TWI546841B - 具有載台的電子顯微鏡 - Google Patents

Description

具有載台的電子顯微鏡

本發明是有關於一種電子顯微鏡，且特別是有關於一種具有載台的電子顯微鏡。

一般而言，要觀察物質的奈米幾何形貌最常用的方法為使用原子力顯微鏡(atomic force microscopy，AFM)及電子顯微鏡(electron microscope)等設備。使用原子力顯微鏡量測時，需藉由探針來量測待測物的幾何形貌，此種量測方式不僅探針針尖容易損壞、量測時間長，且樣品量測範圍較小，電子顯微鏡則無上述問題。

以掃描式電子顯微鏡(scanning electron microscope，SEM)而言，其可用於觀測液態樣品。觀測液態樣品時需驅動液體流經用以承載樣品之薄膜以帶走樣品的代謝物，或以此液體為媒介添加量測所需藥劑至樣品，其中，如何避免薄膜因液體之擾動而損壞及如何依觀測需求控制流經樣品之液體的溫度，係為能否順利觀測液態樣品之關鍵。此外，為了驅動所述液體流動而額外增設 的驅動源會增加電子顯微鏡的設備體積及成本。

本發明提供一種電子顯微鏡，可有效率地對待測物進行穩流及溫控，且可簡化電子顯微鏡的設備體積及成本。

本發明的電子顯微鏡包括一載台、一第一驅動單元、一穩流單元及一電子源。載台承載一待測物。第一驅動單元驅動一第一液體沿一第一流動路徑流動，其中第一流動路徑通過待測物。穩流單元配置於第一流動路徑上以對第一液體進行穩流，其中第一液體依序流經穩流單元及載台。電子源提供一電子束至待測物。

在本發明的一實施例中，上述的載台包括一主體及一薄膜。主體具有一第一流道，其中第一流道內具有一穩流斜面。薄膜配置於主體且承載待測物，其中待測物位於第一流道，第一液體沿第一流道流動而依序通過穩流斜面及待測物。

在本發明的一實施例中，上述的載台包括一主體及一薄膜。主體具有一第一流道及一第二流道，其中第一流道及第二流道彼此疊設。薄膜配置於主體且承載待測物，其中待測物位於第一流道，第一液體沿第一流道流動而通過待測物，一第二液體沿第二流道流動而調整第一液體的溫度。

在本發明的一實施例中，上述的穩流單元具有兩通道，第一液體依序流經一通道及待測物，一第二液體依序流經另一通 道及載台而調整第一液體的溫度，穩流單元分別對第一液體及第二液體進行穩流。

在本發明的一實施例中，上述的電子顯微鏡包括一第一腔體，其中載台配置於第一腔體內，第一驅動單元為一抽真空模組，抽真空模組對第一腔體進行抽真空，並驅動第一液體流經待測物。

在本發明的一實施例中，上述的電子顯微鏡包括一夾具，其中夾具適於夾置載台且具有一第一導流結構，當夾具夾置載台時，第一導流結構連通載台，第一流動路徑通過第一導流結構。

在本發明的一實施例中，一第二液體沿一第二流動路徑流經載台而調整第一液體的溫度，夾具具有一第二導流結構，當夾具夾置載台時，第二導流結構連通載台，第二流動路徑通過第二導流結構。

在本發明的一實施例中，上述的夾具包括一座體、兩夾持組件及兩把手。座體適於承載載台。兩夾持組件可動地配置於座體上。兩把手相互樞設且分別可動地連接於兩夾持組件，其中兩把手適於相對樞轉而帶動兩夾持組件夾置或釋放載台。

在本發明的一實施例中，上述的載台內具有一第一溫度感測元件。

在本發明的一實施例中，上述的穩流單元內具有一第二溫度感測元件。

本發明的電子顯微鏡包括一載台及一電子源。載台包括一主體及一薄膜。主體具有一第一流道，其中第一流道內具有一穩流斜面。薄膜配置於主體且承載一待測物，其中待測物位於第一流道，一第一液體沿第一流道流動而依序通過穩流斜面及待測物。電子源提供一電子束至待測物。

