TWI332565B - - Google Patents

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〜565 九、發明說明： .【發明所屬之技術領域】 .’ 本發明關於一種四通道自動切換閥，其使用於含有2系 =之，氣處理裝置等中，切換再生操作與吸附操作之通氣 果式％•。更詳細而言，是關於一種四通道自動切換閥，其 裝於適用有例如具有2系列吸附材單元之批次式變 ’皿吸附（TSA ’ temperature swing adsorption，變溫吸附） 每的廢氣處理裝置、溶劑回收裝置、空氣淨化裝置、以及乾 =空氣供給裝置等中，$裳有該等裝置且將空氣或氮氣等 处理乳體所通過之吸附材單元自吸附操作切換為再生操 乍而將再生氣體所通過之吸附材單元自再生操作切換為 吸附操作，以此切換其通氣模式。 【先前技術】 近年來，關於適於半導體製造工廠、液晶顯示器製造工 太陽能電池製造工廠等最尖端的電子產業中所使用之 鲁μ淨的作業空間，例如無塵室、淨化室、迷你潔淨環境等 超溧淨作業空間内使用的空氣供給裝置，如下裝置已得到 貝用化，即，使用吸附材、且對空氣中之污染物質，例如 銨成分、胺化合物成分、氧化硫成分、有機化合物成分' 鈉成分、鉀成分、金屬成分、水、過氧化物成分等污染物 質進行吸附與再生，且可半永久性地使用，連續除去空氣 '十該分子狀污染物質且將潔淨空氣連續供給至潔淨作業 -空間之旋轉式空氣淨化裝置、或連續除去空氣中之水分之 旋轉式減濕空氣供給裝置（乾燥劑吸附式）。 312ΧΡ/發明說明書(補件)/95_〇8/95U3875 丄 /r而^ r式空乳〉尹化襄置’本質上存在有後述之難以 雞心現更内度潔淨的空氣環境。因此，雖 基本上取好使用有呈有？ 4 R «4 rTQA^A ^ /、 糸列吸附材單元之批次式變溫 吸附（TSA)的空氣淨化裝置 及減激工乳供給裝置，但該方 式下’因亦未解決以下說明 凡a之較難的技術性課題故而並未 得到實用化。 (習知之批次式變溫裝置） 作為連續供給適合於潔淨作業空間之空氣的裝置，批次 式k皿吸附之空氣淨化裝置，通常含有第i系列與第2系 列之吸附材單几，且利用帛i系列吸附而實施淨化及除渴 操作，其間，利用第2系列進行吸附物質之脫離及再生， 亚且’該裝置中發揮該淨化功能或除濕功能與吸附物質之 脫離·再生功能的裝置部分必須盡可能為緊密而小型之 裝置。而且，進而，極為重要的是’必須保持有如下功能， 即，作為该批次式操作之必需操作，進行第1系列與第2 鲁系列之吸附操作與再生操作的「通氣模式切換」時，供給 氣體之流量、靜壓、壓差不產生實質性的變動。 然而，習知具有2系列之吸附材單元的批次式變溫吸附 t置尚未解決如下問題’即，無法成為緊密而小型之裝 置’並且’當進行吸附與再生之通氣模式切換時，無法將 供給氣體之流量變動、靜壓變動、壓差變動抑制在容許精 度内。可認為，只要使用批次式裝置即無法避免切換時產 生如此之變動。 (通氣模式切換） 312XP/發明說明書(補件)/95·〇8/95⑴ 6 1332565 之材單元之批次式變溫吸附_裝置中 口月通虱杈式切換」是指如下操作，·具妒 ， 於將處理氣體（指欲處理之氣體 =° ’ 去之污染物質或水分等之空氣等氣除 ::才：：而實施吸附操作時，將再生氣體(指於對吸附： =丁加熱後1於脫離所吸附之物f、水分等並再生之， 二:第2系列吸附材單^進行”材#±# c 仏糸列吸附材單元之吸附能力到達極限為 2系列吸附材單元之吸附材進行加熱且使其脫離再生，= 進行^卩且於再生鮮結束時，料人第丨系列吸附 材早70之處理氣體切換為再生氣體，同時將通入第2 吸附材單元之再生氣體切換為處理氣體。 ， 而且，當然，下一切換操作之通氣模式切換則為，於第 1系列吸附材單兀自再生氣體切換為處理氣體，於第2系 列吸附材單元自處理氣體切換為再生氣體。 μ ，圖6中表示習知的具有2系列吸附材單元之批次式變溫 吸附裝置。以下對於該習知之裝置，詳細說明其為何難2 達到小型緊密，以及為何無法避免通氣模式切換時產生流 量變動、靜壓變動、以及壓差變動。 圖6為習知之批次式變溫吸附式空氣淨化裝置2〇〇，其 具有2系列將活性炭之蜂窩狀成形體作為吸附材而積層 於容為中所形成之吸附材單元，用於除去空氣中之分子狀 有機性污染物質。 (正常運轉時之操作） 312ΧΡ/發明說明書(補件)/95-08/95113875 7 1332565 處理空氣自處理空氣口 101流.入，通過處理空氣導乾 106並經過處理空氣鼓風機1〇3、處理.空氣過濾器丨⑽: 處理空氣調節播板1Q5而流人至第！系列導管m 系列導管11 7之分岐/合流點T1。 、 當對第1系列吸附材單元1〇9通氣且進行吸附操作，且 =再生空氣通入第2系列吸附材單元118而進行再生操作 ^ ’第1系列側之開關閥VI處於開閥狀態而第2 開關閥V4處於關閥狀態。 •處理空氣流過處理空氣導管⑽内，經過分❼合流點 T1、開關閥VI、分岐/合流點T2而流入連接於第^系列 導官之第1系列吸附材單元1〇9(1〇9a、1〇9b)。通過第1 系列吸附材單元109a、1〇9b時，除去分子狀有機性污染 物質，自處於開閥狀態之開關閥V2經過分岐/合流點以 而流入至供給空氣導管115，通過供給空氣過濾器128而 成為經過淨化之供給空氣，且自供給空氣口 116流出。此 籲時，因閥V2處於開閥狀態，故而開關閥V3以及V6處於 關閥狀態。 另方面，再生空氣自再生空氣口 119經過再生空氣過 濾器121而由再生空氣鼓風機122抽吸且由此取入至空氣 淨化裝置200内，流過再生空氣導管12〇内且通過再生空 氣調節擋板124、冷卻器1 25、加熱器1 27而流入至連接 於第1系列導管110以及第2系列導管117之分岐/合流 點T8。 對第2系列吸附材單元丨丨8(丨丨8a、1丨8b)進行再生操作 312XP/發明說明書(補件)/95-08/951丨3875 1332565 時，再生空氣經過處於開閥狀態乏開關閥n而自分岐/ 合流點T5流過第2系列導管117内且流入至 附材單元118a、n8b。 於對第2系列吸附材單元U8a、U8b所吸附之吸附物 進打脫離f作期間，利用加熱器127加熱再生空氣。其 間：冷卻器125停止運行。吸附物脫離後將處於升溫狀態 ^第2吸附材單& 118a、U8b冷卻的操作期間，使冷卻 盔1 25運行。其間，加熱器j 27停止運行。 已通過第2系列吸附材單元n8a、U8b之再生空氣， 自分岐/合流點T6經過處於開閥狀態之開關閥V8，進而 經過分岐/合流點T7,且流過排出空氣導管113内，成為 排出空氣’自排出空氣口 114排出至系統外部。此時，因 為開關閥V8處於開閥狀態’故而開關閥V4以及V5處於 關閥狀態。 ' 又口開關閥V4處於關閥狀態，故而再生空氣不合巧 •入至處理空氣導管m之分岐/合流點T1。孔不一 (通氣模式切換之困難性） 將處於以上狀態之第！系列吸附材單元丨〇9a、丨〇9b， 自吸附操作切換為再生操作，將第2系列吸附材單元 118a、U8b自再生操作切換為吸附操作，如此之通氣模 式切換必須於極短時間（例如0 · 8秒）内完成，故而該操作 之難度極大。 即’必須使處於開閥狀態之四個閥（V1、V2、η以及V8) 蛑間變換為關閥狀態，且，同時，使處於關閥狀態之四個 312XP/發明說明書(補件)/95-08/95丨13875 〇 1332565 麵、V4、V5以及V6)瞬間變換為開閥狀態。 如上所述’於使用具有2系列吸附材.單元之習 式變溫吸附之空氣淨化裝置2〇〇中，若欲同時 _ 再生操作且連續供給潔淨空氣，則必須防止處理空I; 給空氣、再生空氣、排出空氣相互混入，且必須將第^系 列吸附材單元1〇9a、109b與第2系列吸附材單元’、、 ⑽，分別與該等空氣流過之導管相連接。故而，必須於 元之上：側配置：處理空氣及排出 之、 线導管；取人處理空氣且分別對於第與第 支之分岐/合流點τι;與將排出空氣 自弟1糸列…10與第2系列導管117導入至排出空氣 口 .114之排出空氣導管113相連接的導管分岐/合流點

