TWI485071B - 靜電式液體噴出致動機構 - Google Patents

Description

靜電式液體噴出致動機構 發明領域

本發明係有關噴墨技術，更特別係有關靜電式液體噴出致動機構。

發明背景

噴墨列印裝置，例如噴墨印表機，為能夠在像紙張一樣的薄片媒體上，利用將墨水噴在媒體薄片上而形成影像的裝置。按需滴墨(drop on demand)噴墨列印裝置主要包括基於發熱、壓電工作或靜電吸引的致動機構。熱噴墨列印裝置藉由加熱墨水而噴射墨水，其致使在墨水中之氣泡的形成，並使得墨水被噴射出來。壓電式噴墨列印裝置藉由使壓電板變形而噴射墨水，其迫使墨水被噴射出來。靜電式噴墨列印裝置係藉由利用在兩個電極之間的靜電電荷使薄膜變形來操作。當靜電電荷被釋放時，薄膜便強力地將墨水從裝置中噴射出來。

發明概要

依據本發明之一實施例，係特地提出一種靜電式液體噴出致動機構，其包含：一個薄膜；一個框架，其具有兩個側邊以及不與該等兩個側邊平行的多個橫越構件，該等兩個側邊與該等橫越構件界定個別對應於一或多個液體腔室的一或多個區域；以及，設於該薄膜與該框架之間的一或多個可變形樑，該等可變形樑個別對應於該等液體腔室，該等可變形樑界定多個狹縫，各個狹縫皆與該框架的該等兩個側邊之一相鄰，其中，至少基於該等狹縫之故，該等可變形樑具有小於該等液體腔室之寬的寬度。

圖式簡單說明

第1圖依據本發明之一實施例，為一個靜電式液體噴出制動機構之一部份的詳細透視圖。

第2、3與4圖依據本發明之一實施例，為第1圖之靜電式液體噴出制動機構部份各層的詳細透視圖。

第5A與5B圖依據本發明之一實施例，各為第1圖之靜電式液體噴出制動機構部份的前剖面圖與側剖面圖。

第6圖依據本發明之一實施例，為描繪可如何使一靜電式液體噴出制動機構之樑變形之圖。

第7圖依據本發明之另一實施例，為一個靜電式液體噴出制動機構之部份詳細透視圖。

第8圖依據本發明之一實施例，為第7圖之靜電式液體噴出制動機構部份的側剖面圖。

第9圖依據本發明之一實施例，為一個基本靜電式液體噴出裝置之圖。

較佳實施例之詳細說明

第1圖依據本發明之一實施例，示出一個靜電式液體噴出致動機構100。致動機構100包括一個薄膜層102、一個可變形樑層104與一個框架層106。第2、3與4圖各描繪薄膜層102、可變形樑層104與框架層106。因此，接下來的說明應參考所有的第1-4圖來閱讀。請注意，為了繪示上的簡明與便利，在第1-4圖中，致動機構100與各層薄膜層102、104與106並未依比例描繪。

薄膜層102可由鉭鋁製成，且在一個實施例中，其厚度為0.1微米。薄膜層102可亦簡單地以一個薄膜來指稱，並係有彈性的。可變形樑層104可亦由鉭鋁製成，且在一個實施例中，其厚度為3.0微米。框架層106可由矽製成。

在第1-4圖之實施例中，可變形樑層104包括一個單一的可變形樑110。可變形樑110係可變形的，因為其可向上及/或向下撓曲。如稍後於詳細說明中更詳細說明的，可變形樑110係作為靜電式液體噴出致動機構100的一個電極。可變形樑110響應於在其與致動機構100之另一電極之間所建立的一靜電荷之吸引力而變形。此種變形係朝向另一個電極。當此靜電荷被釋放時，可變形樑110回復成於第1與3圖中所描繪的型態。

框架層106包括一個框架108。框架108具有集體以側邊來指稱的一個左側304A與一個右側304B。框架108更具有多個橫越構件306；在第1圖之實施例中，係具有兩個橫越構件306A與306B。橫越構件306從左側304A延伸到右側304B。橫越構件306較佳為與側邊垂直，至少要不與側邊平行。在第1與4圖之實施例中，側邊與橫越構件306界定一個單一區域302。區域302對應於靜電式液體噴出致動機構100的一個(單一)液體腔室，如稍後於詳細說明中更詳細說明的。