在本發明的一實施例中，上述的電子顯微鏡包括一凸狀結構，其中凸狀結構位於第一流道內而構成穩流斜面。

在本發明的一實施例中，上述的電子顯微鏡更包括一穩流單元，其中第一液體依序流經穩流單元及載台，穩流單元對第一液體進行穩流。

本發明的電子顯微鏡，包括一載台及一電子源。載台包括一主體及一薄膜。主體具有一第一流道及一第二流道，其中第一流道及第二流道彼此疊設。薄膜配置於主體且承載一待測物，其中待測物位於第一流道，一第一液體沿第一流道流動而通過待測物，一第二液體沿第二流道流動而調整第一液體的溫度。電子源提供一電子束至待測物。

在本發明的一實施例中，上述的電子顯微鏡包括一溫控單元，其中溫控單元控制第二液體的溫度。

本發明的電子顯微鏡包括一載台、一穩流單元及一電子源。載台具有一薄膜，其中薄膜承載一待測物。穩流單元具有兩通道，其中一第一液體依序流經一通道及待測物，一第二液體依序流經另一通道及載台而調整第一液體的溫度，穩流單元分別對 第一液體及第二液體進行穩流。電子源提供一電子束至待測物。

在本發明的一實施例中，上述的穩流單元分別施加壓力至兩通道，以對第一液體及第二液體進行穩流。

在本發明的一實施例中，上述的各通道內具有一氣體，穩流單元藉由氣體的壓力對第一液體或第二液體進行穩流。

在本發明的一實施例中，上述的電子顯微鏡包括一溫控單元，其中溫控單元連接於穩流單元並控制流經兩通道之第一液體及第二液體的溫度。

在本發明的一實施例中，上述的溫控單元包括一致冷晶片、一散熱鰭片組及一散熱風扇。致冷晶片連接於穩流單元。散熱鰭片組連接於致冷晶片。散熱風扇配置於散熱鰭片組的一側。

本發明的電子顯微鏡，包括一第一腔體、一載台、一抽真空模組及一電子源。載台配置於第一腔體內且承載一待測物。抽真空模組對第一腔體進行抽真空，並驅動一第一液體流經待測物。電子源提供一電子束至待測物。

在本發明的一實施例中，上述的電子顯微鏡包括一容納單元及一第二腔體，其中抽真空模組包括一抽真空裝置，抽真空裝置連接於第一腔體且對第一腔體進行抽真空，容納單元用以容納第一液體且連通載台，第二腔體連接於抽真空裝置與容納單元之間，載台連接於第二腔體與容納單元之間，抽真空裝置對第二腔體進行抽真空，以藉由第二腔體與容納單元之間的壓力差而驅動第一液體從容納單元往載台流動。

在本發明的一實施例中，上述的電子顯微鏡包括一容納單元，其中容納單元容納第一液體且具有多個導管，這些導管連通載台且分別具有不同管徑，第一液體透過這些導管的其中之任一從容納單元流出。

基於上述，在本發明電子顯微鏡中，第一液體藉由穩流單元進行穩流之後流至載台內，並亦可進一步藉由載台內的穩流斜面再次進行穩流，以更降低第一液體流經載台內之待測物時的擾動程度，讓使用者能夠藉由電子顯微鏡順利地觀測待測物。此外，載台內除了具有供所述第一液體流動的第一流道，載台內更亦可進一步具有疊設於第一流道且供第二液體流動的第二流道，以藉第二液體來調整第一液體的溫度，使待測物更能夠在預期之適當溫度下被觀測。另外，並可進一步利用電子顯微鏡既有的抽真空裝置來驅動第一液體流動，如此則不需額外配置幫浦作為第一液體的驅動源，而可簡化電子顯微鏡之設備體積及成本。

