TWI449783B

TWI449783B - 洗淨液組成物及基板之洗淨方法

Info

Publication number: TWI449783B
Application number: TW100129782A
Authority: TW
Inventors: Yujie Tsai; Ichun Hsieh
Original assignee: Chi Mei Cooperation Ltd
Priority date: 2011-08-19
Filing date: 2011-08-19
Publication date: 2014-08-21
Also published as: CN102952653B; TW201309791A; CN102952653A

Description

洗淨液組成物及基板之洗淨方法

本發明是有關於一種洗淨液組成物及基板之洗淨方法，且特別是有關於一種針對玻璃基板，具長效洗淨性及鹼劑消耗性低之洗淨液組成物。

以往，作為電視、個人電腦、鐘錶等液晶顯示用之玻璃基板，如鈉鈣玻璃、硼矽玻璃、矽玻璃、無鹼玻璃等，可經溶融成形工程製得玻璃母板，並切割成任意尺寸以供使用。

另外，近年來常用於彩色液晶顯示器、感測器及色分解裝置等之彩色濾光片，亦於透明玻璃基板上形成黑色矩陣及紅、綠、藍之畫素畫像，並使用分散顏料用之感光性樹脂，以一般微影製程(photolithography)製得。

然而，上述玻璃基板於切割時，玻璃切削粉(glass cullet)常附著於基板上而妨礙後續之精密的研磨製程、膜處理製程等。此外，彩色濾光片於製造時，飛散的微粒或前製程使用的感光性樹脂之殘渣等亦會附著於基板上，其不僅造成製品良率的低下，且當彩色濾光片與TFT array貼合時甚至可能產生共同短路(common short)之情形。

因此，上述製程中導入了玻璃基板的洗淨製程，而基板的製造及加工廠商為了提高製造良率，亦致力於洗淨技術的提升。特別是近年來，對於製品高度信賴性的需求，以及彩色濾光片之高精度化的走向，玻璃基板清淨化的要求變得愈來愈高。

為有效清除上述基板上殘存之附著物，目前業界改善之方式，乃採用特定之洗淨液組成物清洗玻璃基板。例如，日本特開2007-131819號公開特許公報揭示，使用含烷基葡萄糖苷(alkyl glucoside)之洗淨液組成物；日本特開2009-084565號公開特許公報揭示，使用含非離子型界面活性劑、水、特定酸(或其鹽類)及鹼劑之鹼型非離子界面活性劑組成物等。然而，使用上述洗淨液組成物清洗玻璃基板時，仍有重複使用率低及鹼劑消耗量高之問題，造成成本提高。

有鑑於此，亟需提出一種洗淨液組成物及基板之洗淨方法，藉以改善習知之洗淨液組成物重複使用率低及鹼劑消耗量高等缺點。

因此，本發明之一態樣是在提供一種重複使用率高及鹼劑消耗量低之洗淨液組成物，該洗淨液樹脂組成物至少包含鹼劑(A)、支鏈型界面活性劑(B)、聚乙二醇化合物(C)以及水(D)。

本發明之另一態樣是在提供一種基板之洗淨方法，其係利用上述洗淨液組成物清洗基板。

本發明之正型感光性樹脂組成物包括鹼劑(A)、式(I)所示之支鏈型界面活性劑(B)、聚乙二醇化合物(C)以及水(D)，以下析述之。

鹼劑(A)

本發明之鹼劑(A)包含無機鹼性化合物(A-1)及/或有機鹼性化合物(A-2)。

上述無機鹼性化合物(A-1)之具體例，如：氫氧化鋰、氫氧化鈉、氫氧化鉀、氫氧化銨等之鹼金屬氫氧化物；磷酸氫二銨、磷酸氫二鈉、磷酸氫二鉀、磷酸二氫銨、磷酸二氫鈉、磷酸二氫鉀等之鹼金屬或銨之磷酸鹽類；矽酸鋰、矽酸鈉、矽酸鉀等之鹼金屬矽酸鹽類；碳酸鋰、碳酸鈉、碳酸鉀等之鹼金屬碳酸鹽類；硼酸鋰、硼酸鈉、硼酸鉀等之鹼金屬硼酸鹽類。其中，以鹼金屬氫氧化物為較佳。上述之無機鹼性化合物(A-1)可以單獨一種使用或者混合複數種使用。