可變形樑110界定狹縫112與114，其中狹縫112係與框架108之側邊304B相鄰，而狹縫114係與框架108之側邊304A相鄰。於第1與3圖中，狹縫112與114係以不同寬度來描繪，以使可變形樑110不在框架108側邊之中央。然而，在另一個實施例中，狹縫112與114可為寬度相同的，以使可變形樑110位於框架108之側邊中央。在一個實施例中，狹縫112與114之寬度可各為五微米。

第5A與5B圖依據本發明之一實施例，各示出靜電式液體噴出致動機構100的一個前剖面圖與側剖面圖。在一個實施例中，在框架層106之框架108的側邊之間的寬度──即第4圖之區域302之寬度──係與液體腔室502之寬度相等，但在其他實施例中，區域302之寬度係與液體腔室502之寬度相異。更注意到，可變形樑層104之可變形樑110之寬度小於液體腔室502之寬度。這至少係基於在可變形樑110之各邊的狹縫112與114的存在之故。在一個實施例中，可變形樑110之寬度可為50微米。

在液體腔室502中之液體藉著薄膜層102和可變形樑110分開。液體腔室502包括一個液體噴出噴嘴504還有一個液體進水口514。當可變形樑110響應於一靜電荷而變形時，額外的液體便經由液體進水口514被汲入液體腔室502。當靜電荷被釋放時，可變形樑110便回復其於第5圖中所描繪的型態，並且一個液滴便響應地從液體腔室502經由液體噴出噴嘴504強力噴出。

在這方面，如上文所述，可變形樑110係作用為靜電式液體噴出致動機構100的一個電極。致動機構100亦包括一個額外的電極506與諸如氮化矽或氧化鉭的一個介電質512。一個靜電隙508被界定在樑110與電極506之間，且因此包圍介電質512以及介於介電質512與樑110之間的一個氣隙。靜電隙508之厚度可為0.6微米。介電質512可具有0.4微米的厚度以及介於3到28之間的介電常數。

可注意到，在第5A與5B圖中，框架108係從一個矽晶圓微製而來。矽晶圓厚度不一，雖然典型上係750微米。可將饋墨通道蝕刻穿過矽，以連接諸如液體進水口514之液體進水口。亦注意到，薄膜層102具有典型上比致動機構100之厚度薄十到三十倍的厚度。

可變形樑110之寬度與在框架108之側邊之間的寬度並不相關，並且因此亦如於第4圖中所描繪的，不與由框架108所界定的區域302之寬度相關，並亦不與液體腔室502之寬度相關。可變形樑110之寬度的無關聯性至少係基於所界定的狹縫112與114之故。也就是說，無論液體腔室502之寬度及/或介於側邊之間的寬度(即第4圖之區域302之寬度)為何，皆可藉由使狹縫112與114比確保可變形樑110之所欲寬度所需的更大或更小，而獨立控制樑110之寬度。

使可變形樑110之寬度與在靜電式液體噴出致動機構100中之其他寬度無關係有優勢的。利用如於第1-5圖中之可變形樑110的靜電式液體噴出致動係由可變形樑110如何響應於施加而變形以及釋放靜電荷來控制的。可變形樑110之形變特徵只可部份地藉由與靜電荷本身相關的變數來控制，例如電荷量、電荷施加與釋放之速度等等。此外，可變形樑110之形變特徵更係由與可變形樑110相關的物理變數來控制，例如其模數、厚度、長度與具有相當重要性的寬度。

然而，可變形樑110之寬度典型上並不為一個獨立變數，而通常會與介於框架108之側邊之間的區域302之寬度及/或液體腔室502之寬度相關。發明人的一個創新洞見為，應脫離可變形樑110之寬度與區域302及/或液體腔室502之寬度之間的相依性。就此而言，發明人創新地將狹縫112與114加到可變形樑110旁邊。由於狹縫112與114可根據需要而做得較大或較小，所以可變形樑110之寬度便不再與區域302之寬度及/或液體腔室502之寬度相關。有益的是，加於可變形樑110之寬度上的獨立性提供更多對於樑110之形變特徵的控制，並且因此亦提供更多對於經由液體噴出噴嘴504而從液體腔室502噴出之液滴的控制。

因此，在這方面上，發明人之創新貢獻至少有兩層。第一，發明人意識到可變形樑110之寬度在區域302之寬度及/或液體腔室502之寬度上的相依性過度地箝制可變形樑110之形變特徵，並因此亦箝制墨滴如何從液體腔室502噴出。第二，發明人新穎地透過將狹縫112與114引入可變形樑110之各邊，而發明使可變形樑110之寬度與區域302之寬度及/或液體腔室502之寬度不相關的一種具體途徑。