Τ 7 ;以及分別配置於τ 1愈下7石乂 ;,L 闕vmn 〃側之用於開關導管迴路之 二必須於吸附材單元之下游側配置：供給空 •工氣流過之2系統導管；與自用於取出供給空 列導管η。與第2系列導管117導入至供給空氣口 116 = 供給，氣導管115相連接的導管之分岐/合流點τ4 ’將再 生空氣分別對於第！系列與第2系列之吸附單元產生 之分岐/合流點Τ8 ;以及分別配置於Τ4與Τ8兩側之用於 開關導管之開關閥V2、V3、V6、V7。 、 丄而’為了使再生空氣自第1系列導管no流向排出空 轧¥官113，且自第2系列導管117流向排出空氣導管 113，而必須具有分岐/合流點T2、T6 ;為了使再生空氣 312ΧΡ/發明說明書(補件y95_〇8/95丨丨38乃 】〇 1332565 自再生空氣導管1 2 0流向第1系列導其 礼V管120流向第2系列導管η 7 · 再生工 流點Τ3、Τ5。 導^ 117’而必須具有分岐/合 結果’於吸附材單元109、118上游 別具有2系統、共計為4系統 ;側必須分 共計8個分岐/合流點，且必 ^ ^ 8個開關間， ^ 4有共叶為4系統之遙其 故而’將必需「纏繞」極其複雜且較長之導技二 作為本發明對象而於半導體工廠；… 形之導管（例如，處理QQmm之剖面為正方 夺吕u歹”處理ϋ為1〇〇mVmin時 以約8m/s之流速流動，而使彳 為了此夠 為5〇。_。）。 而使仔正方形剖面導管之尺寸約 由此，若上述「纏繞」為3〇m，則僅導管之 必須有6. 2m3。處理空氣量為2〇 3 有二間就 九里句ZUm /miη時若以4日η从。 之流速，且纏繞同樣為3〇m， 。为8m/s ^ 1.3m3〇 職導s之佔有空間就必須 即’流過常壓下的空氣之導管㈣ 大，因此，由於導管之分 I丨不上非吊 物此姑， Α / σ，爪點或導管之重疊、交差、 育曲、擴大C缩小）、開關閱、隔熱 = 加必須之佔有空間，故而裝 ：裝固…增 大。 1 虹之佔有空間將會變得極 此為難以使具有2系列明ρ料留_ 萝罟眇穷沾铱 早兀之批次式變溫吸附 1個理由。當該此情形下，可知最終不會 成m小型之裝置，如此課題並非容易解決。 312χρ/發明說明書(補件y95·95〗138<75 11 ⑴2565 進而，進行通氣模式切換 作與再生操作，故有必要 為必須同時切換吸附操 流動停止，且壓力損失較小之 理空氣以及供給空氣之 開關間同時開始動作並且同時停止：:經較大之共計8個 作時間盡可能為短時間（例如1#、以下/而且，必須使動 然而，極難使8個開關閥全 作。而且，若任一開關閥 二…於短時間内動 空氣之流量與壓力產生變〃，則將會產生如供給 > , 又勖等更大的問題。 例如，於圖6中，開關閥π自 時刻與開關閥V4自關成^為關之動作的開始 之延遲，而其他開二 延遲時，將會產生處理空氣二：右V3、V6、V7全部無 於供給空氣導管115内傳播。文動以與流速-致之速度 另一方面，關於屢力變動，合太 f，且於恢;供給空氣靜壓 丨壓力變動。 後恢…供給空氣靜壓之急劇 而且’該急劇壓力變動，實際上將會以熟悉此技藝者所 無法預料之高速度而於導管内傳播。即，該壓力變動，於 供給空氣導官115内，以聲速，即，大概以秒速為32〇m 之冋速傳播。κ際上，因為8個開關閥之開關動作時間各 自不同，故而如此流量與壓力將會產生多種變動狀態。 ^ 於半導體等之製造製程中，必須大量、穩定且連續地供 給適合於潔淨作業空間之空氣’但若如上所述，於進行切 312XP/發明說明書(補件)/95-08/951 ] 3S75 12 ’供給空氣之流量與壓力產生·如此 將會成為導致半導體製 .動則遠情形 能會出現如下之較大二，者下降之要因。故而，可 種各樣變動狀態之流量 3 ’將伴隨切換而表現出各 無法預料之高速度傳播之動，特別是以聲逮等 精度内。 -傳播之堡力變動實在難以抑制在容許 進而’其他問題在於， 模式切換時，處於8個開關裝、置中’因進行通氣 •管内的空氣，於該開㈣/S 刀岐/合流點間之導 在下-次開間之前則成為滞留之沈殿處："止-動’故而 例如’會產生如下之摩 τι . „ 奴大問碭··分岐/合流點T6與分岐 / 口-點T1之間的導管刀支 點丁1之間的導*，將會成為久二= 度過脫離污染物質之排出空册口 ° ' δ有问很 叨蚪„ 工虱卬召的沈澱處，故而將會對 ::,不久之供給空氣中的清潔度造成不良影響。 ，大門Tit批次式吸附裝置中，存在有多個不易解決之 綠運^且二H㈣完全不同之操作原理，採用連 %運轉且儘量避免批次式梦 作之㈣。g 有料氣模式切換操 示有旋轉式空氣淨化特開_中，揭 4 於日本專利特開平11 — =224中，揭示有旋轉式減濕空氣供給裝置。然而，該 寻裝置中亦存在有以下較大問題。 即，該等旋轉式空氣淨化裝置等中，使用之吸附轉子個 數不同’由於將2〜3個轉子串列連接使用，故而通常必 312XP/發明說明書(補件)/95-08/95】13875 1332565 品4個至6個鼓風機，且於轉子上.游側與下游側 須具有轉子之吸附部、再生部、冷卻部 罩或盍。此外’必須使用過濾'器、調節播板、間 t:f，故而結果旋轉式空氣淨化裳置或旋轉式減濕、二; ί'給装置中必須具有極多之構成機器與零件。 十 進而’轉子之截面積大於與該轉子連接之導 積。再加上導管本身及分岐/合流點、導管之重最…截面 :曲、纏繞、擴大(縮小)、轉子用罩等，故而，：二 氣淨化裝置或旋轉式減濕空氣供給裝 :: 之佔有空間，因而基本上難以使佔有空間變:== 用於迷你潔淨環境。 、 此外，因旋轉式裝置之吸附材轉子進行旋轉，故而安裳 於其上游側以及下游側各區域之罩，必須安裝為接近於轉 子端面。因此，難以防止處理空氣、供給空氣、再生空氣、 ，部空氣、或者處理過程中之空氣等，出人於各轉子之空 .氣的漏出、漏入、或混入。尤其是，更加難以達成半導： 產業中必需的’將分子狀污染物質徹底除去至極低的濃 度。此外，亦存有空氣易自轉子附近漏出，且易於使污染 擴散之問題。進而’若旋轉式淨化裝置或旋轉式除濕氮氣 供裝置使用之氣體為氮氣而非空氣，則更難以實現。 【發明内容】 本發明疋為解決上述之習知技術中的難題而研製而成 者本發明之目的在於提供一種四通道自動切換閥，其可 將進行氣體流路切換時所引起之靜壓變動以及流量變動 312»/發明說明書(補件)/95-08/95丨13875 1332565 抑制在容許精度内’且可將潔淨調.溫•調濕线供給裝置 或乾燥空氣供給裝置等中之顯著的壓差變動抑制在容許 知度内’進而’又可同時改善氣密性能與隔熱性能。 本發明之目的在於提供：將該四通道自動切換闊作 為第1閥、第2閥，而使用於具有2系列吸附材單元之批 次式變溫吸附（TSA)裝置中，且大幅度減少批次式變溫吸 附（TSA)跛置中之導管纏繞，並且削減用於實施通氣模式 鲁切換而安裝之8個開關閥的空氣淨化裝置、乾燥空氣供給 裝置、潔淨調溫•調濕空氣供給裝置，進而提供習知所未 貝現之化氮氣供給裝置、潔淨調溫•調濕氮氣供給裝 置、或乾燥氮氣供給裝置。 A.根據本發明’可提供以下之四通道自動切換閥。 [1 ] 一種四通道自動切換閥，其特徵在於具有：框體部， 其於内部具有空間部；框形分隔板，其具有將該空間部劃 分為4個小室ri、R2、R3、以及R4之開口部；板狀轉動 鲁閥體’其打開或封閉該框形分隔板之開口部；四通道，包 括經常使設置於該經過劃分之4個小室之氣體流入之流 入通道L卜交替使氣體流入與流出之流入/出通道（1 )乙2、 經常使氣體流出之流出通道L3、及與上述L2交替使氣體 流入與流出之流入/出通道（2)L4 ;以及，驅動手段，其使 上述板狀轉動閥體於轉動軸周圍轉動。 [2 ]如[1 ]記載之四通道自動切換閥’其中將上述小室 Rl、R2、R3、以及以以如下順序進行配置’即，安裝有 上述流入通道L1之小室R1、以該R1為起點沿上述旋轉 312XP/發明說明書(補件)/95-〇8/95丨13875 15 丄： 1 由順時針旋轉方向安裳有上述流入/出通道（1)L2之小 U山“上述流出通道U之小室，R3、以及安襄有上 2 = /出通道⑵u之小室R4，且，上述R1與上述R3 +二乳體流路切換時使自上述L1流人之氣體向㈣ =式構成的對向位置，進而，上述板狀轉動閥體，以 配置於上述R 2 I·、+、η , 上述R4，或上述R1以及上述R3之方 式而女裝於上述旋轉軸。 ,[3]如[1]或[2]記載之四通道自動切換閥，其中上述開 :部形狀為正方形、長方形、圓形、或橢圓形，於該開口 P内象周邊#形成有框形閥座，且該開口部面積為具有選 自上述机入通道L1截面積之20〜120%範圍内的面積。 [4]如[1]至[3]記載之四通道自動切換閥，其中上 狀轉動閥體之形妝盥μ、+、μ Α /、上述開口。卩形狀為相似形，且該板狀 ^動閱肢之板面面積在大於封閉該開口部之面積且小於 該面積之1. 3倍的範圍内。 .[U [ 1 ]至[4 ]中任一項記載之四通道自動切換閥，豆 中上述框體部含有側板、頂板、以及底板，該側板、頂板、、 ”底板以及上述框形分隔板、上述旋轉軸、及上 動閥體具有隔熱功能。 汉狀衿 [6 ]如[1 ]至[5 ]中任一項記載之四通道自動切換閥，其 :上述板狀轉動閥體之轉動動作，是自起動至停止之動作 時間選自0.1〜20秒之範圍内，且’轉動角度選自6〇。〜 122乾圍内的往復轉動。 []士 [ 1 ]至[6 ]中任一項記載之四通道自動切換閥，其 312ΧΡ/發明說明書(補件)/95-08/95113875 中上述開口部具有其開口率⑻變· 手段分別獨立變更上述開又该開口率變更 狀轉動間體配置於上述R 上汗口。’且於上述板 及/或上述R4之時可沿上述们 ㈣以及上_時可:上=犬㈣^ 面，分別於4 ^上述Μ及/或上述R4之内壁 別於上下方向或水平方向移動。 中中任一項記載之四通道自動切換閥，其 ,杯：更手段含有可動板及其驅動體，上述可動 板之動作與上述板狀轉動閥體之轉動動作同步。 [9]如[1]至[8]中任—項記載之四通道自動切換闕，苴 2上述流人通道L1及/或上述流出通道L3具有麼力感 B·又，根據本發明，可提供以下之批次式變溫吸附裝置。 一 Π0]—種批次式變溫吸附裝置，為具有2系列吸附材單 π之批次式變溫吸附裝置，其特徵在於：將如π]至[9] 丨中任一項記載之2個上述四通道自動切換閥作為第丨閥與 第2閥加以組合而安裝於該吸附裝置之2系列吸附單元； 該2系列吸附材單元之各自構成至少含有：使上述吸附材 單元之吸附能力再生之再生手段’分別處理氣體靜壓、供 給氣體靜壓、再生氣體靜壓、以及排出氣體靜壓之測量· 調整手段’再生氣體流量及/或處理氣體流量之測量•調 整手段’以及控制使用上述第1閥以及第2閥實施之吸附 操作與再生操作的切換（通氣模式切換）之切換控制器。 [11 ]如[10 ]記載之批次式變溫吸附裝置，其中上述吸附 312ΧΡ/發明說明書(補件)/95-08/95113875 17 I332565 #單元’分別將使用用於吸附分子·狀污染物質之吸附材料 而形成之單元、或將使用用於吸附水分乏吸附材料而形成 之单元串列配置。 [12 ]如[1 〇 ]或[11 ]記載之批次式變溫吸附裝置，其中該 抵次式變溫吸附裝置將來自上述第1閥以及上述第2閥所 具有之壓力感測器的測定訊號輸入至上述切換控制器。 [13 ]如[1 〇 ]至[12 ]中任一項記載之批次式變溫吸附裂 _置，其中上述再生手段具有再生用鼓風機，該再生用鼓風 機可於處理氣體流量之〇. 05〜丨.2倍範圍内任意調整流 量。 [14 ]如[1 〇 ]至[丨3 ；!中任一項記載之批次式變溫吸附裝 置，其中上述批次式變溫吸附裝置，於進行上述通氣模式 切換之前，以處理氣體流量與再生氣體流量相等之方式對 流量進行調整，進而，以處琿氣體之靜壓與再生氣體i靜 愿相等的方式對㈣進行調整.，而後進行該通氣模式二 15]如[1〇]至[14]中任一項記載之批次式變溫吸附裝 置，其中上述批次式變溫吸附襄置令，於進行上述通氣模 ίΓί之前，以處理氣體自帛1閥流人通道L1流入第2 閥'出通道L3之流路上的流動屋差㈤力損失），再 體自第2閥流人通道L1流人同閥之流出通道u之上 的流動壓差（壓力損失），以及再 爪上 L!流入…”咖道L3之^自二2閥流入通道 <、W 机路上的流動 失）相等之方式對壓差調整進行調整。 貝 312XP/發明說明書(補件)/95-0S/95丨丨3875 18 夕) 1332565 [1 6 ]如[1 Ο ]至[15 ]中任一項記栽之批次式變溫吸附裝 置，其中上述批次式變溫吸附裝置為空氣淨化裝置、乾燥 空氣供給裝置、潔淨調溫•調濕空氣供給裝置、淨化氮氣 供給裝置、乾燥氮氣供給裝置、或潔淨調溫•調濕氮氣供 給裝置。 C. 又，根據本發明，可提供供給以下淨化空氣或乾燥空氣 等之方法。 [1 7 ] —種供給淨化空氣、乾燥空氣、潔淨調溫·調濕空 #氣、淨化氮氣、乾燥氮氣、或潔淨調溫•調濕氮氣的方法， 該方法中將[1 6 ]中記載之任一裝置，使用在至少含有無塵 室，潔淨棚，潔淨台，包含半導體製造裝置、液晶顯示器 製造裝置、有機EL顯示器（ELD, electroluminescence display，電激發光顯示器製造裝置）之電子零件製造中 所相關的裝置，潔淨隧道，潔淨加熱爐，處理基板保護用 保管庫，隨附於保管庫、製造裝置之移載裝置，裝載機/ φ卸載機，外殼，檢查裝置，以及裝置輔助機械中之一者而 構成的潔淨電子零件製造·設施或潔淨半導體製造設施 •設備中；從而供給淨化空氣、乾燥空氣、潔淨調溫•調 濕空氣、淨化氮氣、乾燥氮氣、或潔淨調溫•調濕氮氣。 D. 又，根據本發明，可提供以下潔淨電子零件製造•設施 或潔淨半導體製造設施·設備。 [18 ] —種潔淨電子零件製造•設施或潔淨半導體製造設 施•設備，其至少含有無塵室，潔淨棚，潔淨台，包含半 導體製造裝置、液晶顯示器製造裝置、有機EL顯示器製 3】2XP/發明說明書(補件)/95-08/95113875 19 〜衣置之電子零件製造中所相關&裝置，潔淨隧道，潔淨 力口熱爐，處jfy达 夕处至丞板保護用保管庫，隨附於保管庫' 製造裝 牙夕載凌置，裝載機/卸載機，外殼，檢查裝置，以及 裝置輔助機;^中$ . 允々…顿f之—者，其特徵在於：至少含有[16]記載 片六爭化裝置、乾爍空氣供給裝置、潔淨調溫·調濕空 I供給裝置、淨化氮氣供給裝置、乾燥氮氣供給裝置、以 及潔淨調溫•調濕氮氣供給裝置中之一者。 [發明效果] 根據本务明之四通道自動切換閥，可僅以2個該四通道 自動切換閥’構築與習知技術中必需使用8個開關閥、8 處分岐/合流點及纏繞複雜且較長之導管者同等之具有2 系歹J吸附材單元的批次式變溫吸附（tsa)系統。又，可大 幅度減少佔有空間較大之導管的纏繞。 進而’ X可完全去除習知技術中導管之8處分岐/合流 點。 、藉T去除因處理氣體或再生氣體不流動而滯留所造 成之「積存」、「沈澱」。 因此’可實現非常簡易之批次式變溫吸附(m)系統， 且於使該系統裝置化後之情形時使裝置變得小型緊密且 便宜。 山 本發明之四通道自動切換閥中，構成其框體部之頂板、 底板、側板、框形分隔板、旋轉軸、板狀轉動閥體可呈有 隔熱功能’故而即使該闕内高溫再生氣體與低溫處理氣體 或供給氣體同時鄰接而流動’亦可防止頂板、側板、底板、 3 J2XP/發明說明書(補件)/95-08/95】13875 20 1332565 框形分隔板、旋轉軸、板狀轉動閥體成為熱傳遞面而使熱 自高溫氣體向低溫氣體移動，因此吸附除去、脫離•再生 不會受到影響而可同時實施。 此外，於進行通氣模式切換之前，根據切換控制器之輸 出訊號，將處理氣體與再生氣體之流量、壓力（靜壓）、壓 差皆控制為相同流量、相同靜壓、相同壓差，進而，使2 個切換閥之驅動馬達同時起動且同時停止，而且以0. 1〜 20秒之短時間動作，故而進行切換時之流量與靜壓與壓 籲差之變動在容許精度内。 若使用本發明四通道自動切換閥，則不僅可達成將供給 至無塵室、淨化室、迷你潔淨環境之分子狀污染物質去除 至達到ppb(part per bi 11 ion，十億分之一）水準之空氣 或氮氣淨化裝置，進而，亦可對於除去分子狀污染物質並 調溫•調濕之潔淨調溫•調濕空氣供給裝置、潔淨調溫· 調濕氮氣供給裝置、或去除水分後露點在-80°C以下之乾 I燥空氣或乾燥氮氣供給裝置等，提供可將進行切換時的流 量、靜壓、壓差之變動抑制在容許精度内而供給之使用有 批次式變溫吸附（TSA)的小型緊密裝置。 而且，若使用該等小型緊密且便宜之裝置，不僅易於向 設置於無塵室或半導體等之製造裝置内的迷你潔淨環境 供給淨化空氣或氮氣、乾燥空氣或氮氣、以及潔淨調溫· 調濕空氣或氮氣，而且對於含有無塵室、潔淨棚、淨化室、 半導體或液晶顯示器或有機EL顯示器等之製造裝置、潔 淨隧道、裝載機/卸載機、外殼、檢查裝置、以及保管庫 312XP/發明說明書(補件)/95-08/95113875 21 等夕數個棧裔，且通常需要潔淨環境空間之電子零件製造 °又轭•設備，亦可易於自適當之位置供給上述空氣或氮氣， 因此，大大有助於提高該等產品之成品率。 【實施方式】 以了，麥照圖式對本發明進行詳細說明。圖1以及圖2 為表示本發明之四通道自動切換閥之一實施形態的圖式。 本發明之四通道自動切換閥基本上具有：框體部，其於 其内部具有空間部；框形分隔板，其具有將該空間部劃分 $ 4個小至μ、R2、R3、以及R4之開口部；板狀轉動閥 體，其打開或封閉（或堵塞）該框形分隔板之開口部；四通 逼，即，經常使設置於該經過劃分之4個小室之氣體流入 之流入通道L1、交替使氣體流入與流出之流入/出通道 (j)L2、經常使氣體流出之流出通道u、以及與上述u 父^使氣體流入與流出之流入/出通道⑵u;以及，驅動 手段，其使上述板狀轉動閥體於轉動軸周圍轉動。 ❿更具體而言’如圖所示，其由以下部分構成：框體部 135 ’其中安裝有流入通道u、流入/出通道⑴、流出 通道L3、流入/出通道（2)L4;以及驅動部（驅動手段， 其具備：於由頂板136、底板137、及侧板141包圍之内 部空間内劃分為4個小室的框形分隔板132(132a、13仏、 132c、132d)與板狀轉動閥體134a及134b，以及安裝有 該板狀轉動閥體134之旋轉軸138，設置於頂板136上之 電動馬達140。如圖所示之框體部135形狀為：於上端具 有頂板136’且於下端具有底板137，且其剖面呈正方形， 3i2XP/發明說明書(補件)/9108/95113875 22 1332565 於4個側板141分別安裝有流入通道LI、流入/出通道 (1)L2、流出通道L3、流入/出通道（2)L4。 (流入通道等之定義•功能） 茲作以下定義。 所謂「流入通道」是指氣體「經常流入」之通道，亦可 稱為「流入專用通道」。 所謂「流出通道」是指氣體「經常流出」之通道，亦可 稱為「流出專用通道」。 • 所謂「流入/出通道」是指進行氣體流入或流出中之任 一者的通道，有時（某正常狀態下之運轉時）使氣體流入， 有時（其他正常狀態之運轉時）使氣體流出，兩種情形交替 進行，亦可稱為「流入/流出兩用通道」。 (正常狀態下）以如下方式構成，即自上述「流入專用通 道」流入之氣體，自該「流入/出通道」流出，又，自該 「流入/出通道」流入之氣體，自上述「流出專用通道」 ^流出。 而且，本發明之閥的特徵尤其在於，氣體自上述「流入 通道」流向「流出通道」之情形，僅為如切換流路般之瞬 間。圖8中表示該狀態，詳如後述。 所謂「氣體」，通常為空氣，此外亦可為氮氣，或進而 亦可為氦氣、氖氣、氬氣、氪氣、氙氣等惰性氣體。以下 記載中對處理空氣之情形加以敍述，但是其說明之意圖並 非將氣體限定為空氣，而是亦含有氮氣等其他氣體。 如此，將框體部135之内部空間沿旋轉軸138周圍由四 312XP/發明說明書(補件)/95-08/95113875 23 1332565 ;固:匡形分隔板132a〜132d分隔，且設置4個小室。(如圖 所示，自上面看，小室沿順時針方向分別為Μ、R2、R3、 以及R4。）。 如圖1〜圖3所示，於四個框形分隔板132a〜132d之 例如中央部，分別設置開口部139a〜1 39d，且於其内緣 周邊部形成有框形閥座133a〜133d。進而，於旋轉軸 138 ’安裝有打開或封閉其開口部之板狀旋轉閥體134a以 _ * 134b，且具有將自穿過頂板丨36中心之軸孔突出於旋 ^轴1 3 8上端部而没置於頂板13 6上之驅動部131所輸出 的電動力傳導至旋轉軸138的機構。 又，圖2中亦表示出板狀轉動閥體丄34a以及工之轉 動範圍，其轉動角度為90。。 進而，又如圖2所示，壓力感測器1〇7安裝於流入通道 L1與流出通道L3。其中，當與流出通道L3連接之流路上 ^裝有如此之壓力感測器時，無需於該流出通道L3安裝 鲁壓力感測器l〇7a。再者，可將壓力感測器安裝於通道上， 亦可安裝於其附近。 又，如圖1以及圖2所示，沿小室R4内壁面安裝有可 於上下方向移動之可動板1 50( 1 50c以及i5〇d)及其驅動 體 151(15lc 以及 151d)。 (隔熱機構） - 其次，對於本發明之四通道自動切換閥之隔熱功能加以 說明。 圖1以及圖2所示之旋轉軸138最好具有隔熱功能。例 312XP/發明說明書(補件)/95-08/95113875 24 丄: 或錢金製^空構造者’進而，外表面受到研磨 ^鍍）加工使其具有隔熱功能。 135之側板u下方式衣作，即，構成如圖所示框體部 132(13 136'^" 叫I: T132d)、板嶋 與薄板材料二U^33a'133b'i33c' _將框材 使用導敎抑 形成中空構造。最好該等材質 能。最好於φΓ 加工使其具有隔熱功 功能。谁部分裝填耐熱性隔熱材料，由此發揮隔熱 : 而，若設計·製作為保持氣密性與耐壓性，則亦 可貝轭真空隔熱處理。另一方面，最好 定' 安裝隔熱材料。 4耻。丨外面固疋 即，圖3(A)為本發明之四通道自動切換間之框形分隔 板132a I32d的立體圖’圖3⑻為板狀轉動閥體⑼之 立體圖，ffl 3(C)為表示框形閥座133之局部放大圖。 於圖3(C)所示之墊圈槽154，將2條（2根）熱導係數低 且具有耐熱性之帶狀墊圈嵌入框形閥1 i33a〜133d之全 周。於起動板狀轉動閥體134a以及134b且嵌合於圖2所 示之框形分隔板！32b以及13別後停止時，板狀轉動_ 134a以及134b與框形閥座133b以及133d，介隔該2條 312XP/發明說明書(補件)/95-08/95〗13875 25 1332565 框形閥座133與板狀轉動間體134之接觸面 狀_重/^限。故而’框形分隔板132b以及咖與板 ^伐粗134a以及134b之間的熱移動量極少。 n才匡形分隔板132a〜132d以及板狀轉動間體i34a 、土 之形狀與構造，並非僅限於圖3所示之形狀鱼構 、可於不脫離本發明主旨之範圍内採用多種形狀與構 /壓力調整用可動板） 丨圖：為本發明之四通道自動切換閥，且剖面為圓形之盥 上处者不同的其他實施形態之構成圖，圖5為其沿[乂 線之橫剖面圖。 圖式中為流入通道L1與流出通道L3安裝於側板141， =入/出通道（1)L2肖流入/出通道⑵u安裝於底板 m之例示。可動板15013及15〇c安裝為可沿小室R3内 壁於水平方向移動，且板狀轉動閥體134(134&、】㈣以 产置：小室R2與小室R4之方式而安裝於旋轉軸US。 由圖4以及圖5所示之四通道自動切換閥切換氣體 ⑽路％，使板狀轉動閥體自封閉開口部1與丨39c之位 置起動’轉動至封閉開口部139b與胸之位置。此時開 口部139c已封閉，故不會影響自12至u之流動以及自 L1至L4之流動，而於必須進行壓差調整之時，最好首先 使可動板150c移動至開” 139c面積之例如5〇%的位 置。如此’板狀轉動閥體之動作時間，若例如為工秒，則 可動板15〇C亦於1秒内移動，而使該開口部i39c面積恢 312XP/發明說明書(補件)/95-08/95113875 26 復至100%。 (氣體流路切換時之氣體流動狀況等，α型） 動2間^圖7與圖8’進而對於將本發明之四通道自 盘小室狀轉動閥體134a以及134b配置於小室R2 將义時簡稱為「…)，以及， 有時簡稱為「:型置”，ri與小室…”型闕(以下 狀況，以及中’氣體流路切換時之氣體流動 丨整及靜壓調整加=動之可動板的移動位置與流量調 而：：於:於將2個本發明四通道自動切換閥加以組合， 者，人式變溫吸附裝置之閥的例示加以說明。再 亦實質上同^對第1闕進行說明’但因為對第2間之說明 、 同‘，故而省略對於第2閥之詳細說明。 圖7所示之《型（其中，α 符號為共通。）中，…… Μ中表不各部分之 )中才反狀轉動閥體134a以及13扑分別配 :及小室R4内’且轉動角度為9〇。。而且， 體134讀形分隔板1咖的開口 隔板1咖的心ί ===冑134 b μ封_形分 j 34之「 置的情形作為板狀轉動閥體 形分隔板H置」’而將使板狀轉動閥體1343位於封閉框 於：開口部1 位方、封閉框形分隔板132c的開口部139c之位 情形作為板狀轉動閥體134之「s位置」。 312XP/發明說明書(補件)/95傭9川3奶 所謂本發明之「氣體流路切換」，是指變換板狀轉_ 27 位置者即，父替變換該n位置與s位 路切換與職模式㈣之含義相同。 ^ 付=订孔月丑抓路切換時閥之板狀轉動閥體134位於n 體自'1則ί至進行氣體流路切換操作之前為止，使處理氣 ΒΓ〆瓜人料迢L1流入且自流入/出通道L2流出。同 il流=氣體自流入/出通道L4流入且自流出專用通道 而且，對於自流入通道“流 >Τ/1 流入之流罝與自流入/出通道 旦^ 量測量•㈣手段調整為相同流 :用ΐ.Γ? 口部139a處於聰開口狀態，故而塵力調 正T動板150a位於0%之移動位置，同樣，因為開口部 39c亦處於100%開口狀態’故而壓力 亦位於G%位置關係。 動板150c 斤…豆流路切換操作是指如上所述，使板狀轉動閥體 、“ η位置轉動90。至“立置’使處理氣體自流入專用 ，通運L1流入且自流入/出通道L4流出，同時，使再生氣 體自流入/出通道L2流入且自流出通道L3流出。 自L1流入之流量與自L2流入之流量藉由流量測量·調 整手段而調整為相同流量。 本發明中，自位於n位置或s位置之板狀轉動闕體· 以及134b起動以變換位置，而離開框形閥座13扑及i33d 之瞬間開始，為使至此之前一直流動的自u至之流 動、及自L4至L3之流動立刻停止，而藉由該測量•調整 手段調整靜壓。藉由如此之靜壓調整，於進行該位置變換 312XP/發明說明書(補件)/95·08/95113875 28 丄 ;經過R1以及R4至R3,進… 灿動，即，自LI至L3之流動。 圖8(A)、⑻表示僅於進行該 =…出專用通道…流動的產生狀況自:入中專 恰好達到中間之時，ΓίΛΛΠ34’㈣動^後 a 目U仙·入之處理氣體的流動狀況。 議:二 流動後，由於開口部成為139a、 C、139d等4處’此狀態下流出通道L3上之餘 ΐ=:Γ於板狀轉動間體134停止，氣體流路切換(位 置玄換）結束時靜壓會下降，而產生靜壓變化。因此，必 須將L3上之靜壓保持為氣體流路切換前自。至ύ 動時的靜壓。 饥 為了保持靜壓，於使板狀轉動閥體134起動之前，預先 鲁私動调整壓力調整用可動板15〇b以及15〇d，使其開口部 139b以及139d具有必要之開口率的位置即可。例如，若 開口率必須設為7〇%，則預先使可動板15肋以及15叱移 動至開口率縮小3〇%之位置。 如此，本發明之四通道自動切換閥具有如下之重大特 陵即’於氣體流路切換時（通氣模式變換時），即便移動 屋力調整用可動板150b以及150d，亦在絲毫會影響自u 至L2之流動狀況以及自至L3之流動狀況下，而可順 利進行。本發明之四通道自動切換閥，因具有如此之特 3丨2XP/發明說明書(補件)/95 -08/95113875 29 1332565 性，故而不僅可用於構築空氣淨化裝置，進而 ^