本發明之有機鹼性化合物(A-2)包含氫氧四級銨基鹽類化合物及有機胺類之有機鹼性化合物。上述氫氧四級銨基鹽類化合物之具體例，如：氫氧四甲銨(tetramethyl ammonium hydroxide)、氫氧四乙胺、氫氧四丙胺、氫氧四丁胺、2-羥基-氫氧三甲銨(2-hydroxyl trimethyl ammonium hydroxide)等化合物；而有機胺類之具體例如：單甲胺、二甲胺、三甲胺、單乙胺、二乙胺、三乙胺、單異丙胺(monoisopropylamine)、二-異丙胺(di-isopropylamine)、單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、2-(2-胺基乙氧基)乙醇(2-(2-aminoethoxy) ethanol)、單異丙醇胺(monoisopropanol-amine)、二異丙醇胺、三異丙醇胺、正乙基乙醇胺(N-ethyl ethanolamine)、正丁基乙醇胺、N,N-二甲基乙醇胺(N,N-dimethyl ethanolamine)、N,N-二甲基丙醇胺、N,N-二甲基異丙醇胺(N,N-dimethyl isopropanolamine)、環己胺、嗎啉(morpholine)等化合物。上述之有機鹼性化合物(A-2)可以單獨一種使用或者混合複數種使用。

本發明之有機鹼性化合物(A-2)，於製造上因不含有金屬離子，故對於薄膜電晶體等半導體元件較不易產生殘影等不良影響。其中，乃以單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺以及單異丙醇胺為較佳。

支鏈型界面活性劑(B)

本發明之支鏈型界面活性劑(B)係具有如式(I)所示之結構：

R₁ -O-(EO)_a (PO)_b -H　(I)

其中，式(I)之R₁ 為碳數6至20的含支鏈之烷基、烯基或醯基，或碳數12至20之含支鏈烷基取代之苯基，EO為乙氧基，PO為丙氧基，a為1至20之整數，b為0至20之整數。當b為零時，表示式(I)之支鏈型界面活性劑(B)僅由乙氧基構成。當b為1至20之整數時，表示式(I)之支鏈型界面活性劑(B)係由乙氧基與丙氧基構成，且EO與PO的排列可為嵌段，亦可為隨機。其中，當EO與PO的排列為嵌段時，只要各個平均數於上述範圍之內，則EO之嵌段數及PO之嵌段數分別可為1個，亦可分別為2個以上。EO之嵌段數為2個以上時，各嵌段中之重複數可相同，亦可不同；PO之嵌段數為2個以上時，各嵌段中之重複數可相同，亦可不同。

EO與PO的排列為嵌段或隨機時，若EO與PO之莫耳比[M_EO /M_PO ]為9.5/0.5至5/5，可達到高水溶性。而(EO)_a (PO)_b 中，基於高水溶性及低發泡性之考量下，a及b較佳分別為1至15，更佳分別為1至10，(a+b)較佳為2至30，更佳為2至20。

上述支鏈型界面活性劑(B)之具體例如：商品名SINOPOL E8002、SINOPOL E8003、SINOPOL E8008、SINOPOL E8015(中日合成化學製)；商品名Lutensol TO 3、Lutensol TO5、Lutensol TO7、Lutensol TO10(BASF製)；商品名Newcol 1004、Newcol 1006、Newcol 1008、Newcol 1020(日本乳化劑製)；商品名NONION EH-204、NONION EH-208(日本油脂製)。

上述之支鏈型界面活性劑(B)可以單獨一種使用或者混合複數種使用。

本發明之洗淨液組成物中，基於鹼劑(A)100重量份，支鏈型界面活性劑(B)之使用量通常為10至500重量份，較佳為20至450重量份，更佳為30至400重量份。若無使用支鏈型界面活性劑(B)，則會有鹼劑消耗量高之問題。

