TWI447060B

TWI447060B - Workpiece handling equipment

Info

Publication number: TWI447060B
Application number: TW100136083A
Authority: TW
Inventors: Masayuki Nishida
Original assignee: Tokyo Weld Co Ltd
Priority date: 2011-10-05
Filing date: 2011-10-05
Publication date: 2014-08-01
Also published as: TW201315664A

Description

工件搬運裝置

本發明是關於包括有搬運平台的工件搬運裝置，特別是關於可將工件於搬運平台的工件收納孔內以穩定姿勢進行搬運的工件搬運裝置。

先前的工件搬運裝置，已知具備有平台底座，和旋轉自如配置在平台底座上，於外圍部設有複數之工件收納孔的搬運平台，及經由分離供應部連結於搬運平台的線性進料器。

線性進料器的上面由進料器罩蓋覆蓋著，分離供應部及位於分離供應部內之工件收納孔的上面由供應部罩蓋覆蓋著，再加上位於分離供應部內之工件收納孔以外的工件收納孔的上面由平台罩蓋覆蓋著。

於上述工件搬運裝置中，從線性進料器送過來的工件是經由分離供應部供應至搬運平台的工件收納孔內。

此外，進料器罩蓋的內部淨高，和供應部罩蓋的內部淨高是形成為同一高度，形成為比工件的厚度還足夠高。於該形態時，若是將平台罩蓋的內部淨高形成為比進料器罩蓋的內部淨高及供應部罩蓋的內部淨高還低時，則工件於分離供應部就需以傾斜的姿勢收納在工件收納孔，於該狀態時，當搬運平台的旋轉使工件從供應部罩蓋的下方往平台罩蓋的下方移動時，工件會抵接於該供應部罩蓋和平台罩蓋的邊界，想必會造成工件損傷。

另一方面，若是將平台罩蓋的內部淨高形成為較高與進料器罩蓋的內部淨高和供應部罩蓋的內部淨高相同時，雖然是可防止如上述之工件的損傷，但於後續步驟中，在對工件進行電性測定等檢查時會產生檢查速度降低的問題。

[先行技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2002-145445號公報

本發明是考慮到以上問題點而為的發明，目的在於提供一種以傾斜姿勢供應至搬運平台之工件收納孔內的工件不會損傷，並且於工件收納孔內能夠以穩定姿勢搬運工件的工件搬運裝置。

本發明的工件搬運裝置，其特徵為，具備有：平台底座；旋轉自如配置在平台底座上，於外圍部設有複數之工件收納孔的搬運平台；及經由分離供應部連結於搬運平台，可將工件供應至搬運平台之工件收納孔內的線性進料器，線性進料器的上面由進料器罩蓋覆蓋著，分離供應部及位於分離供應部內之工件收納孔的上面由供應部罩蓋覆蓋著，位於分離供應部內之工件收納孔以外的工件收納孔的上面由平台罩蓋覆蓋著，於平台罩蓋當中鄰接供應部罩蓋的部份，設有傾斜部的同時，傾斜部的內部淨高是從鄰接供應部罩蓋的傾斜始點，朝搬運平台的搬運方向逐漸變低至傾斜部終點，傾斜部之傾斜終點的內部淨高，是比進料器罩蓋及供應部罩蓋的內部淨高還低。

本發明的工件搬運裝置，其特徵為，平台罩蓋之傾斜始點的內部淨高是比進料器罩蓋及供應部罩蓋的內部淨高還高。

本發明的工件搬運裝置，其特徵為，進料器罩蓋及供應部罩蓋的內部淨高是彼此相同。

本發明的工件搬運裝置，其特徵為，平台罩蓋當中傾斜部以外的部份其內部淨高是和傾斜終點的內部淨高相同。

本發明的工件搬運裝置，其特徵為，工件為長方體形，位於線性進料器內之工件的前方面及後方面當中，至少從一方突出有位於和工件底面或工件上面同一面的電極。

如以上所述根據本發明時，由於在平台罩蓋當中鄰接供應部罩蓋的部份設有從傾斜始點至傾斜終點為止內部淨高逐漸變低的傾斜部，因此於該傾斜部在搬運從線性進料器經由分離供應部以傾斜姿勢往工件收納孔內供應的工件時，就能夠容易並且確實修正工件的姿勢。

