TWI451471B - 放電燈 - Google Patents

Description

放電燈

本發明主要是產業用燈，有關於介電質屏障放電燈、電容耦合型高頻放電燈。例如有關於作為紫外線光源之準分子燈、低壓水銀燈等等。

例如上述產業用之紫外線光源中有一種具有發光波長為172nm之氙準分子燈，常用於基板洗淨等方面。以準分子燈而言，常常使用雙重管構造之燈。其等燈中，每一個發光部都是形成軸向伸長之管狀。對於如此燈，有專利文獻1等介紹，例如密封有Xe氣體之準分子燈常用在液晶面板用基板之乾式洗淨等。此時，被照射對象物之基板係以一定速度移動在運輸帶上，燈是在與運輸帶的流動方向正交之方向上設置於基板的稍微上方。以一次照射被照射對象物之寬度整體，因為基板以一定速度移動時，所以可跨及基板整體做均一的處理。此外，在例如半導體製程之領域上，在各步驟中亦多使用紫外線進行半導體晶圓表面之加工、改質等。為此，大多使用來自氙之準分子之發光之172nm、來自氪與氯之準分子之發光之222nm、水銀共鳴線之254nm等之紫外線。又，亦創作出一個不是在雙重管構造而是單管之放電容器之兩側面配置電極之螢光燈。在該燈中，為了防止使用時之沿面放電，提高安全性之目的，具備玻璃管或以陶瓷等之耐熱性構件形成之被覆層。以下舉一些與此有關連之習知技術例。

專利文獻1所揭示之雙重管方式之「介電質屏障放電燈」係於內側管之內側面形成一電極，在外側管之外側面形成另一電極。在這兩電極之間施加數kV之高頻電壓時，在內側管與外側管之間之放電空間發生介電質屏障放電。因為在電極間施加達數kV之高電壓，唯恐在兩電極之間發生沿放電容器表面傳遞之沿面放電。藉充分取得放電容器之兩端迄至電極端間之距離，或者是在放電容器端附加絕緣性物質，可阻止沿面放電。以習知之準分子燈而言，如上述之雙重管構造之管狀燈是很常用的，為一般者。

專利文獻2所揭示之「稀有氣體放電燈」係施有外壁電極之絕緣保護以防止沿面放電或感電事故之放電燈。如第5(b)圖所示，在內壁塗佈螢光體膜之管狀玻璃管之中封入以氙氣為主要成分之稀有氣體。在玻璃管之外壁配置跨越玻璃管之大致全長而形成之一對帶狀電極。在含帶狀電極在內之玻璃管上塗佈矽樹脂等之絕緣性覆膜。進而，在這絕緣性覆膜上覆蓋熱縮性絕緣管。

專利文獻3所揭示之「稀有氣體放電燈」係施有外壁電極之絕緣保護以防止沿面放電之放電燈。如第5(c)圖所示，在內壁塗佈有螢光體膜之管狀玻璃管之中封入以氙氣為主要成分之稀有氣體。在玻璃管之外壁配設一對帶狀電極。在玻璃管之表面上形成矽樹脂之透明的絕緣覆膜。進而，從這上面覆蓋聚酯之熱縮性樹脂管。藉此，使帶狀電極雙重絕緣來保護。

專利文獻4所揭示之「螢光燈」係提高了對於外部電極施加之高電壓之安全性者。如第5(d)圖所示，在由玻璃管構成之外圍器之內面覆著發光層，以形成開孔部。在這外圍器之外面，在與此相對之狀態下，沿軸向固定由鋁帶構成之外部電極。在這外部電極之端部連接有與外部電路連接用之引線。在外圍器之外面形成由玻璃管構成之被覆層，俾使外部電極之主要部分被覆蓋。

專利文獻5所揭示之「螢光放電管」係以絕緣覆膜防止外部放電，且以輔助管提高機械強度者。如第5(e)圖所示，在於內部密封有稀有氣體之玻璃管的筒體外面沿軸向帶狀設置有相對之一對外部電極。以絕緣覆膜覆蓋筒體之外面全區。在玻璃管外覆輔助管，以輔助管覆蓋絕緣覆膜，保護絕緣覆膜。在傳真器等之機器內設置這種螢光放電管，也可使飛散之碳粉不會附著在絕緣覆膜，可防止外部放電。