此外，靜電式液體噴出致動機構100在至少多個其他觀點上亦為創新的。例如，一個這樣的優點係有關於一種將可變形樑110和薄膜層102一起作為致動器的用途，可對比於沒有被劃分為一個樑110與一個薄膜層102的僅為單一一致厚度層。在所有其他東西都相同的情況下──腔室維度、間隙維度、所施電壓等等，由一個可變形樑110與一個薄膜層102所挪出的容積與由一個未被劃分成樑110與薄膜層102的單一一致厚度層所顯示的容積在比較上可以是相同的。然而，為了要達到這一點，這個單一一致厚度層之厚度必須要比可變形樑110之厚度薄非常多。

因此，由一個可變形樑110與一個薄膜層102所構成的致動器之機械振動頻率會比由單一一致厚度層所構成的致動器之機械振動頻率還要高。這是很有益的，因為致動器可更快速地在靜電荷已耗盡時回到一個未加壓的(即未致動的)狀態。因此，可較快地再次利用致動器來噴出額外的液體。如此一來，在具有較高液體噴出率的情況下，便會縮短在噴出液滴之間的時間。

此外，針對由可變形樑110與薄膜層102所構成的致動器之壓力割線與針對由單一一致厚度層所構成的致動器之壓力割線係相同的，或是較窄。這是因為由可變形樑110與薄膜層102所構成的致動器能更快速地回復到未充電狀態。此外，如於先前段落所述，可變形樑110之設計可針對一個較低電壓而最佳化以建立靜電荷(此會降低機械振動頻率)，而非將此設計針對較高頻率而最佳化。

第六圖依據本發明之一實施例，示出可變形樑層104之可變形樑110在一個向下快動狀態中的一個代表性形變。為了繪示上的簡明，於第6圖中所描繪的可變形樑110之形變對於第5圖來說是「上下顛倒」的。也就是說，可變形樑110實際上是向第5圖中之液體腔室502外變形，以使額外的液體在靜電荷於第5圖之樑110與電極506之間建立時，被汲入腔室502。

因此，當一個靜電荷在可變形樑110與電極506之間被建立時，樑110便從如於第1、3與5圖中所描繪的第一型態變形成如於第6圖中所描繪的第二型態。這使得在液體腔室502中之液體容積透過流體性地耦接至一個液體供給的一個進水口而增加。當靜電荷被釋放時，可變形樑110便從第6圖之第二型態回復到第1、3與5圖之第一型態。這使得一個液滴從液體腔室502之液體噴出噴嘴504被噴出。

注意到，向下快動發生在電場強度變得強以克服樑與薄膜的彈力強度的一個點上。隨著樑之表面碰觸到相反電極之表面，介於樑110與介電質512之間的間隔便變成零。碰觸部份的樑於是變得平坦。於第6圖中所描繪之可變形樑110的形狀已利用有限元素分析計算過。向下快動發生在一個具體的電壓指標上，例如在一個實施例中為大約28伏特。致動器最終係從一個向下快動狀態中釋放。

更注意到，如在此之前已說明過的，如於第4圖中，在框架層106之框架108中有兩個橫越構件306，以使得有一個單一區域302被橫越構件306與框架108之側邊界定，如第3圖。相似地，在第5圖中有對應於單一區域302的一個單一液體腔室502。更只有兩個狹縫112與114，如第1、3與5圖，且在這兩個狹縫112與114之間只有一個單一可變形樑110，於此，左側與右側的單一樑110並未附接到框架108，如第3圖。然而，在其他實施例中，可能會有多於兩個的橫越構件306，以至於可能會有多於一個的區域302，且可能會有多於一個的液體腔室502；同樣的，也可能會有多於一個的可變形樑110以及多於兩個的狹縫112與114。現在就要說明這樣的額外示範實施例。

第7圖依據本發明這樣的一個額外實施例，示出一個靜電式液體噴出致動機構100之部份詳細透視圖。此外，第8圖依據本發明之此實施例，示出第7圖之靜電式液體噴出致動機構100之一部份的側剖面圖。可注意到，為了繪示的簡明與方便，第7與8圖並未按比例繪製。

同前文，可變形樑110包括一個薄膜層102、一個可變形樑層104與一個框架層106。在此實施例中，可變形樑層104包括集體以可變形樑110指稱的兩個可變形樑110A與110B。框架層106之框架108具有三個橫越構件306：除了橫越構件306A與306B之外，還有橫越構件306C。橫越構件306A與306B各為頂端與底端的橫越構件，而橫越構件306C為一個中間的橫越構件。

