TWI577641B - 光阻剝離劑廢液回收系統及其方法 - Google Patents

Description

光阻剝離劑廢液回收系統及其方法

本發明係關於一種廢液回收系統及其方法，特別關於一種光阻剝離劑廢液回收系統及其方法。

在半導體或平面顯示器的薄膜電晶體陣列的製作過程中，需要藉由塗佈光阻層、顯影以及蝕刻等製程使得矽晶圓上形成特定的電路圖案，當矽晶圓上形成特定的電路圖案後，需利用光阻剝離劑(photo-resist stripper)將殘留於矽晶圓上的光阻去除。

習知業者將光阻剝離製程機台使用過的光阻剝離劑回收至廢液儲槽，其中有部分使用過的光阻剝離劑係經由排氣系統抽至冷凝器冷凝收集至廢液儲槽。接著，將廢液儲槽所儲存使用過的光阻剝離劑輸送至廢液清運商進行廢液處理。但上述方法容易造成資源的浪費及環保上的問題。再者，目前市面上許多電子產品於製造過程中皆需經過光阻剝離製程，使得光阻剝離劑的需求量變大，因此，如何將使用過的光阻剝離劑有效的回收再利用與減量是未來改善的方向。

有鑑於此，本發明提出一種光阻剝離劑廢液回收系統及其方法，藉以提高光阻剝離劑廢液的回收率，減少光阻剝離劑的浪費。

本發明所揭露之光阻剝離劑廢液回收系統，包括回收裝置與廢液處理裝置，廢液處理裝置包括蒸餾模組與冷凝模組。回收裝置接收且處理經過光阻剝離製程中所產生的第一廢液並產生第二廢液與第一回收液，蒸餾模組接收且加熱第二廢液，而使得第二廢液中的剝離劑混合物與水部份蒸發。冷凝模組接收且冷凝被部份蒸發的剝離劑混合物與水，而使得被部份蒸發的剝離劑混合物與水液化成第二回收液。其中，第一回收液包含剝離劑混合物及水，第二廢液與第一廢液皆至少包括固形物、剝離劑混合物及水，第二回收液至少包含剝離劑混合物及水。

在一實施例中，剝離劑混合物至少包含乙二醇單丁醚(Butyl Diglycol Ether，BDG)、乙醇胺(1-Amino-2-hydroxyethane，Monoethanolamine，MEA)、二甲基亞碸(Dimethyl Sulfoxide，DMSO)及N-甲基吡咯酮(N-Methyl-2-Pyrrolidone，NMP)其中至少二種。

在一實施例中，蒸餾模組可包括第一加熱單元，以加熱第二廢液。

在一實施例中，廢液處理裝置可包括循環模組，當蒸餾模組加熱第二廢液時另產生殘留液，循環模組加熱殘留液並將被加熱的殘留液輸送回蒸餾模組。

在一實施例中，循環模組可包括第二加熱單元，以加熱殘留液。

在一實施例中，當蒸餾模組蒸餾第二廢液完成後，而形成蒸餾殘留物，其中，蒸餾殘留物包含固形物。

在一實施例中，固形物可包括光阻，其中光阻係可選自正 型光阻、負型光阻及其組合的群組。

在一實施例中，光阻剝離劑廢液回收系統另可包括真空幫浦單元，以增加廢液處理裝置的真空度。

在一實施例中，第一回收液可輸送至光阻剝離製程機台。

在一實施例中，第一回收液可先輸送至光阻剝離劑調整槽中。

在一實施例中，第二回收液可輸送至回收裝置中。

在一實施例中，第二回收液可先輸送至儲存槽中。

在一實施例中，冷凝模組可包含冷凝器、第一中間槽與第二中間槽。第一中間槽連接至冷凝器，以儲存第二廢液中部份的水。第二中間槽連接至冷凝器，以儲存第二回收液。

在一實施例中，冷凝模組可包含二切換單元，這些切換單元其中之一配置於冷凝器與第一中間槽之間，另一切換單元配置於冷凝器與第二中間槽之間，這些切換單元係可依據蒸餾模組加熱第二廢液之溫度選擇性地使冷凝器連接第一中間槽與第二中間槽。

