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TWI571501B - 黏著劑組成物、黏著劑片及使用其之半導體裝置 - Google Patents

黏著劑組成物、黏著劑片及使用其之半導體裝置 Download PDF

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TWI571501B
TWI571501B TW100143854A TW100143854A TWI571501B TW I571501 B TWI571501 B TW I571501B TW 100143854 A TW100143854 A TW 100143854A TW 100143854 A TW100143854 A TW 100143854A TW I571501 B TWI571501 B TW I571501B
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嶋田彰
榛葉陽一
野中敏央
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東麗股份有限公司
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Description

黏著劑組成物、黏著劑片及使用其之半導體裝置
本發明係關於一種電子零件或電子材料所使用的黏著劑組成物。更詳言之，關於一種散熱材料等所用之高導熱性之黏著劑組成物。
近年來，隨著電子儀器之高性能化、高機能化及輕量小型化，在電子電路基板上已高密度地構裝許多的電子零件。所構裝的電子零件大多作為發熱體而功能運作者，從此等之電子零件所產生的熱成為對電子儀器之安全性、性能及信賴性造成不良影響之原因，已成為一大問題。在此，從零件或電路基板將從電子零件所產生的熱無損失地傳熱至殼體或散熱裝置之高導熱性黏著劑的需求逐漸變大。
有成功提案一種樹脂組成物作為高導熱性黏著劑所用之材料，其係將散熱性高的無機填料添加於環氧樹脂等之熱硬化性樹脂中而提高導熱係數(例如，參閱專利文獻1及2)。又，也有提案一種黏著劑組成物，其係於含有聚醯亞胺樹脂或聚醯亞胺矽氧烷樹脂之黏著劑中，藉由添加散熱性高的無機填料而改善導熱性、耐熱性、黏著性(例如，參閱專利文獻3及4)。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2008-266378號公報
[專利文獻2]日本特開2009-292881號公報
[專利文獻3]日本特開2010-84072號公報
[專利文獻4]日本特開2005-113059號公報
然而，習知之組成物具有下列之問題：若大量含有無機填料時，在樹脂中之分散性將變差、不太提高導熱性，或是顯著地降低韌性或黏著性。
在此，本發明係以提供一種黏著劑組成物作為目的，該黏著劑組成物係控制導熱性填料之分散性，具優越之高導熱性、與發熱體或散熱裝置材料之黏附性。
為了解決上述問題，本發明係一種黏著劑組成物，其係含有(A)可溶性聚醯亞胺、(B)環氧樹脂、(C)導熱性填料；(A)可溶性聚醯亞胺係含有將下列通式(1)所示之構造作為源自二胺之成分，在黏著劑組成物中之(C)導熱性填料的含量為60 vol.%以上之黏著劑組成物。
(通式(1)中，X係表示1以上10以下之整數，n係表示1以上20以下之整數)。
若根據本發明，能夠獲得一種黏著劑組成物，其係使導熱性填料之分散性受到控制，具優越之高導熱性、與基板之黏附性及絕緣性。
 [實施發明之形態]
本發明之黏著劑組成物，其係含有(A)可溶性聚醯亞胺、(B)環氧樹脂、(C)導熱性填料；(A)可溶性聚醯亞胺係含有下列通式(1)所示之構造作為源自二胺之成分，在黏著劑組成物中之(C)導熱性填料的含量為60 vol.%以上之黏著劑組成物。
(通式(1)中，X係表示1以上10以下之整數，n係表示1以上20以下之整數)。
所謂本發明中之(A)可溶性聚醯亞胺係指相對於N-甲基-2-吡咯啶酮、N,N-二甲基乙醯胺、N,N-二甲基甲醯胺、N-乙烯基吡咯啶酮、N,N-二乙基甲醯胺等之醯胺系溶劑；γ-丁內酯、甲基單甘二甲醚(gylme)、甲基二甘二甲醚、甲基三甘二甲醚、乙基單甘二甲醚、乙基二甘二甲醚、乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基醚、丙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚、乙二醇二甲基醚、乙二醇二乙基醚等之醚系溶劑中任一種有機溶劑100 g而言，在25℃可溶解1 g以上者。
又，在本發明中之(A)可溶性聚醯亞胺主要係藉由四羧酸二酐與二胺之反應而獲得，具有四羧酸二酐之殘基與二胺之殘基。於此，在本發明中之(A)可溶性聚醯亞胺係於二胺殘基中含有上述通式(1)所示之構造。由於氧化伸烷基骨架係柔軟性高，使用具有如此構造之聚醯亞胺所獲得的黏著劑組成物係提高對基板之黏附性。從提高黏附性之觀點，具有上述通式(1)所示之構造的二胺殘基之含量較佳為全部二胺殘基中之20mol%以上，更佳為30mol%以上。又從耐熱性之觀點，較佳為90mol%以下，更佳為80mol%以下。
在通式(1)所示之構造中，CXH2X之具體例，可列舉：亞甲基、伸乙基、伸丙基、伸丁基、伸戊基、伸己基、伸壬基等。又，無直鏈構造之必要，例如伸丙基之情形，可為正伸丙基、異伸丙基中任一種。又，伸丁基之情形，可為正伸丁基、異伸丁基、三級伸丁基中任一種。這種情形，對於碳數多的伸烷基也適用。
作為具有通式(1)所示之構造的二胺，可列舉：聚氧乙烯二胺、聚氧丙烯二胺、聚氧丁烯二胺、雙(4-胺基苯氧基)甲烷、1,3-雙(4-胺基苯氧基)丙烷、1,4-雙(4-胺基苯氧基)丁烷、1,5-雙(4-胺基苯氧基)戊烷、三亞甲基雙(4-胺基苯甲酸酯)、四亞甲基雙(4-胺基苯甲酸酯)、聚氧化四亞甲基雙(4-胺基苯甲酸酯)、聚(四亞甲基/3-甲基四亞甲基醚)乙二醇雙(4-胺基苯甲酸酯)等。又，作為對應於此等之二胺的製品，可舉例：BASF(股)製之D230、D400、D2000、T403、T5000、Ihara Chemical(股)製之Elastomer 250P、Elastomer 650P、Elastomer 1000P、Elastomer 1000、Polea SL-100A、CUA-4等。還有，具有在本發明所用之通式(1)所示之構造的二胺例子並不限於上述之物。
於本發明中，(A)可溶性聚醯亞胺進一步較佳為具有下列通式(2)所示之二胺的殘基。藉由具有如此之二胺殘基，提高可溶性聚醯亞胺對有機溶劑的溶解性。又，由於藉矽氧烷鍵而賦予聚醯亞胺骨架柔軟性，使用具有如此構造之聚醯亞胺所獲得的黏著劑組成物，對基板之黏附性提高。從黏附性提高之觀點，下列通式(2)所示之二胺殘基的含量，較佳為全部二胺殘基中之5 mol%以上。又，從提高因矽氧烷鍵部分之疏水性所導致的分散性之觀點，較佳為50 mol%以下。
通式(2)中，m係表示1至30之整數。R5與R6係可相同亦可不同且表示碳數1至30之伸烷基或伸苯基。R1至R4係分別可相同亦可不同且表示碳數1至30之烷基、苯基或苯氧基。雖然碳數為1至30之烷基並無特別之限制，但較佳為甲基、乙基、丙基、丁基。又，雖然碳數為1至30之伸烷基並無特別之限制，但較佳為亞甲基、伸乙基、伸丙基、伸丁基。還有，相同於該CXH2X之說明，烷基及伸烷基並無直鏈構造之必要。