聚乙二醇化合物(C)

本發明之聚乙二醇化合物(C)，基於提高洗淨液組成物之重複使用率，其重量平均分子量較佳為100至6000，更佳為200至5000，又更佳為300至4000。次則，此處所指之重量平均分子量係採用凝膠過濾色層分析法(gel filtration chromatography；GFC)，並依以下條件進行測定。裝置：LC-6A(島津製作所製)，檢測器：RID-10A(島津製作所製)，管柱：Asahipak GF-510HQ(直徑7.6mm×長0.3m；昭和電工製)，移動相：水(流速為1mL/min)，溫度：30℃。

上述聚乙二醇化合物(C)之具體例如：商品名PEG#200、PEG#300、PEG#400、PEG#600、PEG#1000、PEG#1500、PEG#1540、PEG#2000、PEG#3000、PEG#4000、PEG#4000P(日本油脂製)；商品名PEG-200、PEG-300、PEG-400、PEG-600、PEG-1000、PEG-1500、PEG-1540、PEG-2000、PEG-4000N、PEG-4000S、PEG-4000E、PEG-6000E(三洋化成製)；商品名PEG#200、PEG#300、PEG#400、PEG#600、PEG#1000、PEG#1500、PEG#1540、PEG#4000(LION製)；商品名PEG 1000、PEG 4000、PEG 6000(Merck製)；商品名PEG-200、PEG-300、PEG-400、PEG-600(東邦化學製)。

上述聚乙二醇化合物(C)可以單獨一種使用或者混合複數種使用。

基於鹼劑(A)100重量份，聚乙二醇化合物(C)的使用量通常為10重量份至500重量份，較佳為20重量份至450重量份，更佳為30重量份至400重量份。若無使用聚乙二醇化合物(C)，則會有洗淨液重複使用率低之問題。

水(D)

本發明中所使用的水(D)並無特別限制。其具體例如：蒸餾水、純水(經離子交換樹脂等行脫鹽處理而得之水)、超純水(除無機離子外，不含有機物、生菌、微粒子及溶解氣體)及近年來被提案之各種機能水等。基於金屬離子對電子控制迴路具不佳影響，本發明中所使用的水(D)較佳為純水或超純水，更佳為超純水。其中，上述超純水可藉由將自來水通過活性碳、離子交換處理、蒸餾處理後，必要時以紫外光照射殺菌，或者通過過濾器而得。根據25℃之電阻值來區分，電阻值在1MΩ‧cm以上即可稱為純水，電阻值在10MΩ‧cm以上即可稱為超純水。

本發明之洗淨液組成物中，基於鹼劑(A)100重量份，水(D)之使用量通常為300重量份至25,000重量份，較佳為400重量份至20,000重量份，更佳為500重量份至15,000重量份。當水(D)之使用量介於300重量份至25,000重量份時，較不易有洗劑殘留及洗淨力下降之問題。

螯合劑(E)