在一實施例中，當蒸餾模組加熱第二廢液之溫度小於第一溫度時，這些切換單元可使冷凝器連接第一中間槽，當蒸餾模組加熱第二廢液之溫度大於第一溫度時，這些切換單元可使冷凝器連接第二中間槽，其中第一溫度與水及剝離劑混合物的沸點有關。

本發明所揭露之光阻剝離劑廢液回收方法，包括：由回收裝置接收且處理經過光阻剝離製程中所產生的第一廢液並產生第二廢液與第一回收液，其中第一回收液包含剝離劑混合物及水，且第二廢液 與第一廢液皆至少包括固形物、剝離劑混合物及水；由廢液處理裝置的蒸餾模組接收且加熱第二廢液，而使得第二廢液中的剝離劑混合物與水部份蒸發；以及由廢液處理裝置的冷凝模組接收且冷凝被部份蒸發的剝離劑混合物與水，而使得被部份蒸發的剝離劑混合物與水液化成第二回收液，其中，第二回收液至少包含剝離劑混合物及水。

在一實施例中，於進行加熱第二廢液的步驟時，另產生殘留液。廢液處理裝置另可包括循環模組，使得光阻剝離劑廢液回收方法可包括由循環模組加熱殘留液並將被加熱的殘留液輸送回蒸餾模組的步驟。

在一實施例中，光阻剝離劑廢液回收方法可包括當蒸餾第二廢液完成後，形成蒸餾殘留物的步驟，其中，蒸餾殘留物可包含固形物。

在一實施例中，光阻剝離劑廢液回收方法可包括輸送第一回收液至光阻剝離製程機台的步驟。

在一實施例中，於輸送第一回收液至光阻剝離製程機台的步驟前，光阻剝離劑廢液回收方法包括輸送第一回收液至光阻剝離劑調整槽中的步驟。

在一實施例中，光阻剝離劑廢液回收方法可包括輸送第二回收液至回收裝置中的步驟。

在一實施例中，於輸送第二回收液至回收裝置中的步驟前，光阻剝離劑廢液回收方法可包括輸送第二回收液至儲存槽中的步驟。

在一實施例中，廢液處理裝置可包括冷凝器、第一中間槽與第二中間槽，第一中間槽與第二中間槽分別連接至冷凝器，光阻剝離劑廢液回收方法可包括：由冷凝器冷凝第二廢液中部份的水以儲存於第一中間槽；以及由冷凝器冷凝第二回收液以儲存於第二中間槽。

在一實施例中，廢液處理裝置可包含二切換單元，這些切換單元其中之一配置於冷凝器與第一中間槽之間，另一切換單元配置於冷凝器與第二中間槽之間，光阻剝離劑廢液回收方法可包括：當廢液處理裝置加熱第二廢液之溫度小於第一溫度時，這些切換單元使冷凝器連接第一中間槽，以儲存第二廢液中部份的水於第一中間槽；以及當廢液處理裝置加熱第二廢液之溫度大於第一溫度時，這些切換單元使冷凝器連接第二中間槽，以儲存第二回收液於第二中間槽，其中第一溫度與水及剝離劑混合物的沸點有關。

依據本發明所揭露之光阻剝離劑廢液回收系統及其方法，可藉由廢液處理裝置處理回收裝置所產生的第二廢液，以產生第二回收液至回收裝置，進而有效地回收第二回收液中的剝離劑混合物。可藉由循環模組的設計，加快第二廢液中剝離劑混合物與水的蒸發速度，且使得蒸餾模組的溫度保持穩定，不易受輸送至蒸餾模組的常溫第二廢液的影響。可藉由切換單元的設計，使得第一中間槽可儲存第二廢液中部份的水，第二中間槽可儲存第二回收液。再者，可藉由真空幫浦的配置，使得光阻剝離劑廢液回收系統的真空度增加，進而降低剝離劑混合物與水的沸點，以加速光阻剝離劑廢液回收系統進行光阻剝離劑廢液回收的時間。

