙鍵，並且因此，在圖案形成過程中曝光期間可引起足夠聚合並且形成具有極好耐熱性、耐光性以及耐化學性的圖案。

反應性不飽和化合物的特定實例可為乙二醇二丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、二乙二醇二丙烯酸酯、三乙二醇二丙烯酸酯、三乙二醇二甲基丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯、1,6-己二醇二甲基丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、雙酚A環氧基丙烯酸酯、乙二醇單甲醚丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、磷酸三丙烯醯氧基乙酯等。

反應性不飽和化合物的市售實例如下。單官能(甲基)丙烯酸酯可包含阿尼克斯（Aronix）M-101^® 、M-111^® 、M-114^® （東亞合成化學工業株式會社（Toagosei Chemistry Industry Co., Ltd.））；卡亞雷德（KAYARAD）TC-110S^® 、TC-120S^® （日本化藥株式會社（Nippon Kayaku Co., Ltd.）；V-158^® 、V-2311^® （大阪有機化學工業株式會社（Osaka Organic Chemical Ind., Ltd.））等。雙官能(甲基)丙烯酸酯的實例可包含阿尼克斯M-210^® 、M-240^® 、M-6200^® （東亞合成化學工業株式會社）；卡亞雷德HDDA^® 、HX-220^® 、R-604^® （日本化藥株式會社）；V-260^® 、V-312^® 、V-335 HP^® （大阪有機化學工業株式會社）等。三官能(甲基)丙烯酸酯的實例可包含阿尼克斯M-309^® 、M-400^® 、M-405^® 、M-450^® 、M-7100^® 、M-8030^® 、M-8060^® （東亞合成化學工業株式會社）；卡亞雷德TMPTA^® 、DPCA-20^® 、DPCA-30^® 、DPCA-60^® 、DPCA-120^® （日本化藥株式會社）、V-295^® 、V-300^® 、V-360^® 、V-GPT^® 、V-3PA^® 、V-400^® （大阪由岐化藥大生株式會社（Osaka Yuki Kayaku Kogyo Co. Ltd.））等。這些可單獨或以兩者或多於兩者的混合物形式使用。

反應性不飽和化合物可用酸酐處理來改進顯影性。

以感光性樹脂組成物的總量計，可以0.1重量%到10重量%，例如0.5重量%到5重量%的量包含反應性不飽和化合物。當包含在所述範圍內的反應性不飽和化合物時，反應性不飽和化合物在圖案形成過程中曝光期間充分固化並且具有極好可靠性，圖案的耐熱性、耐光性以及耐化學性改進，並且解析度和對基底的黏附改進。 （D）起始劑

起始劑可為光聚合起始劑、自由基聚合起始劑或其組合。

光聚合起始劑是感光性樹脂組成物中的一般使用的起始劑，並且可為例如苯乙酮類化合物、二苯甲酮類化合物、噻噸酮類化合物、安息香類化合物、肟類化合物或其組合。

苯乙酮類化合物的實例可為2,2'-二乙氧基苯乙酮、2,2'-二丁氧基苯乙酮、2-羥基-2-甲基苯丙酮、對叔丁基三氯苯乙酮、對叔丁基二氯苯乙酮、4-氯苯乙酮、2,2'-二氯-4-苯氧基苯乙酮、2-甲基-1-(4-(甲硫基)苯基)-2-嗎啉基丙-1-酮、2-苯甲基-2-二甲氨基-1-(4-嗎啉基苯基)-丁-1-酮等。

二苯甲酮類化合物的實例可為二苯甲酮、苯甲酸苯甲醯酯、苯甲酸苯甲醯酯甲酯（benzoyl methyl benzoate）、4-苯基二苯甲酮、羥基二苯甲酮、丙烯酸化二苯甲酮、4,4'-雙(二甲氨基)二苯甲酮、4,4'-雙(二乙氨基)二苯甲酮、4,4'-二甲氨基二苯甲酮、4,4'-二氯二苯甲酮、3,3'-二甲基-2-甲氧基二苯甲酮等。

噻噸酮類化合物的實例可為噻噸酮、2-甲基噻噸酮、異丙基噻噸酮、2,4-二乙基噻噸酮、2,4-二異丙基噻噸酮、2-氯噻噸酮等。

安息香類化合物的實例可為安息香、安息香甲醚、安息香乙醚、安息香異丙醚、安息香異丁醚、苯甲基二甲基縮酮等。

三嗪類化合物的實例可為2,4,6-三氯-s-三嗪、2-苯基-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-(3',4'-二甲氧基苯乙烯基)-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4'-甲氧基萘基)-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-(對甲氧苯基)-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-(對甲苯基)-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-聯苯-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、雙(三氯甲基)-6-苯乙烯基-s-三嗪、2-(萘酚-基)-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-甲氧基萘酚-基)-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-4-雙(三氯甲基)-6-胡椒基-s-三嗪、2-4-雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯乙烯基)-s-三嗪等。