本發明所使用之螯合劑(E)並無特別限制，其具體例如：乙二胺四乙酸(鹽)(EDTA)、二乙三胺五乙酸(鹽)(DTPA)、三乙四胺六乙酸(鹽)(TTHA)、羥乙基乙二胺三乙酸(鹽)(HEDTA)、二羥乙基乙二胺四乙酸(鹽)(DHEDDA)、次氮基三乙酸(鹽)(NTA)、羥乙基亞胺基二乙酸(鹽)(HIDA)、β-丙胺酸二乙酸(鹽)、天冬醯胺酸二乙酸(鹽)、甲基甘胺酸二乙酸(鹽)、亞胺基二琥珀酸(鹽)、絲胺酸二乙酸(鹽)、羥基亞胺基二琥珀酸(鹽)、二羥乙基甘胺酸(鹽)、天冬醯胺酸(鹽)、麩胺酸(鹽)等之氨基多羧酸(鹽)類；羥基乙酸(鹽)、乳酸(鹽)、酒石酸(鹽)、蘋果酸(鹽)、羥基丁酸(鹽)、甘油酸(鹽)、檸檬酸(鹽)、葡萄糖酸(鹽)、L-抗壞血酸(鹽)、異抗壞血酸(鹽)、水楊酸(鹽)、沒食子(鹽)等之羥基羧酸(鹽)類；均苯四甲酸(鹽)、苯並多羧酸(鹽)、環戊烷四羧酸(鹽)等之環羧酸(鹽)類；羥基丙二酸羧甲酯(carboxymethyltartronate)、丁二酸羧甲氧基酯、氧基二丁二酸酯(oxydisuccinate)、酒石酸單丁二酸酯、酒石酸二丁二酸酯等之醚羧酸(鹽)類；馬來酸(鹽)、富馬酸(鹽)、草酸(鹽)等之其他羧酸(鹽)類；甲基二膦酸(鹽)、胺基三亞甲基膦酸(鹽)、1-羥基亞乙基-1,1-二膦酸(鹽)、乙二胺四亞甲基膦酸(鹽)、己二胺四亞甲基膦酸(鹽)、丙二胺四亞甲基膦酸(鹽)、二乙三胺五亞甲基膦酸(鹽)、三乙四胺六亞甲基膦酸(鹽)、三胺基三乙基胺六亞甲基膦酸(鹽)、反-1,2-環己二胺四亞甲基膦酸(鹽)、二醇醚二胺四亞甲基膦酸(鹽)、四乙五胺七亞甲基膦酸(鹽)等之膦酸(鹽)類；焦磷酸(鹽)、偏磷酸(鹽)、三聚磷酸(鹽)、六偏磷酸(鹽)等之縮合磷酸(鹽)等。

上述之螯合劑可單獨一種或混合複數種以上使用。

本發明之洗淨液組成物中，基於鹼劑(A)100重量份，螯合劑(E)之使用量通常為2重量份至100重量份，5重量份至90重量份，更佳為10重量份至80重量份。若使用螯合劑(E)，則可更進一步減少鹼劑的消耗量。

添加劑(F)

本發明之洗淨液組成物可進一步選擇性加入添加劑(F)，例如：消泡劑、抗氧化劑、pH調整劑、緩衝溶劑、防腐劑、分散劑、有機溶劑等。

上述消泡劑之具體例如：聚矽氧系、高級醇系、聚醚系、脂肪酸酯系、聚乙二醇系、礦物油系及包含下述結構式(II)所表示之化合物：

在式(II)中，x表示1或2之整數，R表示下述式(III)所表示之官能基：

在式(III)中，y表示3至7之整數。

上述之結構式(II)所表示之化合物之具體例如：商品名Surfynol MD-20、Surfynol MD-30(Air Products and Chemicals公司製)。

上述之消泡劑可單獨一種或混合複數種以上使用。

上述抗氧化劑之具體例如：2,6-二-第三丁基苯酚、2-第三丁基-4-甲氧基苯酚、2,4-二甲基-6-第三丁基苯酚等之苯酚系；單辛基二苯胺、單壬基二苯胺、4,4’-二丁基二苯胺、4,4’-二戊基二苯胺、四丁基二苯胺、四己基二苯胺、α-萘胺、苯基-α-萘胺等之胺系；吩噻嗪(phenothiazine)、季戊四醇四(3-月桂基硫代丙酸酯)、雙(3,5-第三丁基-4-羥基芐基)硫醚(bis(3,5-t-butyl-4-hydroxybenzyl)sulfide)等之硫系；二亞磷酸雙(2,4-二-第三丁基苯基)季戊四醇酯、亞磷酸一苯二異葵酯、亞磷酸二苯二異辛酯、亞磷酸三苯酯等之磷系等。上述之抗氧化劑可單獨一種或混合複數種以上使用。