框架108界定兩個區域302：由框架108之左、右側和橫越構件306B與306C所環繞的一個區域302B，以及由框架108之左、右側和橫越構件306A與306C所環繞的一個區域302A。區域302A與302B各對應於靜電式液體噴出致動機構100的兩個液體腔室502A與502B，且集體以液體腔室502指稱。可以說，區域302之數目與對應的液體腔室502之數目就等於中間橫越構件的數目加一。

可變形樑110界定四個狹縫112A、112B、114A與114B，集體以狹縫112與114指稱。狹縫112與框架108之右側相鄰，而狹縫114與框架108之左側相樑。樑110A之寬度係由狹縫112A與114A之寬度來控制的，且樑110B之寬度係由狹縫112B與114B之寬度來控制的。各個可變形樑110之左、右側並未附接到框架108。因此，可變形樑110之數目就等於由框架108所界定的區域302之數目，並因此等於液體腔室502之數目。

各個可變形樑110皆作用為一個電極。一個靜電荷係維持在介於一個給定可變形樑110與另一個電極之間的一個靜電隙上。例如，在第8圖中，有對應於可變形樑110A與110B的電極506A與506B。靜電隙508A被界定在可變形樑110A與電極506A之間，而靜電隙508B被界定在可變形樑110B與電極506B之間。電極506A與506B集合以電極506來指稱，而靜電隙508A與508B集合以靜電隙508來指稱。在另一個實施例中，可能會只有一個其他電極506，而不是兩個電極506，以使靜電隙508各被界定在一個對應的可變形樑110與一個這種單一其他電極506之間。注意到，在第8圖中，靜電隙508並未如於第5A與5B圖中的，被描繪成包括電極的樣子，但是在另一個實施例中，隙508可包括電極。

在第7圖之實施例中，具有兩個可變形樑110與兩個液體腔室502可比如同在先前所說明的實施例中的具有一個可變形樑110與一個液體腔室502更有益處，如下文所述。特別是，液體可從這些液體腔室502的其中多於一個的液體腔室中以一種協同方式噴出，以使具有所欲特徵的單一液滴從相同液體噴出噴嘴504中噴出。也就是說，在可變形樑110一致地變形時，當他們依序放鬆時，樑110可致使液體亦實質上一致地從其所對應的液體腔室502，從這些腔室502流體性地連接的相同液體噴出噴嘴504噴出。如此，便提供了更多的對於由來自於所有這些液體腔室502的液體所構成的結果液滴的體積、尺寸等等上的控制。

舉例來說，假設一個有N個液體腔室502的情況，其中N大於一，且其中各個液體腔室502皆可供應體積V的液體。在一個實施例中，藉由發射這N個液體腔室502中之M個液體腔室502，其中M小於或等於N，可噴出一個具有體積為K乘上V乘上M的液體體積的液滴(假設已超越液體射出的最小臨界體積)，其中K為由一個給定致動機構所移置的液體之百分比。由於M係可改變的，所以這就代表所射出的液滴之體積可以K乘上V的增量來控制。如此，當有需要時便可射出較大的液滴，並且當有需要時亦可射出較小的液滴。

注意到，這個方案與簡單地具有不同液體腔室，以將不同的液滴從不同的液體噴出噴嘴中噴出的方案是不同的。在此種情形下，各個液體腔室係噴出其自己的微滴。比較起來，在本文所說明的情況中，係一致地使用液體腔室502以從相同液體噴出噴嘴504中噴出液體。藉由增加變形的可變形樑110之數目，便增加了在相同墨滴中的從相同液體噴出噴嘴504中所噴出的液體量。

此外，這也是很有益處的，因為除了要變形的可變形樑110之數目之外，並不需要作其他的改變。也就是說，置於各個可變形樑110上的靜電荷以及其他控制各個可變形樑110之形變的變數都並不需要依據要變形的可變形樑110之數目來作修正。如此，此實施例便提供控制或調整從液體噴出噴嘴504噴出到所有流體地耦接的液體腔室502之墨滴大小的一個簡潔方法。除了其他優點以外，具有以適當順序操作的多個液體腔室502，以及多個可變形樑110，可亦預防在液體噴出期間的液體中斷。