專利文獻6所揭示之「螢光燈」係防止因濕氣的附著而降低玻璃管面上之外部電極間之絕緣電阻者。如第5(f)圖所示，在管狀玻璃管之內面形成螢光體覆膜。沿管之管軸方向，在管的外面形成具有透光性之一對外部電極。在管內封入放電介質。為了防範降低容易附著濕氣之玻璃管的絕緣，防止兩外部電極間之短路，而在玻璃管外面之一對外部電極之間形成由矽樹脂等構成之電氣絕緣層。電氣絕緣層，不只外部電極間，亦可形成在管之全周圍。形成在全周圍時，可使電極間絕緣，對於電極連接引線之放電燈，可為強固的固著。在跨越管之全周圍時，亦可覆蓋聚乙烯等之熱縮性管。

[專利文獻1]日本發明專利公報第3170952號

[專利文獻2]日本發明專利申請案公開公報第H04-087249號

[專利文獻3]日本發明專利申請案公開公報第H04-112449號

[專利文獻4]日本實用新型申請案公開公報第H05-090803號

[專利文獻5]日本發明專利申請案公開公報第H07-272691號

[專利文獻6]日本發明專利申請案公開公報第H09-092227號

惟，為了進行準分子發光，所以提高封入壓力，特別是必須提高施加電壓，只單純地以絕緣性物質覆蓋之程度的對策時，已知可靠性極低。這是因為就算用玻璃構成被覆層，加熱使其密著，透過放電容器與被覆層之間的很小的間隙，亦有可能造成絕緣破壞之疑慮存在。

使用鋁箔等作為電極時，由於鋁箔的融點低，因此即使加熱，亦不能充分地提高溫度，因此很難配合電極形狀進行無間隙地覆蓋。又，放電容器與被覆層之熱膨脹係數不同時，因燈之點亮與熄滅所造成之熱履歷，而產生應力，在界面漸漸地產生很小的間隙，有造成絕緣破壞之疑慮存在。藉玻璃材之熔射而覆著時，亦會產生氣泡或間隙，透過這氣泡或間隙，亦有絕緣破壞之疑慮衍生。為其等情況，對於習知使用單管之放電容器之燈，無法施加足夠的高壓，只能實現放射輸出低之燈。

本發明之目的係於提供一種為了獲得高放射輸出而施加足夠的高壓時，亦不會發生沿面放電，可靠性高之外部電極型放電燈。

為解虱決上述課題，本發明係一種包含有封入藉介電質屏障放電或電容耦合型高頻放電而形成準分子之放電氣體之石英製管狀放電容器；及在放電容器的兩側之管壁內部，與軸向平行且相對地埋設於放電容器之箔電極之放電燈之放電容器，箔電極係對稱地埋設於沿放電容器之圓筒狀側面，或形成為剖面呈八字形狀，或呈平行平板狀且對稱，或呈平板狀且形成為剖面呈八字形狀，而埋設於沿放電容器之圓筒狀側面。

又，本發明係一種包含有於放電容器之管壁內部沿軸向埋設於放電容器之箔電極；及沿軸向而設於放電容器之外側圓筒面之外部電極之放電燈之放電容器，箔電極係沿放電容器之圓筒狀側面而埋設其中或呈平板狀。在放電容器之外部設有金屬板或多層介電質膜之光反射構件。

又，在放電容器之管壁內部設有軸向埋設於放電容器之箔電極、及在放電容器之管壁內部軸向埋設於放電容器之網狀電極。或，在放電容器之外側圓筒面軸向設有網狀電極。箔電極係沿放電容器之圓筒狀側面埋設，或呈平板狀。箔電極係以鉬、鉭及鎢之任一者為主要成分之箔。

又，各電極之各供電線係相互地配置於軸向之相反側。放電氣體係稀有氣體或稀有氣體與鹵素氣體之混合氣體。在放電容器之軸向一端部設有光取出口。

[發明之效果]

藉如上構成，可實現確實地防止沿面放電，可靠性高之燈。又，可足以提高施加電壓，因此可實現放射輸出高之燈。又，亦可以單管構成，因此可實現小型且細又廉價之燈。

[圖式簡單說明]