以上關於本發明的內容說明及以下之實施方式的說明係用以示範及解釋本發明的精神及原理，並且提供本發明的專利申請範圍更進一步的解釋。

40‧‧‧調整劑

50‧‧‧第二回收液

52‧‧‧殘留液

54‧‧‧蒸餾殘留物

80‧‧‧第一廢液

82‧‧‧第二廢液

84‧‧‧第一回收液

88‧‧‧水

89‧‧‧固形物

100、200、300‧‧‧光阻剝離劑廢液回收系統

102‧‧‧光阻剝離製程機台

104‧‧‧回收裝置

106‧‧‧光阻剝離劑調整槽

108‧‧‧廢液處理裝置

110‧‧‧儲存槽

112‧‧‧真空幫浦

502‧‧‧薄膜蒸發機

504‧‧‧脫色塔

506‧‧‧脫水塔

510‧‧‧高沸點成分

512‧‧‧低沸點成分

602‧‧‧蒸餾模組

604‧‧‧冷凝模組

606‧‧‧循環模組

608‧‧‧蒸餾器

610‧‧‧第一加熱單元

612‧‧‧攪拌器

614‧‧‧冷凝器

616‧‧‧第一中間槽

618‧‧‧第二中間槽

620、621、622、623‧‧‧切換單元

624‧‧‧泵浦單元

626‧‧‧第二加熱單元

628‧‧‧熱交換器

第1圖係為依據本發明所揭露之光阻剝離劑廢液回收系統的一實施例結構示意圖。

第2圖係為依據第1圖之回收裝置的一實施例結構示意圖。

第3圖係為依據第1圖之廢液處理裝置的一實施例結構示意圖。

第4圖係為依據第1圖之光阻剝離劑廢液回收系統的一實施例光阻剝離劑廢液回收方法流程示意圖。

第5圖為依據本發明所揭露之光阻剝離劑廢液回收系統的另一實施例結構示意圖。

第6圖係為依據第5圖之廢液處理裝置的一實施例結構示意圖。

第7圖係為依據第5圖之光阻剝離劑廢液回收系統的一實施例光阻剝離劑廢液回收方法流程示意圖。

第8圖係為依據本發明所揭露之光阻剝離劑廢液回收系統的又一實施例結構示意圖。

請參照「第1圖」，係為依據本發明所揭露之光阻剝離劑廢液回收系統的一實施例結構示意圖。光阻剝離劑廢液回收系統100可包括回收裝置104與廢液處理裝置108。回收裝置104用以接收且處理 光阻剝離製程機台102進行光阻剝離製程所產生的第一廢液80並產生第二廢液82與第一回收液84。第一回收液84可輸送至光阻剝離製程機台102，以供光阻剝離製程機台102進行光阻剝離製程，第二廢液82可輸送至廢液處理裝置108。廢液處理裝置108接收且處理第二廢液82並產生第二回收液50，第二回收液50可輸送至回收裝置104，以使回收裝置104進一步的處理第二回收液50，但實施例並非用以限定本發明。其中第一回收液84包含剝離劑混合物及水88，第二廢液82與第一廢液80皆至少包括固形物89、剝離劑混合物及水88，且第二回收液50至少包括剝離劑混合物及水88。此外，光阻剝離劑廢液回收系統100另可包括真空幫浦112，以增加廢液處理裝置108的真空度，進而使第二廢液82中所有成分於減壓條件下降低沸點，以避免因高溫而變質。

請參照「第2圖」與「第3圖」，係分別為依據「第1圖」之回收裝置與廢液處理裝置的一實施例結構示意圖。回收裝置104可包括薄膜蒸發機502、脫色塔504與脫水塔506，其中薄膜蒸發機502、脫色塔504與脫水塔506可分別藉由不同物質具有不同沸點的原理實質上分離第一廢液80中的固形物89、高沸點成分510與低沸點成分512而產生第二廢液82與第一回收液84。上述固形物89可為但不限於第一廢液80中的光阻，高沸點成分510可為但不限於第一廢液80中的部分剝離劑混合物，低沸點成分512可為但不限於第一廢液80中的部分水88，第二廢液82可包括高沸點成分510。也就是說，本發明後續的廢液處理中的液體，低沸點成份512以水，而高沸點成份510以剝離劑混合物為範例進行說明，但不限於此。於其它實施例，至少二種 以上成分的沸點相比，沸點較低的成分為低沸點成份512，沸點較高的成分可為高沸點成份510，再者，低沸點成份512或高沸點成份510中具有要回收可再利用的成份，例如：高沸點成份510時，皆可採用本發明實施例的實施方式。