上述pH調整劑之具體例如：鹽酸、硫酸、硝酸、磺胺酸、磷酸等之無機酸；氫氧化鋰、氫氧化鈉、氫氧化鉀等之無機鹼等。上述之pH調整劑可單獨一種或混合複數種以上使用。

上述緩衝溶劑之具體例如：蟻酸、醋酸、琥珀酸、乳酸、蘋果酸、酪酸、順丁烯二酸、丙酮酸、丙二酸、沒食子酸等之有機酸及鹽類；磷酸、硼酸等之無機酸及其鹽類等。上述之緩衝溶劑可單獨一種或混合複數種以上使用。

上述防腐劑之具體例如：六氫-1,3,5-三(羥乙基)-s-三嗪等之三嗪(triazine)衍生物；1,2-苯並異噻唑啉-3-酮、2-甲基-4-異噻唑啉-3-酮、5-氯-2-甲基-4-異噻唑啉-3-酮等之異噻唑啉(isothiazolin)衍生物；4-(2-硝基丁基)嗎啉、4,4-(2-乙基-2-硝基三亞甲基)二嗎啉等之嗎啉衍生物；2-(4-噻唑基)苯並咪唑等之苯並咪唑(benzimidazole)衍生物等。上述之防腐劑可單獨一種或混合複數種以上使用。

上述分散劑之具體例如：羥乙基纖維素、陽離子化纖維素、羥甲基纖維素、羥丙基纖維素、瓜爾膠(guar gum)、陽離子化瓜爾膠、三仙膠(xanthan gum)、海藻酸鹽、陽離子化澱粉等之多糖類及其衍生物；植酸(phytic acid)、二(聚氧乙烯)烷基醚磷酸、三(聚氧乙烯)烷基醚磷酸等之聚乙烯醇(poval)及其磷酸酯類。上述之分散劑可單獨一種或混合複數種以上使用。

上述之有機溶劑以於20℃時對水之溶解度以3(g/100g)以上為佳，然以10以上為更佳，其具體例如：二甲基亞碸、環丁碸、3-甲基環丁碸、2,4-二甲基環丁碸等之亞碸類；二甲碸、二乙碸、雙(2-羥乙基)碸等之碸類；N,N-二甲基甲醯胺、N-甲基甲醯胺、N,N-二甲基乙醯胺、N,N-二甲基丙酼胺等之醯胺類；N-甲基-2-吡咯烷酮、N-乙基-2-吡咯烷酮、N-羥甲基-2-吡咯烷酮等之內醯胺類；β-丙內酯、β-丁內酯、γ-丁內酯、γ-戊內酯、δ-戊內酯等之內酯類；甲醇、乙醇、異丙醇等之醇類；乙二醇、乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基醚、二乙二醇、二乙二醇單甲基醚、二乙二醇單乙基醚、二乙二醇單丁基醚、二乙二醇單己基醚、二乙二醇單苯基醚、三乙二醇單甲基醚、丙二醇、丙二醇單甲基醚、二丙二醇單甲基醚、1,3-丁二醇、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇二乙基醚、三乙二醇二甲基醚、三乙二醇三乙基醚等之乙二醇及乙二醇醚類；N-甲基-2-噁唑烷酮、3,5-二甲基-2-噁唑烷酮等之噁唑烷酮(oxazolidinone)類；乙腈、丙腈、丁腈、丙烯腈、甲基丙烯腈、苯甲腈等之腈(nitrile)類；碳酸鹽類；(碳酸乙烯酯、碳酸丙烯酯等)；丙酮、二乙酮、苯乙酮、甲乙酮、環己酮、環戊酮、二丙酮醇等之酮類；四氫呋喃、四氫吡喃等之環醚類等。上述之有機溶劑可單獨一種或混合複數種以上使用。

本發明之洗淨液組成物中，基於鹼劑(A)100重量份，添加劑(F)之使用量視種類而異；抗氧化劑、緩衝溶劑、防腐劑及分散劑之使用量通常為10重量份以下，較佳為8重量份以下，更佳為5重量份以下；pH調整劑之使用量通常為90重量份以下，較佳為85重量份以下，更佳為80重量份以下；有機溶劑之使用量通常為500重量份以下，較佳為400重量份以下，更佳為300重量份以下。