[發明之最佳實施形態]

以下，是參照圖面對本發明的實施形態進行說明。

如第1圖至第23圖所示，工件搬運裝置，具備有平台底座1，和旋轉自如配置在平台底座1上，於外圍部設有複數之工件收納孔3的搬運平台2，及經由分離供應部7連結於搬運平台2，可將工件W供應至搬運平台2之工件收納孔3內的線性進料器6。其中，線性進料器6的上面由進料器罩蓋6x覆蓋著，分離供應部7及位於分離供應部7內之工件收納孔3的上面由供應部罩蓋7x覆蓋著。再加上，位於分離供應部7內之工件收納孔3以外的工件收納孔3的上面由平台罩蓋覆5蓋著。

如第1圖所示，搬運平台2由未圖示的驅動機構驅動成旋轉，於搬運平台2的外側，設有利用未圖示之振動機構形成為振動可將工件以一列狀態搬運的線性進料器6，該線性進料器6朝向搬運平台2的外緣設置成水平。線性進料器6的終端部與工件收納孔3的開口部成相向著，於線性進料器6的終端部設有上述的分離供應部7，利用該分離供應部7使工件分離成1個1個供應在工件收納孔3。此外，於搬運平台2的外圍部，沿著間歇旋轉方向(箭頭符號A)依下述順序設有第1檢查部8、第2檢查部9、排出部10。

另外，如上述，線性進料器6的上面由進料器罩蓋6x覆蓋著，分離供應部7的上面由供應部罩蓋7x覆著，此外，工件收納孔3的上面由平台罩蓋5覆蓋著。因此，從上面側無法看到工件W，但於第3圖中，是對線性進料器6及工件收納孔3內的工件W標示斜線，以透視圖加以表示。

其次，是針對工件W進行說明。工件W的立體圖如第2圖所示。工件W是由發光二極管(LED)形成，具有：長方體形狀於上面具有發光面Ws的本體Wx；及從本體Wx朝長度方向的前方及後方突出的引線端子Wa、Wb。

例如當工件W位於線性進料器6內時，引線端子Wb會從本體Wx的前方面Wd突出著，引線端子Wb的底面與本體Wx的底面一致，引線端子Wa從本體Wx的後方面Wc突出著，引線端子Wa的底面與本體Wx的底面一致。

引線端子Wa及引線端子Wb為電極，下述的探針Pa及Pb分別抵接於引線端子Wa及Wb，對工件W的電性特性進行測定。

市售之LED的例子，其本體Wx的縱長X為3mm、橫向長Y為5mm、高度Z為1mm，引線端子Wa及Wb之突出部的長度j為0.3mm、高度k為0.25mm。如第4圖所示，上述的工件W，是以發光面Ws朝上以長度方向朝向箭頭符號B的方向搬運在線性進料器6內。

第8圖中是於工件W通過的位置標示標示斜線。於線性進料器6內，線性進料器6的底板面6a利用未圖示振動機構的作用往垂直方向振動，藉此搬運工件W。位於線性進料器6終端部的分離供應部7內的底板面及工件收納孔3的底板面，都是為平台底座1的上面。

此外，如第7圖所示，線性進料器6的上面由進料器罩蓋6x覆蓋著。另外，線性進料器6的底板面6a成為進料器底座6y的上面，該進料器底座6y利用未圖示振動機構的作用，如箭頭符號V所示往垂直方向振動。再加上，如上述，位於線性進料器6終端部之分離供應部7的上面及工件收納孔3的上面由供應部罩蓋7x覆蓋著。此外，分離供應部7的底板面及收納孔3的底板面均成為平台底座1的上面1a，於分離供應部7中，在平台底座1之靠近工件收納孔3的部份，是設有可垂直方向進退自如的隔離銷12。

隔離銷12利用未圖示振動機構的作用，往箭頭符號D及E所示的方向進退。於接近搬平台2中心側之成為工件收納孔3底板面的平台底座1及上面的供應部罩蓋7x，是設有工件檢測部13a及13b。