廢液處理裝置108包括蒸餾模組602與冷凝模組604。 其中，蒸餾模組602可包括蒸餾器608與第一加熱單元610。冷凝模組604可包括冷凝器614、第一中間槽616、第二中間槽618與切換單元620、622，第一中間槽616用以儲存第二廢液82中部份的低沸點成份，例如：水88，第二中間槽618用以儲存第二回收液50。蒸餾模組602可利用蒸餾器608接收第二廢液82並透過第一加熱單元610加熱第二廢液82，而使得第二廢液82中的剝離劑混合物與水88部份蒸發。此外，蒸餾模組602可包括攪拌器612，以使第二廢液82於蒸餾器608中均勻受熱。

冷凝模組604藉由冷凝器614接收且冷凝被部份蒸發的剝離劑混合物與水88，而使得被部份蒸發的剝離劑混合物與水88液化成第二回收液50。其中，切換單元620配置於冷凝器614與第一中間槽616之間，切換單元622配置於冷凝器614與第二中間槽618之間，切換單元620、622係依據蒸餾模組602加熱第二廢液82之溫度選擇性地使冷凝器614連接第一中間槽616與第二中間槽618，切換單元620、622的切換情形請容後詳述。

此外，光阻剝離劑廢液回收系統100更可包括切換單元621、623。切換單元621配置於真空幫浦112與第一中間槽616之間， 切換單元623配置於真空幫浦112與第二中間槽618之間。切換單元621、623係依據蒸餾模組602加熱第二廢液82之溫度選擇性地使真空幫浦112連接第一中間槽616與第二中間槽618，切換單元621、623的切換情形請容後詳述。

更詳細地說，請參照「第1圖」至「第4圖」，「第4圖」係為依據「第1圖」之光阻剝離劑廢液回收系統的一實施例光阻剝離劑廢液回收方法流程示意圖。光阻剝離劑廢液回收方法包括：

步驟402：由回收裝置接收且處理經過光阻剝離製程中所產生的第一廢液並產生第二廢液與第一回收液；

步驟404：由廢液處理裝置的蒸餾模組接收且加熱第二廢液，而使得第二廢液中的剝離劑混合物與水部份蒸發；以及

步驟406：由廢液處理裝置的冷凝模組接收且冷凝被部份蒸發的剝離劑混合物與水，而使得被部份蒸發的剝離劑混合物與水液化成第二回收液。

在本實施例中，步驟402所述之光阻剝離製程係可為但不限於製作薄膜電晶體陣列流程時去除光阻的過程，光阻係可選自正型光阻、負型光阻及其組合群組，光阻種類的選擇係依據製作薄膜電晶體陣列的實際需求進行調整。光阻剝離製程機台102可為但不限於去光阻機台(機台型號代號例如STO、STA或WTO)，可依據不同光阻的物體特性進行調整。上述的固形物89可包括光阻剝離製程中被去除的光阻。

上述的剝離劑混合物88至少包含乙二醇單丁醚(Butyl Diglycol Ether，BDG)、乙醇胺(1-Amino-2-hydroxyethane， Monoethanolamine，MEA)、二甲基亞碸(Dimethyl Sulfoxide，DMSO)及N-甲基吡咯酮(N-Methyl-2-Pyrrolidone，NMP)其中至少二種。在本實施例中，剝離劑混合物88可為乙二醇單丁醚與乙醇胺所組成的混合物。其中，水88、固形物89、乙二醇單丁醚與乙醇胺於第一廢液80、第一回收液84、第二廢液82與第二回收液50中的重量百分比可參照下列「表1」，但本實施例並非用以限定本發明。

在執行上述的步驟404與步驟406時，蒸餾模組602的蒸餾器608可先分批接收常溫的第二廢液82，且切換單元620使冷凝器614連接第一中間槽616，切換單元621使第一中間槽616與真空幫浦112連接，切換單元622使冷凝器614無法連接第二中間槽618，切換單元623使第二中間槽618無法與真空幫浦112連接。接著，啟動真空幫浦112將廢液處理裝置108的真空度提升至預定真空下，例如：約130托爾(torr)，此時水88的沸點約為攝氏56度，乙醇胺的沸點約為攝氏122度，乙二醇單丁醚的沸點約為攝氏170度，但本實施例並非用以限定本發明，可依據實際需求調整廢液處理裝置108的真空度。