作為通式(2)所代表之二胺的具體例，可列舉：1,1,3,3-四甲基-1,3-雙(4-胺基苯基)二矽氧烷、1,1,3,3-四苯氧基-1,3-雙(4-胺基乙基)二矽氧烷、1,1,3,3,5,5-六甲基-1,5-雙(4-胺基苯基)三矽氧烷、1,1,3,3-四苯基-1,3-雙(2-胺基乙基)二矽氧烷、1,1,3,3-四苯基-1,3-雙(3-胺基丙基)二矽氧烷、1,1,5,5-四苯基-3,3-二甲基-1,5-雙(3-胺基丙基)三矽氧烷、1,1,5,5-四苯基-3,3-二甲氧基-1,5-雙(4-胺基丙基)三矽氧烷、1,1,5,5-四苯基-3,3-二甲氧基-1,5-雙(5-胺基苄基)三矽氧烷、1,1,3,3-四甲基-1,3-雙(2-胺基乙基)二矽氧烷、1,1,3,3-四甲基-1,3-雙(3-胺基丙基)二矽氧烷、1,1,3,3-四甲基-1,3-雙(4-胺基丁基)二矽氧烷、1,3-二甲基-1,3-二甲氧基-1,3-雙(4-胺基丁基)二矽氧烷、1,1,5,5-四甲基-3,3-二甲氧基-1,5-雙(2-胺基乙基)三矽氧烷、1,1,5,5-四甲基-3,3-二甲氧基-1,5-雙(4-胺基丁基)三矽氧烷、1,1,5,5-四甲基-3,3-二甲氧基-1,5-雙(5-胺基苄基)三矽氧烷、1,1,3,3,5,5-六甲基-1,5-雙(3-胺基丙基)三矽氧烷、1,1,3,3,5,5-六乙基-1,5-雙(3-胺基丙基)三矽氧烷、1,1,3,3,5,5-六丙基-1,5-雙(3-胺基丙基)三矽氧烷等，但並非受此等所限定者。
於本發明中，(A)可溶性聚醯亞胺之重量平均分子量期望為5,000以上500,000以下。含有2種以上可溶性聚醯亞胺之情形，只要其中至少1種之重量平均分子量為上述範圍的話即可。重量平均分子量低於5,000之情形，有機械強度顯著降低而使黏著強度變低之情形。較佳為10,000以上。另一方面，若重量平均分子量超過500,000時，樹脂組成物之黏度變高、會有導熱性填料之分散性降低之情形。較佳為100,000以下。還有，本發明中之重量平均分子量係藉由凝膠滲透層析法(GPC法)而測定，以聚苯乙烯換算所算出。
除了上述二胺殘基以外，於不損害本發明效果之程度下，本發明之(A)可溶性聚醯亞胺亦可含有其他之二胺殘基。例如，可列舉：1,4-二胺基苯、1,3-二胺基苯、2,4-二胺基甲苯、1,4-二胺基-2,5-二鹵苯等之含有1個苯環之二胺類；雙(4-胺基苯基)醚、雙(3-胺基苯基)醚、雙(4-胺基苯基)碸、雙(3-胺基苯基)碸、雙(4-胺基苯基)甲烷、雙(3-胺基苯基)甲烷、雙(4-胺基苯基)硫醚、雙(3-胺基苯基)硫醚、2,2-雙(4-胺基苯基)丙烷、2,2-雙(3-胺基苯基)丙烷、2,2-雙(4-胺基苯基)六氟丙烷、鄰聯茴香胺、鄰間甲苯胺、間甲苯胺磺酸類等之含有2個苯環之二胺類；1,4-雙(4-胺基苯氧基)苯、1,4-雙(3-胺基苯氧基)苯、1,4-雙(4-胺基苯基)苯、1,4-雙(3-胺基苯基)苯、α,α’-雙(4-胺基苯基)-1,4-二異丙基苯、α,α’-雙(4-胺基苯基)-1,3-二異丙基苯等之含有3個苯環之二胺類；2,2-雙[4-(4-胺基苯氧基)苯基]丙烷、2,2-雙[4-(4-胺基苯氧基)苯基]六氟丙烷、2,2-雙[4-(4-胺基苯氧基)苯基]碸、4,4’-(4-胺基苯氧基)聯苯、9,9-雙(4-胺基苯基)茀、5,10-雙(4-胺基苯基)蒽等之含有4個以上苯環之二胺類等之二胺化合物之殘基。還有，其他之二胺殘基之例子並不受此等所限定。
作為本發明中之(A)可溶性聚醯亞胺所具有的酸二酐殘基，並無特別之限定，例如，可列舉：均苯四甲酸酐(PMDA)、羥基鄰苯二甲酸二酐(ODPA)、3,3’,4,4’-二苯甲酮四甲酸二酐(BTDA)、3,3’,4,4’-聯苯四甲酸二酐(BPDA)、3,3’,4,4’-二苯基碸四甲酸二酐(DSDA)、2,2’-雙[(二羧基苯氧基)苯基]丙酸二酐(BSAA)、4,4’-六氟亞異丙基二鄰苯二甲酸酐(6FDA)、1,2-乙烯雙(偏苯三甲酸酐)(TMEG)等之酸二酐殘基。還有，酸二酐殘基之例不受此等所限制。
上述之中，四羧酸二酐之殘基與二胺之殘基較佳為1)苯環少、2)分子量大且高積、或3)醚鍵等之彎曲部位多的構造。藉由具有如此之構造，使分子鏈間之相互作用變弱，將提高可溶性聚醯亞胺於有機溶劑中之溶解性。
本發明中之(A)可溶性聚醯亞胺可為僅含有聚醯亞胺構造單元者，除了聚醯亞胺構造單元以外，作為共聚物成分亦可為具有其他構造之共聚物。又，亦可含有聚醯亞胺構造單元之前驅物(聚醯胺酸構造)。又，亦可為此等之混合物。更者，亦可為此等中任一種混合其他構造所代表之聚醯亞胺。已混合以其他構造所代表之聚醯亞胺之情形，較佳為含有50莫耳%以上的本發明中之(A)可溶性聚醯亞胺。共聚合或混合所用之構造的種類及量較佳為在不損害本發明效果之範圍內加以選擇。
本發明所用之(A)可溶性聚醯亞胺的合成方法並未予以特別限定，利用習知方法，使用二胺與四羧酸二酐而予以合成。例如，利用下列所述之方法：在低溫中，使四羧酸二酐與二胺化合物(亦可將一部分置換成苯胺衍生物)反應之方法；藉由四羧酸二酐與醇之反應而獲得二酯，之後，在二胺(亦可將一部分置換成苯胺衍生物)與縮合劑之存在下而使其反應之方法；藉由四羧酸二酐與醇之反應而獲得二酯，之後，酸氯化殘留的二個羧基後，與二胺(亦可將一部分置換成苯胺衍生物)反應之方法等；獲得聚醯亞胺前驅物，能夠利用習知之醯亞胺化方法而合成此等。
本發明之黏著劑組成物係含有(B)環氧樹脂。若含有環氧樹脂，則由於直到B階段黏著劑組成物之黏度變低，使黏著劑組成物成型成片狀者(黏著劑片)與基板之熱壓黏性提高。又由於藉硬化反應而以3次元進行交聯反應，黏著後之機械強度或耐熱性及對基板之黏附性提高。
本發明所用之(B)環氧樹脂並無特別之限制，從提高在高溫下之流動特性或硬化後之機械強度而降低熱膨脹係數之觀點，較佳為結晶性之環氧樹脂。所謂結晶性之環氧樹脂係具有聯苯基、萘骨架、蒽骨架、苯基苯甲酸酯基、苯甲醯苯胺基等之具有液晶元(mesogen)骨架之環氧樹脂。作為對應於如此環氧樹脂之製品，可列舉：三菱化學(股)製之JERYX4000、JERYX4000H、JERYX8800、JERYL6121H、JERYL6640、JERYL6677、JERYL7399；或日本化藥(股)製之NC3000、NC3000H、NC3000L、CER-3000；或新日鐵化學(股)製之YSLV-80XY、YDC1312；或DIC(股)製之HP4032D等。
又，本發明所用之(B)環氧樹脂，從提高(C)導熱性填料之分散性，使硬化後之絕緣性提高之觀點，較佳為具有茀骨架之環氧樹脂。作為如此之環氧樹脂，可列舉：大阪氣體化學(股)製之PG100、CG500、CG300-M2、EG200、EG250等。
又，從在B階段之柔軟性、或與基板之黏附強度之觀點，本發明所用之(B)環氧樹脂係較佳在室溫下為液狀之環氧樹脂。於此，所謂液狀之環氧樹脂係在25℃、1.013×105 N/m2下顯示150 Pa‧s以下之黏度者，例如，可舉例：雙酚A型環氧樹脂、雙酚F型環氧樹脂、氧化伸烷基改質環氧樹脂、縮水甘油胺型環氧樹脂等。對應於如此之環氧樹脂的製品可列舉：三菱化學(股)製之JER827、JER828、JER806、JER807、JER801N、JER802、JER604、JER630、JER630LSD；或DIC(股)製之EPICLON840S、EPICLON850S、EPICLON830S、EPICLON705、EPICLON707；或新日鐵化學(股)製之YD127、YD128、PG207N、PG202等。