第1(a)-1(g)圖係本發明實施例1之放電燈之概念圖。

第2(a)-2(g)圖係本發明實施例2之放電燈之概念圖。

第3(a)-3(e)圖係本發明實施例3之放電燈之概念圖。

第4(a)-4(d)圖係本發明實施例4之放電燈之概念圖。

第5(a)-5(e)圖係習知放電燈之概念圖。

以下，參照第1-4圖詳細說明實施本發明之最佳型態。

【實施例1】

本發明之實施例1係使箔電極在放電容器兩側之管壁內部軸向平行相對而埋設於放電容器之放電燈。第1圖係本發明實施例1之放電燈之概念圖。第1(a)圖係放電燈之軸向剖視圖。第1(b)圖係放電燈之徑向剖視圖。第1(c)圖係具有反射構件之放電燈之徑向剖視圖。第1(d)圖係具有剖面呈八字形狀之電極之放電燈之徑向剖視圖。第1(e)圖係具有軸向光取出口之放電燈之徑向剖視圖。第1(f)、1(g)圖係顯示放電燈之製造方法之徑向剖視圖。

在第1圖中，石英製放電容器1為石英製單管。亦只稱為放電容器。亦可形成為橢圓形狀或四角形狀或六角形狀等之多角形等。放電容器未必要是石英製的。以代表性的來說，是石英製之管狀放電容器，但意思是亦可包括具同樣特性之其他性質之物。以封入氙氣及氯氣之混合氣體而放射308nm之光線之介電質屏障放電燈而言，對於放電容器，可使用硬質玻璃製容器。為保護放電容器之玻璃的脆化或防止玻璃與封入氣體之反應，適當地在放電容器之表面形成氧化鋁膜、氧化鈦膜或氧化鎂膜等之保護膜。封入氣體包含有鹵素時，則形成氟化鎂膜等。

放電空間2為放電容器內部之放電空間。在放電空間內沒有電極。在放電空間封入有氙氣或氪氣與氯之混合氣體。令封入放電空間內之氣體為發出準分子光線之氣體。或者是發出如水銀之特性紫外線之波長254nm或185nm之紫外線之氣體。藉選擇其他適當的封入物，可得到與此對應之波長的光線。代表性氣體係指形成準分子之放電氣體，但也意味著包括同樣發光之其他放電氣體。

箔電極3係帶狀箔電極。在與軸對稱地在上方與下方相對的狀態下埋設於放電容器1之壁的內部。箔電極3係以鉬箔形成。在鉬箔之一端係取出於放電容器1之外部。另一端係完全地埋入放電容器壁之內部，作為終端。為了使箔電極3朝外部之電性連接，所以端延伸到外部，但取出處各為相反側。亦可電性連接鉬棒等，再向外部取出。箔電極3亦可為鉬箔以外之同樣材質之物。光反射構件4係可將光線反射之構件。依照放電燈之使用目的，亦可不使用。射出窗6是軸向取光之窗。

說明如上述構成之本發明之實施例1之放電燈之功能及動作。首先參考第1(a)、1(b)圖，說明放電燈之功能之概要。在石英製之管狀放電容器1之兩側的管壁內部，將箔電極3軸向平行相對地埋設於放電容器1。箔電極3係沿著放電容器1之圓筒狀側面對稱地埋設。箔電極3係以鉬、鉭或鎢為主要成分之箔。各箔電極3之各個供電線係相互地配置於軸向相反側。將藉介電質屏障放電或電容耦合型高頻放電而形成準分子之放電氣體封入放電容器1。放電氣體係稀有氣體或稀有氣體與鹵素氣體之混合氣體。

對箔電極3之間一施加高頻電壓，則產生介電質屏障放電。此時產生之氙之準分子光線(波長172nm)可由箔電極3之間取出。放電氣體為氪及氯時，可取出波長222nm之準分子光線。又，令封入物為水銀及開始起動用之氬氣時，進行低壓水銀之高頻放電，亦可得到波長254nm或185nm之水銀特有之紫外線光線。此時，為了維持點亮中之水銀蒸氣壓為最適者，而控制最冷部，使其冷卻到適溫者。使用多數這個放電燈，形成可照射廣大的範圍者。

其次，參照第1(c)圖，說明設有光反射構件之放電燈。在放電容器1之上方的外表面設有反射構件7。反射構件7係由氧化矽及氧化鈦之多層膜構成，以蒸鍍形成。亦可為單純的金屬板。在第1(b)圖之構成中，光線的取出方向成為與相對之箔電極3垂直之直角方向。將朝其中之一方(上方)射出之光線，藉反射構件7朝相反方向取出，使下方之放射照度提高。