為讓本發明的上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。

100、200‧‧‧電子顯微鏡

100a、200a‧‧‧控制單元

110、210‧‧‧載台

112‧‧‧薄膜

113‧‧‧基底

114‧‧‧主體

114a‧‧‧上層結構

114b‧‧‧下層結構

114c‧‧‧第一流道

114d‧‧‧第二流道

116‧‧‧凸狀結構

120、220‧‧‧第一驅動單元

130、230‧‧‧穩流單元

132‧‧‧通道

132a‧‧‧腔室

140‧‧‧電子源

150a、250a‧‧‧第一腔體

160、260‧‧‧第二驅動單元

170、270‧‧‧溫控單元

172‧‧‧致冷晶片

174‧‧‧散熱鰭片組

176‧‧‧散熱風扇

178‧‧‧熱管

180、280‧‧‧收集單元

190‧‧‧夾具

190a‧‧‧座體

190b‧‧‧夾持組件

190c‧‧‧把手

192‧‧‧第一導流結構

194‧‧‧第二導流結構

250b‧‧‧第二腔體

290‧‧‧容納單元

292‧‧‧導管

B‧‧‧球接部

C‧‧‧夾持部

D‧‧‧方向

E‧‧‧電子束

F‧‧‧過濾器

G‧‧‧氣體

H1、H2‧‧‧開口

L‧‧‧液體

M1、M3‧‧‧差壓計

M2‧‧‧壓力計

P1‧‧‧第一流動路徑

P2‧‧‧第二流動路徑

I‧‧‧穩流斜面

R‧‧‧導軌部

S1‧‧‧第一溫度感測元件

S2‧‧‧第二溫度感測元件

T‧‧‧牽引部

V1、V2、V3‧‧‧閥門

圖1是本發明一實施例的電子顯微鏡的部分構件示意圖。

圖2是圖1的載台的部分結構剖視圖。

圖3是圖2的載台一實施例於薄膜處的局部放大圖。

圖4繪示本發明一實施例的穩流單元的具體結構。

圖5是圖4的穩流單元的局部剖視圖。

圖6繪示本發明一實施例的溫控單元的具體結構。

圖7繪示圖1的載台被夾具夾置的一實施例。

圖8是圖7的夾具及載台的局部放大圖。

圖9是本發明再一實施例的電子顯微鏡的部分構件示意圖。

圖1是本發明一實施例的電子顯微鏡的部分構件示意圖。請參考圖1，本實施例的電子顯微鏡100例如為掃描式電子顯微鏡且包括一載台110、一第一驅動單元120、一穩流單元130及一電子源140。其中，載台110配置於一第一腔體150a內且具有一薄膜112，薄膜112用以承載一待測物(例如生物細胞液態樣品等)，第一腔體150a為真空腔體以利待測物之觀測。電子源140用以提供電子束E至待測物以進行觀測。

第一驅動單元120例如為幫浦且驅動一第一液體沿一第一流動路徑P1流動，其中第一流體沿第一流動路徑P1通過薄膜112上的待測物，藉第一液體帶走待測物的代謝物並收集至收集單元180，或以第一液體為媒介添加樣品量測所需藥劑至待測物。第一驅動單元120例如是電性連接於電子顯微鏡100的控制單元100a，並藉由控制單元100a的控制而作動。穩流單元130配置於第一流動路徑P1上而位於第一腔體150a外，第一液體流經穩流 單元130及載台110，穩流單元130用以對第一液體進行穩流，降低第一液體的擾動程度。穩流單元130亦例如是電性連接於控制單元100a，並藉由控制單元100a的控制而作動。在一實施例中，例如是將連接於穩流單元130的一管路設置為從第一腔體150a外部穿越第一腔體150a的外壁而進入第一腔體150a內部，以使第一液體藉由第一驅動單元120的驅動而透過所述管路到達第一腔體150a內的載台110。