又，本發明所用之(B)環氧樹脂可為1種亦可組合2種以上。相對於(A)可溶性聚醯亞胺100重量份而言，(B)環氧樹脂之含量較佳為20重量份以上800重量份以下。從B階段中之黏著劑片與基板的熱壓黏性之觀點，更佳為50重量份以上。又，從降低硬化後之環氧樹脂的交聯密度而使黏著劑組成物之韌性及與基板之黏附強度提高之觀點，更佳為500重量份以下。
還有，本發明之黏著劑組成物視需要亦可含有硬化劑。藉由組合環氧樹脂與硬化劑，能夠加速環氧樹脂之硬化而使其於短時間內硬化。作為硬化劑，能夠使用咪唑類、多元酚類、酸酐類、胺類、醯肼類、聚硫醇類、路易士酸-胺錯合物類、潛在性硬化劑等。其中，較佳為使用保存安定性與硬化物之耐熱性優異的咪唑類、多元酚類、潛在性硬化劑。此等能夠單獨地使用或混合2種以上而使用。
作為咪唑類可列舉：Curezol 2MZ、Curezol 2PZ、Curezol 2MZ-A、Curezol 2MZ-OK(以上商品名、四國化成工業(股)製等。作為多元酚類可列舉：Sumilite Resin PR-HF3、Sumilite Resin PR-HF6(以上商品名、住友Bakelite(股)製)；Kayahard KTG-105、Kayahard NHN(以上商品名、日本化藥(股)製)；Phenolite TD2131、Phenolite TD2090、Phenolite VH-4150、Phenolite KH-6021、Phenolite KA-1160、Phenolite KA-1165(以上商品名、DIC(股)製)。又，作為潛在性硬化劑可列舉：二氰基二醯胺型潛在性硬化劑、胺加成型潛在性硬化劑、有機酸醯肼型潛在性硬化劑、芳香族鋶鹽型潛在性硬化劑、微膠囊型潛在性硬化劑、光硬化型潛在性硬化劑。
作為二氰基二醯胺型潛在性硬化劑可列舉：DICY7、DICY15、DICY50(以上商品名、Japan Epoxy Resin(股)製)；Amicure AH-154、Amicure AH-162(以上商品名、味之素Fine Techno(股)製)等。作為胺加成型潛在性硬化劑可列舉：Amicure PN-23、Amicure PN-40、Amicure MY-24、Amicure MY-H(以上商品名、味之素Fine Techno(股)製)；Fujicure FXR-1030(以上商品名、富士化成(股)製)等。作為有機酸醯肼型潛在性硬化劑可列舉：Amicure VDH、Amicure UDH(以上商品名、味之素Fine Techno(股)製)等。作為芳香族鋶鹽型潛在性硬化劑之芳香族鋶鹽可列舉：San Aid SI100、San Aid SI150、San Aid SI180(以上商品名、三新化學工業(股)製)等。作為微膠囊型潛在性硬化劑可列舉：利用乙烯化合物、脲化合物、熱可塑性樹脂而膠囊化上述之各硬化劑者。其中，作為利用異氰酸酯處理胺加成型潛在性硬化劑之微膠囊型潛在性硬化劑可列舉：Novacure HX-3941HP、Novacure HXA3922HP、Novacure HXA3932HP、Novacure HXA3042HP(以上商品名、旭化成化學(股)製)等。又，光硬化型潛在性硬化劑可列舉：Optomer SP、Optomer CP(ADEKA(股)製)等。
黏著劑組成物中含有硬化劑之情形，相對於(B)環氧樹脂100重量份而言，其含量較佳為0.1重量份以上35重量份以下。
本發明之黏著劑組成物係含有(C)導熱性填料。於本發明中，所謂導熱性填料係指導熱係數在25℃為2 W/m‧K以上之填料。填料之導熱係數以厚度為1 mm左右且氣孔率為10%以下得到燒結體後，依照JIS R1611(2010)測定而求出。只要是如此之填料，並無特別之限制，可列舉例為，碳黑、二氧化矽、氧化鎂、氧化鋅、氧化鋁、氮化鋁、氮化硼、碳化矽、氮化矽等之無機填料或銅、鋁、鎂、銀、鋅、鐵、鉛等之金屬填料等。此等之填料可單獨使用，或亦可組合複數之填料而使用。又，填料之形狀並未予以特別限制，可舉例：正球狀、球狀、鱗片狀、薄片狀、箔片狀、纖維狀、針狀等。從高密度地含有導熱性填料之觀點，較佳為正球狀之填料。
於本發明中，在黏著劑組成物中，(C)導熱性填料之含量為60 vol.%以上。藉由為60 vol.%以上，使黏著劑組成物之導熱係數變高。更佳為65 vol.%以上。還有，如後所述，將黏著劑組成物作成片材使用之情形，片材中之(C)導熱性填料之含量為60 vol.%以上，更佳為65 vol.%以上。
填料之體積含量係從黏著劑組成物中所含之成分各自的重量含量與比重，藉由算出各成分之體積含量而求出。於此，對於算出於黏著劑組成物及片材中之填料的體積含有率(vol.%)，在黏著劑組成物及片材中含有溶劑之情形下，其溶劑係設為不包含於計算內。亦即，於黏著劑組成物或片材中所含之成分中，將除去溶劑以外之成分的合計體積含量作為分母，計算填料之體積含有率。
作為從片材硬化物算出填料的體積含有率之方法，可舉例：利用如下之熱重量分析之方法，但並不受此等實施例所限定。首先，將片材之硬化物升溫到600至900℃，使樹脂成分分解/揮發而測定所含之填料重量，進一步算出樹脂之重量。之後，除以填料與樹脂之比重而算出體積後進行計算之方法。
(C)導熱性填料較佳為組合2種以上之不同平均粒徑的填料而使用。此時，較佳為至少1種填料的平均粒徑在6 μm以上。藉由含有平均粒徑為6 μm以上之導熱性填料而可獲得高的導熱係數。又，期望平均粒徑為100 μm以下。藉由使平均粒徑成為100 μm以下，能夠降低在黏著劑組成物之B階段的表面粗糙度，故能夠更提高黏著強度。
又，從提高導熱係數之觀點，於黏著劑組成物中，平均粒徑為6 μm以上之導熱性填料之含量較佳為40 vol.%以上，更佳為50 vol.%以上。還有，如後所述，將黏著劑組成物作為片材使用之情形時，片材中的平均粒徑為6 μm以上之導熱性填料的含量較佳為40 vol.%以上，更佳為50 vol.%以上。
又，本發明所使用的(C)導熱性填料係含有2種以上之不同平均粒徑之填料，至少含有(C-1)平均粒徑為6 μm以上15 μm以下，與(C-2)平均粒徑為30 μm以上，更佳為40 μm以上之填料。(C-1)之填料的平均粒徑，作為下限更佳為8 μm以上、作為上限更佳為12 μm以下，進一步較佳為10 μm以下。又，雖然作為(C-2)之填料的平均粒徑之上限並未予以特別限制，較佳為90 μm以下，更佳為70 μm以下，進一步較佳為50 μm以下。藉由以如此之組合而含有導熱性填料，可獲得更高的導熱係數。
又，從導熱係數提高之觀點，平均粒徑為30 μm以上，更佳為40 μm以上之導熱性填料之含量較佳為10 vol.%以上，更佳為20 vol.%以上。又，從提高耐電壓之觀點，較佳為35 vol.%以下，更佳為30 vol.%以下。
又，除了上述以外，作為與平均粒徑為6 μm以上之導熱性填料組合後所用之導熱性填料，期望含有平均粒徑低於6 μm之填料。藉此，能夠使粒徑小的填料分散於粒徑大的填料之間隙中，能夠於黏著劑組成物中更高密度地含有導熱性填料，使黏著劑組成物之導熱係數能夠提高。雖然作為平均粒徑之下限並未予以特別限制，較佳為0.01 μm以上，進一步較佳為0.1 μm以上。
還有，於本發明中所謂平均粒徑係未凝聚之一次粒徑的平均粒徑，一次粒子所凝聚者係其凝聚物之粒徑。作為測定糊組成物中之導熱性填料的平均粒徑之方法，可舉例：藉SEM(掃瞄型電子顯微鏡)或TEM(穿透型電子顯微鏡)而直接觀察粒子、計算粒徑的平均數量之方法。