當蒸餾模組602加熱第二廢液82之溫度實質上小於第一溫度時，可使得冷凝器614冷凝第二廢液82中部份蒸發的水88，以儲存於第一中間槽616中。在本實施例中，第一溫度可約為攝氏110度，其中第一溫度與水88、乙醇胺與乙二醇單丁醚於第二廢液82的成份比例有關。需注意的是，第一溫度約需介於水88的沸點與剝離劑混合物所包括材料的最低沸點之間。

當蒸餾模組602加熱第二廢液82之溫度實質上大於第一溫度時，切換單元620使冷凝器614無法連接第一中間槽616，切換單元621使第一中間槽616無法與真空幫浦112連接，切換單元622使冷凝器614連接第二中間槽618，切換單元623使第二中間槽618與真空幫浦112連接。此時，冷凝器614可冷凝部分第二廢液82中的乙醇胺、乙二醇單丁醚與水88，以儲存於第二中間槽618中。

當蒸餾模組602加熱第二廢液82之溫度實質上大於第二溫度時，蒸餾模組602可完成蒸餾此批的第二廢液82，而形成蒸餾殘留物54，其中，蒸餾殘留物54包含固形物89。在本實施例中，第二溫度可約為攝氏190度，第二溫度與水88、乙醇胺與乙二醇單丁醚於第二廢液82中的成份比例有關，且第二溫度約大於第一溫度，需注意的是，第二溫度需約大於剝離劑混合物所包括材料的最高沸點。

上述蒸餾殘留物54中的固形物89可成為第一加熱單元610的燃料，但本實施例並非用以限制本發明，也就是說，第一加熱單元610可為利用燃燒方式提供熱能予蒸餾器608，亦可為利用電能轉換成熱能以加熱蒸餾器608與熱交換器628。

請參照「第5圖」，係為依據本發明所揭露之光阻剝離劑廢液回收系統的另一實施例結構示意圖。在本實施例中，光阻剝離劑廢液回收系統200除了光阻剝離劑廢液回收系統100所述之結構外，另可包括光阻剝離劑調整槽106。在本實施例中，回收裝置104所產生的第一回收液84先輸送至光阻剝離劑調整槽106。光阻剝離劑調整槽106可將第一回收液84調整後輸送至光阻剝離製程機台102，以供光阻剝離製程使用。

在本實施例中，廢液處理裝置108另可包括循環模組606(請參照「第6圖」，係為依據「第5圖」之廢液處理裝置的一實施例結構示意圖)。其中，循環模組606可包括泵浦單元624、第二加熱單元626與熱交換器628。

更詳細地說，請參照「第5圖」至「第7圖」，「第7圖」係為依據「第5圖」之光阻剝離劑廢液回收系統的一實施例光阻剝離劑廢液回收方法流程示意圖。光阻剝離劑廢液回收方法包括：步驟702：由回收裝置接收且處理經過光阻剝離製程中所產生的第一廢液並產生第二廢液與第一回收液；步驟703：輸送第一回收液至光阻剝離劑調整槽，並加入調整劑調整第一回收液；步驟704：由廢液處理裝置的蒸餾模組接收且加熱第二廢液，而使得第二廢液中的剝離劑混合物與水部份蒸發且產生殘留液；步驟706：由循環模組的第二加熱單元加熱熱交換器中的殘留液，並輸送回蒸餾模組；以及 步驟708：由廢液處理裝置的冷凝模組接收且冷凝被部份蒸發的剝離劑混合物與水，而使得被部份蒸發的剝離劑混合物與水液化成第二回收液。

執行上述步驟703時，通常為了能夠讓第一回收液84符合光阻剝離製程機台102的標準，會再通入調整劑40至第一回收液84中，以調整光阻剝離劑濃度或第一回收液84的酸鹼值，但本實施例並非用以限定本發明。也就是說，當加入調整劑40至第一回收液84時，亦可同時調整光阻剝離劑濃度與第一回收液84的酸鹼值。其中，調整劑40可為全新未使用過的光阻剝離劑，亦可為用以調整光阻剝離劑調整槽106所容置之各光阻剝離劑的成份比例之調整劑，但實施例並非用以限定本發明。