圖2是圖1的載台的部分結構剖視圖。請參考圖2，進一步而言，載台110包括主體114，主體114例如包括上層結構114a及下層結構114b，且在上層結構114a處具有位於第一流動路徑P1上的第一流道114c，第一流道114c通過薄膜112而使待測物位於第一流道114c。載台110更包括一凸狀結構116，凸狀結構116位於第一流道114c內而在第一流道114c內構成穩流斜面I，第一液體會沿第一流道114c流動而通過穩流斜面I及薄膜112上的待測物。藉此設計方式，第一液體除了在到達載台110前藉穩流單元130進行穩流，更在進入載台110後藉穩流斜面I進一步穩流再流至薄膜112處，避免薄膜112因第一液體過度擾動而損壞。

圖3是圖2的載台一實施例於薄膜處的局部放大圖。詳細而言，本實施例的薄膜112例如是藉由半導體製程而形成於基底113上的矽氮化物層，且此基底113例如為矽基底。電子束E可通過所述矽氮化物層而作用於待測物。在其它實施例中，薄膜112可為其它適當材質且可藉其它適當方式製作而成，本發明不對 此加以限制。

在一實施例中，電子顯微鏡100可如圖1所示包括第二驅動單元160，第二驅動單元160用以驅動一第二液體沿一第二流動路徑P2流動，第二流動路徑P2通過載台110。第二驅動單元160例如是電性連接於控制單元100a，並藉由控制單元100a的控制而作動。具體而言，例如是將一管路設置為從第一腔體150a外部穿越第一腔體150a的外壁而進入第一腔體150a內部，以使第二液體藉由第二驅動單元160的驅動而透過所述管路到達第一腔體150a內的載台110。載台110如圖2所示在其主體114之下層結構114b處具有位於第二流動路徑P2上的第二流道114d，使第二液體沿第二流道114d流動，其中第一流道114c與第二流道114d彼此疊設。第二液體可依需求被控制為具適當溫度並以循環流動的方式流經第二流道114d，以達到調整相鄰之位於第一流道114c之待測物溫度的效果。在其它實施例中，亦可改為在載台110配置溫度調整模組以調整位於第一流道114c之待測物溫度，本案不對此加以限制。

請參考圖1，於一實施例中穩流單元130可具有兩通道132，第一流動路徑P1及第二流動路徑P2分別通過兩通道132，以使穩流單元130能夠分別對第一液體及第二液體進行穩流，其中穩流單元130例如以分別施加壓力至兩通道132之方式對第一液體及第二液體進行穩流。此外，電子顯微鏡100更包括一溫控單元170，溫控單元170可包含致冷晶片且連接於穩流單元130， 用以控制流經兩通道132之第一液體及第二液體的溫度，確保流至載台110的第一液體及第二液體具預期之溫度。溫控單元170例如是電性連接於控制單元100a，並藉由控制單元100a的控制而作動。藉由上述方式將第一流動路徑P1及第二流動路徑P2設置於單一穩流單元130，可使穩流單元130同時對第一液體及第二液體進行穩流，且使溫控單元170可同時控制第一液體及第二液體的溫度，以提升穩流及溫控效率。

以下藉由圖式說明本實施例的穩流單元的具體結構。圖4繪示圖1的穩流單元的一實施例具體結構。圖5是圖4的穩流單元的局部剖視圖。請參考圖4及圖5，在本實施例的穩流單元130中，各通道132包含腔室132a，兩腔室132a分別用以容納上述第一液體及第二液體。如圖5所示，藉由控制液體的流量，可使各通道132的腔室132a內具有空間以容納氣體G，且穩流單元130可藉由此氣體G的壓力對腔室132a內的液體L(即第一液體或第二液體)進行穩流。在其它實施例中，穩流單元130可藉由其它適當方式進行穩流，本發明不對此加以限制。