淨調溫•調濕空氣供給裝置或乾燥空 :構呆W 工札贤給裝置耸έ 之使用有批次式變溫吸附的各種裝置。 1 本發明巾，如此’因為於板狀轉動閥體134轉動 到達S位置之時，開口部139b以及139d之開口率： 100%，故而於板狀轉動閥體134之動作時間内， 整用可純l50b以及15〇d與板狀轉動閥物 ： 步，而自30%位置移動至位置。 5 為了進打位置變換，而起動板狀轉動閱體Μ 生自L1至L3之流動時，若L3上之靜懕忾$ 右上之脒壓變動仍較小，則 僅利用2片可動板祕或·中之任i片可 ^ 分調整開口部。 文」充 因作為可動板驅動手段之驅動體分別安裝於各可 板，且個別驅動該等驅動體，故而可同時驅動2 =可 板，亦可驅動任1片可動板。 力 _相反，板狀轉動閥體位於s位置且進行氣體流路切換之 時，於起動板狀轉動閥體134之前，藉由流量之測量· 整手段調整自流入通道L1流入之處理氣體的流量、盥。 流入/出通道（1)L2流入之再生氣體的流量，又，使用 廢測量•調整手段進行調整，使自流人通$ u至流入^ 出通道（2)L4之流動、與自流入/出通道（1)L2至流出通道 L3之流動停止。 進而於板狀轉動閥體 可動板150a以及150c， 134起動時與停止時，調整而移動 使開口部139a以及139c位於可 3I2XP/發明說明書(補件)/95_08/95】】3875 30 二持L3上之靜壓所必需之開口率的位置。 礼體流路切換時之氣體的流動狀況等，々型） 於圖7所示之万型中，基本上與“型相同 §平’以下不厭其煩加以詳細說明。料心周 =體⑶a以及134b配置於小_與小室將内板= 二，f9°。而且’將板狀轉動閥體心位於封閉： =板132b之開™的位置上、且板狀轉動： 134b位於封閉框形分 和勒阀月豆 2r:rpi39d""^ 1Q/1 , 阀月丘U4之n位置，將板狀轉動閥俨 且ΛΑΓ閉基框形分隔板132a之開口部i39a的位置、 二反狀轉動閱體13扑位於閉塞框形分隔板i32c之開口部 C 6、位置之情形作為板狀轉動閥體134之S位置。 沒型之情形與上述（2别之1主犯h入_L r*n 轉 i之丨月^元王相同，板狀轉動閥 ^亦位於Η位置，且於直至氣體流路切換操作之前為 ^處理氣體自L1流入且自L2流出。同日寺，再生氣體自 鲁L4流入且自L3流出。而且’將自li流入之流量與自w 流入之流量藉由流量測量·調整手段調整為相同流量。 又，因為開口部i39a開口率為㈣，故而，可動板15〇a 位於〇%之移動位置，開口部139c之開口率亦為ι〇〇%，故 而可動板150c亦位於〇%之移動位置。 氣體流路切換操作為：使板狀轉動閥體134自n位置轉 動90至s位置，處理氣體自L1流入且自流出，同時， 再生氣體自L2流入且自L3流出。 而且以如下之方式藉由靜壓測量•調整手段進行靜壓 312XP/發明說明書(補件)/95-08/95丨丨3875 31 1332565 调正’即’板狀轉動間體134a以 框形閥座133b以及133““ 134b起動，且自離開 動與自…之軸…流 至L3之流動。 曰由如此调整，產生自L1 然而，於板狀轉動閥體134起動而 動時，開口部成為139a、13qh 1Q IL1至L3之流 139b、139c、139d 兮笙 / 老 故而，此狀態下上之u L 寺4處， 停止之氣體&路+ # " ^升，且於板狀轉動閥體134 丨了 in疋乳肢灿路切換結束 必須使卜> > π "•下~，而產生靜壓變動。 =上之知壓保持為流路切換前自l 沒型閥中，板狀轉動閥體134a於小室R3 轉動、且板狀轉動閥體134b於小室R1内# /7刑知^ 主K 1円轉動，故而與 :匕、、靜堡變動較大。特別是 動至45。時靜壓變動最大。 知動阀虹轉 為了保持靜愿而於起動板狀轉動闕體13 H3：；ri5〇b^15〇d>^^-- >及139d具有必要之開口率的位置。 例如’右必須將開口率設為6 η %，目丨丨名5 士 ..1ςη, _ 手。又為6(U，則預先使可動板150b 150d ’移動至開口率縮小4〇%之位置。 士如上所述’本發明之四通道自動切換閥具有如下之重大 特性’即，於使可動板15〇b以及15〇d移動時，在不影塑 自luL2之流動狀況以及自L4sU之流動狀況下^ 可T利進行。/9型閥亦同樣’此特性可構築使用有各種 批次式變溫吸附之裝置。 而且，於板狀轉動閥體134轉動90。而到達s位置之時， 312XP/發明說明書(補件)/95-08/95113875 32 2 口。Ρ 139b以及139d之開口率必須為100%，故而於板 T轉動閥體134之動作時間内，使可動板150b以及150d 人板狀轉動閥體134同步自復位置移動至〇%位卜 T Q若起動板狀轉動閥體1 3 4而產生自L i至L 3之流動，而 式〗之靜[又動仍較小之時’藉由壓力調整用可動板150b 〇d二之任1片可動板便可充分調整開口部。 、由於t裝有個別可動板之㈣體（驅動手段），且對 進行個別驅動，姑& "ST m η 士 < _ 了同日T驅動2片可動板，亦可驅動任 1片可動板。 相反，當板狀轉動閥體位於s位置且進行流路切換之 T ’於起動板狀轉動閥# ] q 理气〜.，旦e h 134之刖’對於自L1流入的處 量：二：；:、！，流入的再生氣體之流量藉由流量測 行調二二二進仃5周整’又’使用靜壓測量·調整手段進 ^正侍1至L4之流動與自L2至L3之流動 進而於板狀轉動閥I# n4 4p & ± t

