TWI404571B - 維修裝置及吐出裝置 - Google Patents

Description

維修裝置及吐出裝置

本發明係關於吐出口的維修裝置及具有維修裝置之吐出裝置。

隨著近年來的資訊化社會的發展，更大型的液晶顯示裝置之需求提高，因此期望能提高其生產性。在彩色液晶顯示裝置，為了將顯示影像全彩化而使用濾色器。濾色器，是在基板上的既定區域以既定的圖案配置R(紅)、G(綠)、B(藍)這三色的墨水而製作出。

以往，關於墨水的吐出，大多採用噴墨方式。在噴墨方式，吐出口周邊及內部的墨水會乾燥固化，或因灰塵附著在吐出口而使吐出口堵塞，如此般吐出口的附著物會造成阻礙而使墨水的降落精度變差。

為了解決此課題，如專利文獻2及專利文獻3所記載的裝置那樣，必須具備檢測不良吐出口之檢查裝置及從不良吐出口將附著物除去之清掃裝置。

採用頭部移動方式(讓頭部以在基板上掃描的方式往復移動的狀態朝基板上吐出墨水)之專利文獻1所記載的裝置，可將專利文獻2所記載的檢查裝置和清掃裝置設置在與基板移動區域不同的場所，讓頭部移動至檢查裝置或清掃裝置上，來進行不良吐出口的檢查和清掃。

然而，依據頭部移動方式的裝置，隨著基板的大型化 造成墨水吐出花費更長的時間，且很難將頭部控制成能以均一之既定間隔來讓墨水降落。

為了對大型基板吐出墨水，必須採用頭部靜置方式，亦即讓複數個頭部靜止於基板移動區域上，在其下方讓基板通過而朝基板上吐出墨水。

〔專利文獻1〕日本特開平11-248925號公報

〔專利文獻2〕日本特開2003-191492號公報

〔專利文獻3〕日本特開2008-265321號公報

本發明是為了解決上述習知技術的問題點而開發完成的，其目的是針對在複數個頭部(相對於水平基準面呈靜止)下方讓基板通過以朝基板上吐出吐出液之吐出裝置，提供一種能進行各吐出口的檢查及清掃之維修裝置。

為了解決上述課題，本發明之維修裝置，係沿著吐出裝置之主軌道移動的維修裝置；該吐出裝置，是將載置基板之基板載置台裝載於被固定成水平之主軌道上，讓前述基板載置台沿著前述主軌道移動而通過頭部保持部的下方，從設置於前述頭部保持部之複數個頭部的吐出口將吐出液的液滴朝前述基板載置台上的基板吐出而降落在基板上；前述維修裝置，係具備：裝載於前述主軌道上之第一移動台、讓前述第一移動台沿著前述主軌道移動之主移動裝置、配置在前述第一移動台上之載置台、讓前述載置台在前述第一移動台上移動之副移動機構、以及載置於前述載 置台上之檢查裝置；前述檢查裝置，係具備：朝向測定對象物照射照明光之照明裝置、以及拍攝被前述照明光照射後之前述測定對象物之攝影裝置；讓前述第一移動台移動至前述頭部保持部的下方後靜止，在前述第一移動台靜止的狀態下，讓前述載置台在前述第一移動台上移動，使前述攝影裝置的焦點配置在從前述頭部的各前述吐出口吐出之前述液滴的飛行路徑上時，前述照明裝置，從要拍攝的前述液滴之飛行路徑的側方朝向前述液滴照射前述照明光，前述攝影裝置，在朝向要拍攝的前述液滴照射之前述照明光的入射位置進行拍攝。

本發明之維修裝置，係具備：根據前述液滴的攝影結果來判別吐出前述液滴的前述吐出口之良窳之控制裝置。

本發明之維修裝置，前述副移動機構係具備：固定在前述第一移動台上之直線狀的第一副軌道、在前述載置台和前述第一移動台之間裝載於前述第一副軌道上之第二移動台、讓前述第二移動台在前述第一移動台上沿著前述第一副軌道移動之第一副移動裝置、固定在前述第二移動台上之直線狀的第二副軌道、以及讓前述載置台在前述第二移動台上沿著前述第二副軌道移動之第二副移動裝置；前述第一副軌道和前述第二副軌道之任一方是配置成與前述主軌道平行，另一方配置成與前述主軌道垂直且呈水平。