平均粒徑為6 μm以上之填料較佳為氧化鋁、氮化硼、氮化鋁、氧化鋅、氧化鎂、二氧化矽等。由於填料之導熱係數高，提高黏著劑組成物之導熱係數的效果高。
又，本發明所用之(C)導熱性填料較佳為將該導熱性填料10 g添加於水100 g中之際，其溶液之pH顯示6.0以下者。以下，有時將如此之填料簡稱為「pH為6.0以下之導熱性填料」。由於黏著劑組成物中之(A)可溶性聚醯亞胺係具有胺等之鹼性官能基之殘基，能夠藉由酸鹼基之相互作用使導熱性填料之分散性提高。藉此，提高黏著劑組成物硬化後之與基板的黏著力。pH為6.0以下之導熱性填料並不受填料本身之種類所限定，可舉例：在填料表面，羧基或羥基等之酸性官能基多的填料；藉由高級脂肪酸或矽烷偶合劑處理填料表面之填料等。作為在填料表面，羧基或羥基等之酸性官能基多的填料可舉例：碳黑或氧化鋁。從絕緣性之觀點，較佳為氧化鋁。例如，作為如此之氧化鋁粒子可舉例：Admatechs(股)製之AO802、AO809、AO820、AO502、AO509、AO520；或電氣化學工業(股)製之DAW-03、DAM-03、DAW-05、DAM-05、DAW-07、DAM-07、DAW-45、DAM-45、DAW-70、DAM-70等。
又，亦可混合pH為6.0以下之導熱性填料與除此以外之填料後使用。混合使用之情形係較佳為在黏著劑組成物中pH為6.0以下之導熱性填料的含量為40 vol.%以上。更佳為50 vol.%以上。藉由為40 vol.%以上，能夠提高導熱性填料的分散性，而能夠獲得更高的導熱係數。還有，如後所述，將黏著劑組成物作為片材使用之情形，片材中之pH為6.0以下之導熱性填料的含量較佳為40 vol.%以上，更佳為50 vol.%以上。
本發明之黏著劑組成物視需要亦可含有界面活性劑，能夠提高與基板之塗布性。又，亦可於黏著劑組成物中含有0.5至10重量%之甲基丙烯醯氧基二甲氧基矽烷、3-胺丙基甲氧基矽烷等之矽烷偶合劑、鈦螯合劑等。
接著，針對將本發明之黏著劑組成物加工成片狀之方法而加以說明。為了將本發明之黏著劑組成物加工成片狀，例如能夠將黏著劑組成物混合於溶劑中而作成清漆狀之物塗布於載體上，進行乾燥而加工成片狀。
作為於此所用之溶劑，只要適當選擇溶解該成分之溶劑的話即可，例如，可舉例：酮系溶劑之丙酮、甲基乙基酮、甲基異丁基酮、環戊酮、環己酮；醚系溶劑之1,4-二烷、四氫呋喃、二甘二甲醚；乙二醇醚系溶劑之甲基溶纖素、乙基溶纖素、丙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚、丙二醇單丁基醚、二乙二醇甲基乙基醚；其他之苄醇、丙醇、N-甲基吡咯啶酮、γ-丁內酯、乙酸乙酯、N,N-二甲基甲醯胺等。尤其，若包含一大氣壓下沸點為120℃以下之溶劑時，由於能夠以低溫、短時間去溶劑化而使得片材狀變得容易。
將本發明之黏著劑組成物作成清漆狀之方法，並未予以特別限定，於上述溶劑中，使用螺旋槳式攪拌機、均質機、混練機等而使(A)可溶性聚醯亞胺、(B)環氧樹脂與(C)導熱性填料及視需要所含有之其他成分混合後，從使(C)導熱性填料之分散性提高之觀點，較佳為利用珠磨機、球磨機、3輥磨機等而混合。
作為對載體塗布清漆之方法，可舉例：使用旋轉機之旋轉塗布、噴霧塗布、輥塗布、網板印刷、或是使用刮刀塗布機、模頭塗布機、壓延機塗布機、彎月形塗布機、桿塗布機、輥塗布機、缺角(comma)輥塗布機、照相凹版塗布機、網板塗布機、狹縫模頭塗布機等之塗布方法。
作為塗布機雖然能夠使用輥塗布機、缺角輥塗布機、照相凹版塗布機、網板塗布機、狹縫模頭塗布機等，但由於狹縫模頭塗布機塗布時之溶劑揮發少且塗布性穩定而較佳使用。已片材化之黏著劑組成物(黏著劑片)之厚度並未予以特別限定，從耐電壓等之絕緣性或散熱特性之觀點，較佳為20至200 μm之範圍。
能夠將烘箱、熱板、紅外線等使用於乾燥。乾燥溫度及乾燥時間只要為能夠使有機溶劑揮發之範圍即可，較佳為適當設定而使黏著劑片成為未硬化或半硬化狀態(B階段狀態)之範圍。具體而言，較佳為40℃至120℃之範圍內保持1分鐘至數十分鐘。又，亦可組合此等之溫度而階段性地升溫，例如，亦可在70℃、80℃、90℃進行各1分鐘之熱處理。
載體並未予以特別限定，能夠使用聚對苯二甲酸乙二酯(PET)薄膜、聚苯硫醚薄膜、聚醯亞胺薄膜等，通常市售的各種薄膜。
為了改善黏附性與剝離性，載體之與黏著劑組成物的黏合面亦可實施矽氧烷、矽烷偶合劑、鋁螯合劑、聚脲等之表面處理。又，載體之厚度並未予以特別限定，從作業性之觀點，較佳為10至100 μm之範圍。
又，為了保護其表面，黏著劑片亦可具有保護薄膜。藉此，能夠避免空氣中之垃圾或塵埃等之污染物質來保護黏著劑片表面。
作為保護薄膜可舉例：聚乙烯薄膜、聚丙烯(PP)薄膜、聚酯薄膜等。保護薄膜較佳為與黏著劑片之黏著力小者。
接著，針對利用本發明之黏著劑組成物或黏著劑片而黏著基板或零件之方法，舉例而加以說明。黏著劑組成物較佳為作成如上所述之清漆狀後使用。首先，使用黏著劑組成物清漆而在應黏著之基板或零件的一側面形成黏著劑組成物被覆膜。作為基板或零件可舉例：銅或SUS等金屬基材之薄板、或應與此相貼合之半導體裝置(其導線架部分等)等。作為黏著劑組成物清漆之塗布方法可舉例：使用旋轉機之旋轉塗布、噴霧塗布、輥塗布、網板印刷等之方法。又，塗布膜厚係根據塗布手法、樹脂組成物之固形物濃度及黏度等而異，通常，較佳為使乾燥後之膜厚成為50 μm以上300 μm以下的方式來塗布。接著，乾燥已塗布黏著劑組成物清漆之基板後獲得黏著劑組成物被覆膜。乾燥能夠使用烘箱、熱板、紅外線等。乾燥溫度及乾燥時間只要為能夠使有機溶劑揮發之範圍內的話即可，較佳為適當設定使黏著劑組成物被覆膜成為未硬化或半硬化狀態之範圍。具體而言，較佳為在50至150℃之範圍內進1分鐘至數小時。
另一方面，黏著劑片係於具有保護薄膜之情形下，剝離此保護薄膜而使基板與黏著劑片對向，藉由熱壓黏而貼合。熱壓黏能夠藉熱加壓處理、熱層合處理、熱真空層合處理等而進行。從對基板之黏附性、埋入性之觀點，貼附溫度較佳為40℃以上。又，由於貼附時，若使溫度變高，將使得黏著劑片硬化之時間變快，而使作業性降低，貼附溫度較佳為250℃以下。黏著劑片具有載體之情形，載體可於貼合前剝離，亦可於熱壓黏步驟中任一時點或熱壓黏後剝離。
將進行如此方式所獲得的黏著劑組成物被覆膜所形成的基板熱壓黏於基板或其他零件。熱壓黏溫度只要為樹脂之玻璃轉移溫度以上的話即可，較佳為100至400℃之溫度範圍。又，壓黏時之壓力較佳為0.01至10 MPa之範圍。時間較佳為1秒鐘至數分鐘。
熱壓黏後施加120℃至400℃之溫度而作成硬化膜。此加熱處理係選擇溫度、階段性地升溫，或是選擇某溫度範圍連續地一面升溫一面實施5分鐘至5小時之熱處理。其一例係在130℃、200℃各進行30分鐘之熱處理。或是從室溫起直到250℃為止，花費2小時而進行直線式地升溫等之方法。此時，加熱溫度較佳為150℃以上、300℃以下之溫度，進一步較佳為180℃以上、250℃以下。
從黏著信賴性之觀點，以如此方式進行熱壓黏所獲得的黏著物，其剝離強度期望為2 N/mm以上。更期望為5 N/mm以上。
硬化膜之膜厚能夠任意地設定，但較佳為50 μm以上300 μm以下。
接著，針對本發明中之黏著劑組成物的用途，舉例一例而加以說明，但本發明之黏著劑組成物的用途並非受下列所限定者。
