九、發明説明： 【發明所眉之技術領域】 本發明關於一種用於檢測微小電子元件的不合格或正 常與否而進行分類的電子元件雙軌檢測設備及方法，尤其 是大幅提高在同一時間内可檢測到的電子元件之數量，從 而提高作業效率的電子元件雙軌檢測設備及方法。 【先前技術】 第一圖是用於說明一般電子元件檢測設備的流程圖， 第二圖是完成第—圖流程圖構成的電子元件檢測設備之示 意圖。 第一圖才口弟 〜叫，Ν、、Ό /Γ冉休用灰 4 CTJ 你狐 tf'j 一 個檢測設備’為了有助於理解’同時顯示該流程圖形式之 第一圖和以示意圖形式之第二圖。 第-圖以及第二圖所顯示的電子元件檢測設備包括： 儲料器用於儲存諸多已成型的電子元件丨，以便、〆 檢測；送料裝置20，透過振動作用移動由該儲料器 姶的電子元件1 ;線性送料裝置30，其具有固定的 供 以便依次供給由該送料裝置20供給的電子元件度’ 4〇 ’其由玻璃板構成，以便更加容易地檢測由該=轉骏I 裝置30供給的電子元件；校正裝置50，用於將電性送带 排列成一列’以便針對隨該旋轉裝置40旋轉的電元件 行正確的檢測；拍攝（照相機）裝置60，用於抬元件i 止裝置50調整的電子元件的各面形狀；編碼器 由蟑幸 、’’、、° 〇 ’ 用於 1338129 確定由該拍攝裝置60拍攝的電子元件之位置資訊；微型機 80,用於輸入由該拍攝裝置60拍攝的影像信號及用以確認 電子元件1的數量而進行檢測的計數感測器71及編碼器 70等之信號，並進行處理及控制；控制裝置90，根據該微 型機80的信號輸出控制信號，且在規定的位置具有顯示部 (例如，觸摸式面板等），以便確認電子元件的合格品及不 合格品之數量；及兩個噴嘴91、92,用於喷射壓縮空氣， 以便根據該控制裝置90之信號，分類排出電子元件的合格 品及不合格品。如第2圖所示，噴嘴91、92由連接管連接， 從而空氣可以流入喷嘴，且雖然未見於圖示，在喷嘴91、 92的另一側連接管之終端連接有閥門。於此，通過閥門的 開/關，空氣沿著連接管流入，且通過喷嘴91、92喷射。 這樣，由於壓縮空氣從閥門經由連接管直到通過噴嘴91、 92喷射有移動距離，所以消耗時間。 但是，如上面所述的現有電子元件檢測設備在同一時 間内可檢測的電子元件的數量是有限的。 【發明内容】 為了解決該問題而提出本發明，本發明的目的在於提 供一種將兩個電子元件為一組，對兩個電子元件分別進行 從線性送料裝置到拍攝裝置之處理，從而提高在同一時間 内可檢測的電子元件之數量，從而提高作業效率的電子元 件雙軌檢測設備及方法。 為了實現該目的，本發明提供一種用於檢測電子元件 7 1338129 =設備’其特徵在於，包括：送料裝置，透過振動 儲料器供給的電子元件’該儲料器中存儲 =電子元件’以便進行檢測；兩一上的線性送料裝置的 ，、具有指定的長度幻目鄰設置，以便依次供給由該送料裝 置供給的電子元件；旋轉裝置，具有®軸璃板，將由各 該線性送料心供給的電子元件放在其上面，以設置兩個 以上的軌道；校正裝置，具有一次校正器，該一次校正器 具有引導該電子元件的通道，以便將放在該玻璃板上的電 子元件成一列地整理在用於檢測的各個轨道上；拍攝裝 置’用於拍攝整理在各個執道中的電子元件之各個面形 狀；以及分類裝置，在被檢測完的電子元件中，將位於最 外側軌道中的電子元件分為合格品及不合檢品，之後，將 位於下一外側執道中的電子元件分為合格品及不合格品。 於此’下一個外側執道是指緊鄰該最外側執道的内侧軌道 並且’根據本發明之該檢測設備的特徵在於，進一步 包括：編碼器，用於確認由該拍攝裝置拍攝的電子元件之 位置資訊；微型機，用於輸入由該拍攝裝#拍攝的影像信 號及用於確認該電子元件的數量而進行檢泗的計數器感測 器及該編碼器等的信號，並進行處理以及控制；控制裝置 ’根據該微型機的信號輸出控制信號，且具有顯示器部’ 以便可以確認該電子元件的合格品、不合挎品或再檢測品 的數量；以分類裝置，根據該控制裝置的信號，將該電子 元件分為合格品、不合格品或再檢測品。 