TWI456200B - 熱氣泡角加速儀 - Google Patents

Claims (21)

1. 一種熱氣泡角加速儀，包含：一第一絕熱基板；以及一第一角加速度感測裝置，設置於該第一絕熱基板上，用於量測繞一第一軸之角加速度，該第一角加速度感測裝置，包含一溫度感測元件組，該溫度感測元件組，包含兩個溫度感測元件，和設置於該兩個溫度感測元件之間之一加熱器，其中該兩個溫度感測元件，靠近該第一轉軸之兩端間之距離，大於遠離該第一轉軸之兩端間之距離。
2. 根據請求項1所述之熱氣泡角加速儀，其中各該溫度感測元件與該加熱器間之夾角，介於25至35度。
3. 根據請求項1所述之熱氣泡角加速儀，更包含一第一支撐層，設置於該第一絕熱基板上，並支撐該第一角加速度感測裝置。
4. 根據請求項3所述之熱氣泡角加速儀，其中該第一支撐層，包含一正極性光阻。
5. 根據請求項1所述之熱氣泡角加速儀，其中該第一角加速度感測裝置，位於一第一凹槽上。
6. 根據請求項1所述之熱氣泡角加速儀，更包含一封裝蓋體及一惰性氣體，其中該封裝蓋體，覆蓋部分之該兩個溫度感測元件，而該惰性氣體在該封裝蓋體內。
7. 根據請求項1所述之熱氣泡角加速儀，其中該加熱器包含鎳或鉻。
8. 根據請求項1所述之熱氣泡角加速儀，其中各該溫度感測元件，包含至少一電阻，或複數個串聯之熱電偶。
9. 根據請求項8所述之熱氣泡角加速儀，其中各該熱電偶，包含克鉻美合金，或亞鋁美合金。
10. 根據請求項1所述之熱氣泡角加速儀，其中各該溫度感測元件，包含P型摻雜複晶矽。
11. 根據請求項1所述之熱氣泡角加速儀，其更包含複數個接觸墊，該些接觸墊對應該兩個溫度感測元件及該加熱器，其中該些接觸墊，再分別連接至一控制晶片，以便由該控制晶片，同步啟動加熱器及兩個溫度感測元件的電源，進行角加速度的量測，其中該控制晶片提供脈衝式輸出電力，以節省能源。
12. 根據請求項11所述之熱氣泡角加速儀，其中該兩個溫度感測元件，和該加熱器之每一者，各連接兩不同之接觸墊。
13. 根據請求項1所述之熱氣泡角加速儀，其包含兩溫度感測元件組，其中該兩溫度感測元件組之該些加熱器是串聯，該兩溫度感測元件組中，對應之該些溫度感測元件是串聯。
14. 根據請求項1所述之熱氣泡角加速儀，更包含：一第一插座，設置於該第一絕熱基板上；一第二絕熱基板，插置於該第一插座；複數個接觸墊，設置於該第二絕熱基板；以及一第二角加速度感測裝置，設置於該第二絕熱基板，用於量測繞一第二轉軸之角加速度，該第二角加速度感測裝置，包含一溫度感測元件組，而該第二角加速度感測裝置之該溫度感測元件組包含：兩溫度感測元件，耦接至相對應之該些接觸墊； 及一加熱器，設置於該第二角加速度感測裝置之該兩溫度感測元件之間，其中該第二角加速度感測裝置之該兩溫度感測元件，靠近該第二轉軸之兩端間之距離，大於遠離該第二轉軸之兩端間之距離。
15. 根據請求項14所述之熱氣泡角加速儀，其中該第二角加速度感測裝置之各該溫度感測元件，與該第二角加速度感測裝置之該加熱器間之夾角，介於25至35度。
16. 根據請求項14所述之熱氣泡角加速儀，更包含一第二支撐層，附著該第二絕熱基板，並支撐該第二角加速度感測裝置。
17. 根據請求項14所述之熱氣泡角加速儀，其中該第二角加速度感測裝置，設置於一第二凹槽上。
18. 根據請求項14所述之熱氣泡角加速儀，其中該第二角加速度感測裝置，包含相對應設置之兩溫度感測元件組。
19. 根據請求項14所述之熱氣泡角加速儀，更包含：一第二插座，設置於該第一絕熱基板上，其中該第一插座與該第二插座之延伸方向是垂直；一第三絕熱基板，插置於該第二插座；複數個接觸墊，設置於該第三絕熱基板；以及一第三角加速度感測裝置，設置於該第三絕熱基板，用於量測繞一第三轉軸之角加速度，該第三角加速度感測裝置，包含一溫度感測元件組，而該第三角加速度感測裝置之該溫度感測元件組包含：兩溫度感測元件，相應地耦接至設置於該第三絕 熱基板上之該些接觸墊；及一加熱器，設置於該第三角加速度感測裝置之該兩溫度感測元件之間，其中該第三角加速度感測裝置之該兩溫度感測元件，靠近該第三轉軸之兩端間之距離，大於遠離該第三轉軸之兩端間之距離。
20. 根據請求項19所述之熱氣泡角加速儀，更包含一第三支撐層，附著該第三絕熱基板，並支撐該第三角加速度感測裝置之該兩溫度感測元件，及該加熱器。
21. 根據請求項19所述之熱氣泡角加速儀，其中該第三角加速度感測裝置，設置於一第三凹槽上。