工件檢測部13a是朝工件收納孔3內，從未圖示之光源發出光，由工件檢測部13b檢測出該光。如此一來，就能夠檢測出工件收納孔3內是否收納有工件W。

此外，於分離供應部7中，在搬運平台2之下面的平台底座1，是設有連通於未圖示之真空源的真空通道11。真空通道11是經過搬運平台2連通於設置在工件收納孔3壁面的吸引孔11a，工件收納孔3內的工件W是由真空源的作用往箭頭符號C的方向吸收保持著。

接著工件收納孔3的立體圖如第6(a)、(b)圖所示。第6(a)圖為表示未收納有工件W時的狀態圖，當工件收納孔3停止在分離供應部7時，是從吸引孔11a朝箭頭符號C進行真空吸引。第6(b)圖為表示於分離供應部7收納有工件W時的狀態圖。工件W是以長度方向即突出有引線端子Wb的方向朝搬運平台2的中心方向由真空吸引著。

在線性進料器6內搬運工件W的情況如第5圖所示。工件W是以引線端子Wa及Wb為下側形成一列配置在線性進料器底板面6a，由進料器底座6y之箭頭符號V方向的振動朝箭頭符號B方向搬運。

此時，箭頭符號V方向的振動會造成工件W從進料器底座6y的上面6a朝進料器罩蓋6x的下面6b跳躍，因此從線性進料器的底板面(進料器底座6y的上面6a)至進料器罩蓋6x的下面6b為止之進料器罩蓋6x的內部淨高，是設定成要比工件的高度Z加有跳躍最大高度之後獲得的值還稍微大的值h₁ 。

為了加快工件W的搬運速度需要加大振動的振幅，但振幅變大則工件跳躍的最大高度也會變大。因此，搬運速度變快相對地進料器罩蓋6x的內部淨高h₁ 也要變高。其一例，如第2圖所示為了將高度Z=1mm的工件W以每分鐘900個的速度搬運收納在工件收納孔3內時，進料器罩蓋6x的內部淨高h₁ 就需設定成1.4mm。

第7圖中，平台底座1沒有振動，但工件W是由進料器底座6y的振動造成邊跳躍的同時邊從進料器6移載至分離供應部7。因此，供應部罩蓋7x的下面7a₁ ，就需和進料器罩蓋6x的下面6b位於同一水平面上。

另一方面，搬運平台2的厚度即工件收納孔3的高度u，是形成為比第2圖之工件W的高度Z還稍微大的值。其一例，上述的高度Z=1mm的工件W收納用的工件收納孔3的高度u為1.1mm。於此，供應部罩蓋7x是覆蓋著搬運平台2其一部份的上面2a，但因需極力抑制工件收納孔3內之作用在工件W的真空吸引外漏，供應部罩蓋7x的下面7a₂ 和搬運平台2的上面2a之間隙，是設定成極小。其一例，當如上述之工件收納孔3的高度(搬運平台2的厚度)u為1.1mm時，從平台底座1的上面1a至供應部罩蓋7x的下面7a₂ 為止的內部淨高h₂ 就需設定成1.2mm。即，在供應部罩蓋7x的下面7a₂ 和7a₁ 之間有段差。

如上述，分離供應部7及位於分離供應部7內的工件收納孔3是由供應部罩蓋7x覆蓋著。此外，位於分離供應部7內的工件收納孔3以外之工件收納孔3的上面是由平台罩蓋5覆蓋著，平台罩蓋5的下面5a是和位於供應部罩蓋7x之最低下面的下面7a₂ 位於同一水平面上。即，從平台底座1的上面1a至平台罩蓋5的下面5a為止的內部淨高就是h₂ 。

於此，進料器罩蓋6x的內部淨高，如上述是指從進料器底座6y的上面6a至進料器罩蓋6x的下面6b為止的高度，供應部罩蓋7x的內部淨高是指從平台底座1的上面1a至供應部罩蓋7x的下面7a₁ 為止的高度，平台罩蓋5的內部淨高是指從平台底座1的上面1a至平台罩蓋5的下面5a為止的高度。

不過，如第9圖至第14圖所示，平台罩蓋5當中，在鄰接供應部罩蓋7x的部份，於平台罩蓋5內面設有形成為傾斜的傾斜部5b。於該形態，平台罩蓋5的內部淨高是於該傾斜部5b逐漸變低。