]34起動時與停止時，調整移動可 1動板150a以及可叙也1[；ηα 7 J ^nq 反150c的位置，使開口部139a以及 c，、有可保持L3之靜壓所必+

整時，在絲毫不影響自Lr至m率進行該調 動狀況下，即可順利進行。 ^/JIL (第1閥以及第2閥之組合使用） 本發明之四通道自4 、、目動切換間，無論是α型還是 具有如上所述之流路切換功 歪均 … 、 換功此（通氣模式變換功能），徊印 好於貫際上進行使用之時 -取 时將2個閥加以組合使用。 圖10〜圖12表示作為太称 為本么明苐1適用例之使用有 312XP/發明說明書(補件)/95-08/951138*75 33 1J32565 系列12系列之批次式變溫吸附的空氣 間」=第2二通道自動切換間(以下稱為「第1 )及第2四通道自動切換閥（以下亦稱為「第） =模式切換時的處理空氣導管、再生 =二：12系列導管、供給空氣導管、排出空氣導 及存在於各自内部之空氣的流動方向的說明圖。 再者，於此，將第1閥、第2閥均設為α型。又，開 口部形狀為正方形，其面積為流入通道以截面積之娜， 板狀轉動閥體面積為其開口部面積之12倍。其中，圖 10〜lj為將處理空氣自第i系列切換至第2系列，將再 生空氣自第2系列切換至第i系列之情形。 以下，於圖中’「Ϊ」表示處理空氣之流動，「工，」表 示再生空氣之流動’「Π」肖「n，」分別表示因第（閥 108以及第2閥1Π所導致之空氣流動停止的狀態。 又，因將處理空氣自第2系列切換為第i系列，將再生 广氣自第1系列切換為第2系列之情形與圖丨〇〜圖丨2同 樣，故而省略洋細說明。如上所述，將處理空氣或再生空 氣之通氣自第1系列切換至第2系列或者自第2系列切換 至第1系列者稱為通氣模式切換。 於圖10(A)所示之第i閥（第1系列閥）1〇8，處理空氣 導管流出空氣155 ’自第1閥流入專用通道li流入，且 自與第1系列導管連接之第i閥流入/出通道（丨儿2流出。 另一方面’第2系列導管流出空氣157，自第1閥流入/ 出通道（2)L4流入’且自第1閥流出通道[3流出。此時， 312XP/發明說明書(補件)奶-〇8/95113875 1332565 第1閥板狀轉動閥體ί34如 置且為靜h (A)所不’位於0。之以立 而且，關於圖1(}⑴ 再生空氣導管流出空氣！：：列之闕川]’ 入，且自與第2系列導管連接;y2f 1流 流出。另-方面，第！系列導管流出空；/出通道⑽ =二通道咖流入，且自第2閥流出闕 此時，苐2間板狀轉動閥體134 )道㈣出。 •之s位置且為靜止。 口 iUU)所不’位於0。 圖^〜圖12所示之第1閥1〇8、第2間⑴之任一 閥，Pw表示流入通道L1上之壓力，ρχ :、： L2上之墨力，ρν矣-、ώι 入/出通道 入/出通道utt通道L3上之壓力，Ρζ表示流 其次，為了進行用於流路切換之位置變換， :1 08 ^第2閥⑴之驅動手段的電動馬達14〇同時作 ，動’且使弟1閥板狀轉動閥體134沿逆時針方向旋 旋轉）’使第2閥板狀轉動閱體134沿順時針方向旋轉 旋轉）。11 1G(B)中表示，兩閥之電動馬達開始運行，且 第1閥板狀轉動閥體134旋轉至+22· 5。，第2閥板狀轉動 閥體134旋轉至-22.5。之狀態。 得動 進行通氣模式切換之前，如上所述，使用壓力感測器 107、112分別測量第j閥丨〇8、第2閥i丨丨之處理空氣 靜壓’並將該等靜壓調整為相等，且調整流量使處理空氣 與再生空氣之流量相等。因此，如圖9所示，處理空氣自 312XP/發明說明書(補件)/95-08/95113875 1332565 第1闕108之流入/出通道n)L2經過第 而i幸ξιί楚0日日1 1 1 . 糸列導g Π 0 達到弟2閥111之流入/出通道（1)L2過 壓力損失，與再生空氣自第2π 中所產生勺 /、丹王工虱目弟2閥ill之流入/ 經過第2系列導管117至第 出通道(2)L4 過鞀中鉍方a a r· 門108之〜入/出通道（2)L4 心私中所產生的壓力損失相等。 轉^^ 模式切換之操作且自第1閥之板狀 Μ;;及第2閥之板狀轉動間體⑶婦框形 ，刀^板間隔開之瞬間開始，第1閥與第2閥間之第！系列 側以及第2系列侧之靜壓變為相等’且 ㈣以⑽導管117之空氣的流動停 處理空氣立即自第！閥流入通道u流入，且自 出通道U流出。另一方面，再生空氣亦立即自 IS 通道U流入’且自第2間流出通道L3流出。 该機制如先前使用圖7〜圖8之說明。 其為例如於使用有批次式變溫吸附之空氣淨化裝置 ^將2個本發明之四通道自動切換闕加以組合而使用 日丁 ’以於7C成上述通氣模式切換操作時所產生之現象（效 應），使與通氣模式切換操#前相同流量之空氣I間斷地 自兩閥（第1閥以及第2閥）之流出通道L3流出。可以說， 如此之現象具有上述圖6所示之習知切換閥(以及使用其 之切換方法）所無法達到的顯著效果。 即圖10(B)之狀態下，帛！閥流入/出通道⑴L2與流 入/出通道(2)L4 ’以及第2閥流入/出通道⑴L2與流入/ 出通道（2)L4之流動停止。 312XP/發明說明書(補件)/95·〇8/951丨3875 36 丄 (轉動角度45。〜67. 5。） "人圖U(C)表不第1閥板狀轉動閥體134以及第、 -闕板狀轉動闕體m之位置分別達至m5、_45。之狀態。 下，流經第1閥⑽與第2閥⑴間之第！系列 t S 11 〇及第2系列導管11 7之空氣的流動處於停止狀 心而且’保持處理空氣以及再生空氣之流動。 進而將第1閥板狀轉動閥體i 34以及第2間板狀轉動 #閥體134之位置，分別到達+67.5。一67. 5。之狀態表示於 圖11 (D)。该狀態下，流經第JJ Q8與第2闕⑴間< 第1系列導管110及第2系列導f 117之空氣的流動亦與 圖11 (C)之狀態相同。而且，保持處理空氣以及再生空氣 之流動。 (通氣模式變換完成） 圖12(E)中表示通氣模式切換操作結束之狀態，即，第 1閥之板狀轉動閥體134旋轉至+9〇。的狀態、第2閥板狀 鲁轉動閥體134旋轉至-90。之狀態（第1閥完成自^至s之 變換，第2閥完成自s至η之變換。）。於同圖之第丄閥 108處理空氣導管流出空氣1 5 5，自第1闕流入通道l 1 流入，且自與第2系列導管連接之第丨閥流入/出通道 (2)L4流出。另一方面，第i系列導管流出空氣159，自 第1閥流入/出通道（1)L2流入，且自第1闕流出通道[3 流出。 而且’關於圖12(E)中所示之第2闊ill，再生空氣導 管流出空氣161自第2閥流入通道l 1流入，且自與第1 312XP/發明說明書(補件)/95-08/95113875 37

