TWI415665B - 過濾模組 - Google Patents

Description

過濾模組

本發明係關於一種過濾模組。

在諸如半導體工業中之過濾過程中的微粒污染物控制需要使用具有移除次微米粒子之薄膜的超淨過濾器。眾所周知，當沈積在半導體晶圓上的任一粒子足夠大時，該粒子均會造成缺陷。通常在半導體工業中，小至約半導體晶片最小特徵之十分之一的粒子均可造成失敗缺陷。因此，在生產半導體晶片的許多過程步驟中使用薄膜過濾器來淨化工作液體及氣體兩者。

儘管已為用於超純液體過濾之過濾模組研發了許多不同設計，但兩種設計較為風行。在一個模組設計中，待過濾之液體自過濾模組一端流至另一端。在該等過濾模組的此情形中，饋入及滲透連接位於過濾器的相對端，從而促使液體流自一端移動至另一端。此流動組態被稱為直線流動組態(in line flow configuration)。此等過濾組態具有兩個缺點。第一，由於該模組係夾在兩組連接之間，因此其更加難以連接至處理設備。第二，由於至少一個連接係位於該模組的底部，因此在模組斷開後保持於該模組內的自由液體會快速流盡。

第二種過濾模組設計將所有連接定位於模組的相同端。在此類型之模組中，饋入及滲透埠通常水平地定向於"頭"的頂部或其相對側上模組之歧管端。此等模組歸因於其形狀而被稱為具有T、L或U組態。此組態便於頭或歧管連接至包含腕腔及位於腕腔內之過濾筒的過濾模組之剩餘部分。在此設計中，腕腔及過濾筒包含獨立元件。因此，當建構過濾模組時，過濾筒及腕腔被獨立地緊固並密封至歧管頭。另外，在過濾完成後，自該頭部獨立地移除腕腔及過濾筒。

在美國專利第5,114,572號中已提議提供一種過濾器總成，該總成與腕腔合作以產生可作為單一單元而自歧管卸下的過濾器筒－腕腔構造。該過濾器濾筒藉由該濾筒上配合入腕腔之內部表面中之溝槽的卡口連接而連接至該腕腔。此卡口連接需要在兩步驟過程中將自該過濾器筒之外表面延伸的局部螺紋定位於於腕腔內垂直延伸之溝槽中且隨後進入於腕腔內水平延伸的溝槽中。此連接組態需要當將濾筒安裝至腕腔中時，在兩個步驟過程中首先將濾筒垂直地移入垂直溝槽中且隨後旋入水平溝槽中。相反，當在過濾過程完成後需要自腕腔移除濾筒時，必須在單次動作中旋轉濾筒並自腕腔提起濾筒。由於自腕腔移除濾筒需要在位於濾筒頂部的流體管道上施加作用力，且由於此管道的直徑小於濾筒直徑，因此在濾筒上施加作用力不存在槓桿作用。此又需要當實現自腕腔的移除時在濾筒上施加頗大的作用力，此可能需要使用手持工具進行。作為單次動作施加旋轉作用力及提昇作用力增加了自過濾器筒分離腕腔的困難。當此過濾設備已過濾有毒或腐蝕性流體時，濾筒自腕腔之分離尤為困難。

美國專利第6,635,175號揭示一種包含歧管、過濾筒及腕腔的過濾模組，其中過濾筒及腕腔係借助於過濾筒上配合入腕腔上之狹槽的凸耳而接合在一起。藉由在兩個步驟過程中垂直移動濾筒並隨後旋轉濾筒而將該等凸耳緊固於該等狹槽中。

此外，當前設計具有相對於歧管且輕微(摩擦配合)固持於歧管的濾筒密封。當施加至濾筒時，背壓力的任何施加均可引起濾筒自歧管脫離，導致其過濾無效。

目前可用之過濾模組僅能夠容納一個過濾筒。

因此，需要提供一種具有複數個過濾筒的過濾模組構造，此構造避免需要在複數個移動方向上施加作用力以實現複數個濾筒自歧管的移除。相比於具有單一濾筒的過濾模組，此種過濾模組可提供增大之每單位過濾模組體積的過濾器表面積。此種構造亦可促進自歧管分離濾筒的便利性且可消除過濾後移除過濾筒中對工人的危險。

本發明之實施例包括一種裝置，該裝置可包含以一流體密封方式接合在一起的一歧管及一腕腔或帽蓋。該帽蓋及歧管容納一多孔淨化薄膜，該薄膜安裝、接合或連接至支撐物。該多孔淨化薄膜可用以自液體移除微粒、分子、離子污染物或此等污染物之組合。該支撐物具有薄膜支撐部分及一支撐物出口。該支撐物出口配合該歧管一出口管道之內部，且該支撐物出口可具有以小於一全幅回轉而與該歧管之出口管道之成角配合結構嚙合的兩個或兩個以上成角結構。在某些實施例中，該支撐物出口及歧管以約90度或更小的回轉而嚙合。該支撐物出口與歧管嚙合以在該支撐物出口與該歧管之出口管道間形成一流體密封。該多孔淨化薄膜及腕腔與該歧管係以防止饋入該裝置之流體或液體與自該裝置移除的經過濾滲透及/或經淨化之液體混合的方式而與該歧管流體連通。

在本發明某些實施例中，提供一種過濾及/或淨化模組，該模組包含一歧管、複數個過濾及/或淨化濾筒、該過濾及/或淨化濾筒的一支撐物及一腕腔。該過濾及/或淨化濾筒與歧管藉由該支撐物而接合在一起。該支撐物具有諸如局部螺紋之成角結構，該等局部螺紋具有配合諸如該歧管中之螺桿螺紋的配合成角結構的斜度。該支撐物及歧管係藉由在一步驟過程中將該等傾斜局部螺紋定位於配合螺桿螺紋的入口並旋轉該支撐物以在該配合螺桿螺紋內部分地或完全地移動局部螺紋而以流體或液體密封地方式接合在一起。該等過濾及/或淨化濾筒以相對於該等過濾及/或淨化濾筒之內表面密封該等過濾及/或淨化濾筒之外表面而允許經過濾及/或經淨化之流體自該等濾筒內部流入該歧管的方式而密封地定位於該支撐物的孔或開口中。該腕腔接合至該歧管的一配合部分或區段以在該過濾及/或淨化模組使用期間完全封閉該等濾筒。或者，可在該歧管上提供局部螺紋。此等局部螺紋配合該支撐物上的螺桿螺紋。