本發明之維修裝置，前述照明裝置係具備：發生前述照明光之光源、以及將從下方位置朝向上方送出之前述照明光反射成水平送出後朝向測定對象之前述液滴照射之第 一反射手段；前述攝影裝置係具備：將朝向前述液滴照射後之前述測定光予以反射成朝下方送出之第二反射手段、以及接收從前述第二反射手段送出之前述照明光並拍攝影像之攝影機。

本發明之維修裝置，具有吸收吐出液之吸取布和讓前述吸取布沿鉛垂方向移動之昇降裝置的清掃裝置，是設置在前述載置台上；讓前述第一移動台移動至前述頭部保持部的下方後靜止，在前述第一移動台呈靜止的狀態下，讓前述載置台在前述第一移動台上移動，而使前述清掃裝置配置在前述頭部下方時，前述清掃裝置，是讓前述吸取布接觸前述吐出口，以將附著於前述吐出口之前述吐出液除去。

本發明之吐出裝置，是將載置基板之基板載置台裝載於被固定成水平之主軌道上，讓前述基板載置台沿著前述主軌道移動而通過頭部保持部的下方，從設置於前述頭部保持部之複數個頭部的吐出口將吐出液的液滴朝前述基板載置台上的基板吐出而降落在基板上；前述吐出裝置具有沿著前述主軌道移動之維修裝置；前述維修裝置，係具備：裝載於前述主軌道上之第一移動台、讓前述第一移動台沿著前述主軌道移動之主移動裝置、配置在前述第一移動台上之載置台、讓前述載置台在前述第一移動台上移動之副移動機構、以及載置於前述載置台上之檢查裝置；前述檢查裝置，係具備：朝向測定對象物照射照明光之照明裝置、以及拍攝被前述照明光照射後之前述測定對象物之攝 影裝置；讓前述第一移動台移動至前述頭部保持部的下方後靜止，在前述第一移動台靜止的狀態下，讓前述載置台在前述第一移動台上移動，使前述攝影裝置的焦點配置在從前述頭部的各前述吐出口吐出之前述液滴的飛行路徑上時，前述照明裝置，從要拍攝的前述液滴之飛行路徑的側方朝向前述液滴照射前述照明光，前述攝影裝置，在朝向要拍攝的前述液滴照射之前述照明光的入射位置進行拍攝。

本發明之吐出裝置，是在前述維修裝置設置：根據前述液滴的攝影結果來判別吐出前述液滴的前述吐出口之良窳之控制裝置。

本發明之吐出裝置，前述副移動機構係具備：固定在前述第一移動台上之直線狀的第一副軌道、在前述載置台和前述第一移動台之間裝載於前述第一副軌道上之第二移動台、讓前述第二移動台在前述第一移動台上沿著前述第一副軌道移動之第一副移動裝置、固定在前述第二移動台上之直線狀的第二副軌道、以及讓前述載置台在前述第二移動台上沿著前述第二副軌道移動之第二副移動裝置；前述第一副軌道和前述第二副軌道之任一方是配置成與前述主軌道平行，另一方配置成與前述主軌道垂直且呈水平。

本發明之吐出裝置，前述照明裝置係具備：發生前述照明光之光源、以及將從下方位置朝向上方送出之前述照明光反射成水平送出後朝向測定對象之前述液滴照射之第一反射手段；前述攝影裝置係具備：將朝向前述液滴照射 後之前述測定光予以反射成朝下方送出之第二反射手段、以及接收從前述第二反射手段送出之前述照明光並拍攝影像之攝影機。

本發明之吐出裝置，前述維修裝置係具備：具有吸收吐出液之吸取布和讓前述吸取布沿鉛垂方向移動之昇降裝置的清掃裝置，前述清掃裝置是設置在前述載置台上；讓前述第一移動台移動至前述頭部保持部的下方後靜止，在前述第一移動台呈靜止的狀態下，讓前述載置台在前述第一移動台上移動，而使前述清掃裝置配置在前述頭部下方時，前述清掃裝置，是讓前述吸取布接觸前述吐出口，以將附著於前述吐出口之前述吐出液除去。

由於根據吐出液的液滴來判斷吐出口的良窳，不須像以往那樣朝試驗基板進行吐出，可省去試驗基板的成本。

只要在檢測出不良吐出口之後進行清掃而使吐出口復原即可，不須更換頭部，可省去更換頭部的成本和更換所需的時間。

<吐出裝置的構造>

第1圖係顯示本發明的吐出裝置70之俯視圖，第5圖係側視圖。

吐出裝置70係具備：靜止於水平基準面上的台座71、固定在台座71上之直線狀的主軌道72、保持複數個頭部81之頭部保持部80、可載置基板95之基板移動部90 、判斷設置於頭部81底面之吐出口82的良窳且將附著於吐出口82之吐出液予以除去之維修裝置10。