其次，參照第1(d)圖，說明具有剖面呈八字形狀之箔電極之放電燈。沿放電容器1之圓筒狀側面埋設箔電極3，且使箔電極3形成八字形狀之剖面者。箔電極3之位置位於放電容器1中心軸之上方。為此，箔電極3之間隔，上側變得較窄，下側變得較寬。因為放電產生領域位於對向電極之間，所以從中心往上方產生放電。由於箔電極3靠近上方，因此可藉箔電極3本身，使被遮蔽的光線變少，可由下方有效率地取出藉放電所產生之光線，可得到很強的放射輸出。

其次，參照第1(e)圖，說明軸向取光之放電燈。在放電容器1之軸向一端部設置光取出口。放電容器1之一端部形成射出窗6，可使箔電極3、3之間所發出之光線軸向取出。為此，射出光係重疊軸向很長之放電領域中之發光，得到很強的光線。又，因此可在與因箔電極3所造成之遮光無關之狀態下取出光線。

其次，參照第1(f)、1(g)圖，說明放電燈之製作方法。如第1(f)圖所示，為製造放電容器1，而準備直徑不同之2根石英管。將較細的石英管插入較粗的石英管疊合，在其等之間插入鉬箔。一邊將粗石英管與細石英管間之間隙形成減壓狀態，一邊由外側加熱。粗石英管變形，而密著於細石英管。進而加熱時，在鉬箔以外之部分完全熔著。2根石英管變成一體，如第1(g)圖所示，形成為放電容器1。鉬箔形成埋入放電容器1之壁中之形態，可防止放電空間2以外之沿面放電等。

如上述，在本發明之實施例1中，構造成將箔電極在放電容器之兩側的管壁內部軸向平行對向，埋設於放電容器者，因此可實現確實地防止沿面放電，可靠性高之燈。又，可將施加電壓充分地提高，因此可以放射輸出高之燈予以實現者。又，亦可以單管構成，因此可實現小型、細且廉價之燈。

【實施例2】

本發明之實施例2係將箔電極在放電容器之管壁內部軸向埋設於放電容器，在放電容器之外側圓筒面軸向設有外部電極之放電燈。

第2圖係本發明實施例2之放電燈之概念圖。第2(a)圖係放電燈之軸向剖視圖。第2(b)圖係放電燈之徑向剖視圖。第2(c)圖係具有反射構件之放電燈之徑向剖視圖。第2(d)圖係具有剖面呈八字形狀之電極之放電燈之徑向剖視圖。第2(e)圖係具有軸向光取出口之放電燈之徑向剖視圖。第2(f)、2(g)圖係顯示放電燈之製造方法之徑向剖視圖。第2圖中，外部電極7係軸向設於放電容器之外側圓筒面之電極。其他基本的構成係與實施例1同樣。針對與實施例1同一部分，便省略說明。

說明如上述構成之本發明實施例2之放電燈之功能及動作。首先，參照第2(a)、2(b)圖，說明放電燈的功能之概要。在石英製之管狀放電容器1之管壁內部，將箔電極3埋設於放電容器1。將外部電極7軸向設於放電容器1之外側圓筒面。

其次，參照第2(c)-2(e)圖，說明放電燈之變形例。第2(c)圖係設有光反射構件之放電燈。在放電容器1之上方的外表面設有反射構件7。第2(d)圖係具有剖面呈八字形狀之電極之放電燈。沿放電容器1之圓筒狀側面，在使電極形成八字形狀剖面，埋設箔電極3，並設置外部電極7。第2(e)圖係軸向取光之放電燈。在放電容器1之軸向一端部設有光取出口。

其次，參照第2(f)、2(g)圖，說明放電燈之製作方法。為製造放電容器1，而準備直徑不同之2根石英管。如第2(f)圖所示，將細的石英管插入粗的石英管重合，在其等之間插入鉬箔。一邊將粗的石英管與細的石英管間之間隙形成減壓狀態，一邊由外側加熱。粗石英管變形，而密著於細石英管。進而加熱時，在鉬箔以外之部分完全熔著。2根石英管變成一體，如第2(g)圖所示，形成為放電容器1。鉬箔形成埋入放電容器1之壁中之形態，可防止放電空間2以外之沿面放電等。

如上述，在本發明之實施例2中，構造成箔電極在放電容器之管壁內部，軸向地相對於放電容器無間隙之狀態下埋設於放電容器，且在放電容器之外側圓筒面軸向設有外部電極者，因此可實現確實地防止沿面放電，可靠性高之燈。又，可將施加電壓充分地提高，因此可以放射輸出高之燈予以實現者。又，亦可以單管構成，因此可實現小型、細且廉價之燈。

