TWI460532B - 防塵薄膜組件框架、其製造方法以及防塵薄膜組件 - Google Patents

Description

防塵薄膜組件框架、其製造方法以及防塵薄膜組件

本發明是有關於一種在半導體裝置、印刷基板或液晶顯示器等的製造時，作為防塵物使用的防塵薄膜組件框架、其製造方法以及防塵薄膜組件。

在LSI(Large Scale Integration，大型積體電路)、超LSI等的半導體製造或者液晶顯示器等的製造中，對半導體晶圓或液晶用原板照射光而進行圖案製作。此時用的光罩(photomask)或初縮遮罩(reticle)(以下，均稱為光罩)如果有灰塵附著，該灰塵會對光進行吸收或使光彎曲，從而使轉印的圖案變形，或者使圖案的邊緣變得模糊。進一步，對圖案進行轉印的基底變黑而髒汙等，有使轉印的圖案的尺寸、品質、外觀等受損的情況。為此，這些的操作通常在無塵室中進行，但是即使如此，要經常保持光罩清潔也是困難的。因此，作為光罩表面的防塵物，將貼附有防塵薄膜的防塵薄膜組件貼附在光罩後進行曝光。在該場合，異物不直接附著在光罩的表面，而是在防塵薄膜上附著，由此光微影時只要將焦點對位在光罩的圖案上，防塵薄膜上的異物對轉印圖像就沒有影響。

一般而言，防塵薄膜組件將使光良好透過的硝化纖維素、乙酸纖維素或者氟樹脂等的透明的防塵薄膜貼附在包括鋁、不銹鋼、聚乙烯等的框狀的防塵薄膜組件框架的上端面。進一步，防塵薄膜組件框架的下端設置有用以安裝 於光罩的包括聚丁烯樹脂、聚乙酸乙烯酯樹脂、丙烯酸樹脂以及矽酮樹脂等的黏著層，以及以保護黏著層為目標的脫膜層(剝離片)。

但是，要將薄的防塵薄膜繃緊而用防塵薄膜組件框架來支撐時，就要在具有適當大小的張力的狀態下接著於防塵薄膜組件框架。因此，以往的防塵薄膜組件中，防塵薄膜貼附後的防塵薄膜組件框架由於防塵薄膜的張力而會發生些許向內側的撓曲。該現象例如在印刷基板或液晶顯示器製造中，在使用大型的防塵薄膜組件中顯著出現。如此，於防塵薄膜組件框架撓曲，即外形的直線性差的防塵薄膜組件的場合，向光罩的貼附位置的精度差。進一步，光罩為了低成本化而要求盡可能確保曝光領域。為此，希望的是防塵薄膜組件框架的向內側的的撓曲要盡量地小。

另外，防塵薄膜組件框架中，厚度方向(高度方向)的撓曲也會發生。特別是在邊長超過1000mm的超大型的防塵薄膜組件框架中，於兩端被支撐而進行防塵薄膜的貼附步驟等水平搬送時，中央部在向下方向會有大的撓曲，於防塵薄膜的貼附等的處理上會產生非常大的問題，或者產生無法恢復的塑性變形(翹曲)。

作為解決該防塵薄膜組件框架的撓曲的手段，在專利文獻1中，記載了下列的防塵薄膜組件框架：在防塵薄膜的貼附時，藉由防塵薄膜的張力，預先使各邊的中央部附近向外側突出成凸狀，從而使各邊變為直線狀。但是，相對於預先由防塵薄膜的張力而形成的防塵薄膜組件框架的 撓曲量，對防塵薄膜組件框架的各邊的中央部形成的突出部的突出量進行預測是困難的。而且，該防塵薄膜組件框架中，其厚度方向的撓曲也無法解決。

防塵薄膜組件框架的內側方向以及上下方向的撓曲的解決中，只要提高防塵薄膜組件框架的剛性即可，即通過使防塵薄膜組件框架的截面積増大來達成。但是，於增大防塵薄膜組件框架的截面積，即增大尺寸的方法時，防塵薄膜組件框架的內側會有曝光領域的問題，其外側也需要確保光罩的固定或搬送中處理用的間隙。進一步，防塵薄膜組件框架的厚度方向(高度方向)的尺寸也與曝光裝置有關，所以被限制在3mm至8mm左右。由此，防塵薄膜組件框架的尺寸設計的自由度就幾乎沒有了，所以通過防塵薄膜組件框架的截面積増大的方法來提高防塵薄膜組件框架的剛性是難以採用的。