即，平台罩蓋5的內部淨高是於傾斜部5b從鄰接供應部罩蓋7x的傾斜始點P朝搬運平台2的搬運方向逐漸變低至傾斜部終點Q，平台罩蓋5之傾斜終點Q的內部淨高，是和傾斜部5b以外之平台罩蓋5的內部淨高一致。

此外，傾斜部5b的傾斜形狀，如第9圖所示，於平台罩蓋5鄰接供應部罩蓋7x的傾斜始點P，是形成為平台罩蓋5的內部淨高即從平台底座1的上面1a至傾斜始點P為止的高度h_p 為供應部罩蓋7x的內部淨高h₁ 以上，該平台罩蓋5的內部淨高從傾斜始點P沿著搬運平台2的旋轉方向(箭頭符號A)逐漸變低，於傾斜終點Q該平台罩蓋5的高度，如上述是和平台罩蓋5之傾斜部5b以外的內部淨高h₂ 一致。

其次，是針對由上述構成形成之本實施形態的作用使用第15圖至第23圖進行說明。第15圖中，工件W1是收納在分離供應部7內停止的工件收納器3，由來自於真空通道11之箭頭符號C方向的真空吸引吸附著。此時，工件W1之後續的工件W2，又其後續的工件W3是由進料器底座6y之箭頭符號V方向的振動往箭頭符號B的方向搬運，因此工件W2雖然被推往箭頭符號B的方向，但工件2於分離供應部7內是由突出在工件收納孔3近邊的隔離銷12阻止成停止著。

此時，從工件檢測部13a朝工件收納孔3內發出的光會被工件W1遮住，所以工件檢測部13b就檢測不到光線，因此就檢測出工件收納孔3內收納有工件W1。接著，該檢測訊號是會被送訊至未圖示的控制部，控制部會使搬運平台2間歇旋轉搬運工件W。

該搬運的情況如第16圖所示。第16圖中，於第15圖中工件收納孔3停止的位置，抵達有搬運平台2之沒有工件收納孔3的外圍部。

如上述當搬運平台2間歇旋轉時，如第17圖所示，空的工件收納孔3會抵達停止在分離供應部7內。如此一來，經由控制部的作用，隔離銷12就會朝箭頭符號D的方向移動成退出。接著，如第18圖所示，由隔離銷12阻止成停止的工件W2，就會由箭頭符號C的真空吸引力作用，使其朝工件收納孔3往箭頭符號B的方向移動。與此同時後續的工件W3，會隨著進料器底座6y朝箭頭符號V方向振動將後續的工件W4往箭頭符號B方向搬運的同時，受到工件W4的推壓而到達分離供應部7內。

於第17圖及第18圖中，從工件檢測部13a朝工件收納孔3內發出的光是由工件檢測部13b檢測，因此工件檢測部13b是可檢測出工件收納孔3內是否空著。接著，如第19圖所示，當工件W2收納在工件收納孔3內時，從工件檢測部13a朝工件收納孔3內發出的光會被工件W2遮住，因此工件檢測部13b就檢測出工件收納孔3內收納有工件W2。接著，該檢測訊號會被送至控制部，經由控制部的作用，隔離銷12就會朝箭頭符號E的方向移動成前進，如第20圖所示阻止工件W3。於該時間點，工件W2是完全收納在工件收納孔3內，形成為和第15圖相同的狀態。

在第16圖的狀態下，將工件W搬運的情況以第1圖之G-G’剖線進行剖面時的剖面圖是圖示在第21圖。在經由搬運平台2間歇旋轉搬運的工件W，是作用著旋轉造成的離心力。此時，如第21圖所示，工件W是在被推向平台罩蓋5的內壁5x狀態下搬運，因此工件W就不會從工件收納孔3飛出外側。此外，如上述，從平台底座1的上面1a至平台罩蓋5的下面5a為止的內部淨高，是比搬運平台2的厚度u還稍微大的h₂ 。