執行上述的步驟704至步驟708時，蒸餾模組602的蒸餾器608可先分批接收常溫的第二廢液82，且切換單元620使冷凝器614連接第一中間槽616，切換單元621使第一中間槽616與真空幫浦112連接，切換單元622使冷凝器614無法連接第二中間槽618，切換單元623使第二中間槽618無法與真空幫浦112連接。接著，啟動真空幫浦112將廢液處理裝置108的真空度提升至預定真空度，例如：約130托爾(torr)，此時水88的沸點約為攝氏56度，乙醇胺的沸點約為攝氏122度，乙二醇單丁醚的沸點約為攝氏170度。

當蒸餾模組602加熱第二廢液82之溫度實質上小於第一溫度時，可使部分第二廢液82中的水88蒸發且產生殘留液52。一方面，循環模組606可藉由泵浦單元624將殘留液52輸送至熱交換器628 中，接著以第二加熱單元626加熱熱交換器628中的殘留液52，最後將被加熱的殘留液52輸送回蒸餾模組602。另一方面，冷凝器614可冷凝第二廢液82中部份蒸發的水88，以儲存於第一中間槽616中。

當蒸餾模組602加熱第二廢液82之溫度實質上大於第一溫度時，切換單元620使冷凝器614無法連接第一中間槽616，切換單元621使第一中間槽616無法與真空幫浦112連接，切換單元622使冷凝器614連接第二中間槽618，切換單元623使第二中間槽618與真空幫浦112連接。此時，部分第二廢液82中的乙醇胺、乙二醇單丁醚與水88被蒸餾模組602加熱而蒸發且產生殘留液52。一方面，循環模組606可藉由泵浦單元624將殘留液52輸送至熱交換器628中，接著以第二加熱單元626加熱熱交換器628中的殘留液52，最後將被加熱的殘留液52輸送回蒸餾模組602。另一方面，冷凝器614可冷凝部分第二廢液82中的乙醇胺、乙二醇單丁醚與水88(即冷凝器614可使得被部份蒸發的剝離劑混合物與水88液化成第二回收液50)，以儲存於第二中間槽618中。

當蒸餾模組602加熱第二廢液82之溫度實質上大於第二溫度時，蒸餾模組602完成蒸餾此批的第二廢液82，而形成蒸餾殘留物54，其中，蒸餾殘留物54包含固形物89。上述蒸餾殘留物54中的固形物89可成為第一加熱單元610與第二加熱單元626的燃料，但本實施例並非用以限制本發明，也就是說，第一加熱單元610與第二加熱單元626可為分別利用燃燒方式提供熱能予蒸餾器608與熱交換器628，亦可為利用電能轉換成熱能以加熱蒸餾器608與熱交換器628。

請參照「第8圖」，係為依據本發明所揭露之光阻剝離劑廢液回收系統的又一實施例結構示意圖。在本實施例中，光阻剝離劑廢液回收系統300除了光阻剝離劑廢液回收系統200所述之結構外，另可包括儲存槽110。在本實施例中，廢液處理裝置108可藉由第二中間槽618將第二回收液50輸送至儲存槽110中，待儲存槽110儲存一定量的第二回收液50時，光阻剝離劑廢液回收系統300將儲存槽110中的第二回收液50至回收裝置104中，以進一步的處理第二回收液50，但本實施例並非用以限定本發明。

依據本發明所揭露之光阻剝離劑廢液回收系統及其方法，可藉由廢液處理裝置處理回收裝置所產生的第二廢液，以產生第二回收液至回收裝置，進而有效地回收第二回收液中的剝離劑混合物，其中剝離劑混合物為光阻剝離製程所需的主要成分。可藉由循環模組所包括的循環流動設計與熱交換器的配置，一方面可使得第二廢液中未被蒸發的剝離劑混合物與水快速蒸發，另一方面可使得蒸餾模組的溫度保持穩定，不易受輸送至蒸餾模組的常溫第二廢液的影響。可藉由真空幫浦的配置，使得廢液處理裝置的真空度增加，進而降低剝離劑混合物與水的沸點，以減少蒸餾模組所需的加熱溫度，且使得第二廢液中可回收再利用的成分避免因高溫而變質。可藉由蒸餾模組加熱第二廢液之不同溫度與切換單元的設計，使得第一中間槽可儲存第二廢液中部份的水，第二中間槽可儲存第二回收液。