以下藉由圖式說明本實施例的溫控單元的具體結構。圖6繪示圖1的溫控單元的一實施例具體結構。請參考圖6，本實施例的溫控單元170包括一致冷晶片172、一散熱鰭片組174及一散熱風扇176。致冷晶片172連接於該穩流單元130以控制穩流單元130內之第一液體及第二液體的溫度。散熱鰭片組174透過熱管178連接於致冷晶片172以接收來自致冷晶片172的熱能散熱。散 熱風扇176配置於散熱鰭片組174的一側產生散熱氣流對散熱鰭片組174進行散熱。在其它實施例中，溫控單元170可為其它適當形式的溫度控制裝置，本發明不對此加以限制。

電子顯微鏡100更可包括夾具，用以夾置載台110以使其取放較為便利，以下藉由圖式對此加以說明。圖7繪示圖1的載台被夾具夾置。請參考圖7，電子顯微鏡100包括一夾具190，夾具190適於夾置載台110的主體114且具有一第一導流結構192，例如管件等結構。當夾具190夾置載台110的主體114時，第一導流結構192連通載台110內的第一流道114c(繪示於圖2)，且第一流動路徑P1(繪示於圖1及圖2)通過第一導流結構192，以藉由第一導流結構192導引第一液體流經載台110。此外，連接於載台110的第一導流結構192用以密封第一流道114c之開口H1。

一實施例如圖7所示，夾具190更可具有一第二導流結構194。第二導流結構194與圖2之第二流道114d的配置關係相同於第一導流結構192與圖2之第一流道114c的配置關係，如下述。當夾具190夾置載台110的主體114時，第二導流結構194連通載台110內的第二流道114d(繪示於圖2)，且第二流動路徑P2(繪示於圖1及圖2)通過第二導流結構194，以藉由第二導流結構194導引第二液體流經載台110。此外，連接於載台110的第二導流結構194用以密封第二流道114d之開口H2(繪示於圖2)。

詳細而言，本實施例的夾具190包括一座體190a、兩夾持組件190b及兩把手190c。座體190a適於承載載台110。兩夾 持組件190b可動地配置於座體190a上。兩把手190c相互樞設且分別可動地連接於兩夾持組件190b，兩把手190c適於藉由使用者的施力而相對樞轉，以帶動兩夾持組件190b夾置或釋放載台110。

圖8是圖7的夾具及載台的局部放大圖。請參考圖8，更詳細而言，各夾持組件190b包括一夾持部C、一球接部B、一牽引部T及一導軌部R。導軌部R沿方向D滑設於座體190a上，夾持部C配置於導軌部R上，第一導流結構192及第二導流結構194配置於夾持部C，把手190c藉由球接部B而球接於夾持部C，牽引部T連接於把手190c與夾持部C之間。當使用者施力於把手190c時，把手190c藉由牽引部T而帶動夾持部C隨著導軌部R沿方向D移動，以使夾持部C夾置或釋放載台110。在其它實施例中，可將夾具設計為其它適當形式，本發明不對此加以限制。

如圖7所示，一實施例的載台110內具有一第一溫度感測元件S1，第一溫度感測元件S1用以感測流經載台110之第一液體及第二液體的溫度值。此外，如圖4所示，一實施例的穩流單元130內具有一第二溫度感測元件S2，第二溫度感測元件S2用以感測流經穩流單元130之第一液體及第二液體的溫度值。藉此，圖1所示的溫控單元170能夠依據第一溫度感測元件S1及第二溫度感測元件S2所感測的溫度值來對第一液體及第二液體的溫度進行控制。第一溫度感測元件S1及第二溫度感測元件S2例如皆電性連接於圖1所示的控制單元100a，並藉由控制單元100a的控制而作動。

在圖1所示實施例中，用以驅動第一液體流動的第一驅動單元120為幫浦，然本發明不以此為限。在另一些實施例中，所述第一驅動單元可為用於真空腔體之抽真空裝置，電子顯微鏡除了藉由此抽真空裝置對第一腔體進行抽真空，更利用此抽真空裝置所產生的壓力差驅動第一液體藉由虹吸原理往載台流動而流經待測物，詳述如下。