肟類化合物的實例可為O-醯基肟類化合物、2-(O-苯甲醯基肟)-1-[4-(苯硫基)苯基]-1,2-辛二酮、1-(O-乙醯肟)-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲醯基)-9H-哢唑-3-基]乙酮、O-乙氧羰基-α-氧氨基-1-苯基丙-1-酮等。O-醯基肟類化合物的實例可為1,2-辛二酮、2-二甲氨基-2-(4-甲基苯甲基)-1-(4-嗎啉-4-基-苯基)-丁-1-酮、1-(4-苯硫基苯基)-丁-1,2-二酮2-肟-O-苯甲酸酯、1-(4-苯硫基苯基)-辛-1,2-二酮2-肟-O-苯甲酸酯、1-(4-苯硫基苯基)-辛-1-酮肟-O-乙酸酯、1-(4-苯硫基苯基)-丁-1-酮肟-O-乙酸酯等。

除所述化合物之外，光聚合起始劑可更包含哢唑類化合物、二酮類化合物、硼酸鋶類化合物、重氮類化合物、咪唑類化合物、聯咪唑類化合物等。

自由基聚合起始劑可為過氧化物類化合物、偶氮雙類化合物。

過氧化物類化合物的實例可為酮過氧化物，如過氧化甲基乙基酮、過氧化甲基異丁基酮、過氧化環己酮、過氧化甲基環己酮、過氧化乙醯基丙酮；二醯基過氧化物，如過氧化異丁醯、過氧化2,4-二氯苯甲醯、過氧化鄰甲基苯甲醯以及過氧化雙-3,5,5-三甲基己醯；氫過氧化物，如2,4,4,-三甲基戊基-2-氫過氧化物、二異丙基苯氫過氧化物、異丙苯氫過氧化物以及叔丁基氫過氧化物；二烷基過氧化物，如過氧化二異丙苯、2,5-二甲基-2,5-二(叔丁基過氧基)己烷、1,3-雙(叔丁氧基異丙基)苯以及叔丁基過氧基戊酸正丁酯；烷基過酸酯，如過氧基苯氧基乙酸2,4,4-三甲基苯酯、過氧基新癸酸α-異丙苯酯、過氧基苯甲酸叔丁酯以及過氧基三甲基己二酸二叔丁酯；以及過碳酸酯，如過氧基二碳酸二-3-甲氧基丁酯、過氧基二碳酸二-2-乙基己酯、過氧基二碳酸雙-4-叔丁基環己酯、過氧基二碳酸二異丙酯、乙醯基環己基磺醯基過氧化物以及過氧基芳基碳酸叔丁酯。

偶氮雙類化合物的實例可為1,1'-偶氮雙環己烷-1-甲腈、2,2'-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)、2,2,-偶氮雙(甲基異丁酸酯)、2,2'-偶氮雙(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)、α,α'-偶氮雙(異丁腈)以及4,4'-偶氮雙(4-氰基戊酸)等。

起始劑可與能夠通過吸收光並且變成激發態然後轉移其能量來引起化學反應的光敏劑一起使用。

光敏劑的實例可為四乙二醇雙-3-巰基丙酸酯、季戊四醇四-3-巰基丙酸酯、二季戊四醇四-3-巰基丙酸酯等。

以感光性樹脂組成物的總量計，可以0.01重量%到10重量%，例如0.1重量%到5重量%的量包含起始劑。當包含在所述範圍內的起始劑時，由於在圖案形成過程中曝光期間充分固化，可確保極好可靠性，圖案可具有極佳解析度和緊密接觸特性以及極好耐熱性、耐光性以及耐化學性，並且由於非反應起始劑，可防止透射率劣化。 （E）著色劑