再者，本發明前述實施例中的廢液處理裝置108除了可與回收裝置104設置在同一個廠區內或同一個地方之外，廢液處理裝置 108亦可與回收裝置104設置於不同的廠區內或不同的地方。

雖然本發明以前述的較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習相像技藝者，在不脫離本發明的精神和範圍內，當可作些許的更動與潤飾，因此本發明的專利保護範圍須視本說明書所附的申請專利範圍所界定者為準。

40‧‧‧調整劑

50‧‧‧第二回收液

80‧‧‧第一廢液

82‧‧‧第二廢液

84‧‧‧第一回收液

102‧‧‧光阻剝離製程機台

104‧‧‧回收裝置

106‧‧‧光阻剝離劑調整槽

108‧‧‧廢液處理裝置

112‧‧‧真空幫浦

200‧‧‧光阻剝離劑廢液回收系統

Claims (24)

1. 一種光阻剝離劑廢液回收系統，包括：一回收裝置，接收且處理經過一光阻剝離製程中所產生的一第一廢液，分離該第一廢液中的一固形物、一剝離劑混合物與水，並產生一第二廢液與一第一回收液，該第一回收液輸送至一光阻剝離製程機台，其中該第一回收液包含該剝離劑混合物與水，且該第二廢液與該第一廢液皆至少包括該固形物、該剝離劑混合物與水；以及一廢液處理裝置，包括：一蒸餾模組，接收且加熱該第二廢液，而使得該第二廢液中的該剝離劑混合物與水部份蒸發；以及一冷凝模組，接收且冷凝被部份蒸發的該剝離劑混合物與水，而使得被部份蒸發的該剝離劑混合物與水液化成一第二回收液，其中，該第二回收液至少包含該剝離劑混合物與水。
2. 如請求項1所述之光阻剝離劑廢液回收系統，其中該剝離劑混合物至少包含乙二醇單丁醚(Butyl Diglycol Ether，BDG)、乙醇胺(1-Amino-2-hydroxyethane，Monoethanolamine，MEA)、二甲基亞碸(Dimethyl Sulfoxide，DMSO)與N-甲基吡咯酮(N-Methyl-2-Pyrrolidone，NMP)其中至少二種。
3. 如請求項1所述之光阻剝離劑廢液回收系統，其中該蒸餾模組包括一第一加熱單元，該第一加熱單元用以加熱該第二廢液。
4. 如請求項1所述之光阻剝離劑廢液回收系統，其中該廢液 處理裝置包括一循環模組，當該蒸餾模組加熱該第二廢液時另產生一殘留液，該循環模組加熱該殘留液並將被加熱的該殘留液輸送回該蒸餾模組。
5. 如請求項4所述之光阻剝離劑廢液回收系統，其中該循環模組包括一第二加熱單元，該第二加熱單元用以加熱該殘留液。
6. 如請求項1所述之光阻剝離劑廢液回收系統，其中當該蒸餾模組蒸餾該第二廢液完成後，而形成一蒸餾殘留物，其中，該蒸餾殘留物包含該固形物。
7. 如請求項1所述之光阻剝離劑廢液回收系統，其中該固形物包含光阻。
8. 如請求項1所述之光阻剝離劑廢液回收系統，其中該光阻剝離劑廢液回收系統另包括一真空幫浦單元，該真空幫浦單元用以增加該廢液處理裝置的真空度。
9. 如請求項1所述之光阻剝離劑廢液回收系統，其中該第一回收液會先輸送至一光阻剝離劑調整槽中。
10. 如請求項1所述之光阻剝離劑廢液回收系統，其中，該第二回收液輸送至該回收裝置中。
11. 如請求項10所述之光阻剝離劑廢液回收系統，其中該第二回收液會先輸送至一儲存槽中。
12. 如請求項1所述之光阻剝離劑廢液回收系統，其中該冷凝模組包含：一冷凝器； 一第一中間槽，連接至該冷凝器，以儲存該第二廢液中部份的水，以及一第二中間槽，連接至該冷凝器，以儲存該第二回收液。