在本發明某些實施例中，提供一種過濾及/或淨化模組，該模組包含一歧管、一過濾或淨化濾筒及腕腔，其中該過濾及/或淨化濾筒及歧管藉由配合該歧管中諸如螺桿螺紋的成角配合結構的該濾筒出口上的成角結構(諸如具有一斜度之局部螺紋)而接合在一起。該過濾筒及歧管藉由在單步驟過程中將該等局部螺紋定位於該等配合螺桿螺紋的入口處並旋轉該濾筒以在該等配合螺桿螺紋內部分地或完全地移動該等局部螺紋而接合在一起。可視需要在該濾筒之一部分上且較佳在相對於該濾筒接合至該歧管之一端的一端處提供附著或形成於該濾筒一部分中的手柄或其他抓握特徵。使用者可抓握該手柄或其他特徵以便於將該過濾筒旋入該歧管或自該歧管旋出。該腕腔可接合至該歧管的一配合部分或區段以在該模組使用期間完全封閉該濾筒。或者在某些實施例中，可在該歧管上提供該等局部螺紋。該等局部螺紋配合該過濾及/或淨化濾筒上的配合螺桿螺紋。本發明亦提供其中該過濾及/或淨化濾筒具有局部螺紋或配合螺桿螺紋之實施例。

在某些實施例中，支撐物出口及歧管之出口管道上的局部螺紋或其他成角結構可具有約2至約25度之間的角度，使得該支撐物及歧管可嚙合並形成一液體密封或形成防止待處理液體與接收自濾筒的經處理液體混合的一密封。在某些實施例中，支撐物出口及歧管之出口管道上的成角結構可具有約6至約8度之間的角度。在某些實施例中，支撐物出口之成角結構為局部螺紋。

在本發明之實施例中，支撐物出口及歧管形成一液體密封。過濾及/或淨化濾筒及支撐物及獨立地腕腔以防止饋入模組之流體或液態與經由歧管自模組移除的經處理、經過濾及/或經淨化之液體混合的方式而與歧管流體連通。在某些實施例中，藉由一或多個O形環、密封墊或此等物之組合來提供支撐物出口與歧管密封之間的密封。

在某些實施例中，過濾器及/或淨化薄膜可為安裝至支撐物的一或多個濾筒。在其他實施例中，過濾器及/或淨化薄膜可結合至支撐物。

在某些實施例中，歧管具有可接觸支撐物的一或多個棘爪或其他內部肋狀結構。該等棘爪或其他肋狀物可用來固持支撐物或當旋轉支撐物以形成密封時充當其在歧管中的止件。

在某些實施例中，淨化支撐物媒體籠架可為可撓的或包含給淨化媒體提供支撐同時允許濾筒之熱膨脹的兩個或兩個以上區段。在某些實施例中，淨化及/或過濾筒的外部籠架為兩件構造。在某些實施例中，該籠架之組態或可撓性允許用於小於約200℃之流體且在某些情況下用於小於約160℃之流體。

在本發明某些實施例中，支撐物圓周大於對應的支撐物出口圓周，此提供密封支撐物出口與歧管的槓桿作用。在某些實施例中，該密封係藉由將支撐物旋轉約90度或更少度數來形成。

高流量淨化及/或過濾裝置可由抗化學作用材料製成。在某些實施例中，其可由聚合材料或聚合物與諸如陶瓷、纖維或其他填充物的其他材料之複合材料製成。在某些實施例中，該裝置不含金屬。支撐物出口及歧管出口上之局部成角結構的嚙合消除對插入過濾器或淨化器核心可引起被處理液體之污染的連接桿或連接管、定位導向的需要。支撐出口及歧管出口上局部成角結構的嚙合消除對基座及集管板、彈簧及其他結構的需要，該等結構使得過濾模組的裝配與拆卸困難且耗時長且可減少流體流量或在外殼中建立流動死點。本發明之實施例可在出口處具有淨化濾筒的單個密封而非具有入口及出口密封。本發明係關於一種薄膜淨化模組，該模組更為清潔且比當前可用之過濾及/或淨化模組更易於更換與安裝。在本發明某些實施例中，淨化媒體係由接合在一起的過濾筒、保持腕腔及歧管所形成的薄膜過濾模組。在其他實施例中，該淨化媒體為具有複數個過濾筒之支撐物的薄膜過濾模組；該薄膜過濾模組係由接合在一起的複數個過濾筒、該等過濾筒的一支撐物、一保持腕腔及一歧管而形成。

本發明型式中之淨化模組可用於(但不限於)在藥物、半導體及平板顯示器製造過程中所使用的液體或其他流體的過濾、淨化或此等處理之組合。該淨化模組可為其中清洗液體、蝕刻浸泡劑、漿料、試劑或其他液體處理化學品被抽吸於處理貯槽與淨化模組之間的再循環系統或其他裝置的一部分。該系統或裝置可包括諸如管道、閥、流量控制器、泵、壓力計、溫度、液體純度感測器或其他感測器的其他組件。在使用中當已達到模組淨化能力之指示時，可停止系統中的液體流，經由歧管而自外殼排去液體並移除淨化濾筒，或可移除接合至支撐物的一或多個單獨濾筒，或可移除支撐物。可在歧管或支撐物中安裝新的淨化濾筒或淨化媒體，且兩者可藉由嚙合支撐物液體出口之成角結構與歧管之配合成角結構而密封在一起。隨後密封歧管及帽蓋，且流體流動重新流過淨化媒體。

本發明之實施例包括一種裝置，其可包含一與來自一薄膜淨化媒體之出口流體連通之歧管及連接至該歧管之腕腔或帽蓋。該腕腔及歧管封閉該薄膜淨化媒體。在本發明之型式中，歧管及腕腔兩者皆可為聚合材料或包括聚合物之複合材料。腕腔或帽蓋及歧管之一區段以流體密封方式接合，該密封可藉由壓力配合或諸如一或多個密封墊、O形環、接合帶或其他材料之聚合密封材料的壓縮來可逆地形成及打破。腕腔或帽蓋與歧管區段間的密封可為螺帽與螺栓、夾具、保持環或其他密封維持結構或由其保持。在某些實施例中，腕腔接合至歧管的一圓柱形區段。歧管區段及腕腔或帽蓋之高度可變化以容納淨化薄膜。

帽蓋及歧管容納接合至支撐物的薄膜淨化媒體，該支撐物具有帶有諸如局部螺紋、螺桿螺紋或其他類似結構之一或多個成角結構的流體出口。在某些實施例中，淨化媒體可進一步利用一或多個多孔核心支撐物、一或多個外部支撐籠架及端蓋。淨化媒體、核心支撐物及籠架支撐物可結合於該支撐物與一端蓋之間。在其他實施例中，該淨化薄膜可包含於一或多個濾筒中，該等濾筒可接合至或藉由O形環環或類似物品而流體地密封至支撐物中的孔或開口中。淨化媒體及帽蓋與歧管以防止饋入模組之流體或液體與自模組移除的經過濾滲透物及/或經淨化液體混合的方式而流體連通且密封。