另外，在提高防塵薄膜組件框架的剛性中，使用彈性系數高的材質也是一種手段。作為該手段，例如下述專利文獻2中，公開了在鋁合金的框體中埋入鐵或鈦的防塵薄膜組件框架，所述鐵含有較框體的彈性系數為更大的不銹鋼。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2006-56544號公報

[專利文獻2]日本專利特開2006-284927號公報

根據上述的專利文獻2記載的防塵薄膜組件框架，可 以不使防塵薄膜組件框架的尺寸變更而提高全體的剛性。但是，恐怕埋入有鋼鐵或不銹鋼等的鐵類合金的防塵薄膜組件框架的重量變得極大，鈦的加工性(被削性)非常差，所以存在防塵薄膜組件框架的製造變得困難之虞。

本發明者等人為了得到剛性提高的防塵薄膜組件框架，對使用碳纖維中含浸有樹脂的複合體進行了探討。但是，如圖10的(a)所示的那樣，於從長纖維狀的碳纖維朝一方向配向而成的複合體50中將防塵薄膜組件框架52切出的場合，長邊或者短邊的任一個中，在邊的長邊方向進行配向的碳纖維就會變得沒有了，由此，防塵薄膜組件框架52的全體的剛性就難以得到提高。再者，如圖10的(b)所示的那樣，於從長纖維狀的碳纖維以平織狀來織成的複合體54將防塵薄膜組件框架52切出的場合，碳纖維的大約一半沒有長邊方向的配向，由此防塵薄膜組件框架52的全體的剛性的提高是困難的。另外，從圖10的(a)所示的複合體50將防塵薄膜組件框架52的各邊以長纖維狀的碳纖維在邊的長邊方向進行配向的方式切出，如圖11所示那樣，在角部用螺栓55或鉚釘進行接合來將防塵薄膜組件框架52的組裝也進行了考慮。但是，碳纖維的複合材的韌性差，不太適用於螺釘切斷加工。

本發明是為了解決上述的課題而成者，本發明的目的就是提供一種利用碳纖維中含浸有樹脂的複合體，不使尺 寸變更就可以提高防塵薄膜組件框架的全體的剛性，並能輕量化並且製造簡單的防塵薄膜組件框架以及其製造方法、防塵薄膜組件。

為了達到上述目的，申請專利範圍第1項所記載的防塵薄膜組件框架的特徵在於：多角形形狀的防塵薄膜組件框架的各邊為藉由包括長纖維狀的碳纖維和樹脂的複合材料的細長部件所形成，上述碳纖維在上述細長部件的長邊方向進行配向。

申請專利範圍第2項所記載的防塵薄膜組件框架為如申請專利範圍第1項所述者，其特徵在於：上述細長部件的全部表面被樹脂皮膜包覆，由此上述碳纖維不露出。

申請專利範圍第3項所記載的防塵薄膜組件框架為如申請專利範圍第1項所述者，其特徵在於：所述細長部件為使多條長纖維狀的碳纖維在長邊方向配向，且含浸有樹脂的多枚細長片狀體所積層形成。

申請專利範圍第4項所記載的防塵薄膜組件框架的特徵在於：多枚上述細長片狀體為以仿照上述防塵薄膜組件框架的形狀的方式而接續的多個框狀體所積層形成，上述細長片狀體的接合部位於上述防塵薄膜組件框架的角部附近，上述接合部的位置與正上方的所述框狀體以及/或者正下方的所述框狀體不同。

申請專利範圍第5項所記載的防塵薄膜組件框架的製造方法，其為將形成的多角形狀的防塵薄膜組件框架的對應邊進行切削加工而形成為可以形成的寬以及長度，且將 多條的長纖維狀的碳纖維在長邊方向上進行配向，而使含浸有樹脂的多枚細長狀的片狀體在上述防塵薄膜組件框架的預定形成角部的位置附近接續而成的框狀部件，其特徵在於包括：形成上述片狀體的接續位置不同的多枚框狀部件的步驟；將多枚上述框狀部件以上述接續位置與正上方的框狀部件以及/或者正下方的框狀部件不同的方式進行積層接著而形成積層體的步驟；以及將上述積層體以規定的寬以及長度進行切削加工而形成多角形形狀的防塵薄膜組件框架的步驟。