本發明之洗淨液組成物在25℃時之黏度通常為1cps至20cps，較佳為1cps至15cps，更佳為1cps至10cps。當洗淨液組成物在25℃時之黏度為1cps至20cps時，則對於玻璃基板之洗淨力佳。

洗淨液組成物的製備

本發明之洗淨液組成物的製備，一般係將上述鹼劑(A)、支鏈型界面活性劑(B)、聚乙二醇化合物(C)以及水(D)，並可視需要添加螯合劑(E)以及抗氧化劑、pH調整劑、緩衝溶劑、防腐劑、分散劑、有機溶劑等添加劑(F)，於攪拌器中攪拌，使其均勻混合成溶液狀態，即可獲得洗淨液組成物。

基板之洗淨方法

本發明進一步提供一種基板之洗淨方法，該洗淨方法係使用前述所得之洗淨液組成物清洗基板；具體的洗淨手段包括但不限於浸泡法、沖淋法、刷洗法、超音波洗淨法及泡沫洗淨法等方法。其中，浸泡法係於浸泡槽內填滿洗淨液組成物，再將基板浸入洗淨液組成物內；沖淋法係將洗淨液組成物以沖淋、噴霧、噴射等方式清洗基板；刷洗法係將洗淨液組成物利用海綿、刷子等工具對基板進行清洗。

本發明之洗淨液組成物，可應用於鈉鈣玻璃、硼矽玻璃、二氧化矽玻璃及無鹼玻璃等玻璃基板的洗淨。

以下利用數個實施方式以說明本發明之應用，然其並非用以限定本發明，本發明技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾。

製備洗淨液組成物

以下係根據第1表製備實施例1至9以及比較例1至3之洗淨液組成物。

實施例1

將100重量份的氫氧化鉀(potassium hydroxide，以下簡稱A-1)、250重量份的支鏈型界面活性劑(B)SINOPOL E8008(中日合成化學製，以下簡稱B-1)、30重量份的PEG-200(以下簡稱C-1)以及2500重量份之水。上述各成份以搖動式攪拌器混合均勻，即可獲得洗淨液組成物。所得之洗淨液組成物以下列各評價方式進行評價，其結果如第1表所述，其中黏度、長效洗淨性以及鹼劑消耗性的檢測方法容後再述。

實施例2至9

同實施例1之洗淨液組成物的製作方法，不同處在於實施例2至9係改變洗淨液組成物中原料的種類及使用量，其配方以及檢測結果如第1表所示，此處不另贅述。

比較例1至3

同實施例1洗淨液組成物的製作方法，不同處在於比較例1至3所製得之洗淨液組成物並未同時使用支鏈型界面活性劑(B)及聚乙二醇化合物(C)，其配方及檢測結果亦如第1表所示。

評價方式

1.黏度：

於25℃恆溫下，使用迴轉式黏度計(型號：DVM-EⅡ；TOKI SANGYO製)，以100rpm之條件，量測前述製得之洗淨液組成物之黏度(單位：cps)。測量所得之黏度如第1表之所述。

2.長效洗淨性

將10cm x 10cm之玻璃基板浸泡於經水稀釋至1%之洗淨液組成物中，並以恆溫水槽控制在40℃，接著以30秒的浸泡時間，同時施以42KHz的超音波處理後，以純水洗淨，並使用接觸角計(型號為CA-VP150；協和界面科學製)量測玻璃基板之接觸角。重複上述步驟，待洗淨後之玻璃基板的接觸角高於8°時，根據以下基準進行評價：

○：玻璃基板之洗淨片數＞1000片

△：500片＜玻璃基板之洗淨片數≦1000片

╳：玻璃基板之洗淨片數≦500片

3.鹼劑消耗性

將實施例1至9以及比較例1至3所製得之各種洗淨液組成物以水稀釋至1%後，使用導電度計(型號為EC215；HANNA製)量測該洗淨液組成物可得一初始導電度(ρ₁ )。接著將10cm x 10cm之玻璃基板浸泡於該洗淨液組成物之中，並以恆溫水槽控制在40℃，然後以30秒的浸泡時間，同時施以42KHz的超音波處理後，以純水洗淨。重複上述洗淨步驟，待玻璃基板之洗淨片數到達500片時，使用導電度計量測洗淨液組成物可得另一導電度(ρ₂ )，並根據下式(IV)進行評價，由導電度之下降幅度可算得鹼劑消耗程度：