丄JJZJOJ 糸列導管連接之坌9 \ / ...9 .苐閥&入/出通道（DL2流出。g 士 面，第2系列導管流出空氣157㈣ 出另一方 (2)L4流入，且自第？門4 ’爪入/出通道 自弟2閥流出通道L3流出。 於圖12(E)之狀態下，處理* 流量亦保持為與圖1()(A)同等:狀態。I氣之靜麼以及 μ另：：面1 1閥板狀轉動閱體134旋轉至 ，弟2閥板狀轉動閥體134》走轉至一9〇。後 Τ 再者’自通氣模式切換操作開始 ；。 >變動、流量變動之容钟^门 束之守間，因壓力 里义勒之合。午如度不同而不同故而盔 定，但由於在進行通氣模式切換之過程中，自；二：： 出通f L3流至排出空氣導管的空氣為處理空氣，自第"; 閥之流出通道L3流至供給空氣導管的空氣為再生 故而時間越短越好，通常為G1〜2()秒，較好是^ 秒，更好是0. 1〜5秒，最好是〇.丨〜丨秒。 另一方面’自設計·製作方面而言，關於α型闕，較 丨妥當的是框形分隔板13託與132c，或132(1與Μ。之交 差角度為60。至120。之範圍内。若未達6〇。，則難以安$ 通道:故而’板狀轉動閥體134之轉㈣度會成為咖 至60°，由此加上用以將板狀轉動閥體134密接於框形閥 座133之擠壓角度2。，則實際轉動角度成為62。〜12^。 又，如圖10(B)、圖l1(C)、（D)所示，α型閥中，於 板狀轉動閥體134a以及134b離開框形分隔板丨32a〜丨32d 之狀態下，板狀轉動閥體134a以及134b與開口部139a 〜13 9 d的位置關係，第1閥1 〇 8中相對於處理空氣導管 312XP/發明說明書(補件)/95-08/95113875 38 丄332565 流出空氣155之開度不可能經常 111中如似认；^ 吊建到10⑽’且’第2閥 中相對於再生空氣導管流出 常達到im。即，產生較佳的161之開度不可能經 狀轉動閥體l34a以及134b成為使板 對於處理空氣導管流出空氣 氣導管流出空t 161之流動增加壓力損失的 =且使通過第"㈣之處理空氣導 氣 …損失增大。又，使通過第2闕⑴之再生空二 丨流出空氣161之壓力損失增大。 工乳¥吕 >(正常運轉期間與通氣模式切換時之壓力變動） 於第1閥108之板狀轉動閥體134位於n位置，第 HI之板狀轉動閥體134位於s位置，且用第i系列 吸附操作1第2系列進行再生操作之期間，目g所示之 處理空氣’自第W _之流人通道L1、#過同閥之流入/ 出通道(1)L2而流至第i系列導管11〇且通過第i系列吸 附材單元1〇9,自第2閥⑴之流入/出通道〇)L2流至同 ，閥之流出通道L3。其間之壓力損失Δρι為第i閥流入通 道L1上之壓力Pwl與第2閥流出通道以上之壓力卩以的 差：APlcPwl —Py2。 +另一方面，如上所述，進行通氣模式切換時，於該通氣 模式切換之前，藉由上述之靜壓之測量•調整手段將第i 閥之流入通道L1之壓力，即，處理空氣之壓力pwl與第 2闕之流入通道L1之壓力，即，再生空氣之壓力pw2'調 整為相等。故而，通氣模式切換時，第2間丨丨丨之流入通 道L1與同閥之流出通道L3間的壓力損失△ p2為第2間 3!2XP/發明說明書(補件)/95-〇S/95】 13S75 39 1332565 111之流入通道L1上之壓力Pw2與通氣模式切換時之第2 閥111之流出通道L3上之壓力Py2的差：Py2 = Pwl —Py2。又，處理空氣與再生空氣之流量，亦藉由流 量測量•調整手段而調整為相等。 _ 當然，由於APISAPZ，故而Pyl<Py2e即，通常通 氣模式切換會導致產生壓差變動，即第2閥}11之流出通 道L3上的壓力上升，此非常不佳之變動。 然而，於將本發明之2個四通道自動切換閥加以组合使 用之圖9的裝置中，通過第i系列吸附材單元職以及 i〇9b之間的壓力損失，小於後述之圖13所示之[適用例 2]及圖14所示之[適關3]。此外，如上所述，由於板 2轉動閥體134轉動時，第2閥⑴之板狀轉動閥體134 產生的隔板效果，因而Py2%Pyl，故而無論卜2如何變 大，均可將壓差變動幅度抑制在容許精度内。 再者，將第MU!設為^時’與上述^之情形 •相比Py2較大。進而’進行職模式 之流出通道U的壓差變動之門拄? /、弟 山1 ^ 土左殳動之冋時，第1閥108之流 # : C L3中亦於排出空氣之流動時產生壓差變動，但可 :由同閥之板狀轉動閥M 134轉動時所產生的隔板效 果’而將壓差變動幅度抑制在充分容許精度内。 (乾燥空氣保給裝置之可動板之作用） /13表示具有2個本發明四通道自動切換間之批次式 •交》凰吸附的乾燥空氣供給裝置、 時之壓力調整用可動板的作用。〜不適用於。亥裝置 312沿/發明說明書(補件)/95-08/95】】3875 40 1332565 :第？列導管U。，連接有fl系歹"“除濕單元 im系列加熱器165a、第i系歹,】冷卻器_、第 1糸列No.2除濕單元164a、及第i系列分配器16化，又， 於第2系列導管117中，連接有第2系列如」除渴單元 16北、第2系列加熱器165b、第2系列冷卻器丨⑽、第 2系列No. 2除濕單元164b、及第2系列分配器“π。 圖13所示之處理空氣，自第！閥1〇8之流入°通道u經 過同閥之流人/出通道⑴L2，流人第i “導管n◦且通 過第1系列No」除濕單元咖、第u列加熱器16心 第1系列冷卻器l66a、第i系列No.2除濕單元l64a、第 1系列分配器167a，自第2閥111之流入/出通道（1)L2 流至同閥之流出通道L3。其間之壓力損失Λρι為第工閥 流入通道L1之壓力Pwl與第2閥流出通道u之壓力 的差：APl = pwl —Py2。 另一方面，於進行通氣模式切換之前，藉由上述靜壓測 籲量·調整手段將第1閥之流入通道L1之壓力，即處理空 氟之墨力Pwl ’與第2閥之流入通道L1之壓力，即再生 空氣之壓力Pw2調整為相等。又以使通氣模式切換前之第 2閥111的流出通道L3之壓力Pyl，與通氣模式切換時之 第2閥111的流出通道L3之壓力Py2成為相等之方式， 使可動板150a與150c移動且調整為通氣模式切換前之壓 差。由此’第2閥111之流入通道L1與同閥之流出通道 L3間之壓力損失AP2’在通氣模式切換前與通氣模式切 換時相等，為△P2 = Pw2~Py2=Pwl — Py2。如此，可將通 312XP/發明說明書(補件)/95-08/951丨3875 41 1332565 切換時之麼差變動，抑制於容許精度内。又 、乱吴式切換結束，使可動板〗5 ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ 體】34之動作间牛&八。， 3UC/、扳狀轉動閥 旬39c之門口而刀別移動至0%位置，使得開口部U9a ” Me之開口面積成為〗〇〇%。 而：二於ϋ氣模式切換前不使可動板】503與】50c移動， —139a與】39c之開口面積保持為i00%之下， '仃通虱杈式切換，則·>ΛΡ2,故而Pyl<Pv2 々生壓差變動’即，產生第2間⑴之流出通道。的二 力上升之變動，故非常不佳。 ' i 又於進订通氣模式切換時，與第2闕⑴之流 L3的愿差變動之同時，亦 、 排出空氣之流動時產生壓差^:匕”通道以在 土 /土左又動。為了抑制此變動， 模=奐Γ使可動板15°b與15°d移動且進行塵 lf-n ". 通痛式切換結束，使可動板150b盥 轉動閱體134之動作同步而分別移動至_ 丨置二“開口部139_139d之開口面積成為跡 (你淨δ周溫•調濕空氣供給裝置） 圖14表示潔淨調溫•調濕空氣供給裝置，亦 淨調溫•調濕空氣供給裝置⑽之通氣模式切換時的壓^ 變與上述圖13之乾燥空氣供給裝置之情形同樣抑制 於谷命精度内。 如以上詳述，本發明之四通道自動切㈣，最好具有圖 1〜圖2以及圖4〜圖5所示之壓力調整用可動板15〇及 其驅動體（驅動手段）151，如此，成為具有可變更開口部 312ΧΡ/發明說明書(補件)/9^8/95113875 42 之開：率的機構’故而可獲得具有習知之切換閥所不具有 =新賴特性的劃時代性切換閥，即於進行切換操作開始之 刚’在絲毫不擾亂該時刻之流動狀態下即可設定為特定開 ' 可將猙壓.交動、壓差變動、流量變動抑制於容許 精度内。 [適用例1 ](對空氣淨化裝置之適用例） 圖9係表示將本發明四通道自動切換閥，適用於含有第 ^糸列以及第2系列之空氣淨化裝置13Q的例示者，且作 為該第1系列閥（稱為「第i閥」1〇8。）與第2系列闕（稱 為「第2閥」1 i i。）而加以適用者。 該第1閥108之流入通道[丨與處理空氣導管1〇6連接， 同閥之流入/出通道（1)L2與第}系列導管11()連接，同 閥之流入/出通道（2)u與第2系列導管丨丨7連接， 閥之流出通道L3與排出空氣導管} i 3連接。 ° 又，第2閥U1之流入通道u與再生空氣導管12〇連 >接，同閥之流入/出通道（1)L2與第i系列導管11〇連接， 同閥之流入/出通道（2)u與第2系列導管117連接，同 閥之流出通道L3與供給空氣導管丨丨5連接。 進而，於處理空氣導管106配設有處理空氣口 1〇1、處 理空氣過濾器102、處理空氣鼓風機} 〇3、處理空氣流量 感測為1 04、及處理空氣調節擋板】〇5。 進而又，於第1系列導管110,配設有第1系列吸附劑 單兀109a以及l〇9b。再者，第1系列吸附劑單元職 為收納具有選擇性吸附除去驗性分子狀污㈣質之 312XP/發明說明書(補件)/95-08/951丨3875 43 心厶：)〇：) ，蜂离狀、褶狀、波狀吸附劑之容器，且第i系列吸附劑 =兀109b為收納具有選擇性吸附除去酸性及/或有機性 。。子狀污木物貝之性旎的蜂窩狀、褶狀、波狀吸附劑之容 k擇性及附驗性物j之材料’可使用含有鈦以及石夕之 二=系複合氧化物，含有鈦以及錯之二元系複合氧化物， 或a有鈦、矽、鍅之二元系複合氧化物等。又，作為選擇 ，吸附有機性物質及/或酸性物質之材料，可使用活性 _厌活性焦炭、石墨碳、活性碳纖維、沸石、矽膠等。 、於第2系列導官11 7，配設有第2系列吸附劑單元丨丨 、及118b。第2系列吸附劑單元丨丨8a以及丨1处之構成 亦與第1系列相同。 、再者，於圖9之空氣淨化裝置13〇,根據上述理由，未 必需要壓力調整用可動板與其驅動體，故而使用2個不具 備該等之四通道自動切換閥。該等均為α型。 (再生二軋、供給空氣、排出空氣、處理空氣） 於與再生空氣相關之再生空氣導管120，配設有再生空 軋口 119、再生空氣過濾器121、再生空氣鼓風機122、 再生二氣流1感測i 23、再生空氣調節擋板J 24、再生 空氣冷卻1 125、及再生空氣加熱器127 ’而構成再生手 段。 於與供給空氣相關之供給空氣導管115，配設有供給過 濾器128與供給空氣口 116，又，於與排出空氣相關之排 出=氣導管113配設有排出空氣口 114。為了自動進行通 氣模式切換，且將壓力、流量之變動抑制於容許精度内， 312XP/發明說明書(補件)/95-08/95113875 λλ

以JCO 而具有切換控制器129。 處理空¢1，~~ 八 如圖9所示’自處理空氣口 1 〇 1流入空氣淨 化裂置130且白穿， g 目弟1閥108流過第1系列導管11 〇，經過 弟2闕111而自供給空氣口 116供給。 再生空氣，白 ^ 目再生空氣口 119流入空氣淨化裝置13 〇， 调整為既定之汐旦 奸 机里、溫度且自第2閥111流過第2系列導 & 117 &過第1閥1 〇8，而自排出空氣口 114排出。 \ 所明不，若根據使用2個本發明四通道自動 切換閥之本發明由Μ办友一 一 ^ 中的二氣淨化裝置構成，則可完全不需要 二斤Λ之白知空氣淨化裝置所必需的8個開關閥與8處 刀岐/合流點。又，亦不需要圖6之習知裝置中吸附單元 游側與下游側所必需的各2個系統導管。 (正常操作） 筮^ /引口正#刼作為用第1系列進行吸附操作、 系列進行再生操作之通氣模式，故而自第i間⑽ 弟列導管110之處理空氣，於通過第1系列吸附 ;: 以及1〇9a期間’吸附除去分子狀污染物質至 既疋浪度，而將其淨化。 另：方面’將自第2閥Hi流入第2系列導管117之再 ^氣’於進行脫離操作時利用再生空氣加熱器127加献 期’使通過第2系列吸附劑單元⑽以及賭 分子狀污染物質脫離’而自第"㈣流入 卜出工軋V官Π3並自排出空氣口 114排出。 其間，再生空氣冷卻器125停止。進行下—冷卻操作 312XP/發明說明書(補件)/95-08/95丨丨3875 45 時，再生空氣由再生空氣冷卻器12 通過吸附劍單i U 〇 兄疋，皿度且於 ^ ⑽以及⑽期間，進行脫離操作時本 "…且將升溫之吸附劑冷卻至處理空氣溫度附近。戶、 底:Γ::闕m以及第2間111框體部之側板、頂板、 底板、框形分隔板、旋轉軸、及板狀轉動間體，最好且有 隔熱功*，由此可抑制處理空氣（ : 間的熱移動。 D與再生空乳之 (通氣模式之切換） 又於圖9中’通氣模式之切換操作為使 1系列切換至第2系列、使再 孔自弟 ,^ , 仉丹玍工虱自弟2系列切換至第 1糸列且進行通氣之操作， _ 盥筮9 P目！ Ί， 、 為自動地進行使第1閥108 人弟2閥111根據切換控制 B士日t 仅剌00之季則出讯號，於設定時刻同 日守且短日可間作動之操作。 另一方面’於進行切換择作 &丄# ,0lI 〇. , n,咕Λ 狭知作之刖，糟由處理空氣流量感 ’、】益1 〇 4、第1閥壓力成測哭1 〇 7 $ . 100 # η ，次劇。σ 107、再生空氣流量感測器 fc123、苐2闊壓力竭 ''目|丨哭1 ·| 9 w …广 處理空氣鼓風機103'處理 擋板1〇5、再生空氣鼓風機m、再生空氣調節 ^板m之測量•調整手段與切換控制器129,自動地將 處理空氣之流量與壓力u芬 力以及再生空氣之流量盥壓力調整 為如下。 ' 於调整處理空氣之内吾叙阿、 两 — &力以及再生空氣之流量與 I力時’將藉由處理处顏、、*旦、Bt 二轧仙·里感測器104測出之流量測量 值F1與错由再生空窀、户旦戍 po ^ 上孔机里感測态123測出之流量測量值 F2知入至切換控制器129， 〇 將猎由第1閥壓力感測器 312XP/發明說明書(補件)/95-08/95113S75 46 1332565 1 〇7測出之壓力測量值ρι與 測出之Μ力測量值P2r入“：弟2閥昼力感測器112 以輸入至切換控制器129。 換= ί = :進行運算處理，且將控制訊…切 2換控制器m輸出至處理空氣調節擋板 扛制讯唬GY自切換控制器丨 ' 122,且胖制㈣rR ή 9輪出至再生空氣鼓風機 調節播自㈣控制器129輸出至再生空氣 •處理空氣之流量與壓力以及 士田击4· 丹王工風*之流置與壓力夕