申請專利範圍第6項所記載的防塵薄膜組件框架的製造方法為如申請專利範圍第5項所述者，其特徵在於：包括在切削加工得到的上述防塵薄膜組件框架的全部表面上形成樹脂皮膜的步驟。

申請專利範圍第7項所記載的防塵薄膜組件的特徵在於：在如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所記載的防塵薄膜組件框架上貼附有防塵薄膜。

本發明的防塵薄膜組件框架中，在形成其各邊的細長部件的長邊方向上配向有長纖維狀的碳纖維。由此，防塵薄膜組件框架的全體的剛性可以被顯著提高，對在防塵薄膜組件的使用時或處理時所發生的防塵薄膜組件框架的撓曲具有充分抵抗力。由此，由防塵薄膜的張力所造成的向 防塵薄膜組件框架的內側的撓曲少，且曝光領域的減少也少，處理時的變形或撓曲也小，防塵薄膜的貼附操作變得容易。進一步，與以往使用的材質的防塵薄膜組件框架相比，各邊寬可狹窄地形成，從而可以進一步確保寬廣的曝光領域。另外，長纖維狀的碳纖維在細長部件的長邊方向上配向，所以碳纖維的截面不易在防塵薄膜組件框架的表面上露出，碳纖維難以脫落或難以發生灰塵。細長部件的全部表面用樹脂包覆的場合，碳纖維的脫落或灰塵發生可進一步減少，並且紫外線造成的劣化也可以得以防止。本發明的防塵薄膜組件框架的製造方法是將多枚框狀部件以其接續位置與正上方的框狀部件以及/或者正下方的框狀部件不同的方式進行積層接著，將得到的積層體進行切削加工而成，因此沒有進行螺釘連接的必要，並且在切削步驟中不易發生、傳播框體中的龜裂。

以下，對本發明實施方式進行詳細說明，但是本發明的範圍不限於這些實施方式。

將本發明的防塵薄膜組件框架的一例示於圖1。圖1所示的防塵薄膜組件框架10為長方形狀，外周側以及內周側的角部則切角成圓弧狀，上面形成有防塵薄膜的貼設面12。在形成穿設有多個通氣孔16的防塵薄膜組件框架10的長邊的細長部件14、細長部件14的外周面上，形成有處理用的凹部18。進一步，在形成防塵薄膜組件框架10的短邊的細長部件20、細長部件20的外周面上，亦形成 有處理用的溝22。

將該防塵薄膜組件框架10的細長部件14的A-A面(圖1)的截面圖示於圖2的(a)，將細長部件20的B-B面(圖1)的橫截面圖示於圖2的(b)。細長部件14、細長部件20中積層有多枚的細長片狀體24。該細長片狀體24，如圖3的(a)以及(b)所示的那樣，構成仿照防塵薄膜組件框架10的形狀而形成的框狀體26a、框狀體26b。細長片狀體24是在其長邊方向上使多條長纖維狀的碳纖維24a配向且含浸樹脂而形成。該細長片狀體24、細長片狀體24，在框狀體26a、框狀體26b的角部附近接合，接合位置於圖3的(a)所示的框狀體26a和圖3的(b)所示的框狀體26b不同。該框狀體26a、框狀體26b，從貼設面12向下方交互積層、從而形成防塵薄膜組件框架10。由此，細長片狀體24、細長片狀體24的接合部的位置與正上方的框狀體以及/或者正下方的框狀體不同，龜裂難以發生，即使龜裂發生、也可以防止向防塵薄膜組件框架10的波及。另外，形成防塵薄膜組件框架10的長邊以及短邊的細長部件14、細長部件20為使多條的長纖維狀的碳纖維24a配向、並使樹脂含浸而形成的細長的片狀體24積層所形成的。為此，防塵薄膜組件框架10的長邊以及短邊的各個長邊方向上，長纖維狀的碳纖維24a配向，從而，防塵薄膜組件框架10的全體的剛性得以顯著提高。