本發明中之黏著劑組成物能夠作為半導體裝置之黏著劑而被廣泛使用，特別適用於功率IC封裝。所謂功率IC係電力控制用之IC，除了習知之Si半導體之外，也用於SiC半導體等，與演算用IC作比較，係為在更高溫下動作，或發熱量更大之IC。將黏著劑片貼附於含有金屬基板的散熱翅(fin)，或是藉由塗布黏著劑組成物之清漆後乾燥而形成黏著層。其後，藉由使散熱翅熱壓黏而黏著於已構裝功率IC之半導體裝置，其係含有銅的導線架，可獲得功率IC封裝。還有，在本發明所謂的半導體裝置不僅是將半導體元件連結至基板，或是連結半導體元件彼此或基板彼此者，係指利用半導體元件之特性而能夠發揮機能的所有裝置，光電裝置、半導體電路基板及含有此等之電子零件全部皆包含於半導體裝置中。
[實施例]
以下，根據實施例而具體說明本發明，但本發明並不受此實施例所限定。還有，以下在各實施例中顯示以簡稱所示之原料的詳細內容。
＜聚醯亞胺之原料＞
ODPA：4,4’-羥基鄰苯二甲酸二酐(Manak(股)製)
BAHF：2,2-雙(3-胺基-4-羥基苯基)六氟丙烷(AZ Electronic Materials(股)製)
MBAA：[雙(4-胺基-3-羧基)苯基]甲烷(和歌山精化工業(股)製)
SiDA：雙(3-胺基丙基)四甲基二矽氧烷(信越化學(股)製)
MAP：3-胺基酚(東京化成(股)製)
彈性體1000：聚氧化四亞甲基-二對胺基苯甲酸酯
D-400：聚氧丙烯二胺(BASF(股)製、商品名“Jeffamine”D-400通式(1)之n=5至7)。
＜環氧樹脂＞
EPICLON850S：雙酚A型液狀環氧樹脂
EXA-4850-150：寡聚物型雙酚A型液狀環氧樹脂(DIC(股))
NC3000：具有雙酚骨架之環氧樹脂(日本化藥(股)製)
PG100：具有茀骨架之環氧樹脂(大阪氣體化學(股)製)。
＜導熱性填料＞
DAW-45：氧化鋁粒子(平均粒徑：45 μm、導熱係數：26 W/m‧K)(電氣化學工業(股)製)
AO820：氧化鋁粒子(平均粒徑：20 μm、導熱係數：20 W/m‧K)(Admatechs(股)製：商標名Admatechs)
AO509：氧化鋁粒子(平均粒徑：9 μm、導熱係數：20 W/m‧K)(Admatechs(股)製：商標名Admatechs)
AO502：氧化鋁粒子(平均粒徑：0.7 μm、導熱係數：20 W/m‧K)(Admatechs(股)製：商標名Admatechs)
FAN-30：氮化鋁粒子(平均粒徑：30 μm、導熱係數：170 W/m‧K)(古河電子(股)製)
FAN-50：氮化鋁粒子(平均粒徑：50 μm、導熱係數：170 W/m‧K)(古河電子(股)製)
FAN-05：氮化鋁粒子(平均粒徑：5 μm、導熱係數：170 W/m‧K)(古河電子(股)製)
HP-40：氮化硼粒子(平均粒徑：8 μm、導熱係數：40 W/m‧K)(水島合金鐵(股)製)
MBN-010T：氮化硼粒子(平均粒徑：0.9 μm、導熱係數：40 W/m‧K)(三井化學(股)製)。
＜硬化劑＞
2PZ：2-苯基咪唑。
＜溶劑＞
γBL：γ-丁內酯。
以下，表示各實施例/比較例中之評估方法。
＜所合成的聚醯亞胺之分子量＞
使用將聚醯亞胺溶解於NMP之固形物濃度0.1重量%之溶液，藉由下列所示之構造的GPC裝置Waters2690(Waters(股)製)而算出聚苯乙烯換算之重量平均分子量。GPC測定條件係將分別以濃度0.05 mol/l溶解LiCl與磷酸之NMP作為移動層，將展開速度設為0.4 ml/分鐘。
檢測器：Waters996
系統控制器：Waters2690
管柱烘箱：Waters HTR-B
熱控制器：Waters TCM
管柱：TOSOH grard comn
管柱：THSOH TSK-GEL α-4000
管柱：THSOH TSK-GEL α-2500
＜所合成的聚醯亞胺之醯亞胺化率＞
首先，測定聚合物之紅外吸收光譜，確認起因於聚醯亞胺的醯亞胺構造之吸收波峰(1780 cm-1附近、1377 cm-1附近)之存在。接著，針對其聚合物，在350℃進行1小時熱處理之後，再度測定紅外吸收光譜，比較熱處理前與熱處理後在1377 cm-1附近的波峰強度。將熱處理後之聚合物的醯亞胺比例設為100%，求出熱處理前之聚合物的醯亞胺化率。
＜對基板之貼附性＞
使用缺角輥塗布機，將各實施例與比較例所製作的黏著劑組成物塗布於厚度38 μm之PET薄膜上，在100℃進行30分鐘乾燥之後，層合厚度10 μm之PP薄膜作為保護薄膜而獲得黏著劑片。使黏著劑片之膜厚成為120 μm的方式來進行塗布。之後剝離保護薄膜，使用層合裝置(Takatori(股)製、VTM-200M)，在階段溫度130℃、輥溫度130℃、貼附速度2 mm/秒、貼附壓力0.4 MPa之條件下，將該剝離面層合於銅箔(NA-VLP厚度15 μm：三井金屬(股)製)上。然後，剝離載體薄膜時，黏著劑片未殘留於載體薄膜上，將被貼附於銅箔上者視為佳(○)；無法貼附而殘留於載體薄膜上者視為否(×)。
＜黏著強度＞
剝離利用上述之方法所獲得的黏著片之保護薄膜，使用層合裝置，在階段溫度130℃、輥溫度130℃、貼附速度2 mm/秒、貼附壓力0.4 MPa之條件下，將剝離面層合於銅箔上。剝離載體薄膜後，在180℃之熱板上，將銅箔朝下，保持30秒鐘。之後，將銅箔層合於已加熱的黏著劑組成物之上，在0.2 MPa之壓力下熱壓黏1分鐘。之後，利用180℃之熱風循環型乾燥機，花費1小時使其熱硬化。利用氯化鐵水溶液而僅蝕刻單側之經如此方式所獲得的積層體之銅箔，進行線寬5 mm之電路加工。之後，利用推擠式凝膠計(push gel gauge)而以對積層體成90°之方向提起5 mm寬度的銅箔後拉伸，測定黏著強度。
＜導熱係數＞
剝離利用上述之方法所獲得的黏著片之保護薄膜，使用層合裝置，在階段溫度130℃、輥溫度130℃、貼附速度2 mm/秒、貼附壓力0.4 MPa之條件下，將剝離面層合於銅箔上。剝離載體薄膜後，利用180℃之熱風循環型乾燥機，花費1小時使其熱硬化。利用氯化鐵水溶液而蝕刻全部之經如此方式所獲得的積層體之銅箔，獲得厚度為120 μm之黏著劑組成物的硬化物。之後，利用Netzsch(股)製之雷射閃光法熱擴散測定裝置LFA447而測定硬化物之熱擴散係數。又，利用阿基米德法而測定硬化物之比重，利用DSC法而測定硬化物之比熱，以熱擴散係數×比重×比熱而算出導熱係數。填料之體積含有率係將所添加的樹脂組成物之各成分的重量除以比重而計算體積後算出。
＜耐電壓＞
除了使黏著劑組成物硬化物之厚度成為200 μm以外，進行與上述同樣之方式而獲得黏著劑組成物之硬化物。針對於此硬化物，使用菊水電子工業(股)製之耐電壓試驗器TOS5101，測定在溫度23℃、濕度50%RH中之耐電壓。測定係以交流電且升壓速度5.0 kV/秒實施，將0.2 mA以上之電流通過時的電壓設為耐電壓。
各實施例及比較例所用之聚醯亞胺係利用下列之方法而合成。
實施例1
將攪拌機、溫度計、氮氣導入管及滴定漏斗設置於300 ml之4口燒瓶中，於氮氣環境下，進料γBL 105.68 g、ODPA 11.79 g，在60℃使其攪拌溶解。之後，在60℃一面攪拌一面添加29.71 g之彈性體1000、SiDA 2.98 g、BAHF 1.47 g後攪拌1小時。之後使其升溫直到180℃後攪拌2小時後，冷卻直到室溫而獲得聚醯亞胺溶液A(固形物濃度30.0重量%)。測定聚醯亞胺之重量平均分子量的結果為29,000，測定醯亞胺化率之結果為99%。