°D正、、·。束後’同時將驅動用控制訊號G1盎G 輪出至第1間_之電動馬達與第、2,”u之:： ㈤m之板狀轉動閱體順時針起動，力又’同 秒轉動9G。並同時停止，心束通氣模式切換摔作、。75 :这0· 75秒之切換期間内將供給空氣之流量變 I力變動均抑制在5%以内。 【 :由該切換使再生空氣流動至第"、列，使 動至弟2系列。而且完全不會產生處 ， 流動而滯留之所謂「積存以「沈澱」處。戈再生工-不 再者’將處理空氣自第2系列切換至第1% 空氣自第！系列切換至第2系列之通氣模式切換摔作再二 然與上述同樣地進行，故而省略詳細說明。 頌 [適用例2](對藉由批次式變溫吸附之乾燥空氣供 之適用例） 312XP/發明說明書(補件)/95-08/95113875 !332565 係將本發明之四通道自動切換閥，適用於利用含 ^糸列以及第2系列的批次式變溫吸附之乾燥空氣供 的例示’且為具有2個該四通道自動切換閥之 給裝置180的說明圖，該2個四通道自動切換 =為…列閥(第1閥108)以及第2系列閥(第2閥 (處理空氣、排出空氣、再生空氣、供給空氣） 鲁第1閥108之流入通道L1與處理空氣導管1〇6連接， 同閥之流入/出通道（1)L2與第丄系列導管11〇連接，同 閥^流入/出通道（2)L4與第2系列導管117連接，同閥 之流出通道L3與排出空氣導管丨丨3連接。 伐 又，第2閥ill之流入通道以與再生空氣導管i2〇連 接，同閥之流入/出通道（1)與第丨系列導管11〇連接，同 閥之流入/出通道（2)L4與第2系列導管117連接，同閥 之流出通道L3與供給空氣導管n5連接。 _再者，於圖13之乾燥空氣供給裝置18〇中，使用2個 具有可動板與其驅動體之四通道自動切換閥，均為^型。 進而，於處理空氣導管106，配設有處理空氣口 ι〇ι、 處理空氣過濾器102、處理空氣鼓風機1〇3、處理空氣流 量感測器104、及處理空氣調節擋板1〇5。 工’'抓 μ又，於第1系列導管110,配設有$ !系列Ν〇ι除濕 -單元163a、該No.2除濕單元164a、第！系列加熱器165心 ，冷卻器166a、第1系列分配器167a，且於第2系列導 管117 ’配設有與第1系列相同之機器。 312χρ/發明說明書(補件)/95-08/951丨3875 48 UZJO：) =濕單元為收納具有吸附除去空氣中水分之性能的

Ji 褶狀、波狀吸附劑之容器。作為如此吸附劑，可 使用沸石、矽膠、氧化鋁等。 以使再生空氣自第！系列導管11〇與第 =導管分岐且，之方式配置導管。即，在設置於第i 點）167〇. 2除濕早凡16如下游之第1系列分配器（分岐 :12n刀岐第1系列導管110與第1系列再生空氣導 同樣^在設置於第2系歹lJN〇.2除濕單元祕下游之第 器（分岐點）167b，分岐第2系％導管11了與第 /、1再生空氣導管l20b。將第2開關閥169設置於第^ 系列再生空氣導管120b。 二二將弟！系列再生空氣導管12〇a與第2系列再4 工轧導官120b加以集合而作為再生空氣導管12〇。於名 丨生空氣導管220’配設有再生空氣冷卻器125、再生" 鼓風機122、再生空氣預熱器126、及再生空氣加熱器a: 於供給空氣導管115,配設有供給空氣過遽器128企供 給空乳鼓風機175、供給空氣口 116，於排出空氣導管⑴ 配設有排出空氣口 114。 進而’具有2個本發明四通道自動切換闕之乾燥空氣供 給裝置18〇,具備有切換控制器129，該切換控制器⑵ 用於自動地進行通氣模式㈣，且㈣力與流量及麼差之 變動抑制在容許精度内。 312XP/發明說明書(補件)/95-08/95113875 49 1332565 (處理空氣） 如圖13所示’使處理允名 工乳自處理空氣口 1 〇 1流入乾焯 空氣供給裝置180，且自笸]ιλ。+ 林

目第1閥10 8流至第1系列導管 110 ’經過第1系列No j降、τ。。- 1RQ .i除濕早兀163a、第1系列冷卻 器166a、第1系列N〇. 2降省一 iC/) I牙' 濕早兀1 64a，利用第1系列分 配器167a分成兩部分且以笙、ώ曰+ ^ 刀且以寺流量流至第i系列導管11〇 與第1糸列再生空氣導營 吕120a〇處理空氣，於通過兩除 濕單元163a、164a期門甘u ’、 a間其水分將被除去至既定露點，例 如-1 0 0 °c之濕度’進而，产矾笛 "IL過第1系列導管11 〇且經過第 2閥111，成為供給空氣 矛 礼將邊供給空氣，自供給空氣口 116供給至下一裝置。再去 丹者，供給空氣鼓風機丨75為根據 需要而安裝者。安裝其之蚌，畀, 、^叶’取好選定不會自機器外吸收 外部空氣之高機密性機種。 (再生空氣） 圖13表示以第1系列進行吸附操作、以第2系列進行 鲁再生操作之狀態。 如圖13所不，再生空氣，自第i系列分配器丨^流入 第1系列再生空氣導管120a且向下流過處於打開狀態之 第1開關閥168,並自與第2系列再生空氣導管12肋之 合流點流入再生空氣導管12〇,經過再生空氣冷卻器 125、再生空氣鼓風機i 22、再生空氣預熱器126、再生空 氣加熱态12 7，自弟2閥111流入第2系列導管117。 於圖13中，再生空氣經過第2系列分配器丨67b，順次 向下流過第2系列No. 2除濕單元〗64b、第2系列冷卻器 312XP/發明說明書(補件)/95-08/951〗3875 50 1332565 166b、第2系列加熱器165b、第2系列N〇. j除濕單元 163b，且流入第1閥108。再生空氣自第}閥1〇8流入排 出空氣導管113，且經過再生空氣預熱器126自排出空氣 口 114排出至系統外部。此時，因為帛2開關閥！69處於 關閉狀態，故而再生空氣不會流入第2系列再生空氣導管 12 0 b内。將該狀況用虛線表示於圖13。 於圖13，為以第1系列進行吸附操作、以第2系列進 行再生操作之通氣模式之狀態，故而第i系列加熱器16^ 之加熱知止，且第1系列冷卻器丨66a之冷卻作動。又， 以第2系列進行之再生操作為脫離操作之時，再生空氣加 熱器127作動’第2系列冷卻器16此之冷卻停止，且第 2系列加熱器1 65b之加熱作動。 進而，以第2系列進行之再生操作為冷卻操作之時，再 生$氣冷卻器125與第2系列冷卻器⑽匕作動，而再生 工氣加熱裔127與第2系列加熱器1 65b停止。 再者’因為於圖13中，流入第1閥108以及第Mln :處理空氣(供給空氣)與再生空氣之溫度亦有較大差 舌、！而通吊會產生熱移動。然而，於本發明之四通道自 動2閥中’設該閥之侧板、頂板、底板、框形分隔板、 二二:狀轉動闊體之較佳構成為具有隔熱功能，故而 移動。° p制處理空氣（供給空氣）與再生空氣之間的熱 (通氣模式之切換） 通氣模式之切換操作，於圖13之裝置中’為使處理空 312 ^_說明書(補件)/95彻5 ]]3875 氣自第1系列切換為第2系列# ^ ^ 換為第]纟万丨 生工氣自第2系列切 谀馮弟I系列且進行通氣之操 閥108與第2閥U1藉由切抑制哭2動地進行使第1 時刻同時且短期間作動之操作。出訊號，於設定 行=生2 ’將^弟1系列進行吸附操作、以第2系列進 本乍之通氣模式，切換為以帛 作、以第2系列進行吸附操作之 π 呆 操作之前，萨由严捆a # 、孔杈式盼，於進行切換 引措由處理空氣流量减測哭ϊ η ^也Λ •測器抓、第2_力感測哭；^夕04、苐1 _力感 處理空氣調節擋板1〇5 :理空乳鼓風機103、 129’將處理空氣之流量與壓力、：：：段刀換麵 壓力自動地調整為如下。 生空虱之流買與 即，於調整處理空氣之流量與壓 曰 與壓力時，將藉由處理空^ #生工乳之流量 量㈣線再生空氣：：：感測器_測出之流量測 斤量測量值F2(未圖示)幹=感士測器123(未圖示）測出之 由苐1閥壓力感測器1〇7測 2間壓力感測iim測出之 量值P1與藉由第 制器129。 之辽力测董值P2輸入至切換控 基於該等測量值進行運算 自切換控制器129輸出至處二里:^分別將控制訊號G3 號⑶自切換控制器129輸出至7鼓風機103，將控制訊 其次，將第！間之流空氣調節擔板1〇5。 29之輸出訊號G7，使板狀轉 312XP/發明說明書(補件)/95-08/95113875 52 功閱體1 3 4位於n位 與150d移動至既定 力調整用可動板150b 2閥之流入通道L1與同闕 认又’將弟 狀轉動閥體134處於 k 1間之壓差，以板 由來自位置之第 定位置的方弋 、卫制态I29之輸出訊號G10移動至既 m直的方式進行調整。苴你 m - 使第1閥108盥第2f1 ln 為稭由切換控制器129 氣自第1系列= Γ且短時間作動，將處理空 動既：而可將供給空氣之流量變動以及愿力變 以内之變動為通常操作 .π又且°又定為供給空氣之該等變動不會對下一 步驟之操作產生影響之ι 科曰對下 處理空氣自第2系列切換至第1系列、將再生 1糸列切換至第2系列之通氣模式切換操作亦與 上逑同樣地進行。 鲁（作用以及效果） 因，第2系列Νο. 2除濕單元164b以及第2系列—ι 除濕單元1 63b之吸附劑用於進行脫離再生，且流入第工 閥108之再生空氣的溫度通常為5〇t>c以上，故而使該再 生空氣流入排出空氣導管113後，通過再生空氣預熱器 126，與自再生空氣導管12〇流入空氣預熱器126之常溫 再生空氣進行熱交換，由此可進行使再生空氣升溫之預 熱。另一方面進行使成為排出空氣之再生空氣降溫的熱回 收。因此，可藉由設置此操作，而節約再生空氣加熱器 53 1 發明說明書(補件)/95·08/95113875 1 2 7之加熱量並省能。 另方面具有2個本發明之四通道自動切換㈣n 式變：吸附之乾燥空氣供給裝置18"，因 糸列Νο.2除濕單元咖之空氣分成兩部分 弟1 列導管11〇流入第2間⑴並成為供給空氣之空氣= 濃度（絕對濕度）與切換時流入第2閥⑴之再生空氣= 分濃度(絕對濕度)為同-，故而完全不會因通氣模式切： 丨操作而導致產生水分濃度變動。χ，滯留在圖13 = 糸列再生空氣導管12Gb内之空氣亦與供給空氣之 度(絕對濕度)相同，故而完全不會因通氣模式切換操作而 導致產生水分濃度變動。 又，因為將通過第1系列No. 2除濕單元1 64a之空氣， 作為再生空氣加熱之後通入第2系列N〇 2除濕單元^仆 以及No. 1除濕單元163b且用於脫離，故而可實施徹底之 脫離•再生，且作為供給空氣之乾燥空氣的水分濃度稃 鲁定，可經常供給露點_80°c以下之空氣。 " [適用例3 ](適用於利用批次式變溫吸附之潔淨調濕•調 溫空氣供給裝置） 圖14為將本發明四通道自動切換閥，適用於含有第丄 系列以及第2系列之批次式變溫吸附之潔淨調溫•調濕 空氣供給裝置19 0的例示’且作為該第1系列閥（稱為「第 1間」108。）與第2系列閥（稱為「第2閥」111。）而適 用者。 第1閥流入通道L1，與處理空氣導管1 〇6連接，同闕