1338129 該校正裝置還包括二次校正器，用於再次整理通過該 一次校正器整理的位於軌道申的電子元件中之由於該玻璃 板的離心力而偏離軌道的電子元件。 沿該旋轉裝置的旋轉方向相隔固定的距離分別設置該 拍攝裝置，以便拍攝該電子元件的6個面（左、右、前、 後、上、下），該拍攝裝置形成有：第一側面照相機，用於 拍攝該電子元件的左側面；第二側面照相機，用於拍攝該 電子元件的右側面；後方照相機，用於拍攝該電子元件的 w 後面；底部照相機，用於拍攝該電子元件的底面；頂部照 相機，用於拍攝該電子元件的頂部；以及前方照相機，用 於拍攝該電子元件的前面；並且，在每個該照相機中分別 形成有具有照明性能的鹵素電燈，以正確地拍攝該電子元 件，且在與該照相機相對的部分分別形成反射鏡，以便容 易地拍攝該電子元件的各個面。 此外，本發明的電子元件檢測方法的特徵在於包括： φ 透過裝有電子元件的儲料器將電子元件供給送料裝置之步 驟；利用振動作用，將通過該送料裝置供給的電子元件分 別供給兩個以上的線性送料裝置，之後，於旋轉的玻璃板 上的執道中依次供給該電子元件的步驟；利用照相機分別 拍攝供給到該對應執道的電子元件的各個面，由接收所拍 '攝的影像信號的微型機檢測是合格品或不合格品的步驟； 對結束該檢測的電子元件中的位於最外側軌道中的電子元 件進行合格品及不合格品分類的步驟；以及在結束該最外 侧軌道中的電子元件的合格品及不合格品分類之後，對位 9 於下一個外側執道中的電子元件進行合格品及不合格品分 類的步驟。於此，τ一個外侧軌道是指緊鄰該最外側執道 的内側軌道。 並且，本發明的該電子元件檢測方法進一步包括，於 破璃板上的對應軌道依次供給（設置）該電子元件之後， 利用指定的校正裝置進行整理，使該電子元件分別位於玻 璃板上正軌道中的，驟。 此外，本發明的該電子元件檢測方法還包括：所檢測 的電子元件為不合格品時，透過觸發感測器和編碼器正確 地確3忍該不合格品位置的步驟；將該確認的位置資訊資料 傳輸給微型機之後，透過該微型機向控制裝置輸送信號的 步驟’以及根據該控制裝置輸出的信號，向對應的排出桶 排出電子元件的步驟。 因此，本發明提供該的電子元件雙軌檢測設備及方法 ，從而與現有的電子元件檢測方式相比，同—時間内可以 檢測更多的電子元件，提高了作業效率。 【實施方式】 以下參”，、附圖詳細說明根據本發明的較佳具體實施 說明附圖之前，首先說明現有電
拍攝裴置及分類裝置 f先說明㉟有電子元件檢測設備和根 T 久工市成一個軌道， 1338129 等皆為一個，以此進行位於該軌道令的電子元件的供給、 校正、檢測及分類。 相反地，在本發明中，在玻璃板上形成兩個以上的軌 道，較佳係形成兩個軌道，且該軌道的數量相對應，將該 線性送料裝置、校正裝置、拍攝裝置、分類裝置等設置為 兩個，因此對位於該兩個執道中的每個電子元件進行檢 測。因此，相同時間内的電子元件檢測效率可以加倍提高。 如上述，在本發明117，在玻璃板上形成内側軌道a和 # 外側執道b等兩條軌道。 因此，在本說明書中，與位於内側執道a中的電子元 件2相關的設備的標號表示為：線性送料裝置為212、通 道為237、二次校正器是238、作為拍攝裝置的照相機是 241〜246 。 此外，與位於外側軌道b上的電子元件2’相關的設 備的標號表示為：線性送料裝置是212’ 、通道是237’ 、 φ 二次校正器是238’ 、作為拍攝裝置的照相機是241’〜 246，。 