將12.5 g之EPICLON 850S、6.25 g之EXA-4850-150、0.8 g之2PZ添加於依照上述之方法所獲得的聚醯亞胺溶液A 20.83 g中、混合攪拌，再將180 g之AO802、25 g之MBN-010T添加於其中，利用3輥磨機重複5次而混練，獲得黏性液體之黏著劑組成物。針對所獲得的黏著劑組成物，利用上述之方法而對於對銅箔之貼附性、黏著強度、導熱係數及耐電壓進行測定。
實施例2
將攪拌機、溫度計、氮氣導入管及滴定漏斗設置於300 ml之4口燒瓶中，於氮氣環境下，進料γBL 138.53 g、ODPA 14.74 g，在60℃使其攪拌溶解。之後，在60℃一面攪拌一面添加37.14 g之彈性體1000、D-400 6.53 g、BAHF 1.83 g後攪拌1小時。之後使其升溫直到180℃後攪拌2小時後，冷卻直到室溫而獲得聚醯亞胺溶液B(固形物濃度30.0重量%)。測定聚醯亞胺之重量平均分子量的結果為26,800，測定醯亞胺化率之結果為98%。針對進行如此方式所獲得的聚醯亞胺B 20.83 g，利用相同於實施例1之方法而與各成分混合，獲得黏著劑組成物。針對所獲得的黏著劑組成物，利用上述之方法而進行對銅箔之貼附性、黏著強度、導熱係數及耐電壓之評估。
實施例3
將攪拌機、溫度計、氮氣導入管及滴定漏斗設置於300 ml之4口燒瓶中，於氮氣環境下，進料γBL 104.94 g、ODPA 11.79 g，在60℃使其攪拌溶解。之後，在60℃一面攪拌一面添加29.71 g之彈性體1000、SiDA 2.98 g、MBAA 1.15 g後攪拌1小時。之後使其升溫直到180℃後攪拌2小時後，冷卻直到室溫而獲得聚醯亞胺溶液C(固形物濃度30.0重量%)。測定聚醯亞胺之重量平均分子量的結果為30,500，測定醯亞胺化率之結果為99%。針對進行如此方式所獲得的聚醯亞胺C 20.83 g，利用相同於實施例1之方法而與各成分混合，獲得黏著劑組成物。針對所獲得的黏著劑組成物，利用上述之方法而進行對銅箔之貼附性、黏著強度、導熱係數及耐電壓之評估。
實施例4
將12.5 g之EPICLON850S、6.25 g之EXA-4850-150、0.8 g之2PZ添加於實施例1所獲得的聚醯亞胺溶液A 20.83 g中、混合攪拌，再將180 g之DAW-45、25 g之MBN-010T添加於其中，利用3輥磨機重複5次而混練，獲得黏性液體之黏著劑組成物。針對所獲得的黏著劑組成物，利用上述之方法而進行對銅箔之貼附性、黏著強度、導熱係數及耐電壓之評估。
實施例5
將12.5 g之EPICLON850S、6.25 g之EXA-4850-150、0.8 g之2PZ添加於實施例1所獲得的聚醯亞胺溶液A 20.83 g中、混合攪拌，再將180 g之AO509、25 g之MBN-010T添加於其中，利用3輥磨機重複5次而混練，獲得黏性液體之黏著劑組成物。針對所獲得的黏著劑組成物，利用上述之方法而進行對銅箔之貼附性、黏著強度、導熱係數及耐電壓之評估。
實施例6
將12.5 g之EPICLON850S、6.25 g之EXA-4850-150、0.8 g之2PZ添加於實施例1所獲得的聚醯亞胺溶液A 20.83 g中、混合攪拌，再將180 g之AO502、25 g之MBN-010T添加於其中，利用3輥磨機重複5次而混練，獲得黏性液體之黏著劑組成物。針對所獲得的黏著劑組成物，利用上述之方法而進行對銅箔之貼附性、黏著強度、導熱係數及耐電壓之評估。
實施例7
將12.5 g之EPICLON850S、6.25 g之EXA-4850-150、0.8 g之2PZ添加於實施例3所獲得的聚醯亞胺溶液C 20.83 g中、混合攪拌，再將180 g之AO509、25 g之MBN-010T添加於其中，利用3輥磨機重複5次而混練，獲得黏性液體之黏著劑組成物。針對所獲得的黏著劑組成物，利用上述之方法而進行對銅箔之貼附性、黏著強度、導熱係數及耐電壓之評估。
實施例8
將12.5 g之EPICLON850S、6.25 g之EXA-4850-150、0.8 g之2PZ添加於實施例3所獲得的聚醯亞胺溶液C 20.83 g中、混合攪拌，再將180 g之AO509、33 g之FAN-30、25 g之MBN-010T添加於其中，利用3輥磨機重複5次而混練，獲得黏性液體之黏著劑組成物。針對所獲得的黏著劑組成物，利用上述之方法而進行對銅箔之貼附性、黏著強度、導熱係數及耐電壓之評估。
實施例9
將12.5 g之EPICLON850S、6.25 g之EXA-4850-150、0.8 g之2PZ添加於實施例3所獲得的聚醯亞胺溶液C 20.83 g中、混合攪拌，再將180 g之AO509、66 g之FAN-30、25 g之MBN-010T添加於其中，利用3輥磨機重複5次而混練，獲得黏性液體之黏著劑組成物。針對所獲得的黏著劑組成物，利用上述之方法而進行對銅箔之貼附性、黏著強度、導熱係數及耐電壓之評估。
實施例10
將攪拌機、溫度計、氮氣導入管及滴定漏斗設置於300 ml之4口燒瓶中，於氮氣環境下，進料γBL 127.61 g、ODPA 13.18 g，在60℃使其攪拌溶解。之後，在60℃一面攪拌一面添加37.14 g之彈性體1000、SiDA 3.73 g、MBAA 1.43 g後攪拌1小時。之後使其升溫直到180℃後攪拌2小時後，冷卻直到室溫而獲得聚醯亞胺溶液D(固形物濃度30.0重量%)。測定聚醯亞胺之重量平均分子量的結果為12,000，測定醯亞胺化率之結果為99%。針對進行如此方式所獲得的聚醯亞胺D 20.83 g，利用相同於實施例9之方法而與各成分混合，獲得黏著劑組成物。針對所獲得的黏著劑組成物，利用上述之方法而進行對銅箔之貼附性、黏著強度、導熱係數及耐電壓之評估。
實施例11
將12.5 g之EPICLON850S、6.25 g之NC3000、0.8 g之2PZ添加於實施例10所獲得的聚醯亞胺溶液D 20.83 g中、混合攪拌，再將180 g之AO509、66 g之FAN-30、25 g之MBN-010T添加於其中，利用3輥磨機重複5次而混練，獲得黏性液體之黏著劑組成物。針對所獲得的黏著劑組成物，利用上述之方法而進行對銅箔之貼附性、黏著強度、導熱係數及耐電壓之評估。
實施例12
將6.25 g之EPICLON850S、9.25 g之NC3000、3.25 g之PG100、0.8 g之2PZ添加於實施例10所獲得的聚醯亞胺溶液D 20.83 g中、混合攪拌，再將180 g之AO509、66 g之FAN-30、25 g之MBN-010T添加於其中，利用3輥磨機重複5次而混練，獲得黏性液體之黏著劑組成物。針對所獲得的黏著劑組成物，利用上述之方法而進行對銅箔之貼附性、黏著強度、導熱係數及耐電壓之評估。
實施例13
將6.25 g之EPICLON850S、9.25 g之NC3000、3.25 g之PG100、0.8 g之2PZ添加於實施例10所獲得的聚醯亞胺溶液D 20.83 g中、混合攪拌，再將180 g之AO509、99 g之FAN-30、25 g之MBN-010T添加於其中，利用3輥磨機重複5次而混練，獲得黏性液體之黏著劑組成物。針對所獲得的黏著劑組成物，利用上述之方法而進行對銅箔之貼附性、黏著強度、導熱係數及耐電壓之評估。
實施例14
將6.25 g之EPICLON850S、9.25 g之NC3000、3.25 g之PG100、0.8 g之2PZ添加於實施例10所獲得的聚醯亞胺溶液D 20.83 g中、混合攪拌，再將180 g之AO509、66 g之FAN-50、25 g之MBN-010T添加於其中，利用3輥磨機重複5次而混練，獲得黏性液體之黏著劑組成物。針對所獲得的黏著劑組成物，利用上述之方法而進行對銅箔之貼附性、黏著強度、導熱係數及耐電壓之評估。