鹼劑消耗性(%)=[(ρ₁ -ρ₂ )/(ρ₁ )]×100　(IV)

◎：鹼劑消耗性＜10%

○：10%≦鹼劑消耗性＜15%

△：15%≦鹼劑消耗性＜40%

╳：鹼劑消耗性≦40%

前述實施例所得之洗淨液組成物，其黏度、長效洗淨性及鹼劑消耗性之評估結果如第1表所示。

由第1表之結果可知，當同時使用支鏈型界面活性劑(B)及聚乙二醇化合物(C)，所製得的洗淨液組成物具有長效洗淨性及較低的鹼劑消耗性。其次，當支鏈型界面活性劑(B)及聚乙二醇化合物(C)併用螯合劑(E)時，可獲致更低的鹼劑消耗性，故確實可達到本發明之目的。

比較例4

另外，取3重量份的辛基葡萄糖苷以及97重量份之水，以搖動式攪拌器混合均勻，即可獲得洗淨液組成物，所得之洗淨液組成物亦以上列各評價方式進行評價。以上述各評價方式進行效能評估後，所得長效洗淨性及鹼劑消耗性皆為╳。

比較例5

此外，取100重量份的氫氧化鉀、83重量份的非離子型界面活性劑(商品名Emalgen LS-110；花王製)、83重量份的對甲苯磺酸鈉(sodium p-toluenesulfonic acid)以及3900重量份之水。上述各成份以搖動式攪拌器混合均勻，即可獲得洗淨液組成物，所得之洗淨液組成物亦以上列各評價方式進行評價。以上述各評價方式進行效能評估後，所得長效洗淨性及鹼劑消耗性皆為╳。

需補充的是，本發明雖以特定的化合物、組成、反應條件、製程、分析方法或特定儀器作為例示，說明本發明之洗淨液組成物及基板之洗淨方法，惟本發明所屬技術領域中任何具有通常知識者可知，本發明並不限於此，在不脫離本發明之精神和範圍內，本發明之洗淨液組成物及基板之洗淨方法亦可使用其他的化合物、組成、反應條件、製程、分析方法或儀器進行。

雖然本發明已以實施方式揭露如上，然其並非用以限定本發明，在本發明所屬技術領域中任何具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

Claims

一種洗淨液組成物，包含：鹼劑(A)；如式(I)所示之支鏈型界面活性劑(B)；R₁ -O-(EO)_a (PO)_b -H　(I)其中R₁ 為碳數6至20的含支鏈之烷基、烯基或醯基，或碳數12至20之含支鏈烷基取代之苯基，EO為乙氧基，PO為丙氧基，a為1至20之整數，b為0至20之整數；聚乙二醇化合物(C)；以及水(D)；其中，該聚乙二醇化合物(C)之重量平均分子量為100至6000。
如申請專利範圍第1項所述之洗淨液組成物，其中，基於該鹼劑(A)為100重量份，該支鏈型界面活性劑(B)的使用量為10重量份至500重量份，該聚乙二醇化合物(C)的使用量為10重量份至500重量份，且該水(D)的使用量為500重量份至30,000重量份。
如申請專利範圍第1項所述之洗淨液組成物，更包含一螯合劑(E)。
如申請專利範圍第1項所述之洗淨液組成物，其中，基於該鹼劑(A)為100重量份，該螯合劑(E)的使用量為2重量份至100重量份。
如申請專利範圍第1項所述之洗淨液組成物，其中該洗淨液組成物之黏度為1cps至20cps。
一種清洗基板之方法，其係使用如申請專利範圍第1項至第5項中任一項所述之洗淨液組成物清洗一基板。