第1圖中工件W到達第1檢查部8的情況以H-H’剖線進行剖面時的剖面圖是圖示在第22圖及第23圖。如第22圖所示，第1檢查部8具備有搬運平台2之外側及上部覆蓋用的第1檢查部罩蓋81。第1檢查部罩蓋81的內壁81x，是和第21圖所示之平台罩蓋5的內壁5x位於同一平面，第1檢查部罩蓋81的下面81a是和第21圖所示之平台罩蓋5的下面5a位於同一水平面上。即，從平台底座1的上面1a至第1檢查部罩蓋81的下面81a為止的內部淨高，是比搬運平台2的厚度u還稍微大的h₂ 。接著，如第21圖所示，搬運平台2的旋轉中當被推向平台罩蓋5的內壁5x搬運過來的工件W到達第1檢查部8，搬運平台2就會停止，此時如第22圖所示，工件W就會形成為接觸到第1檢查部罩蓋81之內壁81x的狀態。

此時，於引線端子Wa及Wb之正下方位置的平台底座1內，設有垂直方向進退自如的探針Pa及Pb，利用未圖示控制部的作用，使探針Pa及Pb朝引線端子Wa及Wb前進。接著，如第23圖所示，探針Pa及Pb是以抵接著引線端子Wa及Wb的狀態將工件W往上推，使工件W的上面成為抵接在第1檢查部罩蓋81之下面81a的狀態後就停止往上推。探針Pa及Pb是連接於未圖示的測定器，對工件W的電性特性進行測定之後，探針Pa及Pb就退出成為第22圖的狀態。接著，利用控制部的作用使搬運平台2間歇旋轉搬運工件W。

當工件W到達第1圖所示第2檢查部9時，對工件W實施與第1檢查部8不同檢查項目的檢查。檢查項目有時是使用與第1檢查部8相同的探針進行電性特性檢查，有時是使用照相機等攝影手段進行外觀檢查。經第2檢查部9之檢查結束後的工件W會到達排出部10，經由未圖示排出手段從工件收納孔3排出。

其次，根據第9圖至第14圖針對從線性進料器6經由分離供應部7供應至搬運平台2之工件收納孔3內的工件W的舉動進行詳細說明。

工件W2，於第7圖中被真空吸引往箭頭符號C方向時，有時會以後方面Wc的上邊W_L 抵接在供應部罩蓋7x之下面7a₁ 的狀態收納在工件收納孔3內(參照第35圖)。於該狀態下，從第10圖的狀態，利用控制部的作用使搬運平台2開始朝箭頭符號A方向間歇旋轉時就會成為第11圖的狀態。於該狀態下又使搬運平台2持續旋轉時，如第12圖所示，工件W2就會移動至平台罩蓋5的下方。此時，於平台罩蓋5是設有傾斜部5b，再加上，如上述，傾斜部5b其鄰接於供應部罩蓋7x的位置，即傾斜部5b之傾斜始點P的高度為供應部罩蓋7x的下面7a₁ 以上，因此工件W2之後方面Wc的上邊W_L ，是會隨著搬運平台2的旋轉從供應部罩蓋7x的下面7a₁ 順暢轉移至傾斜部5b，成為抵接於傾斜部5b的狀態。

接著，利用傾斜部5b的作用，工件W2其後方面Wc的上邊W_L 會如第13圖所示其高度逐漸變低，到達傾斜部5b的傾斜終點Q。然後如第14圖所示，於已經沒有傾斜部5b的平台罩蓋5下方，工件W2的姿勢已經被修正，工件W2是被收納成水平狀態。此時，如第12圖所示於工件W2從供應部罩蓋7x下方移動至平台罩蓋5下方的狀態下，工件W2是會離開如第7圖所示的吸引孔11a，因此第7圖之箭頭符號C方向的真空吸引力其對工件W2的影響力就會急遽減少。基於此，要將工件W2之後方面Wc的上邊W_L 往上方彈推的力就會減少，傾斜部5b的作用就能夠容易使工件W2其後方面Wc之上邊W_L 的高度變低。

接著，被搬入至傾斜部5b以外之具有較低內部淨高h₂ 的平台罩蓋5之部份下方的工件W2，是直接到達第1圖的第1檢查部8，如第22圖及第23圖所示，由探針Pa及Pb抵接於引線端子Wa及Wb進行工件W2的電性特性檢查。此時第1檢查部罩蓋81的內部淨高，是比供應部罩蓋7x之內部淨高h₁ 還低的h₂ ，因此如下述說明檢查速度並不會降低。