實施例15
將6.25 g之EPICLON850S、9.25 g之NC3000、3.25 g之PG100、0.8 g之2PZ添加於實施例10所獲得的聚醯亞胺溶液D 20.83 g中、混合攪拌，再將180 g之AO509、99 g之FAN-50、25 g之MBN-010T添加於其中，利用3輥磨機重複5次而混練，獲得黏性液體之黏著劑組成物。針對所獲得的黏著劑組成物，利用上述之方法而進行對銅箔之貼附性、黏著強度、導熱係數及耐電壓之評估。
實施例16
將6.25 g之EPICLON850S、9.25 g之NC3000、3.25 g之PG100、0.8 g之2PZ添加於實施例1所獲得的聚醯亞胺溶液A 20.83 g中、混合攪拌，再將180 g之AO509、66 g之FAN-50、25 g之MBN-010T添加於其中，利用3輥磨機重複5次而混練，獲得黏性液體之黏著劑組成物。針對所獲得的黏著劑組成物，利用上述之方法而進行對銅箔之貼附性、黏著強度、導熱係數及耐電壓之評估。
實施例17
將攪拌機、溫度計、氮氣導入管及滴定漏斗設置於300 ml之4口燒瓶中，於氮氣環境下，進料γBL 128.53 g、ODPA 13.18 g，在60℃使其攪拌溶解。之後，在60℃一面攪拌一面添加37.14 g之彈性體1000、SiDA 3.73 g、BAHF 1.83 g後攪拌1小時。之後使其升溫直到180℃後攪拌2小時後，冷卻直到室溫而獲得聚醯亞胺溶液E(固形物濃度30.0重量%)。測定聚醯亞胺之重量平均分子量的結果為13,000，測定醯亞胺化率之結果為99%。針對進行如此方式所獲得的聚醯亞胺D 20.83 g，利用相同於實施例14之方法而與各成分混合，獲得黏著劑組成物。針對所獲得的黏著劑組成物，利用上述之方法而進行對銅箔之貼附性、黏著強度、導熱係數及耐電壓之評估。
實施例18
將9.25 g之NC3000、3.25 g之PG100、0.8 g之2PZ添加於實施例10所獲得的聚醯亞胺溶液D 41.7 g中、混合攪拌，再將180 g之AO509、66 g之FAN-50、25 g之MBN-010T添加於其中，利用3輥磨機重複5次而混練，獲得黏性液體之黏著劑組成物。針對所獲得的黏著劑組成物，利用上述之方法而進行對銅箔之貼附性、黏著強度、導熱係數及耐電壓之評估。
實施例19
將6.25 g之NC3000、2.25 g之PG100、0.8 g之2PZ添加於實施例10所獲得的聚醯亞胺溶液D 55.0 g中、混合攪拌，再將180 g之AO509、66 g之FAN-50、25 g之MBN-010T添加於其中，利用3輥磨機重複5次而混練，獲得黏性液體之黏著劑組成物。針對所獲得的黏著劑組成物，利用上述之方法而進行對銅箔之貼附性、黏著強度、導熱係數及耐電壓之評估。
實施例20
將6.25 g之EPICLON850S、9.25 g之NC3000、3.25 g之PG100、0.8 g之2PZ添加於實施例10所獲得的聚醯亞胺溶液D 20.83 g中、混合攪拌，再將260 g之AO509、25 g之MBN-010T添加於其中，利用3輥磨機重複5次而混練，獲得黏性液體之黏著劑組成物。針對所獲得的黏著劑組成物，利用上述之方法而進行對銅箔之貼附性、黏著強度、導熱係數及耐電壓之評估。
實施例21
將12.5 g之EPICLON850S、6.25 g之EXA-4850-150、0.8 g之2PZ添加於實施例1所獲得的聚醯亞胺溶液A 20.83 g中、混合攪拌，再將180 g之AO820、33 g之FAN-30、25 g之MBN-010T添加於其中，利用3輥磨機重複5次而混練，獲得黏性液體之黏著劑組成物。針對所獲得的黏著劑組成物，利用上述之方法而進行對銅箔之貼附性、黏著強度、導熱係數及耐電壓之評估。
實施例22
將12.5 g之EPICLON850S、6.25 g之EXA-4850-150、0.8 g之2PZ添加於實施例1所獲得的聚醯亞胺溶液A 20.83 g中、混合攪拌，再將120 g之AO820、33 g之FAN-30、25 g之MBN-010T添加於其中，利用3輥磨機重複5次而混練，獲得黏性液體之黏著劑組成物。針對所獲得的黏著劑組成物，利用上述之方法而進行對銅箔之貼附性、黏著強度、導熱係數及耐電壓之評估。
實施例23
將12.5 g之EPICLON850S、6.25 g之EXA-4850-150、0.8 g之2PZ添加於實施例1所獲得的聚醯亞胺溶液A 20.83 g中、混合攪拌，再將120 g之AO820、33 g之FAN-05、25 g之MBN-010T添加於其中，利用3輥磨機重複5次而混練，獲得黏性液體之黏著劑組成物。針對所獲得的黏著劑組成物，利用上述之方法而進行對銅箔之貼附性、黏著強度、導熱係數及耐電壓之評估。
實施例24
將12.5 g之EPICLON850S、6.25 g之EXA-4850-150、0.8 g之2PZ添加於實施例1所獲得的聚醯亞胺溶液A 20.83 g中、混合攪拌，再將140 g之FAN-30、25 g之MBN-010T添加於其中，利用3輥磨機重複5次而混練，獲得黏性液體之黏著劑組成物。針對所獲得的黏著劑組成物，利用上述之方法而進行對銅箔之貼附性、黏著強度、導熱係數及耐電壓之評估。
實施例25
將攪拌機、溫度計、氮氣導入管及滴定漏斗設置於300 ml之4口燒瓶中，於氮氣環境下，進料γBL 104.00 g、ODPA 20.63 g，在60℃使其攪拌溶解。之後，在60℃一面攪拌一面添加8.67 g之彈性體1000、SiDA 13.92 g、BAHF 2.56 g後攪拌1小時。之後使其升溫直到180℃後攪拌2小時後，冷卻直到室溫而獲得聚醯亞胺溶液F(固形物濃度30.0重量%)。測定聚醯亞胺之重量平均分子量的結果為31,400，測定醯亞胺化率之結果為98%。針對進行如此方式所獲得的聚醯亞胺F 20.83 g，利用相同於實施例1之方法而與各成分混合，獲得黏著劑組成物。針對所獲得的黏著劑組成物，利用上述之方法而進行對銅箔之貼附性、黏著強度、導熱係數及耐電壓之評估。
實施例26
將12.5 g之EPICLON850S、6.25 g之EXA-4850-150、0.8 g之2PZ添加於實施例2所獲得的聚醯亞胺溶液B 20.83 g中、混合攪拌，再將180 g之AO820、33 g之FAN-30、25 g之MBN-010T添加於其中，利用3輥磨機重複5次而混練，獲得黏性液體之黏著劑組成物。針對所獲得的黏著劑組成物，利用上述之方法而進行對銅箔之貼附性、黏著強度、導熱係數及耐電壓之評估。
實施例27
利用桿塗布機而將實施例1所獲得的黏著劑組成物塗布於銅箔之上，利用100℃之熱風乾燥機乾燥30分鐘。進行如此方式來獲得將120 μm厚之黏著劑組成物積層於銅箔上的積層體。在130℃之熱板上，將銅箔朝下，再將銅箔置於黏著劑組成物之上，以0.4 MPa加壓5分鐘。之後，在180℃熱硬化此積層體60分鐘。利用上述之方法而進行如此方式所獲得的積層體之黏著強度、導熱係數之評估。對銅箔之黏著強度為8.2 N/cm，導熱係數為6.6 W/mK，可獲得與實施例1同樣的結果。另外，測定將利用與上述同樣的方法所獲得的200 μm厚之黏著劑組成物積層於銅箔上之積層體的耐電壓。耐電壓為2.3 kV，可獲得與實施例1同等之結果。
實施例28至39