以後，將沿著主軌道72的方向稱為Y方向，將與Y方向垂直的方向稱為X方向。第1圖的符號1、2分別表示X、Y方向。

基板移動部90和維修裝置10是配置在主軌道72上。

頭部保持部80，是被固定在台座71上的支柱73所支承，在主軌道72上，配置在比基板移動部90和維修裝置10雙方更高的位置。

頭部保持部80具有複數個頭部81，在各頭部81的底面設有複數個吐出口82，在各頭部81內，將吐出口82配置成複數列的與X方向平行的吐出口列83。

一個頭部81中的吐出口82是沿著X方向等間隔地配置，設其間隔為吐出口間隔(吐出口的中心間距離)D，各頭部81的吐出口間隔D彼此是相等的。

關於各頭部81，頭部81之X方向的長度，是形成比端部的吐出口82中心間之X方向距離加上吐出口間隔D的長度更大，因此，若將複數個頭部81排列成與X方向平行的一列，且Y方向的位置相同，位於一個頭部81的端部之吐出口82、和位於鄰接的頭部81的端部之吐出口82間之X方向距離，是隔著比吐出口間隔D更大的距離。

在本發明，沿著X方向排列之複數個頭部81，以在 不同的頭部81之端部的吐出口82間之X方向距離也成為吐出口間隔D的方式，將鄰接的頭部81之吐出口82配置在Y方向不同的位置，又鄰接的頭部81的端部在X方向重疊，包含不同頭部81的吐出口82間，將各吐出口82配置成在X方向隔著吐出口間隔D排列。

在此情況，沿著X方向排列的複數個頭部81，可交互配置在Y方向的兩種位置上，如此般配置的一組複數個頭部81，是呈鋸齒狀排列而構成一頭部組84。

既定數目(n)的頭部組84是構成頭部群85，在一個頭部群85中，在一個頭部組84之鄰接的兩個吐出口82間，其他頭部組的吐出口82是在X方向以等間隔D/n的方式逐一配置。

頭部保持部80具有未圖示的墨水槽，在各墨水槽貯藏R、G、B三色當中的一色墨水(吐出液)。各頭部81之每個頭部群85連接於一個墨水槽。

各吐出口82的內部分別具有裝滿墨水的墨水室，在各墨水室分別配置壓力產生裝置。各壓力產生裝置接收未圖示的控制裝置所傳送之訊號，讓墨水室產生既定壓力而從吐出口82吐出既定量的墨水。

基板移動部90，在朝上的面上設置水平的基板載置台91。基板載置台91之朝上的面上具有未圖示的吸引口，吸引口連接於未圖示的真空泵。將基板95配置在基板載置台91上後，藉由真空泵進行排氣，以將基板95真空吸附保持在基板載置台91上。

在基板95上，設定有R、G、B各色應降落的區域(降落位置)。基板95具有分別與X、Y方向平行之格子狀的黑色矩陣，各降落位置是配置在由黑色矩陣區畫的區域。

基板95之沿X方向相鄰的降落位置的間隔，是與一個頭部群85中沿X方向鄰接的吐出口間隔D/n相同，或是形成沿X方向鄰接的吐出口間隔D/n之整數倍的長度。

在基板移動部90的下方設置第一主移動機構。

在此，在主軌道72和基板載置台91之間配置第一可動磁鐵92，在主軌道72上遍及軌道的長邊方向設置固定電磁鐵，藉由主軌道72和第一可動磁鐵92來構成線性馬達(第一主移動機構)。

若第一主移動機構接收未圖示的控制裝置所傳送的訊號，會讓主軌道72之固定電磁鐵的磁極遍及軌道的長邊方向改變，而相對於台座71使基板載置台91沿著主軌道72在Y方向移動。

具有基板載置台91之基板移動部90，藉由沿著主軌道72在Y方向移動，可在頭部保持部80的下方進行往復移動。

吐出裝置70之未圖示的控制裝置，是設定成依以下順序朝基板95上吐出吐出液。

首先，讓基板移動部90移動至在基板載置台91上載置基板95的位置(起點)，藉由未圖示的機械人將基板95搬運並真空吸附在基板載置台91上之後，藉由未圖示 的對準攝影機進行對準，以使基板95上的各降落位置能通過既定吐出口82的正下方。在基板移動部90通過頭部保持部80的下方的期間之既定時點，從各吐出口82吐出吐出液，當到達從基板載置台91上卸下基板95的位置(終點)時讓基板移動部90靜止，讓基板95上的吐出液乾燥後，解除基板載置台91上的真空吸附，藉由未圖示的機械人將基板95卸下。