淨化薄膜可為平板、折疊平板、深度媒體、分級之深度媒體、中空纖維或其他多孔、微孔物。在某些實施例中，多孔媒體可具有小於約10微米之大小的小孔，在其他實施例中小於約1微米，且在另外實施例中小於約0.01微米。在另外實施例中，淨化媒體可為奈米多孔材料，約100奈米至約1奈米或更小。

在本發明之實施例中，支撐物具有薄膜支撐部分及一支撐物出口。該支撐物出口配合歧管之出口管道之一部分的內部，且在某些實施例中可基本上同軸或由歧管之一出口管道之內表面包圍。流體出口的長度可根據歧管出口管道之大小以及支撐物之穩定性要求而變化。支撐物出口具有兩個或兩個以上成角結構，諸如(但不限於)以支撐物約90度或更小的回轉而與歧管之出口管道的成角配合結構嚙合以在支撐物出口與歧管之出口管道間形成流體密封的螺桿螺紋、溝槽、翼片或局部螺紋結構。該流體密封可為可逆密封且可藉由支撐物出口與歧管之出口管道間的壓力配合或藉由諸如密封墊、O形環或一或多個O形環之聚合密封材料在支撐物與歧管間的壓縮來形成，在某些實施例中，該密封係在支撐物出口與歧管之出口管道之間。在某些實施例中，該密封可藉由諸如密封墊、O形環或一或多個O形環之聚合密封材料在支撐物出口與歧管出口管道間的壓縮而形成。

在本發明之實施例中，來自支撐物出口之成角結構與來自歧管之成角配合結構嚙合以在支撐物及歧管表面間形成液體密封。出口或歧管上的該等成角結構沿支撐物出口之圓周不連續，且沿歧管之出口管道的一部分不連續。該密封防止淨化媒體所過濾及/或淨化之液體與進入歧管之未處理液體混合。密封可由藉由嚙合成角結構而彼此接觸的任何支撐物及歧管表面來形成。舉例而言，在某些實施例中，如802b之支撐物底部可接觸諸如817之歧管表面且藉由一或多個O形環或密封墊(未圖示)密封。在其他實施例中，如圖8b中所說明，例如可在支撐物出口814與歧管出口管道833表面之間形成密封。嚙合支撐物與歧管的一或多個成角結構提供可抵抗歧管出口中之流體背壓的密封，在某些實施例中該密封係以大於約2 psi之流體背壓來維持，在其他實施例中係以大於約5 psi之流體背壓來維持，且在另外實施例中該密封係以大於約10 psi之背壓來維持。嚙合或配合成角結構維持歧管出口中經淨化及/或經過濾液體與容器中薄膜上游之待處理流體的隔開。

在本發明之實施例中，淨化意指自流體或液體的粒子移除、分子污染物移除、離子污染物移除或此等污染物之任一組合的移除。在漿料過濾應用中，淨化媒體可用來維持漿料中漿料粒子大小的所要分佈。本發明之實施例中的淨化媒體、淨化薄膜或淨化濾筒可用來自待處理流體或液體移除粒子、移除分子或離子污染物或此等污染物之任一組合。

在本發明之實施例中，腕腔或帽蓋及歧管區段可接合在一起以形成能夠可逆形成及破壞的液體或流體密封。該密封可包括一或多種密封材料，諸如(但不限於)彈性體密封墊、O形環、密封帶，或其可由帽蓋與歧管區段的適當密封表面間之壓力配合組成。帽蓋及歧管區段之密封及位置可用包括(但不限於)保持環、螺帽與螺栓、夾具或其他適當固定裝置之保持器結構來緊固。在某些實施例中，腕腔及歧管係藉由具有一凸緣之保持環來接合。

在本發明某些實施例中，淨化濾筒之支撐物及歧管係在單步驟過程中以成角結構接合在一起，該等成角結構為配合嚙合螺桿螺紋的傾斜局部螺紋。支撐物上之局部螺紋具有一斜度且配合歧管中之螺桿螺紋，使得淨化濾筒或媒體可藉由在單步驟中將支撐物旋入歧管而與歧管密封接合。在某些實施例中，支撐物可具有兩個局部螺紋以便於與配合螺桿螺紋進行對準。該等局部螺紋可彼此相距約180度定位。若需要則可利用諸如3或4個的兩個以上局部螺紋。當使用3個局部螺紋時，其可彼此相距120度定位。當使用4個局部螺紋時，兩對兩個螺紋分別可彼此相距約180度定位。在本發明一替代實施例中，螺桿螺紋可定位於淨化濾筒之支撐物上，而傾斜配合局部螺紋可定位於歧管上。在此實施例中，歧管及淨化濾筒亦藉由支撐物而在單步驟旋轉過程中密封地接合。在某些實施例中，傾斜局部螺紋可定位於過濾筒的支撐物上。用於接合或分離淨化濾筒支撐物與歧管的單步驟過程提供優於先前技術之兩步驟過程的實質優點。在某些實施例中，該淨化濾筒為粒子過濾器。在其他實施例中，該淨化濾筒自液體移除一或多種分子及/或離子污染物。在某些實施例中，淨化濾筒自液體移除粒子與一或多種分子或離子污染物之組合。

繼使用過濾模組之後，可使腕腔自歧管分開以曝露淨化濾筒具有或提供有手柄或其他抓握特徵的一端。隨後可藉由向該手柄施加作用力來旋轉該過濾筒以自狹槽移除支撐物的傾斜局部螺紋。隨後將一新過濾筒定位於歧管中。例如(但不限於)709之手柄、短小突出部、凸起結構或凹陷結構可附著、形成或併入如731的淨化或過濾筒706之端蓋中，以便於淨化濾筒與歧管的單步驟嚙合並提供機械槓桿作用以形成或破壞歧管與支撐物或淨化濾筒間的密封。本發明之實施例中用於接合或分離濾筒與歧管的單步驟過程提供比在兩步驟過程中使用凸耳來將濾筒緊固至腕腔並旋轉該濾筒更優的實質優點。

在某些實施例中，淨化模組可具有可用栓塞來打開或關閉的通風口及/或排放管。該通風口及排放管允許在使用中將淨化模組定位於一垂直位置或一水平位置，使得淨化模組在完成其在淨化過程中的使用後可被排空。在淨化模組使用後，可將腕腔或帽蓋與歧管分開以曝露接合至支撐物的一或多個多個淨化媒體或濾筒。視淨化模組之組態而定可以不同方式來嚙合或分離支撐物與歧管。舉例而言，接合至支撐物的多孔淨化媒體可作為單一單元與歧管嚙合或自歧管移除；具有一或多個經接合之淨化濾筒的支撐物可作為單一單元與歧管嚙合或自歧管移除；或對於具有一或多個經接合之淨化濾筒的支撐物而言，可自歧管單獨地移除濾筒，同時支撐物在原位置，濾筒可藉由將新濾筒接合至支撐物來用新濾筒進行替換。