如此，防塵薄膜組件框架10，在細長部件14、細長部件20的長邊方向上，長纖維狀的碳纖維24a配向，所以幾 乎沒有從碳纖維24a的灰塵發生。但是，如圖2的(a)和圖2的(b)所示那樣，將包括細長部件14、細長部件20的通氣孔16、溝22以及凹部18的內周面的外周面的全部用樹脂皮膜27包覆，由此從碳纖維24a的灰塵發生得以進一步防止。並且，圖1所示的防塵薄膜組件框架10的底面側，如圖2的(a)和圖2的(b)所示那樣，形成有形成光罩黏著層的階梯面28。

圖1所示的防塵薄膜組件框架10的製造中，如圖4所示的那樣，使用如下的細長狀的片狀體30：使多條的長纖維狀的碳纖維24a在長邊方向上進行配向，並使樹脂含浸而成的細長狀的片狀體30。作為碳纖維24a，是PAN(Polyacrylonitrile，聚丙烯腈基)類碳纖維也可以，瀝青(pitch)類碳纖維也可以。另外，作為樹脂，環氧樹脂或異氰酸酯樹脂等的熱硬化性樹脂也可適宜使用。片狀體30中，較佳為事先將熱硬化性樹脂作成半硬化狀態。該片狀體30如圖5所示，由主要形成長方形狀的防塵薄膜組件框架10的長邊的片狀體30a、片狀體30d以及主要形成防塵薄膜組件框架10的短邊的片狀體30b、片狀體30c來構成。片狀體30a、片狀體30b、片狀體30c、片狀體30d，是將形成的防塵薄膜組件框架10的對應邊進行切削加工而形成為可以形成的寬度以及長度。

將該片狀體30a、片狀體30b在防塵薄膜組件框架10的預定形成角部的附近進行接續而形成圖6所示的長方形狀的框狀部件32。進一步，將片狀體30c、30d在防塵薄 膜組件框架10的預定形成角部的附近與片狀體30a、片狀體30b的接續位置不同的位置進行接續，從而形成圖6所示的長方形狀的框狀部件32。將構成的片狀體的接續位置32a不同的多枚的框狀部件32如圖6所示那樣積層以及接著而形成積層體34。該接著可使用接著劑，但是也可以使被含浸在積層的片狀體30a以及片狀體30b的半硬化狀態的熱硬化性樹脂完成加熱硬化。形成的積層體34的寬以及高度(厚度)可以根據預定形成的防塵薄膜組件框架10的寬以及高度(厚度)適宜決定。但是，積層體34的寬較佳為相對於預定形成的防塵薄膜組件框架10的寬而設為1.05倍至10倍，進一步更佳為1.5至5倍。另外，高度(厚度)則設為預定形成的防塵薄膜組件框架10的高度(厚度)的1.05倍至2倍，進一步更佳為1.1倍至1.5倍。藉由該範圍的寬以及高度(厚度)，可以抑制加熱時的變形(翹曲或扭曲、邊的中央部的向外突出等)，從而容易進行下述切削加工時的固定等。在圖6所示的積層體34形成時，如用圖7所示的積層夾具36進行，就會使操作變得容易。積層夾具36為了使形成的積層體34能夠被加熱處理，用鋁合金等的金屬製造，由此積層體34的寬、長度以及高度的溝部38被形成。

對圖6的積層體34施以切削加工，如圖8所示的那樣，形成希望尺寸的防塵薄膜組件框架用框體40。如此，通過施以切削加工，可以削除框狀部件32積層時的錯開或熱處理時的變形等，從而得到具有良好的尺寸精度的防塵 薄膜組件框架10。進一步，防塵薄膜組件框架用框體40上通氣孔16、凹部18以及處理用的溝22被形成，從而可以得到圖1所示的防塵薄膜組件框架10。進行所述機械加工時，在積層體34中，多枚框狀部件32的接續位置32a的位置與正上方的框狀體以及/或者正下方的框狀體不同，這樣龜裂就會難以發生，即使發生龜裂也可以防止向整體的波及。