著色劑可為顏料、染料或其組合，並且顏料可包含有機顏料和無機顏料。

顏料可為紅色顏料、綠色顏料、藍色顏料、黃色顏料、黑色顏料或其組合。

紅色顏料的實例可為C.I.紅色顏料254、C.I.紅色顏料255、C.I.紅色顏料264、C.I.紅色顏料270、C.I.紅色顏料272、C.I.紅色顏料177、C.I.紅色顏料89等。綠色顏料的實例可為C.I.綠色顏料58、C.I.綠色顏料36、C.I.綠色顏料7等。藍色顏料的實例可為銅酞菁顏料，如C.I.藍色顏料15:6、C.I.藍色顏料15、C.I.藍色顏料15:1、C.I.藍色顏料15:2、C.I.藍色顏料15:3、C.I.藍色顏料15:4、C.I.藍色顏料15:5以及C.I.藍色顏料16。黃色顏料的實例可為異吲哚啉類顏料，如C.I.黃色顏料139；喹啉黃類顏料，如C.I.黃色顏料138；鎳絡合物顏料，如C.I.黃色顏料150。黑色顏料的實例可為苯胺黑、苝黑、鈦黑、碳黑等。顏料可單獨或以兩者或多於兩者的混合物形式使用，但不限於此。

感光性樹脂組成物可更包含分散劑以便改進顏料的分散。確切地說，顏料可用分散劑表面預處理，或顏料和分散劑可在製備感光性樹脂組成物期間一起添加。即感光性樹脂組成物中的著色劑可為顏料分散體（包含顏料和分散劑的溶劑，並且所述溶劑與隨後所描述相同）。

分散劑可為非離子分散劑、陰離子分散劑、陽離子分散劑等。分散劑的特定實例可為聚伸烷基二醇和其酯、聚氧化烯、多元醇酯環氧烷加成產物、醇環氧烷加成產物、磺酸酯、磺酸鹽、羧酸酯、羧酸鹽、烷基醯胺環氧烷加成產物、烷基胺等，並且其可單獨或以兩者或多於兩者的混合物形式使用。

分散劑的市售實例可包含德國畢克有限公司（BYK Co., Ltd.）製造的迪斯畢克（DISPERBYK）-101、迪斯畢克-130、迪斯畢克-140、迪斯畢克-160、迪斯畢克-161、迪斯畢克-162、迪斯畢克-163、迪斯畢克-164、迪斯畢克-165、迪斯畢克-166、迪斯畢克-170、迪斯畢克-171、迪斯畢克-182、迪斯畢克-2000、迪斯畢克-2001等；埃夫卡化學品公司（EFKA Chemicals Co.）製造的埃夫卡-47、埃夫卡-47EA、埃夫卡-48、埃夫卡-49、埃夫卡-100、埃夫卡-400、埃夫卡-450等；澤內卡公司（Zeneka Co.）製造的索斯波斯（Solsperse）5000、索斯波斯12000、索斯波斯13240、索斯波斯13940、索斯波斯17000、索斯波斯20000、索斯波斯24000GR、索斯波斯27000、索斯波斯28000等；或味之素株式會社（Ajinomoto Inc）製造的PB711、PB821等。

以感光性樹脂組成物的總重量計，可以0.1重量%到15重量%的量包含分散劑。當包含在所述範圍內的分散劑時，感光性樹脂組成物具有極好分散特性並且因此可形成具有極好穩定性、顯影性以及圖案形成能力的光阻擋層。

顏料可使用水溶性無機鹽和潤濕劑預處理。當預處理顏料時，顏料的初始粒子可變得更精細。

可通過捏合顏料與水溶性無機鹽以及潤濕劑，然後過濾並且洗滌捏合的顏料來進行預處理。

捏合可在40℃到100℃範圍內的溫度下進行，並且可通過在用水等洗去無機鹽之後過濾顏料來進行過濾和洗滌。

水溶性無機鹽的實例可為（但不限於）氯化鈉、氯化鉀等。潤濕劑可使顏料與水溶性無機鹽均勻混合並且被粉碎。潤濕劑的實例包含烷二醇單烷基醚，如乙二醇單乙醚、丙二醇單甲醚、二乙二醇單甲醚等；和醇，如乙醇、異丙醇、丁醇、己醇、環己醇、乙二醇、二乙二醇、聚乙二醇、丙三醇聚乙二醇等。這些可單獨或以兩者或多於兩者的混合物形式使用。

在捏合之後顏料的平均粒子直徑可在30納米到100納米範圍內。當顏料的平均粒子直徑在所述範圍內時，可有效形成具有極好耐熱性和耐光性的精細圖案。

以感光性樹脂組成物的總量計，可以10重量%到40重量%，例如15重量%到40重量%的量包含著色劑（例如顏料分散體）。當包含在所述範圍內的顏料時，可獲得具有極好顏色再現性、固化特性以及緊密接觸特性的圖案。 （F）溶劑