根據本實施形態時，於平台罩蓋5的傾斜部5b，能夠容易並且修正於分離供應部7以傾斜姿勢供應至工件收納孔3內的工件W的姿勢，此外於第1檢查部8及第2檢查部9還能夠迅速執行工件W的檢查。

於以上的說明中，如第1檢查部8、第2檢查部9所示設有2個檢查部，又設有排出部10，但檢查部的數並不限於2個。

此外，也可取代排出部10設有插入部使工件插入在輸送帶的凹部，或設有分類排出部可根據檢查結果將工件特性分類成幾種等級使工件分類排出至各等級所對應的容器。

其次，針對本發明的比較例是根據第24圖至第40圖進行以下說明。

以下的比較例，如第38圖至第40圖所示，位於分離供應部7內之工件收納孔3以外的工件收納孔3的上面，是由不具有傾斜部的平台罩蓋50覆蓋著，於該形態時，平台罩蓋50是設置成鄰接於分離供應部7的供應部罩蓋7x。

如第15圖所示，當工件W1是水平收納在工件收納孔3內時，如第24圖至第27圖所示利用搬運平台2的間歇旋轉，是能夠毫無問題地搬運工件收納孔3內的工件W1。即，第15圖其從箭頭符號L方向看的透視圖即第24圖中，工件收納孔3內是收納著工件W1，該狀態由工件檢測部13a及13b檢測出。該檢測資訊會送至控制部，控制部會如第25圖所示，使搬運平台2朝箭頭符號A方向間歇旋轉搬運工件W1。接著如第26圖所示，空的工件收納孔3會到達分離供應部7，如第27圖所示當搬運平台2停止時，根據控制部的作用，阻止著工件W2的隔離銷12會朝箭頭符號D方向退出，工件W2於第15圖中會根據箭頭符號C所示之真空吸引的作用收納在工件收納孔3內(第17圖及第18圖)。

於此，在長度方向具有引線端子Wa及Wb的工件W利用振動朝長度方向搬運在線性進料器6內時，於振動時工件W會朝垂直方向跳躍，因此有時就會造成鄰接之工件W的引線端子Wa、Wb彼此重疊。其一例如第28圖及第29圖所示。第28圖表示先行之工件W的引線端子Wa重疊在後續之工件W的引線端子Wb上的狀態，第29圖表示先行之工件W的引線端子Wa上重疊有後續之工件W的引線端子Wb的狀態。接著，針對當中以第28圖的狀態到達分離供應部7的工件W的動作，使用第30圖至第35圖進行說明。

第30圖為對應第15圖的圖面，圖示著由隔離銷12阻止成停止之工件W2的引線端子W2a重疊在後續之工件W3的引線端子的狀態。於該狀態下如對應第16圖的第31圖所示，搬運平台2會間歇旋轉，如對應第17圖的第32圖所示，空的工件收納孔3會到達且停止在分離供應部7內。此時，根據控制部的作用，隔離銷12會朝箭頭符號D方向移動成退出。

接著，如對應第18圖的第33圖所示，由隔離銷12阻止成停止之工件W2，是會根據箭頭符號C之真空吸引力的作用，朝向工件收納孔3往箭符號B的方移動。此時，工件W2是以其移動方向的前方面Wd側的引線端子W2b接觸平台底座1的上面1a，後方面Wc側的引線端子W2a離開平台底座1之上面1a的狀態開始移動。接著，根據重力的作用，前方面Wd側的引線端子W2b和後方面Wc側的引線端子W2a有時會交替接觸平台底座1的上面1a使工件W2邊跳躍邊收納在工件收納孔3內。

即，從第33圖的狀態成為如第34圖所示的狀態，即，工件W之後方面Wc側的引線端子W2a一旦接觸平台底座1之上面1a的同時，前方面Wd側的引線端子W2b就會離開平台底座1之上面1a。其次如第35圖所示，再度以工件W之前方面Wd側的引線端子W2b接觸平台底座1之上面1a，後方面Wc側的引線端子W2a離開平台底座1之上面1a的狀態，使工件W2收納在工件收納孔3內。