接著，再度讓基板移動部90移動至起點，將其他基板95搬運至基板載置台91上，反覆進行上述的吐出步驟。

未圖示的控制裝置被設定成，每對既定片數的基板95反覆進行上述吐出作業時，就讓維修裝置10移動至頭部保持部80的下方，以如後述般進行各吐出口82的清掃和檢查。

第2圖係顯示維修裝置10的前視圖。

維修裝置10具有第一移動台15a，第一移動台15a是配置在主軌道72上。

在維修裝置10的下方設置第二主移動機構(主移動裝置)75。

在此，在主軌道72和第一移動台15a之間配置第二可動磁鐵11，藉由主軌道72和第二可動磁鐵11來構成線性馬達(第二主移動機構75)。

若第二主移動機構75接收未圖示的控制裝置所傳送的訊號，會讓主軌道72之固定電磁鐵的磁性遍及軌道的 長邊方向改變，而相對於台座71使第一移動台15a沿著主軌道72在Y方向移動。

具有第一移動台15a之維修裝置10，藉由沿著主軌道72在Y方向移動，能在頭部保持部80的下方進行往復移動。

第一、第二主移動機構是藉由未圖示的控制裝置所控制，在開始進行各吐出口82的清掃作業時，首先讓基板移動部90移動至頭部保持部80之與維修裝置10相反的一側，接著讓維修裝置10移動至頭部保持部80的下方。維修裝置10之Y座標，是藉由控制裝置而根據主軌道72上的移動量來測定。各頭部81的XY座標儲存於控制裝置，當維修裝置10位於頭部保持部80的下方時停止移動。或是，維修裝置10的移動量亦可藉由目視對準，或藉由設置於頭部保持部80之未圖示的固定攝影機來檢測出。

維修裝置10係具備：用來接收從吐出口82吐出的吐出液之接收盤12。接收盤12被載置在第一移動台15a上。

未圖示的控制裝置，讓吐出液從各吐出口82朝向接收盤12以高壓吐出，藉此將吐出口82的附著物吹走，而讓吐出液和附著物落到接收盤12上。

在接收盤12的底部連接著廢液管13的另一端(一端則延伸至維修裝置10的外部)，藉此成為能將貯留於接收盤12的吐出液排到維修裝置10外的構造。

如此般可防止：起因於吐出液附著在主軌道72上，而對維修裝置10和基板移動部90在主軌道72上的移動造成阻礙的情況。

維修裝置10係具備：在將吐出液朝接收盤12上吐出之後將附著於各吐出口82之吐出液除去的清掃裝置30、在將附著於各吐出口82之吐出液除去之後判斷各吐出口82的良窳之檢查裝置20。

在維修裝置10之第一移動台15a的上方設置：載置台19和第二移動台15b、直線狀的第一、第二副軌道14a、14b。

檢查裝置20和清掃裝置30雙方都被載置在載置台19上。

在第一移動台15a之朝上的面上，固定著互相平行之兩條的第一副軌道14a，在這兩條的第一副軌道14a上裝載第二移動台15b。

此外，在第二移動台15b之朝上的面上，固定著互相平行之兩條的第二副軌道14b，在這兩條的第二副軌道14b上裝載載置台19。

第二移動台15b可相對於第一副軌道14a進行移動，載置台19可相對於第二副軌道14b進行移動。

在第二移動台15b和載置台19下方分別設有第一、第二副移動裝置16a、16b，並分別安裝有未圖示的馬達，在未圖示的控制裝置控制下，第二移動台15b和載置台19能分別沿著第一副軌道14a和第二副軌道14b移動。

第一副軌道14a和第二副軌道14b當中任一方配置成與主軌道72平行，另一方配置成與主軌道72垂直。

第一移動台15a，如前述般沿著主軌道72移動，能在頭部保持部80的下方位置呈靜止，若在該狀態下讓第二移動台15b和載置台19分別沿著第一、第二副軌道14a、14b移動，能在第一移動台15a保持靜止的狀態下讓載置台19在XY方向移動，而使載置台19上所載置的檢查裝置20和清掃裝置30移動至各頭部81的下方。

檢查裝置20和清掃裝置30在第一移動台15a上的座標，是藉由控制裝置而根據載置台19在第一、第二副軌道14a、14b上的移動量來測定。根據檢查裝置20和清掃裝置30在第一移動台15a上的座標、以及第一移動台15a的Y座標，可求出檢查裝置20和清掃裝置30的XY座標。各頭部81的XY座標儲存於控制裝置，因此能讓檢查裝置20和清掃裝置30靜止於各頭部81的正下方。