第三圖是用於說明根據本發明實施例的電子元件雙軌 檢測設備的流程圖，第四圖是用於說明根據本發明實施例 的電子元件雙軌檢測設備的示意圖。 如上所述，本發明的特徵在於在玻璃板上形成兩個以 上的軌道，且具有與軌道的數量相同的線性送料裝置、校 正裝置、拍攝裝置、分類裝置等，但是，在本說明書中主 要說明具有兩個上述裝置以及軌道的情況。 11 1338129 並且，上述的“雙軌”並不只表示 以上 兩個，還包括兩個 如第三圖以及第四圖所示，根據本發明的電子一 軌檢測設備是用於檢測設置於半導體裝備咬者電几雙 前完成的電子元件的設備。 ’4械之 雙軌電子元件檢測設備大致包括送料裝置2ι〇、線性 送料裝置212、121，、旋轉裝置220、校正裝置23〇、23〇，、 拍攝裝置240、240’、分類裝置250、25〇，、編碼器26〇 及微型機270。 如面所述’本發明中的該等線性送料裝置212、212，、 校正裝置230、230’ 、拍攝裝置240、240，、分類裝置 250、250等都设置成兩個，對兩個電子元件分別進行既 定操作（例如’供給、校正、拍攝、分類等）。 該送料裝置210透過振動作用移動該電子元件2、 2’ ’該等電子元件是由儲料器（未於圖中示）供給，為了 檢測該等電子元件2、2’ ，儲料器中裝有大量的電子元件 2、2， 〇 設置兩個以上（較佳為兩個）的該等線性送料裝置 212、212’ ，透過每個線性送料裝置將電子元件2、2，依 次放在具有玻璃板222的旋轉裝置22〇上（更加詳細地說 是玻璃板上的軌道中）。 該等線性送料裝置212、212，具有調整成符合電子元 件2、2’尺寸的線形槽，其一端與該送料裝置21〇連接， 另一端位於該玻璃板222上。 1338129 在該玻璃板222上相隔一定距離放置有由該等線性送 料裝置212、212’供給的電子元件2、2，。也就是說，電 子元件2透過第一線性送料裝置212依次放在玻璃板222 上的内側軌道a中，電子元件2’透過第二線性送料裝置 212 依次放在玻璃板222上的外侧執道b中。 該玻璃板222是具有圓形形狀的板，透過如同步進電 動機（未於圖中顯示）等旋轉裝置旋轉。該等電子元件2、 鲁 2 分別設置在形成於該玻璃板222上的軌道a、b中，且 透過該旋轉裝置旋轉。 校正裳置230、230是為了拍攝（檢測）該電子元件 2、2 ’將電子元件2、2’於各自的軌道a、b整理的裝 置。 該等校正裝置230、230，包括一次校正器232和二次 校正器238、238 。即，第一校正裝置230由一次校正器 232和二次校正器238所構成，第二校正裝置23〇，是由一 # 次校正器232和二次校正器238，所構成。 該等電子元件2、2，經由該一次校正器232及二次校 正器238、238’ ，在該玻璃板222上對應的軌道中進行細 微地調整。 進一步詳細地觀察該等校正裝置230、230，，則一次 校正器232設置在鄰接於該線性送料裝置212另一端的位 置上。該一次校正器232包括内側引導件234、外側引導 件234’以及用於形成兩個通道237、237’而形成在内側 引導件234及外側引導件234，間之固定引導件235。並 13 丄幻8129 ，該-人&正$ 232還包括固定支持該等引導件234、 234 、235之框架（未於圖中顯示）。 口此4等電子7C件2、2’在經由該内側引導件234、 固定引導件235以及外·導件234，㈣成的通道⑶、 237於同時被整理。亦即，内側軌道&中的電子元件2在 經由形成在内側引導件234和固定引導件235間之通道237 於同時被整理，外側軌道b中的電子元件2，在經由形成 在固定導向235和外側引導件234，間之通道加於同時 被整理。 