參看圖1a、圖1b及圖1c，支撐物102可由上支撐板102a及下支撐板102b形成，前者具有一或多個或複數個具有接收過濾及/或淨化濾筒(例如參見圖2a及圖2b中之濾筒206)之大小的孔或開口118。上板102a及下板102b在圖1a中被展示為分隔開，但可如圖1c中所描繪接合在一起以形成支撐物102。支撐物102可具有允許流體自配合且密封接合入開口118的過濾或淨化濾筒流動的流體管道103。液體流經流體管道103及支撐物流體出口114。在某些實施例中，支撐物102具有允許流體自配合且密封接合入開口118之過濾或淨化濾筒流動的流體管道103。經淨化媒體處理之液體流經流體管道103並經由支撐物流體出口114進入歧管。在某些實施例中，例如圖7中所說明的單一較大淨化濾筒706，缺少如102a的上板且下板102b(類似於702b)為濾筒提供淨化媒體及液體出口114之支撐。該淨化濾筒下支撐板可具有可用以對準薄膜及支撐物且或用於在淨化器及/或過濾筒構造期間結合的一或多個可選隆脊120及121。舉例而言，圖8中以橫截面所展示的裝配好之過濾器經說明具有歧管入口826及出口828，且進一步說明具有多孔內部核心812、多孔淨化薄膜808及外部支撐物810b之淨化濾筒806，812、808及810b全部展示位於支撐板802b之可選隆脊820與821之間。

可在支撐物之流體出口上定位一或多個局部螺紋。舉例而言，如圖1c中所示，支撐物102具有帶有傾斜局部螺紋116(僅展示一個)的流體出口114。在某些實施例中，傾斜局部螺紋定位於流體出口114的相對表面上。局部螺紋116可具有約2度與約25度之間的斜度或角度(α)，在某些實施例中，該角度可在約6度與約8度之間。如102a或102之支撐物中的孔或開口118可具有O形環、溝槽或此等物之組合115以接合支撐物102與濾筒以在支撐物102與定位於開口118內的如306之過濾或淨化濾筒之間提供流體密封。局部螺紋116配合歧管上的配合螺桿螺紋。除O形環以外可利用任何密封構件，例如聚合或彈性體密封帶、密封墊或O形環。在某些實施例中，當支撐物與歧管嚙合時，該等成角結構提供支撐物出口在歧管出口管道中約30毫米的移動。

參看圖2a及圖2b，本發明之過濾或淨化模組200的一實施例包括可具有外部多孔籠架210及內部多孔籠架212的過濾或淨化濾筒206、可自流體移除污染物之淨化媒體208。該媒體可為例如聚合多孔或微孔薄膜、具有離子交換基團或其他分子污染物移除基團的多孔媒體。該模組包括過濾筒支撐物202、歧管222及具有可選通氣埠204之腕腔或帽蓋224。在本發明之實施例中，術語腕腔及帽蓋可交換使用。歧管222具有流體入口226及流體出口228，該等入口226及出口228可視需要包括密封墊、O形環及其類似者之密封表面以將該模組連接至一液體流道。歧管222便利地與歧管區段230整體形成，該區段230可為利用保持器或可旋轉鎖環232而以密封關係配合腕腔224的圓柱形。鎖環232可具有帶有可選開口238的凸緣236，該凸緣236便於旋轉鎖環232並幫助維持外殼及圓柱形區段230在指定容限內的形狀以在模組操作壓力及溫度下無洩漏。腕腔或帽蓋224可具有來自外殼內的濾筒206或接合至支撐物202之其他薄膜上方之體積的通風口204。鎖環232定位於腕腔224上且具有配合圓柱形區段230之外表面上之螺紋245的螺紋240。當旋轉鎖環232時，可利用O形環247將腕腔224密封至圓柱形區段230。可藉由諸如圖1b中所說明之O形環115將過濾器筒206密封至支撐物202。歧管222可經組態以在歧管出口管道217之表面上具有一開口，以接收或容納支撐物出口214並接收可藉由出口228自裝置200移除的經過濾液體及/或經淨化液體。藉由嚙合諸如支撐物出口214及歧管出口管道233之局部螺紋及螺桿螺紋的成角結構，可將支撐物出口214密封至歧管出口管道233內表面。該密封提供待過濾或待淨化之液體與經過濾或經淨化之液體之間的密封。可使用彈性體材料、壓力配合或此等方式之一或多者之組合來形成支撐物與歧管間的密封。O形環260之非限制實例說明了214與217間之密封的一實例。

圖2a及圖2b說明包含歧管222及以流體密封方式接合至歧管222之區段230的腕腔或帽蓋224。腕腔224及歧管222容納安裝或接合至支撐物202的淨化薄膜208。支撐物具有薄膜支撐部分(例如參見圖1a中之102a及開口118)及支撐物出口214，其中支撐物出口214配合在歧管表面217中具有開口的歧管出口管道233內部且在某些型式中實質上與其同軸。支撐物出口214具有兩個或兩個以上成角結構216，諸如(但不限於)以支撐物202約90度或更少之回轉而與歧管之出口管道233的成角配合結構嚙合的螺桿螺紋、溝槽、翼片或局部螺紋結構。支撐物214與歧管出口管道233的嚙合形成一流體密封260，例如(但不限於)藉由壓力配合支撐物出口214與歧管222之出口管道233之間諸如密封墊、O形環或一或多個O形環之聚合密封材料的可逆密封。在某些實施例中，成角結構216以小於支撐物202之全幅回轉而嚙合並停止以在支撐物202與歧管222之間形成流體密封。在某些實施例中，支撐物202及歧管222以支撐物202約90度或更小之回轉而嚙合並停止。淨化薄膜可為具有淨化薄膜208之一或多個濾筒206的一部分，該等濾筒接合至支撐物202。

在某些實施例中，內部或外部薄膜支撐物可為單件構造。在其他實施例中，薄膜的內部及/或外部籠架支撐物可由兩件或兩件以上製成以允許較高溫度下的熱膨脹。舉例而言，圖7中說明兩件外部籠架的一非限制實例，其中籠架部分710a及710b形成過濾或淨化設備706的外部籠架。

可使用保持器來密封帽蓋或腕腔與歧管之區段。保持器在使用條件下向腕腔及歧管之區段提供支撐並維持密封。保持器在流體壓力下維持腕腔或帽蓋與歧管區段間的密封；在某些實施例中該壓力係在半導體製造操作期間所期望之壓力，在其他實施例中該壓力係在平板顯示器處理中所期望之壓力；在另外實施例中該壓力小於約60 psi。在圖2或圖10b中所說明的本發明之型式中，保持器可為可具有凸緣236或1036的鎖環232或1032。凸緣236或1036可具有允許使用者抓握該保持器且可便於鎖環之旋轉的一或多個可選空隙238或1038。凸緣236或1036可向鎖環提供額外尺寸穩定性，尤其在室溫以上的溫度及在其中腕腔或帽蓋224或1024及歧管區段230或1030可發生膨脹的操作壓力下；保持環232或1032以流體或液體密封方式維持其間的密封。