溶劑是與丙烯醯基類黏合劑樹脂、卡哆類黏合劑樹脂、反應性不飽和化合物、起始劑以及著色劑具有相容性，但不與其反應的物質。

溶劑的實例可包含醇，如甲醇、乙醇等；醚，如二氯乙醚、正丁醚、二異戊醚、甲基苯醚、四氫呋喃等；二醇醚，如乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚等；乙二醇乙酸乙醚，如甲基乙二醇乙酸乙醚、乙基乙二醇乙酸乙醚、二乙基乙二醇乙酸乙醚等；卡必醇（carbitol），如甲基乙基卡必醇、二乙基卡必醇、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲基乙醚、二乙二醇乙醚等；丙二醇烷基醚乙酸酯，如丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇丙醚乙酸酯等；芳香族烴，如甲苯、二甲苯等；酮，如甲基乙基酮、環己酮、4-羥基-4-甲基-2-戊酮、甲基-正丙酮、甲基-正丁酮、甲基-正戊酮、2-庚酮等；飽和脂肪族單羧酸烷基酯，如乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯等；乳酸酯，如乳酸甲酯、乳酸乙酯等；氧基乙酸烷基酯，如氧基乙酸甲酯、氧基乙酸乙酯、氧基乙酸丁酯等；烷氧基乙酸烷基酯，如甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯等；3-氧基丙酸烷基酯，如3-氧基丙酸甲酯、3-氧基丙酸乙酯等；3-烷氧基丙酸烷基酯，如3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯等；2-氧基丙酸烷基酯，如2-氧基丙酸甲酯、2-氧基丙酸乙酯、2-氧基丙酸丙酯等；2-烷氧基丙酸烷基酯，如2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸甲酯等；2-氧基-2-甲基丙酸酯，如2-氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-氧基-2-甲基丙酸乙酯等；2-烷氧基-2-甲基丙酸烷基酯的單氧基單羧酸烷基酯，如2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯等；酯，如丙酸2-羥基乙酯、丙酸2-羥基-2-甲基乙酯、乙酸羥基乙酯、丁酸2-羥基-3-甲基甲酯等；酮酸酯，如丙酮酸乙酯等。另外，還可使用高沸點溶劑，如N-甲基甲醯胺、N,N-二甲基甲醯胺、N-甲基甲醯苯胺、N-甲基乙醯胺、N,N-二甲基乙醯胺、N-甲基吡咯烷酮、二甲亞碸、苯甲基乙醚、二己醚、乙醯丙酮、異佛爾酮、己酸、辛酸、1-辛醇、1-壬醇、苯甲醇、乙酸苯甲酯、苯甲酸乙酯、草酸二乙酯、順丁烯二酸二乙酯、γ-丁內酯、碳酸乙烯酯、碳酸丙烯酯、苯基乙二醇乙酸乙醚等。

考慮到互溶性和反應性，可優選地使用二醇醚，如乙二醇單乙醚等；乙二醇烷基醚乙酸酯，如乙基乙二醇乙酸乙醚等；酯，如丙酸2-羥基乙酯等；卡必醇，如二乙二醇單甲醚等；丙二醇烷基醚乙酸酯，如丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇丙醚乙酸酯等。

溶劑以餘量，並且具體地說以感光性樹脂組成物的總量計10重量%到80重量%使用。當包含在所述範圍內的溶劑時，感光性樹脂組成物可具有適當黏度，引起塗層特徵改進。 （G）其它添加劑

感光性樹脂組成物可更包含其它添加劑，如丙二酸；3-氨基-1,2-丙二醇；包含乙烯基或(甲基)丙烯醯氧基的偶合劑；調平劑；表面活性劑；自由基聚合起始劑，以便在塗布期間防止污點或斑點，調節調平，或防止圖案由於未顯影而殘留。可取決於所需特性控制添加劑的量。

矽烷類偶合劑的特定實例可為乙烯基三甲氧基矽烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基矽烷)、3-縮水甘油氧基丙基三甲氧基矽烷、2-(3,4-環氧基環己基)乙基三甲氧基矽烷、3-氯丙基甲基二甲氧基矽烷、3-氯丙基三甲氧基矽烷、3-甲基丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷、3-巰基丙基三甲氧基矽烷等。以用於彩色濾光片的感光性樹脂組成物的總量計，可以0.01重量%到2重量%的量包含矽烷類偶合劑。當包含在以上範圍內的矽烷類偶合劑時，可改進黏附性、儲存穩定性以及塗布特性。