針對實施例8至19所獲得的黏著劑組成物，施行與實施例27同樣的操作而進行黏著強度、導熱係數及耐電壓之評估。在各個實施例28至39中，可獲得與實施例8至19同等之結果。
比較例1
將攪拌機、溫度計、氮氣導入管及滴定漏斗設置於300 ml之4口燒瓶中，於氮氣環境下，進料γBL 106.45 g、ODPA 23.58 g，在60℃使其攪拌溶解。之後，在60℃一面攪拌一面添加13.92 g之SiDA、8.79 g之BAHF後攪拌1小時。之後使其升溫直到180℃後攪拌2小時後，冷卻直到室溫而獲得聚醯亞胺溶液G(固形物濃度30.0重量%)。測定聚醯亞胺之重量平均分子量的結果為26,700，測定醯亞胺化率之結果為99%。針對進行如此方式所獲得的聚醯亞胺G 20.83 g，利用相同於實施例1之方法而與各成分混合，獲得黏著劑組成物。針對所獲得的黏著劑組成物，雖然利用上述之方法而進行對銅箔之貼附性、黏著強度與導熱係數之評估，但無法貼附於銅箔上。因此，從支撐基板剝離黏著劑組成物，在“Teflon”(註冊商標)製之皿(schale)上進行熱硬化，測定導熱係數及耐電壓。
比較例2
將180 g之AO820、25 g之MBN-010T添加於實施例1所獲得的聚醯亞胺溶液A 83.3 g中，利用3輥磨機重複5次而混練，獲得黏性液體之黏著劑組成物。針對所獲得的黏著劑組成物，雖然利用上述之方法而進行對銅箔之貼附性、黏著強度與導熱係數之評估，但無法貼附於銅箔上。因此，從支撐基板剝離黏著劑組成物，在“Teflon”(註冊商標)製之皿上進行熱硬化，測定導熱係數及耐電壓。
比較例3
將12.5 g之EPICLON850S、6.25 g之EXA-4850-150、0.8 g之2PZ添加於實施例1所獲得的聚醯亞胺溶液A 20.83 g中、混合攪拌，再將83 g之AO502添加於其中，利用3輥磨機重複5次而混練，獲得黏性液體之黏著劑組成物。針對所獲得的黏著劑組成物，利用上述之方法而進行對銅箔之貼附性、黏著強度、導熱係數及耐電壓之評估。
比較例4
將12.5 g之EPICLON850S、6.25 g之EXA-4850-150、0.8 g之2PZ添加於實施例1所獲得的聚醯亞胺溶液A 20.83 g中、混合攪拌，再將35 g之HP-40、25 g之MBN-010T添加於其中，利用3輥磨機重複5次而混練，獲得黏性液體之黏著劑組成物。針對所獲得的黏著劑組成物，利用上述之方法而進行對銅箔之貼附性、黏著強度、導熱係數及耐電壓之評估。但是導熱性填料之分散性差，無法獲得良好表面狀態之黏著片。
將各實施例及比較例所獲得的黏著劑組成物之組成顯示於表1至4，將評估結果顯示於表5至7。
從各實施例與比較例之對比，得知藉由使用如下之黏著劑組成物或黏著劑片而可獲得對銅箔之貼附性、黏著強度及導熱係數全部優異的結果：含有(A)可溶性聚醯亞胺、(B)環氧樹脂、及(C)導熱性填料；(A)聚醯亞胺含有將通式(1)所示之構造作為源自二胺之成分；在(C)導熱性填料之整體樹脂組成物中含量為60 vol.%以上。
又，從實施例5與比較例6之對比，得知在使黏著強度與導熱係數更提高之觀點，較佳為黏著劑組成物或黏著劑片含有平均粒徑為6 μm以上之導熱性填料。
又，從實施例22與實施例23之對比，得知在使導熱係數更提高之觀點，在黏著劑組成物或黏著劑片中，平均粒徑為6 μm以上之導熱性填料之含量更佳為50 vol.%以上。
又，從實施例1與實施例24之對比，得知在使黏著強度與導熱係數更提高之觀點，較佳為將該導熱性填料10 g添加於水10 g中之際，黏著劑組成物或黏著劑片含有其溶液之pH顯示6.0以下者作為(C)導熱性填料。
又，從實施例1與實施例2之對比及實施例21與實施例26之對比，得知在使黏著強度更提高之觀點，較佳為於黏著劑組成物或黏著劑片中，(A)可溶性聚醯亞胺具有通式(2)所示之二胺的殘基。
又，從實施例1與實施例25之對比，得知在使黏著強度更提高之觀點，較佳為全部二胺殘基中含有20 mol%以上之具有通式(1)所示之構造的二胺殘基作為(A)可溶性聚醯亞胺。
又，從實施例7及20與實施例8至13之對比，得知在使導熱係數更提高之觀點，較佳為黏著劑組成物與黏著劑片含有平均粒徑為6 μm以上15 μm以下之填料、與平均粒徑為30 μm以上更佳為40 μm以上之填料。

Claims (10)

  1. 一種黏著劑組成物，其係含有(A)可溶性聚醯亞胺、(B)環氧樹脂、及(C)導熱性填料之黏著劑組成物；(A)可溶性聚醯亞胺係含有將下列通式(1)所示之構造作為源自二胺之成分，在黏著劑組成物中之(C)導熱性填料的含量為60vol.%以上81vol.%以下，(C)導熱性填料包含3種以上之不同平均粒徑的填料，至少含有平均粒徑為6μm以上15μm以下之填料、平均粒徑為30μm以上之填料以及平均粒徑低於6μm之填料，平均粒徑為30μm以上之填料係氮化鋁且在黏著劑組成物中之含量為10vol.%以上35vol.%以下，平均粒徑低於6μm之填料係氮化硼； (通式(1)中，X係表示1以上10以下之整數，n係表示1以上20以下之整數)。
  2. 如申請專利範圍第1項之黏著劑組成物，其中(C)導熱性填料係含有：將該導熱性填料10g添加於水100g中之際，其溶液之pH顯示為6.0以下者。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之黏著劑組成物，其中(C)導熱性填料含有氧化鋁。
  4. 如申請專利範圍第1或2項之黏著劑組成物，其中(A)可溶性聚醯亞胺具有下列通式(2)所示之二胺的殘基； (上述通式(2)中，m係表示1至30之範圍；又，R5與R6可相同亦可不同，且表示碳數1至30之伸烷基或伸苯基；R1至R4分別可相同亦可不同，且表示碳數1至30之烷基、苯基或苯氧基)。
  5. 一種黏著劑片，其係含有(A)可溶性聚醯亞胺、(B)環氧樹脂、與(C)導熱性填料之黏著劑片；(A)可溶性聚醯亞胺係含有下列通式(1)所示之構造作為源自二胺之成分，在片中之(C)導熱性填料的含量為60vol.%以上81vol.%以下，(C)導熱性填料包含3種以上之不同平均粒徑的填料，至少含有平均粒徑為6μm以上15μm以下之填料、平均粒徑為30μm以上之填料以及平均粒徑低於6μm之填料，平均粒徑為30μm以上之填料係氮化鋁且在黏著劑片中之含量為10vol.%以上35vol.%以下，平均粒徑低於6μm之填料係氮化硼； (通式(1)中，X係表示1以上10以下之整數，n係表示1以上20以下之整數)。
  6. 如申請專利範圍第5項之黏著劑片，其中(C)導熱性填料係含有：將該導熱性填料10g添加於水100g中之 際，其溶液之pH顯示為6.0以下者。
  7. 如申請專利範圍第5或6項之黏著劑片，其中(C)導熱性填料含有氧化鋁。
  8. 如申請專利範圍第5或6項之黏著劑片，其中(A)可溶性聚醯亞胺具有下列通式(2)所示之二胺的殘基； (上述通式(2)中，m係表示1至30之範圍；又，R5與R6可相同亦可不同，且表示碳數1至30之伸烷基或伸苯基；R1至R4分別可相同亦可不同，且表示碳數1至30之烷基、苯基或苯氧基)。
  9. 一種硬化物，其係如申請專利範圍第1至4項中任一項之黏著劑組成物或是如申請專利範圍第5至8項中任一項之黏著劑片的硬化物。
  10. 一種半導體裝置，其具有如申請專利範圍第1至4項中任一項之黏著劑組成物或是如申請專利範圍第5至8項中任一項之黏著劑片的硬化物。
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