在本發明之實施例中，腕腔或帽蓋及歧管之區段經成形使得可接合在一起以形成液體或流體密封。雖然腕腔及歧管的形狀不存在限制，但在某些實施例中，該腕腔及歧管區段可具有圓形形狀並藉由一保持器以液體密封方式接合。

如圖5b或圖8a及圖8b中所示，可分別沿歧管522或822之內表面或分別沿自歧管530或830之區段的壁安置一或多個棘爪(例如562或862)，並使用該等棘爪來提供用於定位及固持諸如202或802b之支撐物使其基本上與外殼固定的表面。該等棘爪(例如862)亦可為歧管822以及支撐物802b之底部提供結構支架。棘爪862及歧管出口833中之開口的頂部表面817可分別在外部及內部接觸支撐物802b之下部表面，並向支撐物802b提供接觸點及穩定性且可幫助防止其在外殼中傾斜。對於如202的具有亦具有內部流體管道的多個濾筒之支撐物而言亦可期望類似穩定性。棘爪862可用歧管822之底部來形成並延伸至歧管區段830的一部分中。如圖所示，棘爪862可自歧管822之底部升起且經組態以允許歧管此部分的排放。歧管之一頂部表面(例如817)可視需要包括用於將如802b之支撐物流體密封至歧管的密封材料，如O形環、密封墊或其他材料。棘爪862消除對接觸濾筒以將其穩定的腕腔的需要，或消除對將淨化濾筒或淨化媒體固定於適當位置之頂部對準板或連接桿的需要。如圖4b中所說明，如462之棘爪及歧管出口433之開口417的頂部可在一或多個點處接觸支撐物402並向支撐物402提供穩定性且當在支撐物被密封至歧管422時移除一或多個濾筒406或將其安裝至支撐物402中時防止其在外殼中傾斜。

支撐物出口之長度及成角結構沿支撐物流體出口長度的位置可經選擇以向支撐物提供額外穩定性。舉例而言，藉由增加支撐物出口之長度，在不阻擋歧管出口的情況下，可提高支撐物的穩定性。

諸如歧管、帽蓋、保持器或淨化媒體之模組組件的建構材料可為與淨化及/或過濾過程化學製品、壓力及溫度化學相容的任何材料。材料可獨立地包括金屬或聚合材料，或具有諸如碳、黏土、奈米管及其類似物的各種填充物之聚合物的複合材料。在某些實施例中，該等模組組件為聚合物，在其他型式中為熱塑性塑料。在某些實施例中，聚合物可包括聚醯胺、耐綸或如高密度聚乙烯、超高分子量聚乙烯或其他聚乙烯之聚烯烴；在某些實施例中，聚合物可包括含氟聚合物，如四氟乙烯、PFA、MFA、m－PTFE、FEP、PVDF、PVC或其他含氟聚合物；在其他實施例中，該聚合物可包括高溫聚合物，如PEEK、PES、聚碸及其類似物。

圖3a及圖3b說明具有歧管之圓柱形區段330及具有可選通風口304的腕腔或帽蓋324的過濾或淨化模組300，該歧管具有液體入口326及液體出口328。模組300可藉由穿過孔342、344、346及348延伸的螺桿而緊固至一基板或工具表面(未圖示)。如圖3b中所示(且類似地在圖5b中所說明之實施例中)，過濾模組300可在的歧管中具有與該圓柱形區段內部及該歧管之出口區段流體連通之通風口或排放孔350及排放孔352。在使用期間可塞緊通風口或排放孔350及排放孔352且在完成液體之過濾及/或淨化後將其打開。亦可在歧管中提供計量器及/或通風孔354及356以在使用期間附著諸如壓力計之計量器。若不存在一或多個計量器，則可在模組300的使用期間塞緊諸如(但不限於)354的一或多個計量器孔。圖3a及圖10a中說明可用來將該歧管區段與帽蓋密封在一起之保持器的非限制性實例。舉例而言，具有短小突出部334之保持器332或具有凸緣1036之保持器1032分別維持帽蓋324或1024分別與歧管區段330或1030之間的密封。保持器之尺寸容限可經選擇或形成以維持帽蓋與歧管區段的相對位置，使得在模組使用期間所經歷之壓力及溫度下維持液體密封。

參看圖4a及圖4b，過濾或淨化模組400包含具有可選通風埠404之腕腔或帽蓋424、接合至支撐物402的一或多個淨化或過濾筒406及歧管422。支撐物402包括具有傾斜局部螺紋416的流體出口414。定位於出口414與歧管422之間的O形環(未圖示)在其間形成流體密封。過濾模組400可藉由穿過孔442、444、446及448之螺桿而緊固至一基板(未圖示)。腕腔424可藉由諸如鎖環432之保持器而緊固至歧管422之圓柱形區段430，該鎖環432具有用於以上文關於圖2a及圖2b所描述之方式固持以轉動保持環432的柄或短小突出部434。在使用中，待過濾之流體進入歧管入口426並通過淨化或過濾筒406。通過淨化或過濾筒406之經處理流體或液體流經支撐物402，穿過支撐物流體出口414且穿過歧管出口管道433並到達歧管出口428至使用點。如熟習此項技術者可瞭解，有可能反轉本發明各種實施例中的流體流動。雖然已描述了各種實施例，但該等實施例並不侷限於任何特定的流體流動方向。

參看圖5a、圖5b且亦參看圖7，歧管522之內表面570可包括螺桿螺紋529或容納諸如716之傾斜局部螺紋的其他類似溝槽或通道。如圖5b中所示，在過濾或淨化模組500的一實施例中，歧管522可具有可在使用期間塞緊且在過濾淨化完成後打開的通風或排放孔550及排放孔552。可提供計量器及/或排放孔554以在使用期間附著諸如壓力計之計量器。若不存在一或多個計量器則可在模組500之使用期間塞緊一或多個計量器或排放孔554。可改變帽蓋或腕腔524之大小以容納淨化媒體或一或多個濾筒。為說明之目的，腕腔或帽蓋524可包括具有通風口504的頂部524a，頂部524a流體密封至中部524b，中部524b之長度可經選擇以容納流體連接至底部524c的過濾器或淨化器(未圖示)，底部524c可包括諸如凸緣、唇緣或其他適當較厚增強結構566之結構。腕腔或帽蓋524(接合在一起的524a及524b及524c)可藉由密封材料560接合至歧管區段350且以具有凸緣536之保持環532來固持。諸如一或多個螺帽與螺栓、一或多個夾具及其類似物的其他可逆接合裝置亦可用作密封腕腔或帽蓋524與歧管區段530的保持器。模組500具有用於待處理流體的流體或液體入口(未圖示)及來自歧管出口管道的出口528以自淨化媒體移除經處理之流體或經處理之液體並將其傳送至使用點。圖5b說明定位於歧管區段530內部的一或多個可選棘爪562，該等棘爪可用來固持或定位如圖1c中102的支撐結構或圖8a中所說明的支撐物802b。