另一個此種優點是，可在比具有一個單一層致動機構的擁有類似維度的腔室更高頻率下，達成較大的滴體體積。也就是說，具有多個可變形樑110可允許調整所導致的致動器在所欲頻率下達到所欲滴體大小與低落速率。此外，個別的致動器(即，個別的可變形樑110)在維度上並不需要完全一致。並且，個別的液體腔室502在維度上也並不一定要完全一致。

總括來說，第9圖依據本發明的一個實施例，示出一個基本的靜電式依滴液體噴出裝置800。液體噴出裝置800於第9圖中示為包括一或多個液體供給802以及一或多個靜電式液體噴出致動機構100的樣子。液體噴出裝置800可以，且典型上係除了液體供給802與致動機構100之外尚包括其他部件，或替代液體供給802與致動機構100而包括其他部件。

液體噴出裝置800可為一個噴墨列印裝置，其為諸如印表機的，將墨水噴射在諸如紙張的媒體上，以在媒體上形成包括文字之影像的裝置。液體噴出裝置800更通常為準確地分配諸如墨水之液體的一個液體噴出精密分配裝置。液體噴出裝置800可噴出顏料式墨水、染料式墨水或其他類型的墨水或另一種類型的液體。本發明之數個實施例可因此適用於任何類型的分配液體的液體噴射精密分配裝置。

液體噴射精密分配裝置精確地列印或分配液體，因為諸如空氣的氣體主要或實質上並未被噴出。液體這個術語含括至少實質上為液態，但可能會包括一些固態物質的液體，諸如顏料等等。在噴墨列印裝置的情況中，這種液體的例子包括墨水。其他的液體例子包括藥物、細胞產品、有機物、燃料等等。

液體供給802包括由液體噴出裝置800所噴出的液體。在變化實施例中，可能會只有一個液體供給802，或是多於一個的液體供給802。靜電式液體噴出致動機構100係如同已說明的來實施。在變化實施例中，可能會只有一個靜電式液體噴出致動機構100，或是多於一個的靜電式液體噴出致動機構100。液體供給802係流體地耦接至靜電式液體噴出致動機構100，如於第9圖中之虛線所指出的。

總括來說，已提供一個本發明的具體示範實施例。在這個實施例中，有十個致動器(即十個靜電式液體噴出致動機構)。液體噴出噴嘴的半徑為十微米，而噴嘴深度為二十微米。更有兩個液體進水口，各為20微米寬、26微米深與300微米長。液體(例如墨水)黏度為10厘泊。液體腔室本身為26微米深、1850微米長、100微米寬。

這個具體的示範實施例提供隨之而來的性能特徵。從液體噴出噴嘴所噴出的液滴在體積上各為3.3微微升，並具有8.8公尺每秒的速度。滴體射出頻率，對於固定滴體速度來說，可為零到十五千赫。最後，本發明的此實施例之流體自然共振頻率為70千赫。

100‧‧‧制動機構

102‧‧‧薄膜層

104‧‧‧可變形樑層

106‧‧‧框架層

108‧‧‧框架

110、110A、110B‧‧‧可變形樑

112、112A、112B、114、114A、114B‧‧‧狹縫

302、302A、302B‧‧‧區域

304‧‧‧側邊

304A‧‧‧左側

304B‧‧‧右側

306、306A、306B、306C‧‧‧橫越構件

502、502A、502B‧‧‧液體腔室

504‧‧‧液體噴出噴嘴

506、506A、506B‧‧‧電極

508、508A、508B‧‧‧靜電隙

512‧‧‧介電質

514‧‧‧液體進水口

800‧‧‧液體噴出裝置

802‧‧‧液體供給

第1圖依據本發明之一實施例，為一個靜電式液體噴出制動機構之一部份的詳細透視圖。

第2、3與4圖依據本發明之一實施例，為第1圖之靜電式液體噴出制動機構部份各層的詳細透視圖。

第5A與5B圖依據本發明之一實施例，各為第1圖之靜電式液體噴出制動機構部份的前剖面圖與側剖面圖。

第6圖依據本發明之一實施例，為描繪可如何使一靜電式液體噴出制動機構之樑變形之圖。

第7圖依據本發明之另一實施例，為一個靜電式液體噴出制動機構之部份詳細透視圖。

第8圖依據本發明之一實施例，為第7圖之靜電式液體噴出制動機構部份的側剖面圖。

第9圖依據本發明之一實施例，為一個基本靜電式液體噴出裝置之圖。

100．．．制動機構

102．．．薄膜層

104．．．可變形樑層

106．．．框架層

108．．．框架

110．．．可變形樑

112、114．．．狹縫

304A．．．左側

304B．．．右側

306A、306B．．．橫越構件

Claims (9)