此時，對工件收納孔3之來自於吸引孔11a的真空吸引，會從平台底座1的斜下方朝向箭頭符號C執行真空吸引，因此工件W2之前方面Wd側的引線端子W2b就會被吸引往斜下方，使工件W2之後方面Wc的上邊W_L 被彈推往上方。基於此，工件W2的姿勢，就會被固定成異常的姿勢：其前方面Wd側的引線端子W2b接觸在平台底座1的上面1a，其後方面Wc的上邊W_L 抵接在供應部罩蓋7x的下面7a₁ 。該狀態之第35圖箭頭符號L方向看的透視圖如第36圖所示。第36圖中，工件W2之後方面Wc的上邊W_L 抵接著供應部罩蓋7x的下面7a₁ 。於該狀態下當搬運平台2開始間歇旋轉時，就會成為第37圖的狀態。於第37圖中，收納有工件W2的工件收納孔3由供應部罩蓋7x覆蓋著，來自於第35圖所示之真空通道11的真空吸引會使工件W2被吸引往真空通道11側。因此，是在工件W2的姿勢為第36圖的狀態下，即，是在工件W2之後方面Wc的上邊W_L 抵接著供應部罩蓋7x的下面7a₁ 之狀態下，搬運平台2朝箭頭符號A方向間歇旋轉。

於該形態時，是沿著搬運平台2的旋轉方向(第37圖的箭頭符號A)鄰接供應部罩蓋7x設有平台罩蓋50，如上述，相對於平台底座1之上面1a至供應部罩蓋7x之下面7a₁ 為止的內部淨高h₁ ，平台底座1之上面1a至平台罩蓋50之下面50a為止的內部淨高h₂ 是形成為較低。

因此，第37圖中，工件收納孔3內的工件W2，是會碰撞到供應部罩蓋7x和平台罩蓋50的邊界面50x，導致工件W2或工件收納孔3損傷。

為了防止上述損傷，是需要將平台罩蓋50之下面50a抬高成與供應部罩蓋7x之下面7a₁ 為同一水平面上，因此也可慮是否將平台底座1之上面1a至平台罩蓋50之下面50a為止的內部淨高形成為和平台底座1之上面1a至供應部罩蓋7x之下面7a₁ 為止的內部淨高h₁ 相同。

然而，於該形態時平台底座1之上面1a至平台罩蓋50之下面50a為止的內部淨高是會形成為比h₂ 高的h₁ 。同樣地，平台底座1之上面1a至第22圖及第23圖所示之第1檢查部8的第1檢查部罩蓋81之下面81a為止的內部淨高也會改變成比h₂ 高的h₁ 。

此時，於第1檢查部8，當探針Pa及Pb朝工件W的引線端子Wa及Wb前進，使工件W抵接於第1檢查部罩蓋81的下面81a對工件W檢查電性特性，接著探針Pa及Pb退出時，探針Pa及Pb前進及退出所需的時間會變長(參照第22圖及第23圖)。即，檢查速度會降低，工件W每單位時間的檢查數量會減少。

其一例，當上述之第2圖的工件W高度Z=1.0mm時，若內部淨高h₂ =1.2mm、內部淨高h₁ =1.4mm，則對應部淨高h₂ 、h₁ 的所需時間是分別為5ms及8ms。如上述，內部淨高從h₂ 變高成h₁ 時所需時間會增加3ms，基於此是工件W每分鐘的檢查數量例如會減少40個。此意味著，即使以每分鐘900個的速度搬運高度Z=1.0mm的工件W，但每分鐘的檢查數量會減少40個。近年來，工件W的搬運及檢查有高速化要求的趨勢，如上述之檢查數量的減少勢必成為功能降低的問題。

相對於此根據本發明時，於平台罩蓋5的傾斜部5b是能夠容易並且確實修正從分離供應部7供應至工件收納孔3內之工件W的姿勢。此外，平台罩蓋5當中傾斜部5b以外之部份的內部高度h₂ ，是形成為比進料器罩蓋6x及供應部罩蓋7x的內部淨高h₁ 還低，因此至第1檢查部罩蓋81之下面81a為止的內部淨高h₂ 也是較低。基於此，於第1檢查部8就能夠縮短探針Pa及Pb前進及退出所需的時間，不會降低工件W的檢查速度。