312XP/發明說明書(補件)/95-08/95113875 54 丄以：)0：) 之流入/出通道（1)L2與第i系列導管11〇連接，同 =通道⑵L4與第2系列導管117連接，同闕之流 出、道L3與排出空氣導管113連接。 又：第2閥流入通道L1與再生空氣導管12〇連接，同 閥之机入/出通道（1)L2與第】系列導管“ο連接，同閥 =流入/出通道（2)U與第2系列導管117連接，同閥之 流出通道L3與供給空氣導管115連接。 丨再者，於圖14之潔淨調溫•調濕空氣供給裝置丨9〇的 第1閥108與第2閥⑴，使用具有可動板與其驅動體之 四通道自動切換閥。設該等均為α型。 (再生空氣、供給空氣、處理空氣、再生空氣） 又，於第1系列導管11〇,配設有第j系列淨化單元 170a、δ玄第1系列N〇. j除濕單元j咖、及第工系列加熱 器 1 6 5 a。 於再生空氣導管120，配設有再生空氣口 119、再生空 ^過濾器121、再生空氣鼓風機122、再生空氣流量感測 = 123再生空氣5周卽擔板124、再生空氣冷卻哭125、 再生空氣加熱器127、及再生空氣預熱器:二二 生手段。 於供給空氣導管115配設有供給空氣冷卻器173、供給 空氣加濕器174、供給空氣鼓風機175、及供給空氣口 116,且於排出空氣導管113配設有再生空氣預熱器126 與排出空氣口 114。 進而，具有2個本發明四通道自動切換閥之潔淨調溫· 312XP/發明說明書(補件)/9108/951 ] 3875 55 U02565 調濕空氣供給裝置⑽中’為自動地進行通氣模式切換 且將壓力與流量及壓差變動抑制在容許精度内，而呈、 換控制器129。 ” 切 於圖14中，使處理 、 W 1 υ丄//fL八漯淨书 濕•調溫空氣供給裝置19〇 ’且自第【閥1〇8向下流至二 1系列導管110，經過第1系列淨化單元17〇a、第7系= 加熱器1 65a，流至第1系列No. i除濕單元丨63a。處理办 丨氣，於通過該淨化單元170a期間將分子狀污染物質除= 至既定濃度，進而於通過該除濕單元163a期間亦將水分 除去至既定露點濕度以下，且經過第2閥1U以供給空= 冷钾器173進行調溫，以供給空氣加濕器174進行濕度調 整，以供給空氣鼓風機175進行升壓之後，成為供給介 並自供給空氣口 116供給。 工* 於圖14的潔淨調濕•調溫空氣供給裝置丨9〇中所使用 之淨化單元170a、170b，為收納有與圖6以及圖9所使 _用的淨化單兀109、118同樣之蜂窩狀吸附劑的容器。又， 除濕單元163’為收納有與圖13之乾燥空氣供給裝置18〇 所使用的No.l除濕單元163a、163b同樣之蜂寓狀除濕用 吸附劑的容器。 ' 再生空氣自再生空氣口 119流入潔淨調濕•調溫空氣供 給裝置190且調整為既定流量、溫度，並自第2閥工11流 過第2系列導管117，經過第}閥1〇8自排出空氣口 ιΐ4 排出。 於圖14中因以苐1系列進行吸附操作、以第2系列 312XP/發明說明書(補件)/95-08/951138*75 56 進二再生知作，故而第i系列加熱器丨65a之加熱停止， 第2系列之再生刼作為脫離操作之時，再生空氣加熱器 人第2系列加熱裔1 6 $ b之加熱作動。又，以第2系 歹J進仃之再生刼作為冷卻操作之時，再生空氣冷卻器1 作動，但是再生空氣加熱器127與帛2系列加熱器祕 停止。 、、&進而、，與適用於上述裝置之情形同樣，圖14之裝置中， 春流流出至第1閥1〇8、第2閥111之處理空氣（供給 空氣）與再生空氣（排出空氣）之溫度亦相差很大，故而I 產生熱移動。 曰 d而本發明之四通道自動切換閥，因構成該閥框體部 j板頂板底板、框形分隔板、旋轉軸、板狀轉動閥 &幸乂4土的構成是具有隔熱功能，故而可實質抑制處理空氣 (t、、’’D工氣）與再生空氣（排出空氣）之間的熱移動。 又:因為第！閥1〇8以及第2閥lu之板狀轉動閥體 •,爹照圖3)與框形閥座133(參照圖3)經由嵌入設置於 框，閥座133之2條墊圈槽J 54的塾圈而密接，故而處理 空氣（供給空氣）與再生空氣（排出空氣）即使壓力不同亦 不會產生自壓力較高側向較低側沒漏。進而，板狀轉動閱 體134與框形分隔板132之間的熱移動較小。 (通氣模式切換） 通氣模式之切換操作，於圖14中，為使處理空氣自第 1 :列切換至第2系列、將再生空氣自第2系列切換至第 U且進仃通乳之操# ’且為自重力地進行使第工閥_ 3】2XP/發明說明書(補件)/95-〇8/951 ] 3875

與第2閥lllji由办A —士， 9束自切換控制器129之輪出訊轳，於机 定時酬且短時間作動之操作。^出 測ϊ ι〇!面再作之前，藉由處理空氣流量感 m閥壓二第1間壓力感測器 貝U2、處理空氣鼓風機103、處理 广處理空氣冷卻器i7i、再生空氣鼓風 、、亡旦β. 空軋調節擋板124、再生空氣冷卻器125、 里」、>1力之測里•調整手段與切換控制器⑶，自動地 调整處理空氣之流量與壓力、以及再生空氣之流量與壓 力。 對切換控制器⑵的測量訊號之輸人、控制訊號之輸 出’與對適用例1以及適用例2所進行之詳述者同樣。 進而，因為第1閥之板狀轉動閥體134位於n位置（參 …、圖7)故而可藉由第1閥之可動板150b自動地調整第 1閥之流入通道L1與流出通道L3間之壓差，另一方面’ _因為第2閥之板狀轉動閥體134位於s位置（參照圖7)， 故而可藉由第2閥之可動板15〇c /自動地調整第2閥之 流入通道L1與流出通道L3間之壓差。圖14中雖未揭示， 但是亦將大氣壓、相對濕度、溫度等測量訊號輸入至切換 控制器129。 (作用以及效果） 具有本發明四通道自動切換閥之裝置’以此方式，對處 理空氣之流量與壓力、以及再生空氣之流量與壓力進行調 整，進而，對第1閥之流入通道L1與流出通道L3間之愿 3】2XP/發明說明書(補件)/95-08/95113875 58 1332565 差以及第2閥之流人通道L1與流出通道L3間之壓声進一 調整’藉由切換控制器129使第αι〇8與第咖丁 時且短時間作動，且使處理空氣自第1系列切換至第2系 :二再生空氣"2系列切換至第！系列，由此可將佴 ::氣之壓力變動’與適用例1以及適用例2同樣，抑制 在《以内。X，亦可將供給空氣之溫度變動抑制在= 以内。進而，因為圖14所示之潔淨 · 裳置19。中無沈殿處分心：“工乳供給 _容許精度内。'故而刀子狀以物之濃度變動亦為 (實測資料） 戶,圖'表示具有2個本發明之四通道自動切換閱的圖14 _r不之周溫·調濕空氣供給裝置的實 =下之圖表:於第以⑴之流入通道L1 :及= 道，安裝具有高速取樣功能之壓力感測器，且== 乳模式切換操作開始至結束之期間所丁、 ^動狀況。 屺錄之壓力變 :圖15中，Pw為第“川之靜壓，p 说壓。該圖表顯示，如所明示般，本發 ： 再生動角度為92、切換操作，亦可將 以内，又，=將差給空ρ氣，靜塵）的變動抑制在僅⑽ 將&差.Pw— py之變動抑制 敕進而’因為於進行切換操作之前進行流量 正，故而流動變動為容許精度内。如此 d里·调 於切換時_大致固定者表示將流量保持為=./w-Py 2XP/發明說明書(補件)/95-08/95113875 59 1332565 若細查圖1 5之資料，則可得出本發明是一項具有劃時 代意義之技術的結論，即於將2個本發明之四通道自動切 換閥組合使用的批次式變溫吸附之潔淨調溫•調濕空氣供 給裝置等系統，適用上述通氣模式切換方法，由此可將作 為習知批次式變溫吸附之各種系統實用上最大難題的切 換時流量變動、壓力變動、以及壓差變動抑制在容許精度 以内。 再者，本發明適於使用如下之方法，即，對於至少含有 •無塵室，潔淨棚，潔淨台，含半導體製造裝置、液晶顯示 器製造裝置、有機EL顯示器製造裝置之電子零件製造中 所相關之裝置，潔淨隧道，潔淨加熱爐，處理基板保護用 保管庫，隨附於保管庫、製造裝置之移載裝置，裝載機/ 卸載機，外殼，檢查裝置，以及裝置輔助機械中之一者而 構成的潔淨電子零件製造•設施或潔淨半導體製造設施· 設備，供給淨化空氣、乾燥空氣、潔淨調溫•調濕空氣、 •淨化氛氣、乾燥氮氣、或潔淨調溫•調濕氮氣。 又，本發明之較佳對象為潔淨電子零件製造•設施或潔 淨半導體製造設施•設備，其至少包括無塵室，潔淨棚， 潔淨台，含半導體製造裝置、液晶製造裝置、有機EL製 造裝置之電子零件製造中所相關之裝置，潔淨隧道，潔淨 加熱爐，處理基板保護用保管庫，隨附於保管庫、製造裝 置之移載裝置，裝載機/卸載機，外殼，檢查裝置，以及 裝置輔助機械中之一者，且含有空氣淨化裝置、乾燥空氣 供給裝置、潔淨調溫•調濕空氣供給裝置、淨化氮氣供給 3 ] 2XP/發明說明書(補件)/95-08/95113S75 60 1332565 =乾燥氮氣供給裝置、以及潔淨調溫·調濕氮氣供給 表置甲之一者。 [產業上之可利用性] :據本發明之四通道自動切換閥，可僅藉由2個該閥， 2系列同等之吸附材單元的批次式變溫吸附 本發明之四通道自動切換閥，因構成其框體部之 •底板、側板、框形分隔板、旋轉軸、板狀轉動閥體可 能’故而即便該闊内之高溫再生氣體與低溫處理 肢或供給氣體同時鄰接而流動，亦可抑制自” 齑蝴夕為夕 阿’皿氣肢向低 狐軋脰之熱私動，且吸附除去、 響，而可同時實施。 再生不會文到影 此夕卜於進行通氣模式㈣之前’根據㈣控制哭之輪 出讯唬，將處理氣體與再生氣體之流量、壓力 : 差均控制為相同流量、相同靜壓、4目同壓差，‘r 1，壓 ，個切換閥之驅動馬達同時起動’且同時停止，而：於：2 〜2 0秒之短時間内進行動作，由此 、. 與壓差的變動為容許精度内β τ之流量與靜壓 使用本發明之四通道自動切換闕，可_

塵室、淨化室、迷你潔淨環境之分子狀污 直：J ppb水準之空氣或氮氣淨化裝置，除去分、汰至達到 而進m周溫·，周濕之潔淨調溫·調濕空氣供給勿：？ 調溫·調濕氮氣供給裝置，或供給去除水 置：序 -80°C以下之乾燥空氣或乾燥氮氣 纟直至路點 孔的裝置，可提供能鈞將