另一方面，即使由該一次校正器232整理了電子元件 2 ' 2,，但電子元件2、2，中也因該玻璃板222的離心力 之時作用而有向外偏離的力量。從而，設置有二次校正 器238、238 ’用於細微地整理因該玻璃板222的離心力 而向外面偏離的電子元件2、2，。 該等二次校正器238、238，包括中間突出的突起引導 件（未於圖中顯示）和設置該突起引導件的框架（未於圖 中顯示）。 較佳地，上述突起引導件的前端相對電子元件的軌道 a、b位於外側，且中間的突起部分使電子元件位於軌道a、 b中。 在本發明中，對將電子元件於該玻璃板上的軌遒中整 理的方式或者校正器的數量沒有特別的限定。 拍攝裝置240、240’是用於拍攝通過該校多裝置 230、230’在各個軌道中調整的電子元件2、2，的6個面 14 1338129 (包括4個面）形狀的裝置。 第一拍攝裝置240由第一側面照相機241、第二側面 照相機242、頂部照相機243、後方照相機244、底部照相 機245、前方照相機246所構成，第二拍攝裝置240’由第 一側面照相機241’ 、第二側面照相機242’ 、頂部照相機 243’ 、後方照相機244’ 、底部照相機245’ 、前方照相 機246’所構成，且這些照相機分別相隔規定的距離，設 置在玻璃板222的旋轉方向上。 ^ 在本發明中，並不特別限定上述照相機的數量以及各 個照相機的位置。即，照相機的數量可以是4個或者6個 。也就是說，可以如同2002年12月28日授權的專利（專 利號：10 — 367863，發明名稱：使用視覺系統的電子元件 檢測方法）一樣，具有4個照相機，也可以如同2004年 10月22日公開的專利（公開號：10-2004—89798，發明 名稱：使用連續獲得影像的電子元件檢測設備以及方法） • 一樣，具有6個照相機。 並且，照相機可以按照第一側面照相機、第二側面照 相機、後方照相機、底部照相機、頂部照相機、前方照相 機的順序設置，也可以按照頂部照相機241、241’ 、底部 照相機242、242’ 、後方照相機243、243’ 、前方照相機 244、244’ 、第一側面照相機245、245’ 、第二側面照相 機246、246’的順序設置。 在這裏，標號214是指拍攝位於内側軌道a上的電子 元件2上部的照相機，214’是指拍攝位於外側執道b上的 15 1338129 電子元件2，上部的照相機。同樣，標號215是指拍攝位 於内側軌道a上的電子元件2下部的照相機，215，是指拍 攝位於外側軌道b上的電子元件2，下部的照相機。 為了正確地拍攝該等電子元件2、2’ ’在該等照相機 中分別形成有具有照明功能的鹵素電燈（未於圖中顯示）， 為了容易地拍攝該等電子元件2、2，的各個面，在與該等 照相機相對的部分分別形成反射鏡（未於圖中顯示）。 另一方面，在本發明中，在該等拍攝裝置240、240， 和才父正裂置230、230’之間，較佳係在該二次校正器238、 238的侧面設置觸發感測器（trigger sensor) 262、262’ 。 該等觸發感測器262、262’檢測電子元件2、2，，且 將其資訊提供給微型機270。 ^ 該編碼器260是與觸發感測器的資訊一同使用，以確 定由該等拍攝裝置240、240，拍攝的電子元件2、2’的位 置資訊。 該微型機270是用於輸入由該等拍攝裝置240、240， 拍攝的影像信號和為了確認該等電子元件的數量而檢測的 。十數感測器274、274’和該編碼器260以及觸發感測器等 的信號’並進行處理以及控制的裝置。