1‧‧‧平台底座

1a‧‧‧平台底座的上面

2‧‧‧搬運平台

3‧‧‧工件收納孔

5‧‧‧平台罩蓋

5a‧‧‧平台罩蓋的下面

5b‧‧‧傾斜部

6‧‧‧線性進料器

6x‧‧‧進料器罩蓋

6y‧‧‧進料器底座

7‧‧‧分離供應部

7x‧‧‧供應部罩蓋

7a₁ 、7a₂ ‧‧‧供應部罩蓋的下面

8‧‧‧第1檢查部

81‧‧‧第1檢查部罩蓋

9‧‧‧第2檢查部

10‧‧‧排出部

11‧‧‧真空通道

11a‧‧‧吸引孔

12‧‧‧隔離銷

13a、13b‧‧‧工件檢測部

A‧‧‧間歇旋轉方向

W‧‧‧工件

P‧‧‧傾斜始點

Q‧‧‧傾斜終點

h₁ ‧‧‧進料器的內部淨高

h₂ ‧‧‧從平台底座的上面至傾斜終點為止的高度

h_p ‧‧‧從平台底座的上面至傾斜始點為止的高度

第1圖為應用本發明之後的工件搬運裝置平面。

第2圖為表示工件的立體圖。

第3圖為第1圖所示區域S1的放大圖。

第4圖為第3圖所示區域S2的放大透視圖。

第5圖為第3圖M方向看的透視圖。

第6(a)、(b)圖為表示工件收納孔的立體圖。

第7圖為第8圖F-F’剖線剖面圖。

第8圖為第3圖所示區域S3的放大圖。

第9圖為第8圖L方向看的透視圖。

第10圖為與第9圖相同方向看時本發明之工件搬運裝置的動作說明圖。

第11圖為與第9圖相同方向看時本發明之工件搬運裝置的動作說明圖。

第12圖為與第9圖相同方向看時本發明之工件搬運裝置的動作說明圖。

第13圖為與第9圖相同方向看時本發明之工件搬運裝置的動作說明圖。

第14圖為與第9圖相同方向看時本發明之工件搬運裝置的動作說明圖。

第15圖為與第7圖相同方向看時本發明之工件搬運裝置的動作說明圖。

第16圖為與第7圖相同方向看時本發明之工件搬運裝置的動作說明圖。

第17圖為與第7圖相同方向看時本發明之工件搬運裝置的動作說明圖。

第18圖為與第7圖相同方向看時本發明之工件搬運裝置的動作說明圖。

第19圖為與第7圖相同方向看時本發明之工件搬運裝置的動作說明圖。

第20圖為與第7圖相同方向看時本發明之工件搬運裝置的動作說明圖。

第21圖為第1圖G-G’剖線剖面圖。

第22圖為第1圖H-H’剖線剖面圖其表示第1檢查部的作用。

第23圖為第1圖H-H’剖線剖面圖其表示第1檢查部的作用。

第24圖為與第9圖相同方向看時比較例之工件搬運裝置的動作說明圖。

第25圖為與第9圖相同方向看時比較例之工件搬運裝置的動作說明圖。

第26圖為與第9圖相同方向看時比較例之工件搬運裝置的動作說明圖。

第27圖為與第9圖相同方向看時比較例之工件搬運裝置的動作說明圖。

第28圖為與第5圖相同方向看時比較例之工件搬運裝置的動作說明圖。

第29圖為與第5圖相同方向看時比較例之工件搬運裝置的動作說明圖。

第30圖為與第7圖相同方向看時比較例之工件搬運裝置的動作說明圖。

第31圖為與第7圖相同方向看時比較例之工件搬運裝置的動作說明圖。

第32圖為與第7圖相同方向看時比較例之工件搬運裝置的動作說明圖。

第33圖為與第7圖相同方向看時比較例之工件搬運裝置的動作說明圖。

第34圖為與第7圖相同方向看時比較例之工件搬運裝置的動作說明圖。

第35圖為與第7圖相同方向看時比較例之工件搬運裝置的動作說明圖。

第36圖為與第9圖相同方向看時比較例之工件搬運裝置的動作說明圖。

第37圖為與第9圖相同方向看時比較例之工件搬運裝置的動作說明圖。

第38圖為比較例之工件搬運裝置的放大平面圖。

第39圖為第38圖所示區域S3的放大圖。

第40圖為第39圖L方向看的透視圖。