氟類表面活性劑可為具有氟碳主鏈等的表面活性劑。氟類表面活性劑可包含住友3M株式會社（SUMITOMO 3M CO., LTD.）的弗洛雷德（FULORAD）FC430和弗洛雷德FC431；大日本油墨化學工業株式會社（DAINIPPON INK KAGAKU KOGYO CO., LTD.）的麥格菲斯（MEGAFACE）F142D、麥格菲斯F171、麥格菲斯F172、麥格菲斯F173、麥格菲斯F177、麥格菲斯F183、麥格菲斯F470、麥格菲斯F475、麥格菲斯R30；得克姆產品有限公司（TOCHEM RODUCTS, CO., LTD.）的伊夫妥（EFTOP）EF301、伊夫妥EF303、伊夫妥EF351以及伊夫妥EF352；旭硝子玻璃株式會社（ASAHI GLASS CO., LTD.）的索龍（SURFLON）S381、索龍S382、索龍SC101以及索龍SC105；迪金精細化學實驗室（DIKIN Finechemical Laboratory）的E5844，等。

此外，除非添加劑使感光性樹脂組成物的特性劣化，否則感光性樹脂組成物可包含預定量的其它添加劑，如抗氧化劑、穩定劑等。

根據另一個實施例，提供一種使用感光性樹脂組成物製造的感光性樹脂膜。感光性樹脂膜可如下製造。 （1）塗覆和膜形成

使用旋塗或狹縫塗布方法、滾塗方法、絲網印刷方法、塗覆器方法等在經歷預定預處理的基底上塗布感光性樹脂組成物到具有所需厚度，例如0.5微米到25微米範圍內的厚度。然後，在70℃到110℃範圍內的溫度下加熱經塗布的基底1分鐘到10分鐘以移除溶劑。 （2）曝光

在放置具有預定形狀的罩幕之後通過190納米到500納米的活性射線輻射所得膜以形成所需圖案。

通過使用如具有低壓、高壓或超高壓的汞燈、金屬鹵化物燈、氬氣雷射器等的光源進行輻射。還可取決於情況使用X射線、電子束等。

當使用高壓汞燈時，曝光製程使用例如500毫焦/平方釐米或小於500毫焦/平方釐米的光劑量（使用365納米感測器）。然而，光劑量可取決於感光性樹脂組成物的每種組分的種類、其組合比以及乾膜厚度而變化。 （3）顯影

曝光製程後，使用鹼性水溶液通過溶解和移出除曝光部分之外的不必要部分使曝光膜顯影，形成圖像圖案。 （4）後處理

顯影圖像圖案可再次加熱或通過活性射線輻射等以固化，以便實現在耐熱性、耐光性、緊密接觸特性、抗裂性、耐化學性、高強度、儲存穩定性等方面的極好品質。

通過使用上述感光性樹脂組成物形成的感光性樹脂膜可顯示在大於或等於20°到小於60°，例如大於或等於30°到小於60°範圍內的圖案的穩定錐形角以及在UV曝光期間具有高表面敏感性，因此，防止產生水斑並且實現精細圖案，所述錐形角取決於曝光劑量。

確切地說，當顯影壓力和洗滌壓力大於或等於1.5千克力時，圖案的末端裂開並且形成大於或等於60°的高錐形角，但在大於或等於1.5千克力的顯影壓力和洗滌壓力下，感光性樹脂膜可維持小於60°的錐形角。

原因是包含由化學式1表示的重複單元的丙烯醯基類黏合劑樹脂改進對基底的黏附，並且包含由化學式2-1和化學式2-2表示的重複單元的卡哆類黏合劑樹脂產生極好表面硬度。

在下文中，參考實例更詳細地說明本發明。然而，這些實例在任何意義上都不解釋為限制本發明的範圍。 （丙烯醯基類黏合劑樹脂的製備） 製備實例1

用下表1中提供的組成物製備重量平均分子量是9,700克/莫耳的丙烯醯基類黏合劑樹脂。 製備比較例1

用下表1中提供的組成物製備重量平均分子量是9,500克/莫耳的丙烯醯基類黏合劑樹脂。 [表1] （單位：重量%） （在表1中，磷酸酯類單體由化學式Y表示。 [化學式Y]） （卡哆類黏合劑樹脂的製備） 製備實例2

（1）通過以下合成由化學式7表示的化合物：將138克9,9'-雙(4-縮水甘油氧基苯基)芴（由希爾化學（Hear chem）製造）、54克丙烯酸、1.4克苯甲基三乙基氯化銨（大中化學和金屬株式會社（Daejung Chemicals & Metals Co., Ltd.））、1克三苯基膦（西格瑪-奧德里奇有限公司（Sigma-Aldrich Co. Ltd.））、128克丙二醇乙酸甲基乙酯（大賽璐化學株式會社（Daicel Chemical Corp.））以及0.5克氫醌放置在反應器中，加熱反應器直到120℃並且維持其12小時。 [化學式7]