1. 一種靜電式液體噴出致動機構，其包含：一個薄膜；一個框架，其具有兩個側邊以及不與該等兩個側邊平行的多個橫越構件，該等兩個側邊與該等橫越構件界定個別對應於一或多個液體腔室的一或多個區域；設於該薄膜與該框架之間的一或多個可變形樑，該等可變形樑個別對應於該等液體腔室，該等可變形樑界定多個狹縫，各個狹縫皆與該框架的該等兩個側邊之一相鄰，各個可變形樑係作用為一第一電極，以及相對於該第一電極而置放的一第二電極，以在該等第一與第二電極之間界定一個靜電隙，該等第一與第二電極係要在該靜電隙上於該等第一與第二電極間暫時性地維持一靜電荷，其中，至少基於該等狹縫之故，該等可變形樑具有小於該等液體腔室之寬的寬度。
2. 如申請專利範圍第1項之靜電式液體噴出致動機構，其中該框架的該等兩個側邊包含一個左側與一個右側，並且對於各個可變形樑來說，該等多個狹縫包含與該框架之該左側相鄰的一第一狹縫以及與該框架之該右側相鄰的一第二狹縫，其中各個可變形樑之寬度等於在針對該可變形樑的該第一狹縫和針對該可變形樑的該第二狹縫之間的距離，並且 其中，至少基於該等狹縫之故，各個可變形樑之寬度與各個液體腔室之寬度並不相關。
3. 如申請專利範圍第1項之靜電式液體噴出致動機構，其中該等橫越構件之數量等於二，且該等橫越構件包含一個頂端橫越構件與一個底端橫越構件，該等兩個側邊包含一個左側與一個右側，並且其中該等液體腔室與界定於該左側、該右側、該頂端橫越構件與該底端橫越構件之間的該等區域之數量等於一，並包含對應於單一液體腔室的單一區域。
4. 如申請專利範圍第3項之靜電式液體噴出致動機構，其中該一或多個可變形樑之數量等於一，且該一或多個可變形樑包含具有一個頂側、一個底側、一個左側與一個右側的單一可變形樑，該頂側相鄰並附接於該頂端橫越構件，該底側相鄰並附接於該底端橫越構件，並且其中該等多個狹縫之數量等於二，且該等多個狹縫包含一第一狹縫與一第二狹縫，該第一狹縫位於該單一可變形樑之該左側與該框架之該左側之間，而該第二狹縫位於該單一可變形樑之該右側與該框架之該右側之間，以使該單一可變形樑之該左側與該右側並不附接於該框架。
5. 如申請專利範圍第1項之靜電式液體噴出致動機構，其中該等橫越構件之數量多於二，且該等橫越構件包含一個頂端橫越構件、一個底端橫越構件與一或多個中間橫 越構件，該等兩個側邊包含一個左側與一個右側，並且其中該等液體腔室與該等區域之數量等於該中間橫越構件之數量加一，各個區域係界定於該左側、該右側與至少一個該等中間橫越構件之間。
6. 如申請專利範圍第5項之靜電式液體噴出致動機構，其中該一或多個可變形樑之數量等於該等液體腔室之數量，各個可變形樑具有一個頂側、一個底側、一個左側與一個右側，該頂側相鄰並附接於該等橫越構件中的一個構件，該底側相鄰並附接於該等橫越構件中的另一個構件，並且其中對於各個可變形樑來說，該等多個狹縫包含一第一狹縫與一第二狹縫，該第一狹縫位於該可變形樑之該左側與該框架之該左側之間，而該第二狹縫位於該可變形樑之該右側與該框架之該右側之間，以使各個可變形樑之該左側與該右側皆不附接於該框架。
7. 如申請專利範圍第6項之靜電式液體噴出致動機構，其中液體可以一種協同方式從該等液體腔室中噴出，以從該等液體腔室中噴出所欲單一液滴。
8. 如申請專利範圍第1項之靜電式液體噴出致動機構，其中響應於一靜電荷之該等可變形樑係要從一第一型態變形成一第二型態以增加在該等液體腔室中的液體容積，並且其中響應於被釋放的該靜電荷之該等可變形樑係 要從該第二型態回復成該第一型態以使液體從該等液體腔室中噴出。
9. 如申請專利範圍第1項之靜電式液體噴出致動機構，其中該薄膜與該等可變形樑係以一第一材質製成的，該第一材質不同於製成該框架的一或多個材質。