第4圖係用來說明清掃裝置30的構造之清掃裝置30的側視圖。

清掃裝置30係具備：吸取吐出液之帶狀的吸取布(吸墨紙，blotter)32、棒狀的第一、第二捲芯34a、34b、以及筒狀的張緊器31。

吸取布32之寬方向的長度是比各頭部81的吐出口列83的長度更長，且吸取布32配置成寬方向與吐出口列83平行。

第一、第二捲芯34a、34b，分別以長邊方向與吐出口 列83平行的方式被支柱(固定在載置台19上，未圖示)支承，分別能以X方向(吐出口列83的延伸方向)為軸進行自轉。

吸取布32的兩端，分別捲繞在第一、第二捲芯34a、34b上，在第一、第二捲芯34a、34b間將吸取布32保持成張緊狀態。

張緊器31的長邊方向的長度比各頭部81之吐出口列83的長度更長，以其長邊方向與吐出口列83平行的方式在第一、第二捲芯34a、34b間配置在吸取布32的下方。

在張緊器31的下部，安裝著固定在載置台19上之昇降裝置33。昇降裝置33具有未圖示的馬達，若接收來自未圖示的控制裝置的訊號，會讓張緊器31相對於載置台19沿鉛垂方向移動。

張緊器31是由可變形之緩衝材料所形成，若按壓於頭部81，會與一個頭部81內之複數個吐出口82(在與吐出口列83垂直的方向上分開配置)一起接觸。

藉由未圖示的控制裝置，以張緊器31位於頭部81正下方的方式將清掃裝置30移動之後，控制昇降裝置33而使張緊器31往鉛垂上方移動，使張緊器31上的吸取布32按壓在頭部81的底面。這時，張緊器31上的吸取布32會接觸一個頭部81之全部的吐出口82。

張緊器31的表面，例如藉由鐵氟龍片等實施加工，以使吸取布32容易滑動。

張緊器31上的吸取布32按壓在頭部81的底面之後 ，第一、第二捲芯34a、34b朝相同方向自轉，張緊器31上的吸取布32能將附著在吐出口82的吐出液擦掉。

在此，是採用濕擦型的構造，亦即從外部將溶解液供應至張緊器31的內部35，從設置於張緊器31表面的小孔36將溶解液滲到吸取布32。濕擦型能夠除去吐出液乾燥後之吐出口82的堵塞。

然而，本發明之清掃裝置30並不限定於濕擦型，也可以是不使用溶解液之乾吸墨型(dry blot)。

將吐出液朝接收盤12上吐出而附著的吐出液，從一個頭部81的各吐出口82被除去之後，控制昇降裝置33使張緊器31往鉛垂下方移動，解除吸取布32和吐出口82之接觸，接著使檢查裝置20移動至相同頭部81內之一個吐出口82的下方。

第3圖係用來說明檢查裝置20的構造之檢查裝置20的側視圖。

檢查裝置20係具備：對測定對象物照射照明光29之照明裝置21、拍攝藉由照明裝置21照射照明光29後的測定對象物之攝影裝置22。

照明裝置21係具備：產生並放出照明光29之光源23、將光源23所放出的照明光29反射而使照明光29的行進方向折返之第一反射手段24a。

在此，光源23是配置在比各頭部81的吐出口82高度更低的位置，第一反射手段24a的反射面之至少一部分，是位在吐出口82高度和光源23的高度之間，反射面， 是將下方的光源23所放出的照明光29反射成朝水平方向送出。因此，從照明裝置21可將照明光29朝水平方向射出。

攝影裝置22係具備：將沿水平方向行進的光反射成朝向下方送出之第二反射手段24b、以及位於第二反射手段24b的下方而接收來自第二反射手段24b的光以進行拍攝之攝影機25。

攝影裝置22相對於照明裝置21是配置成：使第二反射手段24b能將照明裝置21所發出的光反射後射入攝影機25。因此，若水平的照明光29射入測定對象物，藉由攝影機25可拍攝測定對象物的影子，或是透過測定對象物之照明光29所產生的像。

將照明裝置21和攝影裝置22的相對位置設定成：使在照明裝置21和攝影裝置22之間進行收送之水平的照明光29相對於吐出口列83的延伸方向呈垂直。在維持此狀態下，藉由移動載置台19，可在各頭部81的下方進行送光。