參看圖7，本發明一型式中之淨化濾筒706可包括一外部多孔籠架，該籠架可為可撓籠架或由可為淨化濾筒提供支撐的兩個或兩個以上分段710a及710b及用於濾筒706之熱膨脹的可選接頭737形成。外部多孔籠架分段710a之一者可接合或結合至可具有手柄709或其他抓握特徵的端蓋731。諸如710b的另一多孔籠架分段可接合或結合至具有流體出口714之支撐物702b。圖8a說明具有兩個或兩個以上分段810a及810b的外部籠架，該等分段藉由上部與下部外部籠架810a與810b之間的舌狀物及溝槽或其他類似接頭819而相互連接。濾筒可進一步包括淨化及/或過濾媒體708，諸如折疊薄膜及一或多個內部多孔籠架支撐物或可撓內部籠架支撐物(未圖示)。支撐物流體出口714可具有兩個或兩個以上傾斜局部螺紋或定位於支撐物流體出口714之相對表面或其他適當表面上的其他獨立成角結構716。支撐物出口上局部螺紋或其他成角結構716可具有介於約2度與25度之間，較佳介於約6度與約8度之間的斜度(α)。在某些實施例中，成角結構當嚙合時提供支撐物出口進入歧管出口管道約30毫米的移動。可自垂直於淨化濾筒或支撐物之旋轉軸的直線735來量測該角度或斜度。該等局部螺紋或其他成角短小突出部或翼片716配合諸如歧管中之局部螺桿螺紋的配合成角結構。在某些實施例中，淨化濾筒含有定位於支撐物710a及710b之組合(對於單一區段外部籠架之實施例參見圖10d中之1010)中折疊淨化薄膜708、端蓋731且密封至支撐物702b。在使用中，進入籠架710a及710b的流體或液體通過淨化薄膜708，此處可移除粒子及污染物，液體經由支撐物出口714退出濾筒到達歧管。

參看圖6，展示可包括多孔、微孔、或更小孔大小之淨化薄膜608的過濾及/或淨化濾筒682的一部分。在某些實施例中，薄膜608為折疊過濾薄膜，在其他實施例中，薄膜608可為中空纖維(未圖示)或非編織深度過濾媒體(未圖示)。濾筒682的該部分可包括中空支撐物圓柱籠架612，該籠架612具有與諸如214或814(圖2及圖8)之支撐物流體出口連通的孔、埠或液體出口688。折疊過濾薄膜之折疊亦可為M形或W形或此等形狀之組合或其他形狀。在某些實施例中，濾筒可包括中空纖維多孔或微孔薄膜，該等薄膜具有約10微米或更小之小孔、約1微米或更小之小孔或約0.1微米或更小之小孔。如圖7中本發明一實施例中所示，淨化濾筒可包括一或多個外部籠架支撐物710a及710b、具有出口714之支撐物702b，該出口714具有成角結構或局部螺紋716或用於O形環或其他密封材料(未圖示)的溝槽、凹陷或通道711。端蓋731可結合至外部籠架支撐物710a且可具有提供旋轉濾筒以嚙合出口之成角結構716及歧管上之配合結構的槓桿作用的特徵。

在圖8a及圖8b中所說明的本發明一實施例中，歧管822可包括用於接合至一帽蓋(未圖示)之歧管區段830，且亦包括諸如(但不限於)854的一或多個計量器或排放孔。支撐板802b經說明為具有支撐物出口814、與歧管833之流體出口管道中之一或多個成角通道或溝槽結構829配合的成角結構816。支撐物出口814可包括用於O形環或其他密封材料的一或多個溝槽或通道811。如圖8b中所說明，支撐物出口814配合在歧管表面817中有一開口的歧管出口管道833之內部，且在某些型式中實質上與其同軸。具有淨化媒體808之支撐物802b可藉由彈性體或其他密封材料860與歧管出口管道833密封以防止饋入模組之流體或液體與經由歧管出口管道自淨化媒體808移除的經過濾滲透物及/或經淨化之液體混合。

圖9說明腕腔或帽蓋924之一部分與歧管930之一區段之間的密封的一實施例。保持器932具有短小突出部934的一部分定位於腕腔924上且具有配合歧管區段930之外表面上之歧管螺紋的保持器螺紋940。當旋轉保持器932以嚙合螺紋945時，可利用O形環或其他密封材料947來將腕腔924密封至歧管區段930。

圖10a至圖10d說明本發明一實施例之態樣，該實施例包含具有諸如(但不限於)1054之一或多個通風孔或計量器孔的歧管1022；及具有可選通風埠1004且以流體密封方式接合至歧管1022之區段1030的腕腔或帽蓋1024。腕腔1024及歧管1022容納具有支撐物1002b及具有可選手柄1009之端蓋1031及流體密封至支撐物1002b的淨化薄膜1008的淨化濾筒1006。支撐物1002b具有薄膜支撐部分及支撐物出口1014，其中支撐物出口1014配合在歧管表面1017中有一開口的歧管出口管道1033內部且在某些型式中實質上與其同軸。支撐物出口1014具有諸如(但不限於)螺桿螺紋、溝槽、翼片或局部螺紋結構的兩個或兩個以上成角結構1016，該等成角結構1016嚙合歧管之出口管道1033的成角配合結構。該等成角結構以小於支撐物1002b的一全幅回轉而嚙合並停止以在支撐物1002b與歧管1022間形成一流體密封。在某些實施例中，支撐物1002b及歧管1022以支撐物1002b約90度或更小之回轉而嚙合並停止。支撐物1014與歧管出口管道1033之嚙合形成流體密封1060，例如(但不限於)藉由壓力配合之可逆密封、諸如密封墊、O形環或該支撐物出口1014與歧管1022之出口管道1033之間的一或多個O形環的聚合物密封材料。

歧管1022具有流體入口1026及流體出口1028。歧管1022便利地與圓柱形區段1030整體形成，該區段1030利用可旋轉鎖環1032以密封關係與腕腔1024配合。鎖環1032可具有螺紋1040，其可藉由旋轉鎖環1032而與歧管區段螺紋1045嚙合。當旋轉鎖環1032時，腕腔1024利用O形環1047而密封至圓柱形區段1030。在某些實施例中，淨化器濾筒1006可包括外部多孔籠架1010及內部多孔籠架1012，該等籠架可藉由使用手柄1009將其旋入歧管出口管道1033之入口而藉由局部螺紋1016及O形環1060密封至歧管出口管道1033之入口。