【實施例3】

本發明之實施例3係使平板狀箔電極在放電容器兩側之管壁內部軸向平行地面對面，埋設於放電容器之放電燈。

第3圖係本發明實施例3之放電燈之概念圖。第3(a)圖係放電燈之軸向剖視圖。第3(b)圖係放電燈之徑向剖視圖。第3(c)圖係具有反射構件之放電燈之徑向剖視圖。第3(d)圖係具有剖面呈八字形狀之電極及反射構件之放電燈之徑向剖視圖。第3(e)圖係具有軸向光取出口之放電燈之徑向剖視圖。基本的構成係與實施例1同樣，因此針對與實施例1同一部分，便省略說明。

說明如上述構成之本發明實施例3之放電燈之功能及動作。首先，參照第3(a)、3(b)圖，說明放電燈之功能之概要。在石英製之管狀放電容器1之管壁內部，將箔電極3埋設於放電容器1。箔電極3係平行平板狀，對稱地埋設著。使金屬箔及燈內面之厚度b變薄。要將厚度b變薄，只要依如下進行製作者即可。將直徑不同之石英管疊合，在其等之間插入箔而製作時，先將內側之管的兩側面削平。先削成平坦時，可防範金屬箔移動，使金屬箔相對於放電容器而封著於預期的位置。又，先削平時，使內側之管的強度變弱，因此可先將原先的管(金屬箔以外之部分)之厚度a變粗。將厚度b構成較薄時，使得施加於電極之間之外部電壓中位於放電空間之電壓部分變大。為此，可將用以得到同一光輸出之外部施加電壓降低。

其次，參照第3(c)圖，說明設有光反射構件之放電燈。在放電容器1之上方的外表面設有反射構件7。反射構件7係由氧化矽及氧化鈦之多層膜構成，以蒸鍍形成者。亦可為單純的金屬板。在第1(b)圖之構成中，光之取出方向成為與對向配置之箔電極3垂直之直角方向。藉反射構件7，由相反方向取出朝其中一方(上方)射出之光線，使下方之放射照度提高。

其次，參照第3(d)圖，說明使用平板狀且剖面呈八字形狀之箔電極之例。在形成剖面呈八字形狀之狀態下，將箔電極3埋設於放電容器1。由於箔電極3位於放電容器1之中心軸上方，所以箔電極3之間隔是在上側較窄，下側較寬。箔電極3靠近上方，因此藉箔電極3本身，光線被遮住的少，便可由下方有效率地取出藉放電所產生之光線，得到強放射輸出。因應需要，亦可設置反射構件4。

其次，參照第3(e)圖，說明軸向取光之放電燈。在放電容器1之軸向一端部設有光取出口。放電容器1之一端部形成射出窗6，在箔電極3、3之間發出之光線可沿軸向取出。為此，射出光係重疊有沿軸向很長之放電領域之發光，可得到強光。又，可在與箔電極3所造成之遮光無關之狀態下取出光線。

如上述，在本發明之實施例3中，構造成將平板狀箔電極在放電容器兩側之管壁內部軸向平行相對，且埋設於放電容器者，因此可實現確實地防止沿面放電，可靠性高之燈。又，可充分地提高施加電壓，因此可藉放射輸出高之燈予以實現者。又，亦可以單管構成，因此可實現小型、細且廉價之燈。

【實施例4】

本發明之實施例4係一種放電燈，其係於放電容器之管壁內部，將箔電極沿軸向埋設於放電容器，在放電容器之外側圓筒面軸向設有網狀電極。

第4圖係本發明實施例4之放電燈之概念圖。第4(a)圖係於放電容器外部具有網狀電極之放電燈之徑向剖視圖。第4(b)圖係於放電容器內部具有平板狀箔電極及網狀電極之放電燈之徑向剖視圖。第4(c)圖係於放電容器內部具有平板狀箔電極，放電容器外部具有網狀電極之放電燈之徑向剖視圖。第4(d)圖係平面型燈之例。在第4圖中，網狀電極5係呈網狀之電極。由於基本的構成係與實施例1同樣，所以針對與實施例1同一部分便省略說明。