機械加工後的防塵薄膜組件框架10的外面，折斷的碳纖維有時露出。折斷的碳纖維即便對防塵薄膜組件框架10進行清洗也難以完全除去，這樣在防塵薄膜組件使用中碳纖維或樹脂有脫落而發生灰塵的可能。進一步，含浸於碳纖維的環氧樹脂等，就會容易由於曝光用的紫外線而劣化，可能強度變低或發生灰塵。為此，在機械加工後的防塵薄膜組件框架10的全部表面(包括通氣孔16、凹部18以及溝22的內周面)上形成樹脂皮膜27，由此可以防止從表面來的折斷的碳纖維等的灰塵的發生。作為該樹脂皮膜27，可以合適地使用不易因為曝光用的紫外線而劣化並且剝離強度高的丙烯酸樹脂，進一步較佳為矽酮樹脂，特佳為氟樹脂。樹脂皮膜27因其基底為黑色，較佳為將顏料、碳黑等混合於樹脂使其變成黑色，可使散射光減低。

該樹脂皮膜27是在機械加工後充分洗淨、乾燥的防塵薄膜組件框架10上，將樹脂以規定的濃度溶解於溶劑、且視需要而將顏料、碳黑等分散於溶劑中的塗布液用噴霧、浸漬、電沉積塗布(electrodeposition coating)等進行塗布。 然後，將防塵薄膜組件框架10進行加熱處理，將溶劑完全揮發除去，同時使樹脂皮膜27中含有的低分子成分減低。使該樹脂皮膜27的表面的光澤度在3以下，藉此可以有效地抑制反射，使曝光機內的雜散光減低並且使在暗室內的異物檢査容易。另外，光澤度可用光澤度計來測定且將玻璃表面設為100的數值(JIS Z8741)。

用得到的圖1所示的防塵薄膜組件框架10可以形成圖9所示的防塵薄膜組件42。圖9所示的防塵薄膜組件42是在防塵薄膜組件框架10的貼設面12(圖1)上通過防塵薄膜接著層將防塵薄膜44繃緊設置。防塵薄膜44由纖維素以及其衍生物、氟樹脂等來形成。進一步，於防塵薄膜組件框架10的階梯面28(圖2的(a)和(b))光罩黏著層46被形成。光罩黏著層46是由丙烯酸黏著劑、橡膠類黏著劑、熱熔黏著劑以及矽酮黏著劑等形成的。於該光罩黏著層46的表面上，視需要在PET等的薄樹脂薄膜上添附設有脫膜劑層的剝離片48，來保護光罩黏著層46。另外，為了消除防塵薄膜組件42的內外的氣壓差造成的防塵薄膜44的膨脹、凹陷，在防塵薄膜組件框架10的側面的貫通通氣孔16上設置過濾器47，從而不使外部的塵埃向防塵薄膜組件42內侵入。該防塵薄膜組件42可以使防塵薄膜組件框架10的防塵薄膜44的張力或處理時的撓曲小，並且防塵薄膜組件42在使用中沒有灰塵發生的可能性，信賴性極高。

以上說明的防塵薄膜組件框架10為長方形形狀，但是 也可以是正方形或八角形。

[實施例]

以下，對本發明的實施例進行詳細說明，但是本發明的範圍並不限定於這些實施例。

(實施例1)

如圖4所示，使用了在長邊方向配向的多條的長纖維狀的碳纖維24a含浸了環氧樹脂而得到的細長狀的片狀體30(預浸物)(商品名：DIALEAD HYEJ25M80D，三菱樹脂(股)製)。主要形成防塵薄膜組件框架10的長邊的片狀體30a、片狀體30d的尺寸為1780mm×50mm、1680mm×50mm。另外，主要形成防塵薄膜組件框架10的短邊的片狀體30b、片狀體30c的尺寸為1460mm×50mm、1560mm×50mm。將該片狀體30a、片狀體30b、片狀體30c、片狀體30d積層於圖7所示的鋁合金製的積層夾具36的溝部38。此時，片狀體的接合部中，極力不要有空隙形成。於不得已形成空隙的地方，要用環氧樹脂(商品名；AY33三菱樹脂(股)製)進行充填。然後，將每一積層夾具36插入至高壓釜(autoclave)，施以加熱處理，使各片狀體的環氧樹脂完全硬化，得到圖6所示的積層體34。