如圖10c中所示，過濾模組1000可藉由穿過孔1042、1048及其他未圖示之孔延伸的螺桿而緊固至一基板(未圖示)。類似於圖3b中所示之模組，模組1000可具有通風或排放孔1050及在使用期間可塞緊且在淨化或過濾完成後可打開的排放孔(未圖示)。亦可提供計量器孔以在使用期間將諸如壓力計之計量器附著至模組1000。

進一步參看圖10d及圖10e，在某些實施例中，淨化濾筒1006包括具有傾斜局部螺紋1016的流體出口1014。可在出口1014與歧管1022之出口管道1033之一部分之間安置O形環1060，(類似於圖8b中所說明的860)，以在其間形成一流體密封。帽蓋1024及歧管1022容納淨化薄膜1008且該淨化薄膜接合至支撐物1002b。在某些實施例中，由歧管區段1030及帽蓋1024封閉的淨化濾筒1006可進一步包括核心支撐物1012、結合至支撐物1002b的外部支撐籠架1010及端蓋1031。支撐物1002b具有自濾筒1006內部接收經淨化之流體並經由歧管出口管道1033將其引導至歧管出口1028的出口1014。歧管1022之內部表面可具有狹槽，該狹槽可在出口管道1033中，該狹槽容納來自支撐物1002b的局部螺紋。在使用中，待過濾之流體進入歧管入口1026並進入淨化或過濾筒1006，此處隨著流體通過淨化薄膜1008可自其中移除粒子、膠體、分子污染物、離子污染物或此等污染物的任何組合。經淨化之流體經由支撐物流體出口1014離開淨化濾筒1006，該流體出口1014定位於歧管表面1017中一開口處的歧管出口管道1033的內部。經淨化之流體通過歧管出口管道1033且隨後歧管出口1028，再到達一使用點。圖10e中所示之棘爪1062接觸於支撐物1002b之一部分。

102、202、402、1002b．．．支撐物

102a．．．上支撐板

102b．．．下支撐板

103．．．流體管道

114、1014．．．流體出口

115．．．密封構件

116、216、716、1016．．．局部螺紋

118．．．開口

120、121．．．可選隆脊

200、300、400、500、1000．．．過濾或淨化模組

204、404、1004．．．通風口

206、306、406、706、806、1006．．．濾筒

208、808、1008．．．淨化媒體

210、1010．．．外部多孔籠架

212、1012．．．內部多孔籠架

214．．．支撐物出口

217．．．歧管表面

222、422、522、822、1022．．．歧管

223．．．體積

224、324、424、524、924、1024．．．腕腔或帽蓋

226、326、426、1026．．．流體入口

228、328、528、414、688、714、1028．．．流體出口

230、330、430、530、830、930、1030．．．歧管區段

232、432、532、932、1032．．．鎖環/保持環/保持器

233、433、833、1033．．．歧管出口管道

236、536、1036．．．凸緣

238、1038．．．可選空隙

240、245．．．螺紋

247、260、947、1047．．．O形環

260、560、1060．．．流體密封

332．．．保持器

334．．．短小突出部

342、344、346、348、442、444、446、448、1042、1048．．．孔

350．．．歧管區段

550、1050．．．通風或排放孔

352、552．．．排放孔

354、356．．．通風孔

417．．．開口

422、522、822．．．歧管

428．．．歧管出口

462、562、862．．．棘爪

524a．．．頂部

524b．．．中部

524c．．．底部

529．．．螺桿螺紋

566．．．增強結構

570．．．內表面

608．．．薄膜

612．．．籠架

709、1009．．．手柄

710a、710b．．．籠架支撐物

716．．．翼片/局部螺紋/成角結構

731、1031．．．端蓋

737、819．．．接頭

802b．．．支撐板

810a．．．上部外部籠架

810b．．．下部外部籠架

811．．．溝槽或通道

812．．．多孔內部核心

814．．．支撐物出口

817、1017．．．歧管表面

820、821．．．可選隆脊

826．．．歧管入口

828．．．歧管出口

829．．．成角通道或溝槽結構

854．．．計量器或排放孔

860．．．密封材料

932．．．保持器

934．．．短小突出部

940．．．保持器螺紋

945．．．歧管螺紋

圖1a為本發明之複數個過濾或淨化濾筒之支撐物的等角分解圖。

圖1b為經接合的圖1a之支撐物的等角視圖。

圖1c為圖1a之支撐物的側視圖，說明流體管道及淨化濾筒之支撐物出口及開口上之部分成角結構。

圖2a為包括接合至一支撐物的一或多個淨化濾筒之淨化模組之實施例的俯視圖。

圖2b為沿直線A－A截取的圖2a之淨化模組的截面圖。

圖3a為圖2b之淨化模組的等角視圖。

圖3b為圖2b之淨化模組的仰視圖。

圖4a為本發明之淨化模組另一實施例的俯視圖。

圖4b為圖4a之模組的側視圖，說明用以接合帽蓋及歧管的歧管中之棘爪及保持器上之短小突出部。

圖5a為可用於本發明一實施例中之歧管的螺桿螺紋之側視圖，該歧管用於接收支撐物液體出口上的傾斜局部螺紋。

圖5b為本發明之淨化模組一實施例中之歧管及腕腔的截面圖。

圖6為用於本發明之實施例中的淨化媒體之一部分的等角視圖。

圖7為本發明一實施例中之淨化濾筒的側視圖。

圖8a為本發明一實施例中之淨化模組的截面圖。

圖8b為本發明之實施例中的歧管與支撐物間之棘爪及密封的截面圖。

圖9為等角截面圖，說明本發明之淨化模組一實施例中利用保持器之歧管區段與一帽蓋間的液體密封。

圖10a為本發明一實施例中之淨化模組的俯視圖。

圖10b為圖10a之淨化模組沿直線A－A截取的截面圖，說明本發明一實施例中之淨化濾筒。

圖10c為圖10a之淨化模組的等角視圖。

圖10d為圖10a之淨化模組的等角截面圖。

圖10e為圖10a之淨化模組的等角截面圖，進一步說明本發明一實施例之一態樣，其中支撐物出口與歧管之出口管道形成一密封。

102．．．支撐物

102a．．．上支撐板

102b．．．下支撐板

103．．．流體管道

114．．．支撐物流體出口

116．．．局部螺紋

118．．．開口

Claims (25)