攝影機25之焦點28，與攝影機前面之透鏡在光路上隔著一定的距離，在此，焦點28是位在第一、第二反射手段24a、24b之間。

在此，檢查裝置20具有遮光性材料所形成之檢查框體26，光源23和攝影機25是配置在檢查框體26的內部。如此，檢查框體26可防止光源23和攝影機25之電子機器部分被吐出液弄濕。此外，檢查框體26能防止外部 之過多的光射入攝影機25的受光部。

第一、第二反射手段24a、24b，是在檢查框體26上分別被載置在光源23和攝影機25正上方的位置。檢查框體26之第一、第二反射手段24a、24b的正下方部分，可讓照明光29透過。

將吐出液朝接收盤12上吐出而附著的吐出液，從一個頭部81的各吐出口82被除去之後，藉由在靜止的第一移動台15a上讓載置台19移動，移動檢查裝置20而使攝影機25的焦點28位於一個吐出口82的正下方，接著從吐出口82吐出吐出液。

在檢查框體26之朝上的面之第一、第二反射手段24a、24b之間的部分設置凹狀的排液路27。排液路27可接收落到檢查框體26上之吐出液的液滴，並朝向接收盤12排出而避免吐出液污染維修裝置10之其他部分。

在從焦點28的正上方之吐出口82將吐出液吐出時，從照明裝置21將照明光29照射於往下方飛行的液滴，藉由攝影裝置22拍攝被照明光29照射的液滴，其攝影像記錄於未圖示的控制裝置。

例如事先設定好從正常吐出口82吐出的液滴資料，將攝影像與該設定值作比較來判斷吐出口82的良窳。

判斷基準，例如包括飛行中的液滴的形狀、大小、位置(速度)、飛行方向、是否有分離的液滴等。

吐出口82良窳的結果儲存於未圖示的控制裝置，接著，讓攝影機25的焦點28移動至該頭部81之同一吐出 口列83中鄰接的吐出口82正下方，反覆進行吐出口82的檢查。

若一個頭部81之一個吐出口列83中全部的吐出口82之檢查結束的話，讓焦點28移動至該頭部81之在Y方向鄰接的吐出口列83中的一個吐出口82的正下方，在該鄰接的吐出口列83中反覆進行吐出口82的檢查。

當一個頭部81全部的吐出口82的檢查結束時，若不良吐出口82有一個以上的話，讓清掃裝置30再度移動至該頭部81的下方，用吸取布32擦掉吐出口82的附著物，接著讓攝影機25的焦點28移動至不良吐出口82而再度進行檢查。

若一個頭部81全部的吐出口82之檢查結果良好的話，讓維修裝置10移動至在X方向鄰接之頭部81的下方，對該頭部81的吐出口82進行上述清掃和檢查。

或者，即使在同一個頭部81反覆進行既定次數的吐出口82之清掃和檢查，仍有一個以上不良吐出口82的話，為了在後述般結束全部頭部81的檢查之後更換該頭部81而在控制裝置儲存該頭部81的位置，接著與上述同樣地讓維修裝置10移動至在X方向鄰接之頭部81的下方，對該頭部81的吐出口82進行上述般的清掃和檢查。

若沿X方向排列之全部的頭部81的檢查結束的話，讓維修裝置10移動至在Y方向鄰接之頭部81的下方，接著在與該頭部81沿著X方向排列之全部的頭部81反覆進行同樣的作業。