312XP/發明說明書(補件)/95-08/95】】3875 fiJ 切換時之流量、靜壓、壓差變動抑制在 供給之使用有批次式變溫吸㈣裝置。4度内而進行 如上所述，本發明之四通道自動 性非常大。 >』座系上可利用 【圖式簡單說明】 圖1為將表示本發明四通道自動切換闕之— 之側面—部分作為縱剖面圖的說明圖。 Μ 圖2為圖1表示之閥沿χ—χ線之橫剖面圖。 動二為βΓ:1以及圖2所示之框形分隔板⑴、板狀轉 座⑹、進而具體地藉由立體圖以及局 丨敌大圖進仃表示的說明圖。 構表Γ本發明四通道自動切換閥，且為剖面為圓形而 構成者之側面圖。 ~圃πχ ΠΤ7 圖5為圖4所示之閥沿χ-χ線之橫剖面圖。 的=使用有習知批次式變溫吸附之空氣淨化裝置· '為本^明之四通道自動切換閥之 及点型）的橫剖面圖。 生（α型以 換(圖吸L1:本發明之四通道自動切換閥内進行系列切 圖，（A) f列之切換）時，處理氣體流動狀況的說明 .’、”。邻刀開立體圖，（B)為橫剖面圖。 以第：2系万、I有2個本發明四通道自動切換間之第1系列 圖]οα、所構成之空氣淨化裝置130的說明圖。 0 、（β)為表示進行通氣模式切換時空氣（處理空 312ΧΡ/發明說明書(補件)/95-〇8/95丨丨3875 62 氣以及再生空氣)之流動方向的說明圖。 A圖1KC)、⑻為表示進行通氣模式切換時* 乳以及再生空氣）之流動方向的說明圖。K處理空 圖12(E)為表示進行通氣模式 及再生空氣)之流動方向的說明圖。一(處理空氣以 圖13為表示使用有具有2個本發明四 之批次式變溫吸附的乾燥空 切換閥 m ^ 卞工乱仏、..口忒置180之說明圖。 圖：4為表不使用有具有2個本發明四通道自動切換閥 之批:人式變溫吸附的潔淨調溫·調濕空氣供給裝置 之說明圖。 、、玢 /皿 圖]5為表示具有本發明之四通道自動切換閥之潔淨調 •调濕空氣供給襞置中進行吸附·再生系統切換時供給 氣之壓力變動狀況的圖表。 【主要元件符號說明】 101 處理空氣口 102 處理空氣過濾器 103 處理空氣鼓風機 104 處理空氣流量感測器 105 處理空氣調節擋板 106 處理空氣導管 107 第1閥壓力感測器 108 第1閥（第1系列閥） 109 第1系列吸附材單元 110 第1系列導管 312XP/發明說明書(補件)/95-08/951138乃 63 1332565 111 112 113 114 115 116 117 118 •119 120 121 122 123 124 125 ^126 127 128 129 130 131 132a〜132d 133 、 133a〜133d 第2閥（第2系列閥） 第2閥壓力感測器 排出空氣導管 排出空氣口 供給空氣導管 供給空氣口 弟2系列導管 第2系列吸附材單元 再生空氣口 再生空氣導管 再生空氣過濾器 再生空氣鼓風機 再生空氣流量感測器 再生空氣調節擋板 再生空氣冷卻器 再生空氣預熱器 再生空氣加熱器 供給空氣過濾器 切換控制器 空氣淨化裝置（圖9) 驅動部（驅動手段） 框形分隔板 框形閥座 134、134a、134b 板狀轉動閱體 312XP/發明說明書(補件)/95-08/95丨13875 1332565 135 "136 ' 137 138 139a〜139d 140 框體部 頂板 底板 旋轉軸 開口部 電動馬達 141 150 •150a 〜150d 150a’ 〜150d， 151 151a〜151d 151a，〜151d， ^154 155 156 157 158 159 160 161 162 側板 可動板 第1閥（第1系列閥）（壓力調整用或開 口率變更用）可動板 第2閥（第2系列閥）（壓力調整用或開 口率變更用）可動板 驅動體 第1閥驅動體 第2閥驅動體 墊圈槽 處理空氣導管流出空氣 第1系列導管流入空氣 第2系列導管流出空氣 排出導管流入空氣 第1系列導管流出空氣 供給空氣導管流入空氣 再生空氣導管流出空氣 第2系列導管流入空氣 312XP/發明說明書(補件)/95-08/951138乃 65 1332565

163a 第1系列No. 1除濕單元 163b 第2系列No. 1除濕單元 1 64a 第1系列No. 2除濕單元 164b 第2系列No. 2除濕單元 165a 第1系列加熱器 165b 第2系列加熱器 166a 第1系列冷卻器 166b 第2系列冷卻器 167a 第1系列分配器 167b 第2系列分配器 168 第1開關閥 169 第2開關閥 170a 第1系列淨化單元 170b 第2系列淨化單元 171 處理空氣冷卻器 173 供給空氣冷卻器 174 供給空氣加濕器 175 供給空氣鼓風機 180 圖13之乾燥空氣供給裝置 190 圖14之潔淨調溫·濕度空氣供給 裝置 200 圖6所示之先前技術之空氣淨化裝 FI、F2 流量之測量值 G1 〜G13 控制訊號 312XP/發明說明書(補件)/95-08/95113875 66 1332565 L1 流入通道（流入專用通道） L2 流入/出通道（1)(流入/流出兩用通道） L3 流出通道（流出專用通道） L4 流入/出通道（2)(流入/流出兩用通道） P1、 Ρ2 靜壓之測量值 Pw 流入通道之壓力 Px 流入/出通道（1)之壓力 Py 流出通道之壓力 Pz 流入/出通道（2)之壓力 R1〜 R4 小室 T1〜 Τ8 分岐/合流點 VI〜 V8 開關閥 312XP/發明說明書(補件)/95-08/95113875 67

Claims (1)

1332565 APR 2 7 2010 替換本 十、申請專利範圍： 1. 一種四通道自動切換閥’為用於切換吸附裝置之通氣 模式情況時之四通道自動切換閥’其特徵在於，其具有： 框體部，由頂板、侧板及底板構成’於内部具有空間部； 框形分隔板，具有開口部，並將該空間部劃分為4個小室 Rl、R2、R3、以及R4 ;板狀轉動閥體，打開或封閉該框 形分隔板之開口部；四通道，包括經常使設置於該經過劃 分之4個小室之氣體流入之流入通道L1、交替使氣體流 入與流出之流入/出通道（1) L 2、經常使氣體流出之流出通 道L3、以及與上述L2交替使氣體流入與流出之流入/出 通道（2)L4;及’驅動手段，使上述板狀轉動閥體繞轉動 轴轉動； (1)上述小室Rl、R2、R3、以及R4以如下順序進行配 置、即，安裝有上述流入通道L1之小室R1、以該Ri為 起點於上述旋轉軸之旋轉方向安裝有上述流入/流出通道 春（1)L2之小室R2、安裴有上述流出通道L3之小室R3、以 及安裝有上述流入/流出通道（2)L4之小室R4，且上述们 與上述R3被配置於當切換氣體流路時則構成為使自上述 L1流入之氣體流出至L3的彼此相對向位置處更進一 步，上述板狀轉動閥體在配置於上述R2以及上述R4、或 上述R1以及上述趵下而安裝於上述旋轉轴， ()上述板狀轉動閥體為具有上緣、側緣、下緣之板狀 者，其在切換氣體流路前保持上述框形分隔板之開口部呈 95113875 68 1332565 (a)在切換氣體流路時’起動上述^^轉動閥體，在從 開始開放呈封閉狀態之上述框形分隔板之開口部而經旋 轉既疋角度I至封閉相對向之開口部（位置變換）之期 間，則停止上述流入/流出通道⑴L2及上述流入/流出通 道（2)L4之氣體流入/流出， (b)(1)在上述板狀轉動閥體之上述上緣與上述頂板之 間、（m)上述板狀轉動閥體之上述側緣與上述側板之間、 ⑹上述板狀轉動閥體之上述下緣與上述底板之間，分別 設有使流入自上述流入通道u之氣體一部分流通之間隙 (或空隙），自上述流入通道L1流入之氣體經由通過（1) ^述板狀轉動閥體之上述上緣與上述頂板之間隙（或空 f )、（m)板狀轉動閥體之上述側緣與上述側板之間隙（= 空？ :、(η)板狀轉•閥體之上述下緣與上述底板之間隙 ν或二隙）、及（0)經上述板狀轉動閥體所開放之上述框形 广隔板之開口部，構成從L1經由HR3之流動與從 ^ & R1、R4、R3之流動而流出至上述流出通道L3， )在°亥位置變換之前後，上述流入通道L1之壓力 =與上述流出通道L3之歷力py分別不發生實質上之變 2:如申請專利範圍第1項之四通道自動切換閥，其中， f述開口部形狀為正方形、長方形、圓形、或橢圓形，於 广開彳之内緣周邊部形成有框形閥座，且該開D部面積 為選自上述流入通道u截面積之2〇〜簡範圍内的面 95113875 69 丄： if “ ' ] 3·如申凊專利範圍第丨或2項之四通道自動切換閥其 十i述板狀轉動閥體之形狀，與上述開口部形狀為相似 ^且5亥板狀轉動閥體之板面面積為選自大於封閉該開口 部之面積且小於其面積h3倍之範圍内。 4. 如申明專利範圍第丨或2項之四通道自動切換閥，其 令’上述框體部含有側板、頂板、以及底板，該側板、·頂 板、與底板以及上述框形分隔板、i述旋詩、及上述板 鲁狀轉動閥體具有隔熱功能。 5. 如申请專利範圍第丨或2項之四通道自動切換閥其 中，上述板狀轉動閥體之轉動動作，是自起動至停止之動 作時間選自0.1〜20秒之範圍内，且，轉動角度選自6〇。 〜12 2之範圍内的往復動作。 6. 如申請專利範圍第i或2項之四通道自動切換閥，其 中’上述開口部中’具有其開口率(%)之變更手段，該開 口率變更手段分別獨立變更上述開口部的開口率（％)，且 春於上述板狀轉動閥體配置於上述以以及上述料之時可沿 上述R1及/或上述R3之内壁面、而於上述板狀轉動閥： 配置於上述R1以及上述R3之時可沿上述R2及/或上述 R4之内壁面，分別於上下方向或水平方向移動。 7. 如申請專利範圍第；！或2項之四通道自動切換閱，其 中，上述開口率變更手段含有可動板及其驅動體，上述可 動板之動作與上述板狀轉動閥體之轉動動作同步。 8·如申請專利範圍第1或2項之四通道自動切換閥，其 中，於上述流入通道L1及/或上述流出通道L3具有壓力 95113875 70 丄 332565 L 感測器 Q 一-.，…·、 一 — r

.一種採用2個四通道自動切換閥之批次式變溫吸附 裝置，具有2系列吸附材單元，其以切換閥交替切換流動 於该2系列吸附材單元之處理空氣或再生空氣，而交替地 進行吸附操作或再生操作；其特徵在於：將申請專利範圍 第1或2項之2個上述四通道自動切換閥，作為第丨閥與 第2閥加以組合而安裝於該吸附裝置之2系列吸附單元而 成為上述切換閥；各該2系列吸附材單元至少由：使上述 f附材單元之吸附能力再生之再生手段；各處理氣體之靜 壓、供給氣體之靜壓、再生氣體之靜壓、以及排出氣體之 靜壓之測量•調整手段；再生氣體流量及/或處理氣體流 量之測量•調整手段；及控制使用上述第丨閥以及第2閥 而實施之吸附操作與再生操作的切換（通氣模式切換）之 切換控制器；所構成。 10·如申請專利範圍第9項之採用2個四通道自動切換 閥之批次式變溫吸附裝置，其中，上述吸附材單元，為將 使用用於吸附分子狀污染物質之吸附材料而形成之單 凡、或使用用於吸附水分之吸附材料而形成之單元分別加 以串聯排列而成者。 11.如申请專利範圍第9項之採用2個四通道自動切換 閥之批次式變溫吸附裝置，其中，將上述第i閥及上述第 2閥所具有壓力感測器之測定訊號輸入至上述切換控制 器。 、二 12.如申請專利範圍第9項之採用2個四通道自動切換 95113875 71 閥之批次式變溫吸附裝置，豆中 f ^ X弁1P ’上述再生手段具有可於 處理氣體流量之〇 〇 5〜1 9位4 m ·υϊ)丨」倍之範圍内任意調整流量之 再生用鼓風機。 13·如申請專利範圍第9項之採用2個四通道自動切換 閥之批次式變溫吸附裝置，其中，上述批次式變溫吸附裝 置於切換上述通氣模式之前，調整流量而使處理氣體流量 與再生乳體流量相等，更進—步，調整靜壓而使處理氣體 之月f壓與再生氣體之靜壓相等’之後實施該通氣模式切 換。 14. 如申請專利範圍第9項之採用2個四通道自動切換 閥之批次式變溫吸附裝置，其中，上述批次式變溫吸附裝 置中於切換上述通氣模式之前，調整壓差而使處理氣體自 第1閥流入通道L1流入至第2閥流出通道L3之流路上流 動壓差（壓力損失）、再生氣體自第2閥流入通道L1流入 至同閥之流出通道L3之流路上流動壓差（壓力損失）、及 鲁再生氣體自第2閥流入至通道L1流入至第1閥流出通道 L3之流路上流動壓差（壓力損失）彼此相等。 15. 如申請專利範圍第9項之採用2個四通道自動切換 闕之批次式變溫吸附裝置，其中，上述批次式變溫吸附裝 置為空氣淨化裝置、乾燥空氣供給裝置、潔淨調溫•調濕 空氣供給裝置、淨化氮氣供給裝置、乾燥氮氣供給裴置、 或潔淨調溫·調濕氮氣供給裝置。 16. —種供給淨化空氣、乾燥空氣、潔淨調溫·調濕空 氣、淨化氮氣、乾燥氮氣、或潔淨調溫•調濕氮氣之方法， 95113875 72 1332565 ^ 4, ^ 該方法中將申請專利範圍第1 5項之採用2個四通道自動 切換閥之裝置，使用在至少包括具有無塵室，潔淨棚，潔 淨台，半導體製造裝置、液晶顯示器製造裝置、有機EL 顯示器製造裝置之電子零件製造中所相關之裝置，潔淨隧 道，潔淨加熱爐，處理基板保護用保管庫，隨附於保管庫、 製造裝置之移載裝置，裝載機/卸載機，外殼（enclosure)， 檢查裝置，以及裝置輔助機械中之一者而構成的潔淨電子 零件製造·設施或潔淨半導體製造設施•設備中，以供給 *淨化空氣、乾燥空氣、潔淨調溫•調濕空氣、淨化氮氣、 乾燥氮氣、或潔淨調溫•調濕氮氣。 1 7. —種潔淨電子零件製造•設施或潔淨半導體製造設 施•設備，其至少包括具有無塵室，潔淨棚，潔淨台，半 導體製造裝置、液晶顯示器製造裝置、有機EL顯示器製 造裝置的電子零件之製造中所相關之裝置，潔淨隧道，潔 淨加熱爐，處理基板保護用保管庫，隨附於保管庫、製造 •裝置之移載裝置，裝載機/卸載機，外殼，檢查裝置，以 及裝置輔助機械之一者；其特徵在於：至少含有申請專利 範圍第15項之空氣淨化裝置、乾燥空氣供給裝置、潔淨 調溫•調濕空氣供給裝置、淨化氮氣供給裝置、乾燥氮氣 供給裝置、及潔淨調溫•調濕氮氣供給裝置中之一者。 95113875 73