圖9是本發明再一實施例的電子顯微鏡的部分構件示意圖。在圖9的電子顯微鏡200中，控制單元200a、載台210、穩流單元230、第一腔體250a、第二驅動單元260、溫控單元270的配置與作用方式類似於圖1-圖6之控制單元100a、載台110、穩流單元130、第一腔體150a、第二驅動單元160、溫控單元170的配置與作用方式，於此不再贅述。電子顯微鏡200可進一步包括一容納單元290用以容納第一液體且連通載台210。

電子顯微鏡200與電子顯微鏡100兩實施例的不同處在於，電子顯微鏡200的第一驅動單元220並非幫浦而是電子顯微鏡200既有的抽真空裝置，且電子顯微鏡200更包括一第二腔體250b。抽真空裝置(第一驅動單元220)連接於第一腔體250a且對第一腔體250a進行抽真空，以利載台210內之待測物的觀測。第二腔體250b連接於抽真空裝置(第一驅動單元220)與容納單元290之間，載台210連接於第二腔體250b與容納單元290之間。閥門V1(例如為電磁閥)配置於抽真空裝置(第一驅動單元220)與第二腔體250b之間，且閥門V2(例如為電磁閥)配置於第二腔體250b與 第一腔體250a之間。當閥門V1開啟且閥門V2關閉時，抽真空裝置(第一驅動單元220)可對第二腔體250b進行抽真空。

接著，當閥門V2開啟且閥門V1關閉時，藉由真空之第二腔體250b與容納單元290之間的壓力差可驅動第一液體從容納單元290往載台210流動，使第一液體藉由虹吸原理持續從容納單元290往載台210流動。藉此，第一驅動單元220兼具了驅動第一液體流動及對第一腔體250a抽真空的功能，故不需額外配置幫浦作為第一液體的驅動源，而可簡化電子顯微鏡200之配置。此外，如上述般以抽真空方式驅動液體流動可使其液壓較小，降低薄膜因液體流動而被破壞的機率。在其它實施例中，電子顯微鏡200可利用既有的抽真空裝置對第一腔體250a抽真空，並利用另一抽真空裝置驅動第一液體流動，本發明不對此加以限制。

如圖9所示，第一驅動單元220與閥門V1之間具有過濾器F，過濾器F用以過濾從閥門V1往第一驅動單元220流動的氣體。閥門V2與載台210之間具有收集單元280，收集單元280用以收集來自載台210內之待測物的代謝物。此外，過濾器F處具有差壓計M1，第二腔體250b處具有壓力計M2，載台210處具有差壓計M3，差壓計M1、壓力計M2及差壓計M3分別用以量測過濾器F處、第二腔體250b處及載台210處的壓力值，使第一驅動單元220、閥門V1及閥門V2能夠據以作動而順利地驅動第一液體流動。

請參考圖9，容納單元290可具有多個導管292，這些導 管連通載台210且分別具有不同管徑，第一液體可透過這些導管292的其中之任一從容納單元290流出，其中導管292的管徑越大，則藉由虹吸原理持續沿導管292從容納單元290流出之第一液體的流量越大。據此，可依流量需求而選擇具適當管徑的導管292來輸送第一液體。各導管292具有一閥門V3，各閥門V3用以控制第一液體是否透過對應的導管292流出。

綜上所述，在本發明電子顯微鏡中，第一液體藉由穩流單元進行穩流之後流至載台內，並亦可進一步藉由載台內的穩流斜面再次進行穩流，以更降低第一液體流經載台內之待測物時的擾動程度，讓使用者能夠藉由電子顯微鏡順利地觀測待測物。此外，載台內除了具有供所述第一液體流動的第一流道，載台內更亦可進一步具有疊設於第一流道且供第二液體流動的第二流道，以藉第二液體來調整第一液體的溫度，使待測物更能夠在預期之適當溫度下被觀測。再者，可進一步利用所述穩流單元同時對第一液體及第二液體進行穩流，並利用整合於所述穩流單元的溫控單元同時控制第一液體及第二液體的溫度，以提升電子顯微鏡之穩流及溫控效率。另外，並可進一步利用電子顯微鏡既有的抽真空裝置來驅動第一液體流動，如此則不需額外配置幫浦作為第一液體的驅動源，而可簡化電子顯微鏡之設備體積及成本。

雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明的精神和範圍內，當可作些許的更動與潤飾，故本發明的保護範圍 當視後附的申請專利範圍所界定者為準。

100‧‧‧電子顯微鏡

100a‧‧‧控制單元

110‧‧‧載台

112‧‧‧薄膜

120‧‧‧第一驅動單元

130‧‧‧穩流單元

132‧‧‧通道

140‧‧‧電子源

150a‧‧‧第一腔體

160‧‧‧第二驅動單元

170‧‧‧溫控單元

180‧‧‧收集單元

E‧‧‧電子束

P1‧‧‧第一流動路徑

P2‧‧‧第二流動路徑

Claims (23)

1. 一種具有載台的電子顯微鏡，包括：一載台，承載一待測物且該載台包括一主體，其中該主體具有一第一流道，該第一流道內具有一穩流斜面；一第一驅動單元，驅動一第一液體沿一第一流動路徑流動，其中該第一流動路徑通過該待測物；一穩流單元，配置於該第一流動路徑上以對該第一液體進行穩流，其中該第一液體依序流經該穩流單元、該穩流斜面及該待測物；以及一電子源，提供一電子束至該待測物。
2. 如申請專利範圍第1項所述的電子顯微鏡，其中該載台包括：一薄膜，配置於該主體且承載該待測物，其中該待測物位於該第一流道，該第一液體沿該第一流道流動而依序通過該穩流斜面及該待測物。
3. 如申請專利範圍第1項所述的電子顯微鏡，其中該主體具有一第二流道，該第一流道及該第二流道彼此疊設，該載台包括：一薄膜，配置於該主體且承載該待測物，其中該待測物位於該第一流道，該第一液體沿該第一流道流動而通過該待測物，一第二液體沿該第二流道流動而調整該第一液體的溫度。
4. 如申請專利範圍第1項所述的電子顯微鏡，其中該穩流單元具有兩通道，該第一液體依序流經一該通道及該待測物，一第 二液體依序流經另一該通道及該載台而調整該第一液體的溫度，該穩流單元分別對該第一液體及該第二液體進行穩流。
5. 如申請專利範圍第1項所述的電子顯微鏡，包括一第一腔體，其中該載台配置於該第一腔體內，該第一驅動單元為一抽真空模組，該抽真空模組對該第一腔體進行抽真空，並驅動該第一液體流經該待測物。
6. 如申請專利範圍第1項所述的電子顯微鏡，包括一夾具，其中該夾具適於夾置該載台且具有一第一導流結構，當該夾具夾置該載台時，該第一導流結構連通該載台，該第一流動路徑通過該第一導流結構。
7. 如申請專利範圍第6項所述的電子顯微鏡，其中一第二液體沿一第二流動路徑流經該載台而調整該第一液體的溫度，該夾具具有一第二導流結構，當該夾具夾置該載台時，該第二導流結構連通該載台，該第二流動路徑通過該第二導流結構。
8. 如申請專利範圍第6項所述的電子顯微鏡，其中該夾具包括：一座體，適於承載該載台；兩夾持組件，可動地配置於該座體上；以及兩把手，相互樞設且分別可動地連接於該兩夾持組件，其中該兩把手適於相對樞轉而帶動該兩夾持組件夾置或釋放該載台。
9. 如申請專利範圍第1項所述的電子顯微鏡，其中該載台內具有一第一溫度感測元件。
10. 如申請專利範圍第1項所述的電子顯微鏡，其中該穩流單元內具有一第二溫度感測元件。