（2）通過以下合成由化學式8表示的化合物：將60克由化學式7表示的化合物、11克聯苯四甲酸二酐（三菱瓦斯化學株式會社（Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.））、3克四氫鄰苯二甲酸酐（西格瑪-奧德里奇有限公司）、20克丙二醇乙酸甲基乙酯（大賽璐化學株式會社）以及0.1克N,N'-四甲基亞氯酸銨放置在反應器中，加熱反應器直到120℃並且維持其2小時。由化學式8表示的化合物的重量平均分子量是5,400克/莫耳。 [化學式8]

（3）通過以下合成由化學式9表示的化合物：將75克由化學式8表示的化合物、10克甲基丙烯酸縮水甘油酯以及0.4克三苯基膦（西格瑪-奧德里奇有限公司）放置在反應器中，加熱反應器直到100℃並且維持其3小時。由化學式9表示的化合物的重量平均分子量是5,600克/莫耳。 [化學式9]在化學式9中，v1:v2是60:40。 （感光性樹脂組成物的製備） 實例1和實例2與比較例1和比較例2

通過使用以下組分製備根據實例1和實例2與比較例1和比較例2的感光性樹脂組成物，其中每種組成物提供於下表2中。

確切地說，將起始劑溶解於溶劑中，在室溫下攪動溶液2小時，將黏合劑樹脂和反應性不飽和化合物添加到其中，並且在室溫下攪動混合物2小時。然後，將著色劑和矽烷偶合劑添加到所獲得的反應物中，並且在室溫下攪動所獲得的混合物1小時。隨後，將從其獲得的產物過濾三次以移除雜質，製備感光性樹脂組成物。 （A）丙烯醯基類黏合劑樹脂 （A-1）製備實例1的丙烯醯基類黏合劑樹脂 （A-2）製備比較例1的丙烯醯基類黏合劑樹脂 （B）卡哆類黏合劑樹脂 （B-1）製備實例2的卡哆類黏合劑樹脂 （C）反應性不飽和化合物 （C-1）二季戊四醇六丙烯酸酯（DPHA，日本化藥株式會社） （C-2）ABPE-20（科瓦化學（KOWA CHEMICALS）） （D）起始劑 （D-1）依格丘爾（IGACURE）OXE02（巴斯夫公司（BASF Co.）） （D-2）依格丘爾369（巴斯夫公司） （E）著色劑：顏料分散體 （E-1）G58顏料分散體（自動分散，大日本油墨化學工業株式會社（DIC Co., Ltd.）） （E -2）Y138顏料分散體（自動分散，金氏化學公司（King Chemicals Co.）） （F）溶劑 （F-1）丙二醇單甲醚乙酸酯（PGMEA） （F-2）乙基乙氧基丙酸酯（EEP） （G）添加劑 （G-1）F-554（氟類表面活性劑，大日本油墨化學工業株式會社） （G-2）S-510（矽烷類偶合劑，智索株式會社（CHISSO Co.）） [表2] （單位：重量%） 評估1：BT評估

通過使用旋塗器（K-Spin8，KDNS）將根據實例1和實例2與比較例1和比較例2的感光性樹脂組成物在矽晶圓（LG司爾特龍（Siltron））上分別塗布為0.8微米高並且通過使用曝光器（I10C，尼康公司（Nikon Co.））曝光350毫秒。隨後，當通過使用顯影劑（SSP-200，SVS）用0.2重量%四甲基氫氧化銨（tetramethylammonium hydroxide，TMAH）水溶液顯影時，測量直到未曝光區域都被洗去要多久（BT），並且結果提供於下表3中。

參考表3，根據實例1和實例2的感光性樹脂組成物顯示較短BT並且不需要長顯影時間，因此比根據比較例1和比較例2的感光性樹脂組成物經濟得多。 評估2：水斑評估

用旋塗器（K-Spin8，KDNS）將根據實例1和實例2與比較例1和比較例2的感光性樹脂組成物在矽晶圓（LG司爾特龍）上分別塗布為0.8微米高並且然後通過使用曝光器（I10C，尼康公司）曝光350毫秒。隨後，在通過使用顯影劑（SSP-200，SVS）用0.2重量%四甲基氫氧化銨（TMAH）水溶液顯影以形成圖案之後，使用光學顯微鏡評估是否在圖案中產生水斑，並且結果提供於下表3和圖1到圖4中。

圖1和圖2提供顯示是否在通過分別使用根據實例1和實例2的感光性樹脂組成物形成的每個圖案中產生水斑的光學顯微鏡照片，並且圖3和圖4提供顯示是否在通過分別使用根據比較例1和比較例2的感光性樹脂組成物形成的每個圖案中產生水斑的光學顯微鏡照片。