將得到的積層體34用切削機(machining center)進行切削加工，形成圖8所示的防塵薄膜組件框架用框體40。進一步，在防塵薄膜組件框架用框體40進行機械加工而形成通氣孔16、凹部18以及溝22，從而圖1所示的防塵薄膜組件框架10被形成。防塵薄膜組件框架10的形狀為外 尺寸1526mm×1748mm、內尺寸1493mm×1711mm的長方形，厚度為6.2mm，各角部的形狀為內側R2、外側R6。另外，在長邊以1700mm間隔形成處理用的直徑2.5mm、深度2mm的凹部18，在短邊形成高度2mm、深度3mm的底部為半圓形狀的溝22。該溝22的入口部進行C2的切角。另外，在兩長邊的中央部附近，各邊各形成8處直徑為1.5mm的通氣孔16。

然後，將防塵薄膜組件框架10用界面活性劑和純水進行充分洗淨，進行80℃×3小時加熱乾燥後，表面進行樹脂塗布。作為樹脂，使氟樹脂(商品名：CYTOP CTX109A旭硝子(股)製)溶於氟類溶劑(商品名：EF-L102，三菱材料(股)製)中，將碳黑(商品名：HCF2650，三菱化學(股)製)分散，製成塗布液。將該塗布液用噴霧法在洗淨、乾燥的防塵薄膜組件框架10上進行4回塗布。其後，在烘箱中以130℃加熱使溶劑完全乾燥。在防塵薄膜組件框架10的表面形成的氟樹脂的樹脂皮膜27的厚度約為30μm。該噴霧條件要使形成的樹脂皮膜27的用光澤計測定的光澤度在3以下。對得到的防塵薄膜組件框架10的尺寸進行檢査。防塵薄膜組件框架10的外尺寸、內尺寸都在加工指定尺寸的+0/-0.3mm的範圍。另外，直角度以長邊為基準，對於在90°畫的虛擬線有0.5mm的偏差。進一步，將防塵薄膜組件框架10搬入無塵室，用界面活性劑和純水洗淨、乾燥後，在暗室內一邊用40萬勒克司的鹵素燈進行照射，一邊對外觀進行檢査。其結果，完全沒有碳纖維露 出的地方。另外，表面的亮點或塗布斑點等缺陷、以及洗淨造成的樹脂皮膜27的剝離等也沒有看到。

得到的防塵薄膜組件框架10的貼設面12以及階梯面28分別用氣體加壓式分注器(dispenser)塗布矽酮黏著劑(商品名KR3700，信越化學工業(股)製)，進行加熱固化，防塵薄膜接著層以及光罩黏著層46被形成。於光罩黏著層46上添附剝離片48，所述剝離片48為藉由將脫膜劑賦予至表面的厚度為125μm的PET薄膜切斷加工成與防塵薄膜組件框架大致同樣形狀而製作。進一步，以包覆通氣孔16的形式貼附3.6mm×9.5mm、厚度0.35mm的PTFE(poly tetrafluoroethylene，聚四氟乙烯)製過濾器47。

在防塵薄膜組件框架10的製造步驟與其他步驟中，將氟類聚合物(商品名CYTOP，旭硝子(股)製)用縫隙塗布法在1620mm×1780mm×厚度17mm的長方形石英基板上成膜，將溶劑乾燥後，對與基板外形同樣形狀的鋁合金製暫用框進行接著、剝離，得到厚度約4μm的防塵薄膜44。將該防塵薄膜44接著在防塵薄膜組件框架10的貼設面12形成的防塵薄膜接著層後，將從防塵薄膜組件框架10突出的不要的部分用切刀切斷除去，圖9所示的防塵薄膜組件42被完成。將該防塵薄膜組件42放在定盤上，對防塵薄膜組件框架10的各邊的撓曲量進行測量。其結果，長邊中央部的向內側的撓曲量為單側0.6mm，短邊中央部的向內側的撓曲量為單側0.4mm。

(實施例2)