11. 一種具有載台的電子顯微鏡，包括：一載台，包括：一主體，具有一第一流道，其中該第一流道內具有一穩流斜面；以及一薄膜，配置於該主體且承載一待測物，其中該待測物位於該第一流道，一第一液體沿該第一流道流動而依序通過該穩流斜面及該待測物；以及一電子源，提供一電子束至該待測物。
12. 如申請專利範圍第11項所述的電子顯微鏡，包括一凸狀結構，其中該凸狀結構位於該第一流道內而構成該穩流斜面。
13. 如申請專利範圍第11項所述的電子顯微鏡，更包括一穩流單元，其中該第一液體依序流經該穩流單元及該載台，該穩流單元對該第一液體進行穩流。
14. 一種具有載台的電子顯微鏡，包括：一載台，包括：一主體，具有一第一流道及一第二流道，其中該第一流道及該第二流道彼此疊設，該第一流道內具有一穩流斜面；以及一薄膜，配置於該主體且承載一待測物，其中該待測物位於該第一流道，一第一液體沿該第一流道流動而依序通過 該穩流斜面及該待測物，一第二液體沿該第二流道流動而調整該第一液體的溫度；以及一電子源，提供一電子束至該待測物。
15. 如申請專利範圍第14項所述的電子顯微鏡，包括一溫控單元，其中該溫控單元控制該第二液體的溫度。
16. 一種具有載台的電子顯微鏡，包括：一載台，具有一薄膜且該載台包括一主體，其中該主體具有一第一流道，該第一流道內具有一穩流斜面，該薄膜承載一待測物；一穩流單元，具有兩通道，其中一第一液體依序流經一該通道、該穩流斜面及該待測物，一第二液體依序流經另一該通道及該載台而調整該第一液體的溫度，該穩流單元分別對該第一液體及該第二液體進行穩流；以及一電子源，提供一電子束至該待測物。
17. 如申請專利範圍第16項所述的電子顯微鏡，其中該穩流單元分別施加壓力至該兩通道，以對該第一液體及該第二液體進行穩流。
18. 如申請專利範圍第17項所述的電子顯微鏡，其中各該通道內具有一氣體，該穩流單元藉由該氣體的壓力對該第一液體或該第二液體進行穩流。
19. 如申請專利範圍第16項所述的電子顯微鏡，包括一溫控單元，其中該溫控單元連接於該穩流單元並控制流經該兩通道之 該第一液體及該第二液體的溫度。
20. 如申請專利範圍第19項所述的電子顯微鏡，其中該溫控單元包括：一致冷晶片，連接於該穩流單元；一散熱鰭片組，連接於該致冷晶片；以及一散熱風扇，配置於該散熱鰭片組的一側。
21. 一種具有載台的電子顯微鏡，包括：一第一腔體；一載台，配置於該第一腔體內且承載一待測物，其中該載台包括一主體，該主體具有一第一流道，該第一流道內具有一穩流斜面；一抽真空裝置，對該第一腔體進行抽真空，並驅動一第一液體依序流經該穩流斜面及該待測物；以及一電子源，提供一電子束至該待測物。
22. 如申請專利範圍第21項所述的電子顯微鏡，包括一容納單元及一第二腔體，其中該抽真空裝置連接於該第一腔體且對該第一腔體進行抽真空，該容納單元用以容納該第一液體且連通該載台，該第二腔體連接於該抽真空裝置與該容納單元之間，該載台連接於該第二腔體與該容納單元之間，該抽真空裝置對該第二腔體進行抽真空，以藉由該第二腔體與該容納單元之間的壓力差而驅動該第一液體從該容納單元往該載台流動。
23. 如申請專利範圍第21項所述的電子顯微鏡，包括一容納 單元，其中該容納單元容納該第一液體且具有多個導管，該些導管連通該載台且分別具有不同管徑，該第一液體透過該些導管的其中之任一從該容納單元流出。