說明如上述構成之本發明實施例4之放電燈之功能及動作。首先一邊參照第4(a)圖，一邊說明放電燈功能之概要。在石英製之管狀放電容器1之管壁內部，由放電容器1，將箔電極3埋設於放電容器1。在此例中，只有其中一個箔電極3埋入放電容器1之壁內。金屬製之網狀電極5係與箔電極3成對之電極。網狀電極5係亦可直接在放電容器1印刷導電性物質而形成者。網狀電極5通常為接地電極。對於箔電極3施有高頻高壓。在使用兩個箔電極3之型態中，藉以箔電極3之遮光，使發光的一部分不能朝外部取出。對於使用網狀電極之型態中，被遮住之光線的比例大幅地減少，因此照射光量變多，可實現發光效率高之放電燈。

其次，一邊參照第4(b)圖，一邊說明放電燈之變形例。在石英製之管狀放電容器1之管壁內部，將平板型箔電極3埋設於放電容器1。在放電容器1之管壁內部，將網狀電極5埋設於放電容器1。施加於電極間之外部電壓中，位於放電空間之電壓部分變大，因此為了得到同一光輸出，所以可降低由外部向電極施加之電壓。

其次，一邊參照第4(c)圖，一邊說明放電燈之另一變形例。在石英製之管狀放電容器1之管壁內部，將平板型箔電極3埋設於放電容器1。將箔電極3及成對之金屬製網狀電極5設於放電容器1之外側。施加於電極間之外部電壓中，位於放電空間之電壓部分變大，因此可降低用以得到同一光輸出之由外部向電極施加之電壓。第4(d)圖係構成平面型燈之例。

如上述，本發明之實施例4中，構造成將箔電極在放電容器之管壁內部沿軸向而埋設於放電容器，且在放電容器之外側圓筒面沿軸向設置網狀電極之構造，因此可實現確實地防止沿面放電，可靠性高之燈。又，可將施加電壓充分地提高，因此可實現放射輸出高之燈。又，亦可以單管構成者，因此可實現小型、細且廉價之燈。

[產業可利用性]

本發明之放電燈最適合作為產業用紫外線光源之用。

1．．．石英製放電容器

2．．．放電空間

3．．．箔電極

4．．．反射構件

5．．．網狀電極

6．．．射出窗

7．．．外部電極

第1(a)-1(g)圖係本發明實施例1之放電燈之概念圖。

第2(a)-2(g)圖係本發明實施例2之放電燈之概念圖。

第3(a)-3(e)圖係本發明實施例3之放電燈之概念圖。

第4(a)-4(d)圖係本發明實施例4之放電燈之概念圖。

第5(a)-5(e)圖係習知放電燈之概念圖。

1．．．放電容器

2．．．放電空間

3．．．箔電極

4．．．反射構件

6．．．射出窗

Claims (11)

1. 一種放電燈，係於放電容器內封入放電氣體，前述放電容器是藉由熔著將內側管與外側管形成為一體，在前述放電容器之對向的兩側面配置電極，且至少一側的前述電極是埋設於前述外側管之內側面與前述內側管之外側面之間的帶狀電極。
2. 如申請專利範圍第1項之放電燈，其中前述放電容器內，藉介電質屏障放電或電容耦合型高頻放電，形成準分子。
3. 如申請專利範圍第1或2項之放電燈，其中前述放電容器之一部分至少為石英。
4. 如申請專利範圍第1或2項之放電燈，其中前述帶狀電極，是沿放電容器之側面埋設，且係以鉬、鉭、鎢之任一單體或其等之一為主要成份之箔。
5. 如申請專利範圍第1或2項之放電燈，其中前述對向配置且埋設於放電容器管壁內部之兩帶狀電極，在相反方向配置有軸向細長之一端部由放電容器之外部取出且供給電力至前述帶狀電極之供電線。
6. 如申請專利範圍第1或2項之放電燈，其中放電氣體為稀有氣體或稀有氣體與鹵素氣體之混合氣體。
7. 如申請專利範圍第1或2項之放電燈，其中由對向配置之電極間之放電空間，在與連結電極之方向正交之兩個光取出方向中之其中一光取出部分配置光反射構件。
8. 如申請專利範圍第7項之放電燈，其中前述光反射構件設置於放電容器之外部，前述光反射構件係金屬板，或於 基材蒸鍍有多層介電質膜者。
9. 如申請專利範圍第7項之放電燈，其中前述光反射構件係於放電容器之外表面蒸鍍有金屬膜或多層介電質膜者。
10. 如申請專利範圍第1或2項之放電燈，其中前述對向配置之電極中，一個埋設於放電容器管壁之內部，另一個電極設置於放電容器外部。
11. 如申請專利範圍第10項之放電燈，其中設置於前述放電容器外部之電極為網狀金屬。