該控制裝置272根據該微型機270的信號輸出控制信 号卢5 Q ^ 且包括可以確認該等電子元件的合格品和不合格品數 里的顯示部。 較佳地，設置與各自轨道數量一致的分類裝置250、 250， 0 16 1338129 該等分類裝置250、250’包括透過控制裝置272而噴 射壓縮空氣的噴嘴 252b、254b、256b、252b’ 、254b’ 、 256b’ 、以及裝入因該等喷嘴噴射的壓縮空氣而彈出來的 電子元件的排出桶 252a、254a、256a、252a’ 、254a’ 、 256a’ 。 在本發明中，用於裝入内側軌道a上的電子元件2的 排出桶252a、254a、256a和用於裝入外側軌道b上的電子 元件2’的排出桶252a’ 、254a’ 、256a’之間較佳係相 隔規定的距離。 該等分類裝置250、250’根據該控制裝置272的信號 將該等電子元件分別分為再檢測品、不合格品及合格品， 並向各自的排出桶 252a、254a、256a、252a’ 、254a’ 、 256a’排出。尤其是，較佳地設置多個用於不合格品的排 出桶，以便根據不合格品的類型進行不同的分類。 此外，在本發明中，較佳地，首先向對應的排出桶 φ 252a’ 、254a’ 、256a’排出分類成再檢測品、不合格品 及合格品等的外側軌道b上的電子元件2’ ，之後，再向 對應的排出桶252a、254a、256a排出分類成再檢測品、不 合格品及合格品等的内側執道a上的電子元件2。 第一圖中，粗箭頭表示該等電子元件2、2’的移動路 線，細箭頭表示信號的傳輸。 复$圖是用於說明根據本發明實施例的電子元件檢測 方法的流程圖。 參照第三圖至第五圖所示，本發明首先在該儲料器（未 17 1338129 於=中顯示）中裝有多量的電子it件2、2，，之後開啟提 供％源的開關（未於圖中顯示）、按下實施作業的開始按知 (未於圖中顯示），從而開始作業（S101)。 這日可袭在該儲料器中的電子元件2、2，透過該送料 裝置210移動，透過位於該送料裝置2ι〇上端部的感測器 判^該送料裝置21G中的電子元件2、2, *量未到規定的 數里’則透過該儲料器供給，否則不供給（S102〜S104)。 該送料裝置21〇對該等電子元件2、2，施加振動作用 的同時進行旋轉，從而將該等電子元件2、2，㈣提供給 第一、第二線性送料裝置212、212， （S105)，由於該線 性送料裝置212、212’被調整以符合該等電子元件2、2, 的尺寸，所以透過該線性送料裝置212、212，供給的電子 兀件依次供給在該玻璃板222上。（si〇6)。 ,透過該線性送料裝置212、212，供給的電子元件2、 2以放在由玻璃板222構成的旋轉裝置22〇上部的狀態下 旋轉。 透過該旋轉裝置220旋轉的電子元件2、2，被第一、 第一杈正裝置230、230成一列地排列在用於檢測的軌道 a、b 上（S107)° 進一步詳細地說明校正過程，該等電子元件2、2，在 經由該一次校正器232的通道237、237’的同時被調整， 並且進入用於拍攝的軌道a、b中。之後，緊接著，由二次 校正器238、238突起引導件的引導面再次細微地整理。 因此’由該一次校正器232和二次校正器238、238， 1338129 整理的電子元件2、2’與玻璃板222 —起旋轉，且由觸發 感測器262、262，確認該電子元件（S108)。 之後，由設置在各軌道上的6個241〜246、241，〜 246照相機分別拍攝電子元件的各個面（6個面）（μ⑽）。 此時，由該等照相機拍攝到的資訊供給連接於該微型機27〇 的影像處理板（Sll〇)。