當頭部保持部80所保持之全部的頭部81之清掃和檢查結束之後，具有無法恢復的不良吐出口82之頭部81，是用檢查過的備用頭部81更換。

接著，維修裝置10移動至頭部保持部80之與基板移動部90相反的一側，從頭部保持部80的下方將維修裝置10取出，接著再度開始進行朝向基板95之吐出步驟。

10‧‧‧維修裝置

14a、14b‧‧‧第一、第二副軌道

15a、15b‧‧‧第一、第二移動台

16a、16b‧‧‧第一、第二副移動裝置

19‧‧‧載置台

20‧‧‧檢查裝置

21‧‧‧照明裝置

22‧‧‧攝影裝置

23‧‧‧光源

24a、24b‧‧‧第一、第二反射手段

25‧‧‧攝影機

28‧‧‧焦點

29‧‧‧照明光

30‧‧‧清掃裝置

32‧‧‧吸取布

33‧‧‧昇降裝置

70‧‧‧吐出裝置

72‧‧‧主軌道

75‧‧‧主移動裝置

80‧‧‧頭部保持部

81‧‧‧頭部

82‧‧‧吐出口

91‧‧‧基板載置台

95‧‧‧基板

第1圖係本發明的吐出裝置之一例的俯視圖。

第2圖係維修裝置的前視圖。

第3圖係用來說明檢查裝置的構造之檢查裝置側視圖。

第4圖係用來說明清掃裝置的構造之清掃裝置側視圖。

第5圖係本發明的吐出裝置的一例之側視圖。

1‧‧‧X方向

2‧‧‧Y方向

10‧‧‧維修裝置

11‧‧‧第二可動磁鐵

12‧‧‧接收盤

13‧‧‧廢液管

14a、14b‧‧‧第一、第二副軌道

15a、15b‧‧‧第一、第二移動台

19‧‧‧載置台

20‧‧‧檢查裝置

24a、24b‧‧‧第一、第二反射手段

26‧‧‧檢查框體

30‧‧‧清掃裝置

32‧‧‧吸取布

70‧‧‧吐出裝置

71‧‧‧台座

72‧‧‧主軌道

73‧‧‧支柱

80‧‧‧頭部保持部

81‧‧‧頭部

82‧‧‧吐出口

83‧‧‧吐出口列

84‧‧‧頭部組

85‧‧‧頭部群

90‧‧‧基板移動部

91‧‧‧基板載置台

92‧‧‧第一可動磁鐵

95‧‧‧基板

Claims (10)