＜判斷產生水斑的參考＞ ×：無水斑 Δ：一些水斑 ○：許多水斑

參看圖1到圖4，通過分別使用根據實例1和實例2的感光性樹脂組成物形成的感光性樹脂膜中的圖案顯示無水斑，而通過分別使用根據比較例1和比較例2的感光性樹脂組成物形成的感光性樹脂膜中的圖案顯示水斑。 評估3：CD評估

通過使用旋塗器（K-Spin8，KDNS）將根據實例1和實例2與比較例1和比較例2的感光性樹脂組成物在矽晶圓（LG司爾特龍）上分別塗布為0.8微米高並且通過使用曝光器（I10C，尼康公司）曝光350毫秒（30毫焦或50毫焦）。隨後，在通過使用顯影劑（SSP-200，SVS）用0.2重量%四甲基氫氧化銨（TMAH）水溶液顯影以形成圖案之後，通過使用非接觸型厚度計（3-D測繪器）測量圖案的臨界尺寸（critical dimension，CD），並且結果提供於下表3中。 評估4：錐形角評估

通過使用旋塗器（K-Spin8，KDNS）將根據實例1和實例2、比較例1和比較例2的感光性樹脂組成物在矽晶圓（LG司爾特龍）上分別塗布為0.8微米高並且用曝光器（I10C，尼康公司）曝光（50毫焦）350毫秒。隨後，在通過使用顯影劑（SSP-200，SVS）用0.2重量%四甲基氫氧化銨（TMAH）水溶液顯影以形成圖案之後，通過使用掃描電子顯微鏡測量圖案的錐形角，並且結果提供於下表3和圖5到圖8中。

圖5和圖6提供分別顯示通過使用根據實例1和實例2的感光性樹脂組成物形成的感光性樹脂膜中的圖案的截面的掃描電子顯微鏡照片，並且圖7和圖8提供分別顯示通過使用根據比較例1和比較例2的感光性樹脂組成物形成的感光性樹脂膜中的圖案的截面的掃描電子顯微鏡照片。

參看圖5到圖8，通過使用根據實例1和實例2的感光性樹脂組成物形成的感光性樹脂膜中的圖案顯示在大於或等於20°到小於60°範圍內的錐形角，其小於通過使用根據比較例1和比較例2的感光性樹脂組成物形成的感光性樹脂膜中的圖案的錐形角。 [表3]

參考表3，與根據比較例1和比較例2的感光性樹脂組成物相比，根據實例1和實例2的感光性樹脂組成物顯示小於60°的錐形角並且無水斑並且實現精細的線寬。

雖然已經結合目前視為實用例示性實施例的內容來描述本發明，但應理解本發明不限於所公開的實施例，而是相反，本發明旨在涵蓋包含在所附申請專利範圍的精神和範圍內的各種修改和等效佈置。因此，前述實施例應理解為例示性的但不以任何方式限制本發明。

無

圖1和圖2是顯示通過分別使用根據實例1和實例2的感光性樹脂組成物形成的每個感光性樹脂膜中的圖案的光學顯微鏡照片。 圖3和圖4是顯示通過分別使用根據比較例1和比較例2的感光性樹脂組成物形成的每個感光性樹脂膜中的圖案的光學顯微鏡照片。 圖5和圖6是分別顯示通過使用根據實例1和實例2的感光性樹脂組成物形成的感光性樹脂膜中的圖案的截面的掃描電子顯微鏡照片。 圖7和圖8是分別顯示通過使用根據比較例1和比較例2的感光性樹脂組成物形成的感光性樹脂膜中的圖案的截面的掃描電子顯微鏡照片。

Claims (14)