使用與實施例1同樣形成的外尺寸920mm×770mm，內尺寸870mm×720mm、厚度6.2mm的積層體34，以外尺寸904.5mm×750mm、內尺寸894.5mm×738mm、高度5.8mm、角部外尺寸R6mm、角部內尺寸R2mm來製作在各長邊形成有4個直徑1.5mm的通氣孔16的防塵薄膜組件框架10。將該防塵薄膜組件框架10與實施例1同樣進行洗淨、乾燥後，將丙烯酸樹脂(商品名：Elecoat ST Satina，SHIMIZUTECH co.,Ltd製)用電沉積塗布法進行塗布，形成樹脂皮膜27。進一步，將防塵薄膜組件框架10用界面活性劑和純水洗淨、乾燥後，與實施例1同樣，在防塵薄膜組件框架10的貼設面12以及階梯面28分別形成防塵薄膜接著層以及光罩黏著層46，在光罩黏著層46貼附剝離片48。關於得到的防塵薄膜組件框架10，與實施例1同樣地在暗室內進行外觀檢査，結果碳纖維被樹脂皮膜27完全包覆，毛邊(burr)以及樹脂的剝離完全沒有看到。

在與該防塵薄膜組件框架10的製造步驟不同的其他步驟中，將氟類聚合物(商品名：CYTOP，旭硝子(股)製)在850mm×1200mm的石英基板上用模具塗布法進行成膜，將溶劑乾燥後，在與基板外形同樣的形狀的鋁合金製暫用框上進行接著、剝離，得到厚度約4μm的防塵薄膜44。該防塵薄膜44被貼附於防塵薄膜組件框架10的防塵薄膜接著劑層，將周圍的多餘的部分用切刀切斷，防塵薄膜組件42的製作完成。關於該防塵薄膜組件42的防塵薄膜組件框架10，與實施例1同樣地進行長邊、短邊的撓曲 量的測量，結果長邊中央部的撓曲量為單側為0.8mm，短邊中央單側為1.0mm。

(比較例1)

使用平織的碳纖維中含浸了環氧樹脂的細長狀的片(預浸物)(商品名：DIALEAD HMFJ 3113/948A1，三菱樹脂(股)製)代替實施例1中的在長邊方向配向的多條的長纖維狀的碳纖維24a中含浸了環氧樹脂的細長狀的片狀體30，除此以外，與實施例1同樣進行而得到1550mm×1750mm×厚度6.75mm的積層體34後，用切削機進行切削加工，製造與實施例1的防塵薄膜組件框架10一樣的尺寸、同樣形狀的防塵薄膜組件框架10。進一步，在得到的防塵薄膜組件框架10上，與實施例1同樣地形成樹脂皮膜27。然後，使用該防塵薄膜組件框架10，與實施例1同樣地製作圖9所示的防塵薄膜組件42。將完成的防塵薄膜組件42放在定盤上，進行防塵薄膜組件框架10的各邊的撓曲量的測量。其結果，長邊中央部的向內側的撓曲量為單側1.3mm，短邊中央部的向內側的撓曲量為單側1.0mm。這些值比實施例1、實施例2的防塵薄膜組件框架10的撓曲量要大。

(比較例2)

使用A5052鋁合金的壓延材料，用機械加工製作與實施例2同尺寸、同樣形狀的防塵薄膜組件框架，在表面進行噴砂處理後，進行黑色氧皮鋁(alumite)處理。然後，在該防塵薄膜組件框架洗淨、乾燥後，在防塵薄膜組件框 架的一方的端面上，防塵薄膜接著層為藉由進行矽酮黏著劑(商品名KR3700，信越化學工業(股)製)的塗布而形成，另一端面進行矽酮黏著劑(商品名KR3700，信越化學工業(股)製)的塗布，進一步加熱使其硬化而形成光罩黏著層。其後，使用製作的防塵薄膜組件框架，與實施例2同樣地完成防塵薄膜組件。關於使用該鋁合金製的防塵薄膜組件框架的防塵薄膜組件，與實施例1同樣地對防塵薄膜組件框架的撓曲量進行測量，結果長邊中央部的向內側的的撓曲量為單側2.5mm，短邊中央部的向內側的撓曲量為單側4.5mm。如與實施例2的防塵薄膜組件框架10比較，則防塵薄膜組件框架邊中央的內尺寸中，長邊短了7.0mm，短邊短了3.4mm，矩形的面積減少了1.2%。

[產業上的可利用性]