1. 一種維修裝置，係沿著吐出裝置之主軌道移動的維修裝置；該吐出裝置，是將載置基板之基板載置台裝載於被固定成水平之主軌道上，讓前述基板載置台沿著前述主軌道移動而通過頭部保持部的下方，從設置於前述頭部保持部之複數個頭部的吐出口將吐出液的液滴朝前述基板載置台上的基板吐出而降落在基板上；前述維修裝置係具備：裝載於前述主軌道上之第一移動台、讓前述第一移動台沿著前述主軌道移動之主移動裝置、配置在前述第一移動台上之載置台、讓前述載置台在前述第一移動台上移動之副移動機構、以及載置於前述載置台上之檢查裝置；前述檢查裝置係具備：朝向測定對象物照射照明光之照明裝置、以及拍攝被前述照明光照射後之前述測定對象物之攝影裝置；讓前述第一移動台移動至前述頭部保持部的下方後靜止，在前述第一移動台靜止的狀態下，讓前述載置台在前述第一移動台上移動，使前述攝影裝置的焦點配置在從前述頭部的各前述吐出口吐出之前述液滴的飛行路徑上時，前述照明裝置，從要拍攝的前述液滴之飛行路徑的側 方朝向前述液滴照射前述照明光，前述攝影裝置，在朝向要拍攝的前述液滴照射之前述照明光的入射位置進行拍攝；前述照明裝置係具備：發生前述照明光之光源、以及將從下方位置朝向上方送出之前述照明光反射成水平送出後朝向測定對象之前述液滴照射之第一反射手段；前述攝影裝置係具備：將朝向前述液滴照射後之前述測定光予以反射成朝下方送出之第二反射手段、以及接收從前述第二反射手段送出之前述照明光並拍攝影像之攝影機。
2. 如申請專利範圍第1項記載的維修裝置，係具備：根據前述液滴的攝影結果來判別吐出前述液滴的前述吐出口之良窳之控制裝置。
3. 如申請專利範圍第1項記載的維修裝置，其中，前述副移動機構係具備：固定在前述第一移動台上之直線狀的第一副軌道、在前述載置台和前述第一移動台之間裝載於前述第一副軌道上之第二移動台、讓前述第二移動台在前述第一移動台上沿著前述第一副軌道移動之第一副移動裝置、固定在前述第二移動台上之直線狀的第二副軌道、以及讓前述載置台在前述第二移動台上沿著前述第二副軌道移動之第二副移動裝置； 前述第一副軌道和前述第二副軌道之任一方是配置成與前述主軌道平行，另一方配置成與前述主軌道垂直且呈水平。
4. 如申請專利範圍第2項記載的維修裝置，其中，前述副移動機構係具備：固定在前述第一移動台上之直線狀的第一副軌道、在前述載置台和前述第一移動台之間裝載於前述第一副軌道上之第二移動台、讓前述第二移動台在前述第一移動台上沿著前述第一副軌道移動之第一副移動裝置、固定在前述第二移動台上之直線狀的第二副軌道、以及讓前述載置台在前述第二移動台上沿著前述第二副軌道移動之第二副移動裝置；前述第一副軌道和前述第二副軌道之任一方是配置成與前述主軌道平行，另一方配置成與前述主軌道垂直且呈水平。
5. 如申請專利範圍第1至4項中任一項記載的維修裝置，其中，具有吸收吐出液之吸取布和讓前述吸取布沿鉛垂方向移動之昇降裝置的清掃裝置，是設置在前述載置台上；讓前述第一移動台移動至前述頭部保持部的下方後靜止，在前述第一移動台呈靜止的狀態下，讓前述載置台在前述第一移動台上移動，而使前述清掃裝置配置在前述頭 部下方時，前述清掃裝置，是讓前述吸取布接觸前述吐出口，以將附著於前述吐出口之前述吐出液除去。
6. 一種吐出裝置，是將載置基板之基板載置台裝載於被固定成水平之主軌道上，讓前述基板載置台沿著前述主軌道移動而通過頭部保持部的下方，從設置於前述頭部保持部之複數個頭部的吐出口將吐出液的液滴朝前述基板載置台上的基板吐出而降落在基板上；前述吐出裝置具有沿著前述主軌道移動之維修裝置；前述維修裝置係具備：裝載於前述主軌道上之第一移動台、讓前述第一移動台沿著前述主軌道移動之主移動裝置、配置在前述第一移動台上之載置台、讓前述載置台在前述第一移動台上移動之副移動機構、以及載置於前述載置台上之檢查裝置；前述檢查裝置係具備：朝向測定對象物照射照明光之照明裝置、以及拍攝被前述照明光照射後之前述測定對象物之攝影裝置；讓前述第一移動台移動至前述頭部保持部的下方後靜止，在前述第一移動台靜止的狀態下，讓前述載置台在前述第一移動台上移動，使前述攝影裝置的焦點配置在從前 述頭部的各前述吐出口吐出之前述液滴的飛行路徑上時，前述照明裝置，從要拍攝的前述液滴之飛行路徑的側方朝向前述液滴照射前述照明光，前述攝影裝置，在朝向要拍攝的前述液滴照射之前述照明光的入射位置進行拍攝；前述照明裝置係具備：發生前述照明光之光源、以及將從下方位置朝向上方送出之前述照明光反射成水平送出後朝向測定對象之前述液滴照射之第一反射手段；前述攝影裝置係具備：將朝向前述液滴照射後之前述測定光予以反射成朝下方送出之第二反射手段、以及接收從前述第二反射手段送出之前述照明光並拍攝影像之攝影機。
7. 如申請專利範圍第6項記載的吐出裝置，其中，在前述維修裝置設置：根據前述液滴的攝影結果來判別吐出前述液滴的前述吐出口之良窳之控制裝置。
8. 如申請專利範圍第6項記載的吐出裝置，其中，前述副移動機構係具備：固定在前述第一移動台上之直線狀的第一副軌道、在前述載置台和前述第一移動台之間裝載於前述第一副軌道上之第二移動台、讓前述第二移動台在前述第一移動台上沿著前述第一副軌道移動之第一副移動裝置、固定在前述第二移動台上之直線狀的第二副軌道、以及 讓前述載置台在前述第二移動台上沿著前述第二副軌道移動之第二副移動裝置；前述第一副軌道和前述第二副軌道之任一方是配置成與前述主軌道平行，另一方配置成與前述主軌道垂直且呈水平。
9. 如申請專利範圍第7項記載的吐出裝置，其中，前述副移動機構係具備：固定在前述第一移動台上之直線狀的第一副軌道、在前述載置台和前述第一移動台之間裝載於前述第一副軌道上之第二移動台、讓前述第二移動台在前述第一移動台上沿著前述第一副軌道移動之第一副移動裝置、固定在前述第二移動台上之直線狀的第二副軌道、以及讓前述載置台在前述第二移動台上沿著前述第二副軌道移動之第二副移動裝置；前述第一副軌道和前述第二副軌道之任一方是配置成與前述主軌道平行，另一方配置成與前述主軌道垂直且呈水平。
10. 如申請專利範圍第6至9項中任一項記載的吐出裝置，其中，前述維修裝置係具備：具有吸收吐出液之吸取布和讓前述吸取布沿鉛垂方向移動之昇降裝置的清掃裝置，前述清掃裝置是設置在前述載置台上； 讓前述第一移動台移動至前述頭部保持部的下方後靜止，在前述第一移動台呈靜止的狀態下，讓前述載置台在前述第一移動台上移動，而使前述清掃裝置配置在前述頭部下方時，前述清掃裝置，是讓前述吸取布接觸前述吐出口，以將附著於前述吐出口之前述吐出液除去。