13. 如請求項12所述之光阻剝離劑廢液回收系統，其中該冷凝模組包含二切換單元，該些切換單元其中之一配置於該冷凝器與該第一中間槽之間，另一該切換單元配置於該冷凝器與該第二中間槽之間，該些切換單元係依據該蒸餾模組加熱該第二廢液之溫度選擇性地使該冷凝器連接該第一中間槽與該第二中間槽。
14. 如請求項13所述之光阻剝離劑廢液回收系統，其中當該蒸餾模組加熱該第二廢液之溫度實質上小於一第一溫度時，該些切換單元使該冷凝器連接該第一中間槽。
15. 如請求項14所述之光阻剝離劑廢液回收系統，其中當該蒸餾模組加熱該第二廢液之溫度實質上大於該第一溫度時，該些切換單元使該冷凝器連接該第二中間槽。
16. 一種光阻剝離劑(Stripper)廢液回收方法，包括：由一回收裝置接收且處理經過一光阻剝離製程中所產生的一第一廢液，分離該第一廢液中的一固形物、一剝離劑混合物與水，並產生一第二廢液與一第一回收液，其中該第一回收液包含該剝離劑混合物與水，且該第二廢液與該第一廢液皆至少包括該固形物、該剝離劑混合物與水；由一廢液處理裝置的一蒸餾模組接收且加熱該第二廢液，而使得該第二廢液中的該剝離劑混合物與水部份蒸發；以及 由該廢液處理裝置的一冷凝模組接收且冷凝被部份蒸發的該剝離劑混合物與水，而使得被部份蒸發的該剝離劑混合物與水液化成一第二回收液，其中，該第二回收液至少包含該剝離劑混合物與水。
17. 如請求項16所述之光阻剝離劑廢液回收方法，其中進行加熱該第二廢液的步驟時，另產生一殘留液，該廢液處理裝置包括一循環模組，該光阻剝離劑廢液回收方法包括由該循環模組加熱該殘留液並將被加熱的該殘留液輸送回該蒸餾模組的步驟。
18. 如請求項16所述之光阻剝離劑廢液回收方法，包括當該蒸餾該第二廢液完成後，形成一蒸餾殘留物的步驟，其中，該蒸餾殘留物包含該固形物。
19. 如請求項16所述之光阻剝離劑廢液回收方法，包括輸送該第一回收液至一光阻剝離製程機台的步驟。
20. 如請求項19所述之光阻剝離劑廢液回收方法，在輸送該第一回收液至該光阻剝離製程機台的步驟前，包括輸送該第一回收液至一光阻剝離劑調整槽中的步驟。
21. 如請求項16所述之光阻剝離劑廢液回收方法，包括輸送該第二回收液至該回收裝置中的步驟。
22. 如請求項21所述之光阻剝離劑廢液回收方法，在輸送該第二回收液至該回收裝置中的步驟前，包括輸送該第二回收液至一儲存槽中的步驟。
23. 如請求項16所述之光阻剝離劑廢液回收方法，其中該廢液處理裝置包括一冷凝器、一第一中間槽與一第二中間槽，該第一中間 槽與該第二中間槽分別連接至該冷凝器，該光阻剝離劑廢液回收方法包括：由該冷凝器冷凝該第二廢液中部份的水以儲存於該第一中間槽；以及由該冷凝器冷凝該第二回收液以儲存於該第二中間槽。
24. 如請求項23所述之光阻剝離劑廢液回收方法，其中，該廢液處理裝置包含二切換單元，該些切換單元其中之一配置於該冷凝器與該第一中間槽之間，另一該切換單元配置於該冷凝器與該第二中間槽之間，該光阻剝離劑廢液回收方法包括：當該廢液處理裝置加熱該第二廢液之溫度實質上小於一第一溫度時，該些切換單元使該冷凝器連接該第一中間槽，以儲存該第二廢液中部份的水於該第一中間槽；以及當該廢液處理裝置加熱該第二廢液之溫度實質上大於該第一溫度時，該些切換單元使該冷凝器連接該第二中間槽，以儲存該第二回收液於該第二中間槽。