微里機270對5亥衫像貧訊進行分析，判斷電子元件為 σ格叩、不合格品或需要再次檢測的元件⑺⑴。 ，並且’該編碼ϋ 260接收來自該等觸發感測器加、 旭的仏號’輕由該等拍攝裝置㈣、施，拍攝的電 子το件2、2 #位置貧訊（SU2) ’且將該資訊輸送給 型機 270 (S113)。 該微型機，根據電子元件的檢縣果和該電子元件 的位置資訊，向該控制裝置272輸送信號（su4)。 該控制裝置減該控制信號控制噴嘴252b、254b、 256b、252b，、254b，、2鳩，（sii5)。即在是需要再 次檢測的元件的情況下，當再檢測元件位於再檢測元件喷 嘴252b、252b’的前面拉、z 1 、 寺’通過噴嘴喷射空氣，從而將該 電子元件向用於再檢測元件的排出桶254a、254a，排出。 此外口格。。的if ;兄和不合格品的情況也以相同的方法 類（S116)。 刀 在本發月中，較佳地，首先向對應的排出桶252a、 254a、256a排出位於外側軌道b中的電子元件2 向對應的排出桶252a’ , 0ς/1 , 254a 、256a’排出位於内側軌 1338129 道a上的電子元件2。 確定是否反覆進行這樣的檢測過程（Sl 結束。 i7)’決疋疋否 另一方面，該計數感測器274檢測由於嘴嘴肠工作 而向用於合格品的排出桶256a排出電子元件的數旦該喷 嘴256b受到控制裝置272的控制喷射空a，該控里制=置 272接收來自該微型機270的、排出該電子元件2、2，中 合格品的輸出信號。 該微型機270形成在操作者可以容易操作的位置，可 以通過顯示該微型機270内容的顯示器276直接確認由該 拍攝裝置240、240’拍攝的影像。 ^ 並且，透過該控制裝置的顯示部操作者可以簡單地確 認該等電子元件2、2’的合格品及不合格品的數量和比率 〇 並且’可以透過該控制裝置272的信號分別驅動該等 噴嘴 252b、254b、256b、252b，、254b’ 、256b，，從而 可以向各自的排出桶排出該等電子元件2、2’的合格品、 不合格品、再檢測元件。 上述的電子元件2、2’是指微小單位的超小型元件， 例如 MLCC(Multi Layer Ceramic Capacitor:多層陶究電容 器）晶片或者貼片電阻（chip resistor )、變阻器（varistor )、 貼片電感器（chip inductor)、晶片陣列（chip array)等， 該結構中，旋轉動作是通過發動機的驅動實現，所以在此 省略詳細的說明。 1338129 並且，該等電子元件2、2’的檢測是可以同時進行破 損（破碎）、裂縫（crack )、電極露出、被夾、外部電極伸 展、外部電極破損、沒有電極、電極過大、電極短路、電 極脫離、誤切斷、尺寸不良、爆裂、切割不良、針眼、異 物、外部電極發生氣泡、電極翹起、外部電極變色、厚度 不良及鍍金不良等項目。 如上述，參照本發明的上述說明以及附圖，對根據本 發明的雙軌電子元件檢測設備及方法進行了說明，但是， 只是舉例說明，在不脫離本發明記載的精神和原則範圍 内，本領域技術人員可以有多種變更以及修改。 【圖式簡單說明】 第一圖是用於說明通常的電子元件檢測設備的流程 圖； 第二圖是完成第一圖流程圖結構的電子元件檢測設備 癱 的不意圖， 第三圖是說明根據本發明實施例的電子元件雙軌檢測 設備的流程圖； 第四圖是說明根據本發明實施例的電子元件雙軌檢測 設備的示意圖； 第五圖是說明根據本發明實施例的電子元件檢測方法 的流程圖。 【主要元件符號說明】 21 1338129 1 :電子元件 2、2,：電子元件 10 :儲料器 20 :送料裝置 30 :線性送料裝置 40 :旋轉裝置 50 :校正裝置 60 :拍攝裝置 61 :後方照相機 62 :底部照相機 63 :頂部照相機 64 :前方照相機 7 0 .編碼|§ 71 :計數感測器 80 :微型機 81:顯示器 91、92 :喷嘴 91a、92a:排出桶 210 :送料裝置 212、212’ ：線性送料裝置 220 :旋轉裝置 222 :玻璃板 230、230’ ：校正裝置 232 : —次校正器 22