1. 一種過濾模組，其包含：一歧管，具有一具有一於一外表面上之螺紋部分之圓柱形區段，一腕腔，具有一通風口，一保持環，經配置以一液體密封方式接合該歧管與該腕腔，該保持環具有一於一內表面上適以於該歧管之該螺紋部分上旋轉之螺紋部分，並且該腕腔及歧管容納一安裝至一支撐物之淨化薄膜，其中該通風口於該淨化薄膜上方，該支撐物具有一薄膜支撐部分及一支撐物出口，該支撐物出口配合該歧管一出口管道之內部，該支撐物出口具有兩個或兩個以上成角結構，該等成角結構以該支撐物約90度或更小的一回轉而與該歧管之該出口管道的成角配合結構嚙合，以在該支撐物與該歧管間形成一液體密封。
2. 如請求項1之過濾模組，其更包含一或多沿該歧管之一內表面定位之棘爪，該等棘爪提供有一用於定位該支撐物之表面，該等棘爪經配置以允許該歧管之排放，並且其中該支撐物具有一下部表面，並且其中該一或多棘爪接觸該支撐物之該下部表面，並且其中該支撐物出口及該歧管之出口管道形成一流體密封。
3. 如請求項1之過濾模組，其中該支撐物出口上的該等成角結構相對於垂直於該支撐物一旋轉軸的一直線形成約2度至約25度之間的一角度。
4. 如請求項1之過濾模組，其中該支撐物出口的該等成角結構為局部螺紋。
5. 如請求項1之過濾模組，其中該支撐物出口與歧管係藉由一O形環而以一液體密封方式被密封。
6. 如請求項1之過濾模組，其中該淨化薄膜為接合至該支撐物中一或多個開口的一或多個過濾器筒。
7. 如請求項1之過濾模組，其中該淨化薄膜係結合至該支撐物。
8. 如請求項1之過濾模組，其更包含一或多沿該歧管之一內表面定位之棘爪，該等棘爪提供有一用於定位該支撐物之表面，該等棘爪經配置以允許該歧管之排放，並且其中該出口管道具有一頂部表面，該支撐物具有一下部表面及一外及內部，並且其中該一或多棘爪及該歧管之該出口管道之該頂部表面於該支撐物之該外及內部分別接觸該支撐物之該下部表面。
9. 一種淨化濾筒，其包含：一具有一手柄之端蓋、一由兩個或兩個以上分段形成之外部多孔籠架，其中該外部多孔籠架具有一用於該淨化濾筒之熱膨脹之接頭，並且該外部多孔籠架具有接合至該端蓋之一頂部外部多孔籠架分段及接合至一支撐物之一下部多孔籠架分段、一淨化薄膜、一內部多孔籠架，該淨化薄膜及該內部多孔籠架及該外部籠架密封於該支撐物與該端蓋間，該支撐物包括一支撐物出口，該支撐物出口在該支撐物出口之相對表面上具有兩個或兩個以上成角結構，該等成角結構形成自垂直於該支撐物一旋轉軸的一直線量測得約為2度至25度的一角度，該 兩個或兩個以上成角結構嚙合一歧管出口管道之多個表面，該兩個或兩個以上成角結構提供有一在該支撐物出口與該歧管出口間之液體密封。
10. 如請求項9之淨化濾筒，其中該等外部籠架分段藉由一舌狀物及溝槽接頭而相互連接。
11. 如請求項9之淨化濾筒，其中該支撐物出口配合該歧管出口管道之一內部，該兩個或兩個以上成角結構提供有一在該支撐物出口與該歧管出口間之液體密封，該等成角結構形成自垂直於該支撐物該旋轉軸的該直線量測得約為6度至8度的一角度。
12. 一種過濾模組，其包含：一歧管；一具有一通風口之腕腔，該腕腔接合至該歧管；該腕腔及該歧管容納複數過濾筒，其中該通風口於該過濾筒上方；該等過濾筒之一支撐物，各該過濾筒具有一過濾層；圍繞該過濾層之一多孔外部籠架；支撐該過濾層之一多孔內部籠架；及來自該內部籠架一內部體積的一第一流體出口，該支撐物具有複數個開口以可分離地接合該等第一流體出口之每一者，該支撐物具有一第二流體出口及自該等第一流體出口之每一者至該歧管之一出口管道的一內部流道，該支撐物流體出口與該歧管之該出口管道藉由具有一斜度且與複數個螺桿螺紋配合的複數個局部螺紋而接合在一起，該支撐物流體出口配合該歧管之該出口管道之內部。
13. 如請求項12之模組，其中該等局部螺紋係定位於該第二流體出口的一外部表面上。
14. 如請求項12之模組，其中該等局部螺紋係定位於該歧管之該出口上。
15. 如請求項12之模組，其具有該等局部螺紋之兩者及該等螺桿螺紋的兩者。
16. 如請求項12之模組，其中該等局部螺紋具有一介於約6度與約8度之間的斜度。
17. 一種淨化模組，其包含：一具有一流體入口及一分離流體出口之歧管；一具有一通風口之腕腔，該腕腔接合至該歧管；該腕腔及該歧管容納一過濾筒，並且該通風口於該過濾筒上方，該過濾筒具有一過濾層；圍繞該過濾層之一多孔籠架；支撐該過濾層之一多孔內部籠架；及具有一流體出口之一支撐物，該淨化薄膜、該多孔籠架及該內部多孔籠架結合於該支撐物與一端蓋間，該過濾筒在該端蓋上具有一手柄，一支撐物出口配合該歧管之一出口管道之內部，該手柄旋轉該過濾筒進入該歧管或自該歧管出來，該支撐物出口與該歧管之該出口管道藉由具有一斜度且與具有一螺桿螺紋之複數個狹槽配合的複數個局部螺紋而接合在一起，以在該歧管與該支撐物間形成一液體密封。
18. 如請求項17之模組，其中該等局部螺紋係定位於該流體出口之一外部表面上。
19. 如請求項17之模組，其中該等局部螺紋係定位於該歧管上。
20. 如請求項17之模組，其具有該等局部螺紋之兩者及該等螺桿螺紋的兩者。
21. 如請求項17之模組，其中該等局部螺紋具有一介於約6度與約8度之間的斜度。
22. 如請求項12之模組，其中該複數過濾筒經安排為允許並聯流動。
23. 如請求項1之過濾模組，其中該保持環包含一凸緣，以便於該鎖環之旋轉。
24. 如請求項12之模組，其更包含一或多沿該歧管之一內表面定位之棘爪，該等棘爪提供有一用於定位該支撐物之表面，該等棘爪經配置以允許該歧管之排放。
25. 如請求項17之模組，其更包含一或多沿該歧管之一內表面定位之棘爪，該等棘爪提供有一用於定位該支撐物之表面，該一或多棘爪接觸該支撐物之該下部表面，該等棘爪經配置以允許該歧管之排放。