本發明的防塵薄膜組件框架可以提高全體的剛性，適用於邊長為超過1000mm的超大型防塵薄膜組件框架。

10、52‧‧‧防塵薄膜組件框架

12‧‧‧貼設面

14‧‧‧細長部件

16‧‧‧通氣孔

18‧‧‧凹部

20‧‧‧細長部件

22‧‧‧溝

24‧‧‧細長片狀體

24a‧‧‧碳纖維

26a‧‧‧框狀體

26b‧‧‧框狀體

27‧‧‧樹脂皮膜

28‧‧‧階梯面

30、30a、30b、30c、30d‧‧‧片狀體

32‧‧‧框狀部件

32a‧‧‧接續位置

34‧‧‧積層體

36‧‧‧積層夾具

38‧‧‧溝部

40‧‧‧防塵薄膜組件框架用框體

42‧‧‧防塵薄膜組件

44‧‧‧防塵薄膜

46‧‧‧光罩黏著層

47‧‧‧過濾器

48‧‧‧剝離片

50、54‧‧‧複合體

55‧‧‧螺栓

圖1為說明本發明的防塵薄膜組件框架的一例的立體圖。

圖2的(a)和(b)為圖1所示的A-A面以及B-B面的橫截面圖。

圖3的(a)和(b)為圖1所示的形成防塵薄膜組件框架的框狀體的正面圖。

圖4為對圖1所示的防塵薄膜組件框架製造時所用的 細長的片狀體30加以說明的立體圖。

圖5為對長度不同的細長的片狀體的組合加以說明的立體圖。

圖6為表示多枚框狀部件積層而成的積層體的立體圖。

圖7為對形成圖6所示的積層體的積層夾具加以說明的立體圖。

圖8為表示對圖5所示的框狀部件進行切削加工而形成的防塵薄膜組件框架用框體的立體圖。

圖9為表示使用圖1所示的防塵薄膜組件框架的防塵薄膜組件的立體圖。

圖10的(a)和(b)為用於說明本發明的防塵薄膜組件框架的製造方法的比較例的說明圖。

圖11為用於說明本發明的防塵薄膜組件框架的製造方法的比較例的立體圖。

10‧‧‧防塵薄膜組件框架

12‧‧‧貼設面

14‧‧‧細長部件

16‧‧‧通氣孔

18‧‧‧凹部

20‧‧‧細長部件

22‧‧‧溝

Claims (6)

1. 一種防塵薄膜組件框架，其特徵在於：多角形形狀的防塵薄膜組件框架的各邊為藉由包括多條的長纖維狀的碳纖維和將該碳纖維進行了浸漬的樹脂的複合材料的細長部件所形成，所述碳纖維在所述細長部件的長邊方向上進行配向，且所述防塵薄膜組件框架的全表面被樹脂皮膜包覆，所述多條的長纖維狀的碳纖維不會露出。
2. 如申請專利範圍第1項所述的防塵薄膜組件框架，其中所述細長部件為使多條長纖維狀的碳纖維在長邊方向上配向，且含浸有樹脂的多枚細長片狀體所積層形成。
3. 如申請專利範圍第2項所述的防塵薄膜組件框架，其中所述防塵薄膜組件框架的多枚所述細長片狀體為以仿照所述防塵薄膜組件框架的形狀的方式而接續的多個框狀體所積層形成，所述細長片狀體的接合部位於所述防塵薄膜組件框架的角部附近，所述接合部的位置與正上方的所述框狀體以及/或者正下方的所述框狀體不同。
4. 一種防塵薄膜組件框架的製造方法，其為將形成的多角形形狀的防塵薄膜組件框架的對應邊進行切削加工而形成為可以形成的寬以及長度，且將多條長纖維狀的碳纖維在長邊方向上進行配向，而使含浸有樹脂的多枚細長狀的片狀體在所述防塵薄膜組件框架的預定形成角部的附近 接續而成的框狀部件，其特徵在於包括：形成上述片狀體的接續位置不同的多枚所述框狀部件的步驟；將多枚所述框狀部件以所述接續位置與正上方的框狀部件以及/或者正下方的框狀部件不同的方式進行積層接著而形成積層體的步驟；以及將上述積層體以規定的寬以及長度進行切削加工而形成多角形形狀的防塵薄膜組件框架的步驟。
5. 如申請專利範圍第4項所述的防塵薄膜組件框架的製造方法，其中包括在切削加工得到的上述防塵薄膜組件框架的全部表面上形成樹脂皮膜的步驟。
6. 一種防塵薄膜組件，其特徵在於：在如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的防塵薄膜組件框架上貼附有防塵薄膜。