1. 一種感光性樹脂組成物，包括： 丙烯醯基類黏合劑樹脂，包含由化學式1表示的重複單元； 卡哆類黏合劑樹脂，包含由化學式2-1表示的重複單元以及由化學式2-2表示的重複單元； 反應性不飽和化合物； 起始劑； 著色劑；以及 溶劑， [化學式1][化學式2-1][化學式2-2]其中，在化學式1中， R¹ 是氫或經取代或未經取代的C1到C20烷基， R² 以及R³ 各自獨立地是氫、經取代或未經取代的C1到C20烷基、經取代或未經取代的C3到C20環烷基或經取代或未經取代的C6到C20芳基， L¹ 是經取代或未經取代的C1到C20伸烷基， 在化學式2-1以及化學式2-2中， R⁴ 、R⁵ 、R¹⁴ 以及R¹⁵ 各自獨立地是氫或化學式3， R⁶ 是包含乙烯系雙鍵的取代基， R⁷ 、R⁸ 、R¹⁷ 以及R¹⁸ 各自獨立地是氫、鹵素原子或經取代或未經取代的C1到C20烷基， Z¹ 以及Z¹¹ 各自獨立地由單鍵、O、CO、SO₂ 、CR⁹ R¹⁰ 、SiR¹¹ R¹² 以及由化學式a到化學式k表示的連接基團中選出，其中R⁹ 到R¹² 各自獨立地是氫或經取代或未經取代的C1到C20烷基， Z² 以及Z¹² 各自獨立地是酸二酐殘基，以及 n1、m1、n2以及m2各自獨立地是0到4範圍內的整數， [化學式3]其中，在化學式3中， L^a 是單鍵或經取代或未經取代的C1到C20伸烷基，以及 R^a1 到R^a3 各自獨立地是氫或經取代或未經取代的C1到C20烷基， [化學式a][化學式b][化學式c][化學式d][化學式e]其中，在化學式e中， R_f 是氫、乙基、C₂ H₄ Cl、C₂ H₄ OH、CH₂ CH=CH₂ 或苯基， [化學式f][化學式g][化學式h][化學式i][化學式j][化學式k]其中，在化學式1、化學式2-1、化學式2-2、化學式3及化學式a至化學式k中，｢*」指示其中連接相同或不同原子或化學式的點。
2. 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物，其中R⁶ 由化學式4-1或化學式4-2表示： [化學式4-1]其中，在化學式4-1中， Q是氫或經取代或未經取代的C1到C20烷基， ｢*」指示其中連接相同或不同原子或化學式的點， [化學式4-2]其中，在化學式4-2中， X¹ 到X⁵ 各自獨立地是氫、鹵素、經取代或未經取代的C1到C20烷基、經取代或未經取代的C6到C30芳基、經取代或未經取代的胺基或經取代或未經取代的C1到C20烷氧基， p是0到5範圍內的整數，以及 ｢*」指示其中連接相同或不同原子或化學式的點。
3. 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物，其中所述卡哆類黏合劑樹脂在兩個末端中的至少一個處包括由化學式5表示的末端基團： [化學式5]其中，在化學式5中， Z³ 是由化學式6-1到化學式6-7表示的連接基團中的一個， [化學式6-1]其中，在化學式6-1中， R^b 以及R^c 各自獨立地是氫、經取代或未經取代的C1到C20烷基、酯基或醚基， [化學式6-2][化學式6-3][化學式6-4][化學式6-5]其中，在化學式6-5中， R^d 是O、S、NH、經取代或未經取代的C1到C20伸烷基、C1到C20烷基胺基或C2到C20烯基胺基， [化學式6-6][化學式6-7]其中，在化學式5及化學式6-1至化學式6-7中，｢*」指示其中連接相同或不同原子或化學式的點。
4. 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物，其中所述丙烯醯基類黏合劑樹脂以及所述卡哆類黏合劑樹脂是以1:9到9:1的重量比被包含。
5. 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物，其中以所述丙烯醯基類黏合劑樹脂的單體的總量計，由化學式1表示的重複單元是以0.05重量%到30重量%的量被包含。
6. 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物，其中所述丙烯醯基類黏合劑樹脂的重量平均分子量是3,000克/莫耳到40,000克/莫耳。
7. 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物，其中所述卡哆類黏合劑樹脂的重量平均分子量是500克/莫耳到50,000克/莫耳。
8. 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物，其中所述著色劑包括顏料、染料或其組合。
9. 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物，其中所述起始劑包括光聚合起始劑、自由基聚合起始劑或其組合。
10. 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物，其中所述感光性樹脂組成物包括 1重量%到30重量%所述丙烯醯基類黏合劑樹脂； 1重量%到30重量%所述卡哆類黏合劑樹脂； 0.1重量%到10重量%所述反應性不飽和化合物； 0.01重量%到10重量%所述起始劑； 10重量%到40重量%所述著色劑；以及 餘量所述溶劑。
11. 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物，其中所述感光性樹脂組成物更包括至少一種由以下中選出的添加劑：丙二酸；3-氨基-1,2-丙二醇；具有乙烯基或(甲基)丙烯醯氧基的矽烷類偶合劑；調平劑；氟類表面活性劑；以及其混合物。
12. 一種感光性樹脂膜，使用如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物製造。
13. 如申請專利範圍第12項所述的感光性樹脂膜，其中所述感光性樹脂膜中的圖案的錐形角大於或等於20°以及小於60°。
14. 一種彩色濾光片，包含如申請專利範圍第12項所述的感光性樹脂膜。